CN102189061B - 液滴排出装置 - Google Patents

液滴排出装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102189061B
CN102189061B CN201110048699.5A CN201110048699A CN102189061B CN 102189061 B CN102189061 B CN 102189061B CN 201110048699 A CN201110048699 A CN 201110048699A CN 102189061 B CN102189061 B CN 102189061B
Authority
CN
China
Prior art keywords
inspection
feed
discharge
workpiece
region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110048699.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102189061A (zh
Inventor
小岛健嗣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kateeva Inc
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN102189061A publication Critical patent/CN102189061A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102189061B publication Critical patent/CN102189061B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/201Filters in the form of arrays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明提供一种液体排出装置,其具有描绘区域和两个检查区域的液滴排出装置,特征在于,具有:设置工件的一对工件台;配置在所述一对工件台间的检查台;对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的一对图像识别机构;和台移动机构,该台移动机构使所述一对工件台的一方的所述工件台在所述描绘区域以及一方的所述供料卸料区域间自由移动,同时使另一方的所述工件台在所述描绘区域以及另一方的所述供料卸料区域间自由移动,且使所述检查台在所述一对检查区域间移动。

Description

液滴排出装置
技术领域
本发明涉及一种具有一对工件台并交替对工件实施描绘的液滴排出装置。
背景技术
作为这种液滴排出装置,已知一种液滴排出装置,具有:固定地配置的一对工件台;搭载行式的功能液滴排出头,并使功能液滴排出头在一对工件台间移动的头移动机构;固定地配置在一对工件台间的检查片材;和对向检查片材的附着结果进行图像识别的检查照相机单元,通过检查照相机单元对在检查片材上排出、附着的液滴进行拍摄从而进行排出检查(参照专利文献1)。
在该液滴排出装置中,检查片材在下侧与跨过一对工件台的功能液滴排出头的移动轨迹面对,若从功能液滴排出头进行检查排出,则检查片材下降,位于比检查片材附近的工件台低的位置上的检查照相机移动到检查片材的拍摄位置并开始拍摄。拍摄结束时,检查照相机退避,检查片材上升并回到排出检查位置。即,排出检查装置,尤其是检查照相机为不会干涉功能液滴排出头的描绘工作的构造。
专利文献1:日本特开2008-225348号公报
但是,在这样的液滴排出装置中,由于能够同时进行向工件的描绘和工件的供料卸料,因此,虽然能够缩短工件处理的循环时间,但是需要使功能液滴排出头沿水平方向移动的头移动机构和使检查片材与检查照相机单元升降的升降机构,存在装置的构造和控制复杂化的问题。另外,由于头移动机构的移动距离极端地变长,不能高精度地扫描功能液滴排出头,存在有损描绘品质的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种不会损害描绘品质且通过简单的构造能够缩短工件处理的循环时间的液滴排出装置。
本发明的液滴排出装置,一种液滴排出装置,其具有边使工件沿移动方向移动边驱动功能液滴排出头而对所述工件实行描绘工作的描绘区域,其特征在于:具有:第一检查区域及第二检查区域,其在所述移动方向夹着所述描绘区域而设在两侧,且实施基于图像识别的所述功能液滴排出头的排出检查;第一供料卸料区域及第二供料卸料区域,其在所述移动方向夹着所述描绘区域、所述第一检查区域及所述第二检查区域而设在两侧,且实施所述工件的供料卸料,并具备:设置所述工件的第一工件台及第二工件台;配置在所述第一工件台和第二工件台之间,接受来自所述功能液滴排出头的检查排出的检查台;配置在所述第一检查区域,对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的第一图像识别部;配置在所述第二检查区域,对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的第二图像识别部;和台移动机构,其在使所述第一工件台在所述描绘区域以及所述第一供料卸料区域之间自由移动时,使所述检查台在所述第二检查区域移动;在使所述第二工件台在所述描绘区域以及所述第二供料卸料区域之间自由移动时,使所述检查台在所述第一检查区域移动。
另外,所述台移动机构使所述第一工件台、第二工件台以及所述检查台在共同的移动轴上移动。
另外,优选地,还具有控制所述功能液滴排出头、所述第一图像识别部、所述第二图像识别部以及所述台移动机构的控制机构,所述控制机构,在与使所述第一工件台从所述第一供料卸料区域移动到所述描绘区域而进行的第一描绘工作相配合地,使所述检查台移动到所述描绘区域并进行第一检查排出后,使所述检查台移动到所述第一检查区域,并且使所述第一工件台移动到所述第一供料卸料区域,在与使所述第二工件台从所述第二供料卸料区域移动到所述描绘区域而进行的第二描绘工作相配合地,使所述检查台移动到所述描绘区域并进行第二检查排出后,使所述检查台移动到所述第二检查区域,并且使所述第二工件台移动到所述第二供料卸料区域,在实施所述第二描绘工作期间,实施基于所述第二图像识别部对所述第二检查排出的结果进行的第一检查,在实施所述第一描绘工作期间,实施基于所述第一图像识别部对所述第二检查排出的结果进行的第二检查。
另外,优选地,所述控制机构,在所述描绘区域,使所述第一工件台在所述移动方向多次往复移动而实施所述第一描绘工作,使所述第二工件台在所述移动方向多次往复移动而实施所述第二描绘工作,与所述第一描绘工作中的往复移动的最终返回移作同步地,使所述检查台从所述第二检查区域移动到所述第一检查区域,且与该移动同步地实施所述第一检查排出,与所述第二描绘工作中的往复移动的最终返回移动同步地,使所述检查台从所述第一检查区域移动到所述第二检查区域,且与该移动同步地实施所述第二检查排出。
另外,优选地,所述控制机构使所述第一检查在所述第二描绘工作结束前结束,使所述第二检查在所述第一描绘工作结束前结束。
另外,优选地,还具有:配置在所述第一供料卸料区域,进行所述工件的供料卸料的第一供料卸料机构;和配置在所述第二供料卸料区域,进行所述工件的供料卸料的第二供料卸料机构,所述控制机构,控制所述第一供料卸料机构,使其相对于移动到所述第一供料卸料区域的所述第一工件台实施所述工件的供料卸料;控制所述第二供料卸料机构,使其相对于移动到所述第二供料卸料区域的所述第二工件台实施所述工件的供料卸料。
另外,优选地,所述第一图像识别部及所述第二图像识别部分别具有:
对所述检查排出结果进行图像识别的识别照相机;和使所述识别照相机沿与所述移动方向正交的方向移动的照相机台。
另外,优选地,设置有多台所述识别照相机。
本发明的液滴排出装置,其在描绘区域边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对工件实施描绘工作,在从描绘区域向工件的移动方向的两外侧分离的两个检查区域,交替地实施基于图像识别的功能液滴排出头的排出检查,并且在从各检查区域向移动方向的外侧分离的两个供料卸料区域,交替地实施工件的供料卸料,该液滴排出装置的特征在于:具有:设置工件的一对工件台;配置在一对工件台间,接受来自功能液滴排出头的检查排出的检查台;配置在各检查区域,对向检查台的检查排出结果进行图像识别的一对图像识别机构;和台移动机构,其使一对工件台的一方的工件台在描绘区域以及一方的供料卸料区域间自由地移动,并且使另一方的工件台在描绘区域以及另一方的供料卸料区域间自由地移动,并且使检查台在一对检查区域间移动。
根据该构成,通过台移动机构,能够使设置有工件的一对工件台交替面对描绘区域,能够连续高效地进行工件的描绘(工件处理)。另外,在通过一侧的工件台实施描绘期间,只要使检查台在另一侧的工件台侧的检查区域移动,就能够在描绘工作中实施基于图像识别机构的排出检查。即,在对工件进行描绘的过程中,能够进行针对先行的检查排出的排出检查,作为整体,能够谋求工件处理的高效化,能够缩短循环时间。而且,由于为在描绘时使工件侧移动的构造,所以,即使移动行程变长也能够维持高的机械精度,能够配合每次的排出检查维持高的描绘品质。而且,通过一台检查系统的检查台就能够对两个位置进行排出检查,所以,能够使构造简单化。
该情况下,优选地,台移动机构使一对工件台以及检查台在共同的移动轴上移动。
根据该构成,不仅能够使一对工件台,还能够使检查台通过单个的移动轴单独移动,因此,能够使台移动系统的构造简单化。此外,为了实现构造的简单化和高移动精度,作为移动轴优选使用线性马达。
另外,优选地,还具有控制功能液滴排出头、一对图像识别机构以及台移动机构的控制机构,控制机构,使一对工件台在描绘区域和各供料卸料区域之间交替移动,交替实施描绘工作,并且,使检查台在所一对检查区域之间交替移动,交替地实施与描绘工作并行的检查排出和在实施接下来的描绘工作期间进行的检查排出结果的排出检查。
根据该构成,与描绘工作并行地进行检查排出,所以,能够抑制检查排出所花费的时间的损失,并且,能够得到与向实际的工件进行的排出相适应的检查排出。另外,由于针对检查排出的检查在该描绘工作实施中进行,所以,能够在描绘工作中并行地进行全部的排出检查工作。另外,能够与连续的描绘工作并行地进行连续的排出检查,所以,能够谋求工件处理的高效化。
该情况下,优选地,控制机构,在描绘区域,使各工件台沿移动方向多次往复移动而实施描绘工作,与往复移动的最终返回移动同步地,使检查台从一方的检查区域移动到另一方的检查区域,并且与该移动同步地实施检查排出。
根据该构成,与一方的工件台的最终返回移动同步地,检查台通过描绘区域并接受检查排出,所以,能够在向一方的工件台的描绘工作之后紧接着以及向另一方的工件台的描绘工作的之前进行检查排出。即,向检查台的检查排出不会使连续的描绘工作拖滞,能够谋求工件处理的高效化。
另外,优选地,控制机构使在实施描绘工作期间进行的排出检查在描绘工作结束前结束。
根据该构成,由于能够使向一方的工件台的描绘工作和排出检查同时实施并结束,所以,能够充分地取得排出检查所需要的时间,并能够谋求工件处理的高效化。
另一方面,优选地,还具有配置在各供料卸料区域,进行工件的供料卸料的一对供料卸料机构,控制机构控制一对供料卸料机构,并相对于移动到各供料卸料区域的各工件台实施工件的供料卸料。
根据该构成,在一方的工件台与描绘区域面对而进行描绘工作期间,另一方的工件台能够面对供料卸料区域而实施工件的供料卸料,所以,能够谋求工件处理的高效化。
另外,优选地,各图像识别机构具有:对检查排出结果进行图像识别的识别照相机;和使识别照相机沿与移动方向正交的方向移动的照相机台。
根据该构成,能够通过照相机台边使识别照相机移动边对被排出到检查台的检查排出结果进行图像识别,所以,能够使用视野窄的便宜的识别照相机。
该情况下,优选设置有多台识别照相机。
根据该构成,由于能够通过多台识别照相机对被排出到检查台的检查结果进行图像识别,所以,能够缩短排出检查时间。
附图说明
图1是一个实施方式的液滴排出装置的外观立体图。
图2是液滴排出装置的上表面图。
图3是液滴排出装置的侧视图。
图4是示意地表示滑架单元的俯视图。
图5是功能液滴排出头的表里外观立体图。
图6是表示功能液排出装置的一系列的工作的图。
附图标记的说明
1:液滴排出装置 2:X轴工作台 6:图像识别单元
6a:第一图像识别单元 6b:第二图像识别单元 9:供料卸料单元
9a:第一供料卸料单元 9b:第二供料卸料单元 10:控制装置
11:描绘区域 13:检查区域 13a:第一检查区域 13b:第二检查区域
14:供料卸料区域 14a:第一供料卸料区域 14b:第二供料卸料区域
22:工件台 22a:第一工件台 22b:第二工件台 52:卷筒纸单元
W:工件
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的一个实施方式的液滴排出装置进行说明。该液滴排出装置被组装在平板显示器的生产线中,例如,是使用导入了特殊的墨液或发光性的树脂液的功能液的功能液滴排出头,用于形成(描绘)液晶表示装置的滤色器或成为有机EL装置的各像素的发光要素等的装置。
如图1至图3所示,液滴排出装置1具有:配置在支承于石制平板上的X轴支承基座21上,在成为主扫描方向的X轴方向上延伸,使工件W在X轴方向移动的X轴工作台2(台移动机构);配置在经由多根支柱33以跨过X轴工作台2的方式架设的一对Y轴支承基座31上,在成为副扫描方向的Y轴方向上延伸的Y轴工作台3;和搭载有多个功能液滴排出头44的多个(例如10个)滑架单元4。本发明的液滴排出装置1具有两个(一对)设置工件W的工件台,通过X轴工作台2,使两个工件台在X轴方向上分别移动并交替地进行描绘工作。
另外,液滴排出装置1具有维护装置7(维护机构),该维护装置7具有:从功能液滴排出头44吸引功能液的吸引单元72;和擦拭功能液滴排出头44的喷嘴面NF的擦拭单元73。而且,液滴排出装置1具有:从功能液滴排出头44接受功能液的舍弃排出且对排出的功能液的重量进行测定的重量测定/冲洗单元51;从功能液滴排出头44接受检查排出的卷筒纸单元52(检查台);对卷纸筒单元52的排出结果进行图像识别的一对图像识别单元6(图像识别机构);进行工件W的校准的一对校准单元8;和进行工件W的供给卸载的一对供料卸料单元9(供料卸料机构)。
另外,液滴排出装置1具有:将这些装置收置在温度以及湿度被管理的气氛内的腔室(省略图示);贯穿腔室并对各功能液滴排出头44供给功能液的功能液供给单元(省略图示);和对整个装置进行统一控制的控制装置10。在腔室的侧壁的一部分配置有成为功能液供给单元的主要部分的多个主存储箱单元(省略图示)。
在X轴工作台2以及Y轴工作台3的交叉区域设定有对工件W进行描绘处理的描绘区域11,在沿Y轴方向从描绘区域11离开的Y轴工作台3的移动区域中,设定有配置有吸引单元72以及擦拭单元73的维护区域12。另外,在描绘区域11的X轴方向的两外侧设定有对来自功能液滴排出头44的检查排出结果进行检查的第一检查区域13a以及第二检查区域13b,而且,在X轴方向的两外侧设定有用于对工件W进行供给卸载的第一供料卸料区域14a以及第二供料卸料区域14b。即,液滴排出装置1,在X轴方向上,在设在中心的描绘区域11的两外侧设有一对检查区域13以及供料卸料区域14。
描绘区域11在X轴方向上具有至少两个工件W的量(两个工件台的量)的长度,以多个滑架单元4(多个功能液滴排出头44)所面对的位置为中心,工件W在X轴方向上多次往复移动从而进行描绘处理。第一检查区域13a以及第二检查区域13b在X轴方向上具有至少能够配置卷筒纸单元52以及重量测定/冲洗单元51的宽度,第一图像识别单元6a以及第二图像识别单元6b分别从上方配置,从功能液滴排出头44(滑架单元4)接受了检查排出的卷筒纸单元52移动到第一检查区域13a以及第二检查区域13b,对卷纸筒单元52的排出结果进行图像识别而进行排出检查。第一供料卸料区域14a以及第二供料卸料区域14b在X轴方向上具有至少一个工件W的量(一个工件台的量)的大小,在Y轴方向离开的位置上分别配置有第一供料卸料单元9a以及第二供料卸料单元9b,对移动到该区域的第一工件台22a以及第二工件台22b上的工件W进行供料卸料。即,液滴排出装置1在X轴方向上至少具有与四个工件台的量、卷筒纸单元52、重量测定/冲洗单元51以及功能液排出头44(头单元40)的宽度相同的长度。
X轴工作台2具有在X轴方向上从第一供料卸料区域14a延伸到第二供料卸料区域14b的一对X轴导轨25(实际上由X轴支承基座21的两侧面构成。),具有:搭载在一对X轴导轨25上的第一工件台22a以及第二工件台22b;使第一工件台22a以及第二工件台22b沿X轴导轨25移动的第一台滑块23a以及第二台滑块23b;和使卷筒纸单元52沿X轴导轨25移动的卷筒纸滑块24。第一工件台22a以及第二工件台22b以吸引的方式设置工件W,并且具有能够进行θ旋转以及升降的机构。在本实施方式中,在卷筒纸滑块24上搭载有重量测定/冲洗单元51,重量测定/冲洗单元51与卷筒纸单元52同步移动。
第一台滑块23a通过线性马达的驱动使第一工件台22a在描绘区域11和第一供料卸料区域14a之间移动。另一方面,第二台滑块23b通过线性马达的驱动使第二工件台22b在描绘区域11和第二供料卸料区域14b之间移动。而且,卷筒纸滑块24通过线性马达的驱动使卷筒纸单元52以及重量测定/冲洗单元51在第一检查区域13a和第二检查区域13b之间移动。即,线性马达的定子沿X轴导轨25延伸,线性马达的多个滑块与各台对应,通过该线性马达,构成技术方案中所说的移动轴。这样,第一工件台22a、第二工件台22b以及卷筒纸单元52构成为能够单独移动。
Y轴工作台3跨过X轴工作台2而在Y轴方向上延伸,并具有:设置在横截描绘区域11且延伸到维护区域12的一对Y轴支承基座31上的Y轴导轨(省略图示);以架设的方式搭载在一对X轴导轨25上,且分别吊设有各滑架单元4的多个桥接板32;和经由各桥接板32使多个滑架单元4沿Y轴导轨移动的滑架滑块(省略图示)。滑架滑块构成为能够通过线性马达的驱动单独移动各滑架单元4(还能够使多个滑架单元4一体地移动)。滑架滑块除了使功能液滴排出头44(滑架单元4)在描绘工作中在描绘区域11内沿Y轴方向进行扫描以外,还使其在描绘区域11和维护区域12之间移动。该情况下,线性马达的定子沿Y轴导轨延伸,线性马达的多个滑块与各滑架滑块对应。
如图3以及图4所示,各滑架单元4具有:搭载了12个功能液滴排出头44的头单元40;和以能够进行θ旋转以及自由升降的方式将头单元40支承在Y轴工作台3上的头旋转机构41。在吊设了各滑架单元4的各桥接板32上配置有与各主存储箱单元相连的副存储箱单元(省略图示)。副存储箱单元利用自然水位差能够向各功能液滴排出头44供给功能液。
如图4所示,头单元40中的功能液滴排出头44相对于大致方形的滑架板43,在左右分两组各组装6个。左右1组(2个)的功能液滴排出头44排出同一种类的功能液,上下6组的功能液滴排出头44相互呈阶梯状错位地配置。此外,各组内的同色的两个功能液滴排出头44,其喷嘴列NL在Y轴方向上连续而构成一个部分描绘行。此外,滑架单元4的个数以及搭载在滑架单元4上的功能液滴排出头44的数量是任意的。
如图5所示,功能液滴排出头44是所谓双联喷墨头,其具有:功能液导入部45,其具有双联的连接针45a;与功能液导入部45的侧方相连的双联的头基板46;与头基板46的下方相连的双联的泵部47;和与泵部47相连的喷嘴板48。在喷嘴板48的喷嘴面NF上,两列喷嘴列NL相互平行地列设,各喷嘴列NL由以等间距并列的多个排出喷嘴49构成(参照图5(b))。在头基板46连接有上述的控制装置10,从控制装置10输出的驱动波形施加在各泵部47(的压电元件)上,由此从各排出喷嘴49排出功能液。
如图1以及图2所示,吸引单元72包括固定地配置在与维护区域12相面对的多个滑架单元4的正下方、与多个滑架单元4相同数量的单个吸引单元72a。各单个吸引单元72a具有:罩单元,其具有与12个功能液滴排出头44相对应的12个头罩部;与罩单元相连的吸引机构;和使罩单元升降的升降机构(都省略图示)。单个吸引单元72a使罩单元在保管用/功能液吸引用的紧密接触位置、冲洗用的分离位置和头单元40的更换或罩单元的消耗品更换用的更换位置之间以三个阶段升降。
擦拭单元73具有:送出卷轴,其在吸引单元72的描绘区域11侧附近与吸引单元72同样地被固定地配置,将擦拭片材卷绕成圆筒状;对从送出卷轴送出的擦拭片材进行收卷的收卷卷轴;和将搭挂在两卷轴间的擦拭片材向功能液滴排出头44推压的推压辊(都省略图示)。擦拭单元73边经由推压辊向功能液滴排出头44推压擦拭片材,边使擦拭片材移动,进而使该擦拭片材整体沿X轴方向移动,从而擦拭各滑架单元4的功能液滴排出头44的喷嘴面NF。
如图1至图3所示,重量测定/冲洗单元51在一对工件台22间被配置在卷筒纸单元52的第一供料卸料区域14a侧附近,并通过卷筒纸滑块24X与卷筒纸单元52同步地自由滑动地被支承在轴导轨25上。重量测定/冲洗单元51是一体地同时设置有接受从功能液滴排出头44排出的功能液的冲洗盒和对功能液的重量进行测定的天平单元的部件,在卷筒纸单元52侧配置有冲洗盒。
冲洗盒接受来自功能液滴排出头44的舍弃排出(冲洗),使功能液滴排出头44的功能液排出稳定。另外,天平单元测定从功能液滴排出头44排出的功能液的重量,其具有多个电子天平和承接电子天平的多个承受盘(都省略图示)。此外,可以设置使重量测定/冲洗单元51在X轴方向上移动的移动机构,使其相对于卷筒纸单元52独立地移动。此外,冲洗盒在排出检查的结果为NG的情况等使描绘工作暂时停止的情况下使用,天平单元在头单元40的更换时等使用。此外,在本实施方式中,重量测定/冲洗单元51具有接受来自功能液滴排出头44的功能液的舍弃排出的功能和测定排出的功能液的重量的功能,但是重量测定/冲洗单元51也可以至少具有一种功能。
卷筒纸单元52配置在第一工件台22a以及第二工件台22b之间,通过卷筒纸滑块24相对于X轴导轨25自由滑动地被支承。卷筒纸单元52具有:送出圆筒状的检查片材53的送出机构;收卷检查后的已使用的检查片材的收卷机构(都省略图示);和对从送出机构送出的检查片材53进行吸引载置的吸引台54。卷筒纸单元52在使通过送出机构被送出的检查片材53由吸引台54吸引的状态下,接受来自功能液滴排出头44的检查排出。而且,卷筒纸单元52通过收卷机构对检查后的检查片材进行收卷,同时将新的检查片材53向吸引台54送出。实际上,在接收数次检查排出的检查片材53上没有剩余空白后,检查片材53被收卷机构收卷,并且新的检查片材53被向吸引台54送出。卷筒纸单元52在第一检查区域13a和第二检查区域13b之间移动,在该移动时,在描绘区域11中从功能液滴排出头44接受检查排出,并交替地面对第一检查区域13a以及第二检查区域13b,接受基于图像识别的排出检查。
图像识别单元6具有:配置在第一检查区域13a的第一图像识别单元6a和配置在第二检查区域13b的第二图像识别单元6b。第一图像识别单元6a对移动到第一检查区域13a的卷筒纸单元52(检查片材53)进行图像识别,第二图像识别单元6b对移动到第二检查区域13b的卷筒纸单元52(检查片材53)进行图像识别。第一图像识别单元6a以及第二图像识别单元6b具有同样的构成,具有:从上方面对卷筒纸单元52的多台(例如5台)检查照相机61;支承多台检查照相机61的多个照相机台(省略图示);以跨越X轴工作台2的方式架设的支承照相机台的照相机支撑框架62,该多个照相机台在Y轴方向上自由滑动;和经由多个照相机台使各检查照相机61沿照相机支撑框架62在Y轴方向上移动的照相机移动机构(照相机台省略图示)。
照相机支撑框架62包括配置在X轴工作台2的两侧方的支柱63和被支承在支柱63上并沿Y轴方向延伸的一对照相机引导部64,作为整体形成为门型。图像识别单元6边经由多个照相机台使各检查照相机61在Y轴方向上移动,边对被检查排出于检查片材53的液滴多个多个连续地进行图像识别。检查照相机61设置有多台,所以,能够缩短图像识别时间。被图像识别的检查结果被送到控制装置10,检查墨点缺失和/或飞行弯曲等,并检查功能液滴排出头44的排出性能。
供料卸料单元9具有:从维护区域12侧面对第一供料卸料区域14a的第一供料卸料单元9a和同样从维护区域12侧面对第二供料卸料区域14b的第二供料卸料单元9b。第一供料卸料单元9a对移动到第一供料卸料区域14a的第一工件台22a上的工件W进行供料卸料,第二供料卸料单元9b对移动到第二供料卸料区域14b的第二工件台22b上的工件W进行供料卸料。第一供料卸料单元9a以及第二供料卸料单元9b具有同样的构成,具有:进行工件W的供料卸料工作的机械臂91;和支承机械臂91的机器臂支承基座92。机械臂91与具有升降功能的工件台22协动,并经由形成在腔室内的供料卸料开口(省略图示),在一方的工件W的描绘工作中对另一方的工件W进行供料卸料。此外,在图3中,省略供料卸料单元9的图示。
校准单元8具有:从第一供料卸料单元9a的相反侧面对第一供料卸料区域14a的第一校准单元8a;和同样从第二供料卸料单元9b的相反方向面对第二供料卸料区域14b的第二校准单元8b。第一校准单元8a对被供料到移动到第一供料卸料区域14a的第一工件台22a上的工件W进行校准,第二校准单元8b对被供料到移动到第二供料卸料区域14b的第二工件台22b上的工件W进行校准。第一校准单元8a以及第二校准单元8b具有同样的构成,具有:从上方面对形成在工件W上的校准标记M的两台校准照相机81;支承校准照相机81的两个照相机台(省略图示);和沿X轴工作台2架设,且支承照相机台的照相机支撑框架82。照相机支撑框架82由沿X轴工作台2被配置在与工件台22的长度对应的位置上的一对支柱83和被支承在支柱83上且沿Y轴方向延伸的照相机引导部84构成,作为整体形成为门型。两台校准照相机81以从照相机支撑框架82向工件W侧突出的方式被固定支承在与工件W的校准标记M对应的位置上。
校准单元8对被供料到工件台22且以被吸引的方式设置的工件W的校准标记M进行图像识别,通过控制装置10根据该识别结果的偏移量,分别驱动X轴工作台2、Y轴工作台3以及工件台22并修正X轴方向、Y轴方向以及θ轴方向的各自的偏差。具体来说,在供料卸料区域14中通过工件台22的θ轴方向补正功能以及台滑块23进行了θ轴方向以及X轴方向的修正后,在工件台22移动了的描绘区域11中,通过Y轴工作台3使多个滑架单元4沿Y轴方向移动偏移的量,由此进行修正。此外,在工件台22上配置有用于对被供料的工件W进行预校准的一对位置限制突起(省略图示)。此外,技术方案中的“供料卸料”包括:由上述的供料卸料单元9进行的工件W的送入/送出和在供料卸料区域14(第一供料卸料区域14a以及第二供料卸料区域14b)中由校准单元8进行的工件W的校准。
接下来参照图6对液滴排出装置1的一系列的工件处理工作进行说明。图6示意地表示在图1中从A的方向观察到的第一工件台22a、第二工件台22b以及卷筒纸单元52在X轴方向上的位置关系。此外,配置在卷纸筒单元52的附近的重量测定/冲洗单元51,图示省略。
首先,液滴排出装置1(控制装置10)使位于第一供料卸料区域14a且通过第一供料卸料单元9a以及第一校准单元8a对工件W进行了供料、校准的第一工件台22a移动到描绘区域11的描绘开始位置(该图6(a))。然后,使在描绘开始位置上待机的第一工件台22a在描绘区域11内多次(N次)往复移动,从功能液滴排出头44(滑架单元4)对工件W排出功能液滴,实施描绘工作(该图6(b))。期间,使卷筒纸单元52在第二检查区域13b待机,使第二工件台22b位于第二供料卸料区域14b中,并通过第二供料卸料单元9b以及第二校准单元8b对其他的工件W进行供料、校准。
然后,在第一工件台22a的最终返回移动(第N次的返回移动)结束时,使第一工件台22a接着最终返回移动(第N次的返回移动)从描绘区域11出来并通过第一检查区域13a,使其移动到第一供料卸料区域14a。与该第一工件台22a的最终返回移动(第N次的返回移动)以及向第一供料卸料区域14a的移动同步地,使卷筒纸单元52以追随第一工件台22a的方式从第二检查区域13b通过描绘区域11,并移动到第一检查区域13a(图6(c))。在通过该描绘区域11的过程中(移动中),通过功能液滴排出头44对卷筒纸单元52进行检查排出。该检查排出,由于卷筒纸单元52追随第一工件台22a并通过描绘区域11,而成为与第一工件台22a中的描绘的最终排出连续的排出,没有排出检查所需要的时间损失,并且能够得到与向工件W的排出同样的检查排出,因此,能够进行检查意义高的排出检查。
与图6(c)的第一工件台22a和卷筒纸单元52的移动同步地,使设置有其他新的工件W的第二工件台22b移动到描绘区域11的描绘开始位置(图6(d))。实际上,同时实施图6的(c)以及(d)的移动。而且,使在描绘开始位置待机的第二工件台22b在描绘区域11内多次(N次)往复移动,从功能液滴排出头44(滑架单元4)向工件W排出功能液滴,实施描绘工作(该图6(e))。另一方面,通过第一供料卸料单元9a向移动到第一供料卸料区域14a的第一工件台22a对被描绘处理的工件W进行卸料,并对新工件W进行供料、校准。而且,对于移动到第一检查区域13a的卷纸筒单元52,通过第一图像识别单元6a对通过描绘区域11时接受到的检查排出结果进行排出检查。即,分别并行地在第一供料卸料区域14a中进行供料卸料工作,在第一检查区域13a中进行排出检查,在描绘区域11中进行描绘工作。
接下来,在第二工件台22b的最终返回移动(第N次的返回移动)结束时,使第二工件台22b接着最终返回移动(第N次的返回移动)从描绘区域11出来并通过第二检查区域13b,并使其移动到第二供料卸料区域14b。与该第二工件台22b的最终返回移动(第N次的返回移动)以及向第二供料卸料区域14b的移动同步地,使卷筒纸单元52以追随第二工件台22b的方式从第一检查区域13a通过描绘区域11并移动到第二检查区域13b(图6(f))。在通过该描绘区域11的过程中(移动中),通过功能液滴排出头44向卷筒纸单元52进行检查排出。即,第一检查区域13a中的卷筒纸单元52的排出检查直到第二工件台22b的最终返回移动(第N次的返回移动)结束前结束。换言之,第一检查区域13a中的排出检查,能够花费图6(e)的第二工件台22b中的描绘工作的、仅除了最终返回移动以外的时间。即,由于能够将第二工件台22b中的描绘工作所需要的大致全部时间都用于进行排出检查,因此,能够进行高精度的检查,另外,能够进行复杂的排出检查。另外,由于最初的排出检查在对第三块工件W的描绘工作开始前结束,因此,能够将在工件处理的最初产生的缺陷板控制在最多两块以内。
与图6(f)的第二工件台22b和卷筒纸单元52的移动同步地,使设置有其他新的工件W的第一工件台22a移动到描绘区域11的描绘开始位置(图6(g))。即,第一供料卸料区域14a中的第一工件台22a的供料卸料工作在第二工件台22b中的描绘工作、准确地说在最终返回移动(第N次的返回移动)结束前结束。实际上,图6的(f)以及(g)的移动同时实施。而且,在描绘区域11中,进行对第一工件台22a的描绘工作,在移动到第二供料卸料区域14b的第二工件台22b中对工件W进行供料卸料,在移动到第二检查区域13b的卷筒纸单元52中,使通过描绘区域11时接受的检查排出结果通过第二图像识别单元6b进行排出检查。即,分别并行地在第二供料卸料区域14b中进行供料卸料工作,在第二检查区域13b中进行排出检查,在描绘区域11中进行描绘工作。此外,在本实施方式中,各工件台22在描绘工作开始时一度在描绘区域11的描绘开始位置待机,但各工件台22还可以不在描绘开始位置待机,而接着从供料卸料区域14的移动直接开始描绘区域11中的往复移动工作(描绘工作)。
这样,向第一工件台22a以及第二工件台22b的描绘工作和供料卸料工作交替进行。因此,总是能够对工件W进行描绘工作,能够缩短作为整体的循环时间。另外,在第一工件台22a以及第二工件台22b之间设置有能够独立地移动的单个的卷筒纸单元52,在描绘区域11的两侧设有两个检查区域13(图像识别单元6),由此,能够根据接受描绘处理的工件台22分开使用检查区域13,能够与描绘工作以及供料卸料工作并行进行排出检查。即,能够更有效地实施工件处理,进而能够缩短作为整体的循环时间。

Claims (17)

1.一种液滴排出装置,其具有边使工件沿移动方向移动边驱动功能液滴排出头而对所述工件实行描绘工作的描绘区域,其特征在于:
具有:
第一检查区域及第二检查区域,其在所述移动方向夹着所述描绘区域而设在两侧,且实施基于图像识别的所述功能液滴排出头的排出检查;
第一供料卸料区域及第二供料卸料区域,其在所述移动方向夹着所述描绘区域、所述第一检查区域及所述第二检查区域而设在两侧,且实施所述工件的供料卸料,
并具备:
设置所述工件的第一工件台及第二工件台;
配置在所述第一工件台和第二工件台之间,接受来自所述功能液滴排出头的检查排出的检查台;
配置在所述第一检查区域,对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的第一图像识别部;
配置在所述第二检查区域,对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的第二图像识别部;和
台移动机构,其在使所述第一工件台在所述描绘区域以及所述第一供料卸料区域之间自由移动时,使所述检查台在所述第二检查区域移动;在使所述第二工件台在所述描绘区域以及所述第二供料卸料区域之间自由移动时,使所述检查台在所述第一检查区域移动。
2.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述台移动机构使所述第一工件台、第二工件台以及所述检查台在共同的移动轴上移动。
3.如权利要求1或2所述的液滴排出装置,其特征在于,
还具有控制所述功能液滴排出头、所述第一图像识别部、所述第二图像识别部以及所述台移动机构的控制机构,
所述控制机构,在与使所述第一工件台从所述第一供料卸料区域移动到所述描绘区域而进行的第一描绘工作相配合地,使所述检查台移动到所述描绘区域并进行第一检查排出后,使所述检查台移动到所述第一检查区域,并且使所述第一工件台移动到所述第一供料卸料区域,
在与使所述第二工件台从所述第二供料卸料区域移动到所述描绘区域而进行的第二描绘工作相配合地,使所述检查台移动到所述描绘区域并进行第二检查排出后,使所述检查台移动到所述第二检查区域,并且使所述第二工件台移动到所述第二供料卸料区域,
在实施所述第二描绘工作期间,实施基于所述第二图像识别部对所述第二检查排出的结果进行的第一检查,
在实施所述第一描绘工作期间,实施基于所述第一图像识别部对所述第二检查排出的结果进行的第二检查。
4.如权利要求3所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述控制机构,在所述描绘区域,使所述第一工件台在所述移动方向多次往复移动而实施所述第一描绘工作,使所述第二工件台在所述移动方向多次往复移动而实施所述第二描绘工作,
与所述第一描绘工作中的往复移动的最终返回移动同步地,使所述检查台从所述第二检查区域移动到所述第一检查区域,且与该移动同步地实施所述第一检查排出,
与所述第二描绘工作中的往复移动的最终返回移动同步地,使所述检查台从所述第一检查区域移动到所述第二检查区域,且与该移动同步地实施所述第二检查排出。
5.如权利要求3所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制机构使所述第一检查在所述第二描绘工作结束前结束,使所述第二检查在所述第一描绘工作结束前结束。
6.如权利要求3所述的液滴排出装置,其特征在于,
还具有:配置在所述第一供料卸料区域,进行所述工件的供料卸料的第一供料卸料机构;和配置在所述第二供料卸料区域,进行所述工件的供料卸料的第二供料卸料机构,
所述控制机构,控制所述第一供料卸料机构,使其相对于移动到所述第一供料卸料区域的所述第一工件台实施所述工件的供料卸料;控制所述第二供料卸料机构,使其相对于移动到所述第二供料卸料区域的所述第二工件台实施所述工件的供料卸料。
7.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述第一图像识别部及所述第二图像识别部分别具有:
对所述检查排出结果进行图像识别的识别照相机;和
使所述识别照相机沿与所述移动方向正交的方向移动的照相机台。
8.如权利要求7所述的液滴排出装置,其特征在于:
设置有多台所述识别照相机。
9.一种液滴排出装置,其在描绘区域边使工件移动边驱动功能液滴排出头而对所述工件实施描绘工作,
在从所述描绘区域向所述工件的移动方向的两外侧分离的两个检查区域,交替地实施基于图像识别的所述功能液滴排出头的排出检查,
并且在从所述各检查区域向所述移动方向的外侧分离的两个供料卸料区域,交替地实施所述工件的供料卸料,该液滴排出装置的特征在于:
具有:
设置所述工件的一对工件台;
配置在所述一对工件台间,接受来自所述功能液滴排出头的检查排出的检查台;
配置在所述各检查区域,对向所述检查台的检查排出结果进行图像识别的一对图像识别机构;和
台移动机构,其使所述一对工件台的一方的所述工件台在所述描绘区域以及一方的所述供料卸料区域间自由地移动,并且使另一方的所述工件台在所述描绘区域以及另一方的所述供料卸料区域间自由地移动,并且使所述检查台在所述一对检查区域间移动。
10.如权利要求9所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述台移动机构使所述一对工件台以及所述检查台在共同的移动轴上移动。
11.如权利要求9或10所述的液滴排出装置,其特征在于,
还具有控制所述功能液滴排出头、所述一对图像识别机构以及所述台移动机构的控制机构,
所述控制机构,使所述一对工件台在所述描绘区域和所述各供料卸料区域之间交替移动,交替实施所述描绘工作,并且,
使所述检查台在所述一对检查区域之间交替移动,交替地实施与所述描绘工作并行的所述检查排出和在实施接下来的所述描绘工作期间进行的所述检查排出结果的所述排出检查。
12.如权利要求11所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述控制机构,在所述描绘区域,使所述各工件台沿所述移动方向多次往复移动而实施所述描绘工作,
与所述往复移动的最终返回移动同步地,使所述检查台从一方的所述检查区域移动到另一方的所述检查区域,并且与该移动同步地实施所述检查排出。
13.如权利要求11所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制机构使在实施所述描绘工作期间进行的所述排出检查在该描绘工作结束前结束。
14.如权利要求11所述的液滴排出装置,其特征在于,
还具有配置在所述各供料卸料区域,进行所述工件的供料卸料的一对供料卸料机构,
所述控制机构控制所述一对供料卸料机构,
并相对于移动到所述各供料卸料区域的所述各工件台实施所述工件的供料卸料。
15.如权利要求9所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述各图像识别机构具有:
对所述检查排出结果进行图像识别的识别照相机;和
使所述识别照相机沿与所述移动方向正交的方向移动的照相机台。
16.如权利要求15所述的液滴排出装置,其特征在于,设置有多台所述识别照相机。
17.一种液滴排出装置,其特征在于,
在描绘区域通过液滴排出头对工件实施描绘,
在两个检查区域,实施所述液滴排出头的排出检查,
在两个供料卸料区域,实施所述工件的供料卸料,
该液滴排出装置具有:
设置所述工件的二个工件台;
配置在所述二个工件台间,设置接受来自所述液滴排出头的检查排出的检查介质的检查台;
配置在所述各检查区域,对向所述检查介质的检查排出结果进行图像识别的图像识别机构;和
台移动机构,其使所述二个工件台的一方的所述工件台在所述描绘区域与一方的所述供料卸料区域间移动,并且使另一方的所述工件台在所述描绘区域与另一方的所述供料卸料区域间移动,并且使所述检查台在所述二个检查区域间移动。
CN201110048699.5A 2010-03-01 2011-03-01 液滴排出装置 Active CN102189061B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010043796A JP2011177643A (ja) 2010-03-01 2010-03-01 液滴吐出装置
JP043796/2010 2010-03-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102189061A CN102189061A (zh) 2011-09-21
CN102189061B true CN102189061B (zh) 2015-02-11

Family

ID=44504566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110048699.5A Active CN102189061B (zh) 2010-03-01 2011-03-01 液滴排出装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8573075B2 (zh)
JP (1) JP2011177643A (zh)
CN (1) CN102189061B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011177643A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置
JP2011177641A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置
KR102013320B1 (ko) * 2012-12-28 2019-08-23 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 패널 제조장치
EP3156241B1 (en) * 2015-10-12 2018-10-10 Agfa Nv A moving gantry flatbed table inkjet printer
JP7257760B2 (ja) * 2018-09-12 2023-04-14 東京エレクトロン株式会社 描画装置および描画方法
JP2021138050A (ja) * 2020-03-05 2021-09-16 東京エレクトロン株式会社 描画装置および描画方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1411985A (zh) * 2001-10-19 2003-04-23 精工爱普生株式会社 头单元装配装置及方法和用其制造诸装置的制造方法
CN101300084A (zh) * 2005-10-31 2008-11-05 武藏工业株式会社 液体材料涂布装置
CN101583496A (zh) * 2007-01-22 2009-11-18 夏普株式会社 液滴喷头检查装置及液滴喷射装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005254799A (ja) * 2004-02-13 2005-09-22 Seiko Epson Corp 機能液滴吐出ヘッドのワイピング方法、ワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP4442620B2 (ja) * 2007-02-26 2010-03-31 セイコーエプソン株式会社 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法
JP2008221051A (ja) * 2007-03-08 2008-09-25 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2008225348A (ja) 2007-03-15 2008-09-25 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置の検査測定装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2009006212A (ja) * 2007-06-26 2009-01-15 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置
JP4497181B2 (ja) * 2007-07-23 2010-07-07 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法、及び液滴吐出装置
JP5152058B2 (ja) * 2009-03-19 2013-02-27 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出ヘッドの検査方法、液滴吐出ヘッドの検査装置及び液滴吐出装置
US8376512B2 (en) * 2009-10-26 2013-02-19 Seiko Epson Corporation Droplet discharge device and method for controlling droplet discharge device
JP5621276B2 (ja) * 2010-03-01 2014-11-12 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置
JP2011177643A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置
JP2011177641A (ja) * 2010-03-01 2011-09-15 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置
JP5621277B2 (ja) * 2010-03-03 2014-11-12 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置
JP5218584B2 (ja) * 2011-03-11 2013-06-26 ブラザー工業株式会社 液滴吐出装置及び液滴吐出検査装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1411985A (zh) * 2001-10-19 2003-04-23 精工爱普生株式会社 头单元装配装置及方法和用其制造诸装置的制造方法
CN101300084A (zh) * 2005-10-31 2008-11-05 武藏工业株式会社 液体材料涂布装置
CN101583496A (zh) * 2007-01-22 2009-11-18 夏普株式会社 液滴喷头检查装置及液滴喷射装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2005-254799A 2005.09.22 *
JP特开2008-221051A 2008.09.25 *
JP特开2008-225348A 2008.09.25 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN102189061A (zh) 2011-09-21
US20110209566A1 (en) 2011-09-01
US8573075B2 (en) 2013-11-05
JP2011177643A (ja) 2011-09-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102189061B (zh) 液滴排出装置
CN101351276B (zh) 液滴涂布装置
US8066367B2 (en) Drop coating apparatus
KR20080113116A (ko) 결함 수복 장치, 결함 수복 방법, 프로그램 및 컴퓨터 판독가능한 기록 매체
US8079662B2 (en) Drop coating apparatus
KR101696251B1 (ko) 액적 토출 장치 및 액적 토출 장치의 제어 방법
US7880873B2 (en) Droplet discharge device
JP2005014216A (ja) ドットずれ検出方法およびドットずれ検出装置
JP2009022915A (ja) 液滴吐出方法、及び液滴吐出装置
JP2007301428A (ja) 液滴塗布装置
CN102189062A (zh) 液滴排出装置
CN102189056A (zh) 液滴排出装置
CN102189057B (zh) 液滴排出装置
JP6243278B2 (ja) 塗布液塗布装置及び方法
JP2009125615A (ja) 液滴吐出装置および液滴吐出装置の描画制御方法
JP5218325B2 (ja) 液滴吐出装置の吐出重量測定方法、及び、液滴吐出装置
JP2011177679A (ja) 液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法
JP4244636B2 (ja) 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
KR101759132B1 (ko) 도포장치 및 도포방법
JP2009136773A (ja) パターン形成装置
KR101160466B1 (ko) 잉크젯 헤드 구동방법
JP2019000780A (ja) インクジェット塗布装置
JP2009274335A (ja) キャリブレーション治具
JP5423917B2 (ja) 液滴吐出装置の吐出重量測定方法、及び、液滴吐出装置
JP2024037137A (ja) インクジェットヘッドユニットおよびそれを含む基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20180625

Address after: California, USA

Patentee after: KATEEVA, Inc.

Address before: Tokyo, Japan

Patentee before: Seiko Epson Corp.

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Droplet discharge device

Effective date of registration: 20210112

Granted publication date: 20150211

Pledgee: Shaoxing Binhai New Area integrated circuit industry equity investment fund partnership (L.P.)

Pledgor: KATEEVA, Inc.

Registration number: Y2021990000035

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20221210

Granted publication date: 20150211

Pledgee: Shaoxing Binhai New Area integrated circuit industry equity investment fund partnership (L.P.)

Pledgor: KATEEVA, Inc.

Registration number: Y2021990000035

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Droplet discharge device

Effective date of registration: 20230625

Granted publication date: 20150211

Pledgee: Xinji Co.,Ltd.

Pledgor: KATEEVA, Inc.

Registration number: Y2023990000311

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right