CN100436145C - 多轴式打墨器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多轴式打墨器的装置，此打墨器是用来标示在晶圆上有瑕疵的芯片，而传统式的打墨器的第一轴杆会晃动造成打墨的误差；本发明的打墨器，是在传统式的打墨器上加装一第二轴杆，用以固定第一轴杆，让第一轴杆在工作时不会晃动，不再造成误差的产生。

Description

多轴式打墨器

技术领域

本发明涉及一种打墨器的装置，特别是关于一种双轴式打墨器的装置。

背景技术

半导体生产流程是由IC设计、晶圆制造、晶圆测试、IC封装和封装测试所组成。而在晶圆测试过程，使用一种打墨器，该打墨器的用途是用来标示不良芯片，以便于在IC封装时，不会将此芯片做封装的动作。本发明即是有关于打墨器装置的改良，使其在工作时不会因晶圆芯片过小而产生标示误差。

图1是传统的打墨器10的平面图，包含：一驱动装置110，此驱动装置110具有第一轴杆1102、一线圈1104和一电磁电路(未图标)，而线圈1104环绕于第一轴杆1102，且电磁电路驱动该线圈1104，使得该第一轴杆1102可作上下移动；一墨嘴头120，连接于驱动装置110，用以将墨打印于芯片表面；一传动装置130，内储存有墨汁，用以提供墨嘴头120所需的墨汁，及一墨汁槽140，连接于驱动装置110，使其作水平方向的移动。

传统的打墨器10在工作时，如果晶圆芯片的尺寸较小时，会有打墨偏移误差的情形发生，因为打墨器10的驱动装置110的第一轴杆1102在工作时需要不断地移动，且移动时线圈1104会来回收放第一轴杆1102，使得第一轴杆1102会不定地旋转，连带着墨嘴头120也一起跟着旋转，从而在准备打墨时，因转动而造成墨嘴头120的晃动，使得打墨位置偏移，造成打墨误差情况产生。

现代科技日新月异，晶圆的制程已朝向越来越小的趋势前进，芯片的尺寸也越来越小。当芯片越来越小时，打墨器就必须更准确地将墨打印到芯片的正确位置上，其有必要提供一种改良的打墨器，有效地、准确地将墨打到预定的位置，降低误差情况的产生。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足于缺陷，提出一种多轴式打墨器，该多轴式打墨器能有效地、准确地将墨打到预定的位置，降低误差情况的产生，避免打墨位置的偏移。

为达上述目的，本发明提供一种多轴式打墨器，包含：一驱动装置，其包含一第一轴杆，该驱动装置驱动该第一轴杆；一墨嘴头，连接于该驱动装置，用以将墨汁打印于芯片表面；至少一防偏转装置，其包含一第二轴杆；及一连杆，其第一端固着于该第一轴杆，其第二端固着于该第二轴杆，由此，该防偏转装置得以减少该第一轴杆所造成的旋转或偏移。

根据上述的目的，本发明揭露一种多轴式打墨器装置。于本发明多轴式打墨器的一实施例中，该打墨器包含一驱动装置，其驱动装置有第一轴杆；一墨嘴头，连接该驱动装置，用以将墨汁打印于芯片表面；至少一防偏转装置，其包含一第二轴杆及一连杆，其连杆的第一端固着于第一轴杆，其第二端固着于第二轴杆，由此，防偏转装置得以减少该第一轴杆所造成的旋转或偏移。而驱动装置更包含一线圈，环绕于第一轴杆，和一电磁电路，驱动线圈，可使得该第一轴杆作上下移动。该多轴式打墨器更包含一墨汁槽，内储存有墨汁，用以提供该墨嘴头所需的墨汁。该多轴式打墨器，更包含一传动装置，连接于该驱动装置，使其作水平方向移动。此外，多轴式打墨器的防偏转装置固定于驱动装置上，且打墨器的第二轴杆大致平行于第一轴杆。

附图说明

图1的平面图显示依据现有实施例的多轴式打墨器的装置；

图2的平面图显示依据本发明实施例的多轴式打墨器的装置。

图中符号说明

10打墨器

110驱动装置

1102第一轴杆

1104线圈

120墨嘴头

130传动装置

140墨汁槽

20打墨器

210驱动装置

2102第一轴杆

2104线圈

220防偏转装置

2202第二轴杆

230墨嘴头

240连杆

2402第一端

2404第二端

250墨汁槽

260传动装置

具体实施方式

本发明一些实施例的详细描述如下，然而，除了该详细描述外，本发明还可以广泛地在其它的实施例施行。亦即，本发明的范围不受已提出的实施例的限制，而应以本发明提出的权利要求书为准。当本发明的实施例图标中的各组件或结构在描述说明时，不应以此作为有限定的认知，而如下的说明未特别强调数目上的限制时，本发明的精神与应用范围可推及多个组件或结构并存的结构上。

图2是显示本发明的多轴式打墨器20的一实施例平面图，其包含一驱动装置210，该驱动装置210具有第一轴杆2102；一墨嘴头230，连接该驱动装置210，用以将墨汁打印于芯片表面；至少一防偏转装置220，其包含一第二轴杆2202；及一连杆240其第一端2402固着于第一轴杆2102，其第二端2404固着于该第二轴杆2202，由此，使防偏转装置220得以减少第一轴杆2102所造成的旋转或偏移。该驱动装置210更包含一线圈2104，环绕于该第一轴杆2102和一电磁电路(未图标)，驱动该线圈2104可使得该第一轴杆2102作上下移动。该多轴式打墨器20更包含一墨汁槽250，内储存有墨汁，用以提供墨嘴头230所需的墨汁。本实施例的多轴式打墨器20，更包含一传动装置260，连接于驱动装置210，使其作水平方向移动。多轴式打墨器20的防偏转装置220固定于该驱动装置，且该打墨器的第二轴杆2202大致平行于第一轴杆2102。

根据本发明的多轴式打墨器，其传动装置带动着驱动装置的第一轴杆作水平的移动，而从第一轴杆通过连杆连接的第二轴杆也跟着同步移动，其第二轴杆是用来固定第一轴杆，使其第一轴杆不会晃动过大，造成打印位置的偏差；当驱动装置210欲将墨嘴头230移动至有瑕疵的芯片上时，电磁电路开始工作，以驱动一线圈来传动第一轴杆，使得该第一轴杆作向下移动，将墨嘴头打至有瑕疵的芯片上，从而在此芯片上印上墨印，完成打墨的工作。

在本发明的实施例中，只有一个额外的轴杆放置在多轴杆打墨器上，而在其它的实施例上，可以加装一个以上的额外轴杆，一样可以达到稳定第一轴杆和降低打墨偏移机率的效果。

上述本发明的实施例仅为说明本发明的技术思想及特点，其目的在于使本领域技术人员了解本发明的内容并据以实施，当不能以之限定本发明的保护范围，即凡其它未脱离本发明所揭示的精神所完成的等效的各种改变或修饰都涵盖在本发明所揭露的范围内，均应包含在权利要求书的范围内。

Claims (8)

1.一种多轴式打墨器，其特征在于，包含：

一驱动装置，其包含一第一轴杆，该驱动装置驱动该第一轴杆；

一墨嘴头，连接于该驱动装置，用以将墨汁打印于芯片表面；

至少一防偏转装置，其包含一第二轴杆；及

一连杆，其第一端固着于该第一轴杆，其第二端固着于该第二轴杆，由此，该防偏转装置得以减少该第一轴杆所造成的旋转或偏移。

2.如权利要求1所述的多轴式打墨器，其中，上述的驱动装置更包含：

一线圈，环绕于该第一轴杆；及

一电磁电路，驱动该线圈，使得该第一轴杆作上下移动。

3.如权利要求1所述的多轴式打墨器，其中，更包含一墨汁槽，内储存有墨汁，用以提供该墨嘴头所需的墨汁。

4.如权利要求3所述的多轴式打墨器，其中，上述的墨汁槽连接于该驱动装置及该墨嘴头之间。

5.如权利要求1所述的多轴式打墨器，其中，更包含一传动装置，连接于该驱动装置，使其作水平方向的移动。

6.如权利要求1所述的多轴式打墨器，其中，上述的防偏转装置固定于该驱动装置。

7.如权利要求5所述的多轴式打墨器，其中，上述的防偏转装置固定于该传动装置。

8.如权利要求1所述的多轴式打墨器，其中，上述的第二轴杆平行于该第一轴杆。

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