JP2006212501A - 液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワイピング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドのノズル面を払拭する際に洗浄剤の使用量を削減することができる液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】ヘッド１１のノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置１０であって、ヘッド１１のノズル面７０に接触することによりノズル面７０を払拭するワイピング部材４１０と、ノズル面７０への前記液体の付着を検知する検知部６５０と、ワイピング部材４１０に洗浄剤を供給する洗浄剤供給部４２０と、を備える。
【選択図】図８

Description

本発明は、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワイピング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。

液滴吐出装置は、描画システムとして用いられることがあり、この描画システムはインクジェット式で液滴をワークに対して吐出するようになっている。この描画システムはたとえばフラットパネルディスプレイのような電気光学素子の製造に用いられることがある。
この種の液滴吐出装置は、液滴を吐出するためのヘッドを有している。このヘッドのノズル面は、必要に応じて吸引装置によりノズル内の液滴および気泡を吸引した後に、ワイピング部材を用いて払拭することが提案されている（たとえば特許文献１）。
特開２００４−１６７４８８号公報（第１頁、図５６）

特許文献１では、ワイピングシートに対して洗浄剤を吹き付けて含浸させた状態で、ヘッドのノズル面を払拭する構造である。
ところが、ノズル面の汚れ具合によっては、洗浄剤を必ずしも使用しなくても良い場合があるが、特許文献１のワイピングシートには必ず洗浄剤を吹き付けて含浸させている。このために無駄な洗浄剤を使用してしまっており、洗浄剤の使用量を削減したいという希望がある。
そこで本発明は上記課題を解消し、ヘッドのノズル面を払拭する際に洗浄剤の使用量を削減することができる液滴吐出装置、液滴吐出装置におけるワイピング方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。

上記目的は、第１の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ヘッドのノズル面に接触することにより前記ノズル面を払拭するワイピング部材と、前記ノズル面への前記液体の付着を検知する検知部と、前記ワイピング部材に洗浄剤を供給する洗浄剤供給部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置により、達成される。

第１の発明の構成によれば、ワイピング部材は、ヘッドのノズル面に接触することによりノズル面を払拭する。検知部がノズル面への液体の付着を検知した結果、洗浄剤供給部は、ワイピング部材によりノズル面を払拭する際に、ワイピング部材に洗浄剤を供給する。
これにより、洗浄剤の使用量を削減することができる。

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記ノズル面を封止して前記ノズルから前記液体を吸引する吸引部を有していることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、吸引部は、ワイピング部材によりノズル面を払拭する前に、ノズル面を封止してノズルから液体を吸引する。
これにより、吸引部は、ノズルを払拭する前にノズルから液体を吸引することで、ノズルの目詰まりを確実に防ぐことができる他に、ノズルの吐出能力を回復させることができる。

第３の発明は、第１の発明または第２の発明の構成において、前記ワイピング部材を水平に移動して前記ノズル面を払拭するための駆動部を有し、前記洗浄剤供給部は前記ワイピング部材の上方に配置されていることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、駆動部は、ワイピング部材を水平に移動してノズル面を払拭する。洗浄剤供給部は、ワイピング部材の上方に配置されている。
これにより、駆動部はワイピング部材を水平に移動しながらノズル面を払拭し、しかも洗浄剤供給部はワイピング部材の上方から洗浄剤を供給することができるので、供給された洗浄剤はワイピング部材に対して確実に含浸することができ、ワイピング部材が他の部分に流れ落ちてしまうことを防ぎ、洗浄剤を有効に利用することができる。

第４の発明は、第３の発明の構成において、前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って連続して塗布することを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、洗浄剤供給部は、ワイピング部材に対してワイピング部材の移動方向に沿って連続して塗布するようになっている。
これにより、洗浄剤はワイピング部材に対して連続的に塗布して含浸させることができる。

第５の発明は、第３の発明の構成において、前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って間欠的に塗布することを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、洗浄剤供給部は、ワイピング部材に対してワイピング部材の移動方向に沿って間欠的に塗布する。
これにより、洗浄剤はワイピング部材に対して必要に応じて間欠的に含浸させることができる。つまり間隔をおきながら洗浄剤はワイピング部材に対して含浸させることができるので、ワイピング部材は洗浄剤を用いてワイピングする作業と、洗浄剤を用いないでワイピングする作業の両方を行うことができる。

上記目的は、第６の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置におけるワイピング方法であって、洗浄剤供給部は、ワイピング部材により前記ノズル面を払拭する際に、前記ノズル面の前記液体による汚れの有無を検知して、前記ノズル面が汚れている場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給し、前記ノズル面が汚れていない場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給しないことを特徴とする液滴吐出装置におけるワイピング方法により、達成される。
これにより、ノズル面が汚れているか汚れていないかにより、洗浄剤の使用量を削減することができる。

第７の発明は、第６の発明の構成において、前記ワイピング部材は、前記ノズル面に対して移動することで前記ノズル面を払拭し、前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って連続して塗布することを特徴とする。
これにより、洗浄剤はワイピング部材に対して連続的に塗布して含浸させることができる。

第８の発明は、第６の発明の構成において、前記ワイピング部材は、前記ノズル面に対して移動することで前記ノズル面を払拭し、前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って間欠的に連続して塗布することを特徴とする。
これにより、洗浄剤はワイピング部材に対して必要に応じて間欠的に含浸させることができる。つまり間隔をおきながら洗浄剤はワイピング部材に対して含浸させることができるので、ワイピング部材は洗浄剤を用いてワイピングする作業と、洗浄剤を用いないでワイピングする作業の両方を行うことができる。

上記目的は、第９の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで電気光学装置を製造する製造方法であって、洗浄剤供給部は、ワイピング部材により前記ノズル面を払拭する際に、前記ノズル面の前記液体による汚れの有無を検知して、前記ノズル面が汚れている場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給し、前記ノズル面が汚れていない場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給せず、ワイピングした前記ノズル面から前記液体を前記ワークに吐出することで前記電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法により、達成される。

これにより、ノズル面が汚れているか汚れていないかにより、洗浄剤の使用量を削減することができる。
ワイピングしたノズル面から液体をワークに吐出することで、より高品質な電気光学装置を製造することができる。

上記目的は、第１０の発明にあっては、ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで製造される電気光学装置であって、洗浄剤供給部は、ワイピング部材により前記ノズル面を払拭する際に、前記ノズル面の前記液体による汚れの有無を検知して、前記ノズル面が汚れている場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給し、前記ノズル面が汚れていない場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給せず、ワイピングした前記ノズル面から前記液体を前記ワークに吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置により、達成される。

これにより、ノズル面が汚れているか汚れていないかにより、洗浄剤の使用量を削減することができる。
ワイピングしたノズル面から液体をワークに吐出することで、より高品質な電気光学装置を製造することができる。

第１１の発明は、第１０の発明に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器である。
これにより、高品質な電気光学装置を搭載した電子機器が得られる。

以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図である。
図１に示す液滴吐出装置１０は、描画システムとして用いることができる。この描画システムは、一例としていわゆるフラットパネルディスプレイの一種であるたとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置の製造ラインに組み込まれるものである。この液滴吐出装置１０は、たとえば有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成することができる。

液滴吐出装置１０は、たとえばインクジェット式描画装置として用いることができる。液滴吐出装置１０は、有機ＥＬ装置の発光素子を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するためのものである。液滴吐出装置１０のヘッド（機能液滴吐出ヘッドとも言う）は、有機ＥＬ素子の発光素子を形成できる。具体的には、有機ＥＬ素子の製造工程において、バンク部形成工程およびプラズマ処理工程を経て、バンク部が形成された基板（ワークの一例）に対して、発光機能材料を導入したヘッドを相対的に走査することにより、液滴吐出装置１０は、基板の画素電極の位置に対応して正孔注入／輸送層および発光層の成膜部を形成することができる。
液滴吐出装置１０はたとえば２台用意することにより、１台目の液滴吐出装置１０が正孔注入／輸送層を形成し、もう１台の液滴吐出装置１０はＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色の発光層を形成することができる。

図１の液滴吐出装置１０はチャンバ１２の中に収容されている。チャンバ１２は別のチャンバ１３を有している。このチャンバ１３の中には、ワーク搬出入テーブル１４を収容している。ワーク搬出入テーブル１４は、ワークＷをチャンバ１２内へ搬入したりあるいは処理後のワークＷをチャンバ１２内のテーブル３０の上から搬出するためのテーブルである。

図１に示すチャンバ１２の中には、ヘッド１１のメンテナンスを行うメンテナンス部１５を収容している。またチャンバ１２の外側には、回収部１６を備えている。
メンテナンス部１５は、ワイピング装置４００、液体吸引部としての液体吸引装置６００、検知部としてのカメラ６５０、ノズル詰まり検出装置６７０、フラッシングユニット（図示せず）、あるいは重量測定ユニット（図示せず）等を有している。

フラッシングユニットは、ヘッド１１から予備的に吐出された吐出用液滴を受けるためのものである。液体吸引装置６００は、ヘッド１１のノズル面のノズルから液体や気泡を吸引するためのものである。ワイピング装置４００はノズル面に接触してノズル面を払拭するためのものである。

ノズル詰まり検出装置６７０は、ヘッド１１のノズルから吐出される吐出用液滴の吐出の有無を検査する。重量測定ユニットは、ヘッド１１から吐出される液滴の重量を測定する。カメラ６５０はノズル面における吐出用液体による汚れの有無を検出する。
回収部１６は、たとえば吐出用液滴を回収する液滴回収系とワイピングの後に用いる洗浄用の溶剤を供給する洗浄液供給系を有している。

チャンバ１２とチャンバ１３は、個別にエアー管理されており、チャンバ１２とチャンバ１３の中の雰囲気に変動が生じないようになっている。このようにチャンバ１２とチャンバ１３を用いるのは、たとえば有機ＥＬ素子を製造する場合には大気中の水分等を嫌うために大気の影響を排除できるようにするためである。チャンバ１２とチャンバ１３の中にはドライエアーを連続的に導入して排気することで、ドライエアー雰囲気を維持する。

次に、図１に示すチャンバ１２内の構成要素について説明する。
チャンバ１２の中には、フレーム２０、ヘッド１１、キャリッジ１９、液体貯留部３００、第１操作部２１、第２操作部２２、テーブル３０、ガイド基台１７を収容している。
図１のフレーム２０はＸ軸方向に沿って水平に設けられている。ガイド基台１７はＹ軸方向に沿って設けられている。フレーム２０はガイド基台１７の上方にある。Ｘ軸は第１移動軸に相当し、Ｙ軸は第２移動軸に相当する。Ｘ軸とＹ軸は直交しており、Ｚ軸に対しても直交している。Ｚ軸は、図１において紙面垂直方向である。

第１操作部２１は、フレーム２０に沿ってキャリッジ１９とヘッド１１を、Ｘ軸方向に沿って直線往復移動および位置決めするためのものである。
第２操作部２２は、テーブル３０を有している。このテーブル３０は、図１に示すようなワークＷを着脱可能に搭載することもできる。この第２操作部２２のテーブル３０は、ヘッド１１からワークＷに対して吐出用の液滴を与える際に、ワークＷを保持する。そして第２操作部２２は、ワークＷをＹ軸方向に沿ってガイド基台１７上を直線移動して位置決めすることができる。

第１操作部２１は、キャリッジ１９とヘッド１１をＸ軸方向に直線移動して位置決めするためのモータ２１Ａを有している。このモータ２１Ａは、たとえば送りねじを用いることにより、キャリッジ１９とこのヘッド１１をＸ軸方向に直線移動することができる。モータ２１Ａは、この回転型の電動モータであっても良いし、リニアモータであっても良い。

第２操作部２２のモータ２２Ａは、テーブル３０をガイド基台１７に沿ってＹ軸方向に直線移動して位置決め可能である。モータ２２Ａはたとえば送りねじを回転する回転型の電動モータを用いることができる。モータ２２Ａとしては回転型のモータの他にリニアモータを用いることも可能である。

第２操作部２２のテーブル３０は、搭載面３０Ａを有している。この搭載面３０Ａは、図１のＺ軸方向に垂直な面である。搭載面３０Ａは、吸着部３０Ｂを有している。この吸着部３０Ｂは、ワークＷを真空吸着により吸着することができるものである。これにより、ワークＷは、搭載面３０Ａに対してずれることなく確実に着脱可能に固定することができる。

次に、図２と図３を参照して、キャリッジ１９とヘッド１１の構造例について説明する。
図２はキャリッジ１９とヘッド１１の周りの形状例を示す斜視図であり、図３は、図２のＥ方向から見た正面図の例である。
キャリッジ１９は、図１に示すモータ２１ＡによりＸ軸方向に移動して位置決め可能である。キャリッジ１９はヘッドホルダ６１を用いてヘッド１１を着脱可能に保持している。

図３に示すように、制御部２００の指令によりモータ６２が作動すると、ヘッドホルダ６１とヘッド１１のユニットがＺ軸方向に沿って上下動して位置決め可能である。そして、制御部２００の指令により、もう１つのモータ６３が作動することにより、ヘッド１１は、Ｕ軸を中心としてθ方向に回転可能になっている。

図２と図３に示すように、ヘッド１１はノズルプレート６４を有している。ノズルプレート６４の下面はノズル面７０である。このノズル面７０は、複数のノズルのノズル開口１２１ないし１２６を有している。ヘッド１１は、液体貯留部３００に接続されている。この液体貯留部３００は、ワークＷに吐出するための吐出用液体を貯留するものであり、液体貯留部３００は機能液貯蔵部ともいう。液体貯留部３００内の吐出用液体４は、ノズル開口１２１ないし１２６からたとえば図４に示す圧電振動子７８９の作動によりインクジェット式で吐出させることができるのである。

図４は、ヘッド１１内に配置されている複数の圧電振動子７８９の例を示している。この圧電振動子７８９は、図２に示すヘッド１１の各ノズルに対応して１つずつ配列されている。図４の制御部２００は、駆動部２０１に信号を与えることにより、駆動部２０１は、複数の圧電振動子７８９の中の任意の圧電振動子を動作させることで、動作された圧電振動子７８９に対応するノズルの図２に示すノズル開口１２１ないし１２６からはインクジェット式で液滴を吐出させることができるようになっている。

次に、液体貯留部３００について、図５を参照して説明する。
液体貯留部３００は、たとえば複数の液体パック１１１ないし１１６と、これらの液体パックを収容している収容体３０１を有している。液体パック１１１ないし１１６は、この例では６つ示しているが、液体パックの数は特に限定されず１つあるいは２つ以上ないし５つ、あるいは７つ以上であっても勿論構わない。
各液体パック１１１ないし１１６は、可撓性を有する材料により作られていて、各液体パックには同じ種類もしくは異なる種類の吐出用液体が収容されている。収容体３０１内は、外部から圧縮空気を入れることにより、液体パック１１１ないし１１６を加圧して、各液体パック１１１ないし１１６から液体を別々に吐出させることができるようになっている。

図５の各液体パック１１１ないし１１６は、ヘッド１１の対応するノズル８１ないし８６に対して、液体供給チューブ９１ないし９６によりそれぞれ着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９１の一端部は、液体パック１１１の接続部１１１Ａに対して着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９１の他端部は、ヘッド１１の接続部８１Ａに対して着脱可能に接続されている。
同様にして、液体供給チューブ９２ないし９６の一端部は、各液体パック１１２ないし１１６の接続部１１２Ａないし１１６Ａに対して着脱可能に接続されている。液体供給チューブ９２ないし９６の他端部は、ヘッド１１側の接続部８２Ａないし８６Ａに対してそれぞれ着脱可能に接続されている。

図５に示すようにヘッド１１は、複数のノズル８１ないし８６を有している。ノズル８１ないし８６は、それぞれノズル開口１２１ないし１２６を有している。各ノズル８１は、たとえば図５の紙面垂直方向に沿って数１０個若しくは数１０００個配列されていて、ノズル列を形成している。その他のノズル８２ないし８６も、紙面垂直方向に関してノズル列を形成している。ノズル開口１２１ないし１２６は、ノズルプレート６４のノズル面７０に面して形成されている。
このノズル面７０は、図５の例ではＺ軸方向の下方向Ｚ２に向いている。このように、ノズル面７０には、たとえば６つのノズル列（ノズル開口列）が図５の紙面垂直方向に配列されている。

図５は、液体貯留部３００とヘッド１１の他に、液体吸引装置６００の構造例を示している。液体吸引装置６００は、図１に示すようにメンテナンス部１５内に配置されていて、ノズル面７０のノズル開口１２１ないし１２６から吐出用の液体および気泡を、廃液タンク１００側に排出するためのものである。
液体吸引装置６００は、キャップ２２１、吸引ポンプ１９、廃液タンク１００、大気開放バルブ１０１を有している。

キャップ２２１は略箱状の部材であり、キャップ２２１内には吸収材２３が収容されている。キャップ２２１は上部開口２１Ｃを有していて、弾性部材２９の上端部２１Ｄがノズル面７０に対して密着することで、ノズル開口１２１ないし１２６はキャップ２２１により封止することができる。キャップ２２１がノズル面７０を封止した状態で、ノズル８１ないし８６内の吐出用液体および気泡が廃液タンク１００側に排出できるのである。
このようにして、ノズル８１ないし８６の吐出性能を回復することで、ノズル８１ないし８６内の液体の固化によるノズル詰まりを解消する。

図６と図７はこの液体吸引装置６００の構造例を詳しく示している。
図６は、キャップ２２１がノズル面７０から離れた待機状態を示しており、図７はキャップ２２１の弾性部材２９の上端部２１Ｄがノズル面７０に対して密着することで、ノズル面７０が封止された状態を示している。

キャップ２２１は、本体の一例であるが、キャップ２２１は底面部２２１Ａと４つの側面部２１Ｂを有している箱状の部材である。このキャップ２２１内には吸収材２３が収容されているが、側面部２１Ｂには弾性部材２９が取り付けられている。
大気開放バルブ１０１は、接続部６０１に接続されている。吸引ポンプ１９は、接続部５０１に接続されている。昇降手段２５０は、キャップ２２１をＺ２方向に上昇したり、Ｚ１方向に下降することができる。

次に、図１に示すワイピング装置４００の構造例を、図８と図９を参照しながら説明する。図８はワイピング装置４００の側面図であり、図９はワイピング装置４００の斜視図である。
図８と図９に示すワイピング装置４００は、図１に示すメンテナンス部１５に配置されている。ワイピング装置４００は、ワイピング部材４１０、洗浄剤供給部４２０、駆動部４２１を有している。ワイピング部材４１０は、帯状の部材であり、ロール体４１２からワイピング方向ＷＤに沿って移動することができる。

駆動部４２１は、巻き取り軸４２２、モータ４２３およびローラ４２４を有している。ローラ４２４とロール体４１２は、略水平方向に対向して配置されている。ロール体４１２のワイピング部材４１０は、ローラ４２４を介して巻き取り軸４２２に巻き取るようになっている。巻き取り軸４２２は、モータ４２３によりＲ方向にワイピング部材４１０を巻き取る。モータ４２３は制御部２００の指令により動作する。ワイピング部材４１０は、ロール体４１２から中間のローラ４２４に至るまでは略水平なワイピング方向ＷＤに沿って移動するようになっている。

洗浄剤供給部４２０は、このワイピング部材４１０の上方に位置している。洗浄剤供給部４２０は、洗浄剤タンク４３１と洗浄剤の供給用ヘッド４３３およびバルブ４３４を有している。洗浄剤タンク４３１には洗浄剤が収容されている。バルブ４３４が制御部２００の指令により開くと、ヘッド４３３は、洗浄剤タンク４３１からの洗浄剤を洗浄剤ノズル４３５からワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して噴射して塗布させることができる。これにより、洗浄剤Ｍは、ワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して図８と図９の例では、連続的に塗布して含浸させる。

ヘッド１１は、ローラ４２４の付近であって、しかもワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対応して配置されている。つまりヘッド１１は、洗浄剤供給部４２０に比べて、ワイピング部材４１０の下流側に配置されている。言い換えれば、洗浄剤供給部４２０は上流側であり、ヘッド１１は下流側に並べて配置されている。
図８と図９の例では、洗浄剤ヘッド４３３から吐出される洗浄剤Ｍは、図８と図９において斜線で示すように連続してワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して塗布して含浸させる構造である。

次に、図１０を参照しながら、図８と図９に示すワイピング装置４００によるノズル面のワイピング方法の実施形態について説明する。
図１０は、液滴吐出装置１０におけるノズルの吐出性能回復方法の一例を示しており、ステップＳＴ１からステップＳＴ４を有している。
図１０のステップを始める前に、図１に示すヘッド１１は、モータ２１Ａの作動によりＸ（−）方向に移動することで、ノズル詰まり検出装置６７０の上に達する。

ステップＳＴ１
図１０に示すステップＳＴ１では、ノズルの詰まりが検出された場合に、ノズルの吐出能力の回復動作を行うことになる。
このノズルの詰まりの検出は、図１に示すノズル詰まり検出装置６７０により行う。図１１（Ａ）は、このノズル詰まり検出装置６７０の例を示している。ノズル詰まり検出装置６７０は、レーザ発生装置６７１と受光部６７２を有している。レーザ発生装置６７１が発生するレーザ光Ｌは、受光部６７２で受光することにより、ノズル８１ないし８６が吐出用液体４を吐出しているのかどうかを光学的に確認することができる。このノズル詰まり検出装置６７０は通常使われているものである。
ノズル詰まり検出装置６７０が、少なくとも１つのノズルから吐出用液体４を吐出していないことを検知した信号が、制御部２００に送られる。これにより、制御部２００は、少なくとも１つのノズルから吐出用液体４が吐出されておらずノズルが詰まっていると判断すると、図１０のステップＳＴ２に移る。

ステップＳＴ２
図１０のステップＳＴ２では、図１の液体吸引装置６００によるノズルの吸引を行う前に、ノズル面７０の液体による汚れ状態を撮影する。図１に示すカメラ６５０の上に、ヘッド１１が到達すると、図１１（Ｂ）の状態になる。ノズル面７０がカメラ６５０の上方に位置する。このカメラ６５０は、ノズル面７０の汚れ状態を撮影する。これがステップＳＴ２−１である。
この撮影の結果、ステップＳＴ２−２のように、ノズル面７０が液体により汚れている場合かあるいはステップＳＴ２−３のようにノズル面が汚れていない場合であるかを、制御部２００が判断する。

図１０のステップＳＴ２−２のようにノズル面が液体により汚れている場合には、ステップＳＴ２−４のようにノズル面７０を後でワイピングする際にワイピング部材に洗浄剤を供給する。
そうでなく、ステップＳＴ２−３のように、ノズル面が汚れていない場合には、ステップＳＴ２−５のようにノズル面７０を後でワイピングする際には、洗浄剤はワイピング部材には供給しない。

図１１（Ｃ）では、ノズル面７０が、吐出用の液体４により汚れている様子を示しているものと、汚れていないものとを示している。ノズル面７０が吐出用の液体４により汚れている場合には、洗浄剤を用いたワイピングの選択を行う。ノズル面７０がまったく汚れていない場合には洗浄剤を用いないワイピングの選択を行う。

ステップＳＴ３
図１０に示すステップＳＴ３では、図１のヘッド１１が、液体吸引装置６００側に移動する。ヘッド１１が液体吸引装置６００の上方に移動した様子は図６に示している。ノズル面７０はキャップ２２１の上方に位置していて、ノズル面７０と弾性部材２９とは離れた状態である。図７に示すように昇降手段２５０がキャップ２２１をＺ１方向に上昇させると、キャップ２２１はノズル面７０を封止する。この封止した状態で、吸引ポンプ１９が作動することでキャップ２２１内は大気圧状態から負圧状態になる。この負圧により、各ノズル８１ないし８６からはその内部のたとえば固化した液体および気泡が吸引ポンプ１９を介して廃液タンク１００側に排出することができる。

その後、大気開放バルブ１０１を切り換えることで、キャップ２２１内は負圧状態から大気圧状態に戻すことができる。大気圧状態に戻ったキャップ２２１は、昇降手段２５０によりＺ２方向に下がることで、キャップ２２１はノズル面７０から離れる。
このようにして図１０のステップＳＴ３では、ノズル８１ないし８６を液体吸引装置６００により吸引することで、ノズルにおける目詰まりを解消する。

ステップＳＴ４
次に、図１０のステップＳＴ４では、ノズル面はワイピングすることになる。図１２は吸引直後のノズル面７０の様子の一例を示していて、ノズル面７０にはたとえば付着した吐出用の液体４が立体的に盛り上がったように付着している。
そこで、図８と図９に示すワイピング装置４００が、ヘッド１１のノズル面７０をワイピングする。図１０においてステップＳＴ２−４のように洗浄剤を用いてワイピングする場合を選択した場合には、図８と図９に示すように、洗浄剤供給部４２０のヘッド４３３は、洗浄剤Ｍをワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して吐出して、連続的に洗浄剤Ｍをワイピング部材４１０に吸収させる。この洗浄剤を含んだワイピング部材４１０は、ヘッド１１のノズル面７０に対して接触しながらノズル面７０の汚れである付着した吐出用の液体４をワイピングしてノズル面７０をきれいに払拭することができる。

これに対して、図１０のステップＳＴ２−５で選択したように、ワイピングする際に洗浄剤を用いない場合には、洗浄剤供給部４２０のヘッド４３３は洗浄剤Ｍをワイピング部材４１０の上面４１０Ａには供給しないで、ワイピング部材４１０だけでヘッド１１のノズル面７０を払拭する。

上述したように、ノズル面の汚れがあるか無いかの結果により、洗浄剤を使用するかしないかを選択することにより、常に洗浄剤を用いるのに比べて洗浄剤の消費量を少なくすることができる。
洗浄剤を用いないでワイピング部材によりノズル面をワイピングする場合には、洗浄剤を用いてワイピングする場合よりもワイピング部材における吐出用液体の吸収効率が高いので、ワイピング部材の使用量は比較的少なくすることができる。

このように上述したような要領で、ノズル面の吸引動作およびワイピング動作を行う際には、あらかじめＣＣＤ（電荷結合素子）カメラなどでノズル面の汚れ状況を確認した後に、吸引動作およびワイピング動作を行う。
洗浄剤を用いないでワイピング部材によりノズル面を払拭する場合には、ワイピング部材における吐出用液体の吸収率が良いので、すぐにノズル面を拭くことができる。しかし、ノズル面において乾いてしまった吐出用液体を拭き取る場合には、乾いたワイピング部材を直接使用するよりも、洗浄剤で濡れたワイピング部材を使用する方が乾いてしまった吐出用液体を効率良く拭き取ることができる。なぜならば、洗浄剤で濡らしたワイピング部材は、固化した吐出用液体をノズル面において再溶解して拭き取りやすくなるからである。

次に、本発明の別の実施形態について説明する。
図１３と図１４は、図８と図９に対して図示している別の実施形態である。
図１３と図１４の各要素が、図８と図９の対応する要素と同じ要素である場合には、その符号を付してその説明を用いる。

図８と図９の実施形態は、ワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して連続的に洗浄剤Ｍが塗布して染み込ませるような構造である。
これに対して、図１３と図１４の実施形態では、洗浄剤供給部４２０のヘッド４３３は、制御部２００の指令により、洗浄剤Ｍを間欠的にワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して塗布している。

これにより、洗浄剤Ｍは、間隔をおきながらワイピング部材４１０の上面４１０Ａに対して塗布して染み込ませることができる。間欠的な洗浄剤Ｍの塗布により、洗浄剤がある場合と無い場合のそれぞれのワイピング効果を同時に満たすことができる。よって、ワイピング部材による吐出用液体の拭き取り性および固化した液体の拭き取り性を同時に満たす他、洗浄剤の使用量をたとえば半減させることができる。

図１５は、洗浄剤を用いないで乾いたワイピング部材によりノズル面７０をワイピングした場合に、ノズル８１ないし８６から吐出用液体４が引きずり出されてノズル面７０に付着してしまう様子を示している。この場合には、ワイピング部材は乾燥しているので、ワイピング部材における吐出用液体の吸収効率が高く、通常の拭き方をするとノズルから液体を引きずり出してしまう可能性がある。吐出用液体を引きずり出してしまう現象を防ぐために、図１６と図１７に示すような構造のものを採用することができる。

固化した液体の拭き取り性を良くする（摩擦を強くする）ために、ノズル面７０はワイピング部材４１０に対して押し当てている。この時に、ワイピング部材４１０は洗浄剤を含んでいるため吸収効率が低いので、ノズルからのインクの引きずり出しはそれ程ではない。しかし、洗浄剤を用いていない場合には、ワイピング部材の吸収効率が高いために、ノズルから液体を引きずり出してしまう現象が発生する。この結果、ノズル面はこの引きずり出された液体により汚れてしまうことになり、さらにはノズルの吐出性能を低下させる原因にもなりかねない。
このような現象を回避するためには、洗浄剤を用いないでワイピング部材４１０によりワイピングする場合には、通常よりノズル面７０とワイピング部材４１０との間の押し当て量を小さくする必要がある。
そこで、図１６に示すように、中間のローラ４２４は、図１６（Ｂ）のアクチュエータ４２９により、Ｚ２方向に下げることにより、図１６（Ａ）のノズル面７０とワイピング部材４１０との間の押し当て量を小さくする。

図１６の実施形態に代えて図１７の実施形態では、ローラ４２４は上下動させずに、ヘッド１１が、モータ６２の作動によりＺ１方向に上昇させることで、ノズル面７０とワイピング部材４１０との間の押し当て量を減らすことができる。

本発明の実施形態では、ノズル面が汚れている時だけ、洗浄剤の使用をするので、洗浄剤の使用量を削減することができる。液体吸引装置は、ノズルを払拭する前にノズルから液体を吸引することで、ノズルの目詰まりを確実に防ぐことができる。駆動部はワイピング部材を水平に移動しながらノズル面を払拭し、しかも洗浄剤供給部はワイピング部材の上方から洗浄剤を供給することができるので、供給された洗浄剤はワイピング部材に対して確実に含浸することができ、ワイピング部材が他の部分に流れ落ちてしまうことを防ぎ、洗浄剤を有効に利用することができる。

本発明の実施形態では、洗浄剤はワイピング部材に対して連続的に塗布して含浸させることができる。
あるいは洗浄剤はワイピング部材に対して必要に応じて間欠的に含浸させることができる。つまり間隔をおきながら洗浄剤はワイピング部材に対して含浸させることができるので、ワイピング部材は洗浄剤を用いてワイピングする作業と、洗浄剤を用いないでワイピングする作業の両方を同時に行うことができる。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、電気光学装置（デバイス）を製造するのに用いることができる。この電気光学装置（デバイス）としては液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する各種装置が考えられる。
本発明の実施形態を用いて電気光学装置を製造する場合に、ノズル面をきれいに払拭した後にワークに対して吐出用液体を吐出するので、吐出用液体はワークの所定の位置に確実に描画できる。このことから、描画ムラのない高品質な電気光学装置が製造できる。

図１８は、本発明の液滴吐出装置を描画装置として用いて、フラットパネルディスプレイの一種類である有機ＥＬ装置の製造に用いる場合の有機ＥＬ装置の構造例を示している。有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に対して、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。

有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。

有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。

また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続するとともに、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。

次に、本発明の実施形態の液滴吐出装置１０を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。
図１９は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。

カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えている。着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。

液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。

対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。

本発明の液滴吐出装置の実施形態は、上記カラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

本発明の電子機器は、上記電気光学装置を搭載している。この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。

図２０は、電子機器の一例である携帯電話１０００の形状例を示している。携帯電話１０００は、本体部１００１と表示部１００２を有している。表示部１００２は、上述したような電気光学装置であるたとえば有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を用いている。

図２１は、電子機器の他の例であるコンピュータ１１００を示している。コンピュータ１１００は本体部１１０１と表示部１１０２を有している。表示部１１０２は、上述したような電気光学装置の一例である有機ＥＬ装置７０１や液晶表示装置８０１を使用することができる。
本発明の液滴吐出装置の実施形態は、ワークの一例である印刷対象に対して、白黒もしくはカラー印刷（印字）することにも使用できる。この場合には、液体貯留部は、インクカートリッジであり、このインクカートリッジは、１種類もしくは複数種類のインク（たとえばブラック、イエロー、マゼンダ、シアン、ライトシアン、ライトマゼンダ等）を別々に貯留しておく。各インクは液体の一例である。

また上述した実施形態の液滴吐出装置は、インクパックである液体パックがヘッド１１とは別の位置に配置されているいわゆるオフキャリッジタイプのものである。しかしこれに限らずヘッド１１が搭載されているキャリッジに対して液体パックを搭載するいわゆるオンキャリッジタイプの液滴吐出装置であっても勿論構わない。

本発明の実施形態では、ワイピング部材４１０は、ワイピング方向ＷＤに沿って移動していくようになっている。この移動方向ＷＤは略水平もしくは水平である。このように水平にすることにより、ワイピング部材４１０に対して洗浄剤Ｍを供給する際に洗浄剤Ｍは他の部分にこぼれたり飛散するのを極力防ぐことができるとともに、ワイピング部材４１０に対して洗浄剤Ｍを効率よく吸収させることができる。

本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。さらに、上述の各実施形態は、相互に組み合わせて構成するようにしても良い。

本発明の液滴吐出装置の好ましい実施形態を示す平面図。 図１の液滴吐出装置のキャリッジ、ヘッド等を示す斜視図。 図２のキャリッジおよびヘッド等を示す図２におけるＥ方向から見た正面図。 ヘッドの圧電振動子の例と液体貯留部の構造例を示す図。 液体貯留部およびヘッドの接続例を示す図。 液体吸引装置のキャップがノズル面から離れた状態を示す図。 キャップがノズル面を封止している状態を示す図。 ワイピング装置を示す側面図。 ワイピング装置を示す斜視図。 本発明の液滴吐出装置におけるワイピング方法の実施形態を含むノズルの吐出能力回復動作の一例の操作を示すフロー図。 ドット抜け検出、ノズル面の観察および洗浄剤の選択などを示す図。 吸引直後のノズル面の汚れ状態の例を示す図。 本発明の別の実施形態のワイピング装置を示す側面図。 図１３のワイピング装置の斜視図。 洗浄剤を用いないでワイピングする際にノズルから吐出用液体が引きずり出された状態の例を示す図。 本発明の別の実施形態を示す図。 本発明のさらに別の実施形態を示す図。 本発明の液滴吐出装置により製造される有機ＥＬ装置の形状例を示す断面図。 本発明の液滴吐出装置により製造される液晶表示装置の構造例を示す断面図。 本発明の実施形態により製造された表示装置を備える電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図。 電子機器の別の例であるコンピュータを示す斜視図。

符号の説明

１０・・・液滴吐出装置、１１・・・ヘッド、７０・・・ノズル面、１２１ないし１２６・・・ノズル開口、４００・・・ワイピング装置、４１０・・・ワイピング部材、４２０・・・洗浄剤供給部、４２１・・・駆動部、６００・・・液体吸引部（吸引部の一例）、６５０・・・カメラ（検知部）、６７０・・・ノズル詰まり検出装置、ＷＤ・・・ワイピング方向

Claims (11)

1. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、
   前記ヘッドのノズル面に接触することにより前記ノズル面を払拭するワイピング部材と、
   前記ノズル面への前記液体の付着を検知する検知部と、
   前記ワイピング部材に洗浄剤を供給する洗浄剤供給部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記ノズル面を封止して前記ノズルから前記液体を吸引する吸引部を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記ワイピング部材を水平に移動して前記ノズル面を払拭するための駆動部を有し、前記洗浄剤供給部は前記ワイピング部材の上方に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って連続して塗布することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って間欠的に塗布することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
6. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出する液滴吐出装置におけるワイピング方法であって、
   洗浄剤供給部は、ワイピング部材により前記ノズル面を払拭する際に、前記ノズル面の前記液体による汚れの有無を検知して、前記ノズル面が汚れている場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給し、前記ノズル面が汚れていない場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給しないことを特徴とする液滴吐出装置におけるワイピング方法。
7. 前記ワイピング部材は、前記ノズル面に対して移動することで前記ノズル面を払拭し、前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って連続して塗布することを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置におけるワイピング方法。
8. 前記ワイピング部材は、前記ノズル面に対して移動することで前記ノズル面を払拭し、前記洗浄剤供給部は、前記ワイピング部材に対して前記ワイピング部材の移動方向に沿って間欠的に連続して塗布することを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置におけるワイピング方法。
9. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで電気光学装置を製造する製造方法であって、
   洗浄剤供給部は、ワイピング部材により前記ノズル面を払拭する際に、前記ノズル面の前記液体による汚れの有無を検知して、前記ノズル面が汚れている場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給し、前記ノズル面が汚れていない場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給せず、ワイピングした前記ノズル面から前記液体を前記ワークに吐出することで前記電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
10. ヘッドのノズルから液体をワークに吐出することで製造される電気光学装置であって、
    洗浄剤供給部は、ワイピング部材により前記ノズル面を払拭する際に、前記ノズル面の前記液体による汚れの有無を検知して、前記ノズル面が汚れている場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給し、前記ノズル面が汚れていない場合には前記ワイピング部材に洗浄剤を供給せず、ワイピングした前記ノズル面から前記液体を前記ワークに吐出することで製造されることを特徴とする電気光学装置。
11. 請求項１０に記載の前記電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。

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