JP5556661B2 - インクジェット描画装置 - Google Patents
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Description
基材に対してインク滴下処理を行うことによってパターンを形成するための1又は複数のインクジェットヘッドからなるヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを主走査方向又は副走査方向の少なくともいずれかに移動させるヘッドモジュール移動手段と、
前記ヘッドモジュールよりも下方に前記基材を載置して支持する基材支持ステージと、
前記基材支持ステージを第1の基準ベクトル方向に直線移動させる第1の直線移動手段、前記基材支持ステージを前記第1の基準ベクトル方向とは独立した第2の基準ベクトル方向に直線移動させる第2の直線移動手段、及び、前記基材支持ステージを前記第1及び第2の基準ベクトルの法線方向と平行なベクトル方向を軸として回転移動させる回転移動手段とを有する基材支持ステージ移動手段と、
前記基材支持ステージに載置された前記基材の表面を撮像する撮像手段と、を備えたインクジェット描画装置であって、
前記基材上の複数のアライメントマーカを前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記基材支持ステージ移動手段により前記基材支持ステージを移動させて前記基材のアライメントを調整するアライメント調整手段を有し、
前記撮像手段は、前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラと、前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラとを有することを特徴とするインクジェット描画装置。
基材に対してインク滴下処理を行うことによってパターンを形成するための1又は複数のインクジェットヘッドからなるヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを主走査方向又は副走査方向の少なくともいずれかに移動させるヘッドモジュール移動手段と、
前記ヘッドモジュールよりも下方に前記基材を載置して支持する基材支持ステージと、
前記基材支持ステージを第1の基準ベクトル方向に直線移動させる第1の直線移動手段、前記基材支持ステージを前記第1の基準ベクトル方向とは独立した第2の基準ベクトル方向に直線移動させる第2の直線移動手段、及び、前記基材支持ステージを前記第1及び第2の基準ベクトルの法線方向と平行なベクトル方向を軸として回転移動させる回転移動手段とを有する基材支持ステージ移動手段と、
前記基材支持ステージに載置された前記基材の表面を撮像する撮像手段と、を備えたインクジェット描画装置であって、
前記基材を前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記ヘッドモジュールから前記基材上に滴下されるインク滴の着弾位置を確認する着弾位置確認手段を有し、
前記撮像手段は、前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラと、前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラとを有することを特徴とするインクジェット描画装置。
基材に対してインク滴下処理を行うことによってパターンを形成するための1又は複数のインクジェットヘッドからなるヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを主走査方向又は副走査方向の少なくともいずれかに移動させるヘッドモジュール移動手段と、
前記ヘッドモジュールよりも下方に前記基材を載置して支持する基材支持ステージと、
前記基材支持ステージを第1の基準ベクトル方向に直線移動させる第1の直線移動手段、前記基材支持ステージを前記第1の基準ベクトル方向とは独立した第2の基準ベクトル方向に直線移動させる第2の直線移動手段、及び、前記基材支持ステージを前記第1及び第2の基準ベクトルの法線方向と平行なベクトル方向を軸として回転移動させる回転移動手段とを有する基材支持ステージ移動手段と、
前記基材支持ステージに載置された前記基材の表面を撮像する撮像手段と、を備えたインクジェット描画装置であって、
前記基材上の複数のアライメントマーカを前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記基材支持ステージ移動手段により前記基材支持ステージを移動させて前記基材のアライメントを調整するアライメント調整手段と、
前記基材を前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記ヘッドモジュールから前記基材上に滴下されるインク滴の着弾位置を確認する着弾位置確認手段とを有し、
前記撮像手段は、前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラと、前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラとを有することを特徴とするインクジェット描画装置。
前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラは、前記基材上に滴下されるインク滴の着弾位置を確認するための着弾位置確認用カメラであり、
前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラは、前記基材のアライメントを調整するためのアライメント用カメラであることを特徴とする前記3記載のインクジェット描画装置。
前記アライメント用カメラの撮影可能範囲は、主走査方向に沿う撮影可能範囲の長さをCy、副走査方向の前記基材の長さをLx、主走査方向の前記基材の長さをLy、前記アライメントマーカの測定の保証精度をI、目標とする位置ずれの公差精度をMとしたとき、
Cy>2I・Lx/M
(但し、常にM≧Iであり、Cy>Ly>Lxである。)
を満たすように設定されることを特徴とする前記4記載のインクジェット描画装置。
前記着弾位置確認用カメラの撮影可能範囲は、副走査方向の撮影可能範囲の長さをCx、前記ヘッドモジュールの副走査方向の両端の2点のノズル間の幅をHとしたとき、
Cx>H
を満たすように設定されることを特徴とする前記4又は5記載のインクジェット描画装置。
前記基材支持ステージは、カメラ基準位置を計測するための複数のリファレンスマーカを有しており、
前記撮像手段は、前記複数のリファレンスマーカのうちの少なくとも一つを共通に撮影可能に前記各カメラが配置されていることを特徴とする前記1〜6のいずれかに記載のインクジェット描画装置。
前記撮像手段によって前記リファレンスマーカを撮影した結果の位置座標に基づいて、前記撮像手段の各カメラ間の座標を関連付ける演算手段を有することを特徴とする前記7記載のインクジェット描画装置。
前記演算手段は、前記撮像手段によって得られた撮像画像を演算して、各カメラのうちのいずれか1台を基準カメラとして、該基準カメラの座標系に他のカメラの座標を補正することを特徴とする前記8記載のインクジェット描画装置。
2 装置基台
3 ヘッドモジュール
301 ヘッド
302 ノズル
303 ヘッド固定具
304 取付け枠部
305 ヘッド位置微調整機構
4 基材支持ステージ
4a 載置面
4b、4c 側端部
m1〜m3 リファレンスマーカ
5 θ回転機構
6 Y移動機構
7 X移動機構
8 第1のカメラ
CAM1 第1のカメラの視野
9 第2のカメラ
CAM2 第2のカメラの視野
10 第3のカメラ
CAM3 第3のカメラの視野
11 メンテナンスエリア
12 ガントリ
13 スライダ
14 θ回転機構
15 ガントリ
16 ガントリ
200 基材
201、202 アライメントマーカ
Claims (9)
- 基材に対してインク滴下処理を行うことによってパターンを形成するための1又は複数のインクジェットヘッドからなるヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを主走査方向又は副走査方向の少なくともいずれかに移動させるヘッドモジュール移動手段と、
前記ヘッドモジュールよりも下方に前記基材を載置して支持する基材支持ステージと、
前記基材支持ステージを第1の基準ベクトル方向に直線移動させる第1の直線移動手段、前記基材支持ステージを前記第1の基準ベクトル方向とは独立した第2の基準ベクトル方向に直線移動させる第2の直線移動手段、及び、前記基材支持ステージを前記第1及び第2の基準ベクトルの法線方向と平行なベクトル方向を軸として回転移動させる回転移動手段とを有する基材支持ステージ移動手段と、
前記基材支持ステージに載置された前記基材の表面を撮像する撮像手段と、を備えたインクジェット描画装置であって、
前記基材上の複数のアライメントマーカを前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記基材支持ステージ移動手段により前記基材支持ステージを移動させて前記基材のアライメントを調整するアライメント調整手段を有し、
前記撮像手段は、前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラと、前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラとを有することを特徴とするインクジェット描画装置。 - 基材に対してインク滴下処理を行うことによってパターンを形成するための1又は複数のインクジェットヘッドからなるヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを主走査方向又は副走査方向の少なくともいずれかに移動させるヘッドモジュール移動手段と、
前記ヘッドモジュールよりも下方に前記基材を載置して支持する基材支持ステージと、
前記基材支持ステージを第1の基準ベクトル方向に直線移動させる第1の直線移動手段、前記基材支持ステージを前記第1の基準ベクトル方向とは独立した第2の基準ベクトル方向に直線移動させる第2の直線移動手段、及び、前記基材支持ステージを前記第1及び第2の基準ベクトルの法線方向と平行なベクトル方向を軸として回転移動させる回転移動手段とを有する基材支持ステージ移動手段と、
前記基材支持ステージに載置された前記基材の表面を撮像する撮像手段と、を備えたインクジェット描画装置であって、
前記基材を前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記ヘッドモジュールから前記基材上に滴下されるインク滴の着弾位置を確認する着弾位置確認手段を有し、
前記撮像手段は、前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラと、前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラとを有することを特徴とするインクジェット描画装置。 - 基材に対してインク滴下処理を行うことによってパターンを形成するための1又は複数のインクジェットヘッドからなるヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを主走査方向又は副走査方向の少なくともいずれかに移動させるヘッドモジュール移動手段と、
前記ヘッドモジュールよりも下方に前記基材を載置して支持する基材支持ステージと、
前記基材支持ステージを第1の基準ベクトル方向に直線移動させる第1の直線移動手段、前記基材支持ステージを前記第1の基準ベクトル方向とは独立した第2の基準ベクトル方向に直線移動させる第2の直線移動手段、及び、前記基材支持ステージを前記第1及び第2の基準ベクトルの法線方向と平行なベクトル方向を軸として回転移動させる回転移動手段とを有する基材支持ステージ移動手段と、
前記基材支持ステージに載置された前記基材の表面を撮像する撮像手段と、を備えたインクジェット描画装置であって、
前記基材上の複数のアライメントマーカを前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記基材支持ステージ移動手段により前記基材支持ステージを移動させて前記基材のアライメントを調整するアライメント調整手段と、
前記基材を前記撮像手段によって撮像し、その撮像結果に基づいて前記ヘッドモジュールから前記基材上に滴下されるインク滴の着弾位置を確認する着弾位置確認手段とを有し、
前記撮像手段は、前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラと、前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラとを有することを特徴とするインクジェット描画装置。 - 前記第1の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラは、前記基材上に滴下されるインク滴の着弾位置を確認するための着弾位置確認用カメラであり、
前記第2の直線移動手段のベクトル方向において、前記ヘッドモジュール移動手段による前記ヘッドモジュールの移動到達可能範囲よりも外側の装置本体に固定配置された少なくとも1台のカメラは、前記基材のアライメントを調整するためのアライメント用カメラであることを特徴とする請求項3記載のインクジェット描画装置。 - 前記アライメント用カメラの撮影可能範囲は、主走査方向に沿う撮影可能範囲の長さをCy、副走査方向の前記基材の長さをLx、主走査方向の前記基材の長さをLy、前記アライメントマーカの測定の保証精度をI、目標とする位置ずれの公差精度をMとしたとき、
Cy>2I・Lx/M
(但し、常にM≧Iであり、Cy>Ly>Lxである。)
を満たすように設定されることを特徴とする請求項4記載のインクジェット描画装置。 - 前記着弾位置確認用カメラの撮影可能範囲は、副走査方向の撮影可能範囲の長さをCx、前記ヘッドモジュールの副走査方向の両端の2点のノズル間の幅をHとしたとき、
Cx>H
を満たすように設定されることを特徴とする請求項4又は5記載のインクジェット描画装置。 - 前記基材支持ステージは、カメラ基準位置を計測するための複数のリファレンスマーカを有しており、
前記撮像手段は、前記複数のリファレンスマーカのうちの少なくとも一つを共通に撮影可能に前記各カメラが配置されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のインクジェット描画装置。 - 前記撮像手段によって前記リファレンスマーカを撮影した結果の位置座標に基づいて、前記撮像手段の各カメラ間の座標を関連付ける演算手段を有することを特徴とする請求項7記載のインクジェット描画装置。
- 前記演算手段は、前記撮像手段によって得られた撮像画像を演算して、各カメラのうちのいずれか1台を基準カメラとして、該基準カメラの座標系に他のカメラの座標を補正することを特徴とする請求項8記載のインクジェット描画装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210068114A (ko) * | 2018-11-02 | 2021-06-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2990155B1 (fr) | 2012-05-03 | 2014-05-09 | Mgi France | Procede de verification de l’alignement de tetes d’impression et methode d’alignement associee |
CN103786444A (zh) * | 2013-12-13 | 2014-05-14 | 郑红光 | 一种全自动出快递面单结构 |
US9659241B1 (en) | 2015-11-17 | 2017-05-23 | Funai Electric Co., Ltd. | Method for printing on a stationary flat media using a portable large format printer |
NL2016137B1 (en) | 2016-01-21 | 2017-07-25 | Meyer Burger (Netherlands) B V | Inkjet printing system and method for processing substrates. |
JP6610588B2 (ja) | 2017-03-13 | 2019-11-27 | コニカミノルタ株式会社 | 画像形成装置、画像読取装置、プログラム、画像形成方法および画像処理装置 |
JP2018196956A (ja) * | 2017-05-24 | 2018-12-13 | セイコーエプソン株式会社 | 印刷装置、及び、印刷装置の制御方法 |
JP6881188B2 (ja) * | 2017-09-27 | 2021-06-02 | オムロン株式会社 | 位置検出装置およびプログラム |
US11329003B2 (en) | 2019-06-28 | 2022-05-10 | Applied Materials, Inc. | Anchoring dies using 3D printing to form reconstructed wafer |
US11322381B2 (en) * | 2019-06-28 | 2022-05-03 | Applied Materials, Inc. | Method for substrate registration and anchoring in inkjet printing |
TWI795648B (zh) * | 2019-06-28 | 2023-03-11 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於在噴墨印刷中進行基板對位及錨定的方法與設備 |
CN110732460B (zh) * | 2019-10-30 | 2020-09-08 | 上海联影医疗科技有限公司 | 一体式涂胶设备以及涂胶方法 |
CN111683514B (zh) * | 2020-06-10 | 2024-03-12 | 深圳汉和智造有限公司 | 一种假压设备 |
JP2022056018A (ja) * | 2020-09-29 | 2022-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 立体物印刷装置および立体物印刷方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283403A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2003173874A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-20 | Brother Ind Ltd | 液滴ジェットパターニング装置 |
WO2007132705A1 (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液滴吐出描画装置 |
JP2008034743A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 製造/検査装置及び製造/検査方法 |
JP2008139741A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Sharp Corp | 基板処理装置 |
JP2008168207A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Sharp Corp | 吐出不良検出装置およびその方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000187115A (ja) | 1998-12-24 | 2000-07-04 | Canon Inc | カラーフィルタ製造装置 |
JP2002361852A (ja) | 2001-06-07 | 2002-12-18 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置 |
CN1232839C (zh) * | 2001-09-28 | 2005-12-21 | 兄弟工业株式会社 | 液滴图案形成装置 |
JP3893937B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2007-03-14 | セイコーエプソン株式会社 | ヘッドユニットの組立装置および組立方法、並びに液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法 |
JP2004243187A (ja) | 2003-02-12 | 2004-09-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
DE102005005242A1 (de) * | 2005-02-01 | 2006-08-10 | Volkswagen Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Kameraoffsets |
JP2006258845A (ja) | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Dainippon Printing Co Ltd | パターン形成装置、ヘッドの補正方法 |
JP2007090686A (ja) | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Konica Minolta Holdings Inc | ラインヘッド及びインクジェット印画装置 |
US8358339B2 (en) | 2006-07-27 | 2013-01-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd | Testing method, testing and processing system, processing device, testing device, manufacturing/testing device, and manufacturing/testing method |
JP2009128535A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、画像表示装置および電子機器 |
KR101023892B1 (ko) * | 2009-02-17 | 2011-03-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 잉크 젯 프린터 헤드 조립체 정렬 방법 및 그 장치 |
-
2009
- 2009-09-02 JP JP2010529711A patent/JP5556661B2/ja active Active
- 2009-09-02 US US13/119,020 patent/US8587743B2/en active Active
- 2009-09-02 EP EP09814460.3A patent/EP2324932B1/en active Active
- 2009-09-02 WO PCT/JP2009/065311 patent/WO2010032615A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09283403A (ja) * | 1996-04-10 | 1997-10-31 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2003173874A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-20 | Brother Ind Ltd | 液滴ジェットパターニング装置 |
WO2007132705A1 (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液滴吐出描画装置 |
JP2008034743A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 製造/検査装置及び製造/検査方法 |
JP2008139741A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Sharp Corp | 基板処理装置 |
JP2008168207A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Sharp Corp | 吐出不良検出装置およびその方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210068114A (ko) * | 2018-11-02 | 2021-06-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102554161B1 (ko) * | 2018-11-02 | 2023-07-12 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR20230107712A (ko) * | 2018-11-02 | 2023-07-17 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102655618B1 (ko) | 2018-11-02 | 2024-04-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
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