JP6041220B2 - 溶液吐出装置の検査方法およびデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の一態様に係る溶液吐出装置の検査方法は、溶液吐出装置が有する複数の吐出口から吐出対象物に向けて吐出される液滴の着弾精度を検査する溶液吐出装置の検査方法であって、前記複数の吐出口から液滴を吐出させ、それら液滴を前記吐出対象物の表面における検査領域に付着させる吐出工程と、前記検査領域を複数の撮像領域に分けて撮像領域毎に異なるタイミングでそれら撮像領域を撮像し、付着した前記各液滴を含む前記各撮像領域内の各付着物の画像を取得する撮像工程と、前記各画像に基づいて前記各付着物の付着面積を読み取る読取工程と、前記撮像領域毎に、前記付着面積が付着面積規格の範囲内であると判断された付着物の中から主滴を判別する判別工程と、前記主滴と判別された付着物の画像に基づいて着弾精度を評価する評価工程と、を含み、前記付着面積規格の上限値および下限値のそれぞれは、前記撮像工程における撮像のタイミングに応じて設定されており、第1のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値よりも、前記第1のタイミングよりも後の第2のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値の方が小さい。
上記したように、検査領域に着弾後の液滴は常に乾燥しており、乾燥により付着面積が減少するため、パターンマッチングにより主滴を判別し、高精度で溶液吐出装置の着弾精度の検査を行なうことは容易ではない。
(全体構成)
図1は、本発明の一態様に係る溶液吐出装置の主要構成を示す図である。図2は、本発明の一態様に係る溶液吐出装置の機能ブロック図である。
作業テーブル110は、いわゆるガントリー式の作業テーブルであって、吐出対象物200が載置される板状の基台111と、基台111の上方に配置された長尺状の移動架台112とを備える。
ヘッド部120は、本体部121、インクジェットヘッド122、および撮像装置123を備える。本体部121は、作業テーブル110の台座116に固定され、インクジェットヘッド122と撮像装置123は、本体部121に取り付けられている。
制御装置130は、CPU131、記憶手段(HDD等の大容量記憶手段を含む)132、表示手段(ディスプレイ)133、入力手段134で構成される。制御装置130は具体的にはパーソナルコンピュータ(PC)である。
(第1の実施形態)
図4は、第1の実施形態に係る溶液吐出装置の検査方法を示す工程図である。図5は、第1の実施形態において主滴判別の対象となる付着物を示す図である。図6は、第1の実施形態に係るデータテーブルを示す図である。図7は、第1の実施形態に係る液滴の付着面積の経時的な減少傾向を示す図である。
図8は、第2の実施形態に係る溶液吐出装置の検査方法を示す工程図である。図9は、第2の実施形態において主滴判別の対象となる付着物を示す図である。図10は、第2の実施形態に係るデータテーブルを示す図である。図11は、第2の実施形態に係る主滴判別の判別パターンを示す図である。
以上、本発明の一態様に係る溶液吐出装置の検査方法を具体的に説明してきたが、上記検査方法は、本発明の構成および作用・効果を分かり易く説明するために用いた例であって、本発明の内容は、上記の実施の形態に限定されない。
図14は、変形例2において主滴判別の対象となる付着物を示す図である。図15は、変形例2に係るデータテーブルを示す図である。図16は、変形例2に係る主滴判別の判別パターンを示す図である。
次に、1つの撮像領域I1〜Inに対象狙い位置が複数存在する場合について説明する。図17は、変形例3において主滴判別の対象となる付着物を示す図である。図18は、変形例3に係るデータテーブルを示す図である。変形例3は、第2の実施形態の変形例であって、1つの撮像領域I1〜Inに対象狙い位置が複数存在する点が、1つの撮像領域I1〜Inに対象狙い位置が1つしか存在しない第2の実施形態とは異なる。
図19は、本発明の一態様に係るデバイスの製造方法を示す工程図である。図20は、本発明の一態様に係るデバイスの概略構成を示す断面図である。
124d 吐出口
200 吐出対象物
210 表面
211 検査領域
223,323,333 狙い位置
300 デバイス
307,308 機能層
311,312 検査領域
I1〜I15 撮像領域
Claims (8)
- 溶液吐出装置が有する複数の吐出口から吐出対象物に向けて吐出される液滴の着弾精度を検査する溶液吐出装置の検査方法であって、
前記複数の吐出口から液滴を吐出させ、それら液滴を前記吐出対象物の表面における検査領域に付着させる吐出工程と、
前記検査領域を複数の撮像領域に分けて撮像領域毎に異なるタイミングでそれら撮像領域を撮像し、付着した前記各液滴を含む前記各撮像領域内の各付着物の画像を取得する撮像工程と、
前記各画像に基づいて前記各付着物の付着面積を読み取る読取工程と、
前記撮像領域毎に、前記付着面積が付着面積規格の範囲内であると判断された付着物の中から主滴を判別する判別工程と、
前記主滴と判別された付着物の画像に基づいて着弾精度を評価する評価工程と、
を含み、
前記付着面積規格の上限値および下限値のそれぞれは、前記撮像工程における撮像のタイミングに応じて設定されており、第1のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値よりも、前記第1のタイミングよりも後の第2のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する値の方が小さい
溶液吐出装置の検査方法。 - 前記付着面積規格の下限値と上限値との差は、前記第1のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する差よりも、前記第2のタイミングで撮像された撮像領域内の各付着物に対する差の方が小さい
請求項1に記載の溶液吐出装置の検査方法。 - 前記判別工程において、前記各撮像領域から何れかの付着物を選択し、それら付着物の付着面積に基づいて付着面積の経時的な減少傾向に関する近似線を作成し、前記近似線に基づいて前記付着面積規格の上限値および下限値を設定する
請求項1に記載の溶液吐出装置の検査方法。 - 前記検査領域には、前記複数の吐出口のそれぞれに対応した狙い位置が表示されており、
前記吐出工程において、前記各吐出口から前記各狙い位置に向けて液滴を吐出させ、
前記読取工程において、前記各画像に基づいて前記各付着物の前記各狙い位置からの位置ずれ量を読み取り、
前記判別工程において、前記撮像領域毎に、前記付着面積が前記付着面積規格の範囲内であり、かつ、前記位置ずれ量が位置ずれ量規格の範囲内である付着物の中から主滴を判別する
請求項1に記載の溶液吐出装置の検査方法。 - 前記検査領域には、前記複数の吐出口のそれぞれに対応した狙い位置が表示されており、
前記吐出工程において、前記各吐出口から前記各狙い位置に向けて液滴を吐出させ、
前記読取工程において、前記各画像に基づいて前記各付着物の前記各狙い位置からの位置ずれ量を読み取り、
前記判別工程において、前記撮像領域毎に、前記付着面積が前記付着面積規格の範囲内であり、かつ、前記位置ずれ量が最も小さい付着物を主滴と判別する
請求項1に記載の溶液吐出装置の検査方法。 - 前記検査領域は、互いに離間する複数に分割されていると共に、前記分割された検査領域のいずれかには、前記複数の吐出口のいずれかに対応した狙い位置が表示されており、
前記吐出工程において、隣り合う前記吐出口からは、それぞれ異なる前記検査領域に表示されている狙い位置に向けて液滴を吐出させる
請求項1に記載の溶液吐出装置の検査方法。 - 前記判別工程において、前記付着面積が付着面積規格の範囲内であると判断された付着物が1つの撮像領域に複数存在する場合は、それら付着物に対してパターンマッチングを行ない主滴を判別する
請求項1に記載の溶液吐出装置の検査方法。 - 前記溶液吐出装置が有する前記複数の吐出口から機能層形成対象物に向けて機能性材料を含む溶液を吐出し、前記機能層形成対象物に付着した前記溶液を乾燥させて機能層を形成する機能層形成工程を含むデバイスの製造方法であって、
前記機能層形成工程の前に、請求項1〜7に記載の溶液吐出装置の検査方法を実施し、検査の合格基準として定められた着弾精度を満たさなかった場合は前記溶液吐出装置の調整を行なう
デバイスの製造方法。
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