JPH10206624A - カラーフィルタ製造方法及びそれに用いるカラーフィルタ製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】インクジェット法によるカラーフィルタ製造装
置で、インクジェットヘッドの汚れによる不良を早く発
見して、生産性を向上させる。 【解決手段】インクジェットヘッド１から吐出されるイ
ンクの飛滴状態をストロボ２とカメラ３とからなる光学
的検知装置で検出し、コンピュータによりその飛滴の位
置から、液滴の飛翔速度や飛翔方向を算出し、それが許
容値の範囲外の場合には、インクジェットヘッドをクリ
ーニングするようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット法
によるカラーフィルタ製造方法及びそれに用いるカラー
フィルタ製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子は近年カラー化が進み、パ
ソコン、ワープロをはじめ多くのカラー表示が採用され
てきている。このため、カラーフィルタも需要が増え、
顔料分散法に代表される製造方法で生産されている。し
かし、顔料分散法では、遮光膜を別にしてもＲＧＢ３色
で３回のコーティングとフォトリソ工程が必要になり、
生産性が悪かった。

【０００３】これを改善するためのカラーフィルタ製造
方法として、印刷法やインクジェット法が提案されてい
る。これらのうち、インクジェット法は、紙への印刷用
のインクジェットプリンタの性能向上が著しく、色、速
度、信頼性等の点から工業的なカラーフィルタの製造に
も使用しうる状況になっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来、インクジェット
法によるカラーフィルタ製造装置においては、ヘッドか
ら吐出されるインクの目詰まりや飛滴方向ずれ、液量の
変化、吐出速度の変化など吐出状態に関することが重要
な問題であった。

【０００５】すなわち、一般の紙への印刷では、１滴が
吐出しなかったり１ドット分横にずれたりしても見た目
にはほとんど判別がつかないのでまず問題にならない
が、これに対して、液晶表示素子等に用いる微細なカラ
ーフィルタの場合、１滴吐出しないとその画素部分の色
が薄くなったり、１滴横にずれると混色を起こすという
問題を生じる。これは、液晶表示素子の各色毎の１画素
が１００μｍ×３００μｍ以下程度であり、１画素あた
り数滴〜十数滴程度のインクの液滴で構成され、パソコ
ンでは１ドット単位で表示することもあって各画素の色
には厳しい要求があるためである。

【０００６】つまり、インクジェット法によるカラーフ
ィルタ製造装置では、経験的に定期的なインクジェット
ヘッドのメンテナンスを施しても吐出に関して不具合が
生じることがあった。さらに、実際にカラーフィルタに
インクを描画して初めて上記の不具合がわかった。その
ため、描画される時期とその検査の時期との間には多大
な時間を要し、フィードバックには多大な時間を要し
た。このフィードバックがかかるまではそのまま製造が
続くため、歩留が低下し生産性が低下していた。

【０００７】このため、インクジェット法によるカラー
フィルタ製造装置で、不具合のフィードバックをより速
めて、生産性を向上させることが望まれていた。本発明
は、これらの課題を解決し、生産性の良いカラーフィル
タ製造方法及びカラーフィルタ製造装置を提供すること
を目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、インクジェッ
ト法によりインクを吹き付けしてカラーフィルタを製造
する方法において、インクジェットヘッドから吐出され
るインクの飛滴状態を光学的検知装置で検出し、その状
態が許容値の範囲外であれば、インクの吹き付けを中止
してインクジェットヘッドをクリーニングすることを特
徴とするカラーフィルタ製造方法を提供する。

【０００９】また、そのインクの飛滴状態の検出が、イ
ンクの飛翔速度の検出であり、吹き付けの電圧印加後の
一定時間後におけるインクの飛滴位置により判別するカ
ラーフィルタ製造方法を提供する。

【００１０】また、それらの基板の表示領域に吹き付け
する直前にインクのダミー吐出を行い、光学的にインク
の飛滴状態を検出し、許容値の範囲内であれば、基板の
表示領域に吹き付けを行い、許容値の範囲外であれば、
インクジェットヘッドのクリーニングを行うカラーフィ
ルタ製造方法を提供する。

【００１１】また、それらの基板の表示領域に吹き付け
直後にインクのダミー吐出を行い、光学的にインクの飛
滴状態を検出し、許容値の範囲内であれば、次の基板へ
の吹き付け工程に戻り、許容値の範囲外であれば、直前
に吹き付けを行った基板を不良品として除去するカラー
フィルタ製造方法を提供する。

【００１２】さらに、インクジェット法によるカラーフ
ィルタ製造方法に用いるカラーフィルタ製造装置であっ
て、カラーフィルタを形成する基板を載置する基台と、
その基台に対して相対的に移動可能に配置したインクジ
ェットヘッドと、インクジェットヘッドからのインクの
飛滴状態の光学的検知装置と、光学的検知装置からの信
号を処理し許容値の範囲内か否かを判定するコンピュー
タ装置とを有し、インクの飛滴状態を検出してインクの
吹き付けを制御することを特徴とするカラーフィルタ製
造装置を提供する。

【００１３】また、そのインクの飛滴状態の光学的検知
装置が、ストロボとカメラとを有し、そのカメラの出力
画像の信号をコンピュータに入力してインクの飛滴状態
を判定し、許容値の範囲外になったときにインクの吹き
付けを中止するカラーフィルタ製造装置を提供する。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明は、インクジェット法でカ
ラーフィルタを製造するものであり、インクジェットヘ
ッドから吐出されるインクの飛滴状態を光学的検知装置
で検出し、その状態があらかじめ定めておいた許容値の
範囲外であれば、インクの吹き付けを中止するものであ
る。

【００１５】図１は本発明に用いる代表的なカラーフィ
ルタ製造装置の例の正面図である。図１にて、１はイン
クジェットヘッド、２はストロボ、３はカメラであり、
ストロボ２とカメラ３で光学的検知装置を構成してい
る。４はインクジェットヘッドが動くガイドレール、５
は基板、６は基板を載せて動かすスライドテーブル、７
はスライドテーブルが載っている基台、８はクリーニン
グ装置である。

【００１６】この例では、インクジェットヘッド１はガ
イドレール４に沿って図の横方向（以下Ｘ方向という）
に移動し、基板５はスライドテーブル６によって図の奥
行き方向（以下Ｙ方向という）に移動するようにされて
いる。この例ではそのような動きをするということで説
明するが、基本的にはインクジェットヘッド１と基板５
とが相対的に移動して、基板の所定の領域にインクが吐
出できればよい。

【００１７】具体的には、例えば、インクジェットヘッ
ドがＸＹの両方向に移動するようにされていたり、必要
数のノズルが設けられたインクジェットヘッドを用い、
Ｘ方向にのみ移動させるというような構成も採用でき
る。

【００１８】また、この例では光学的検知装置のストロ
ボ２とカメラ３とは、インクジェットヘッド１と一体的
に配置され、インクジェットヘッドと相対的位置関係を
保ったまま移動するように配置されている。この配置で
は、基板上にインクを吐出している間も監視ができる。

【００１９】また、別の態様では、光学的検知装置はガ
イドレールの端に固定されていて、インクジェットヘッ
ド１の移動に合わせてその相対的な位置が変化するとい
う配置も採用できる。この場合には、インクジェットヘ
ッドは小型軽量化できるので、インクジェットヘッド１
の移動機構が簡便になる。ただし、基板上にインクを吐
出している間も監視をするためには、焦点合わせや画像
の判別（大きさが変わる）等に面倒が生じる。

【００２０】基板へのインク吐出時にリアルタイムでイ
ンクの飛滴を監視する方法を採る場合には、インクの飛
滴をリアルタイムで制御できる。すなわち、インクの飛
滴の状況が許容値の範囲外になりそうになった場合に、
インクジェットヘッドの駆動を変化させて、インクの飛
滴を許容値の範囲内に保つ駆動を行えば、カラーフィル
タの不良品を生じなくできる。もし、インクジェットヘ
ッドの駆動を変化させない場合には、インクの飛滴は許
容値の範囲外となり、その基板は不良品になるので、良
否の判定のみとなる。

【００２１】このリアルタイムでのインクの飛滴の制御
により、インクの吐出を継続させて生産を続けることは
難しい。よほどうまく制御しないと、隣接ノズルからの
インクの吐出に影響が出やすいためである。これらをす
べてうまく制御できれば、リアルタイムでの制御が最良
の形態となる。

【００２２】このため、簡便な制御方法としては、基板
上にインクを吐出している間は監視せず、その初期及び
／又は終期にのみ監視する方法がある。この方法であれ
ば、光学的検知装置が移動しない配置となしうる。この
方法であっても、１枚の基板への吹き付け又は１個のカ
ラーフィルタへの吹き付けごとに監視をすれば、ただち
にフィードバックすることにより、不良品はその１枚に
とどまる。

【００２３】なお、この不良品は、機械的に判定した不
良品であるので、実際のカラーフィルタ製品として判定
して、その許容範囲に入っていれば、そのまま使用で
き、一部修正した良品ともなしうる。

【００２４】具体的に、インクの飛滴を光学的に検知す
る場合、飛滴の粒径、飛翔速度、飛翔方向、後続の飛滴
の位置等がある。これは、ストロボによる短時間発光源
を光源に用いて観察することにより、飛滴に位置と形状
から判定できる。特に、インクジェットヘッドの駆動の
タイミングに合わせてストロボを発光させることによ
り、今回の吐出の画像と前回の吐出の画像とを比較する
とか、あらかじめ設定した画像との差を比較することに
より、容易に比較ができる。

【００２５】図２はインクの飛滴の光学的検知の具体的
な例の正面図である。インクジェット法でインクジェッ
トヘッド１１の圧電体に電圧を印加してカラーフィルタ
用のインクを吐出したところを示す。図２に示すよう
に、インクジェットヘッド１１のノズル１２から主滴１
３が吐出した後、その副滴１４が続いて吐出される。

【００２６】本発明で用いられる基板は、ガラス、プラ
スチック等の基板であり、必要に応じて、その表面にア
ルカリ溶出防止膜や遮光膜が形成されている。この基板
上に、１個〜数個のカラーフィルタが形成される。な
お、大型基板で数インチというような小型のサイズのＬ
ＣＤ用のカラーフィルタを形成する場合には、１枚の基
板に十数個〜数十個のカラーフィルタが形成されること
もある。

【００２７】特に、インクジェット法によるカラーフィ
ルタの場合、褪色性や耐久性の点から顔料インクを用い
ることが好ましい。基板がガラス、プラスチック等の吸
着性がない材質であり、染料インクを用いる場合のよう
に下地処理しても吸着させにくい。このため、吐出した
インクが所定の画素位置に付着するようにするために、
あらかじめ堰として作用する枠を基板上に形成する。

【００２８】この枠は、通常、遮光膜と兼用とされる。
具体的には、黒色の樹脂の厚膜とするとか黒色の金属薄
膜と樹脂の厚膜との組み合わせにする。この堰は、隣接
画素内へのインクの流出を抑制する目的で、その上面が
撥インク性とされていることが好ましい。

【００２９】具体的に、インクの吹き付けを行う工程を
追いながら説明する。図３はその判定を行うフローチャ
ートである。このフローチャートによれば、１個のカラ
ーフィルタ印刷直前と直後の２回の判定が行われてい
る。判定は一方のみで行うこともできる。

【００３０】まずカラーフィルタの印刷直前に、ダミー
吐出２１を行う。そこで吐出の初期状態を検出する初期
値測定２２を行う。このダミー吐出は実際にインクを吐
出させ、かつある程度安定した状態になってから初期状
態を検出する。これは、図１の装置の場合、例えば、基
板５の右側の位置で行う。

【００３１】この初期値があらかじめ設定した許容値の
範囲内にあれば、ＯＫとしてカラーフィルタ形成２５の
ためのインクの吹き付けを行う。一方、許容値の範囲外
であれば、ＮＧとして、インクジェットヘッドのクリー
ニング２４を行う。クリーニング２４を終了した後、再
度ダミー吐出２１に戻り、吐出状況の判定を行う。

【００３２】カラーフィルタ形成２５のためのインクの
吹き付けの終了後に、２回目の判定を行う。これは１枚
の基板全体が終了後とすることもあり、その上の１個の
カラーフィルタ形成後とすることもある。例えば、図１
の装置では、このカラーフィルタ形成のためのインクの
吹き付けでインクジェットヘッド１はガイドレール４に
沿って移動し、図１の基板５の左側の位置まで到達す
る。

【００３３】この位置で再度ダミー吐出２６を行う。直
前の場合と同様に終期値測定２７を行い、許容範囲の判
定２８を行う。ここで、ＯＫであれば、インクジェット
ヘッド１をガイドレール４に沿って右側に移動させて初
期の位置に戻し、形成したカラーフィルタ付きの基板は
良品と判定する。一方、ＮＧであれば、インクジェット
ヘッド１をガイドレール４に沿って右側に移動させて初
期の位置に戻しクリーニング２４を行い、形成したカラ
ーフィルタ付きの基板は不良品と判定する。

【００３４】このフローチャートでは、カラーフィルタ
の形成のためのインクの吐出の直前と直後の２回、吐出
状態を光学的に検出している。判定の精度は低下するが
一方のみともなしうる。また、往復印刷する場合には、
両端で初期値の測定を行うこともでき、往復して戻って
きたときのみ測定を行うこともできる。

【００３５】また、１個のカラーフィルタの吹き付けに
複数回の往復動作を行わせる場合には、１個のカラーフ
ィルタの形成工程の直前と直後の２回でなく、その途中
の端の状態で複数回の測定を行うようにもできる。一般
には急激にインクジェットヘッドが汚れてインクの飛滴
の状態が変化することは少ないので、１個のカラーフィ
ルタの形成又は１枚の基板のカラーフィルタの形成の直
前と直後、又はその一方で測定することが生産性からみ
て好ましい。

【００３６】この場合の具体的な操作は、まず、図１に
図示されていないロボットがカラーフィルタ作成用の基
板５を基台７のスライドテーブル６上に自動で搬送す
る。その後真空吸着によって基板５がスライドテーブル
６に吸着され固定される。次に基板のアライメントが行
われる。

【００３７】次にインクジェットヘッド１は、基板５の
表示領域以外の位置である待機位置（例えば図１の基板
５の右側の位置）にてダミー吐出を約２秒ほど行う。こ
の待機位置は、一般には基板の外側とするが、基板の中
で表示に関係しない位置ともなしうる。もしカメラ３と
インクジェットヘッド１との相対的位置が変化するよう
な配置の場合には、カメラ３の焦点が合うようにする。

【００３８】その状態で、インクジェットヘッド１の圧
電体の駆動波形に同期させて、一定時間遅延させたタイ
ミングにてストロボ２を発光させてカメラ３を用いてイ
ンクジェットヘッド１のノズルから吐出された飛滴の画
像を採り込む。この取り込まれた飛滴の画像をコンピュ
ータにて画像処理を行い、インクの主滴の位置と主滴に
引き続いて吐出された副滴（サテライト）との位置を判
定する。

【００３９】この主滴及び副滴の位置は、通常採り込ま
れた画像の重心を計算して、比較すればよい。このとき
再現性よく吐出している場合はあたかもインクの液滴が
静止しているかのように見える。そのときの様子は図２
のようになる。この位置が判定された液滴は、吐出ノズ
ルの位置及び吐出タイミングがわかっているので、液滴
の位置がわかれば、液滴の飛翔速度、飛翔方向が算出さ
れる。

【００４０】この飛翔速度、飛翔方向があらかじめ設定
されたしきい値と比較して、許容値の範囲外の場合は、
警報を出し自動的にインク吸引ワイプ等のクリーニング
を行う。このクリーニングは通常はノズルの外からのふ
き取り、洗浄液による洗浄、インクの高圧吐出等があ
る。

【００４１】インクの組成によっても異なるが、飛翔速
度が遅い場合は、吐出液量が少ない場合が多く、おおよ
その相関が見られる。飛翔速度そのものも、基板への着
弾後のインクの広がり方にも影響をおよぼすため、ある
範囲内であることが要求される。飛翔方向に関しても着
弾位置との関係である範囲内であることが要求される。
液滴の大きさを断面積から求めて、これも判定に用いう
る。

【００４２】この許容範囲としては、例えば液滴の飛翔
速度が規定値の±５％以内となるように管理するとか、
液滴の飛翔位置が規定値の±１０ｕｍとなるように管理
するとかがある。この許容範囲は、カラーフィルタの精
細度、インク組成、インクジェットヘッドの構造等によ
って変わるので、そのカラーフィルタ毎に実験的に定め
ればよい。

【００４３】クリーニングを行った後、再度ダミー吐出
を行って、液滴の飛翔状態が許容値の範囲内に入るまで
この動作は繰り返される。もし、許容値の範囲内になっ
た場合には、カラーフィルタの作成のための吐出工程に
入る。この吐出工程は、インクジェットヘッド１及び基
板５の相対位置を変化させながら行う。例えば、インク
ジェットヘッド１は図１の左右の方向に、基板５は図の
奥行き方向に移動させながら行えばよい。

【００４４】ＲＧＢ３色の吹き付けを行うのであれば、
３色の別々のノズルを備えたインクジェットヘッドを用
いれば１回の移動で印刷は終了するが、単色のインクジ
ェットヘッドを用いれば３回の移動で印刷は終了する。
ここで１回というのは、例えば４０ノズルのインクジェ
ットヘッドで８００本印刷する場合には２０回繰り返
す、すなわち往復印刷なら１０往復することになるが、
この１０往復をここでは１回の移動としている。

【００４５】このカラーフィルタの作成のための吐出工
程が終った時点で再度ダミー吐出を行い、インク液滴の
飛翔状態を判断する。この判断でＮＧの場合は作成した
ばかりの基板は不良品とされる。ＯＫならば次の基板の
作成のための準備に入る。

【００４６】インク液滴の飛翔状態の測定を特定の位置
でのみ行う場合には、上記のように１個のカラーフィル
タへの吹き付け直前と直後に行うのが、測定の効率と不
良品が複数発生しないという点で好ましい。この場合、
１枚の基板に複数個のカラーフィルタを形成する場合に
は、カラーフィルタ１個毎に測定するようにしてもよ
く、１枚の基板の最初と最後に測定するようにしてもよ
い。

【００４７】この場合、許容値をやや厳しくしておけ
ば、吹き付け終了後の測定で許容値をはずれて不良品と
認定されても、カラーフィルタとしては仕様の範囲に入
るようにもできる。すなわち、この場合には測定で不良
品とされたカラーフィルタを再検査して、カラーフィル
タとしての仕様を満足していれば、良品となしうる。ま
た、不良箇所が微小であれば、修正により直して良品と
もなしうるので、トータルとしての歩留が向上する。

【００４８】インク飛滴の飛翔状態が急激に変化するよ
うな場合や、超大型のカラーフィルタを形成する場合に
は、カラーフィルタ１個毎に測定するのでなく、カラー
フィルタ１行、１往復、複数往復毎に測定して判定する
ようにもできる。

【００４９】上記の説明では、インク液滴の画像の採り
込みが、カラーフィルタの作成のための吹き付け工程の
直前と直後の例について示した。この場合は、装置が簡
単でよい。一方、カラーフィルタの作成のための吹き付
け工程中もずっと監視する方法もある。この場合には、
インク液滴の飛翔状態を判断して許容範囲からずれそう
になった場合に、インクジェットヘッドの駆動を制御し
て、許容範囲に納まるようにし、その形成工程が終った
時点でクリーニングすることにより、より歩留を向上で
きる。

【００５０】本発明によるカラーフィルタは、ＳＴＮＬ
ＣＤ、強誘電ＬＣＤ等用のストライプ状のカラーフィル
タ、ＴＦＴＬＣＤ等用のモザイク状のカラーフィルタ等
各種のカラーフィルタとして用いられる。

【００５１】ＬＣＤ用カラーフィルタの場合は、この上
に平坦化等のための透明な樹脂コート層や無機材料のコ
ート層を形成し、さらにＩＴＯ等の電極を積層してカラ
ーフィルタ付き電極基板として用いる。この電極は必要
に応じてパターニングする。

【００５２】こうして形成されたカラーフィルタ付き電
極基板ともう１枚の電極基板とを対向させ、その間に液
晶を挟持することによりＬＣＤを形成する。プラズマに
より駆動するＬＣＤの場合には、片側の基板の内面には
電極を形成しない場合もある。

【００５３】

【実施例】

「例１」インクジェットヘッドとしては１ヘッドあたり
１２ノズルのものを使用し、ＲＧＢ用に３ヘッド同時に
吐出させる構成とした。吐出するインクは、水系顔料イ
ンクとし、顔料と樹脂と有機溶剤を水に混ぜたものを３
色夫々準備し用いた。

【００５４】カラーフィルタ製造装置としては、図１に
示すようなインクジェットヘッドがガイドレールに従っ
てＸ方向に移動し、ガラス基板がスライドテーブルによ
ってＹ方向に移動するようにした。光学的検知装置とし
てはストロボとＣＣＤカメラの組合せを用いた。

【００５５】まず、ガラス基板上に、黒色顔料入りフォ
トポリマーによる遮光膜をフォトリソ工程によりストラ
イプ状に形成し、その遮光膜の上にフッ素樹脂系撥イン
ク剤を付与した。その遮光膜により囲まれた部分に、上
記インクとインクジェットヘッドを用いてインクを吐出
することによってカラーフィルタを作製した。カラーフ
ィルタは１２．１インチのＳＶＧＡタイプのもの１面取
りのものを製造した。この場合３４往復にて１面描画可
能である。

【００５６】インク吐出周波数は１ｋＨｚとした。描画
中は基本的には図１のＸ方向（左向きに）に移動して各
色１２本のラインの印刷を行い、Ｙ方向に３６本のライ
ン分スライドさせ、Ｘ方向（右向きに）移動して各色１
２本のラインの印刷を行う。これにより、往復で各色２
４本のラインのカラーフィルタが形成される。これを３
４往復繰り返して１個のカラーフィルタが形成された。

【００５７】この例では、１枚の基板に１個のカラーフ
ィルタ（画素：８００×６００×３色）が形成されてい
る。この１枚の基板の印刷にかかる直前の段階で、イン
クの吐出状況を光学的検知装置で測定するようにした。

【００５８】この測定では、図２のような液滴の位置
（ヘッドからの距離と左右のぶれ）から計算して液滴の
飛翔速度と飛翔方向を算出した。その値が許容値である
規定の飛翔速度の±５％の速度許容範囲及び飛翔方向
（規定の左右の位置の±１０μｍの飛翔方向許容範囲）
に入っているかを判定した。この測定を行う前には、イ
ンクの吐出が安定するように、インクジェットヘッドを
ダミー駆動することが好ましいので、この例において
も、測定前に数十発インクのダミー吐出を行うようにし
た。

【００５９】このいずれかの値が許容値外になった場合
には、警告表示がなされ、ワイパでインクジェットヘッ
ドのノズル板表面をワイプしてクリーニングを行った。
その後再度インクの吐出状況を光学的検知装置で行うよ
うにした。測定した値が、許容値内となったときに、イ
ンクジェットヘッドを所定の位置に移動させ、基板上に
インクを吹き付けてカラーフィルタを形成した。

【００６０】この例では、３４往復の吹き付けが終った
時点で、再度インクの吐出状況を光学的検知装置で行う
ようにした。ここで、測定した値が許容値をはずれてい
た場合には、製造したカラーフィルタを一応不良品とし
て取り出した。インクジェットヘッドは初期の位置に戻
り、クリーニングを受けた後、次のカラーフィルタの製
造を行うためにインクの吐出状況を光学的検知装置で行
う工程に戻った。

【００６１】吹き付け終了時点で測定した値が許容値内
であれば、製造したカラーフィルタを一応不良品として
取り出した。インクジェットヘッドは初期の位置に戻
り、次のカラーフィルタの製造を行うためにインクの吐
出状況を光学的検知装置で行う工程に戻った。

【００６２】こうすることにより、歩留が向上した。許
容範囲の設定によって、吹き付け終了時点で測定した値
が許容値外となっても、カラーフィルタとして不良品と
なるかは別なので、許容値外で不良品として取り出され
たカラーフィルタも再検査して良品とすることもありう
るし、わずかな修正で良品に直すこともありうる。この
ため、歩留が大きく向上し、生産性が向上する。

【００６３】「例２」吹き付け終了後、インクジェット
ヘッドが初期の位置に戻ったときに、吹き付け終了時点
で測定した値が許容値内であっても、１回はクリーニン
グを行うようにした他は、例１と同様にしてカラーフィ
ルタの製造を行った。例１よりも吹き付け終了時点で測
定した値が許容値外となる率が減少した。

【００６４】「例３」インクジェットヘッドが１往復す
るごとにインクの吐出状況を光学的検知装置で測定した
他は、例１と同様にしてカラーフィルタの製造を行っ
た。測定回数が増えて生産性がやや低下したが、例１よ
りも吹き付け終了時点で測定した値が許容値外となる率
が減少した。

【００６５】「例４〜６」ＴＦＴ用のモザイク型のカラ
ーフィルタを同じ製造装置を用いて例１〜３の方法で製
造した。その結果、例１〜３と同様の結果が得られた。

【００６６】「例７」例１で製造したカラーフィルタ基
板のカラーフィルタ上に樹脂のコート層を設け、さらに
ＳｉＯ₂ のコート層を設け、透明電極としてＩＴＯの層
を設けて電極付き基板を形成した。この、電極付き基板
をパターニングし、ポリイミドのオーバーコート層を形
成し、ラビングして配向膜を形成した。

【００６７】もう１枚の基板として、カラーフィルタの
ない電極付き基板をパターニングし、ＳｉＯ₂ ／ＴｉＯ
₂ のコート層を設け、ポリイミドのオーバーコート層を
形成し、ラビングして配向膜を形成した。これら２枚の
基板を、配向膜が対向するように周辺をシール材でシー
ルして空セルを形成し、それに液晶を注入封止してＳＴ
Ｎ型の液晶セルを形成した。この液晶セルの両側に位相
差フィルムと偏光膜とを配置してカラーＳＴＮＬＣＤを
製造した。

【００６８】「例８」例１で製造したカラーフィルタ基
板のカラーフィルタ上に樹脂のコート層を設け、透明電
極としてＩＴＯの層を設けて電極付き基板を形成した。
この、電極付き基板にポリイミドのオーバーコート層を
形成し、ラビングして配向膜を形成した。

【００６９】もう１枚の基板として、カラーフィルタの
ないＴＦＴ（薄膜トランジスタ）基板を準備し、ポリイ
ミドのオーバーコート層を形成し、ラビングして配向膜
を形成した。これら２枚の基板を、配向膜が対向するよ
うに周辺をシール材でシールして空セルを形成し、それ
に液晶を注入封止してＴＦＴ型の液晶セルを形成した。
この液晶セルの両側に偏光膜とを配置してカラーＴＦＴ
ＬＣＤを製造した。

【００７０】

【発明の効果】本発明では、インクジェットヘッドから
吐出されるインクの飛滴状態を光学的検知装置で検出
し、その状態が許容値の範囲外である場合には、インク
の吹き付けを中止して、インクジェットヘッドのノズル
をクリーニングするようにしているので、カラーフィル
タの歩留が向上する。

【００７１】すなわち、不良品が続出する前にインクジ
ェットヘッドの異常を容易に検出できる。特に、カラー
フィルタの吹き付けの直前と直後にインクの飛滴状態を
測定する方式により、装置が簡便になり、かつ高い生産
性も得られる。

【００７２】本発明は、本発明の効果を損しない範囲内
で種々の応用ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に用いる代表的なカラーフィルタ製造装
置の例の正面図。

【図２】本発明のインクの飛滴の光学的な検知の具体的
な例の正面図。

【図３】本発明のインクの飛滴の状態の判定のフローチ
ャート。

【符号の説明】

１：インクジェットヘッド ２：ストロボ ３：カメラ ４：ガイドレール ５：基板 ６：スライドテーブル ７：基台 ８：クリーニング装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インクジェット法によりインクを吹き付け
   してカラーフィルタを製造する方法において、インクジ
   ェットヘッドから吐出されるインクの飛滴状態を光学的
   検知装置で検出し、その状態が許容値の範囲外であれ
   ば、インクの吹き付けを中止してインクジェットヘッド
   をクリーニングすることを特徴とするカラーフィルタ製
   造方法。
2. 【請求項２】インクの飛滴状態の検出が、インクの飛翔
   速度の検出であり、吹き付けの電圧印加後の一定時間後
   におけるインクの飛滴位置により判別する請求項１記載
   のカラーフィルタ製造方法。
3. 【請求項３】基板の表示領域に吹き付けする直前にイン
   クのダミー吐出を行い、光学的にインクの飛滴状態を検
   出し、許容値の範囲内であれば、基板の表示領域に吹き
   付けを行い、許容値の範囲外であれば、インクジェット
   ヘッドのクリーニングを行う請求項１又は２記載のカラ
   ーフィルタ製造方法。
4. 【請求項４】基板の表示領域に吹き付け直後にインクの
   ダミー吐出を行い、光学的にインクの飛滴状態を検出
   し、許容値の範囲内であれば、次の基板への吹き付け工
   程に戻り、許容値の範囲外であれば、直前に吹き付けを
   行った基板を不良品として除去する請求項１、２又は３
   記載のカラーフィルタ製造方法。
5. 【請求項５】インクジェット法によるカラーフィルタ製
   造方法に用いるカラーフィルタ製造装置であって、カラ
   ーフィルタを形成する基板を載置する基台と、その基台
   に対して相対的に移動可能に配置したインクジェットヘ
   ッドと、インクジェットヘッドからのインクの飛滴状態
   の光学的検知装置と、光学的検知装置からの信号を処理
   し許容値の範囲内か否かを判定するコンピュータ装置と
   を有し、インクの飛滴状態を検出してインクの吹き付け
   を制御することを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
6. 【請求項６】インクの飛滴状態の光学的検知装置が、ス
   トロボとカメラとを有し、そのカメラの出力画像の信号
   をコンピュータに入力してインクの飛滴状態を判定し、
   許容値の範囲外になったときにインクの吹き付けを中止
   する請求項５記載のカラーフィルタ製造装置。