JP5391524B2 - インクジェットヘッド管理装置 - Google Patents
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従って、次世代の2m角を超えるようなサイズのCF製造ラインをフォトリソ方式で構築する場合、装置自体のコストが現ライン以上に高くなるとともにサイズアップによるフットプリントの拡大によって建屋にかかるコストも嵩んでしまい、イニシャルコストの大幅なアップが予想される。
また、現像される余分なインクの増加や現像液等の材料使用量の増加によりランニングコストも更に上がることが予想でき、前述したコストダウン要求を満たすことは困難である。
また、塗工材料も必要最小量であり、更にフォトリソ方式で必要であった現像液等が不要となるため、ランニングコストも削減することが可能である。
これらを防止するためには定期的にヘッドからの液出し、ヘッドを駆動させミスト状の予備吐出を行ったり、ヘッド吐出面に付着した汚れを定期的にクリーニングする機能、また塗工前にヘッドの吐出状態を検査することにより不良を未然に防ぐ機能が必要である。
インクジェットヘッドを最良の状態に維持するために、複数の液摘出ヘッド保守ユニットを高いスペース効率で配置することにより、装置全体としてスペースを有効に活用することができる液摘出装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
少なくとも、
(a)前記インクジェットヘッド内への通液と、前記インクジェットヘッド内のエア抜きと、前記インクジェットヘッドの吐出口からの定期的な液出しと、を行うためのドレン機能と、予備吐出の際に前記インクジェットヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット10と、
(b)洗浄液をしみ込ませた洗浄部材21を、前記インクジェットヘッドの吐出面に押し当ててインクジェットヘッド吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット20と、
(c)塗工前のインクジェットヘッドの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット30と、
(d)インクジェット塗工装置からインクジェットヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット40と、
(e)前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置50と、を有し、
前記インクジェットヘッドより排出された前記ミスト状インクを収集する前記機能は、真空発生器13による排気を用いたものであり、
前記ヘッド洗浄ユニット20は、前記洗浄部材21を繰出す巻出部と、前記巻出部から繰出された前記洗浄部材21に前記洗浄液をしみ込ませる洗浄液吐出ローラ23と、洗浄処理後に前記洗浄部材21を巻取る巻取部と、前記洗浄部材21の下面にインク浸透防止部材22を繰出可能な機構とを有し、
前記ヘッドユニットは球状の溝を有し、前記ヘッドユニット着脱ユニット40は、先頭が球状をした4本の支持ピン42を含みエアベアリングによりフローティングしている支持ブロック41を有し、ラフな位置合わせしか行わなくても前記支持ブロック41は前記支持ピン42が前記球状の溝に誘い込まれるようにフローティング状態で適切に位置決めする機構である、ことを特徴とするインクジェットヘッド管理装置としたものである。
また本願の第二の発明は、前記インクジェット塗工装置の両側に設置される、インクジェットヘッド管理装置であって、
前記液出し・予備吐出ユニット10、前記ヘッド洗浄ユニット20及び前記吐出状態検査ユニット30は共通の台車に搭載され共通の走行軸を持ち、前記ヘッドユニット着脱ユニット40は単独の台車に設置され独立した走行軸を持ち、それぞれ制御装置50にて任意の位置に停止することができ、
前記インクジェット塗工装置は、前記ヘッドユニットと基板吸着ステージとを有し、前記ヘッドユニットの下を前記基板吸着ステージがスキャンして塗工を行うものであり、
前記インクジェット塗工装置の前記基板吸着ステージが行う前記スキャンの方向と平行に、前記インクジェット塗工装置の両側に設置される、ことを特徴とする、第一の発明のインクジェットヘッド管理装置である。
図1は、本発明のインクジェットヘッド管理装置の模式構成図を、図2は、本発明のインクジェットヘッド管理装置の一実施例を示す模式上面図を、図3は、本発明のインクジェットヘッド管理装置の模式側面図をそれぞれ示す。
本発明のインクジェットヘッド管理装置100は、図1〜図3に示すように、ヘッド通液やエアパージまたは定期的な液排出のためのドレン機能と、予備吐出の際のヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット10と、洗浄部材にてインクジェットヘッド吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット20と、塗工前のインクジェットヘッドの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット30と、インクジェット塗工装置からインクジェットヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット40と、前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置50と、で構成されている。
また、インクジェットヘッドより排出されたミスト状インクを収集することを目的としており、ミスト状インクがヘッド吐出面への再付着または周辺への飛散を防止する為ブロアまたは真空発生器等によって排気(収集)を行う。
また、着脱ユニットはヘッドユニット交換や緊急時など使用頻度が低い為、独立した走行軸を持たせており、ヘッド方向への横移動と昇降によりインクジェット塗工装置と着脱を行う。
また、ヘッドの管理が必要な場合はヘッドの位置に各処理ユニットが定位置に来るように移動制御を行う。
インクジェット塗工装置200は、インクジェットヘッドを搭載したヘッドユニット210と基板吸着ステージ220とで構成されており、ヘッドユニット210下を定位置で基板吸着ステージ220がスキャンすることにより塗工を行う。
本発明のインクジェットヘッド管理装置100は、インクジェット塗工装置200の両側に設置されている。
液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20及びヘッド吐出状態検査ユニット30は、共通の台車に搭載され、走行軸を持っている。また、ヘッドユニット着脱ユニット40は、単独で走行軸を有し、レール230上を移動し、制御装置50にて任意の位置に停止することができる。
ここでは、液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20及びヘッド吐出状態検査ユニット30を共通の台車に、ヘッドユニット着脱ユニット40を単独の台車に設置した事例を示したが、これは、あくまでも一例であって、これに限定されるものではない。
)は、図5(a)をA−A’線で切断した模式構成断面図を、図6は、液排出部11及びミスト排出部12で発生した廃液のフロー図をそれぞれ示したもので、液排出部11でヘッドユニットへのインク通液、エアパージ、乾燥防止の為の定期的な液出しを行う。廃液は図6に示すように、ドレンタンク14に自然落下させるしくみとなっている。
ヘッド洗浄ユニット20では、洗浄液をしみ込ませた洗浄部材21をヘッド吐出面に押し当てることにより、ヘッド吐出面の汚れを除去するもので、洗浄部材21の巻き出しを行う巻出部27aと、洗浄処理の終わった洗浄部材21を巻き取ると巻取部27bとを備えており、洗浄部材21の繰出し、巻取りを行う。
巻出部27aは、例えば機械式のクラッチブレーキを使用し、巻取部27bはサーボモータ等を使用し、送り速度の調整を可能とする。送り量は送り量検知ローラによって行い、ローラ先に接続されたパルスカウンタ等により検知する。
洗浄部材21の下面にはインキ浸透防止部材22があり、巻出部28aと巻取部28bを有し、繰出可能な機構となっている。
移動と同時に洗浄部材21の巻取部27aを駆動させ、送り量検知ローラによって指定送り量の洗浄部材21を繰出す。その際に洗浄液吐出ローラ23から洗浄液を吐出させ、必要箇所のみ洗浄部材に浸透させる。
当てた後、図9に示す転位シリンダ26によりローラを指定位置まで転位させ、昇降シリンダ25を下降、転位シリンダ26を戻す。
ヘッド吐出状態検査ユニット30は、インク浸透性のある受像フィルム31を巻出すための巻出部33aと巻き取るための巻取部33bとを有し、インク浸透性のある受像フィルム31をニップローラ32により繰出を行うとともに、ニップローラ32の巻取側と巻出側の径によらず一定に保つべくテンションコントローラを設置している。
検出手順は、まず、制御装置50よりの検査指令とともに必要量の受像フィルム31を繰出す。
図12に示すように、吐出タイミングを変えながら全色の検出用パターンを受像フィルム31に印字する。
吐出状態の判定は輝度で代用して判定する。吐出部は吐出していない部分と比較して輝度が低く、閾値の設定により、吐出欠陥のあるヘッド番地とそのヘッドのノズル番号が検出可能である。
上記一連の動作制御、判定は、制御装置50にて行う。
ヘッドユニット着脱ユニット40は、複数個を配列したヘッドを着脱する為の機構であり、ヘッドユニット210は先頭が球状をした4本の支持ピン42で支持されている。
ヘッドユニット210の着脱動作は、液出し・予備吐出ユニット10、ヘッド洗浄ユニット20、ヘッド吐出状態検査ユニット30を搭載した走行台車をヘッドユニット210の位置より図4に示す左側に退避して行う。
ヘッドユニット着脱ユニットはヘッドユニット210方向へ移動し、リフタ上昇と横移動、リフタ下降の組合せにより着脱動作を行う。
11……液排出部
12……ミスト排出部
13……真空発生器
14……ドレンタンク
15……トラップタンク
16……開閉ダンパ
20……ヘッド洗浄ユニット
21……洗浄部材
22……インク浸透防止材
23……洗浄液吐出ローラ
24……押当ローラ
25……昇降シリンダ
26……転移シリンダ
27a、28a……巻出部
27b、28b……巻取部
30……ヘッド吐出状態検査ユニット
31……受像フィルム
32……ニップローラ
33a……巻出部
33b……巻取部
40……ヘッドユニット着脱ユニット
41……支持ブロック
42……支持ピン
43……位置決めシリンダ
50……制御装置
100……インクジェットヘッド管理装置
200……インクジェット塗工装置
210……ヘッドユニット
220……基板吸着ステージ
230……レール
310……カメラ
320……白色照明
Claims (2)
- インクジェット塗工装置のインクジェットヘッドの管理を行うインクジェットヘッド管理装置であって、
少なくとも、
(a)前記インクジェットヘッド内への通液と、前記インクジェットヘッド内のエア抜きと、前記インクジェットヘッドの吐出口からの定期的な液出しと、を行うためのドレン機能と、予備吐出の際に前記インクジェットヘッドより排出されたミスト状インクを収集する機能とを有する液出し・予備吐出ユニット(10)と、
(b)洗浄液をしみ込ませた洗浄部材(21)を、前記インクジェットヘッドの吐出面に押し当ててヘッドユニット吐出面の洗浄を行うヘッド洗浄ユニット(20)と、
(c)塗工前のヘッドユニットの吐出状態の検査を行うヘッド吐出状態検査ユニット(30)と、
(d)インクジェット塗工装置からヘッドユニットを着脱するためのヘッドユニット着脱ユニット(40)と、
(e)前記インクジェット塗工装置と連携して上記各種ユニットの移動と動作制御とを行う制御装置(50)と、を有し、
前記インクジェットヘッドより排出された前記ミスト状インクを収集する前記機能は、真空発生器(13)による排気を用いたものであり、
前記ヘッド洗浄ユニット(20)は、前記洗浄部材(21)を繰出す巻出部と、前記巻出部から繰出された前記洗浄部材(21)に前記洗浄液をしみ込ませる洗浄液吐出ローラ(23)と、洗浄処理後に前記洗浄部材(21)を巻取る巻取部と、前記洗浄部材(21)の下面にインク浸透防止部材(22)を繰出可能な機構とを有し、
前記ヘッドユニットは球状の溝を有し、前記ヘッドユニット着脱ユニット(40)は、先頭が球状をした4本の支持ピン(42)を含みエアベアリングによりフローティングしている支持ブロック(41)を有し、ラフな位置合わせしか行わなくても前記支持ブロック(41)は前記支持ピン(42)が前記球状の溝に誘い込まれるようにフローティング状態で適切に位置決めする機構である、ことを特徴とするインクジェットヘッド管理装置。 - 前記インクジェット塗工装置の両側に設置される、インクジェットヘッド管理装置であって、
前記液出し・予備吐出ユニット(10)、前記ヘッド洗浄ユニット(20)及び前記吐出状態検査ユニット(30)は共通の台車に搭載され共通の走行軸を持ち、前記ヘッドユニット着脱ユニット(40)は単独の台車に設置され独立した走行軸を持ち、それぞれ制御装置(50)にて任意の位置に停止することができ、
前記インクジェット塗工装置は、前記ヘッドユニットと基板吸着ステージとを有し、前記ヘッドユニットの下を前記基板吸着ステージがスキャンして塗工を行うものであり、
前記インクジェット塗工装置の前記基板吸着ステージが行う前記スキャンの方向と平行に、前記インクジェット塗工装置の両側に設置される、ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド管理装置。
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