JPH09172045A - マーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マーキング装置によるバッドマークの大きさ
調整を容易にしたマーキング装置を提供することを目的
とする。 【解決手段】 マーカ２のマーカ支持部５１が、マーカ
２を上下移動させるマーカ上下駆動部７に取り付けら
れ、このマーカ上下駆動部７はステッピングモータ５２
とウォームギア５４によるマーカ支持部５１の可動部に
より構成され、マーカ２の移動距離を決めるステッピン
グモータ５２の回転角をモータコントローラ５７への信
号入力で与え、バッドマーク２０の大きさを調整する。 【効果】 バッドマークの大きさの調整が容易になり、
半導体製造の作業性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はマーキング装置に関
し、さらに詳しくは、半導体ウェハ上に形成された半導
体装置の不良チップ上にマーキングをするマーキング装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造におけるウェハ工程終
了後、半導体ウェハ上に形成された半導体装置の電気特
性、性能等の測定がウェハ検査装置にて行われる。この
段階で半導体装置の良品と不良品が選別され、この良品
と不良品の半導体ウェハ上の位置が記憶装置に記憶され
る。次に、半導体ウェハはマーキング装置に送られ、こ
こでウェハ検査装置にて、選別された不良品の位置の記
憶データをもとに、不良品マーク（バッドマーク）が付
けられる。その後、半導体ウェハは個々の半導体装置に
分割して、ペレット状にされ、バッドマークの付いたペ
レット以外の良品のペレットをダイボンドし、更にワイ
ヤボンドし、封止等が行われ、半導体装置が出来上が
る。

【０００３】上述したマーキング装置の従来例を、図４
に示すマーキング装置１の概略ブロック図と、図５に示
すマーカ２の概略斜視図とを参照して説明する。まず、
マーキング装置１は、図４に示すように、マーキング装
置の制御部である制御装置３に接続したマーカ２と、ウ
ェハステージ４を駆動するステージ駆動部５により構成
されている。また、マーカ２の構造は、図５に示すよう
に、マーキング用インクを収納するインクつぼ１１と、
このインクつぼ１１の下部に一体で形成されているチュ
ーブ状のつぼ先１２と、インクつぼ１１のインクをチュ
ーブ状のつぼ先１２を通して押し出すための中芯１３
と、この中芯１３が取り付けられたプランジャー型ソレ
ノイド１４と、マーカ１を支持し、上下に移動するマー
カ支持部１５と、バネ１６で支えられたプランジャー１
７位置を微調整する微調整部１８とで概略構成されてい
る。また、マーカ２には、制御装置３からプランジャー
型ソレノイド１４を駆動する電流が図５のＡより供給さ
れる

【０００４】上記のようなマーキング装置１によりバッ
ドマークを付ける操作は、まず、半導体ウェハ２をウェ
ハステージ４に載せ、次にウェハ検査装置で記憶した記
憶装置（図示省略）を制御装置３が読み出して、半導体
ウェハ上の半導体装置の良否とその位置データを制御装
置３内の記憶部に記憶するか、又はウェハ検査装置で上
記データを記録したフロッピディスク等を制御装置３に
挿入する。次に、バッドマーク付け作業開始の指示で、
制御装置３から、入力された不良品の半導体装置の位置
情報を基にして、ウェハステージ駆動部５を駆動する信
号が供給され、ウェハステージ４が移動し、マーカ２の
つぼ先１２の直下に半導体ウェハ６上の不良品の半導体
装置が設置される。その後、プランジャー型ソレノイド
１４を駆動する電流が制御装置３より供給されて、中芯
１３がインクつぼ１１中のインクをつぼ先１２より押し
出すように移動して、半導体ウェハ３上の不良品の半導
体装置にバッドマーク２０を付ける。

【０００５】この様なマーキング装置１の現状の問題点
は、ほぼ円形のバッドマーク２０が一個の半導体装置、
所謂一個のペレットより大きくなって、隣接する良品の
ペレットまで広がり、ワイヤボンドができなくなたり、
押し出されるインクの量が多くて、インクの飛び散りを
生じたり、またバッドマークがあまりに小さくて、ペレ
ットの良否の判定が難しく、半導体ウェハ６をカッテン
グしてペレット化した後、不良品をダイボンドしてしま
う虞がある。そこで、通常はマーキングを始める前に、
ダミーの半導体ウェハをウェハステージ５に載せ、マー
カ支持部１５を上下に移動してつぼ先１２と半導体ウェ
ハとの間隔の調整と、更に中芯１３の移動距離を変える
微調整部１９の微調整とにより、所定の大きさのバッド
マークが得られるまでバッドマークの試し付けを行い、
その後に、製品の半導体ウェハ６のバッドマーク付けを
行う。

【０００６】この様な事前調整をしても、半導体ウェハ
６の表面状態の変化による濡れ性の変化や、半導体ウェ
ハ６とつぼ先１２との微妙な間隔ずれが生ずると、バッ
ドマークの大きさが変化し、再調整をしなければならな
い。この時は上記の事前調整方法を行わなければなら
ず、この上記事前調整方法を取ると、調整にかなり時間
が取られるため、半導体装置の製造作業性を大きく悪化
させる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したマ
ーキング装置における問題点を解決することをその目的
とする。即ち本発明の課題は、マーキング装置によるバ
ッドマークの大きさ調整を容易にし、半導体装置の製造
作業性を改善したマーキング装置を提供することを目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のマーキング装置
は、上述の課題を解決するために提案するものであり、
半導体ウェハの特定箇所にマーキングするマーキング装
置であって、電動式のマーカ上下駆動部と電動式のマー
カ上下駆動部を作動させるためのコントロール装置を具
備したことを特徴とするものである。

【０００９】また、本発明のマーキング装置は、マーキ
ング装置でマークした像を監視して、マークの大きさを
所定許容範囲に入れるための自動コントロールシステム
構成をとることを特徴とするものである。

【００１０】上述した自動コントロールシステム構成
は、マーキング装置でマークした像を撮像するＴＶカメ
ラと、撮像した画像とマークの大きさの所定許容範囲与
える基準信号を発生し、前記基準信号と前記ＴＶカメラ
にて撮像した画像とを基にして画像処理を行い、マーク
の大きさが前記マークの大きさの許容範囲を越える割合
に比例した信号を発生させる信号発生器と、信号発生器
からの信号を基にして、所定許容範囲を越えたマークの
大きさを所定のマークの大きさに戻すための信号を発生
させてコントロール装置に入力するための入出力変換装
置と、入出力変換装置からの信号により、電動式のマー
カ上下駆動部を作動させるためのコントロール装置と、
コントロール装置からの信号により、マーキング装置の
マーカを上下移動させる電動式のマーカ上下駆動部とを
具備して構成したことを特徴とするものである。

【００１１】本発明の骨子は、マーキング装置のマーカ
の上下移動を電動式のマーカ上下駆動部と、電動式のマ
ーカ上下駆動部を作動させるためのコントロール装置と
を備え、このコントロール装置の操作により、容易にマ
ークの大きさ調整を行えることにある。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的実施の形態
例につき、添付図面を参照して説明する。なお従来技術
の説明で参照した図４、図５中の構成部分と同様の構成
部分には、同一の参照符号を付すものとする。

【００１３】実施の形態例１ 本実施の形態例はマーキング装置に本発明を適用した例
であり、これを図１を参照して説明する。なお、本発明
のマーキング装置の基本構成およびマーカ２自体の構造
に関しては、従来例と全く同様なので説明を省略する。
まず、図１に示すように、マーカ２のマーカ支持部５１
は、マーカ２を上下移動させる電動式のマーカ上下駆動
部７に取り付けられている。このマーカ上下駆動部７は
ステッピングモータ５２、支持台５３、ステッピングモ
ータ５２に接続されたウォームギア５４、上部支持板５
５およびマーカ支持部５１のスライド支柱５６ａ、５６
ｂより構成されている。マーカ支持部５１はステッピン
グモータ５２の回転により、スライド支柱５６ａ、５６
ｂに沿いながらウォームギア５４により上下移動するよ
うになっている。ステッピングモータ５２は、マーカ上
下駆動部を作動させるためのコントロール装置である、
ステッピングステッピングモータコントローラ５７から
の入力信号、即ちステッピングモータ５２の回転角を与
え、マーカ支持部５１を所定の距離だけ上下移動させる
ための入力信号により回転する。

【００１４】本発明のマーキング装置の操作は、マーキ
ング装置を使用する初期 段階においては従来同様の操
作、即ちダミーの半導体ウェハをウェハステージ５に載
せ、マーカ支持部５１をマーカ上下駆動部７を稼働させ
て上下に移動し、つぼ先１２と半導体ウェハとの間隔の
調整と、更に中芯１３の移動距離を変える微調整部１９
の微調整とにより、所定の大きさのバッドマークが得ら
れるまでバッドマークの試し付けを行う。次に、所定の
大きさのバッドマーク径からずれたバッドマーク径を得
るために、ステッピングモータコントローラ５７へ入力
信号を与え、バッドマーク径とステッピングモータコン
トローラ５７への入力信号との相関グラフを求めてお
く。

【００１５】その後は、製品の半導体ウェハ６のバッド
マーク付けを行うのであるが、もしバッドマーク付け工
程途中で、バッドマーク径が所定の径より大きく変化し
ていることが判明した時は、直ちにバッドマーク付け作
業を止め、バッドマーク径とステッピングモータコント
ローラ５７への入力信号との相関グラフを基にして、バ
ッドマーク径を所定のバッドマーク径とするためのステ
ッピングモータコントローラ５７への入力信号を決めて
入力する。このようにして、簡単に所定のバッドマーク
径を得て、バッドマーク付け工程作業を復帰させること
ができ、作業能率が向上する。

【００１６】実施の形態例２ 本実施の形態例は実施の形態例１の操作を自動的に行え
る自動コントロールシステム構成６０をとる例であり、
これを図２および図３を参照して説明する。自動コント
ロールシステム構成６０は図２に示すように構成となっ
ている。まず、ＴＶカメラ８とＴＶカメラ８に接続した
ＴＶモニタ９を設置され、このＴＶカメラ８は一つのペ
レットのみが撮像できるような光学系を備えたものにす
る。また、このＴＶカメラ８からの信号は信号発生器６
１に接続されている。この信号発生器６１にはバッドマ
ーク２０の所定の大きさを決めるための基準信号発生器
が内在されていて、制御装置３からの入力信号とＴＶカ
メラ８からの信号とを受けて、バッドマーク２０が所定
の大きさのある決められた範囲外になった時、マーカ２
の上下位置を変えるための信号を発生させるための装置
である。この信号発生器６１からの信号は入出力変換器
６２に送られる。この入出力変換器６２は、信号発生器
６１からの信号を受けて、マーカ２の位置を上下させバ
ッドマークの大きさを所定の大きさとするステッピング
モータコントローラ５７用信号を発生させ、ステッピン
グモータコントローラ５７への入力信号を供給する装置
である。

【００１７】本発明のマーキング装置の動作は、まず不
良半導体装置、所謂ペレットにバッドマーク２０が付け
られると、制御装置３からペレットピッチに相当するウ
ェハステージ４の移動信号がステージ駆動部５に供給さ
れ、ウェハステージ４を図２のＢの矢印方向に移動させ
る。この移動後のバッドマーク２０をＴＶカメラ８で撮
像し、この信号がＴＶモニタ９と信号発生器６１に送ら
れる。一方制御装置３からはウェハステージ４がペレッ
トピッチに相当する移動完了後の信号が信号発生器６１
に送られる。

【００１８】次に、この信号発生器６１の機能を図３に
示すＴＶモニタ９のモニタ画面７１の画像をもとに説明
する。モニタ画面７１上には、約１ペレット分の画像が
写し出され、ほぼ円形のバッドマーク２０が中央に写し
出され、このモニタ画面７１を与えているＴＶカメラ８
からの信号は、同時に信号発生器６１にも供給されてい
る。信号発生器６１内には、バッドマーク２０の所定の
大きさの円７２（実線）の外部に、バッドマーク２０の
大きさの許容範囲の上限の円７３（破線）を想定した画
像と、バッドマーク２０の大きさの許容範囲の下限の円
７４（破線）を想定した画像との基準信号発生器があ
り、ＴＶカメラ８からの信号との比較処理が行われる。
もし、バッドマーク２０がこの許容範囲に入らない時
は、許容範囲を越えた値分に比例する信号が信号発生器
６１より入出力変換器６２に向けて出力される。

【００１９】入出力変換器６２では、信号発生器６１か
らの入力信号を基にし、所定の大きさのバッドマーク２
０に戻すために必要なマーカ２移動を与えるための信号
を発生させ、ステッピングモータコントローラ５７に向
けて供給する。この信号でステッピングモータコントロ
ーラ５７が作動し、ステッピングモータが回転してマー
カ上下駆動部７が作動し、マーカ２の位置を変える。上
記の操作が行われた後に、マーキング装置が次のバッド
マーク２０付けをする際には、マーカ２の上下方向の位
置が変わっているため、再び所定の大きさのバッドマー
ク２０が付けられるようになる。

【００２０】この様にして、バッドマーク２０の大きさ
を常にＴＶカメラ８で監視して、ＴＶカメラからの信号
とマークの大きさの所定許容範囲与える基準信号とを基
にした画像処理をし、バッドマーク２０の大きさが常に
許容範囲に入るような自動コントロールシステム構成を
とることで、バッドマーク２０の大きさ不良による問題
点を回避でき、またバッドマーク２０大きさ不良時、従
来のようなマーカ２の調整作業が不要となくなり、製造
の作業性が向上する。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のマーキング装置は、電動式のマーカ上下駆動部と電動
式のマーカ上下駆動部のコントローラ装置を設けること
で、バッドマークの大きさ調整が容易になり、半導体製
造の作業性が向上する。更にＴＶカメラを設置して、常
にバッドマークの大きさを監視し、この信号によりバッ
ドマークの大きさを常にコントロールするシステム構成
をとることにより、更に半導体製造の作業性が向上す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した実施の形態例１のマーキング
装置におけるマーカ部分の概略図である。

【図２】本発明を適用した実施の形態例２のマーキング
装置におけるマーカ部分の概略図である。

【図３】本発明を適用した実施の形態例２のマーキング
装置におけるバッドマークの大きさのコントロールを説
明するためのＴＶモニタ画面である。

【図４】従来例のマーキング装置のブロック図である。

【図５】従来例のマーキング装置におけるマーカ部分の
概略図である。

【符号の説明】

１ マーキング装置 ２ マーカ ３ 制御装置 ４ ステージ駆動部 ５ ウェハステージ ６ 半導体ウェハ ７ マーカ上下駆動部 ８ ＴＶカメラ ９ ＴＶモニタ １１ インクつぼ １２ つぼ先 １３ 中芯 １４ ソレノイド １５ マーカ支持部 １６ バネ １７ プランジャ １８ 微調整部 ２０ バッドマーク ５１ マーカ支持部 ５２ ステッピングモータ ５３ 支持台 ５４ ウォームギア ５５ 上部支持板 ５６ａ、５６ｂ スライド支柱 ５７ ステッピングモータコントローラ ６０ 自動コントロールシステム ６１ 信号発生器 ６２ 入出力変換器

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェハの特定箇所にマーキングす
   るマーキング装置において、 前記マーキング装置のマーカを上下移動させる電動式の
   マーカ上下駆動部と、 前記電動式のマーカ上下駆動部を作動させるためのコン
   トロール装置と、 を具備したことを特徴とするマーキング装置。
2. 【請求項２】 マーキング装置でマークした像を監視し
   て、前記マークの大きさを所定許容範囲に入れるための
   自動コントロールシステム構成をとることを特徴とす
   る、請求項１記載のマーキング装置。
3. 【請求項３】 前記自動コントロールシステム構成が、 マーキング装置でマークした像を撮像するＴＶカメラ
   と、 撮像した画像とマークの大きさの所定許容範囲与える基
   準信号を発生し、前記基準信号と前記ＴＶカメラにて撮
   像した画像とを基にして画像処理を行い、マークの大き
   さが前記マークの大きさの許容範囲を越える割合に比例
   した信号を発生させる信号発生器と、 前記信号発生器からの信号を基にして、所定許容範囲を
   越えたマークの大きさを所定のマークの大きさに戻すた
   めの信号を発生させて前記コントロール装置に入力する
   ための入出力変換装置と、 前記入出力変換装置からの信号により、前記電動式のマ
   ーカ上下駆動部を作動させるための前記コントロール装
   置と、 前記コントロール装置からの信号により、前記マーキン
   グ装置のマーカを上下移動させる電動式のマーカ上下駆
   動部と、 を具備して構成したことを特徴とする、請求項２記載の
   マーキング装置。