JP2012121001A - インク吐出ノズル詰まり検査方法および検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の吐出ノズルから塗布液を吐出することにより基板に塗布液を塗布する塗布装置の前記吐出ノズルの詰まりを、前記吐出ノズルから検査液体を吐出することで検査するノズル詰まり検査方法であって、前記吐出ノズルから検査液体を吐出し、ターゲットである検査面に着弾させる検査液体吐出工程と、前記検査面に着弾した前記検査液体の液滴の着弾状態と、前記吐出ノズルに詰まりが無い場合の着弾状態とを比較することにより、前記吐出ノズル詰まりの有無を検査する検査工程と、を有し、検査液体吐出工程の検査液体は前記塗布液よりも粘度が低い液体であることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
2 塗布装置
3 塗布部
10 塗布ヘッド
11 吐出ノズル
12 塗布ステージ
20 液体供給部
21 液滴
22 検査液体
23 検査液体タンク
24 塗布液
25 塗布液タンク
26 配管流路切り替え機構
27 検査液体配管
28 塗布液配管
30 検査面
31 帯状フィルム
40 画像取得部
41 画像認識カメラ
42 解析装置
51 カメラX軸
52 カメラY軸
53 塗布ヘッドY軸
61 ガイドローラ
62 着弾領域
63 吸着テーブル
W 基板
Claims (5)
- 複数の吐出ノズルから塗布液を吐出することにより基板に塗布液を塗布する塗布装置の前記吐出ノズルの詰まりを、前記吐出ノズルから検査液体を吐出することで検査するノズル詰まり検査方法であって、
前記吐出ノズルから検査液体を吐出し、ターゲットである検査面に着弾させる検査液体吐出工程と、
前記検査面に着弾した前記検査液体の液滴の着弾状態と、前記吐出ノズルに詰まりが無い場合の着弾状態とを比較することにより、前記吐出ノズル詰まりの有無を検査する検査工程と、
を有し、
検査液体吐出工程の検査液体は前記塗布液よりも粘度が低い液体であることを特徴とする、ノズル詰まり検査方法。 - 前記検査液体は、前記吐出ノズルを洗浄するために用いる洗浄液であることを特徴とする、請求項1に記載のノズル詰まり検査方法。
- 複数の吐出ノズルから塗布液を吐出することにより基板に塗布液を塗布する塗布装置の前記吐出ノズルの詰まりを、前記吐出ノズルから検査液体を吐出することで検査するノズル詰まり検査装置であって、
前記検査液体の液滴を着弾させるターゲットである検査面と、
前記検査面に着弾した前記液滴のパターンを画像認識する画像認識カメラと、
前記画像認識カメラで読み込んだデータを解析してノズルの詰まりの有無を確認する解析装置と、
を備え、
前記検査液体は前記塗布液よりも粘度が低い液体であることを特徴とする、ノズル詰まり検査装置。 - 前記検査液体は、前記吐出ノズルを洗浄するために用いる洗浄液であることを特徴とする、請求項3に記載のノズル詰まり検査装置。
- 前記塗布液を貯蔵する塗布液タンクと、
前記検査液体を貯蔵する検査液体タンクと、
前記吐出ノズルとつながる配管流路を切り替える配管流路切り替え機構と、
をさらに備え、前記配管流路切り替え機構により、ノズル詰まり検査時は前記吐出ノズルとの配管流路を前記塗布液タンクから前記検査液体タンクに切り替え、該吐出ノズルから該検査液体タンク内の前記検査液体を検査面に着弾させることを特徴とする、請求項3または4に記載のノズル詰まり検査装置。
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