CN103609200A - 图案形成装置以及使用其的有机el面板的制造方法 - Google Patents

Abstract

图案形成装置以及使用其的有机EL面板的制造方法。在图案形成装置中，能够从基板有效地除去墨，抑制基板的污染并且提高生产率。图案形成装置(1)具备将基板(20)上的规定部位的墨(30)除去的擦拭机构(4)。该擦拭机构(4)具有：含有溶剂(40)的带(41)；卷取带(41)的旋转式的卷轴(42)；以及使带(41)抵接于基板(20)上的带头(43)。通过带头(43)使带(41)抵接于基板(20)，使基板(20)上的墨(30)附着于带(41)。根据该结构，在通过带(41)擦拭墨(30)时，带(41)的擦拭面常时为新的面，因此能够有效地除去墨(30)，带(41)难以劣化。此外，即使长时间使用也难以产生切屑等，因此抑制基板(20)的污染，提高生产率。

Description

图案形成装置以及使用其的有机EL面板的制造方法

技术领域

本发明涉及将有机材料图案形成到基板上的图案形成装置以及使用其的有机EL面板的制造方法。

背景技术

场致发光(EL)元件为，使由阳极以及阴极夹持的发光层形成在透明基板上，在对电极间施加电压时，通过由于作为载流子注入发光层的电子以及空穴的复合而生成的激子来进行发光。EL元件大致分为发光层的荧光物质使用了有机物的有机EL元件以及使用了无机物的无机EL元件。尤其是，有机EL元件能够以低电压进行高亮度的发光，根据荧光物质的种类而能够得到各种发光色，此外，作为平面状的发光面板的制造较容易，因此被用作为各种显示装置、背光。并且，近年来，实现了对应于高亮度的元件，将其用于照明器具的情况被注目。

图10表示一般的有机EL面板的截面结构。有机EL面板101为，在具有透光性的基板102上设置有具有透光性的阳极层103，在该阳极层103上设置有由空穴注入层141、空穴输送层142以及发光层143构成的有机层104。此外，在有机层104上设置有具有光反射性的阴极层105。然后，通过对阳极层103和阴极层105之间施加电压，由此由有机层104的发光层143发光的光透射阳极层103以及基板102而被取出。

构成有机EL面板101的这些层，一般通过真空蒸镀等成膜方法来形成，但在上述各层中，例如空穴输送层142能够通过涂覆使低分子材料分散于溶剂中而成的溶液(墨)来形成。与蒸镀等相比，涂覆不需要大规模的设备，因此能够降低有机EL面板的制造成本，且处理时间较短，因此生产率优良，适合于量产。但是，在一般的使用了有机EL面板的器件中，在基板102的周边部形成有用于与外部的驱动电路电连接的电极引出部，当该引出部被涂覆构成空穴输送层142的溶液时，有时无法得到良好的电连接。

因此，已知有如下装置：在通过涂覆来形成空穴输送层142等时，为了不在规定部位涂覆溶液，而通过预先用掩模覆盖在基板102上来图案形成涂覆层(例如参照专利文献1)。此外，已知有如下装置：在涂覆了溶液之后，用海绵部件等由多孔体构成的擦拭部件来擦拭规定部位的溶液(例如参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-240511号公报

专利文献2：日本特开2006-216253号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在上述专利文献1所记载的装置中，当掩模从基板错开时，涂覆范围变得不准确，有可能无法得到所期望的涂覆层。此外，由于掩蔽的带的粘结剂附着于基板等，而基板有可能被污染，有机材料的发光效率、寿命有可能恶化。此外，在上述专利文献2所记载的装置中，当长时间使用擦拭部件时，擦拭部件由于与基板摩擦而有可能劣化，部件的碎屑有可能附着于基板。这种基板的污染、碎屑的附着成为发光效率降低、短路的原因，使所制造的有机EL面板的可靠性降低。

本发明用于解决上述课题，其目的在于提供图案形成装置以及使用其的有机EL面板的制造方法，能够有效地形成所期望的形状的涂覆层，得到基板的污染较少且可靠性较高的产品，并且生产率较高。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明为一种图案形成装置，对基板上的含有有机材料的墨进行图案形成，其特征在于，具备将上述基板上的规定部位的墨除去的擦拭机构，上述擦拭机构具有：含有溶剂的带；卷取该带的旋转式的卷轴；以及使上述带抵接于上述基板上的带头；在通过上述带头使上述带抵接于上述基板的同时使上述卷轴旋转，由此使上述基板上的墨附着于上述带。

在上述图案形成装置中优选为，上述卷轴以向与上述带头相对于设置基板的工作台的相对行进方向相反的方向卷取带的方式旋转。

在上述图案形成装置中优选为，上述擦拭机构具有吸引机构，该吸引机构吸引附着于上述带的墨。

在上述图案形成装置中优选为，上述擦拭机构具有补给机构，该补给机构向上述带供给溶剂。

在上述图案形成装置中优选为，还具备对上述基板进行加热的加热机构。

在上述图案形成装置中优选为，还具备搬送机构，该搬送机构在使上述基板的涂覆面朝下的状态下对上述基板进行搬送。

在上述图案形成装置中优选为，上述擦拭机构除去涂覆面朝下的上述基板上的墨。

在上述图案形成装置中优选为，还具备检测机构，该检测机构对由上述擦拭机构除去了墨的上述基板上照射紫外线，而检测上述墨的光致发光。

在上述图案形成装置中优选为，还具备测定机构，该测定机构对由上述擦拭机构除去了墨的上述基板表面的接触电阻进行测定。

在上述图案形成装置中优选为，上述带头构成为，使上述带与上述基板的接触面积可变。

在上述图案形成装置中优选为，上述带头形成为，与上述带相接的面成为隆起状。

在上述图案形成装置中优选为，还具备激光加热机构，该激光加热机构对由上述擦拭机构除去了墨的上述基板上照射激光，对上述基板上残存的墨进行加热。

在上述图案形成装置中优选为，还具备：监控机构，对上述带头与上述基板抵接时的加压量进行计测；以及调整机构，对上述基板与上述带头之间的距离进行调整，以使由上述监控机构计测的加压量成为一定。

上述图案形成装置优选用于包括在具有透明电极的基板上形成空穴输送层的工序的有机EL面板的制造方法。

发明的效果

根据本发明，在通过含有溶剂的带来擦拭涂覆有墨的基板上的规定部位时，带的擦拭面常时成为新的面，因此能够从基板上高效地除去墨，能够在基板上有效地形成所期望的形状的涂覆层。此外，通过依次供给带，由此难以产生带的磨削等劣化，因此能够使基板的污染变少且提高产品的可靠性。此外，由于能够持续地进行墨的擦拭，因此能够提高生产率。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的图案形成装置的立体图。

图2是表示该装置的擦拭机构和补给机构的连接部位的侧视截面图。

图3是从下方观察本发明第二实施方式的图案形成装置的立体图。

图4是本发明第三实施方式的图案形成装置的立体图。

图5是上述实施方式的变形例的图案形成装置的立体图。

图6是本发明第四实施方式的图案形成装置所使用的擦拭机构的立体图。

图7中的(a)以及(b)分别是上述实施方式的变形例的图案形成装置所使用的带头的立体图。

图8是本发明第五实施方式的图案形成装置的立体图。

图9是本发明第六实施方式的图案形成装置的立体图。

图10是表示一般的有机场致发光元件的结构的侧视截面图。

具体实施方式

参照图1以及图2对本发明第一实施方式的图案形成装置进行说明。本实施方式的图案形成装置1为，对于构成由有机场致发光元件形成的有机EL面板的功能层，在基板上将含有有机材料的墨图案形成为所期望的形状。如图1所示，图案形成装置1通过涂覆机构3在由搬送机构2搬送的基板20的整面上涂覆墨30，并具备将被涂覆了该墨30的基板20上的规定部位的墨30除去的擦拭机构4。擦拭机构4能够单体使用，在该情况下，擦拭机构4本身相当于图案形成装置1。此外，图案形成装置1也可以为，在擦拭机构4上组合搬送机构2、涂覆机构3以及后述的各种机构，而构建为实施一系列的图案形成工序的系统。

搬送机构2为，用于搬送基板20的搬送台21被设置成沿着设置在图案形成装置1的台座(未图示)上的轨道(未图示)滑动自如。此外，在搬送台21上设置有驱动机构(未图示)。该驱动机构使载放有基板20的搬送台21三维地移动，由此能够任意地调整基板20与涂覆机构3以及擦拭机构4之间的距离、位置关系。

基板20例如使用钠玻璃、无碱性玻璃等刚性的透明玻璃板，但并不限定于此。例如，能够使用聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙酯等柔性的透明塑料板、由Al、铜(Cu)、不锈钢等形成的金属薄膜等任意的板。在本实施方式中，在基板20上预先形成有成为阳极层103(参照图10)的透明电极以及空穴注入层141。

涂覆机构3具备：排出墨30的狭缝喷嘴31；贮存墨30的墨罐32；将墨罐32内的墨30供给至狭缝喷嘴31的泵33；以及成为墨30的流路的配管34。此外，墨罐32、泵33以及配管34分别成为密闭构造，以便能够将墨30不与外部空气接触地从墨罐32朝狭缝喷嘴31进行送液。另外，涂覆机构3也可以构成为，通过使狭缝喷嘴31升降的升降部件(未图示)等，能够使狭缝喷嘴31与基板20之间的相对距离可变。

擦拭机构4具有：含有溶剂40的带41；卷取该带41的旋转式的卷轴42；以及使带41抵接于基板20上的带头43。即，本实施方式的图案形成装置1为，在通过带头43使带41抵接于基板20的同时使卷轴42旋转，由此使基板20上的墨30附着于带41。此外，擦拭机构4具备：旋转驱动卷轴42的卷轴驱动部44；保持该卷轴驱动部44的保持部件45；以及使带41卡止于带头43并且保持带头43的头单元46。此外，擦拭机构4具有：向带41供给溶剂40的补给机构6；以及对在擦拭中产生的粉尘等进行吸引的吸引机构5。

涂覆机构3的狭缝喷嘴31具备：形成为狭缝状的排出口31a；和在该排出口31a的上方贮存规定量的液状的墨30的箱状的喷嘴贮存部31b。排出口31a的宽度被设定成适合于基板20的宽度。在喷嘴贮存部31b的侧部设置有墨30的注入口31c。在喷嘴贮存部31b的底面上，使墨30向排出口31a流出的流出槽31d形成为与排出口31a大致相同形状的狭缝状。从喷嘴贮存部31b向排出口31a的外形构成为向排出口31a侧变尖细的倾斜面。根据该狭缝喷嘴31，当通过泵33的压力而墨罐32内的墨30经由配管34从注入口31c供给时，墨30被填充到喷嘴贮存部31b内。然后，当进一步以一定的压力持续供给墨30时，墨30经由流出槽31d从排出口31a排出。由此，狭缝喷嘴31能够沿着狭缝状的排出口31a的长度方向以均匀的量(厚度)将墨30排出到基板20上。

墨30是将用于实现所形成的涂覆层的功能的功能材料与使其分散的溶剂等混合而生成的。与蒸镀等相比，涂覆能够不论材料的分子量地使用，本实施方式的墨30所使用的功能性材料，能够使用从低分子材料到高分子材料的各种材料。另外，此处所述的高分子是指具有两个以上的重复单位的分子，也包含低聚物等。涂覆在基板20上的液状的墨30，通过上述溶剂等的挥发等而成为其一部分或者全部固化的状态。

此处，以下表示所制作的涂覆层是作为构成有机EL面板的功能层之一而已知的空穴注入/输送层的情况下的墨30所使用的材料。作为低分子材料例如能够使用4,4-双[N-(2-萘基)-N-苯基-氨基]联苯(α-NPD)、螺-NPB(N,N’-双[萘-1-基]-N,N’-双[苯基]-9,9-螺二芴)、螺-TAD(2,2’,7,7’-四[N,N-二苯胺]-9,9’-螺二芴)、2-TNATA(4,4’,4’’-三[2-萘基苯基氨基]三苯基胺等。此外，能够使用国际公开WO2001/49806号或日本特开2006-173550号公报所记载的HAT-CN6(1,4,5,8,9,12-三亚吡嗪-六甲腈)等所代表的具有吡嗪骨架的派生物等。此外，作为高分子材料，能够使用P3HT(聚-3-已基噻吩)、PEDOT/PSS(聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸)、MEH-PPV(聚[2-甲氧基-5-(2-乙基己氧基)-1,4-亚苯基乙撑)]、聚苯胺、聚吡咯、PVK(聚乙烯咔唑)等。此外，为了提高这些材料的导电性，也可以掺杂电子接收性化合物。作为电子接收性化合物并无特别限制，但指日本特开2003-272860号公报所记载的氯化铁、溴化铁、碘化铁、氯化铝、溴化铝、碘化铝、氯化镓、溴化镓、碘化镓、氯化铟、溴化铟、碘化铟、五氯化锑、五氟化砷、三氟化硼等无机化合物、DDQ(二氯二氰基苯醌)、TNF(三硝基芴酮)、TCNQ(四氰基对醌二甲烷)、F4-TCNQ(2,3,5,6-四氟-7,7’,8,8’-四氰二甲基对苯醌)等有机化合物。并且，作为溶剂，例如能够使用水、IPA(异丙醇)、醋酸丁酯、环己醇、乙二醇、丙二醇、三氯甲烷、氯苯、二氯乙烷、DMF(N-N二甲基甲酰胺)、DMSO(二甲基亚砜)等，此外，还能够使用将这些溶剂适当混合而使粘度、表面能变化了的混合溶剂。

带41例如使用由尼龙等编织成的低发尘性的布带，其厚度优选为0.2～0.5mm，以便能够含浸溶剂40。带41的宽度基于形成在基板20上的涂覆膜的尺寸形状或者带头43的大小等，但例如优选为5～10mm。当带41的宽度过小时、难以附着墨30，当带41的宽度过大时、难以除去基板20上的微细的墨30。

卷轴42包括：卷绕有未附着墨30的新的带41的进给卷轴42a；以及对使用后的带41进行回收的返回卷轴42b。此外，在进给卷轴42a与带头43之间以及带头43与返回卷轴42b之间分别设置有辅助卷轴42c。根据基于搬送机构2的基板20的移动速度以及涂覆在基板20上的墨30的量(厚度)，来设定带41的移动速度。具体地，在基板20的移动速度较快时以及向基板20上的涂覆量较多时，卷轴42加快带41的移动速度。例如，带41的移动速度优选为10～100mm/s。

此外，卷轴42以向与带头43相对于设置基板20的工作台(搬送台21)的相对行进方向相反的方向卷取带41的方式旋转。如此，对于基板20上的墨30的剪切应力变大，能够有效地擦拭墨30。

吸引机构5是真空泵，经由配管51与头单元46连接。配管51的前端部连接在经由带头43之后被输送的带41的附近(未图示)。根据该结构，在擦拭中产生的粉尘等被吸引机构5吸引，因此能够抑制基板20被粉尘等污染。此外，在附着于带41上的墨30的量较多的情况下，还能够从带41吸引墨30的一部分，而减少向返回卷轴42b输送的带41的墨30的附着量。因此，能够防止墨30被从卷取于返回卷轴42b的带41挤出而污染基板20。

补给机构6具备：贮存溶剂40的溶剂容器61；将溶剂容器61内的溶剂40供给到带41的泵62；以及成为溶剂40的流路的配管63。溶剂40为，根据墨30的种类、组成而使用适当的溶剂，但如果墨30是水溶液则使用水或者乙醇，如果墨30是有机溶液则例如使用甲醇、异丙醇等有机溶剂。如图2所示，配管63的前端部连接在头单元46上的从进给卷轴42a(参照图1)向带头43输送之前的带41的附近。溶剂40的供给量根据带41的移动速度而不同，但例如优选为0.01～0.1cc/分钟。根据该结构，能够适当地调整带41所含有的溶剂40，因此能够有效地使墨30附着于带41。此外，例如，即使在通过涂覆机构3涂覆在基板20上的墨30干燥的情况下，也能够在使溶剂40溶解相应部位的墨30的同时使墨30附着于带41。另外，吸引机构5不仅吸引墨30，还一并吸收带41所含有的溶剂40。

接着，对本实施方式的图案形成装置1的动作进行说明。首先，通过搬送机构2将形成有透明电极的基板20搬送至涂覆机构3的狭缝喷嘴31的正下方。然后，通过驱动泵33而从墨罐32向狭缝喷嘴31供给墨30，墨30被涂覆于基板20。此时，搬送机构2使基板20以一定速度移动。由此，遍及基板20的上面的整体而均匀地涂覆墨30。接着，搬送机构2将基板20搬送至与带头43的带41抵接的位置。此时，基板20与带41的接触压力优选为10MPa程度。接着，卷轴驱动部44使卷轴42旋转，以使带41向与基板20的行进方向相反的方向移动。此时，从泵62向带41自动地供给规定量的溶剂40。然后，搬送机构2在通过带头43使带41抵接于基板20的状态下使基板20进一步移动。与此同时，卷轴驱动部44使卷轴42旋转，向带头43依次供给新的带41。由此，墨30附着于带41，能够高效地除去基板20上的规定部位的墨30。附着于带41的墨30，在头单元46内由吸引机构5吸引除去。如此，根据本实施方式的图案形成装置1，在使用涂覆机构3在基板20上整面地涂覆了墨30之后，使用擦拭机构4将规定部位的墨30除去，由此能够有效地形成规定形状的涂覆层。

图案形成装置1优选具有对基板20进行加热的加热机构(未图示)。作为加热机构，能够列举在搬送台21中内置护套式加热器或者设置向基板20的上面放射红外线等热线的加热器等的构成。通过使用该加热机构例如对由带41除去了墨30的基板20进行加热，由此即使在带41所含的溶剂40附着于基板20的情况下，也能够使该溶剂40迅速地蒸发。如此，能够不使溶剂40侵蚀不是除去对象的墨30(涂覆层)、而准确地控制涂覆层与其以外的部分的边界线。

根据本实施方式的图案形成装置1，在通过含有溶剂40的带41来擦拭涂覆有墨30的基板20上的规定部位时，带41的擦拭面常时成为新的面，因此能够高效地除去墨30，能够得到所期望的形状的涂覆层。此外，通过依次供给带41，由此难以产生带41的磨削等劣化，因此能够抑制这种切削屑等对基板20的污染，能够得到可靠性较高的产品。能够长时间连续地进行墨30的除去，能够提高生产率。并且，能够自由地设计带41的长度，因此例如在量产时与维护间隔相配合地确保足够的长度即可，能够提高生产进度的自由度。此外，如果将该图案形成装置1用于有机EL面板的制造，则例如能够有效地制作图10所示的空穴输送层142，并且在该工序中，基板20等的污染变少，因此能够得到短路等故障较少的有机EL面板。

接着，参照图3对本发明第二实施方式的图案形成装置进行说明。在本实施方式的图案形成装置1中，具备以使基板20的涂覆面朝下的状态搬送基板20的搬送机构2，通过涂覆机构3对涂覆面朝下的基板20涂覆墨30。而且，擦拭机构4被与上述第一实施方式上下相反地设置，以便除去涂覆面朝下的基板20上的墨30。涂覆机构3以狭缝喷嘴31朝向上方的方式与上述第一实施方式上下相反地设置。此外，在搬送台21上设置有将基板20朝下地保持的保持机构(未图示)。

根据本实施方式，在使基板20的涂覆面朝下的状态下对基板20涂覆墨30，因此在涂覆时尘埃等难以混入到基板20上。此外，对涂覆面朝下的基板20上的墨30进行除去，因此擦拭物难以落下到基板20上，能够使生产成品率良好。此外，即使在擦拭后带头43以及带41从基板20离开，擦拭所使用的溶剂40也难以落下到基板20上，因此能够可靠地抑制基板20的污染，能够得到可靠性较高的产品。

接着，参照图4对本发明第三实施方式的图案形成装置进行说明。本实施方式的图案形成装置1还具备检测机构71，该检测机构71对由擦拭机构4除去了墨30的基板20上照射紫外线，而检测墨30的光致发光。检测机构71使用将紫外线光源71a与对基板20的表面进行摄影的CCD摄像机71b组合而成的检测机构。检测机构71安装于擦拭机构4的头单元46，与进行了擦拭的墨30的擦拭相连续地向基板20照射紫外线，而检测基板20上的墨30的光致发光。

构成有机EL面板的有机层的材料较多具有半导体的性质，通过被照射紫外线而以特有PL波长进行发光。因此，在本实施方式中，从紫外线光源71a对擦拭后的基板20照射紫外线，并且通过CCD摄像机71b对该基板20的表面进行摄影，而将其摄影映像与样本的图案映像进行比较。然后，通过确认在进行了擦拭的部分是否残存有墨30，由此能够检测出残存有墨30的不合格品，能够即时排除这种不合格品。即时的不合格品的除去，能够抑制不合格品流向后续的制造工序，因此能够削减在之后的工序中使用的材料等的浪费，能够提高生产率。此外，在擦拭不充分的情况下，能够对带41的移动速度(擦拭速度)、向带41供给的溶剂40的量进行反馈控制，以便能够可靠地除去基板20上的墨30。另外，也可以不使用CCD摄像机71b，作业者通过目视来确认光致发光而排除不合格品。

此外，根据本实施方式，照射紫外线而根据光致发光的有无来检测是否残存有墨30，因此能够不使传感器等与基板20直接接触地进行检测。非接触的检测不需要从制造工序中取出基板20，因此例如在上述的墨30的擦拭工序与在真空或者氮气氛下进行的工序相连续地进行的情况下，能够不破坏该气氛地进行检查。因此，不需要停止一系列的工序，因此生产率良好，并且能够抑制由检查时的颗粒污染、水分、氧所引起的污染。

参照图5对本实施方式的变形例的图案形成装置进行说明。本实施方式的图案形成装置1具备测定机构72，该测定机构72对由擦拭机构4除去了墨30的基板20的表面的接触电阻进行测定。测定机构72与上述检测机构71同样，安装于擦拭机构4的头单元46。

在该变形例中，也与上述实施方式同样，能够确认在进行了擦拭的部分是否残存有墨30，能够即时地排除残存有墨30的不合格品。此外，该变形例也能够应用于墨30不含有进行光致发光的材料的情况。此外，由于还能够监控涂覆膜的电阻，因此能够根据电特性来排除不合格品。

接着，参照图6对本发明第四实施方式的图案形成装置进行说明。在本实施方式中，擦拭机构4具有构成为使带41与基板20之间的接触面积可变的带头43。具体地，将上述实施方式的头单元46从卷轴驱动部44取出，而安装内装有在带41的移动方向上成为长条形状的带头43’的头单元46’。即，通过适当地切换带头43、43’的大小不同的头单元46、46’，能够使带41与基板20之间的接触面积可变。此外，例如也可以构成为，在头单元46内内装有多个带头(未图示)，并使这些带头的间隔在带41的移动方向上可变，由此能够减小带41与基板20之间的接触面积。

根据本实施方式，例如在将涂覆于基板20的边缘部的墨30直线地除去时，如果使用上述带头43’，则能够在一个工序中一齐除去较大范围的墨30，因此能够进一步提高除去效率。

参照图7对本实施方式的变形例进行说明。在该变形例中，如图7(a)所示，带头43形成为与带41相接的面成为隆起状。如果使用该带头43，则能够使带41以在带41的宽度方向上较窄的面积与基板20接触，因此能够线状地除去基板20上的墨30，能够进行更微细的涂覆层的形成加工。此外，带41按压基板20的压力局部地集中，因此能够区分除去了墨30的部位与未除去墨30的部位的边界，能够使未除去墨30的部位、即涂覆层的边缘的精加工良好。此外，如图7(b)所示，还能够根据对墨30进行除去的部位的大小来使用大宽度的带头43。

接着，参照图8对本发明第五实施方式的图案形成装置进行说明。本实施方式的图案形成装置1还具备激光加热机构8，该激光加热机构8对由擦拭机构4除去了墨30的基板20上照射激光，对基板20上残存的墨30进行加热。测定机构72与上述第三实施方式的检测机构71或者测定机构72同样，安装于擦拭机构4的头单元46。蒸发机构8优选构成为，与上述检测机构71等并用，在基板20上残存有墨30的情况下，对该部位有选择地照射激光。

根据本实施方式，即使在被除去了墨30的部分的端部存在墨堆积、块等，也能够通过激光将它们加热除去或者加热溶融而使墨端部光滑，由此能够抑制不合格品的产生。

接着，参照图9对本发明第六实施方式的图案形成装置进行说明。本实施方式的图案形成装置1具备对带头43与基板20抵接时的加压量进行计测的监控机构(未图示)。此外，图案形成装置1具备调整机构22，该调整机构22对基板20与带头43之间的距离进行调整，以使由监控机构计测的加压量成为一定。在图例中，作为调整机构22，示出使载放基板20的搬送台21升降的驱动部件。另外，调整机构22也可以使带头43向基板20侧上下移动。在该情况下，卷轴驱动部44适当地控制卷轴42a、42b的转速，而对带41的移动速度进行调整，以便在带头43中带41不会松弛或者被过度拉伸。

根据本实施方式，能够在除去工序中监控加压量，并且随时对基板20与带41之间的压力进行反馈控制。因此，例如，即使基板20本身、其上所形成的透明电极等存在凹凸、倾斜，也能够以一定的精度来擦拭墨30，能够提高成品率。

另外，本发明并不限定于上述实施方式，能够进行各种变形。上述搬送机构2、涂覆机构3与擦拭机构4一起由控制装置(未图示)等驱动控制，并基于规定的软件来进行动作。此外，图案形成装置1具备用于输入墨30的种类、所制作的涂覆膜的尺寸、数量等的操作部(未图示)。上述软件被构建为，根据通过操作部输入的操作信息，不仅使擦拭机构4而且使搬送机构2以及涂覆机构3等的驱动最佳化。另外，在上述实施方式中，例示了形成有机EL面板的空穴输送层142的工序，但只要是通过涂覆来制作的层，则不限定于空穴输送层142，也能够应用于发光层143或者电子输送层(未图示)等的制作。并且，不限定于有机EL面板，例如也能够应用于有机太阳能电池等具有多个功能层的器件的制造。

符号的说明：

1  图案形成装置

2  搬送机构

20 基板

22 调整机构

4  擦拭机构

40 溶剂

41 带

42 卷轴

43 带头

5  吸引机构

6  补给机构

71 检测机构

72 测定机构

8  激光加热机构

Claims (14)

1.一种图案形成装置，对基板上的含有有机材料的墨进行图案形成，其特征在于，

具备将上述基板上的规定部位的墨除去的擦拭机构，

上述擦拭机构具有：含有溶剂的带；卷取该带的旋转式的卷轴；以及使上述带抵接于上述基板上的带头，

在通过上述带头使上述带抵接于上述基板的同时使上述卷轴旋转，由此使上述基板上的墨附着于上述带。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于，

上述卷轴以向与上述带头相对于设置上述基板的工作台的相对行进方向相反的方向卷取带的方式旋转。

3.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其特征在于，

上述擦拭机构具有吸引机构，该吸引机构吸引在擦拭中产生的粉尘等。

4.如权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

上述擦拭机构具有补给机构，该补给机构向上述带供给溶剂。

5.如权利要求1至4中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

还具备对上述基板进行加热的加热机构。

6.如权利要求1至5中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

还具备搬送机构，该搬送机构在使上述基板的涂覆面朝下的状态下对上述基板进行搬送。

7.如权利要求6所述的图案形成装置，其特征在于，

上述擦拭机构将涂覆面朝下的上述基板上的墨除去。

8.如权利要求1至7中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

还具备检测机构，该检测机构对由上述擦拭机构除去了墨的上述基板上照射紫外线，而检测上述墨的光致发光。

9.如权利要求1至7中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

还具备测定机构，该测定机构对由上述擦拭机构除去了墨的上述基板表面的接触电阻进行测定。

10.如权利要求1至9中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

上述带头构成为，使上述带与上述基板之间的接触面积可变。

11.如权利要求1至10中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

上述带头形成为，与上述带相接的面形成为隆起状。

12.如权利要求1至11中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

还具备激光加热机构，该激光加热机构对由上述擦拭机构除去了墨的上述基板上照射激光，对上述基板上残存的墨进行加热。

13.如权利要求1至12中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

还具备：

监控机构，对上述带头与上述基板抵接时的加压量进行计测；以及

调整机构，对上述基板与上述带头之间的距离进行调整，以使由上述监控机构计测的加压量成为一定。

14.一种有机EL面板的制造方法，其特征在于，

包括使用权利要求1至14中任一项所述的图案形成装置在具有透明电极的基板上形成空穴输送层的工序。

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