JP2008298727A - 液滴量測定装置及び液滴量調整装置並びに液滴量測定方法及び液滴量調整方法と、被描画基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】特別な測定用冶具及び測定装置を必要とせず、正確に液滴量を測定することができる測定装置を提供する。また、この測定装置の測定結果に基づいて、液滴量を調整する装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する液滴吐出ノズルと、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、前記集合液滴の量を測定する液滴量測定手段とを備える。前記液滴量測定手段の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整手段とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、インクジェットヘッドの液滴吐出量を測定する装置及び液滴吐出量を調整する装置並びに液滴吐出量測定方法及び液滴吐出量調整方法と、被描画基板の製造方法に関する。

液晶表示装置のカラーフィルタ、有機ＥＬ表示装置のＥＬ発光層、ＰＤＰ装置の蛍光体層やバンク、マイクロレンズを形成するためのレンズ層を製造する場合に、インクジェット描画装置を用いることが知られている。インクジェット描画装置は、微小な液滴を基板上の所望の位置に吐出可能なノズルを複数有するインクジェットヘッドを用いて基板上に描画を行う装置である。インクジェット描画装置を用いて、カラーフィルタ、ＥＬ発光層、蛍光体層、バンク、レンズ層を製造する際には、微小な領域内にインクを微小な液滴として塗布し、塗布したインクを乾燥および硬化することでカラーフィルタ、ＥＬ発光層、蛍光体層、バンク、レンズ層を形成する。色むらのない表示装置、またはばらつきのない高品質の装置を製造するためには前記膜厚を厳密に管理する必要があり、そのためにはノズルから吐出される液滴の量を正確に測定し、その測定結果に基づいて液滴吐出量を調整する必要がある。
インクジェットヘッドは、同一ノズルであっても同時に吐出するノズル数により吐出される液滴の量が異なるため、ノズルから吐出される液滴の量を正確に調整するには、実際の描画に近い状態、つまり全ノズルから吐出された状態で各ノズルから吐出される液滴の量を測定することが必要である。この方法として各ノズルに対応して複数並設された溝に、各ノズルから液滴を繰り返し吐出し、溝内に充填された液滴の長さを測定する方法が知られている(特許文献１参照)。
特開２００６−２２０５３９号公報

しかし、上記測定方法はインクジェットヘッドの各ノズルに対応して複数並設された溝を有する測定用冶具を必要とし、また液体が充填された長さを測定する装置を必要とする。また、測定のために溝に充填される液滴の量は、被描画基板に描画される液滴量と異なるため、被描画基板に描画される液滴量を正確に測定することができない。
本発明は、上記のような課題に鑑みて、特別な測定用冶具及び測定装置を必要とせず、非常に簡単な構成で、しかも被描画基板に描画される液滴量を正確に測定することができる測定装置を提供するものである。また、本発明はこの測定装置の測定結果に基づいて、液滴量を調整する液滴量調整装置を提供するものである。更に、本発明は液滴量測定法法及び液滴量調整方法を提供するものであり、更にこのようにして液滴量が測定され、調整されたインクジェットヘッドを用いて被描画基板を製造する方法を提供するものである。

本発明の液滴量測定装置は、上記課題を解決するため、液滴を吐出する１または複数の液滴吐出ノズルと、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、前記基板上に形成された集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定手段とを備える。
この構成によれば、基板として、平板のような基板、あるいは被描画基板を用いて液滴量を測定することができる。また被描画基板に描画される液滴量を正確に測定することができる。

また、本発明の液滴量測定装置において、実施形態では、好ましくは前記液滴吐出ノズルに駆動電圧を供給する駆動電圧源を備え、前記駆動電圧源より２つ以上の前記液滴吐出ノズルにほぼ等しい駆動電圧を印加するとよい。
この構成によれば、各液滴吐出ノズルの吐出条件を同じにして、液滴量を測定することができるので、各液滴吐出ノズルの液滴吐出量を正確に測定することができる。

また、本発明の液滴量測定装置において、前記液滴量測定手段は、光学的に前記基板上に形成された集合液滴の高さ分布を測定して、前記集合液滴の体積を測定することが好ましい。
この構成によれば、微量な液滴量を短時間に正確に測定することができる。

また、本発明の液滴量測定装置において、前記集合液滴の高さ分布は、基準光と、前記集合液滴の反射光より求めることが好ましい。
この構成によれば、微量な液滴量を短時間に正確に測定することができる。

本発明は、別の観点では液滴量調整装置であり、上記課題を解決するため、液滴を吐出する液滴吐出ノズルと、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、前記基板上に形成された集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定手段と、前記液滴量測定手段の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整手段とを備える。
この構成によれば、簡単な測定装置を用いて各液滴吐出ノズルからの液滴吐出量を所望の液滴量に調整することができ、色むらのない表示装置、またはばらつきのない高品質の装置を得ることができる。

更に、本発明は、別の観点では液滴量測定方法であり、液滴吐出ノズルより液滴を吐出する吐出工程と、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する集合液滴形成工程と、前記集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定工程とを備える。
この測定方法によれば、基板として、平板のような基板、あるいは被描画基板を用いて液滴量を測定することができる。

本発明は、別の観点では液滴量調整方法であり、液滴吐出ノズルより液滴を吐出する吐出工程と、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する集合液滴形成工程と、前記集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定工程と、前記液滴量測定工程の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整工程とを備える。
この液滴量調整方法によれば、各液滴吐出ノズルからの液滴吐出量を所望の液滴量に調整することができる。

本発明は、更に別の観点では被描画基板の製造方法であり、液滴吐出ノズルより液滴を吐出する吐出工程と、前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する集合液滴形成工程と、前記集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定工程と、前記液滴量測定工程の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整工程と、前記液滴吐出ノズルを用いて被描画基板上に液滴を吐出する描画工程とを備える。
この本発明の製造方法によれば、インクジェットヘッドの液滴吐出ノズルが吐出する液滴量を測定し、液滴量を調整した液滴吐出ノズルを使用して、被描画基板を製造するので、液滴量が調整される。この結果、色むらのない表示装置、またはばらつきのない高品質の装置を製造することができる。

また、本発明の被描画基板の製造方法において、実施形態では、前記吐出工程は、前記描画工程時における前記液滴吐出ノズルの液滴吐出周期と同じであることが好ましい。
この構成によれば、測定済み、調整済みの液滴吐出ノズルを使用して被描画基板を製造するので、高品質の被描画基板を製造することができる。

本発明によれば、特別な測定用冶具及び測定装置を必要とせず、非常に簡単な構成で、微量な液滴量を短時間に正確に測定することができる。また、この測定装置の測定結果に基づいて、所望の液滴量に調整することができる。更にこのようにして測定され、調整されたインクジェットヘッドを用いて被描画基板を製造するので、画素領域内を満たす液滴量を正確に調整することができ、色むらのない表示装置、またはばらつきのない高品質の装置を製造することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照し詳細に説明する。
図１は、本発明の液滴量測定装置および液滴量調整装置を示す斜視図である。
液滴量測定装置および液滴量調整装置は、描画装置１と、表面形状測定装置１３、制御ユニット１７よりなる。
描画装置１は、主としてヘッド３と、ヘッド移動機構５と、ステージ７と、ステージ移動機構９により構成される。
ヘッド３は、１個または複数個の液滴吐出ノズルを有し、一方向（例えば、ｘ方向）に移動可能なヘッド移動機構５に取り付けられる。図１に示すヘッド移動機構５は、ｘ方向に配置されたバー５ａに移動可能に取り付けられる。ヘッド移動機構５は望ましくは高さ調整機構と、ｚ軸を中心に微小回転機構を備える。ヘッド３の下方にステージ７が配置され、ステージ７に被描画基板１１が載置される。ステージ７はステージ移動機構９によって、ヘッド移動機構５と直交方向（例えば、ｙ方向）に移動する。図１に示すステージ移動機構９は、ベルト状の移動体９ａによって示している。
描画装置１の近傍には、色の異なる液滴材料を貯留するタンク（図示しない）が１つまたは複数設置され、各タンクと液滴吐出ノズルは、チューブを介して接続される。各タンクの液滴材料は、例えば圧縮空気によって、液滴吐出ノズルに供給される。

ステージ移動機構９の移動方向下流に、ヘッド移動機構５の設置場所から離れた場所に、表面形状測定手段１３がヘッド移動機構５と平行に移動可能な表面形状測定手段移動機構１５に設置される。即ち、図１に示す表面形状測定手段移動機構１５は、ｘ方向に配置されたバー１５ａに移動可能に取り付けられる。
表面形状測定手段１３は光学的に測定物の高さ分布を測定する装置であり、具体的にはレーザー顕微鏡や干渉法による測定装置があげられる。測定方法の詳細は後述する。

前記各部位は制御ユニット１７に接続され、制御ユニット１７により全体の動作が制御される。制御ユニット１７は、ヘッド３の吐出を制御するヘッド制御ユニット１７ａ、ヘッド移動機構５およびステージ移動機構７および表面形状測定手段移動機構１５の動作を制御するステージ制御ユニット１７ｂ、表面形状測定手段１３を制御する測定制御ユニット１７ｃ、およびこれら制御ユニットを制御する制御パソコンから構成される。もちろんある制御ユニットまたは制御パソコンが他の制御ユニットを兼ねていてもよい。

ヘッド３による被描画基板１１への液滴吐出について、図２を参照し詳しく説明する。図２は被描画基板１１とヘッド３の位置関係をわかりやすく図示したものである。被描画基板１１は液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置であり、画素に対応したバンク２１が形成されている。バンク２１は図２（ａ）のａ−ｂ線断面図を図２（ｂ）に示すように、液体を保有できるように被描画基板１１に窪み２２を形成したものである。この構造以外に、基板上に土手によって囲みを形成し、この囲みによりバンク２１を形成してもよい。
このバンク２１に描画装置１によりインクを充填し、インクを乾燥および焼成することでカラーフィルタやＥＬ発光層、蛍光体層、バンク、レンズ層を製造する。
ヘッド３は、電圧が印加されることで液滴を吐出する液滴吐出ノズル３１によって構成される。液滴吐出ノズル３１は１個でもよいが、ここでは複数の液滴ノズル３１によって構成されるヘッド３を示す。液滴吐出ノズル３１が液滴を吐出する原理はピエゾ方式やサーマル方式など既存の方法が用いられる。また液滴吐出ノズル３１に印加される電圧はノズル個別に設定され、各液滴吐出ノズル３１から吐出される液滴の量を個別に調整することが可能である。

図２に示す実施形態のヘッド３は、ステージ７の移動方向y(主走査方向と呼ぶ)に対し傾けてヘッド移動機構５に取り付けられている。その角度は、主走査方向と直交するヘッド移動機構５の移動方向に投影したノズル間隔が目標とするノズル間隔に等しくなる角度である。図２は主走査方向1列のバンク２１に３つのノズル３１が対応する角度（θ）を示している。1列のバンク２１に対応する複数のノズル（図２では３つ）をノズル群３３と呼ぶ。図２（ａ）は、４つのヘッド群３３ａ〜３３ｄが４つのバンク２１ａ〜２２ｄにそれぞれ対向するように配置している。このようにヘッド３を傾けることにより、ノズル間隔が非常に狭い場合であっても、以下に説明するように液滴量を測定し、液滴量を調整することが可能になる。さらには、このヘッド３を用いて、被描画基板を製造することができる。
この実施形態では３つのノズル３１によって１つのノズル群３３を構成し、１つのノズル群３３が１列のバンク２１に対応するようヘッド３を傾けている。しかし、１つのノズルが１のバンク２１に対応する場合のように、ノズル群３３を形成しない場合は、ヘッド３を傾ける必要はない。
本発明ではノズル群３３を構成する各ノズル３１には同一の駆動電圧が印加される。その設定方法は後述する。

図１の描画装置１、図２のヘッドを使用して描画するには、被描画基板１１が主走査方向に走査されるとともに、バンク２１がノズル下部を通過するタイミングでノズル３１からバンク２１に液滴が吐出される。バンク２１ａにはノズル群３３ａから、バンク２１ｂにはノズル群３３ｂから、バンク２１ｃにはノズル群３３ｃから、バンク２１ｄにはノズル群３３ｄから、それぞれ液滴が吐出され、被描画基板１１が主走査方向に移動するのに伴い、主走査方向にバンク２１ａ列〜２１ｄ列が液体で充填されていく。１回の主走査方向の走査で全バンクに描画できない場合は、ヘッド移動機構５によりヘッド３が主走査方向と直交する方向ｘ（副走査方向）に移動し、前述した主走査方向の描画が行われ、これらを繰り返すことにより全バンクが液体で充填される。

次に、液滴吐出量測定方法について説明する。
液滴吐出量測定時はステージ７に被描画基板１１に代えて撥液性を有する平板たとえば撥液処理を行ったガラス板を置き、これに被描画基板１１に行うのと同一のノズルおよび同一の吐出周期で描画を行う。同一の吐出周期とは、同一ノズルの吐出時間間隔および異ノズル間の吐出時間間隔が同じという意味であり、１つの吐出における印加電圧は被描画基板１１に吐出を行う場合と異なっていてもよい。前述したように本発明ではノズル群３３を構成するノズルの電圧は同一（以下ノズル群電圧３５と呼ぶ）とする。図３は液滴が吐出されたガラス板と対応するノズルを示している。

ガラス板は撥液性を有しているためバンクに対応した位置に液体の集合４１(以下集合液滴と呼ぶ)ができる。１つの集合液滴４１は１つのバンク２１を充填する液体であり、１つのバンク２１を充填するためにノズル群３３から吐出された液滴が集合したものである。したがって、この集合液滴４１の体積を測定することにより、バンク２１を充填する液体の体積つまり焼成後にバンク２１に形成される残留物、即ちカラーフィルタ、蛍光体層、バンク、レンズ層の膜厚を測定することができる。この実施形態では３つのノズル３１よりなるノズル群３３が集合液滴を形成するが、１つノズル３１で、１回の液滴吐出により基板に液滴を形成する場合も便宜的に集合液滴という。
このようにして、液滴吐出量測定時に行われた吐出は被描画基板１１に行う描画と同一のノズルおよび同一の吐出周期で行われているため、吐出ノズル数により変化する液滴の体積は被描画基板１１に描画を行うときとまったく同じである。従って、測定された集合液滴４１の体積は、被描画基板１１の描画においてバンク２１に充填される液体の体積と全く同じ値になるので、正確な膜厚の測定が可能である。

以上のようにして、基板上に形成した集合液滴４１の体積測定は、ステージ移動機構９によりステージ７が表面形状測定手段１３の下部まで移動したときに実施される。表面形状測定手段１３は集合液滴４１の高さ分布を測定し、表面形状測定手段制御ユニット１７ｃにおいて、基板上に形成された集合液滴の形状と高さ分布から、その体積を算出する。
集合液滴４１の体積測定は、集合液滴４１が液状のままで測定することも可能であるが、本発明の実施形態では集合液敵を乾燥、固化させてからその残留物の体積測定した。集合液滴の揮発性が低く乾燥により体積が減少せず、十分な測定精度が得られないときは、溶媒を蒸発させた後その残留物の体積を測定する。溶媒を蒸発させる方法としてはガラス板を減圧乾燥機など別の乾燥手段に入れてもよいし、描画装置１にヒーターなどの乾燥手段を設けてもよい。

ステージ７および表面形状測定手段１３を移動させることにより、残留物の体積を測定する。残留物の体積測定は、光学的測定により高さ分布を測定する。
具体的には非接触式の干渉計が使用され、図４（ａ）に示すように、単色光源５１からの単色光５３をハーフミラーまたはビームスプリッタ５５により、基板５７上の残留物５９に照射する光６１と、鏡６３に照射する光６５に分け、２つの反射光６７をＣＣＤカメラ６９に取り込む。残留物５９を照射する光６１と、鏡６３を照射する光６５の位相をπ／４ずつずらして４回撮影する。
図４（ｂ）に示すように、ＣＣカメラ６９において、２つの光が強めあっている部分７１は白くなり、弱めあっている部分７３は暗くなる。その結果、残留物５９の高さに応じて白と黒の模様がＣＣＤカメラ６９に取り込まれ、出力が得られるので、４回の撮影結果からＣＣＤカメラ６９で撮影される領域の相対的な高さ分布が計算できる。

具体的な計算方法は、残留物５９に照射する光６１と、鏡６３に照射する光６３の位相差をφとおき、このときのＣＣＤカメラ６９の明るさをＡとすると、
・Ａの状態から位相差をπ／４ずらしたときのＣＣＤカメラ６９の明るさをＢ
・Ａの状態から位相差を２π／４ずらしたときのＣＣＤカメラ６９の明るさをＣ
・Ａの状態から位相差を３π／４ずらしたときのＣＣＤカメラ６９の明るさをＤ
とすると、
（Ｄ−Ｂ）／（Ａ−Ｃ）＝ｔａｎφ
となり、φが求まる。
位相差φが求められ、使用している光源５１の光５３の波長が分かっているので、位相差に対応する高さが分かる。ＣＣＤカメラ６９で撮影した画素において、この長さが分かるので、これにより相対的な高さ分布が得られる。
この非接触式の干渉計によれば、０．１ｎｍ〜１ｍｍまでの表面高さを高精度、高速に３次元測定することができる。

残留物５９は、被描画基板１１に描画するのと同じ大きさが望ましく、残留物５９が小さすぎると、測定のバラツキを生じやすくなる。また残留物５９が大きすぎると、残留物を作るのに時間がかかり測定能率が低下し、また被描画基板１１に描画される液滴と異なるので好ましくない。

以上のような測定は、まず、すべてのノズル群電圧３５が電圧Ｖ１に設定され、ステージ７が主走査方向に１回移動し描画を行う。つぎに、すべてのノズル群電圧３５がＶ１とは異なる電圧Ｖ２に設定され、ヘッド移動機構５によりヘッド３が副走査方向に移動し、電圧Ｖ１で行った描画と異なる位置で、ステージ７が主走査方向に１回移動し描画を行う。この動作が異なるｎ個の電圧値分繰り返される。
ガラス板が減圧乾燥機に入れられ溶媒蒸発後またステージ７に置かれる。ステージ７は表面形状測定手段１３の下部まで移動する。表面形状測定手段は、各ノズル群３３について、前記ｎ個のノズル群電圧での残留物（集合液滴）の体積を測定する。
その結果、図５に示す測定結果が得られる。図５の横軸はノズル群電圧を示し、縦軸は残留物体積を示す。図５に示すように、各ノズル群３３ａ〜３３ｄについてノズル群電圧に対する残留物体積の近似直線が求まるため、近似直線から目標とする残留物の体積となるノズル群電圧Ｖ０ａ〜Ｖ０ｄが求まる。目標とする残留物の体積とは、目標とする液体の体積とその残膜率から求めた値または、バンク２１内に形成される膜の厚みから算出される値などである。

このようにして得られた目標ノズル電圧群Ｖ０ａ〜Ｖ０ｄに基づいて、設定したい残留物の体積となるように、ヘッド制御ユニット１７ａにより、ノズル群３３ａ〜３３ｄのノズル電圧群をそれそれ設定する。
液滴の体積を調整する場合は、事前に残留物が液滴の体積の何％になるかを求めておき、残留物の体積から液滴の体積を求め、電圧と液滴体積の比例関係から、設定したい液滴体積となる電圧に設定するとよい。または、残留物の体積を測定するように液滴の体積を直接測定して、設定したい液滴体積となる電圧に設定してもよい。

以上説明したような測定工程、調整工程はノズルからの吐出液滴量が変化したときに、被描画基板に液滴を吐出する前に実施される。例えば、一日１回、一時間毎、所定枚数製造毎のように定期的、前回被描画基板に液滴を吐出してから、新たに被描画基板に液滴を吐出までに所定時間以上の間隔が開いたとき、または使用者が必要と判断したときなどのいずれか１つ以上である。
つづいて描画を行う。ステージ７にはガラス板に代えて被描画基板１１が置かれる。各ノズル群には先ほど求められたノズル群電圧Ｖ０ａ〜Ｖ０ｄが設定される。ステージ７が主走査方向に移動するとともにヘッド３のノズルから液滴がバンク内に吐出され液体が充填される。そしてヘッド３が副走査に移動し、またステージ７が主走査方向に移動し、このように主走査方向と副走査方向の移動が繰り返されることで被描画基板１１内の全バンク２１に液体が充填される。その後、乾燥、固化工程を経て、液晶表示装置のカラーフィルタ、有機ＥＬ表示装置のＥＬ発光層、ＰＤＰ装置の蛍光体層やバンク、マイクロレンズを形成するためのレンズ層を製造する。
以上のようにノズル群電圧３５を調整することで、バンク２１内に充填される液体の体積はすべてのバンクで等しくなり、表示ムラのない高品質な表示装置を製造可能となる。

図５において、残留物体積目標値は、全てのノズル群３３ａ〜３３ｄに同じとしたので、バンク内に充填される液滴の体積は等しくなるが、ノズル群ごとに異なる残留物体積目標値を設定し、そのノズル群電圧に設定すれば、各ノズル群にそれぞれ異なる液滴量を設定することが可能である。従って、液滴の種類、性能、または必要とする膜厚に合せて異なる液滴量を設定するとよい。
本実施形態では、ヘッド３は、ノズル３１に個別に電圧を印加できるとしたが、ノズル群単位でしか電圧を印加できないヘッドでもよい。
また、基板上に集合液滴を形成して、その集合液滴の体積を測定し、測定結果に基づいて液滴吐出量を調整後、被描画基板に変えて、被描画基板上に液晶表示装置のカラーフィルタ、有機ＥＬ表示装置のＥＬ発光層、ＰＤＰ装置の蛍光体層やバンク、マイクロレンズを製造する工程を説明したが、集合液滴の形成、集合液滴の体積測定、液滴量調整を、被描画基板上の空白部分を利用して実施すれば、集合液滴の形成、集合液滴の体積測定、液滴量調整をするための基板を不要にすることができ、かつ被描画基板を用いて液滴量調整することができる。また空白部分以外にも集合液滴の形成、集合液滴の体積測定、液滴量調整後、集合液滴を除去する場合は、集合液滴は被描画基板上の任意の場所を利用することができる。
また、基板上に形成した集合液滴を乾燥、固化した残留物の体積を測定したが、乾燥、固化せずに、集合液滴の体積を測定してもかまわない。
以上には、本発明の液滴吐出量調整方法および描画装置について図を用いて説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部は同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。

この発明はインクジェットを使用した表示装置の製造において、輝度ムラのない表示装置を製造する場合に好適に利用できる。

本発明の描画装置の実施形態を示した斜視図である。 被描画基板とヘッドの関係を説明する図である。 液滴吐出量調整時の吐出方法を説明する図である。 表面形状測定手段の構成を説明する図である。 最適なノズル群電圧の決定方法を説明する図である。

符号の説明

１ 描画装置
３ ヘッド
５ ヘッド移動機構
７ ステージ
９ ステージ移動機構
１１ 被描画基板
１３ 表面形状測定手段
１５ 表面形状測定手段移動機構
１７ 制御ユニット
２１ バンク
３１ ノズル
３３ ノズル群
３５ ノズル群電圧
４１ 集合液滴
５１ 光源
５９ 残留物
６９ ＣＣＤカメラ

Claims (9)

1. 液滴を吐出する１または複数の液滴吐出ノズルと、
   前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、
   前記基板上に形成された集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定手段と
   を備えることを特徴とする液滴量測定装置。
2. 前記液滴吐出ノズルに駆動電圧を供給する駆動電圧源を備え、前記駆動電圧源より２つ以上の前記液滴吐出ノズルにほぼ等しい駆動電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載の液滴量測定装置。
3. 前記液滴量測定手段は、光学的に前記基板上に形成された集合液滴の高さ分布を測定して、前記集合液滴の体積を測定することを特徴とする請求項１に記載の液滴量測定装置。
4. 前記集合液滴の高さ分布は、基準光と、前記集合液滴の反射光より求めることを特徴とする請求項３に記載の液滴量測定装置。
5. 液滴を吐出する液滴吐出ノズルと、
   前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する基板と、
   前記基板上に形成された集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定手段と、
   前記液滴量測定手段の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整手段と
   を備えることを特徴とする液滴量調整装置。
6. 液滴吐出ノズルより液滴を吐出する吐出工程と、
   前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する集合液滴形成工程と、
   前記集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定工程と
   を備えることを特徴とする液滴量測定方法。
7. 液滴吐出ノズルより液滴を吐出する吐出工程と、
   前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する集合液滴形成工程と、
   前記集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定工程と、
   前記液滴量測定工程の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整工程と
   を備えることを特徴とする液滴量調整方法。
8. 液滴吐出ノズルより液滴を吐出する吐出工程と、
   前記液滴吐出ノズルより吐出される液滴によって集合液滴を形成する集合液滴形成工程と、
   前記集合液滴の量を非接触方式により測定する液滴量測定工程と、
   前記液滴量測定工程の測定結果に基づいて、前記液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する調整工程と、
   前記液滴吐出ノズルを用いて被描画基板上に液滴を吐出する描画工程と
   を備えることを特徴とする被描画基板の製造方法。
9. 前記吐出工程は、前記描画工程時における前記液滴吐出ノズルの液滴吐出周期と同じであることを特徴とする請求項８に記載の被描画基板の製造方法。