JP5895868B2 - マーキング装置 - Google Patents
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Description
また、請求項2に係るマーキング装置は、基板を搭載するためのステージと、吐出口を有し、当該吐出口から吐出されたインクによって前記基板にマーキングを施すためのインカーと、前記ステージおよび前記インカーを相対的に移動させるための移動機構と、当該移動機構によって前記基板に近接するように配置された前記吐出口の近傍を、前記基板の側方から撮像するカメラと、当該カメラによって撮像された画像を表示するモニタと、当該モニタに表示された画像に基づき、前記移動機構によって前記インカーおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させることにより、前記吐出口と前記基板との間の間隔を、前記基板にマーキングを施すための所定の間隔に調整することによって、前記基板および前記インカーを位置決めするための位置決め手段と、を備え、前記インカーは、空気圧によって前記吐出口にインク溜まりを形成するエア式インカーであり、所定の大きさの前記インク溜まりを形成させるインカー駆動機構を有し、前記インカー駆動機構によって前記所定の大きさのインク溜まりを形成したインカーを、前記移動機構によって前記基板に連続して複数回、近接させたときに、前記基板に付着したインクの状態に応じて、前記所定の間隔を決定する間隔決定手段をさらに備えていることを特徴とする。
3 移動ステージ(ステージ)
4 ステージ移動機構(移動機構)
5 カメラ
6 モニタ
10 インカー
11a 吐出口
13 インカー移動機構(移動機構)
20 制御装置(位置決め手段)
21 制御装置(位置決め手段)
W 半導体ウエハ(基板)
D3 所定の間隔
Claims (5)
- 基板(W)を搭載するためのステージ(3)と、
吐出口(11a)を有し、当該吐出口から吐出されたインクによって前記基板にマーキングを施すためのインカー(10)と、
前記ステージおよび前記インカーを相対的に移動させるための移動機構(4、13)と、
当該移動機構によって前記基板に近接するように配置された前記吐出口の近傍を、前記基板の側方から撮像するカメラ(5)と、
当該カメラによって撮像された画像を表示するモニタ(6)と、
当該モニタに表示された画像に基づき、前記移動機構によって前記インカーおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させることにより、前記吐出口と前記基板との間の間隔を、前記基板にマーキングを施すための所定の間隔(D3)に調整することによって、前記基板および前記インカーを位置決めするための位置決め手段(20、21)と、
を備え、
前記所定の間隔を表す2本の互いに平行な基準線(L1、L2)を、前記カメラによって撮像された画像とともに表示する基準線表示手段(6)をさらに備え、
前記位置決め手段は、前記基準線表示手段によって表示された基準線に基づき、前記基板および前記インカーを位置決めすることを特徴とするマーキング装置。 - 基板(W)を搭載するためのステージ(3)と、
吐出口(11a)を有し、当該吐出口から吐出されたインクによって前記基板にマーキングを施すためのインカー(10)と、
前記ステージおよび前記インカーを相対的に移動させるための移動機構(4、13)と、
当該移動機構によって前記基板に近接するように配置された前記吐出口の近傍を、前記基板の側方から撮像するカメラ(5)と、
当該カメラによって撮像された画像を表示するモニタ(6)と、
当該モニタに表示された画像に基づき、前記移動機構によって前記インカーおよび前記ステージの少なくとも一方を移動させることにより、前記吐出口と前記基板との間の間隔を、前記基板にマーキングを施すための所定の間隔(D3)に調整することによって、前記基板および前記インカーを位置決めするための位置決め手段(20、21)と、
を備え、
前記インカーは、空気圧によって前記吐出口にインク溜まり(I)を形成するエア式インカーであり、所定の大きさの前記インク溜まりを形成させるインカー駆動機構(12)を有し、
前記インカー駆動機構によって前記所定の大きさのインク溜まりを形成したインカーを、前記移動機構によって前記基板に連続して複数回、近接させたときに、前記基板に付着したインクの状態に応じて、前記所定の間隔を決定する間隔決定手段(20、21)をさらに備えていることを特徴とするマーキング装置。 - 前記インカーは、空気圧によって前記吐出口にインク溜まり(I)を形成するエア式インカーであり、所定の大きさの前記インク溜まりを形成させるインカー駆動機構(12)を有し、
前記インカー駆動機構によって前記所定の大きさのインク溜まりを形成したインカーを、前記移動機構によって前記基板に連続して複数回、近接させたときに、前記基板に付着したインクの状態に応じて、前記所定の間隔を決定する間隔決定手段(20、21)をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載のマーキング装置。 - 前記間隔決定手段は、前記所定の大きさのインク溜まりを形成したインカーを、前記基板に連続して3回、近接させたときに、1回目および2回目にインクが付着する一方、3回目にはインクが付着しなかった場合に、前記所定の間隔を決定することを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のマーキング装置。
- 前記カメラとの間に前記インカーが位置するように前記カメラに対向するとともに、前記基板の上面との間に間隙(D2)を設けた状態で配置され、前記カメラに向かって発光する照明装置(7)をさらに備えていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のマーキング装置。
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