CN101927608B

CN101927608B - 维护装置及喷出装置

Info

Publication number: CN101927608B
Application number: CN 201010208492
Authority: CN
Inventors: 井上祐也; 滑川巧; 马场惠; 羽根功二; 前川原博实
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2009-06-18
Filing date: 2010-06-18
Publication date: 2013-02-06
Anticipated expiration: 2030-06-18
Also published as: JP5274389B2; CN101927608A; KR101207244B1; TWI404571B; JP2011002641A; KR20100136422A; TW201111048A

Abstract

本发明涉及维护装置及喷出装置。本发明提供一种以在头的下方移动且能进行喷出口的清扫和检查的方式构成的维护装置及具有维护装置的喷出装置。本发明的维护装置(10)沿喷出装置(70)的主导轨(72)移动，该喷出装置(70)是使基板(95)沿主导轨(72)移动，并通过头保持部(80)的下方，从多个头(81)的喷出口(82)使喷出液的液滴喷出，并命中到基板(95)。维护装置(10)具有：载置于主导轨(72)上的第一移动台(15a)；配置于第一移动台(15a)上的载置台(19)；载置于载置台(19)上的检查装置(20)和清扫装置(30)。通过使第一移动台(15a)沿主导轨(72)移动到头保持部(80)的下方，然后，通过使载置台(19)在第一移动台(15a)上移动，使清扫装置(30)配置于各头(81)的正下方，进而能除去喷出口(82)的附着物，或者，使检查装置(20)的摄像机的焦点配置于各喷出口(82)的正下方，并对喷出液的液滴进行摄影，进而能检查喷出口(82)。

Description

维护装置及喷出装置

技术领域

本发明涉及一种喷出口的维护装置及具有维护装置的喷出装置。

背景技术

伴随近年信息化社会的发展，对更大型的液晶显示装置的需求急剧增加，希望提高其生产性。在彩色液晶显示装置中，为使显示图像彩色化而使用彩色滤色器，彩色滤色器是通过在基板上的规定区域以规定的图案配置R(红)、G(绿)、B(蓝)三色油墨而制成的。

目前，油墨的喷出中大多采用喷墨(ink jet)方式。而在喷墨方式中存在，因喷出口周边及内部的油墨干燥固化或者灰尘附着于喷出口，而变得在喷出口产生堵塞或者喷出口的附着物成为阻碍，进而导致油墨的命中精度恶化这样的课题。

为解决该课题，如专利文献2及专利文献3所记载的装置，需要检测不良的喷出口的检查装置和从不良的喷出口擦去附着物的清扫装置。

在采用了以使头在基板上扫描的方式往返移动并在基板上喷出油墨的头移动方式的专利文献1记载的装置中，如专利文献2所记载的那样，将检查装置和清扫装置设置于不在基板的移动区域的别的场所，并使头移动到检查装置及清扫装置上进行不良喷出口的检查和清扫。

但是，在头移动方式的装置中，与基板的大型化成比例，油墨的喷出需要长的时间，另外，在均匀且以规定的间隔命中油墨时，对头的控制就变得很难。

为对大型的基板喷出油墨，需要采用头固定方式，该头固定方式是使多个头静止于基板的移动区域上，使基板在其下通过，且在基板上喷出油墨的方式。

专利文献1：(日本)特开平11-248925号公报

专利文献2：(日本)特开2003-191492号公报

专利文献3：(日本)特开2008-265321号公报

发明内容

本发明是为解决上述现有技术的不良情况而开发的，其目的在于提供一种维护装置，该维护装置构成为，能进行使基板在相对于水平基准面静止的多个头的下方通过，并向基板上喷出喷出液的喷出装置中的、各喷出口的清扫和检查。

为解决上述课题，本发明提供一种维护装置，沿喷出装置的主导轨移动，该喷出装置是将载置基板的基板载置台载置于水平固定的主导轨上，使所述基板载置台沿所述主导轨移动，并通过头保持部的下方，从设置于所述头保持部的多个头的喷出口，使喷出液的液滴喷出，并命中到所述基板载置台上的基板的喷出装置，该维护装置具有：载置于所述主导轨上的第一移动台；使所述第一移动台沿所述主导轨移动的主移动装置；配置于所述第一移动台上的载置台；使所述载置台在所述第一移动台上移动的副移动机构；以及载置于所述载置台上的检查装置，所述检查装置具有：向测定对象物照射照明光的照明装置；以及对照射了所述照明光的所述测定对象物进行摄影的摄影装置，当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述摄影装置的焦点配置于从所述头的各所述喷出口喷出的所述液滴的飞行路径上时，所述照明装置从摄影的所述液滴的飞行路径的侧方，向所述液滴照射所述照明光，所述摄影装置在向摄影的所述液滴照射的所述照明光入射的位置进行摄影。

本发明提供维护装置，其中，具有：控制装置，从所述液滴的摄影结果判别喷出所述液滴的所述喷出口是否良好。

本发明提供维护装置，其中，所述副移动机构具有：固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；在所述载置台和所述第一移动台之间，载置于所述第一副导轨上的第二移动台；使所述第二移动台在所述第一移动台上沿所述第一副导轨移动的第一副移动装置；固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及使所述载置台在所述第二移动台上沿所述第二副导轨移动的第二副移动装置，所述第一副导轨和所述第二副导轨的任一个与所述主导轨平行地配置，另一个与所述主导轨垂直且水平地配置。

本发明提供维护装置，其中，所述照明装置具有：光源，产生所述照明光；以及第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，所述摄影装置具有：第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。

本发明提供维护装置，其中，具有吸收喷出液的吸收布和使所述吸收布在垂直方向移动的升降装置的清扫装置被设置于所述载置台上，当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述清扫装置配置于所述头的下方时，所述清扫装置使所述吸收布与所述喷出口接触，除去附着于所述喷出口的所述喷出液。

本发明提供一种喷出装置，将载置基板的基板载置台载置于水平固定的主导轨上，使所述基板载置台沿所述主导轨移动，并通过头保持部的下方，从设置于所述头保持部的多个头的喷出口，使喷出液的液滴喷出，并命中到所述基板载置台上的基板，所述喷出装置具有沿所述主导轨移动的维护装置，所述维护装置具有：载置于所述主导轨上的第一移动台；使所述第一移动台沿所述主导轨移动的主移动装置；配置于所述第一移动台上的载置台；使所述载置台在所述第一移动台上移动的副移动机构；以及载置于所述载置台上的检查装置，所述检查装置具有：向测定对象物照射照明光的照明装置；以及对照射了所述照明光的所述测定对象物进行摄影的摄影装置，当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述摄影装置的焦点配置于从所述头的各所述喷出口喷出的所述液滴的飞行路径上时，所述照明装置从摄影的所述液滴的飞行路径的侧方，向所述液滴照射所述照明光，所述摄影装置在向摄影的所述液滴照射的所述照明光入射的位置进行摄影。

本发明提供喷出装置，其中，在所述维护装置中设有控制装置，该控制装置从所述液滴的摄影结果判别喷出所述液滴的所述喷出口是否良好。

本发明提供喷出装置，其中，所述副移动机构具有：固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；在所述载置台和所述第一移动台之间，载置于所述第一副导轨上的第二移动台；使所述第二移动台在所述第一移动台上沿所述第一副导轨移动的第一副移动装置；固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及使所述载置台在所述第二移动台上沿所述第二副导轨移动的第二副移动装置，所述第一副导轨和所述第二副导轨的任一个与所述主导轨平行地配置，另一个与所述主导轨垂直且水平地配置。

本发明提供喷出装置，其中，所述照明装置具有：光源，产生所述照明光；以及第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，所述摄影装置具有：第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。

本发明提供喷出装置，其中，所述维护装置具有清扫装置，该清扫装置具有吸收喷出液的吸收布和使所述吸收布在垂直方向移动的升降装置，所述清扫装置被设置于所述载置台上，当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述清扫装置配置于所述头的下方时，所述清扫装置使所述吸收布与所述喷出口接触，除去附着于所述喷出口的所述喷出液。

本发明由于从喷出液的液滴来判断喷出口是否良好，所以不需要如现有技术那样喷出到试验基板，可缩减试验基板这方面的成本。

本发明在检测到不良的喷出口之后，只要清扫就能使喷出口恢复，则就没有必要将头进行更换，从而缩减更换头的成本和更换所需要的时间。

附图说明

图1是本发明喷出装置的一例的平面图；

图2是维护部的正面图；

图3是说明检查装置的结构的检查装置的侧面图；

图4是说明清扫装置的结构的清扫装置的侧面图；

图5是本发明喷出装置的一例的侧面图；

符号说明

10……维护装置

14a、14b……第一、第二副导轨

15a、15b……第一、第二移动台

16a、16b……第一、第二副移动台

19……载置台

20……检查装置

21……照明装置

22……摄影装置

23……光源

24a、24b……第一、第二反射单元

25……摄像机

28……焦点

29……照明光

30……清扫装置

32……吸收布

33……升降装置

70……喷出装置

72……主导轨

75……主移动装置

80……头保持部

81……头

82……喷出口

91……基板载置台

95……基板

具体实施方式

<喷出装置的结构>

图1表示本发明的喷出装置70的平面图，图5表示侧面图。

喷出装置70具有：静止于水平基准面的台座71、固定于台座71上的直线状的主导轨72、保持多个头81的头保持部80、可载置基板95的基板移动部90、判断设于头81的底面的喷出口82是否良好且除去附着于喷出口82的喷出液的维护装置10。

以下，将沿主导轨72的方向称为Y方向，将与Y方向垂直的水平方向称为X方向。图1的符号1、2分别表示X、Y方向。

基板移动部90和维护装置10配置于主导轨72上。

头保持部80由固定在台座71上的支柱73支承，且在主导轨72上配置于比基板移动部90和维护装置10双方都高的位置。

头保持部80具有多个头81。在各头81的底面设有多个喷出口82，在各头81内，配置有形成多列喷出口82平行于X方向的喷出口列83。

一个头81中的喷出口82在X方向等间隔配置，当将该间隔设为喷出口间隔(喷出口的中心间距离)D时，各头81的喷出口间隔D彼此之间也成为同一值。

各头81形成为，头81的X方向的长度大于端部的喷出口82的中心间的X方向的距离加上喷出口间隔D后的长度，因此，在将多个头81排列成与X方向平行的一列，且使Y方向的位置相同时，位于一个头81的端部的喷出口82与位于相邻的头81的端部的喷出口82之间的X方向的距离以比喷出口间隔D大的距离分开。

在本发明中，以沿X方向排列的多个头81即便在不同的头81的端部的喷出口82间，X方向的距离也为喷出口间隔D的方式，将邻接的头81的喷出口82相对于Y方向配置于不同的位置，邻接的头81的端部相对于X方向重合，包含不同的头81的喷出口82间，将各喷出口82相对于X方向以喷出口间隔D排列的方式进行配置。

该情况下，沿X方向排列的多个头81能相对于Y方向交互配置在两种位置，这样配置的一组多个头81被交错排列，构成一个头组84。

规定数n的头组84构成头群85，在一个头群85中，在一个头组84中的邻接的两个喷出口82之间，以在X方向成等间隔D/n的方式各配置一个其它的头组的喷出口82。

头保持部80具有未图示的墨盒，在各墨盒中贮存有R、G、B三色中的一种颜色的油墨(喷出液)。各头81按每个头群85与一个墨盒连接。

各喷出口82分别具有在其内部装满油墨的油墨室，在各油墨室分别配置有压力产生装置。各压力产生装置接受从未图示的控制装置传送的信号，使油墨室内产生规定的压力，从喷出口82喷出规定量的油墨。

基板移动部90在朝向上方的面设有水平的基板载置台91。朝向基板载置台91上方的面具有未图示的吸引口，吸引口与未图示的真空泵连接。在将基板95配置于基板载置台91上之后，用真空泵进行排气时，基板95被真空吸附并保持于基板载置台91上。

在基板95上规定有R、G、B各色应命中的区域(命中位置)。基板95具有在X、Y方向分别形成平行的格子状的黑底(black matrix)，各命中位置被配置于由黑底划分出的区域。

与基板95的X方向相邻的命中位置的间隔与一个头群85中的X方向邻接的喷出口间隔D/n相同，或者形成为在X方向邻接的喷出口间隔D/n的整数倍的长度。

在基板移动部90之下设有第一主移动机构。

在此，在主导轨72与基板载置台91之间配置有第一可变磁铁92，在主导轨72上，遍及导轨的长度方向设有固定电磁铁，由主导轨72和第一可变磁铁92构成直线电动机，进而构成第一主移动机构。

当第一主移动机构接受从未图示的控制装置传送的信号时，使主导轨72的固定电磁铁的磁极遍及导轨的长度方向变化，使基板载置台91相对于台座71沿主导轨72在Y方向移动。

具有基板载置台91的基板移动部90以通过沿主导轨72在Y方向移动，能在头保持部80之下往返移动的方式构成。

对喷出装置70的未图示的控制装置，以按下面的顺序将喷出液喷出到基板95上的方式进行设定。

首先，在基板载置台91上载置基板95的位置即起点使基板移动部90移动，在通过未图示的自动装置将基板95搬送到基板载置台91上并进行真空吸附之后，通过未图示的对位摄像机，以能通过规定的喷出口82的正下方的方式对基板95上的各命中位置进行对位。在基板移动部90通过头保持部80的下方的期间，按规定的定时从各喷出口82喷出喷出液，在到达从基板载置台91上卸下基板95的位置即终点之后，使基板移动部90静止，在使基板95上的喷出液干燥之后，解除基板载置台91上的真空吸附，由未图示的自动装置卸下基板95。

其次，使基板移动部90再次移动到起点，将另一基板95搬送到基板载置台91上，重复上述的喷出工序。

对未图示的控制装置进行如下设定，即，在规定片数的基板95上每次重复上述喷出作业时，使维护装置10移动到头保持部80的下方，如后述那样进行各喷出口82的清扫和检查。

图2是表示维护装置10的正面图。

维护装置10具有第一移动台15a。第一移动台15a配置于主导轨72上。

在维护装置10之下设有第二主移动机构(主移动装置)75。

在此，在主导轨72与第一移动台15a之间配置有第二可变磁铁11。由主导轨72和第二变磁铁11构成直线电动机即第二主移动机构75。

当第二主移动机构75接受从未图示的控制装置传送的信号时，使主导轨72的固定磁铁的磁性遍及导轨的长度方向变化，使第一移动台15a相对于台座71沿主导轨72在Y方向移动。

具有第一移动台15a的维护装置10，通过沿主导轨72在Y方向移动，以能在头保持部80之下进行往返移动的方式来构成。

第一、第二主移动机构由未图示的控制装置来控制，在开始各喷出口82的清扫作业时，首先使基板移动部90将头保持部80夹在其间向维护装置10的相反侧移动，然后，使维护装置10向头保持部10的下方移动。维护装置10的Y坐标通过控制装置从主导轨72上的移动量进行测定。各头81的XY坐标存储于控制装置，在维护装置10位于头保持部80的下方时停止移动。或者，维护装置10的移动量既可以目测，也可以由设置于头保持部80的未图示的固定摄像机进行检测。

维护装置10具有承接从喷出口82喷出的喷出液的托盘12。托盘12载置于第一移动台15a上。

未图示的控制装置从各喷出口82向托盘12以高压喷出喷出液，将喷出口82的附着物吹掉，使喷出液和喷出口82的附着物落在托盘12上。

在托盘12的底部连接有一端延伸至维护装置10的外部的废液管13的另一端，能将积存于托盘12的喷出液排出到维护装置10的外面。

这样，可防止因喷出液附着于主导轨72而使维护装置10及基板移动部90在主导轨72上的移动中产生障碍。

维护装置10具有：在喷出液喷出到托盘12上之后将附着于各喷出口82的喷出液除去的清扫装置30、和在除去附着于各喷出口82的喷出液之后判断各喷出口82是否良好的检查装置20。

在维护装置10的第一移动台15a的上方设有：载置台19、第二移动台15b、直线状的第一、第二副导轨14a、14b。

检查装置20和清扫装置30双方都载置于载置台19上。

在朝向第一移动台15a的上方的面上，固定有彼此平行的两条第一副导轨14a，在该两条第一副导轨14a上载置有第二移动台15b。

另外，在朝向第二移动台15b的上方的面上，固定有彼此平行的两条第二副导轨14b，在该两条第一副导轨14b上载置有载置台19。

第二移动台15b被做成相对于第一副导轨14a可移动，载置台19被做成相对于第二副导轨14b可移动。

在第二移动台15b和载置台19之下分别设有第一、第二副移动装置16a、16b，分别安装有未图示的电动机，由未图示的控制装置进行控制，第二移动台15b和载置台19做成分别沿第一副导轨14a和第二副导轨14b移动。

第一副导轨14a和第二副导轨14b中任一方与主导轨72平行地配置，另一方配置于与主导轨72垂直的方向。

第一移动台15a被做成，如上述那样沿主导轨72移动，且能在头保持部80的下方位置静止，当在该状态下使第二移动台15b和载置台19分别沿第一、第二副导轨14a、14b移动时，能一边使第一移动台15a静止，一边使载置台19在XY方向移动，进而能使载置于载置台19上的检查装置20和清扫装置30移动到各头81的下方。

检查装置20和清扫装置30的第一移动台15a上的坐标，通过控制装置且从载置台19在第一、第二副导轨14a、14b上的移动量来测定。从检查装置20和清扫装置30的第一移动台15a上的坐标和第一移动台15a的Y坐标，求出检查装置20和清扫装置30的XY坐标。由于各头81的XY坐标存储于控制装置，因而能使检查装置20及清扫装置30在各头81的正下方静止。

图4是说明清扫装置30的结构的清扫装置30的侧面图。

清扫装置30具有：吸收喷出液的带状的吸收布(吸墨纸)32、棒状的第一、第二卷绕芯34a、34b、筒状的张紧器31。

吸收布32的宽度方向的长度大于各头81的喷出口列83的长度，吸收布32以使宽度方向与喷出口列83平行的方式配置。

第一、第二卷绕芯34a、34b分别以使长度方向成为与喷出口列83平行的方式被固定在载置台19上的未图示的支柱来支承，且分别以X方向(喷出口列83延伸的方向)为轴进行自转。

吸收布32的两端分别卷绕在第一、第二卷绕芯34a、34b，在第一、第二卷绕芯34a、34b之间保持为吸收布不松弛。

张紧器31的长度方向的长度大于各头81的喷出口列83的长度，以使长度方向与喷出口列83平行的方式，在第一、第二卷绕芯34a、34b之间配置于吸收布32的下方。

在张紧器31的下部安装有固定在载置台19上的升降装置33。升降装置33具有未图示的电动机，当从未图示的控制装置接受信号时，使张紧器31相对于载置台19在垂直方向移动。

张紧器31由变形的缓冲材料形成，以便当推碰到头81时，能一齐接触到在一个头81内与喷出口列83垂直的方向分开配置的多个喷出口82。

通过未图示的控制装置，以使张紧器31位于头81的正下方的方式使清扫装置30移动之后，控制升降装置33使张紧器31在铅直上方移动，将张紧器31上的吸收布32推碰到头81的底面。此时，张紧器31上的吸收布32与一个头81的所有喷出口82接触。

张紧器31的表面如下形成，例如加工成聚四氟乙烯片等，使吸收布32易于滑动。

当张紧器31上的吸收布32被推碰到头81的底面之后，第一、第二卷绕芯34a、34b在同一方向自转，张紧器31上的吸收布32能擦去附着于喷出口82的喷出液。

在此，以从外面向张紧器31的内部供给溶解液，且通过设于张紧器31的表面的小孔36使溶解液渗透到吸收布32的方式，构成湿巾型。湿巾型除去喷出液干燥后的喷出口82的堵塞。

但是，本发明的清扫装置30不限于湿巾型，也可以是不使用溶解液的干式转渍型。

将喷出液喷出到托盘12上之后附着的喷出液，从一个头81的各喷出口82除去之后，控制升降装置33使张紧器31在垂直方向移动，解除吸收布32和喷出口82的接触，然后，使检查装置20移动到相同的头81内的一个喷出口82的下方。

图3是说明检查装置20的结构的检查装置20的侧面图。

检查装置20具有：向测定对象物照射照明光29的照明装置21、和对由照明装置21照射了照明光29的测定对象物进行摄影的摄影装置22。

照明装置21具有：产生并发出照明光29的光源23、对光源23发出的照明光29进行反射并在照明光29的前进方向返光的第一反射单元24a。

在此，光源23配置于各头81的喷出口82所处的高度的下方，第一反射单元24a的反射面的至少一部分位于喷出口82的高度与光源23的高度之间，反射面以对下方光源23发出的照明光29进行反射并沿水平方向送光的方式配置。因此，基于照明装置21，照明光29在水平方向发射。

摄影装置22具有：将在水平方向前进的光反射并向下方送光的第二反射单元24b、位于第二反射单元24b的更下方且接受从第二反射单元24b送出的光而进行摄像的摄像机25。

摄影装置22以第二反射单元24b将照明装置21发射的光进行反射并入射到摄像机25的方式相对于照明装置21被配置，因此，当水平的照明光29入射到测定对象物时，通过摄像机25，对对象物的阴影、或者对由透过测定对象物的照明光29所产生的图像进行摄像。

以在照明装置21与摄影装置22之间传送的水平的照明光29相对于喷出口列83延伸的方向成垂直的方式，设定照明装置21和摄影装置22的相对位置，维持该状态并通过载置台19的移动，能在各头81的下方送光。

摄像机25以使焦点28位于从摄像机前面的镜头离开光路上一定距离的位置的方式构成，在此，焦点28位于第一、第二反射单元24a、24b之间。

在此，检查装置20具有由遮光性的材料形成的检查框体26，光源23和摄像机25配置于检查框体26的内部。这样，检查框体26防止喷出液浸湿光源23和摄像机25的各自的电子仪器部分。另外，检查框体26防止多余的光从外入射到摄像机25的感光部。

第一、第二反射单元24a、24b分别在检查框体26上被载置于光源23和摄像机25的正上方的位置。检查框体26的第一、第二反射单元24a、24b的正下方部分以能透过照明光29的方式来形成。

在将喷出液喷出到托盘12上之后附着的喷出液，从一个头81的各喷出口82除去之后，通过使载置台19在静止的第一移动台15a上移动，以使摄像机25的焦点28位于一个喷出口82的正下方的方式移动检查装置20，然后，从喷出口82喷出喷出液。

在朝向检查框体26之上的面的第一、第二反射单元24a、24b之间的部分，设有凹型的排液路27。排液路27构成为，承接落到检查框体26上的喷出液的液滴，并朝向托盘12，以使维护装置10的其它部分不受喷出液污染的方式排出喷出液。

当从焦点28的正上方的喷出口82喷出喷出液时，从照明装置21使照明光29照射到向下飞行的液滴，摄影装置22对被照明光29照射的液滴进行摄影，将摄影图像记录于未图示的控制装置。

例如，预先设定从正常的喷出口82喷出的液滴的数据，将摄影图像与该设定值进行比较，来判断喷出口82是否良好。

判定基准是，例如飞行中的液滴的形状、大小、位置(速度)、飞行方向、有无分离的液滴等。

将喷出口82是否良好的结果存储于未图示的控制装置，然后，使摄像机25的焦点移动到相同的头81的相同喷出口列83中邻接的喷出口82的正下方，重复喷出口82的检查。

当一个头81的一个喷出口列83中的所有喷出口82的检查结束后，使焦点28移动到在相同的头81的Y方向邻接的喷出口列83中的一个喷出口82的正下方，在该邻接的喷出口列83中重复喷出口82的检查。

当一个头81的所有喷出口82的检查结束时，如果不良的喷出口82有一个以上，则使清扫装置30再次移动到相同的头81的下方，用吸收布32擦去喷出口82的附着物，然后，使摄像机25的焦点28移动到不良的喷出口82再次进行检查。

一个头81的所有喷出口82的检查结果都达到良好时，使维护装置10移动到在X方向邻接的头81的下方，对该头81的喷出口82执行上述那样的清扫和检查。

或者，即便在相同的头81上重复规定次数的喷出口82的清扫和检查，当不良喷出口82仍残留有一个以上时，如后述那样，在所有的头81的检查结束之后，为更换该头81，而将该头81的位置存储于控制装置，其次，与上述同样地使维护装置10移动到在X方向邻接的头81的下方，对该头81的喷出口82执行上述那样的清扫和检查。

当在X方向排列的所有头81的检查结束后，使维护装置10移动到在Y方向邻接的头81的下方，在该头81和在X方向排列的所有头81，重复同样的作业。

在头保持部80所保持的所有头81的清扫和检查结束之后，将具有不可恢复的不良喷出口82的头81与完成检查的备用头81进交换。

接着，使维护装置10相对于头保持部80向基板移动部90的相反侧移动，从头保持部80的下方取出维护装置10，然后，再次开始向基板95的喷出工序。

Claims

1.一种维护装置，沿喷出装置的主导轨移动，所述喷出装置为，将载置基板的基板载置台载置于水平固定的所述主导轨上，使所述基板载置台沿所述主导轨移动，并通过头保持部的下方，从设置于所述头保持部的多个头的喷出口，使喷出液的液滴喷出，并命中到所述基板载置台上的基板，

其特征在于，

该维护装置具有：

载置于所述主导轨上的第一移动台；

使所述第一移动台沿所述主导轨移动的主移动装置；

配置于所述第一移动台上的载置台；

使所述载置台在所述第一移动台上移动的副移动机构；以及

载置于所述载置台上的检查装置，

所述检查装置具有：

向测定对象物照射照明光的照明装置；以及

对照射了所述照明光的所述测定对象物进行摄影的摄影装置，

当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述摄影装置的焦点配置于从所述头的各所述喷出口喷出的所述液滴的飞行路径上时，

所述照明装置从摄影的所述液滴的飞行路径的侧方，向所述液滴照射所述照明光，

所述摄影装置在向摄影的所述液滴照射的所述照明光入射的位置进行摄影。

2.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

具有：控制装置，从所述液滴的摄影结果判别喷出所述液滴的所述喷出口是否良好。

3.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述副移动机构具有：

固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；

在所述载置台和所述第一移动台之间，载置于所述第一副导轨上的第二移动台；

使所述第二移动台在所述第一移动台上沿所述第一副导轨移动的第一副移动装置；

固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及

使所述载置台在所述第二移动台上沿所述第二副导轨移动的第二副移动装置，

所述第一副导轨和所述第二副导轨的任一个与所述主导轨平行地配置，另一个与所述主导轨垂直且水平地配置。

4.根据权利要求2所述的维护装置，其特征在于，

所述副移动机构具有：

固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；

固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及

5.根据权利要求1所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

第一反射单元，将从下方位置向上方送出的所述照明光进行反射且水平送光，并向测定对象的所述液滴进行照射，

所述摄影装置具有：

第二反射单元，将向所述液滴照射的所述测定光进行反射，并向下方送光；以及

摄像机，将从所述第二反射单元送出的所述照明光进行感光并摄影图像。

6.根据权利要求2所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

7.根据权利要求3所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

8.根据权利要求4所述的维护装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

9.根据权利要求1～8中任一项所述的维护装置，其特征在于，

具有吸收喷出液的吸收布和使所述吸收布在垂直方向移动的升降装置的清扫装置被设置于所述载置台上，

当使所述第一移动台移动到所述头保持部的下方并静止，在所述第一移动台静止的状态下，使所述载置台在所述第一移动台上移动，并使所述清扫装置配置于所述头的下方时，

所述清扫装置使所述吸收布与所述喷出口接触，除去附着于所述喷出口的所述喷出液。

10.一种喷出装置，将载置基板的基板载置台载置于水平固定的主导轨上，使所述基板载置台沿所述主导轨移动，并通过头保持部的下方，从设置于所述头保持部的多个头的喷出口，使喷出液的液滴喷出，并命中到所述基板载置台上的基板，

其特征在于，

所述喷出装置具有沿所述主导轨移动的维护装置，

所述维护装置具有：

载置于所述主导轨上的第一移动台；

使所述第一移动台沿所述主导轨移动的主移动装置；

配置于所述第一移动台上的载置台；

使所述载置台在所述第一移动台上移动的副移动机构；以及

载置于所述载置台上的检查装置，

所述检查装置具有：

向测定对象物照射照明光的照明装置；以及

11.根据权利要求10所述的喷出装置，其特征在于，

在所述维护装置中设有控制装置，该控制装置从所述液滴的摄影结果判别喷出所述液滴的所述喷出口是否良好。

12.根据权利要求10所述的喷出装置，其特征在于，

所述副移动机构具有：

固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；

固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及

13.根据权利要求11所述的喷出装置，其特征在于，

所述副移动机构具有：

固定于所述第一移动台上的直线状的第一副导轨；

固定于所述第二移动台上的直线状的第二副导轨；以及

14.根据权利要求10所述的喷出装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

15.根据权利要求11所述的喷出装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

16.根据权利要求12所述的喷出装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

17.根据权利要求13所述的喷出装置，其特征在于，

所述照明装置具有：

光源，产生所述照明光；以及

所述摄影装置具有：

18.根据权利要求10～17中任一项所述的喷出装置，其特征在于，

所述维护装置具有清扫装置，该清扫装置具有吸收喷出液的吸收布和使所述吸收布在垂直方向移动的升降装置，

所述清扫装置被设置于所述载置台上，