JP2008105308A - 液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置 - Google Patents

液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2008105308A
JP2008105308A JP2006291388A JP2006291388A JP2008105308A JP 2008105308 A JP2008105308 A JP 2008105308A JP 2006291388 A JP2006291388 A JP 2006291388A JP 2006291388 A JP2006291388 A JP 2006291388A JP 2008105308 A JP2008105308 A JP 2008105308A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
observation
tool
workpiece
head
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006291388A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazumasa Horiuchi
一正 堀内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cluster Technology Co Ltd
Original Assignee
Cluster Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cluster Technology Co Ltd filed Critical Cluster Technology Co Ltd
Priority to JP2006291388A priority Critical patent/JP2008105308A/ja
Publication of JP2008105308A publication Critical patent/JP2008105308A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)

Abstract

【課題】 液滴がワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能であり、また液滴がワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態と、液滴の飛翔状態との双方の状態を観察可能な液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置を提供すること。
【解決手段】 ノズル7から液滴を所定位置へ吐出させるヘッド2及びヘッド支持具20と、液滴が着弾するワーク3及びワーク支持具30と、液滴の観察具及び観察具支持具40とを備える。ワーク3における液滴の着弾する着弾平面Pに対し液滴吐出方向F又は観察具による観察方向Wの少なくとも一方が傾斜するようにヘッド2、ワーク3及び観察具の相対位置関係を設定可能であり、観察具は液滴がワーク3へ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能である。
【選択図】 図1

Description

本発明は、液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置に関する。さらに詳しくは、ノズルから液滴を所定位置へ吐出させるヘッド及びヘッド支持具と、液滴が着弾するワーク及びワーク支持具と、前記液滴の観察具及び観察具支持具とを備えた液滴吐出観察装置、並びに、観察具及びヘッドの支持装置に関する。
上記液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置としては、次の特許文献1,2に記載の如きものが知られている。
特開2005−014453号 特開2005−246669号
特許文献1に記載の技術にあっては、インク液滴の通路を挟んで発光部と受光部とを配置した光学装置を設けている。この装置においては、発光部と受光部とがインク液滴の通路を挟んでおり、インク的の飛翔状態は撮影できるが、ワークへの液滴の着弾直前及び着弾直後の状態を撮影することはできなかった。
これに対し、特許文献2の技術では、記録ヘッド1にインクを吐出するノズルと画像検出センサとを設け、ノズルと画像検出センサとの位置を切り替えて、着弾位置の撮影を行っている。すなわち、ノズルと画像検出センサとの位置を共に入れ替えるため、両者の位置が異なって印刷(着弾位置)のずれが大きくなる虞もあり、さらに着弾直後の状態を撮影することができない。
かかる従来の実情に鑑みて、本発明の第一の目的は、前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能な液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置を提供することにある。
また、本発明の第二の目的は、前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態と、液滴の飛翔状態との双方の状態を観察可能な液滴吐出観察装置等を提供することにある。
上記第一の目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出観察装置の特徴は、ノズルから液滴を所定位置へ吐出させるヘッド及びヘッド支持具と、液滴が着弾するワーク及びワーク支持具と、前記液滴の観察具及び観察具支持具とを備えた構成であって、前記ワークにおける液滴の着弾する着弾平面に対し前記液滴吐出方向又は前記観察具による観察方向の少なくとも一方が傾斜するように前記ヘッド、ワーク及び観察具の相対位置関係を設定可能であり、前記観察具は前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能なことにある。
同特徴によれば、前記ワークにおける液滴の着弾する着弾平面に対し前記液滴吐出方向又は前記観察具による観察方向の少なくとも一方が傾斜するように前記ヘッド、ワーク及び観察具の相対位置関係を設定可能なので、ワークにおける他着弾位置近傍を常時観察することができる。この場合、観察方向に対してワークが傾斜してるときであっても、液滴が微少で観察具による観察又は撮影の拡大率が高いとしても、着弾後の液滴の状態は十分に捉えることができる。また、観察方向に対してワークの着弾平面を直交させれば、ピントが合ってより鮮明な観察が可能となる。
また、上記特徴において、前記ヘッドの先端面下側に設けられた斜面を介して前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能としてもよい。
一方、上記第二の目的を達成するため、上記構成に加え、前記ノズルを挟んで前記観察具の反対側に撮影用ストロボを備えてもよい。この場合、前記観察具支持具は前記観察具の観察方向を変更するように前記観察具を揺動可能とすることが望ましい。
観察とヘッドの操作の便宜のため、観察具支持具及びヘッド支持具が相対位置を保持した状態で前記ワークに対して相対的に上下移動可能とすることが望ましい。
また、前記観察具支持具は前記観察具の観察方向を変更するように前記観察具を揺動可能であり、前記ワーク支持具は前記観察具の揺動面に沿って前記ワークを揺動可能としてもよい。一方、前記観察具支持具は前記観察具の観察方向を変更するように前記観察具を揺動可能であり、前記ヘッド支持具は前記観察具の揺動面に沿って前記ヘッドを揺動可能としてもよい。揺動は可動式とする他、アングルやブロックの入れ替えで固定的な傾斜調整として行うこともできる。
前記観察具支持具及びヘッド支持具は、観察具及びヘッドの相対位置関係を一定に保ったままでワークの表面に沿って観察具及びヘッドを相対移動可能としてもよい。このとき、前記ワーク支持具は前記ワークをワークの表面に沿って移動させるワーク移動機構を有するとよい。
一方、上記特徴に記載の液滴吐出観察装置に使用する観察具及びヘッドの支持装置の特徴構成は、ノズルから液滴を所定位置へ吐出させるヘッドを支持するヘッド支持具と、前記液滴の観察具を支持する観察具支持具とを備え、ワークにおける液滴の着弾する着弾平面が前記液滴吐出方向又は前記観察具による観察方向の少なくとも一方に対し傾斜するように前記ヘッド、ワーク及び観察具の相対位置関係を設定可能であり、前記観察具は前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能としたことにある。
このように、上記本発明に係る特徴によれば、観察方向、吐出方向及びワーク着弾平面の位置関係を上述の如く設定することで、前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態が観察可能となった。その結果、液滴の吐出状態、着弾状態を精細にモニタでき、液滴の制御をより適切に行えるようになった。また、着弾位置近傍の画像を捉えることができるので、着弾位置精度の制御も行うことができ、実験や製造における生産性を向上させることができるようになった。しかも、前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態と、液滴の飛翔状態との双方の状態を観察具支持具の揺動で実現でき、従来のストロボを利用した液滴飛翔状態の観察と、液滴着弾直前及び/又は直後の観察との双方を一つの観察具で達成でき、装置の使用上の便宜をさらに向上させ得るに至った。
本発明の他の目的、構成及び効果については、以下の発明の実施の形態の項から明らかになるであろう。
次に、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図1〜6に示すように、本発明に係る液滴吐出観察装置1は、ノズル7から液滴Dを吐出するヘッド2、液滴Dが着弾するワーク3、液滴D又はその着弾位置近傍を観察可能な観察具4,ストロボ光源5を有するストロボ装置及びこれらを支持する支持装置8よりなる。ヘッド2は図示しない圧電素子等の電気駆動素子の駆動により、下面に形成したノズル7から所望の液体を所望条件に基づく液滴Dとして吐出する。本液滴吐出観察装置1は、この液滴Dのワーク3への着弾前及び着弾後の状態を観察具4により観察するためのものである。支持装置8は、昇降フレーム13を昇降可能に支持する基礎フレーム10と、この昇降フレーム13に取り付けられるヘッド支持具20、観察具支持具40及びストロボ支持具50とを備えている。また、基礎フレーム10の台座11上にはワーク3を移動させるワーク支持具30が載置される。
基礎フレーム10は、4カ所の脚11aにより上面を水平に維持された台座11に縦フレーム12を垂直に取り付け、この縦フレーム12に昇降フレーム13を昇降自在に支持してなる。縦フレーム12の下部の固定部12aと上部の固定部12bの間に昇降フレーム13に螺合する昇降ねじ14aが支持され、昇降ねじ14aをハンドル14により回転操作することで、昇降フレーム13を所望の位置に移動でき、昇降フレーム13は締め付けハンドルの操作により位置固定される。昇降フレーム13の基部13cには昇降接続部13aが固定され、この昇降接続部13aにさらにX軸方向に張り出す昇降張出部13b、水平レール15が固定される。また、基部13cにはY軸方向に張り出す第二水平レール16が固定される。
水平レール15には図3に示すようにヘッド2をXYZ軸方向に調整移動させるヘッド支持具20が固定される。このヘッド支持具20は、X,Z方向への比較的大幅な移動を第一X軸調整具21,第一Z軸調整具22によって行い、XYZ方向への移動を第二Z軸調整具23,Y軸調整具24,第二X軸調整具25によって行う。
第一X軸調整具21のスライダー21aは水平レール15に対してスライド可能であり、図示しないねじで固定される。また、第一Z軸調整具22はスライダー21aに固定されるレール22aに対し下スライダー22b、上スライダー22cがスライド可能であり、下固定ねじ22d、上固定ねじ22eによりそれぞれ位置固定される。下スライダー22bは上スライダー22cに接当して下側から上スライダー22c及びヘッド2を含む他の部材を位置決め・支持しており、ヘッドクリーニング時のヘッド2の一時待避及び位置決め粗調整の際に使用される。
基礎ブロック23aと移動ブロック23bとは調整ねじ23cによってZ方向に、基礎ブロック23aと移動ブロック24bとは調整ねじ24cによってY方向に、基礎ブロック25aと移動ブロック25bとは調整ねじ25cによってX方向にそれぞれ移動される。アングル23d、アングル25dは移動ブロック23bと基礎ブロック24a,移動ブロック25bと支持ブロック26とをそれぞれ直交状態で連結する。但し、アングル23d、アングル25dには直交以外の角度での連結を行う傾斜ブロックを介在させることができ、これによりヘッド2のノズル7からの吐出方向を変更可能である。また、傾斜ブロックの替わりに角度を自在に変更できる揺動部材を介在させてもよい。
図3,4に示すように、支持ブロック26には取付部27を介してヘッド2が取り付けられる。この取付部27は、支持ブロック26に指示棒27aを介して固定され、左右一対の固定片の間にヘッド2を介在させると共に後端もしくは前端を接当部27cに接当させ、固定ねじ27bで上部から押しつけることによりヘッド2を取付部27に着脱自在に固定している。ヘッド2は樹脂等で形成され、ノズル7の液滴Dの状態を観察する観察具4の観察方向Wを遮らないように、ノズル7側の下角部に斜面2aを形成してある。
図1,2,5に示すように、第二水平レール16には上記ヘッド支持具20に類似した構成のストロボ支持具50を介してストロボ光源5が支持されている。ストロボ支持具50の構成の詳細は省略記載するが、ストロボ光源5をXYZ方向に移動させることが可能であり、また、ストロボ光源5の方向を揺動部55により微調整可能である。ストロボ光源5は図示しないストロボ制御装置により接続され、ヘッド2の駆動制御装置及び観察具4の制御装置と連動して液滴Dの吐出タイミング、ストロボ発光タイミング及び撮影タイミングを同期させる。
図1,2に示すように、観察具支持具40は、回転固定部41、支持腕43、取付部44を介して昇降フレーム13に対して観察具4を支持する。回転固定部41はX方向に配向した中心軸周りでYZ平面に沿って支持腕43を揺動回転させると共に固定することの可能な機構であり、基部13cに固定された基礎部41aに対し回転部41bが回転可能に固着されている。基礎部41aには操作用の摘み42が固定され、その先端が回転部41bに形成された図示しない歯車状の係合部に係合し、支持腕43の揺動位置を決定する。また、ハンドルを締め付け操作することで、基礎部41a,回転部41bの位置を固定する。この回転固定部41により、観察具支持具40は観察具4の観察方向Wを様々な方向に配向でき、液滴Dを様々な方向から観察することが可能である。観察具4は電子撮像素子を利用したスチルカメラ、ビデオカメラの他、フィルムカメラや顕微鏡等を用いることも可能である。
ワーク3及びワーク支持具30は、詳細は省略するが、モーター及び/又はねじ機構によりワーク3をXY方向、望ましくはXYZ方向に移動させることの可能な機構である。台座11上に汎用品を載置して利用すればよい。このワーク支持具30はワーク3の着弾平面Pを水平に維持するものの他、着弾平面Pを傾斜させた状態でその傾斜の表面に沿ってワーク3を移動させる機構のものを用いることができる。なお、ワーク3を固定して、ヘッド2,観察具4,ストロボ光源5の相対位置が変わらないように、これら全体をワーク3の表面に沿って移動させるように移動機構を基礎フレーム10に設けてもよい。
次に、上記構成の液滴吐出観察装置1の使用方法について説明する。
液滴Dのワーク3近傍における吐出状態及び着弾状態を観察するには、例えば図4のような配置とするとよい。ワーク3の着弾平面Pはノズル7からの液滴Dが吐出する液滴吐出方向Fに対しては直交するが、観察具4の観察方向W(観察方向W1)に対しては角度Aをもって傾斜状態で交差する。このように観察方向Wを着弾平面Pに対し傾斜させることで、ノズル7からの液滴Dの吐出と観察具4による観察とを同時に行うことができる。
ストロボ光源5を利用して液滴Dを観察するには、ヘッド2とワーク3とを離隔させた状態で、支持腕43を水平に保ち、図5の如く観察基準点を4c2の位置に設定する。この場合、ストロボ光源5はその基準点5c2が観察方向W2の延長上にあることが望ましい。さらに、支持腕43を揺動させ、ストロボ支持具50の移動と揺動部55との調整により、図5の如く観察方向W3,観察方向W4を適宜調整することが可能である。
一方、ワーク支持具30に揺動機構又は傾斜ブロックを取り付けて、YZ平面に沿ってワーク3の着弾平面Pを水平に対し角度A2だけ傾斜させてもよい。この場合、例えば、観察方向W1は水平に対し角度A1だけ傾斜するが、着弾平面Pに対して直交させることも可能である。このような相対配置とすれば、観察具4はワーク3の液滴D着弾後の状態を鮮明に撮影することができる。
本発明に係る液滴吐出観察装置1は本発明の趣旨に添う限り様々な改変が可能である。
例えば、図7に示すように、昇降フレーム13を先の実施形態とは上下異なる向きに縦フレーム12に取り付け、ヘッド2から上方に向かって液滴Dを吐出させるようにしてもよい。この場合、ワーク3は下向きに配向させる。
また、ヘッド2の液滴吐出方向Fは上述したとおり垂直に限られるものではなく、例えばYZ平面に沿って様々な方向に配向することも可能である。
本発明は、化学実験、バイオテクノロジー実験、医療診断、エレクトロニクス生産等に利用することができる。液体は多種類のものを用いることができる。例えば、DNA・蛋白質・菌類等の生体材料、蛍光微粒子、導電体微粒子、樹脂微粒子、セラミック微粒子、顔料染料等、微粒子を含む液体を用いることができる。また、蒸留水等、表面張力の高い液体や、高価な液体を少量用いるのにも適している。印刷により線画等を描く他、例えば、電極形成やマイクロレンズを作成することができる。さらに、液滴を吐出させることで、例えば生体材料チップ等所定の複数箇所に液滴を配置させる他、分注、散布による匂い発生、吐出量調整による配合調整、成膜等に用いることもできる。
本発明に係る液滴吐出観察装置の正面図である。 液滴吐出観察装置の平面図である。 図1のヘッド支持具の正面図である。 図1のヘッド近傍の拡大正面図である。 観察方向を水平にした状態のヘッド近傍の拡大正面図である。 ワークを傾けた状態を示す図4相当図である。 第二の実施形態を示す図1相当図である。
符号の説明
1:液滴吐出観察装置、2:ヘッド、2a:斜面、3:ワーク、4:観察具、5:ストロボ光源、7:ノズル、8:支持装置、10:基礎フレーム、11:台座、11a:脚、12:縦フレーム、12a,b:固定部、13:昇降フレーム、13a:昇降接続部、13b:昇降張出部、13c:基部、14:ハンドル、14a:昇降ねじ、15:水平レール、16:第2水平レール、20:ヘッド支持具、21:第一X軸調整具、21a:スライダー、22:第一Z軸調整具、22a:レール、22b:下スライダー、22c:上スライダー、22d:下固定ねじ、22e:上固定ねじ、23:第二Z軸調整具、23a:基礎ブロック、23b:移動ブロック、23c調整ねじ:、23d:アングル、24:Y軸調整具、24a:基礎ブロック、24b:移動ブロック、24c:調整ねじ、25:第二X軸調整具、25a:基礎ブロック、25b:移動ブロック、25c:調整ねじ、25d:アングル、26:支持ブロック、27:取付部、27a:指示棒、27b:固定ねじ、27c:接当部、30:ワーク支持具、40:観察具支持具、41:回転固定部、41a:基礎部、41b:回転部、42:摘み、43:支持腕、44:取付部、50:ストロボ支持具、55:揺動部、A:角度、D:液滴、F:液滴吐出方向、P:着弾平面、W:観察方向

Claims (9)

  1. ノズルから液滴を所定位置へ吐出させるヘッド及びヘッド支持具と、液滴が着弾するワーク及びワーク支持具と、前記液滴の観察具及び観察具支持具とを備えた液滴吐出観察装置であって、
    前記ワークにおける液滴の着弾する着弾平面に対し前記液滴吐出方向又は前記観察具による観察方向の少なくとも一方が傾斜するように前記ヘッド、ワーク及び観察具の相対位置関係を設定可能であり、前記観察具は前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能である液滴吐出観察装置。
  2. 前記ヘッドの先端面下側に設けられた斜面を介して前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能である請求項1記載の液滴吐出観察装置。
  3. 前記ノズルを挟んで前記観察具の反対側に観察用ストロボを備えた請求項1又は2記載の液滴吐出観察装置。
  4. 観察具支持具及びヘッド支持具が相対位置を保持した状態で前記ワークに対して相対的に上下移動可能である請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出観察装置。
  5. 前記観察具支持具は前記観察具の観察方向を変更するように前記観察具を揺動可能であり、前記ワーク支持具は前記観察具の揺動面に沿って前記ワークを揺動可能である請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出観察装置。
  6. 前記観察具支持具は前記観察具の観察方向を変更するように前記観察具を揺動可能であり、前記ヘッド支持具は前記観察具の揺動面に沿って前記ヘッドを揺動可能である請求項1〜5のいずれかに記載の液滴吐出観察装置。
  7. 前記観察具支持具及びヘッド支持具は、観察具及びヘッドの相対位置関係を一定に保ったままでワークの表面に沿って観察具及びヘッドを相対移動可能である請求項1〜6のいずれかに記載の液滴吐出観察装置。
  8. 前記ワーク支持具は前記ワークをワークの表面に沿って移動させるワーク移動機構を有している請求項7記載の液滴吐出観察装置。
  9. 請求項1〜8記載の液滴吐出観察装置に使用する観察具及びヘッドの支持装置であって、ノズルから液滴を所定位置へ吐出させるヘッドを支持するヘッド支持具と、前記液滴の観察具を支持する観察具支持具とを備え、
    ワークにおける液滴の着弾する着弾平面が前記液滴吐出方向又は前記観察具による観察方向の少なくとも一方に対し傾斜するように前記ヘッド、ワーク及び観察具の相対位置関係を設定可能であり、前記観察具は前記液滴が前記ワークへ着弾する直前及び/又は着弾した直後の状態を観察可能である観察具及びヘッドの支持装置。
JP2006291388A 2006-10-26 2006-10-26 液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置 Pending JP2008105308A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006291388A JP2008105308A (ja) 2006-10-26 2006-10-26 液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006291388A JP2008105308A (ja) 2006-10-26 2006-10-26 液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008105308A true JP2008105308A (ja) 2008-05-08

Family

ID=39439070

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006291388A Pending JP2008105308A (ja) 2006-10-26 2006-10-26 液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008105308A (ja)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10206624A (ja) * 1997-01-17 1998-08-07 Asahi Glass Co Ltd カラーフィルタ製造方法及びそれに用いるカラーフィルタ製造装置
JPH10260014A (ja) * 1997-01-14 1998-09-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 多心テープ光ファイバの画像処理方法、相対位置検出方法と検出装置、画像取得装置および製造方法
JPH11192710A (ja) * 1997-12-28 1999-07-21 Ricoh Co Ltd 液滴検知システム
JP2000229409A (ja) * 1999-02-09 2000-08-22 Ricoh Co Ltd 液滴の噴射特性測定方法及びそのシステム
JP2005069737A (ja) * 2003-08-20 2005-03-17 Seiko Epson Corp 液滴着弾観測方法および液滴着弾観測装置
JP2006075714A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、ノズルプレートの剥離検出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置
JP2006188037A (ja) * 2004-12-30 2006-07-20 Samsung Electronics Co Ltd 噴射ヘッドの噴射性能検査器
JP2006192590A (ja) * 2005-01-11 2006-07-27 Canon Inc インク着弾観察装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10260014A (ja) * 1997-01-14 1998-09-29 Sumitomo Electric Ind Ltd 多心テープ光ファイバの画像処理方法、相対位置検出方法と検出装置、画像取得装置および製造方法
JPH10206624A (ja) * 1997-01-17 1998-08-07 Asahi Glass Co Ltd カラーフィルタ製造方法及びそれに用いるカラーフィルタ製造装置
JPH11192710A (ja) * 1997-12-28 1999-07-21 Ricoh Co Ltd 液滴検知システム
JP2000229409A (ja) * 1999-02-09 2000-08-22 Ricoh Co Ltd 液滴の噴射特性測定方法及びそのシステム
JP2005069737A (ja) * 2003-08-20 2005-03-17 Seiko Epson Corp 液滴着弾観測方法および液滴着弾観測装置
JP2006075714A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、ノズルプレートの剥離検出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置
JP2006188037A (ja) * 2004-12-30 2006-07-20 Samsung Electronics Co Ltd 噴射ヘッドの噴射性能検査器
JP2006192590A (ja) * 2005-01-11 2006-07-27 Canon Inc インク着弾観察装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4905998B2 (ja) 液滴分析システム
US20080156207A1 (en) Stencil printers and the like, optical systems therefor, and methods of printing and inspection
JP5027113B2 (ja) プリント装置
KR101979539B1 (ko) 프린팅 장치
JP4086878B2 (ja) 液滴塗布装置
JP2005014216A (ja) ドットずれ検出方法およびドットずれ検出装置
JP3713506B1 (ja) 回路基板用配線パターン形成装置および配線パターンの補修方法
KR101367785B1 (ko) 땜납 볼 인쇄 장치
JP2009030977A (ja) 液滴観察用のシステム
JP2005138013A (ja) 液滴吐出装置の制御方法及び液滴吐出装置
JP2008105308A (ja) 液滴吐出観察装置並びに観察具及びヘッドの支持装置
KR101976458B1 (ko) 토출장치 및 노즐 교체방법
JP2009095725A (ja) パターン形成装置に備えた液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法及びパターン形成装置
JP2009095740A (ja) 液滴吐出ヘッドの液滴吐出量調整方法及びパターン形成装置
JP2005014513A (ja) 液滴吐出ヘッド、ノズル孔位置検出方法および液滴吐出装置
JP2008238143A (ja) 液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッド交換方法
TWI797903B (zh) 具有多個噴嘴頭的印刷裝置及多個噴嘴尖端的排列方法
JP2006266982A (ja) ドット径補正係数取得方法、ドット径測定方法およびドット径異常検出方法、並びにドット径測定装置、ドット径異常検出装置および液滴吐出装置
JP5895868B2 (ja) マーキング装置
JP2004165035A (ja) 有機elデバイス製造装置における液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および吐出検査装置、並びに有機elデバイス製造装置、有機elデバイス、有機elデバイスの製造方法および電子機器
WO2023203865A1 (ja) 液滴吐出装置およびマルチノズルヘッドの調整方法
JP5615621B2 (ja) 塗布ユニットおよびそれを用いたパターン修正装置
JP2010192733A (ja) 配線基板の製造方法および配線基板製造装置
JP2007079145A (ja) 修正液塗布ユニット
JP2009248053A (ja) ヘッド保守装置、吐出装置、及びヘッド保守方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100521

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100615

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100804

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101109

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110322