JP3966252B2 - 有機ｅｌ装置とその製造方法、及び電子機器 - Google Patents
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Description
本発明は、個々の有機ＥＬ素子の特性向上を図り、これによって表示特性の向上を図った有機ＥＬ装置とその製造方法、及び電子機器に関する。
近年、自発発光型ディスプレイとして、発光層に有機物を用いた有機エレクトロルミネセンス素子（以下、有機ＥＬ素子と称する）の開発が進められている。このような有機ＥＬ素子を多数備えて構成される有機ＥＬ装置では、発光層やキャリア注入／輸送層、すなわち正孔注入／輸送層や電子注入／輸送層などの機能層を形成するための機能性材料が、得られる有機ＥＬ装置の特性等を決定するうえで重要な要素の一つとなっている。
このような有機ＥＬ装置としては、特に発光層形成材料が高分子材料である場合、機能層が発光層と正孔注入／輸送層とから形成されているのが一般的である（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。このような有機ＥＬ装置では、例えばフルカラー表示をなす装置の場合、有機ＥＬ素子として赤色発光をなす素子と緑色発光をなす素子と青色発光をなす素子とを備えて構成されている。これら各色の発光をなす有機ＥＬ素子は、各色毎に発光層の材料が異なるものの、他の機能層、すなわち正孔注入／輸送層についてはその材料が共通とされ、これによって生産性の向上が図られている。
なお、機能層以外の構成については、特に陰極の構成を色間で変えるものが知られている。具体的には、青色の発光をなす有機ＥＬ素子についてのみ発光層側にＬｉＦを設け、陰極を構成しているのものが知られている。
特開２０００−３２３２７６号公報
特開２００２−２３１４４７号公報
ところで、前記の有機ＥＬ装置においては、特にフルカラー表示をなす装置の場合、各色毎に発光層の材料が異なることから、これら全ての色の素子が十分に最良の発光特性を発揮しているとはいえない状態にある。すなわち、色間で発光層の形成材料が異なるのに対して、正孔注入／輸送層が共通であり、また電子注入／輸送層についても各色共に有していないという点で共通となっているため、最良の発光をなす状態にない素子も形成されてしまっているのである。
しかしながら、近年では有機ＥＬ装置としてその表示特性の向上が強く要求されるようになってきており、したがって個々の有機ＥＬ素子についても、最良の発光特性を発揮することが強く望まれている。
しかしながら、近年では有機ＥＬ装置としてその表示特性の向上が強く要求されるようになってきており、したがって個々の有機ＥＬ素子についても、最良の発光特性を発揮することが強く望まれている。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、個々の有機ＥＬ素子に最良の発光特性を発揮させるようにし、これによって表示特性の向上を図った有機ＥＬ装置とその製造方法、及び電子機器を提供することにある。
前記目的を達成するため本発明の有機ＥＬ装置は、一対の電極とこれら電極間に設けられた少なくとも発光層及び正孔注入／輸送層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を、複数備えてなる有機ＥＬ装置において、前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層が、他の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層と異なる構成となっていることを特徴としている。
このようにすれば、例えば発光層の形成材料に応じて正孔注入／輸送層の正孔注入／輸送性を変えることで、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、この有機ＥＬ装置によれば、一の有機ＥＬ素子の機能層の構成が、他の有機ＥＬ素子の機能層の構成に対して、発光層以外の構成要素について異なっているので、例えば発光層の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好なものとなる。また、同一の材料からなる発光層を有した素子間に関しても、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なる場合に、それぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好なものとなる。
このようにすれば、例えば発光層の形成材料に応じて正孔注入／輸送層の正孔注入／輸送性を変えることで、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、この有機ＥＬ装置によれば、一の有機ＥＬ素子の機能層の構成が、他の有機ＥＬ素子の機能層の構成に対して、発光層以外の構成要素について異なっているので、例えば発光層の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好なものとなる。また、同一の材料からなる発光層を有した素子間に関しても、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なる場合に、それぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好なものとなる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子の発光層と、他の有機ＥＬ素子の発光層とは、互いに発光する色が異なっていてもよい。
この場合に、前述したように発光層の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好なものとなる。
この場合に、前述したように発光層の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好なものとなる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子が電子注入／輸送層を備えており、他の有機ＥＬ素子が電子注入／輸送層を備えていないことを特徴とする。
この場合に、例えば特定の発光層に対してのみ必要であり、他の発光層に対しては不要であるような電子注入／輸送層を、有機ＥＬ素子に対して選択的付加することで、全ての有機ＥＬ素子について最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、この場合に、例えば特定の発光層に対してのみ必要であり、他の発光層に対しては不要であるような機能層について、選択的に機能層を付加することで全ての有機ＥＬ素子について最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
この場合に、例えば特定の発光層に対してのみ必要であり、他の発光層に対しては不要であるような電子注入／輸送層を、有機ＥＬ素子に対して選択的付加することで、全ての有機ＥＬ素子について最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、この場合に、例えば特定の発光層に対してのみ必要であり、他の発光層に対しては不要であるような機能層について、選択的に機能層を付加することで全ての有機ＥＬ素子について最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子の、少なくとも発光層以外の機能層の構成要素と、他の有機ＥＬ素子において前記一の有機ＥＬ素子における機能層の構成要素と同等の機能をなす構成要素とが、互いに異なる構成となっていてもよい。
このようにすれば、発光層に対する発光層以外の機能層の構成要素として、性能に関して微妙な差を有する材料を用いることが可能になる。
このようにすれば、発光層に対する発光層以外の機能層の構成要素として、性能に関して微妙な差を有する材料を用いることが可能になる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記一の有機ＥＬ素子と前記他の有機ＥＬ素子との間において、互いに異なる構成となっている構成要素が、正孔注入／輸送層であってもよい。
このようにすれば、例えば発光層の形成材料に応じて正孔注入／輸送層の正孔注入／輸送性を変えることで、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
このようにすれば、例えば発光層の形成材料に応じて正孔注入／輸送層の正孔注入／輸送性を変えることで、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
なお、この有機ＥＬ装置においては、前記一の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料がポリチオフェン誘導体であってもよい。また、その場合に、正孔注入／輸送層の形成材料が３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合物であってよい。
ポリチオフェン誘導体として例えば３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンは、良好な正孔注入／輸送性を有することから、これを用いることによって得られた正孔注入／輸送層は発光層に対してより良好な発光特性を発揮させるようになる。
ポリチオフェン誘導体として例えば３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンは、良好な正孔注入／輸送性を有することから、これを用いることによって得られた正孔注入／輸送層は発光層に対してより良好な発光特性を発揮させるようになる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記一の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料と前記他の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料とがいずれも３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合物であり、これら一の有機ＥＬ素子と他の有機ＥＬ素子とでは、前記混合物中の３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合比が異なるよう構成されていてもよい。
このようにすれば、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合比が異なることにより、形成される正孔注入／輸送層の抵抗値が異なるようになり、したがってこれら正孔注入／輸送層間で正孔注入／輸送性も異なるようになる。よって、例えば発光層の形成材料に応じた正孔注入／輸送性を有する正孔注入／輸送層を各有機ＥＬ素子毎に形成することにより、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
このようにすれば、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合比が異なることにより、形成される正孔注入／輸送層の抵抗値が異なるようになり、したがってこれら正孔注入／輸送層間で正孔注入／輸送性も異なるようになる。よって、例えば発光層の形成材料に応じた正孔注入／輸送性を有する正孔注入／輸送層を各有機ＥＬ素子毎に形成することにより、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
なお、この有機ＥＬ装置においては、前記混合物中の３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合比が、１：１０〜１：３０の範囲で異なるのが好ましい。
このようにすれば、得られる正孔注入／輸送層の抵抗値が要求される正孔注入／輸送性を確保するうえで良好になる。
このようにすれば、得られる正孔注入／輸送層の抵抗値が要求される正孔注入／輸送性を確保するうえで良好になる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記一の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料と前記他の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料とがいずれも３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合物であり、これら一の有機ＥＬ素子と他の有機ＥＬ素子とでは、その形成材料となる前記混合物の平均粒子径が異なるよう構成されていてもよい。
このようにすれば、前記混合物の平均粒子径が異なることにより、形成される正孔注入／輸送層の抵抗値が異なるようになり、したがってこれら正孔注入／輸送層間で正孔注入／輸送性も異なるようになる。よって、例えば発光層の形成材料に応じた正孔注入／輸送性を有する正孔注入／輸送層を各有機ＥＬ素子毎に形成することにより、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
このようにすれば、前記混合物の平均粒子径が異なることにより、形成される正孔注入／輸送層の抵抗値が異なるようになり、したがってこれら正孔注入／輸送層間で正孔注入／輸送性も異なるようになる。よって、例えば発光層の形成材料に応じた正孔注入／輸送性を有する正孔注入／輸送層を各有機ＥＬ素子毎に形成することにより、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
なお、この有機ＥＬ装置においては、前記混合物の平均粒子径が、２０〜６０ｎｍの範囲で異なるのが好ましい。
このようにすれば、得られる正孔注入／輸送層の抵抗値が要求される正孔注入／輸送性を確保するうえで良好になる。
このようにすれば、得られる正孔注入／輸送層の抵抗値が要求される正孔注入／輸送性を確保するうえで良好になる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子において備えられておらず、他の有機ＥＬ素子においてその発光層以外の機能層の構成要素として備えられているものが、電子注入／輸送層であってもよい。
この場合に、例えば特定の発光層に対してのみ必要であり、他の発光層に対しては不要であるような電子注入／輸送層を、有機ＥＬ素子に対して選択的付加することで、全ての有機ＥＬ素子について最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
この場合に、例えば特定の発光層に対してのみ必要であり、他の発光層に対しては不要であるような電子注入／輸送層を、有機ＥＬ素子に対して選択的付加することで、全ての有機ＥＬ素子について最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
なお、この有機ＥＬ装置においては、前記電子注入／輸送層の形成材料が、有機金属化合物からなっていてもよい。
このようにすれば、前記電子注入／輸送層の形成材料を例えば液滴吐出法等の湿式法で配することが可能となり、したがって製造上有利となる。
このようにすれば、前記電子注入／輸送層の形成材料を例えば液滴吐出法等の湿式法で配することが可能となり、したがって製造上有利となる。
また、この有機ＥＬ装置においては、前記有機金属化合物中の金属の仕事関数が３．０ｅＶ以下であるのが好ましい。
このようにすれば、前記有機金属化合物から形成された電子注入／輸送層がより良好な電子注入／輸送性を有するものとなる。
このようにすれば、前記有機金属化合物から形成された電子注入／輸送層がより良好な電子注入／輸送性を有するものとなる。
また、前記有機ＥＬ装置においては、赤色の発光をなす有機ＥＬ素子と緑色の発光をなす有機ＥＬ素子と青色の発光をなす有機ＥＬ素子とを備えているのが好ましい。
このようにすれば、フルカラー表示が可能となる。
このようにすれば、フルカラー表示が可能となる。
本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、 一対の電極とこれら電極間に設けられた少なくとも発光層及び正孔注入／輸送層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を、複数備えてなる有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層を、他の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層と異なる構成となるように形成することを特徴としている。
このようにすれば、例えば発光層の形成材料に応じて正孔注入／輸送層の正孔注入／輸送性を変えることで、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、一の有機ＥＬ素子の機能層の構成を、他の有機ＥＬ素子の機能層の構成に対して、発光層以外の構成要素について異なるように形成するので、前述したように例えば発光層の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることが可能となる。また、同一の材料からなる発光層を有した素子間に関しても、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なる場合に、それぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることが可能となる。
前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層を、他の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層と異なる構成となるように形成することを特徴としている。
このようにすれば、例えば発光層の形成材料に応じて正孔注入／輸送層の正孔注入／輸送性を変えることで、各有機ＥＬ素子毎に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。
また、この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、一の有機ＥＬ素子の機能層の構成を、他の有機ＥＬ素子の機能層の構成に対して、発光層以外の構成要素について異なるように形成するので、前述したように例えば発光層の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることが可能となる。また、同一の材料からなる発光層を有した素子間に関しても、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なる場合に、それぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることが可能となる。
また、前記有機ＥＬ装置の製造方法においては、前記機能層のうちの少なくとも一層を、その形成材料を含有する液状体を液滴吐出法によって配することで形成するのが好ましい。
このようにすれば、液滴吐出法を採用することで液状体を所望する箇所に所望する量、精度良く配することが可能となり、したがって各有機ＥＬ素子毎にその機能層の構成を変えることが容易になる。
このようにすれば、液滴吐出法を採用することで液状体を所望する箇所に所望する量、精度良く配することが可能となり、したがって各有機ＥＬ素子毎にその機能層の構成を変えることが容易になる。
本発明の電子機器では、前記の有機ＥＬ装置、あるいは前記の製造方法によって得られた有機ＥＬ装置を備えたことを特徴としている。
この電子機器によれば、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好に形成された有機ＥＬ装置を備えているので、この有機ＥＬ装置を表示部とすることでより良好な表示特性を有したものとなる。
この電子機器によれば、各有機ＥＬ素子の発光特性がより良好に形成された有機ＥＬ装置を備えているので、この有機ＥＬ装置を表示部とすることでより良好な表示特性を有したものとなる。
以下、本発明を詳しく説明する。
図１、図２は本発明の有機ＥＬ装置を、フルカラー表示をなすアクティブマトリクス型のディスプレイに適用した場合の一例を示すもので、これらの図において符号１は有機ＥＬ装置である。
図１、図２は本発明の有機ＥＬ装置を、フルカラー表示をなすアクティブマトリクス型のディスプレイに適用した場合の一例を示すもので、これらの図において符号１は有機ＥＬ装置である。
図１に本例の有機ＥＬ装置１の配線構造の平面模式図を示し、図２には本例の有機ＥＬ装置１の平面模式図及び断面模式図を示す。
図１に示すように、本例の有機ＥＬ装置１は、複数の走査線１０１と、走査線１０１に対して交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とがそれぞれ配線されて構成されたもので、走査線１０１及び信号線１０２の各交点付近に画素領域Ａを形成したものである。
図１に示すように、本例の有機ＥＬ装置１は、複数の走査線１０１と、走査線１０１に対して交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、信号線１０２に並列に延びる複数の電源線１０３とがそれぞれ配線されて構成されたもので、走査線１０１及び信号線１０２の各交点付近に画素領域Ａを形成したものである。
信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備えたデータ側駆動回路１０４が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備えた走査側駆動回路１０５が接続されている。
さらに、画素領域Ａの各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給される第１の薄膜トランジスタ１２２と、この第１の薄膜トランジスタ１２２を介して信号線１０２から供給される画素信号を保持する保持容量ｃａｐと、該保持容量ｃａｐによって保持された画素信号がゲート電極に供給される第２の薄膜トランジスタ１２３と、この第２の薄膜トランジスタ１２３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに該電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極（陽極）１１１と、この画素電極１１１と対向電極（陰極）１２との間に挟み込まれた発光部１１０とが設けられている。これら画素電極１１１と対向電極１２、および発光部１１０により、本発明における有機ＥＬ素子が構成されている。
さらに、画素領域Ａの各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給される第１の薄膜トランジスタ１２２と、この第１の薄膜トランジスタ１２２を介して信号線１０２から供給される画素信号を保持する保持容量ｃａｐと、該保持容量ｃａｐによって保持された画素信号がゲート電極に供給される第２の薄膜トランジスタ１２３と、この第２の薄膜トランジスタ１２３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに該電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極（陽極）１１１と、この画素電極１１１と対向電極（陰極）１２との間に挟み込まれた発光部１１０とが設けられている。これら画素電極１１１と対向電極１２、および発光部１１０により、本発明における有機ＥＬ素子が構成されている。
このような構成によれば、走査線１０１が駆動されて第１の薄膜トランジスタ１２２がオンになると、そのときの信号線１０２の電位が保持容量ｃａｐに保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて、第２の薄膜トランジスタ１２３のオン・オフ状態が決まる。そして、第２の薄膜トランジスタ１２３のチャネルを介して、電源線１０３から画素電極１１１に電流が流れ、さらに発光部１１０を介して陰極１２に電流が流れる。発光部１１０は、これを流れる電流量に応じて発光する。
次に、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、本例の有機ＥＬ装置１は、ガラス等からなる透光性の基板２と、この基板２上にマトリックス状に形成配置された多数の有機ＥＬ素子と、これら有機ＥＬ素子を封止する封止基板とを具備して構成されたものである。基板２上に形成された有機ＥＬ素子は、前述したように画素電極１１１と、発光部１１０と、陰極１２とによって構成されたものである。
基板２は、例えばガラス等の透明性（透光性）を有するものである。この基板２の中央には表示領域２ａが設けられており、基板２の周縁部、すなわち表示領域２ａの外側には非表示領域２ｂが設けられている。
表示領域２ａは、マトリックス状に配置された有機ＥＬ素子によって形成された領域であって、有効表示領域となる領域である。また、非表示領域２ｂには、表示領域２ａに隣接してダミー表示領域２ｄが形成されている。
基板２は、例えばガラス等の透明性（透光性）を有するものである。この基板２の中央には表示領域２ａが設けられており、基板２の周縁部、すなわち表示領域２ａの外側には非表示領域２ｂが設けられている。
表示領域２ａは、マトリックス状に配置された有機ＥＬ素子によって形成された領域であって、有効表示領域となる領域である。また、非表示領域２ｂには、表示領域２ａに隣接してダミー表示領域２ｄが形成されている。
また、図２（ｂ）に示すように、有機ＥＬ素子及びバンク部からなるＥＬ素子部１１と基板２との間には、回路素子部１４が形成されており、この回路素子部１４には前記走査線、信号線、保持容量、第１の薄膜トランジスタ、第２の薄膜トランジスタ１２３等が形成されている。
陰極１２は、その端部が基板２上に形成された陰極用配線１２ａに接続されており、この配線の端部がフレキシブル基板５上の配線５ａに接続されている。また、配線５ａは、フレキシブル基板５上に備えられた駆動ＩＣ６（駆動回路）に接続されている。
陰極１２は、その端部が基板２上に形成された陰極用配線１２ａに接続されており、この配線の端部がフレキシブル基板５上の配線５ａに接続されている。また、配線５ａは、フレキシブル基板５上に備えられた駆動ＩＣ６（駆動回路）に接続されている。
また、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、回路素子部１４の非表示領域２ｂには、前記電源線１０３（１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂ）が配設されている。
また、表示領域２ａの図２（ａ）中両側には、前記走査側駆動回路１０５、１０５が配置されている。この走査側駆動回路１０５、１０５は、ダミー領域２ｄの下側の回路素子部１４内に設けられたものである。さらに、回路素子部１４内には、走査側駆動回路１０５、１０５に接続された駆動回路用制御信号配線１０５ａと駆動回路用電源配線１０５ｂとが設けられている。
また、表示領域２ａの図２（ａ）中上側には、検査回路１０６が配置されている。この検査回路１０６により、製造途中や出荷時における表示装置の品質、欠陥の検査が行われるようになっている。
また、表示領域２ａの図２（ａ）中両側には、前記走査側駆動回路１０５、１０５が配置されている。この走査側駆動回路１０５、１０５は、ダミー領域２ｄの下側の回路素子部１４内に設けられたものである。さらに、回路素子部１４内には、走査側駆動回路１０５、１０５に接続された駆動回路用制御信号配線１０５ａと駆動回路用電源配線１０５ｂとが設けられている。
また、表示領域２ａの図２（ａ）中上側には、検査回路１０６が配置されている。この検査回路１０６により、製造途中や出荷時における表示装置の品質、欠陥の検査が行われるようになっている。
また、図２（ｂ）に示すように、ＥＬ素子部１１上には封止部３が形成されている。この封止部３は、基板２上に塗布された封止樹脂６０３と、封止基板６０４とから構成されたものである。封止樹脂６０３としては、熱硬化樹脂あるいは紫外線硬化樹脂等が用いられるが、特にエポキシ樹脂が好適に用いられる。
この封止樹脂６０３は、例えばマイクロディスペンサ等によって基板２の周囲に環状に塗布され、基板２と封止基板６０４とを接合したものである。このような構成のもとに封止樹脂６０３は、基板２と封止基板６０４との間から封止基板６０４内部に水や酸素が侵入するを防ぎ、陰極１２またはＥＬ素子部１１内に形成された発光層（図示せず）が酸化されるのを防止するようになっている。
封止基板６０４は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂６０３を介して基板２に接合されており、その内側には凹部６０４ａが形成されている。この凹部６０４ａには水や酸素を吸収するゲッター剤６０５が貼り付けられており、缶封止基板６０４の内部に侵入した水又は酸素を吸収できるようになっている。
この封止樹脂６０３は、例えばマイクロディスペンサ等によって基板２の周囲に環状に塗布され、基板２と封止基板６０４とを接合したものである。このような構成のもとに封止樹脂６０３は、基板２と封止基板６０４との間から封止基板６０４内部に水や酸素が侵入するを防ぎ、陰極１２またはＥＬ素子部１１内に形成された発光層（図示せず）が酸化されるのを防止するようになっている。
封止基板６０４は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂６０３を介して基板２に接合されており、その内側には凹部６０４ａが形成されている。この凹部６０４ａには水や酸素を吸収するゲッター剤６０５が貼り付けられており、缶封止基板６０４の内部に侵入した水又は酸素を吸収できるようになっている。
次に、図３に、有機ＥＬ装置１における表示領域の断面構造を拡大した図を示す。この図３には３つの画素領域Ａを示している。有機ＥＬ装置１は、基板２上に、ＴＦＴなどの回路等が形成された回路素子部１４と、発光部１１０が形成されたＥＬ素子部１１とが順次積層されて構成されている。
この有機ＥＬ装置１においては、発光部１１０から基板２側に発した光が、回路素子部１４及び基板２を透過して基板２の下側（観測者側）に出射されるとともに、発光部１１０から基板２の反対側に発した光が陰極１２により反射されて、回路素子部１４及び基板２を透過して基板２の下側（観測者側）に出射されるようになっている。
なお、陰極１２として透明な材料を用いることにより、この陰極１２側から光を出射させることも可能である。
この有機ＥＬ装置１においては、発光部１１０から基板２側に発した光が、回路素子部１４及び基板２を透過して基板２の下側（観測者側）に出射されるとともに、発光部１１０から基板２の反対側に発した光が陰極１２により反射されて、回路素子部１４及び基板２を透過して基板２の下側（観測者側）に出射されるようになっている。
なお、陰極１２として透明な材料を用いることにより、この陰極１２側から光を出射させることも可能である。
回路素子部１４には、基板２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜２ｃが形成され、この下地保護膜２ｃ上には多結晶シリコンからなる島状の半導体膜１４１が形成されている。なお、半導体膜１４１には、ソース領域１４１ａ及びドレイン領域１４１ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みによって形成されており、また、Ｐが導入されなかった部分はチャネル領域１４１ｃとなっている。
さらに、回路素子部１４には、下地保護膜２ｃ及び半導体膜１４１を覆う透明なゲート絶縁膜１４２が形成され、ゲート絶縁膜１４２上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極１４３（走査線１０１）が形成され、ゲート電極１４３及びゲート絶縁膜１４２上には透明な第１層間絶縁膜１４４ａと第２層間絶縁膜１４４ｂとが形成されている。ゲート電極１４３は、半導体膜１４１のチャネル領域１４１ｃに対応する位置に設けられている。
さらに、回路素子部１４には、下地保護膜２ｃ及び半導体膜１４１を覆う透明なゲート絶縁膜１４２が形成され、ゲート絶縁膜１４２上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極１４３（走査線１０１）が形成され、ゲート電極１４３及びゲート絶縁膜１４２上には透明な第１層間絶縁膜１４４ａと第２層間絶縁膜１４４ｂとが形成されている。ゲート電極１４３は、半導体膜１４１のチャネル領域１４１ｃに対応する位置に設けられている。
また、第１、第２層間絶縁膜１４４ａ、１４４ｂには、半導体膜１４１のソース・ドレイン領域１４１ａ、１４１ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール１４５、１４６が形成されており、これらコンタクトホール１４５、１４６内にはそれぞれ導電材料が埋め込まれている。
そして、第２層間絶縁膜１４４ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極１１１が所定の形状にパターニングされて形成され、一方のコンタクトホール１４５がこの画素電極１１１に接続されている。
また、もう一方のコンタクトホール１４６が電源線１０３に接続されている。
このようにして、回路素子部１４には、各画素電極１１１に接続された第２の薄膜トランジスタ１２３が形成されている。
なお、回路素子部１４には、前述した保持容量ｃａｐ及び第１の薄膜トランジスタ１２２も形成されているが、図３ではこれらの図示を省略している。
そして、第２層間絶縁膜１４４ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極１１１が所定の形状にパターニングされて形成され、一方のコンタクトホール１４５がこの画素電極１１１に接続されている。
また、もう一方のコンタクトホール１４６が電源線１０３に接続されている。
このようにして、回路素子部１４には、各画素電極１１１に接続された第２の薄膜トランジスタ１２３が形成されている。
なお、回路素子部１４には、前述した保持容量ｃａｐ及び第１の薄膜トランジスタ１２２も形成されているが、図３ではこれらの図示を省略している。
ＥＬ素子部１１は、複数の画素電極１１１…上の各々に積層された発光部１１０と、各画素電極１１１及び発光部１１０の間に備えられて各発光部１１０を区画するバンク部１１２と、発光部１１０上に形成された対向電極（陰極）１２とを主体として構成されている。
ここで、画素電極１１１は、透明導電性材料、例えばＩＴＯによって形成されたもので、平面視略矩形にパターニングされたものである。この各画素電極１１１…の間にはバンク部１１２が設けられている。
ここで、画素電極１１１は、透明導電性材料、例えばＩＴＯによって形成されたもので、平面視略矩形にパターニングされたものである。この各画素電極１１１…の間にはバンク部１１２が設けられている。
バンク部１１２は、基板２側にＳｉＯ２等からなる無機バンク層１１２ａと、この無機バンク層１１２ａ上に形成された有機バンク層１１２ｂとから構成されたものである。
無機バンク層１１２ａは、画素電極１１１の周縁部上に乗上げるように形成されたもので、平面視した状態で画素電極１１１の周囲と無機バンク層１１２ａとが平面的に重なるように配置された構造となっている。また、有機バンク層１１２ｂも、平面視した状態で画素電極１１１の一部と重なるように配置されている。
また、有機バンク層１１２ｂには開口部１１２ｃが形成されており、後述するようにこの開口部１１２ｃ内に機能層の形成材料が配置され成膜されることにより、機能層からなる発光部１１０が形成されるようになっている。なお、有機バンク層１１２ｂは、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性のある材料によっって形成されている。
無機バンク層１１２ａは、画素電極１１１の周縁部上に乗上げるように形成されたもので、平面視した状態で画素電極１１１の周囲と無機バンク層１１２ａとが平面的に重なるように配置された構造となっている。また、有機バンク層１１２ｂも、平面視した状態で画素電極１１１の一部と重なるように配置されている。
また、有機バンク層１１２ｂには開口部１１２ｃが形成されており、後述するようにこの開口部１１２ｃ内に機能層の形成材料が配置され成膜されることにより、機能層からなる発光部１１０が形成されるようになっている。なお、有機バンク層１１２ｂは、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性のある材料によっって形成されている。
発光部１１０は、前述したように本発明における機能層によって構成されたもので、画素電極（陽極）１１１と対向電極（陰極）１２との間に配設されたことにより、これら画素電極１１１と対向電極１２と共に有機ＥＬ素子を構成するものとなっている。ここで、本例においては、前述したようにフルカラー表示をなすべく、赤色の発光をなす画素Ｒとなる有機ＥＬ素子と、緑色の発光をなす画素Ｇとなる有機ＥＬ素子と、青色の発光をなす画素Ｂとなる有機ＥＬ素子とが備えられている。
本例では、これら３種類の有機ＥＬ素子は、その発光部（機能層）１１０における発光層１５０（１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ）の形成材料が、発光する各色に対応して互いに異なっており、したがってその構成が異なっている。また、正孔注入／輸送層１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）についても、発光層が発光する各色に対応して互いに異なっている。さらに、本例においては、青色の発光をなす有機ＥＬ素子にのみ、電子注入／輸送層１５２が形成されている。このような構成のもとに、赤色、緑色、青色の各色の発光をなす３種類の有機ＥＬ素子は、その発光部（機能層）１１０が、その発光層以外の構成要素について互いに異なって形成されたものとなっている。
なお、正孔注入／輸送層１５１は、画素電極（陽極）１１１の正孔を発光層１５０に注入する機能を有し、または正孔をその内部において輸送する機能を有したものである。このような正孔注入／輸送層を画素電極１１１と発光層１５０との間に設けることにより、発光層１５０の発光効率、寿命等の特性を向上させることができる。また、発光層１５０では、正孔注入／輸送層１５１から注入された正孔と、対向電極（陰極）１２から注入される電子とが再結合し、発光がなされるようになっている。
本例において赤色の有機ＥＬ素子は、その正孔注入／輸送層１５１Ｒが、例えばポリアニリンとポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物によって形成されている。具体的には、このポリアニリンとポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物０．７重量部が、水５０重量部、ジエチレングリコール（ＤＥＧ）５０重量部、界面活性剤（例えばサンフィノール６１［商品名］）０．１重量部が混合されてなる分散媒に分散され、正孔注入／輸送層１５１Ｒ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が後述するように液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内に配置され、厚さ５０ｎｍ程度に成膜されることにより、正孔注入／輸送層１５１Ｒが形成されている。
また、この赤色の有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｒとしては、その形成材料の主成分が前記のポリアニリンとポリスチレンスルフォン酸との混合物に限定されることなく、他に例えば、ポリチオフェン誘導体として特に３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）と、ポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物を主成分として用いることもできる。その場合にも、これを前記の分散媒（水／ＤＥＧ／界面活性剤）に分散させて液状材料とし、これを液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内に配置し成膜することにより、正孔注入／輸送層１５１Ｒを形成することができる。
ここで、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物は、ＰＳＳからなる長い鎖中にＰＥＤＯＴが結合した状態となり、これが分散媒に分散することによってゲルパーチィクルとなる。このゲルパーチィクルは、機械的に破砕分散させることでその平均粒子径を調整することが可能となり、また、この平均粒子径を調整することにより、得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値を調整することが可能となる。
赤色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｒ用の形成材料主成分として、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物を用いる場合、これらＰＥＤＯＴとＰＳＳとの配合比（重量比）を、１：１０〜１：１５とし、また、その平均粒子径を５０〜６０ｎｍ程度とする。このようにすることにより、得られる正孔注入／輸送層１５１Ｒの抵抗値を調整し、これによって後述する赤色有機ＥＬ素子用の発光層に最良の発光特性を発揮させることが可能になる。すなわち、ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの配合比（重量比）について、そのＰＳＳの割合を高くすることにより、得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値を高くすることができ、また、混合物の平均粒子径を小さくすることにより、得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値を高くすることができる。したがって、前述したように混合比および平均粒子径を調整することにより、得られる正孔注入／輸送層１５１Ｒの抵抗値を比較的低くし、これによって赤色有機ＥＬ素子に最良の発光特性を発揮させることができるようになるのである。
緑色の有機ＥＬ素子については、その正孔注入／輸送層１５１Ｇが、前記の３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物によって形成されている。この緑色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｇ用の形成材料主成分としては、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との配合比（重量比）を約１：３０とし、また、その平均粒子径を５０〜６０ｎｍ程度としたものが好適に用いられる。また、正孔注入／輸送層１５１Ｇ用の形成材料主成分としては、他に例えば、ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの配合比（重量比）を約１：２０とし、また、その平均粒子径を２０〜３０ｎｍ程度としたものも好適に用いられる。
これら混合物にあっても、配合量として０．７重量部が前記の分散媒（水；５０重量部／ＤＥＧ；５０重量部／界面活性剤；０．１重量部）に分散されて液状材料とされ、これが液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内に配置され厚さ５０ｎｍ程度に成膜されることにより、正孔注入／輸送層１５１Ｇとなる。
このような混合物を形成材料主成分として用いれば、前記の赤色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｒ用として用いたＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物よりも得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値が高くなり、したがって緑色有機ＥＬ素子に最良の発光特性を発揮させることができるようになる。
このような混合物を形成材料主成分として用いれば、前記の赤色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｒ用として用いたＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物よりも得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値が高くなり、したがって緑色有機ＥＬ素子に最良の発光特性を発揮させることができるようになる。
青色の有機ＥＬ素子についても、その正孔注入／輸送層１５１Ｂが、前記の３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との混合物によって形成されている。この青色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｂ用の形成材料主成分としては、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）とポリスチレンスルフォン酸（ＰＳＳ）との配合比（重量比）を約１：２０とし、また、その平均粒子径を５０〜６０ｎｍ程度としたものが好適に用いられる。
この混合物にあっても、配合量として０．７重量部が前記の分散媒（水；５０重量部／ＤＥＧ；５０重量部／界面活性剤；０．１重量部）に分散されて液状材料とされ、これが液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内に配置され厚さ５０ｎｍ程度に成膜されることにより、正孔注入／輸送層１５１Ｂとなる。
このような混合物を形成材料主成分として用いれば、前記の緑色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｇ用として用いたＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物よりも得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値が低くなり、したがって青色有機ＥＬ素子に最良の発光特性を発揮させることができるようになる。
このような混合物を形成材料主成分として用いれば、前記の緑色有機ＥＬ素子の正孔注入／輸送層１５１Ｇ用として用いたＰＥＤＯＴとＰＳＳとの混合物よりも得られる膜（正孔注入／輸送層）の抵抗値が低くなり、したがって青色有機ＥＬ素子に最良の発光特性を発揮させることができるようになる。
赤色の有機ＥＬ素子における発光層１５０Ｒは、その形成材料として、以下の化合物１として示すＣＮ−ＰＰＶが好適に用いられる。この化合物１は、例えばシクロヘキシルベンゼン（ＣＨＢ）とイソプロピルビフェニル（ＩＰＢＰ）とを１：１で混合した溶媒に対して、約０．９重量％となるように配合され溶解されることにより、発光層１５０Ｒ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が後述するように液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内の前記正孔注入／輸送層１５１Ｒ上に配置され、厚さ８０ｎｍ程度に成膜されることにより、発光層１５０Ｒが形成されている。なお、前記ＣＮ−ＰＰＶを用いた液状材料は、正孔注入／輸送層１５１Ｒとして前述した二種類のもののいずれに対しても用いられ、得られたＣＮ−ＰＰＶからなる膜（発光層１５０Ｒ）は最良の発光特性を発揮するものとなっている。
緑色の有機ＥＬ素子における発光層１５０Ｇは、その形成材料として、以下の化合物２として示すＦ８ＢＴと化合物３として示すＴＦＢとを、１：１に混合したものが好適に用いられる。これら化合物２と化合物３とからなる混合物は、前記のＣＨＢとＩＰＢＰとを１：１で混合した溶媒に対して、約０．８重量％となるように配合され溶解されることにより、発光層１５０Ｇ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が後述するように液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内の前記正孔注入／輸送層１５１Ｇ上に配置され、厚さ８０ｎｍ程度に成膜されることにより、発光層１５０Ｇが形成されている。なお、前記の混合物を用いた液状材料は、正孔注入／輸送層１５１Ｇとして前述した二種類のもののいずれに対しても用いられ、得られた膜（発光層１５０Ｇ）は最良の発光特性を発揮するものとなっている。
青色の有機ＥＬ素子における発光層１５０Ｂは、その形成材料として、以下の化合物４として示すＦ８（ポリジオクチルフルオレン）が好適に用いられる。この化合物４も、前記のＣＨＢとＩＰＢＰとを１：１で混合した溶媒に対して、約０．８重量％となるように配合され溶解されることにより、発光層１５０Ｂ形成用の液状材料とされる。そして、この液状材料が後述するように液滴吐出法で前記開口部１１２ｃ内の前記正孔注入／輸送層１５１Ｂ上に配置され、厚さ７０ｎｍ程度に成膜されることにより、発光層１５０Ｂが形成されている。このＦ８を用いた液状材料は、前記正孔注入／輸送層１５１Ｂに対しても用いられ、得られた膜（発光層１５０Ｂ）は最良の発光特性を発揮するものとなっている。
また、前記３種類の有機ＥＬ素子のうち、赤色の発光をなす有機ＥＬ素子と緑色の発光をなす有機ＥＬ素子とは、前述したようにその機能層（発光部１１０）が、前記正孔注入／輸送層１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ）と発光層１５０（１５０Ｒ、１５０Ｇ）とからのみで形成されている。これに対して青色の発光をなす有機ＥＬ素子は、その機能層（発光部１１０）が、正孔注入／輸送層１５１Ｂおよび発光層１５０Ｂに、電子注入／輸送層１５２Ｂを加えて形成されている。
この電子注入／輸送層１５２Ｂは、本例では有機金属化合物、特にこの有機金属化合物中の金属の仕事関数が３．０ｅＶ以下であるものが好ましく、具体的には以下の化合物５として示すＬｉキノリロールからなっている。有機金属化合物は、一般に有機溶剤によって溶解し、液状材料となる。したがって、このような液状材料を例えば液滴吐出法で吐出し、厚さ０．５ｎｍ程度に成膜することにより、電子注入／輸送層１５２Ｂが得られる。なお、この電子注入／輸送層１５２Ｂは前記発光層１５０Ｂ上に形成されることから、この発光層１５０Ｂを再溶解させないよう、Ｌｉキノリロールを溶解させる溶剤としては極性溶剤が用いられる。具体的には、ジエチレングリコールモノメチルエーテルと１，３−ジメチルイミダゾリジノンとを１：１で混合してなる混合溶媒が好適に用いられ、この混合溶媒に対してＬｉキノリロールが約０．０５重量％配合されることにより、液状材料が形成される。
なお、電子注入／輸送層１５２Ｂの形成材料としては、前記Ｌｉキノリロール以外にも種々の有機金属が使用可能であり、例えば以下の化合物６として示すヘキサフルオロアセチルアセトナートリチウムも好適に用いられる。
このような電子注入／輸送層１５２Ｂを備えることによって青色の発光をなす有機ＥＬ素子は、対向電極（陰極）１２から注入された電子が電子注入／輸送層１５２Ｂを介して良好に発光層１５０Ｂに注入され、正孔と再結合することから、より良好に発光をなすようになっている。
このような電子注入／輸送層１５２Ｂを備えることによって青色の発光をなす有機ＥＬ素子は、対向電極（陰極）１２から注入された電子が電子注入／輸送層１５２Ｂを介して良好に発光層１５０Ｂに注入され、正孔と再結合することから、より良好に発光をなすようになっている。
なお、前記３種類の有機ＥＬ素子にあっては、それぞれその機能層（発光部１１０）を形成する構成要素、すなわち正孔注入／輸送層や電子注入／輸送層が互いに異なる材料によって形成されるようにしたが、本発明においては、同じ色をなす有機ＥＬ素子間にあっても、その機能層の構成要素を適宜に異ならせるようにしてもよい。すなわち、同一の材料からなる発光層１５０を有した有機ＥＬ素子間に関しても、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なることがある。そのような場合に、同じ色をなす有機ＥＬ素子間でそれぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好なものとすることができる。
これら３種類の有機ＥＬ素子における各発光部１１０（機能層）上には、対向電極（陰極）１２がＥＬ素子部１１の全面に形成されている。この対向電極（陰極）１２は、画素電極１１１と対になって発光部１１０に電流を流すよう機能するもので、ＣａとＡｌとの積層膜（Ｃａ／Ａｌ）によって形成されている。ここで、Ｃａは例えば２０ｎｍ程度の厚さに形成され、Ａｌは２００ｎｍ程度の厚さに形成されている。
なお、対向電極（陰極）１２についても、その構成を有機ＥＬ素子毎に異ならせるようにしてもよい。例えば、赤色の発光をなす有機ＥＬ素子、および緑色の発光をなす有機ＥＬ素子について、前記積層膜におけるＣａに代えて、以下の化合物７として示すカルシウムアセチルアセトナートを成膜してもよい。このカルシウムアセチルアセトナートは有機溶媒に溶解することから、これを液状材料に調整して液滴吐出法で所定位置に吐出し、成膜することができる。
なお、対向電極（陰極）１２についても、その構成を有機ＥＬ素子毎に異ならせるようにしてもよい。例えば、赤色の発光をなす有機ＥＬ素子、および緑色の発光をなす有機ＥＬ素子について、前記積層膜におけるＣａに代えて、以下の化合物７として示すカルシウムアセチルアセトナートを成膜してもよい。このカルシウムアセチルアセトナートは有機溶媒に溶解することから、これを液状材料に調整して液滴吐出法で所定位置に吐出し、成膜することができる。
なお、このような対向電極（陰極）１２上にＳｉＯ、ＳｉＯ２ 、ＳｉＮ等からなる酸化防止用の保護層１５５を設けても良い。
そして、このように形成した有機ＥＬ素子上に封止基板６０４が配置され、さらに図２（ｂ）に示したように封止基板６０４が封止樹脂６０３によって接着されたことにより、有機ＥＬ装置１が構成されている。
そして、このように形成した有機ＥＬ素子上に封止基板６０４が配置され、さらに図２（ｂ）に示したように封止基板６０４が封止樹脂６０３によって接着されたことにより、有機ＥＬ装置１が構成されている。
次に、このような構成の有機ＥＬ装置１の製造方法に基づき、本発明の有機ＥＬ装置の製造方法を説明する。
前記構成の有機ＥＬ装置１を製造するには、まず、従来と同様にして図４に示すように基板２上にＴＦＴ素子（第２の薄膜トランジスタ１２３）や各種配線等を形成し、さらに層間絶縁膜や平坦化膜を形成する。
次に、この基板２上に蒸着法等によってＩＴＯを成膜し、さらにパターニングすることによって画素電極１１１を形成する。
続いて、前記画素電極１１１の周囲を囲むようにして基板２上にＳｉＯ２からなる無機バンク１１２ａを形成する。さらに、図５に示すようにこの無機バンク１１２ａ上に樹脂からなる有機バンク１１２ｂを形成し、これにより画素電極１１１上に開口部１１２ｃを形成する。なお、前記有機バンク１１２ｂに用いられる材料としては、ポリイミド、アクリル樹脂などが挙げられる。これらの材料としては、予めフッ素元素を含有したものを用いてもよい。
前記構成の有機ＥＬ装置１を製造するには、まず、従来と同様にして図４に示すように基板２上にＴＦＴ素子（第２の薄膜トランジスタ１２３）や各種配線等を形成し、さらに層間絶縁膜や平坦化膜を形成する。
次に、この基板２上に蒸着法等によってＩＴＯを成膜し、さらにパターニングすることによって画素電極１１１を形成する。
続いて、前記画素電極１１１の周囲を囲むようにして基板２上にＳｉＯ２からなる無機バンク１１２ａを形成する。さらに、図５に示すようにこの無機バンク１１２ａ上に樹脂からなる有機バンク１１２ｂを形成し、これにより画素電極１１１上に開口部１１２ｃを形成する。なお、前記有機バンク１１２ｂに用いられる材料としては、ポリイミド、アクリル樹脂などが挙げられる。これらの材料としては、予めフッ素元素を含有したものを用いてもよい。
次いで、無機バンク１１２ａ、有機バンク１１２ｂで囲まれた開口部１１２ｃに対して酸素プラズマ-ＣＦ４プラズマの連続処理を行うことにより、基板２上の濡れ性を制御する。
次いで、インクジェット法等の液滴吐出法によって正孔注入／輸送層の形成材料を含有する液状材料を前記開口部１１２ｃ内に選択的に配し、正孔注入／輸送層１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）を形成する。
次いで、インクジェット法等の液滴吐出法によって正孔注入／輸送層の形成材料を含有する液状材料を前記開口部１１２ｃ内に選択的に配し、正孔注入／輸送層１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）を形成する。
ここで、液滴吐出法による液滴吐出を行う液滴吐出装置としては、図６（ａ）に示すような液滴吐出ヘッド３１０を備えて構成されたものが好適に用いられる。液滴吐出ヘッド３１０は、例えばステンレス製のノズルプレート３１２と振動板３１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）３１４を介して接合したものである。ノズルプレート３１２と振動板３１３との間には、仕切部材３１４によって複数の空間３１５と液溜まり３１６とが形成されている。各空間３１５と液溜まり３１６の内部は液状材料で満たされており、各空間３１５と液溜まり３１６とは供給口３１７を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１２には、空間３１５から液状材料を噴射するためのノズル孔３１８が一列に配列された状態で複数形成されている。一方、振動板３１３には、液溜まり３１６に液状材料を供給するための孔３１９が形成されている。
また、振動板３１３の空間３１５に対向する面と反対側の面上には、図６（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）３２０が接合されている。この圧電素子３２０は、一対の電極３２１の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子３２０が接合されている振動板３１３は、圧電素子３２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３１５の容積が増大するようになっている。したがって、空間３１５内に増大した容積分に相当する液状材料が、液溜まり３１６から供給口３１７を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３２０への通電を解除すると、圧電素子３２０と振動板３１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間３１５も元の容積に戻ることから、空間３１５内部の液状材料の圧力が上昇し、ノズル孔３１８から基板に向けて液状材料の液滴３２２が吐出される。
なお、液滴吐出ヘッド３１０の構造としては、前記の圧電素子３２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の、公知の方式のものを採用してもよい。
なお、液滴吐出ヘッド３１０の構造としては、前記の圧電素子３２０を用いたピエゾジェットタイプ以外の、公知の方式のものを採用してもよい。
このような液滴吐出ヘッド３１０による正孔注入／輸送層用の液状材料の吐出にあたっては、各色の有機ＥＬ素子毎に、前述した専用の材料（各色に対応した材料）を吐出する。そして、それぞれの材料毎に乾燥処理、焼成処理を行うことにより、図７に示すように前記画素電極１１１上に正孔注入／輸送層１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）を形成する。ここで、正孔注入／輸送層１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂの形成にあたっては、赤、緑、青の各色毎に作り分ける必要があるが、前記の液滴吐出法によれば、各正孔注入／輸送層の形成材料（液状材料）をそれぞれ所望位置に打ち分けるだけで、容易に各正孔注入／輸送層を形成することができる。
次いで、図８に示すように前記開口部１１２ｃ内の正孔注入／輸送層１５１上に発光層１５０（１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ）を形成する。これら発光層１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの形成にも、前記の液滴吐出ヘッド３１０による液滴吐出法（インクジェット法）が好適に採用される。すなわち、これら発光層１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの形成にあたっても、各色の有機ＥＬ素子毎に、前述した専用の材料（各色に対応した材料）を吐出する。そして、それぞれの材料毎に乾燥処理、焼成処理を行うことにより、図８に示すように正孔注入／輸送層１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）上に発光層１５０（１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ）を形成する。このとき、これら発光層１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂの形成でも赤、緑、青の各色毎に作り分ける必要があるが、前記液滴吐出法を採用することにより、各発光層の形成材料（液状材料）をそれぞれ所望位置に打ち分けるだけで、容易に発光層を形成することができる。
次いで、図９に示すように青色の発光をなす有機ＥＬ素子となる開口部１１２ｃ内のみに、電子注入／輸送層１５２Ｂを選択的に形成する。この電子注入／輸送層１５２Ｂの形成にも、前記の液滴吐出ヘッド３１０による液滴吐出法（インクジェット法）が好適に採用される。この電子注入／輸送層１５２Ｂの形成にあたっても、発光層１５０Ｂを形成した開口部１１２ｃ内に前述した専用の材料を選択的に吐出して配置し、さらに乾燥・焼成を行う必要があるが、前記液滴吐出法を採用することで選択的配置が容易になり、したがって電子注入／輸送層１５２Ｂの形成が容易になる。なお、この電子注入／輸送層１５２Ｂについては、必ずしもこれを形成する必要はなく、赤色や緑色の有機ＥＬ素子と同様に、電子注入／輸送層を省略して発光部（機能層）１１０を構成するようにしてもよい。
このようにして各色毎にその発光部（機能層）１１０を形成したら、従来と同様にして蒸着法等により発光部１１０および有機バンク１１２ｂを覆った状態にＣａ（カルシウム）を厚さ２０ｎｍ程度に成膜し、さらにこの上にＡｌ（アルミニウム）を厚さ２００ｎｍ程度に成膜することにより、図１０に示すようにＣａ／Ａｌの積層構造からなる対向電極（陰極）１２を形成する。そして、これにより画素電極（陽極）１１１と発光部（機能層）１１０と対向電極（陰極）１２とからなる有機ＥＬ素子が多数形成される。
なお、青色の発光をなす有機ＥＬ素子については、特に前述したように電子注入／輸送層１５２Ｂの形成を省略して発光部（機能層）１１０を構成した場合に、その対向電極１２の形成にあたっては、ＬｉＦを含む積層構造とするのが好ましい。具体的には、マスク等を用いて蒸着法等によりＬｉＦを厚さ４ｎｍ程度に選択的に成膜し、続いてＣａを１０ｎｍ程度に成膜し、その後、他の色の有機ＥＬ素子部分と共にＡｌを２０ｎｍ程度に成膜することにより、ＬｉＦ／Ｃａ／Ａｌの積層構造からなる対向電極（陰極）１２を形成する。
また、前述したように特に赤色の発光をなす有機ＥＬ素子、および緑色の発光をなす有機ＥＬ素子については、前記のＣａ／Ａｌの積層構造におけるＣａに代えて、前記の化合物７として示したカルシウムアセチルアセトナートを含有する液状材料を前記液滴吐出法によって成膜し、さらにこの上にＡｌを成膜することにより、対向電極１２を形成するようにしてもよい。
このようにして対向電極（陰極）１２を形成した後、この対向電極１２上に保護層１５５、封止樹脂６０３を形成し、さらに封止基板６０４を貼設することにより、図２に示した有機ＥＬ装置１を得る。
このようにして得られた有機ＥＬ装置にあっては、発光する色毎に発光部（機能層）１１０の発光層以外の構成を異ならせているので、発光層１５０（１５Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ）の形成材料毎にそれぞれ最良の発光特性を発揮させる機能層構成とすることによって各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることができ、これにより表示特性の向上を図って高精細、高輝度等の優れた表示を可能にすることができる。
なお、前記製造方法では、赤、緑、青の各色の発光をなす３種類の有機ＥＬ素子間について、その発光層以外の発光部（機能層）１１０の構成要素を互いに異なるようにしたが、本発明においては、前述したように同じ色をなす有機ＥＬ素子間にあっても、その機能層の構成要素を適宜に異ならせるようにしてもよい。
このようにすれば、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なる場合に、それぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることができ、これによって表示特性の向上を図ることができる。
また、このように同じ色をなす有機ＥＬ素子間において、その機能層の構成要素を適宜に異ならせても表示特性を向上することができることから、本発明の有機ＥＬ装置としては、フルカラー表示をなすことなく、例えばモノカラーの有機ＥＬ装置にも適用可能である。
このようにすれば、例えばこれら有機ＥＬ素子が有機ＥＬ装置中に設けられる位置によって求められる発光特性が異なる場合に、それぞれ求められる発光特性に応じた機能層構成とすることにより、各有機ＥＬ素子の発光特性をより良好にすることができ、これによって表示特性の向上を図ることができる。
また、このように同じ色をなす有機ＥＬ素子間において、その機能層の構成要素を適宜に異ならせても表示特性を向上することができることから、本発明の有機ＥＬ装置としては、フルカラー表示をなすことなく、例えばモノカラーの有機ＥＬ装置にも適用可能である。
次に、このような構成からなる有機ＥＬ装置１を備えた電子機器の具体例について説明する。
図１１は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１１において、符号６００は携帯電話本体を示し、符号６０１は前記の有機ＥＬ装置１を用いた表示部を示している。
この電子機器にあっては、前記の表示特性の向上が図られた有機ＥＬ装置１を表示部として備えているので、表示部の表示特性が十分良好なものとなる。
なお、本発明の有機ＥＬ装置は、例えばワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置や、腕時計型電子機器など、各種の電子機器における表示部として好適に用いることができる。
図１１は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１１において、符号６００は携帯電話本体を示し、符号６０１は前記の有機ＥＬ装置１を用いた表示部を示している。
この電子機器にあっては、前記の表示特性の向上が図られた有機ＥＬ装置１を表示部として備えているので、表示部の表示特性が十分良好なものとなる。
なお、本発明の有機ＥＬ装置は、例えばワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置や、腕時計型電子機器など、各種の電子機器における表示部として好適に用いることができる。
１…ディスプレイ（電気光学装置）、１２…対向電極（陰極［電極］）、
１１０…発光部（機能層）、１１１…画素電極（陽極［電極］）、
１５０（１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ）…発光層、
１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）…正孔注入／輸送層、
１５２Ｂ…電子注入／輸送層、 ６００…携帯電話本体（電子機器）
１１０…発光部（機能層）、１１１…画素電極（陽極［電極］）、
１５０（１５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ）…発光層、
１５１（１５１Ｒ、１５１Ｇ、１５１Ｂ）…正孔注入／輸送層、
１５２Ｂ…電子注入／輸送層、 ６００…携帯電話本体（電子機器）
Claims (7)
- 一対の電極とこれら電極間に設けられた少なくとも発光層及び正孔注入／輸送層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えてなる有機ＥＬ装置において、
前記有機ＥＬ素子のうち一の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料と他の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料とがいずれも３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合物であり、これら一の有機ＥＬ素子と他の有機ＥＬ素子とでは、その形成材料となる前記混合物の平均粒子径が異なることを特徴とする有機ＥＬ装置。 - 前記有機ＥＬ素子のうちの一の有機ＥＬ素子の発光層と、他の有機ＥＬ素子の発光層とは、互いに発光する色が異なることを特徴とする請求項１記載の有機ＥＬ装置。
- 前記混合物の平均粒子径が、２０〜６０ｎｍの範囲で異なることを特徴とする請求項１又は２記載の有機ＥＬ装置。
- 赤色の発光をなす有機ＥＬ素子と緑色の発光をなす有機ＥＬ素子と青色の発光をなす有機ＥＬ素子とを備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置。
- 一対の電極とこれら電極間に設けられた少なくとも発光層及び正孔注入／輸送層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えてなる有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記有機ＥＬ素子のうち一の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料と前記他の有機ＥＬ素子における正孔注入／輸送層の形成材料とがいずれも３，４−ポリエチレンジオキシチオフェンとポリスチレンスルフォン酸との混合物で形成されてなり、これら一の有機ＥＬ素子と他の有機ＥＬ素子とでは、前記混合物の平均粒子径が異なるように形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。 - 前記機能層のうちの少なくとも一層を、その形成材料を含有する液状体を液滴吐出法によって配することで形成することを特徴とする請求項５記載の有機ＥＬ装置の製造方法。
- 請求項１〜４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置、あるいは請求項５又は６に記載の製造方法によって得られた有機ＥＬ装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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