JP5713683B2 - インクジェットヘッドの吐出状態検査方法およびインクジェットヘッドの吐出状態検査装置 - Google Patents
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Description
2 インクジェットヘッド
3 受像用高透過度テストフィルム(受像用テストメディア)
4 撮像用カメラ(撮像装置)
5 照明(撮像装置,照明装置)
6 検査可能領域
7 検査用パターン
10 フィルム搬送機構(メディア固定装置)
11a,11b モータ
12a,12b 搬送ローラ
13a,13b アイドルローラ
14 テンションゲージ
21 画像データ処理装置(画像評価装置)
22 画像処理部
23 制御部
24 検査処理部
25 閾値格納部
26 検査結果出力部
31 インクドット
32 チリ
33 サテライト
34R,34G,34B 副画素領域
35 メインドット
36 副画素
・1番:ほぼ理想的着弾であり合格。
・2番:吐出過剰で不合格。
・3番:位置ズレで不合格。
・4番:ズレはあるが閾値内であり合格。
・5番:サテライトの吐出量が大きく不合格。
・6番:4番と同じ。
・7番:吐出不足で不合格。
・8番:Aに異物がありB,Cにて判定。ズレはあるが閾値内であり合格。
・9番:ズレはあるが閾値内であり合格。
つまり、図3の場合、1番,4番,6番,8番,9番ノズルの5つが合格となる。
例えば、前述の実施例では、カメラ4を駆動させて検査用パターン7の撮像を行っているが、カメラを駆動させず、カメラを複数台設置することにより検査用パターン7を撮像するような構成であっても良い。また、カメラ4の形態には特に制限はなく、カメラ自体はエリアカメラでもラインセンサカメラであっても良い。
Claims (8)
- 複数色のインク液をインクジェット方式により塗布して電子デバイスを製造するインク塗布工程にて、インクジェットヘッドから吐出されるインク液の状態を検査するインクジェットヘッドの吐出状態検査方法であって、
前記インクジェットヘッドにより、受像用テストメディアに前記インク液を吐出し、前記インク液のドットにより構成される検査用パターンを形成する工程と、
前記検査用パターン形成工程の後、前記受像用テストメディアを移動させることなく、前記検査用パターンを撮像装置により撮像する工程と、
前記撮像装置により取得した前記検査用パターンの画像データを用いて、画像評価装置により前記インク液の吐出状態を検査する工程と、を有し、
前記インク液の吐出状態検査工程において、前記画像評価装置は、
前記画像データに基づいて、前記ドットの径、面積、形状、重心位置についての情報を含む各ドット毎のドット形態情報と、前記ドットの周辺に存在する前記インク液の飛び散りによる不規則な汚れであるチリや前記インク液の液離れに起因する規則的な汚れであるサテライトの径、面積、形状、重心座標に関する情報を取得すると共に、前記ドットの位置と該ドットの理想着弾位置との差を算出し、
前記ドット形態情報に基づいて、該ドット形態情報と予め設定された閾値を比較することにより、前記ドット形態情報の値が前記閾値内であった場合は当該ドット形態情報に対応する前記インクジェットヘッドを正常と判定し、前記ドット形態情報の値が前記閾値外であった場合は当該インクジェットヘッドを不良と判定し、
前記チリ・サテライトに関する情報に基づいて、前記チリ・サテライトの吐出量及び前記ドットとの距離を算出して予め設定された閾値と比較し、該チリ・サテライトが、前記ドットの近傍に設定され隣接する前記ドット間に並設された他色の副画素内に混入しても良い吐出量や他色の副画素に混入しない程度のチリ・サテライトならば当該インクジェットヘッドを良と判定する一方、前記他色の副画素内に影響を与えるものである場合は当該インクジェットヘッドを不良と判定し、
前記インク液の実際の着弾位置とその理想着弾位置との差に基づいて、前記インクジェットヘッドにおける吐出タイミングの必要補正量と、前記インクジェットヘッド位置の必要補正量を算出することを特徴とするインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。 - 前記受像用テストメディアとして、光透過率が50%以上のフィルムを使用することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。
- 前記撮像装置は、撮像用カメラと、前記撮像用カメラの撮像可能領域を照明する照明装置とを備え、
前記撮像用カメラと前記照明装置は、前記インクジェットヘッドとは前記受像用テストメディアを挟んで反対面側にあることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。 - 前記画像評価装置は、前記ドット形態情報に基づいて全ドットの平均面積を算出し、吐出量とドット面積との関係を示す相関テーブルを用いて、1ノズルあたりの吐出量を算出することを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。
- 前記画像評価装置は、前記撮像装置により取得した画像データを画像処理する画像処理部と、画像処理後のデータから前記インク液の吐出不良を検出する検査処理部を備えることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。
- 前記検査用パターン形成工程では、前記インクジェットヘッドから前記インク液が複数回吐出されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。
- 前記検査用パターン形成工程および前記撮像工程は、複数色の前記インク液を吐出する前記インクジェットヘッド毎に実施され、全色の前記インクジェットヘッドについて前記検査用パターン形成工程および前記撮像工程が終了するまで、前記受像用テストメディアの移動が規制されることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの吐出状態検査方法。
- 複数色のインク液をインクジェット方式により塗布して電子デバイスを製造するインク塗布工程にて、インクジェットヘッドから吐出されるインク液の状態を検査するインクジェットヘッドの吐出状態検査装置であって、
前記インクジェットヘッドから吐出される前記インク液により、該インク液のドットにより構成される検査用パターンが形成される受像用テストメディアと、
前記受像用テストメディアを移動させることなく、前記受像用テストメディアに形成された前記検査用パターンを撮像する撮像装置と、
前記インク液の着弾画像を前記撮像装置によって撮像可能な検査可能領域に前記受像用テストメディアを固定するメディア固定装置と、
前記撮像装置により取得した前記検査用パターンの画像データを用いて、前記インク液の吐出状態を検査する画像評価装置と、を有し、
前記画像評価装置は、
前記画像データに基づいて、前記ドットの径、面積、形状、重心位置についての情報を含む各ドット毎のドット形態情報と、前記ドットの周辺に存在する前記インク液の飛び散りによる不規則な汚れであるチリや前記インク液の液離れに起因する規則的な汚れであるサテライトの径、面積、形状、重心座標に関する情報を取得すると共に、前記ドットの位置と該ドットの理想着弾位置との差を算出し、
前記ドット形態情報に基づいて、該ドット形態情報と予め設定された閾値を比較することにより、前記ドット形態情報の値が前記閾値内であった場合は当該ドット形態情報に対応する前記インクジェットヘッドを正常と判定し、前記ドット形態情報の値が前記閾値外であった場合は当該インクジェットヘッドを不良と判定し、
前記チリ・サテライトに関する情報に基づいて、前記チリ・サテライトの吐出量及び前記ドットとの距離を算出して予め設定された閾値と比較し、該チリ・サテライトが、前記ドットの近傍に設定され隣接する前記ドット間に並設された他色の副画素内に混入しても良い吐出量や他色の副画素に混入しない程度のチリ・サテライトならば当該インクジェットヘッドを良と判定する一方、前記他色の副画素内に影響を与えるものである場合は当該インクジェットヘッドを不良と判定し、
前記インク液の実際の着弾位置とその理想着弾位置との差に基づいて、前記インクジェットヘッドにおける吐出タイミングの必要補正量と、前記インクジェットヘッド位置の必要補正量を算出することを特徴とするインクジェットヘッドの吐出状態検査装置。
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