KR101207244B1 - 메인터넌스 장치 및 토출 장치 - Google Patents

Abstract

과제
헤드의 하방으로 이동하여, 토출구의 청소와 검사를 할 수 있도록 구성된 메인터넌스 장치 및 메인터넌스 장치를 갖는 토출 장치를 제공한다.
해결 수단
본 발명의 메인터넌스 장치 (10) 는, 기판 (95) 을 주레일 (72) 을 따라 이동시키고, 헤드 유지부 (80) 의 하방을 통과시켜, 복수의 헤드 (81) 의 토출구 (82) 로부터 토출액의 액적을 기판 (95) 에 토출시키고, 착탄시키는 토출 장치 (70) 의 주레일 (72) 을 따라 이동하는 메인터넌스 장치 (10) 이다. 메인터넌스 장치 (10) 는, 주레일 (72) 상에 탑재된 제 1 이동대 (15a) 와, 제 1 이동대 (15a) 상에 배치된 탑재대 (19) 와, 탑재대 (19) 상에 탑재된 검사 장치 (20) 와 청소 장치 (30) 를 갖고 있다. 제 1 이동대 (15a) 를 주레일 (72) 을 따라 헤드 유지부 (80) 의 하방으로 이동시키고, 이어서 탑재대 (19) 를 제 1 이동대 (15a) 상에서 이동시킴으로써, 청소 장치 (30) 를 각 헤드 (81) 의 바로 아래에 배치하여 토출구 (82) 의 부착물을 제거할 수 있거나, 또는 검사 장치 (20) 의 카메라의 초점을 각 토출구 (82) 의 바로 아래에 배치하여 토출액의 액적을 촬영하여 토출구 (82) 를 검사할 수 있다.

Description

메인터넌스 장치 및 토출 장치{MAINTENANCE APPARATUS AND DISCHARGE APPARATUS}

본 발명은 토출구의 메인터넌스 장치 및 메인터넌스 장치를 갖는 토출 장치에 관한 것이다.

최근 정보화 사회의 신장에 수반되어, 더욱 대형의 액정 표시 장치의 수요가 높아져, 그 생산성의 향상이 요망되고 있다. 컬러 액정 표시 장치에서는, 표시 화상을 컬러화하기 위해 컬러 필터를 사용하고 있다. 컬러 필터는, 기판 상의 소정 영역에, R (빨강), G (초록), B (파랑) 의 3 색의 잉크를 소정 패턴으로 배치함으로써 제조된다.

종래, 잉크의 토출에는 잉크젯 방식이 많이 채용되었다. 잉크젯 방식으로는 토출구 주변 및 내부의 잉크가 건조되어 고화되거나, 토출구에 먼지가 부착됨으로써, 토출구에 막힘이 발생하거나, 토출구의 부착물이 방해가 되어 잉크의 착탄 정밀도가 악화된다는 과제가 있었다.

이 과제를 해결하기 위해서는, 특허문헌 2 및 특허문헌 3 에 기재된 장치와 같이, 불량인 토출구를 검지하는 검사 장치와, 불량인 토출구로부터 부착물을 닦아내는 청소 장치가 필요하다.

헤드를 기판 상을 주사하도록 왕복 이동시켜 기판 상에 잉크를 토출시키는 헤드 이동 방식을 채용한 특허문헌 1 에 기재된 것과 같은 장치에서는, 특허문헌 2 에 기재된 바와 같이 검사 장치와 청소 장치를, 기판이 이동하는 영역과는 다른 장소에 형성해 두고, 헤드를 검사 장치나 청소 장치 상으로 이동시켜, 불량인 토출구의 검사와 청소를 실시할 수 있다.

단, 헤드 이동 방식의 장치에서는, 기판의 대형화에 비례하여 잉크의 토출에 긴 시간이 걸리고, 또, 얼룩이 없도록 소정 간격으로 잉크를 착탄시키는 데에는 헤드를 제어하기가 어렵다.

대형 기판에 대해 잉크를 토출시키기 위해서는, 복수의 헤드를 기판이 이동하는 영역 상에 정지시키고, 그 아래를 기판을 통과시켜, 기판 상에 잉크를 토출시키는 헤드 거치 방식을 채용할 필요가 있다.

일본 공개특허공보 평11-248925호 일본 공개특허공보 2003-191492호 일본 공개특허공보 2008-265321호

본 발명은 상기 종래 기술의 문제를 해결하기 위해 창작된 것으로서, 그 목적은 수평인 기준면에 대해 정지시킨 복수의 헤드 하방에서 기판을 통과시켜, 기판 상에 토출액을 토출시키는 토출 장치에 있어서의, 각 토출구의 청소와 검사를 할 수 있도록 구성된 메인터넌스 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 기판을 탑재하는 기판 탑재대를 수평으로 고정된 주레일 상에 탑재하고, 상기 기판 탑재대를 상기 주레일을 따라 이동시키고, 헤드 유지부의 하방을 통과시키고, 상기 헤드 유지부에 형성된 복수 헤드의 토출구로부터 토출액의 액적을 상기 기판 탑재대 상의 기판에 토출시키고, 착탄시키는 토출 장치의 상기 주레일을 따라 이동하는 메인터넌스 장치로서, 상기 메인터넌스 장치는, 상기 주레일 상에 탑재된 제 1 이동대와, 상기 제 1 이동대를 상기 주레일을 따라 이동시키는 주이동 장치와, 상기 제 1 이동대 상에 배치된 탑재대와, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키는 부이동 기구와, 상기 탑재대 상에 탑재된 검사 장치를 갖고, 상기 검사 장치는, 측정 대상물을 향해 조명광을 조사하는 조명 장치와, 상기 조명광이 조사된 상기 측정 대상물을 촬영하는 촬영 장치를 갖고, 상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 촬영 장치의 초점을, 상기 헤드의 각 상기 토출구로부터 토출되는 상기 액적의 비행 경로 상에 배치시키면, 상기 조명 장치는, 촬영하는 상기 액적의 비행 경로의 측방으로부터 상기 액적을 향해 상기 조명광을 조사하고, 상기 촬영 장치는, 촬영하는 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광이 입사되는 위치에서 촬영하도록 구성된 메인터넌스 장치이다.

본 발명은 메인터넌스 장치로서, 상기 액적의 촬영 결과로부터, 상기 액적을 토출한 상기 토출구의 양부 (良否) 를 판별하는 제어 장치를 갖는 메인터넌스 장치이다.

본 발명은 메인터넌스 장치로서, 상기 부이동 기구는, 상기 제 1 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 1 부레일과, 상기 탑재대와 상기 제 1 이동대 사이에서, 상기 제 1 부레일 상에 탑재된 제 2 이동대와, 상기 제 2 이동대를 상기 제 1 이동대 상에서 상기 제 1 부레일을 따라 이동시키는 제 1 부이동 장치와, 상기 제 2 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 2 부레일과, 상기 탑재대를 상기 제 2 이동대 상에서 상기 제 2 부레일을 따라 이동시키는 제 2 부이동 장치를 갖고, 상기 제 1 부레일과 상기 제 2 부레일 중 어느 일방은 상기 주레일과 평행하게 배치되고, 타방은 상기 주레일과 수직이면서 또한 수평으로 배치된 메인터넌스 장치이다.

본 발명은 메인터넌스 장치로서, 상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고, 상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 메인터넌스 장치이다.

본 발명은 메인터넌스 장치로서, 토출액을 흡수하는 흡수천과, 상기 흡수천을 연직 방향으로 이동시키는 승강 장치를 갖는 청소 장치가, 상기 탑재대 상에 형성되고, 상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 청소 장치를 상기 헤드의 하방에 배치시키면, 상기 청소 장치는 상기 흡수천을 상기 토출구에 접촉시켜, 상기 토출구에 부착된 상기 토출액을 제거하는 메인터넌스 장치이다.

본 발명은 기판을 탑재하는 기판 탑재대를 수평으로 고정된 주레일 상에 탑재하고, 상기 기판 탑재대를 상기 주레일을 따라 이동시키고, 헤드 유지부의 하방을 통과시키고, 상기 헤드 유지부에 형성된 복수 헤드의 토출구로부터 토출액의 액적을 상기 기판 탑재대 상의 기판에 토출시키고, 착탄시키는 토출 장치로서, 상기 토출 장치는 상기 주레일을 따라 이동하는 메인터넌스 장치를 갖고, 상기 메인터넌스 장치는, 상기 주레일 상에 탑재된 제 1 이동대와, 상기 제 1 이동대를 상기 주레일을 따라 이동시키는 주이동 장치와, 상기 제 1 이동대 상에 배치된 탑재대와, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키는 부이동 기구와, 상기 탑재대 상에 탑재된 검사 장치를 갖고, 상기 검사 장치는, 측정 대상물을 향해 조명광을 조사하는 조명 장치와, 상기 조명광이 조사된 상기 측정 대상물을 촬영하는 촬영 장치를 갖고, 상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 촬영 장치의 초점을, 상기 헤드의 각 상기 토출구로부터 토출되는 상기 액적의 비행 경로 상에 배치시키면, 상기 조명 장치는, 촬영하는 상기 액적의 비행 경로의 측방으로부터 상기 액적을 향해 상기 조명광을 조사하고, 상기 촬영 장치는, 촬영하는 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광이 입사되는 위치에서 촬영하도록 구성된 토출 장치이다.

본 발명은 토출 장치로서, 상기 메인터넌스 장치에는, 상기 액적의 촬영 결과로부터, 상기 액적을 토출한 상기 토출구의 양부를 판별하는 제어 장치가 형성된 토출 장치이다.

본 발명은 토출 장치로서, 상기 부이동 기구는, 상기 제 1 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 1 부레일과, 상기 탑재대와 상기 제 1 이동대 사이에서, 상기 제 1 부레일 상에 탑재된 제 2 이동대와, 상기 제 2 이동대를 상기 제 1 이동대 상에서, 상기 제 1 부레일을 따라 이동시키는 제 1 부이동 장치와, 상기 제 2 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 2 부레일과, 상기 탑재대를 상기 제 2 이동대 상에서, 상기 제 2 부레일을 따라 이동시키는 제 2 부이동 장치를 갖고, 상기 제 1 부레일과 상기 제 2 부레일 중 어느 일방은 상기 주레일과 평행하게 배치되고, 타방은 상기 주레일과 수직이면서 또한 수평으로 배치된 토출 장치이다.

본 발명은 토출 장치로서, 상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고, 상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 토출 장치이다.

본 발명은 토출 장치로서, 상기 메인터넌스 장치는, 토출액을 흡수하는 흡수천과, 상기 흡수천을 연직 방향으로 이동시키는 승강 장치를 갖는 청소 장치를 갖고, 상기 청소 장치는 상기 탑재대 상에 형성되고, 상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 청소 장치를 상기 헤드의 하방에 배치시키면, 상기 청소 장치는, 상기 흡수천을 상기 토출구에 접촉시켜, 상기 토출구에 부착된 상기 토출액을 제거하는 토출 장치이다.

토출액의 액적으로부터 토출구의 양부를 판단하기 때문에, 종래와 같이 시험 기판에 토출시킬 필요가 없어, 시험 기판만큼의 비용을 삭감할 수 있다.

불량인 토출구를 검지한 후, 청소하여 토출구를 부활시킬 수 있으면, 헤드를 교환할 필요가 없어져, 교환 헤드의 비용과 교환에 필요로 하는 시간이 삭감된다.

도 1 은 본 발명의 토출 장치의 일례의 평면도이다.
도 2 는 메인터넌스부의 정면도이다.
도 3 은 검사 장치의 구조를 설명하는 검사 장치의 측면도이다.
도 4 는 청소 장치의 구조를 설명하는 청소 장치의 측면도이다.
도 5 는 본 발명의 토출 장치의 일례의 측면도이다.

<토출 장치의 구조>

도 1 은 본 발명의 토출 장치 (70) 의 평면도를 나타내고, 도 5 는 측면도를 나타내고 있다.

토출 장치 (70) 는 수평인 기준면에 정지된 받침대 (71) 와, 받침대 (71) 상에 고정된 직선 형상의 주레일 (72) 과, 복수의 헤드 (81) 를 유지시키는 헤드 유지부 (80) 와, 기판 (95) 을 탑재할 수 있는 기판 이동부 (90) 와, 헤드 (81) 의 바닥면에 형성된 토출구 (82) 의 양부를 판단하고, 또한 토출구 (82) 에 부착된 토출액을 제거하는 메인터넌스 장치 (10) 를 갖고 있다.

이후, 주레일 (72) 을 따른 방향을 Y 방향, Y 방향과 수직인 수평 방향을 X 방향이라고 한다. 도 1 의 부호 1, 2 는 각각 X, Y 방향을 나타내고 있다.

기판 이동부 (90) 와 메인터넌스 장치 (10) 는 주레일 (72) 상에 배치되어 있다.

헤드 유지부 (80) 는 받침대 (71) 상에 고정된 지주 (73) 에 지지되고, 주레일 (72) 상에서, 기판 이동부 (90) 와 메인터넌스 장치 (10) 의 양방보다 높은 위치에 배치되어 있다.

헤드 유지부 (80) 는 복수의 헤드 (81) 를 갖고 있다. 각 헤드 (81) 의 바닥면에는 복수 개의 토출구 (82) 가 형성되고, 각 헤드 (81) 내에서 토출구 (82) 는 X 방향으로 평행한 토출구열 (83) 을 복수열 형성하여 배치되어 있다.

1 개의 헤드 (81) 중의 토출구 (82) 는 X 방향으로 등간격으로 배치되어 있고, 그 간격을 토출구 간격 (토출구의 중심간 거리) D 로 하면, 각 헤드 (81) 의 토출구 간격 D 끼리도 동일한 값으로 되어 있다.

각 헤드 (81) 는 헤드 (81) 의 X 방향의 길이가, 단부 (端部) 의 토출구 (82) 중심간의 X 방향의 거리에 토출구 간격 D 를 가산한 길이보다 크게 형성되어 있고, 따라서, 복수의 헤드 (81) 를 X 방향과 평행한 일렬로 나열하고, Y 방향의 위치를 동일하게 하면, 하나의 헤드 (81) 의 단부에 위치하는 토출구 (82) 와, 인접하는 헤드 (81) 의 단부에 위치하는 토출구 (82) 사이의 X 방향의 거리는, 토출구 간격 D 보다 큰 거리로 이간된다.

본 발명에서는 X 방향을 따라 나열되는 복수의 헤드 (81) 가, 상이한 헤드 (81) 의 단부의 토출구 (82) 사이에서도 X 방향의 거리가 토출구 간격 D 가 되도록, 인접하는 헤드 (81) 의 토출구 (82) 는 Y 방향에 대해 상이한 위치에 배치되어 있고, 인접하는 헤드 (81) 의 단부가 X 방향에 대해 중첩되어, 상이한 헤드 (81) 의 토출구 (82) 사이를 포함하여, 각 토출구 (82) 가 X 방향에 대해 토출구 간격 D 로 나열되도록 배치되어 있다.

이 경우, X 방향을 따라 나열되는 복수의 헤드 (81) 는, Y 방향에 대해 2 종류의 위치에 교대로 배치할 수 있고, 그와 같이 배치된 1 세트의 복수의 헤드 (81) 는, 지그재그로 배열되어 1 개의 헤드 세트 (84) 를 구성한다.

소정 수 n 의 헤드 세트 (84) 는 헤드 그룹 (85) 을 구성하고, 1 개의 헤드 그룹 (85) 중에서는, 1 개의 헤드 세트 (84) 중 인접하는 2 개의 토출구 (82) 사이에, 다른 헤드 세트의 토출구 (82) 가, X 방향으로 등간격 D/n 이 되도록 1 개씩 배치되어 있다.

헤드 유지부 (80) 는 도시하지 않은 잉크 탱크를 갖고, 각 잉크 탱크에는 R, G, B 의 3 색 중 1 색의 잉크 (토출액) 가 저장되어 있다. 각 헤드 (81) 는 헤드 그룹 (85) 마다 1 개의 잉크 탱크에 접속되어 있다.

각 토출구 (82) 는 각각 내부에 잉크가 채워진 잉크실을 갖고, 각 잉크실에는 압력 발생 장치가 각각 배치된다. 각 압력 발생 장치는 도시하지 않은 제어 장치로부터 전송되는 신호를 받아, 잉크실에 소정 압력을 발생시켜 토출구 (82) 로부터 소정 양의 잉크를 토출시킨다.

기판 이동부 (90) 는 위를 향한 면에 수평인 기판 탑재대 (91) 가 형성되어 있다. 기판 탑재대 (91) 상을 향한 면은 도시하지 않은 흡인구를 갖고, 흡인구는 도시하지 않은 진공 펌프에 접속되어 있다. 기판 (95) 을 기판 탑재대 (91) 상에 배치한 후, 진공 펌프로 배기를 실시하면, 기판 (95) 은 기판 탑재대 (91) 상에 진공 흡착되어 유지된다.

기판 (95) 상에는 R, G, B 의 각 색이 착탄되어야 할 영역 (착탄 위치) 이 정해져 있다. 기판 (95) 은 X, Y 방향과 각각 평행한 격자 형상을 한 블랙 매트릭스를 갖고, 각 착탄 위치는 블랙 매트릭스에 의해 구획된 영역에 배치되어 있다.

기판 (95) 의 X 방향에 인접하는 착탄 위치의 간격은, 1 개의 헤드 그룹 (85) 중 X 방향에 인접하는 토출구 간격 D/n 과 동일하거나, 또는 X 방향으로 인접하는 토출구 간격 D/n 의 정수배의 길이로 형성되어 있다.

기판 이동부 (90) 의 아래에는 제 1 주이동 기구가 형성되어 있다.

여기에서는, 주레일 (72) 과 기판 탑재대 (91) 사이에 제 1 가동 자석 (92) 이 배치되고, 주레일 (72) 에는 레일의 길이 방향에 걸쳐 고정 전자석이 형성되어 있으며, 주레일 (72) 과 제 1 가동 자석 (92) 으로 리니어 모터를 이루어, 제 1 주이동 기구를 구성하고 있다.

제 1 주이동 기구는 도시하지 않은 제어 장치로부터 전송되는 신호를 받으면, 주레일 (72) 의 고정 전자석의 자극을 레일의 길이 방향에 걸쳐 변화시켜, 받침대 (71) 에 대해 기판 탑재대 (91) 를 주레일 (72) 을 따라 Y 방향으로 이동시킨다.

기판 탑재대 (91) 를 갖는 기판 이동부 (90) 는, 주레일 (72) 을 따라 Y 방향으로 이동됨으로써, 헤드 유지부 (80) 아래를 왕복 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

토출 장치 (70) 의 도시하지 않은 제어 장치에는 이하의 순서로 기판 (95) 상에 토출액을 토출시키도록 설정되어 있다.

먼저, 기판 탑재대 (91) 상에 기판 (95) 을 탑재하는 위치인 시점 (始點) 에 기판 이동부 (90) 를 이동시키고, 도시하지 않은 로봇에 의해 기판 탑재대 (91) 상에 기판 (95) 을 반송하여 진공 흡착시킨 후, 도시하지 않은 위치 맞춤 카메라에 의해 기판 (95) 상의 각 착탄 위치가 소정 토출구 (82) 의 바로 아래를 통과할 수 있도록 위치를 맞춘다. 기판 이동부 (90) 를 헤드 유지부 (80) 의 하방을 통과시키는 동안에 소정 타이밍으로 각 토출구 (82) 로부터 토출액을 토출시키고, 기판 탑재대 (91) 상으로부터 기판 (95) 을 떼어내는 위치인 종점 (終點) 에 도달하면 기판 이동부 (90) 를 정지시키고, 기판 (95) 상의 토출액을 건조시킨 후, 기판 탑재대 (91) 상의 진공 흡착을 해제하여, 기판 (95) 을 도시하지 않은 로봇으로부터 떼어내게 한다.

이어서, 다시 시점에 기판 이동부 (90) 를 이동시키고, 다른 기판 (95) 을 기판 탑재대 (91) 상으로 반송하여, 상기 토출 공정을 반복시킨다.

도시하지 않은 제어 장치에는, 상기 토출 작업을 소정 매수의 기판 (95) 에 반복할 때마다, 메인터넌스 장치 (10) 를 헤드 유지부 (80) 의 하방으로 이동시켜, 후술하는 바와 같이 각 토출구 (82) 의 청소와 검사를 하도록 설정되어 있다.

도 2 는 메인터넌스 장치 (10) 의 정면도를 나타내고 있다.

메인터넌스 장치 (10) 는 제 1 이동대 (15a) 를 갖고 있다. 제 1 이동대 (15a) 는 주레일 (72) 상에 배치되어 있다.

메인터넌스 장치 (10) 아래에는 제 2 주이동 기구 (75 ; 주이동 장치) 가 형성되어 있다.

여기에서는, 주레일 (72) 과 제 1 이동대 (15a) 사이에 제 2 가동 자석 (11) 이 배치되고, 주레일 (72) 과 제 2 가동 자석 (11) 으로 리니어 모터인 제 2 주이동 기구 (75) 를 구성하고 있다.

제 2 주이동 기구 (75) 는 도시하지 않은 제어 장치로부터 전송되는 신호를 받으면, 주레일 (72) 의 고정 전자석의 자성을 레일의 길이 방향에 걸쳐 변화시키고, 받침대 (71) 에 대해 제 1 이동대 (15a) 를, 주레일 (72) 을 따라 Y 방향으로 이동시킨다.

제 1 이동대 (15a) 를 갖는 메인터넌스 장치 (10) 는, 주레일 (72) 을 따라 Y 방향으로 이동함으로써, 헤드 유지부 (80) 아래를 왕복 이동할 수 있도록 구성되어 있다.

제 1, 제 2 주이동 기구는 도시하지 않은 제어 장치에 의해 제어되어 있고, 각 토출로 (82) 의 청소 작업을 개시할 때에는, 먼저 기판 이동부 (90) 를 헤드 유지부 (80) 를 사이에 끼우고 메인터넌스 장치 (10) 와는 반대측으로 이동시켜 두고, 이어서 메인터넌스 장치 (10) 를 헤드 유지부 (80) 의 하방으로 이동시킨다. 메인터넌스 장치 (10) 의 Y 좌표는, 제어 장치에 의해 주레일 (72) 상의 이동량으로부터 측정되어 있다. 각 헤드 (81) 의 XY 좌표는 제어 장치에 기억되어 있고, 메인터넌스 장치 (10) 가 헤드 유지부 (80) 의 하방에 위치한 시점에서 이동을 정지시킨다. 또는, 메인터넌스 장치 (10) 의 이동량은, 육안으로 맞춰도 되고, 헤드 유지부 (80) 에 설치된 도시하지 않은 고정 카메라로 검출해도 된다.

메인터넌스 장치 (10) 는 토출구 (82) 로부터 토출된 토출액을 받아들이는 받침 접시 (12) 를 갖고 있다. 받침 접시 (12) 는 제 1 이동대 (15a) 상에 탑재되어 있다.

도시하지 않은 제어 장치는, 각 토출구 (82) 로부터 받침 접시 (12) 를 향해 고압으로 토출액을 토출시키고, 토출구 (82) 의 부착물을 불어 날려, 토출액과 토출구 (82) 의 부착물을 받침 접시 (12) 상에 낙하시킨다.

받침 접시 (12) 의 바닥부에는, 일단 (一端) 이 메인터넌스 장치 (10) 의 외부까지 연장된 폐액 파이프 (13) 의 타단 (他端) 이 접속되어, 받침 접시 (12) 에 고인 토출액을 메인터넌스 장치 (10) 의 밖으로 배출할 수 있도록 구성되어 있다.

이렇게 하여, 주레일 (72) 에 토출액이 부착됨으로써 메인터넌스 장치 (10) 나 기판 이동부 (90) 의 주레일 (72) 상의 이동에 지장이 발생하는 것을 방지하고 있다.

메인터넌스 장치 (10) 는 받침 접시 (12) 상에 토출액을 토출한 후 각 토출구 (82) 에 부착된 토출액을 제거하는 청소 장치 (30) 와, 각 토출구 (82) 에 부착된 토출액을 제거한 후 각 토출구 (82) 의 양부를 판단하는 검사 장치 (20) 를 갖고 있다.

메인터넌스 장치 (10) 의 제 1 이동대 (15a) 의 상방에는, 탑재대 (19) 와 제 2 이동대 (15b) 와, 직선 형상의 제 1, 제 2 부레일 (14a, 14b) 이 형성되어 있다.

검사 장치 (20) 와 청소 장치 (30) 의 양방은 탑재대 (19) 상에 탑재되어 있다.

제 1 이동대 (15a) 의 상방을 향한 면에는, 서로 평행한 2 개의 제 1 부레일 (14a) 이 고정되고, 이 2 개의 제 1 부레일 (14a) 상에는, 제 2 이동대 (15b) 가 탑재되어 있다.

또, 제 2 이동대 (15b) 의 상방을 향한 면에는, 서로 평행한 2 개의 제 2 부레일 (14b) 이 고정되고, 이 2 개의 제 2 부레일 (14b) 상에는 탑재대 (19) 가 탑재되어 있다.

제 2 이동대 (15b) 는 제 1 부레일 (14a) 에 대해 이동할 수 있도록 되어 있고, 탑재대 (19) 는 제 2 부레일 (14b) 에 대해 이동할 수 있도록 되어 있다.

제 2 이동대 (15b) 와 탑재대 (19) 아래에는 각각 제 1, 제 2 부이동 장치 (16a, 16b) 가 형성되어 있고, 각각 도시하지 않은 모터가 장착되어 있어, 도시하지 않은 제어 장치에 의해 제어되고, 제 2 이동대 (15b) 와 탑재대 (19) 는, 제 1 부레일 (14a) 과 제 2 부레일 (14b) 을 따라 각각 이동하도록 되어 있다.

제 1 부레일 (14a) 과 제 2 부레일 (14b) 중 어느 일방이 주레일 (72) 과 평행하게 배치되어 있고, 타방이 주레일 (72) 과 수직인 방향으로 배치되어 있다.

제 1 이동대 (15a) 는 전술한 바와 같이 주레일 (72) 을 따라 이동하여, 헤드 유지부 (80) 의 하방 위치에서 정지할 수 있도록 되어 있고, 그 상태에서 제 2 이동대 (15b) 와 탑재대 (19) 를 각각 제 1, 제 2 부레일 (14a, 14b) 을 따라 이동시키면, 제 1 이동대 (15a) 를 정지시키면서, 탑재대 (19) 를 XY 방향으로 이동시키고, 탑재대 (19) 상에 탑재된 검사 장치 (20) 와 청소 장치 (30) 를 각 헤드 (81) 의 하방으로 이동시킬 수 있다.

검사 장치 (20) 와 청소 장치 (30) 의 제 1 이동대 (15a) 상의 좌표는, 제어 장치에 의해 탑재대 (19) 의 제 1, 제 2 부레일 (14a, 14b) 상의 이동량으로부터 측정되어 있다. 검사 장치 (20) 와 청소 장치 (30) 의 제 1 이동대 (15a) 상의 좌표와, 제 1 이동대 (15a) 의 Y 좌표로부터, 검사 장치 (20) 와 청소 장치 (30) 의 XY 좌표가 구해진다. 각 헤드 (81) 의 XY 좌표는 제어 장치에 기억되어 있기 때문에, 검사 장치 (20) 나 청소 장치 (30) 를 각 헤드 (81) 의 바로 아래에서 정지시킬 수 있다.

도 4 는 청소 장치 (30) 의 구조를 설명하는 청소 장치 (30) 의 측면도이다.

청소 장치 (30) 는 토출액을 흡수하는 띠 형상의 흡수천 (32 ; 블로터) 과, 봉 형상의 제 1, 제 2 권취심 (34a, 34b) 과, 통 형상의 텐셔너 (31) 를 갖고 있다.

흡수천 (32) 의 폭 방향의 길이는 각 헤드 (81) 의 토출구열 (83) 의 길이보다 길게 형성되고, 흡수천 (32) 은 폭 방향을 토출구열 (83) 과 평행해지도록 배치되어 있다.

제 1, 제 2 권취심 (34a, 34b) 은 각각 길이 방향을 토출구열 (83) 과 평행해지도록 하여, 탑재대 (19) 상에 고정된 도시하지 않은 지주에 지지되고, 각각 X 방향 (토출구열 (83) 이 연장되는 방향) 을 축으로 하여 자전할 수 있도록 되어 있다.

흡수천 (32) 의 양단은 각각 제 1, 제 2 권취심 (34a, 34b) 에 감기고, 제 1, 제 2 권취심 (34a, 34b) 사이에서 흡수천 (32) 이 처지지 않도록 유지되어 있다.

텐셔너 (31) 의 길이 방향의 길이는 각 헤드 (81) 의 토출구열 (83) 의 길이보다 길게 형성되고, 길이 방향을 토출구열 (83) 과 평행해지도록 하여, 제 1, 제 2 권취심 (34a, 34b) 사이에서 흡수천 (32) 의 하방에 배치되어 있다.

텐셔너 (31) 의 하부에는 탑재대 (19) 상에 고정된 승강 장치 (33) 가 장착되어 있다. 승강 장치 (33) 는 도시하지 않은 모터를 갖고 있고, 도시하지 않은 제어 장치로부터 신호를 받으면, 텐셔너 (31) 를 탑재대 (19) 에 대해 연직 방향으로 이동시킨다.

텐셔너 (31) 는 헤드 (81) 에 눌러 대어지면, 1 개의 헤드 (81) 내에서 토출구열 (83) 과 수직인 방향으로 이간되어 배치된 복수의 토출구 (82) 에 일제히 접촉될 수 있도록, 변형되는 쿠션 소재로 형성되어 있다.

도시하지 않은 제어 장치에 의해, 텐셔너 (31) 가 헤드 (81) 의 바로 아래에 위치하도록 청소 장치 (30) 가 이동된 후, 승강 장치 (33) 가 제어되어 텐셔너 (31) 는 연직 상방으로 이동되고, 텐셔너 (31) 상의 흡수천 (32) 이 헤드 (81) 의 바닥면에 눌러 대어진다. 이 때, 텐셔너 (31) 상의 흡수천 (32) 은 1 개의 헤드 (81) 의 모든 토출구 (82) 에 접촉된다.

텐셔너 (31) 의 표면은, 예를 들어 테플론 시트 등이 가공되어 있어, 흡수천 (32) 이 미끄러지기 쉽도록 형성되어 있다.

텐셔너 (31) 상의 흡수천 (32) 이 헤드 (81) 의 바닥면에 눌려 대어진 후, 제 1, 제 2 권취심 (34a, 34b) 은 동일한 방향으로 자전되어, 텐셔너 (31) 상의 흡수천 (32) 은 토출구 (82) 에 부착된 토출액을 문지를 수 있다.

여기에서는, 텐셔너 (31) 의 내부 (35) 에는 밖으로부터 용해액이 공급되고, 텐셔너 (31) 의 표면에 형성된 작은 구멍 (36) 으로부터 흡수천 (32) 에 대해 용해액이 스며들도록 습식 와이프형으로 구성되어 있다. 습식 와이프형은 토출액이 마른 후의 토출구 (82) 의 막힘을 제거한다.

단 본 발명의 청소 장치 (30) 는 습식 와이프형에 한정되지 않고, 용해액을 사용하지 않는 건식 블롯형이어도 된다.

받침 접시 (12) 상에 토출액을 토출한 후 부착되어 있던 토출액이, 1 개의 헤드 (81) 의 각 토출구 (82) 로부터 제거된 후, 승강 장치 (33) 가 제어되어 텐셔너 (31) 는 연직 하방으로 이동되고, 흡수천 (32) 과 토출구 (82) 의 접촉이 해제되고, 이어서 검사 장치 (20) 가 동일한 헤드 (81) 내 하나의 토출구 (82) 의 하방으로 이동된다.

도 3 은 검사 장치 (20) 의 구조를 설명하는 검사 장치 (20) 의 측면도이다.

검사 장치 (20) 는 측정 대상물에 조명광 (29) 을 조사하는 조명 장치 (21) 와, 조명 장치 (21) 에 의해 조명광 (29) 이 조사된 측정 대상물을 촬영하는 촬영 장치 (22) 를 갖고 있다.

조명 장치 (21) 는 조명광 (29) 을 발생시켜 방출시키는 광원 (23) 과, 광원 (23) 이 방출한 조명광 (29) 을 반사하여, 조명광 (29) 의 진행 방향을 반광시키는 제 1 반사 수단 (24a) 을 갖고 있다.

여기에서는, 광원 (23) 은 각 헤드 (81) 의 토출구 (82) 가 위치하는 높이보다 하방에 배치되고, 제 1 반사 수단 (24a) 은 그 반사면의 적어도 일부는 토출구 (82) 의 높이와 광원 (23) 의 높이 사이에 위치하고 있고, 반사면은, 하방의 광원 (23) 이 방출한 조명광 (29) 을 반사하여, 수평 방향으로 송광시키도록 배치되어 있다. 따라서, 조명 장치 (21) 로부터는, 조명광 (29) 이 수평 방향으로 발사된다.

촬영 장치 (22) 는, 수평 방향으로 진행하는 광을 반사하고, 하방을 향해 송광하는 제 2 반사 수단 (24b) 과, 제 2 반사 수단 (24b) 보다 하방에 위치하고, 제 2 반사 수단 (24b) 으로부터 송광된 광을 수광하여 촬상하는 카메라 (25) 를 갖고 있다.

촬영 장치 (22) 는, 제 2 반사 수단 (24b) 이, 조명 장치 (21) 가 발사한 광을 반사하여 카메라 (25) 에 입사되도록, 조명 장치 (21) 에 대해 위치하고 있고, 따라서, 수평인 조명광 (29) 이 측정 대상물에 입사되면, 카메라 (25) 에 의해, 측정 대상물의 그림자, 또는 측정 대상물을 투과한 조명광 (29) 에 의한 이미지가 촬상된다.

조명 장치 (21) 와 촬영 장치 (22) 사이에서 송수신되는 수평인 조명광 (29) 은, 토출구열 (83) 이 연장되는 방향에 대해 수직이 되도록, 조명 장치 (21) 와 촬영 장치 (22) 의 상대 위치가 설정되어 있고, 그 상태를 유지하여, 탑재대 (19) 의 이동에 의해, 각 헤드 (81) 의 하방을 송광할 수 있도록 되어 있다.

카메라 (25) 는 카메라 전면 (前面) 의 렌즈로부터, 광로상 일정한 거리 이간한 위치에 초점 (28) 이 위치하도록 구성되어 있고, 여기에서는, 초점 (28) 이, 제 1, 제 2 반사 수단 (24a, 24b) 사이에 위치하고 있다.

여기에서는, 검사 장치 (20) 는 차광성 소재로 형성된 검사 케이스체 (26)을 갖고 있고, 광원 (23) 과 카메라 (25) 는 검사 케이스체 (26) 의 내부에 배치되어 있다. 이와 같이 하여, 검사 케이스체 (26) 는 광원 (23) 과 카메라 (25) 각각의 전자 기기 부분이 토출액에 젖는 것을 방지하고 있다. 또 검사 케이스체 (26) 는 카메라 (25) 의 수광부에 밖으로부터 여분의 광이 입사되는 것을 방지하고 있다.

제 1, 제 2 반사 수단 (24a, 24b) 은 검사 케이스체 (26) 상에서, 각각 광원 (23) 과 카메라 (25) 의 바로 위의 위치에 탑재되어 있다. 검사 케이스체 (26) 의 제 1, 제 2 반사 수단 (24a, 24b) 의 바로 아래 부분은, 조명광 (29) 을 투과시킬 수 있도록 형성되어 있다.

받침 접시 (12) 상에 토출액을 토출한 후 부착되어 있던 토출액이, 1 개의 헤드 (81) 의 각 토출구 (82) 로부터 제거된 후, 정지한 제 1 이동대 (15a) 상에서 탑재대 (19) 를 이동시킴으로써, 카메라 (25) 의 초점 (28) 이 1 개의 토출구 (82) 의 바로 아래에 위치하도록 검사 장치 (20) 를 이동시키고, 이어서 토출구 (82) 로부터 토출액을 토출시킨다.

검사 케이스체 (26) 의 위를 향한 면의 제 1, 제 2 반사 수단 (24a, 24b) 사이의 부분에는 오목형 배액로 (27) 가 형성되어 있다. 배액로 (27) 는 검사 케이스체 (26) 상에 낙하되는 토출액의 액적을 수용하고, 받침 접시 (12) 를 향해, 메인터넌스 장치 (10) 의 다른 부분을 토출액에 의해 오염되지 않도록 배출할 수 있게 구성되어 있다.

초점 (28) 바로 위의 토출구 (82) 로부터 토출액을 토출시켰을 때, 하방 (12) 을 향해 비행하는 액적에 조명 장치 (21) 로부터 조명광 (29) 을 조사하고, 조명광 (29) 이 조사된 액적을 촬영 장치 (22) 는 촬영하고, 촬영 이미지는 도시하지 않은 제어 장치에 기록된다.

예를 들어 정상적인 토출구 (82) 로부터 토출된 액적의 데이터가 미리 설정되어 있어, 촬영 이미지를 이 설정값과 비교하여, 토출구 (82) 의 양부가 판단된다.

판단 기준은, 예를 들어 비행 중 액적의 형태, 크기, 위치 (속도), 비행 방향, 분리된 액적의 유무 등이다.

토출구 (82) 의 양부의 결과는 도시하지 않은 제어 장치에 기억되고, 이어서, 동일한 헤드 (81) 의 동일한 토출구열 (83) 중에서 인접하는 토출구 (82) 의 바로 아래에 카메라 (25) 의 초점 (28) 을 이동시켜, 토출구 (82) 의 검사를 반복한다.

1 개의 헤드 (81) 의 1 개의 토출구열 (83) 중 모든 토출구 (82) 의 검사가 끝나면, 동일한 헤드 (81) 의 Y 방향에 인접하는 토출구열 (83) 중 1 개의 토출구 (82) 의 바로 아래로 초점 (28) 을 이동시키고, 그 인접하는 토출구열 (83) 중에서 토출구 (82) 의 검사를 반복한다.

1 개의 헤드 (81) 의 모든 토출구 (82) 의 검사가 끝났을 때, 불량인 토출구 (82) 가 1 개 이상 있으면, 청소 장치 (30) 를 다시 동일한 헤드 (81) 의 하방으로 이동시켜, 토출구 (82) 의 부착물을 흡수천 (32) 으로 닦아내게 하고, 이어서 불량인 토출구 (82) 에 카메라 (25) 의 초점 (28) 을 이동시켜 다시 검사시킨다.

1 개의 헤드 (81) 의 모든 토출구 (82) 의 검사 결과가 양호해지면, 메인터넌스 장치 (10) 를 X 방향에 인접하는 헤드 (81) 의 하방으로 이동시켜, 그 헤드 (81) 의 토출구 (82) 에 대해 상기 서술한 청소와 검사를 실시시킨다.

또는, 동일한 헤드 (81) 에서 토출구 (82) 의 청소와 검사를 소정 횟수 반복해도, 불량인 토출구 (82) 가 1 개 이상 남으면, 후술하는 모든 헤드 (81) 의 검사가 끝난 후에 그 헤드 (81) 를 교환하기 위해, 그 헤드 (81) 의 위치를 제어 장치에 기억해 두고, 이어서 상기와 마찬가지로 메인터넌스 장치 (10) 를 X 방향으로 인접하는 헤드 (81) 의 하방으로 이동시켜, 그 헤드 (81) 의 토출구 (82) 에 대해 상기 서술한 청소와 검사를 실시시킨다.

X 방향으로 나열된 모든 헤드 (81) 의 검사가 끝나면, 메인터넌스 장치 (10)를 Y 방향으로 인접하는 헤드 (81) 의 하방으로 이동시켜, 그 헤드 (81) 와 X 방향으로 나열된 모든 헤드 (81) 에서 동일한 작업을 반복한다.

헤드 유지부 (80) 가 유지하는 모든 헤드 (81) 의 청소와 검사가 끝난 후에, 회복할 수 없었던 불량인 토출구 (82) 를 갖는 헤드 (81) 는, 검사가 완료된 스페어 헤드 (81) 로 교환된다.

이어서, 메인터넌스 장치 (10) 는 헤드 유지부 (80) 에 대해 기판 이동부 (90) 와 반대측으로 이동되어, 헤드 유지부 (80) 의 하방으로부터 메인터넌스 장치 (10) 를 꺼내고, 이어서 기판 (95) 에 대한 토출 공정이 재개된다.

10 …… 메인터넌스 장치
14a, 14b …… 제 1, 제 2 부레일
15a, 15b …… 제 1, 제 2 이동대
16a, 16b …… 제 1, 제 2 부이동 장치
19 …… 탑재대
20 …… 검사 장치
21 …… 조명 장치
22 …… 촬영 장치
23 …… 광원
24a, 24b …… 제 1, 제 2 반사 수단
25 …… 카메라
28 …… 초점
29 …… 조명광
30 …… 청소 장치
32 …… 흡수천
33 …… 승강 장치
70 …… 토출 장치
72 …… 주레일
75 …… 주이동 장치
80 …… 헤드 유지부
81 …… 헤드
82 …… 토출구
91 …… 기판 탑재대
95 …… 기판

Claims (18)

1. 기판을 탑재하는 기판 탑재대를 수평으로 고정된 주레일 상에 탑재하고, 상기 기판 탑재대를 상기 주레일을 따라 이동시키고, 헤드 유지부의 하방을 통과시키고, 상기 헤드 유지부에 형성된 복수 헤드의 토출구로부터 토출액의 액적을 상기 기판 탑재대 상의 기판에 토출시키고, 착탄시키는 토출 장치의 상기 주레일을 따라 이동하는 메인터넌스 장치로서,
   상기 메인터넌스 장치는,
   상기 주레일 상에 탑재된 제 1 이동대와,
   상기 제 1 이동대를 상기 주레일을 따라 이동시키는 주이동 장치와,
   상기 제 1 이동대 상에 배치된 탑재대와,
   상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키는 부이동 기구와,
   상기 탑재대 상에 탑재된 검사 장치를 갖고,
   상기 검사 장치는,
   측정 대상물을 향해 조명광을 조사하는 조명 장치와,
   상기 조명광이 조사된 상기 측정 대상물을 촬영하는 촬영 장치를 갖고,
   상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 촬영 장치의 초점을, 상기 헤드의 각 상기 토출구로부터 토출되는 상기 액적의 비행 경로 상에 배치시키면,
   상기 조명 장치는, 촬영하는 상기 액적의 비행 경로의 측방으로부터 상기 액적을 향해 상기 조명광을 조사하고,
   상기 촬영 장치는, 촬영하는 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광이 입사되는 위치에서 촬영하도록 구성된 메인터넌스 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 액적의 촬영 결과로부터, 상기 액적을 토출한 상기 토출구의 양부 (良否) 를 판별하는 제어 장치를 갖는 메인터넌스 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 부이동 기구는,
   상기 제 1 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 1 부레일과,
   상기 탑재대와 상기 제 1 이동대 사이에서, 상기 제 1 부레일 상에 탑재된 제 2 이동대와,
   상기 제 2 이동대를 상기 제 1 이동대 상에서, 상기 제 1 부레일을 따라 이동시키는 제 1 부이동 장치와,
   상기 제 2 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 2 부레일과,
   상기 탑재대를 상기 제 2 이동대 상에서, 상기 제 2 부레일을 따라 이동시키는 제 2 부이동 장치를 갖고,
   상기 제 1 부레일과 상기 제 2 부레일 중 어느 일방은 상기 주레일과 평행하게 배치되고, 타방은 상기 주레일과 수직이면서 또한 수평으로 배치된 메인터넌스 장치.
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 부이동 기구는,
   상기 제 1 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 1 부레일과,
   상기 탑재대와 상기 제 1 이동대 사이에서, 상기 제 1 부레일 상에 탑재된 제 2 이동대와,
   상기 제 2 이동대를 상기 제 1 이동대 상에서, 상기 제 1 부레일을 따라 이동시키는 제 1 부이동 장치와,
   상기 제 2 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 2 부레일과,
   상기 탑재대를 상기 제 2 이동대 상에서, 상기 제 2 부레일을 따라 이동시키는 제 2 부이동 장치를 갖고,
   상기 제 1 부레일과 상기 제 2 부레일 중 어느 일방은 상기 주레일과 평행하게 배치되고, 타방은 상기 주레일과 수직이면서 또한 수평으로 배치된 메인터넌스 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
   상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 메인터넌스 장치.
6. 제 2 항에 있어서,
   상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
   상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 메인터넌스 장치.
7. 제 3 항에 있어서,
   상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
   상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 메인터넌스 장치.
8. 제 4 항에 있어서,
   상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
   상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 메인터넌스 장치.
9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
   토출액을 흡수하는 흡수천과, 상기 흡수천을 연직 방향으로 이동시키는 승강 장치를 갖는 청소 장치가, 상기 탑재대 상에 형성되고,
   상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 청소 장치를 상기 헤드의 하방에 배치시키면,
   상기 청소 장치는, 상기 흡수천을 상기 토출구에 접촉시켜, 상기 토출구에 부착된 상기 토출액을 제거하는 메인터넌스 장치.
10. 기판을 탑재하는 기판 탑재대를 수평으로 고정된 주레일 상에 탑재하고, 상기 기판 탑재대를 상기 주레일을 따라 이동시키고, 헤드 유지부의 하방을 통과시키고, 상기 헤드 유지부에 형성된 복수 헤드의 토출구로부터 토출액의 액적을 상기 기판 탑재대 상의 기판에 토출시키고, 착탄시키는 토출 장치로서,
    상기 토출 장치는 상기 주레일을 따라 이동하는 메인터넌스 장치를 갖고,
    상기 메인터넌스 장치는,
    상기 주레일 상에 탑재된 제 1 이동대와,
    상기 제 1 이동대를 상기 주레일을 따라 이동시키는 주이동 장치와,
    상기 제 1 이동대 상에 배치된 탑재대와,
    상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키는 부이동 기구와,
    상기 탑재대 상에 탑재된 검사 장치를 갖고,
    상기 검사 장치는,
    측정 대상물을 향해 조명광을 조사하는 조명 장치와,
    상기 조명광이 조사된 상기 측정 대상물을 촬영하는 촬영 장치를 갖고,
    상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 촬영 장치의 초점을, 상기 헤드의 각 상기 토출구로부터 토출되는 상기 액적의 비행 경로 상에 배치시키면,
    상기 조명 장치는, 촬영하는 상기 액적의 비행 경로의 측방으로부터 상기 액적을 향해 상기 조명광을 조사하고,
    상기 촬영 장치는, 촬영하는 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광이 입사되는 위치에서 촬영하도록 구성된 토출 장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 메인터넌스 장치에는, 상기 액적의 촬영 결과로부터, 상기 액적을 토출한 상기 토출구의 양부를 판별하는 제어 장치가 형성된 토출 장치.
12. 제 10 항에 있어서,
    상기 부이동 기구는,
    상기 제 1 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 1 부레일과,
    상기 탑재대와 상기 제 1 이동대 사이에서, 상기 제 1 부레일 상에 탑재된 제 2 이동대와,
    상기 제 2 이동대를 상기 제 1 이동대 상에서, 상기 제 1 부레일을 따라 이동시키는 제 1 부이동 장치와,
    상기 제 2 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 2 부레일과,
    상기 탑재대를 상기 제 2 이동대 상에서, 상기 제 2 부레일을 따라 이동시키는 제 2 부이동 장치를 갖고,
    상기 제 1 부레일과 상기 제 2 부레일 중 어느 일방은 상기 주레일과 평행하게 배치되고, 타방은 상기 주레일과 수직이면서 또한 수평으로 배치된 토출 장치.
13. 제 11 항에 있어서,
    상기 부이동 기구는,
    상기 제 1 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 1 부레일과,
    상기 탑재대와 상기 제 1 이동대 사이에서, 상기 제 1 부레일 상에 탑재된 제 2 이동대와,
    상기 제 2 이동대를 상기 제 1 이동대 상에서, 상기 제 1 부레일을 따라 이동시키는 제 1 부이동 장치와,
    상기 제 2 이동대 상에 고정된 직선 형상의 제 2 부레일과.
    상기 탑재대를 상기 제 2 이동대 상에서, 상기 제 2 부레일을 따라 이동시키는 제 2 부이동 장치를 갖고,
    상기 제 1 부레일과 상기 제 2 부레일 중 어느 일방은 상기 주레일과 평행하게 배치되고, 타방은 상기 주레일과 수직이면서 또한 수평으로 배치된 토출 장치.
14. 제 10 항에 있어서,
    상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
    상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 토출 장치.
15. 제 11 항에 있어서,
    상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
    상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 토출 장치.
16. 제 12 항에 있어서,
    상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
    상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 토출 장치.
17. 제 13 항에 있어서,
    상기 조명 장치는, 상기 조명광을 발생시키는 광원과, 하방 위치로부터 상방을 향해 송광되는 상기 조명광을 반사하고, 수평으로 송광하여, 측정 대상인 상기 액적을 향해 조사하는 제 1 반사 수단을 갖고,
    상기 촬영 장치는, 상기 액적을 향해 조사된 상기 조명광을 반사하고, 하방으로 송광하는 제 2 반사 수단과, 상기 제 2 반사 수단으로부터 송광된 상기 조명광을 수광하여, 이미지를 촬영하는 카메라를 갖는 토출 장치.
18. 제 10 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인터넌스 장치는, 토출액을 흡수하는 흡수천과, 상기 흡수천을 연직 방향으로 이동시키는 승강 장치를 갖는 청소 장치를 갖고,
    상기 청소 장치는 상기 탑재대 상에 형성되고,
    상기 제 1 이동대를 상기 헤드 유지부의 하방으로 이동시켜 정지시키고, 상기 제 1 이동대가 정지된 상태에서, 상기 탑재대를 상기 제 1 이동대 상에서 이동시키고, 상기 청소 장치를 상기 헤드의 하방에 배치시키면,
    상기 청소 장치는, 상기 흡수천을 상기 토출구에 접촉시켜, 상기 토출구에 부착된 상기 토출액을 제거하는 토출 장치.
    

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