JP2005028847A - 記録装置におけるアライメント機構を有する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ステージ移動の回数を減らすことで、アライメント時間を短縮するとともに、ステージ精度によって生じるアライメント誤差を低減させる。
【解決手段】第１アライメントマークと、第１アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と第２撮像手段の光軸の交点と、によって第１図形が形成され、第２アライメントマークと、第２アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と第１撮像手段の光軸の交点とによって第２図形が形成され、かつこれら第１図形及び第２図形が点対称の位置に配置し得ることを特徴とする記録装置とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、液滴を吐出して被記録部材に記録を行なうインクジェット記録装置におけるアライメント機構およびアライメント方法を有し、基材へ液体を吐出し付着させる装置に関するものである。

被記録部材に記録を行なう１つの方法として、ヘッドに設けられたノズルから液滴を吐出させて記録を行なうインクジェット方式がある。この方式を採用したものでは、カラー画像を紙に印刷するためのプリンタが最も良く知られている。しかしながら、インクジェット方式は、微小な液滴を所定の場所に着弾させることができるという利点から、プリンタだけでなく、カラーフィルタ製造装置・ＤＮＡチップ製造装置等の製造装置にも適用されている。図１にＤＮＡチップ製造装置の一例を示す。

定盤４０上には高精度に位置決め可能なＹ軸ステージ３４およびガイドレール３５ａ・３５ｂが平行に固定されている。Ｙ軸ステージ３４およびガイドレール３５ａ・３５ｂの可動部分には高精度に位置決め可能なＸ軸ステージ３３が精度良く取り付けられている。Ｘ軸ステージ３３の可動部分には基板θステージ３２が固定されており、さらに基板θステージ３２上面にはチャック３１が固定されている。チャック３１は図示しないポンプとチューブでつながれており、ポンプが空気を吸引することで、被記録部材であるガラス基板２０はチャック３１に吸着される。これにより、チャック３１およびガラス基板２０はＸＹ方向に高精度に位置決め可能で、かつ、Ｚ軸まわりの角度（θ方向）の補正も可能な構成となる。また、Ｘ軸ステージ３３の可動部分にはヘッドアライメントカメラ１が取り付けられている。よって、ヘッドアライメントカメラ１の撮像位置は、チャック３１のＸＹ平面内の動きに追従してくるが、チャック３１の回転の動きには影響されない。

定盤４０上に支柱４２ａ・４２ｂが固定されており、支柱４２ａ・４２ｂにはそれぞれブリッジ４１ａ・４１ｂが固定されている。ブリッジ４１ａと４１ｂはステー３で固定されており、支柱４２ａ・４２ｂとブリッジ４１ａ・４１ｂの構造物の強度を保っている。このステー３には基板アライメントカメラ２が取り付けられている。さらに、ブリッジ４１ａと４１ｂの間にはヘッドθステージ３０が固定されており、ヘッドθステージ３０にはヘッド１０が固定されている。これにより、ヘッド１０はθ方向の角度補正が可能な構成となる。

ＤＮＡチップ製造装置のように、ガラス基板２０への描画精度が必要とされる場合、装置の組み立て誤差やヘッド１０およびガラス基板２０を固定する位置・傾きの誤差による描画精度の低下を防ぐことを目的としてアライメントを行なう。アライメントの方法について、図５を用いて説明する。図５はヘッド１０・ガラス基板２０・ヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の相対関係を示す図である。ヘッド１０の下面にはヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂが設けられている。また、ガラス基板２０の表面には基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂが設けられている。

まず、ヘッドアライメントカメラ１をヘッドアライメントマーク１１ａの下に移動させ、ヘッドアライメントマーク１１ａの位置を読み込む。同様に、ヘッドアライメントマーク１１ｂの下にヘッドアライメントカメラ１を移動させ、ヘッドアライメントマーク１１ｂの位置を読み込む。ヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂの位置からヘッド１０の傾きを算出し、その角度だけヘッド１０を補正する。再度、補正後にヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂの位置を読み込み、補正後のヘッド１０の傾き・位置を記憶しておく。次に、基板アライメントカメラ２の下に基板アライメントマーク２１ａを移動させ、基板アライメントマーク２１ａの位置を読み込む。同様に、基板アライメントマーク２１ｂを基板アライメントカメラ２の下に移動させて、基板アライメントマーク２１ｂの位置を読み込む。基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂの位置からガラス基板２０の傾きを算出し、その角度だけガラス基板２０を補正する。再度、補正後に基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂの位置を読み込み、ガラス基板２０の傾き・位置を記憶しておく。補正後の、ヘッド１０・ガラス基板２０の位置から、両者の相対関係を把握し、描画開始位置を決定する。

また、これまでカラーフィルタ製造装置等のアライメント方法として、様々な提案がなされており、ステージ移動が少なくてすむアライメント方法がある。アライメント精度を高くするために、特許文献１記載の方法では、液滴の着弾位置と参照マークの位置を比較することにより、ステージ補正を行なっている。特許文献２記載の方法では、ガラス基板の替わりとなるブランクに液滴を吐出し、それを基板アライメントカメラで撮影した時の吐出データと、ガラス基板のアライメントマークの位置から、チャックの位置・ヘッドの角度・ガラス基板の角度を補正している。特許文献３に記載されている提案では、ガラス基板の描画領域外に配置された位置合わせ部を基板アライメントカメラで検出することで、インクノズルと描画するべき開口部との位置決めを行なっている。
特表平０９−５１１５８５号公報 特開２００１−２８６８１２号公報 特許第０２５９７６２６号明細書

しかしながら、図５のようなアライメント方法では次のような問題が生じる場合があった。ヘッドアライメントカメラ・基板アライメントカメラが、それぞれヘッドアライメントマーク・基板アライメントマーク読み込みに行くために何回もステージを移動することが必要なため、一般的にステージ移動をする度にその位置決め誤差が積算され、アライメント精度が低下してしまう。また、ステージの移動回数が多いので、それだけアライメントに要する時間が必要となる場合があった。

また、特許文献１及び２の提案では次のような問題が生じる場合があった。ガラス基板に記録を行なう時の描画精度に係る最も大きな要因は、ヘッド自体の吐出性能であり、一般的に１回毎の吐出でも描画位置にバラツキが生じてしまう。よって、チャックの高精度位置決めが実現できるとしても、描画されたドットを基準にしては、チャックの位置やヘッドの回転を補正する際にヘッドの吐出性能による誤差が上積みされ、理想値からのズレが補正前よりも大きくなってしまう可能性がある。

また、特許文献３の提案では、次のような問題が生じる場合があった。カラーフィルタ製造装置とは異なり、ＤＮＡチップ製造装置では一般的にガラス基板に描画を行なうための液滴の種類や描画パターンは様々な組み合わせが考えられ、その度にヘッドを交換する必要がある。よって、ヘッドを交換すれば、その度に固定位置に誤差が生じてしまうため、一般的にガラス基板のアライメントだけでなく、ヘッドのアライメントも必要である。ここでのアライメントとは、ガラス基板およびヘッドの角度補正と、ガラス基板とヘッドの相対的な位置合わせがある。ガラス基板およびヘッドの角度補正において、それによって生じる描画位置の誤差を最小限にするためには、ガラス基板の描画される方向とヘッドのノズル列を一致させるのではなく、ガラス基板の描画される方向、および、ヘッドのノズル列をステージの走査方向に一致させる必要がある。

本発明の目的は、以上のような問題点に鑑み、アライメントによる誤差を低減させるとともに、アライメントに要する時間を短縮したアライメント機構を提供することにある。

本出願に係る発明は、液体を吐出する複数の吐出口が開口する吐出口面を有するヘッドと、前記吐出された液体が付着する基材を載置固定し得る固定面を有する固定手段と、該固定手段を搭載し、該固定面を前記吐出口面と所定の位置関係で対向させて配置し、かつ該固定面の少なくとも面方向での移動を可能とするステージと、前記吐出口面の面方向での回転を可能とし、該吐出口面の前記固定面に対する位置を調整して補正するための第１補正手段と、前記固定面の面方向での回転を可能とし、該固定面の前記吐出口面に対する位置を調整して補正するための第２補正手段と、前記ヘッドの前記固定面に対向配置される面を撮像するための第１撮像手段と、前記固定手段の前記ヘッドの吐出口面と対向配置される面を撮像するための第２撮像手段と、を有する装置であって、
前記ヘッドは、該ヘッドの吐出口面と同一面をなす面の前記第１撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第１アライメントマークを有し、かつ前記固定手段または該固定手段の固定面に固定された基材は、該固定面または該基材への液体の付着面と同一面をなす面の前記第２撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと、該第１アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第２撮像手段の光軸の交点と、によって第１図形が形成され、前記第２アライメントマークと、該第２アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第１撮像手段の光軸の交点とによって第２図形が形成され、かつこれら第１図形及び第２図形が点対称の位置に配置し得ることを特徴とする装置に関する。

更に、本発明は前記装置において前記液体が記録用液体であり、かつ前記基材が被記録材であることが好ましい。
記録用液体を吐出する複数の吐出口が開口する吐出口面を有するヘッドと、被記録部材を載置固定し得る固定面を有する固定手段と、該固定手段を搭載し、該固定面を前記吐出口面と所定の位置関係で対向させて配置し、かつ該固定面の少なくとも面方向での移動を可能とするステージと、前記吐出口面の面方向での回転を可能とし、該吐出口面の前記固定面に対する位置を調整して補正するための第１補正手段と、前記固定面の面方向での回転を可能とし、該固定面の前記吐出口面に対する位置を調整して補正するための第２補正手段と、前記ヘッドの前記固定面に対向配置される面を撮像するための第１撮像手段と、前記固定手段の前記ヘッドの吐出口面と対向配置される面を撮像するための第２撮像手段と、を有する記録装置であって、
前記ヘッドは、該ヘッドの吐出口面と同一面をなす面の前記第１撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第１アライメントマークを有し、かつ前記固定手段または該固定手段の固定面に固定された被記録部材は、該固定面または該被記録部材の記録面と同一面をなす面の前記第２撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第２アライメントマークを有し、
前記第１アライメントマークと、該第１アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第２撮像手段の光軸の交点と、によって第１図形が形成され、前記第２アライメントマークと、該第２アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第１撮像手段の光軸の交点とによって第２図形が形成され、かつこれら第１図形及び第２図形が点対称の位置に配置し得ることを特徴とする記録装置に関する。

更に、更に、本発明は前記装置において本発明は前記基被記録部材が平板形状からなり、平面状の記録面を有することが好ましい。
更に、更に、本発明は前記装置において本発明は前記吐出口面が複数の吐出口が並列配置された平面からなり、該吐出口面と前記平面状の記録面とが平行に配置されることが好ましい。。

本発明によれば、ヘッドアライメントカメラでヘッドアライメントマークを撮像するステージ位置で、同時に基板アライメントで基板アライメントマークを撮像することが可能なため、ステージ移動の回数を減らすことで、アライメント時間を短縮するとともに、ステージ精度によって生じるアライメント誤差を低減させることができる。

本発明の記録装置は、ヘッドと固定手段とステージと第１補正手段と第２補正手段と第１撮像手段と第２撮像手段とを有する記録装置であって、
前記ヘッドは、該ヘッドの吐出口面と同一面をなす面の前記第１撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第１アライメントマークを有し、かつ前記固定手段または該固定手段の固定面に固定された被記録部基材材は、該固定面または基材へ該被記録部材の液体の付着記録面と同一面をなす面の前記第２撮像手段により撮像可能な位置に２以上のアライメントマークを有し、前記第１アライメントマークと、該第１アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第２撮像手段の光軸の交点と、によって第１図形が形成され、前記第２アライメントマークと、該第２アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第１撮像手段の光軸の交点とによって第２図形が形成され、かつこれら第１図形及び第２図形が点対称の位置に配置し得ることを特徴とする。

ヘッド側の第１アライメントマークは、ヘッドの有する吐出口面と同一面をなす面に各吐出口と所定の位置関係で設けられている。これにより第１アライメントマークを基準として吐出口の記録装置内での配置位置の特定が可能となる。この第１アライメントマークが設けられる面は吐出口面の一部に設けてもよいし、吐出口面以外に新たな面として、吐出口面と同一面をなすように設けてもよい。また、固定手段側の第２アライメントマークは、固定手段の有する基被記録部材の固定面と同一面をなす固定手段の有する面の固定面と所定の位置関係で、あるいは固定面に固定された基被記録部材への液体の付着の記録面と同一面をなす基被記録部材の有する面の液体の付着記録面と所定の位置関係で設けられる。これにより、第２アライメントマークを基準として、固定面または液体の付着記録面の記録装置内の配置位置を特定できる。第２アライメントマークについても、固定面と第２アライメントマークが設けられた面、あるいは液体の付着記録面と第２アライメントマークが設けられた面とが連続した同一平面を形成してもよいし、これらが分離されて設けられていてもよい。なお、より簡易な構成とする上では、第２アライメントメークは固定面または液体の付着記録面と同一平面を形成する面に設けられていることが好ましい。

本発明のアライメント機構は、第１撮像手段で第１アライメントマークの１つを撮像するステージ位置で、同時に第２撮像手段で第２アライメントマークの１つを撮像することが可能であり、ステージ移動の回数を減らすことで、アライメント時間を短縮するとともに、ステージ精度によって生じるアライメント誤差を低減させることができる。

本発明のアライメント機構は例えば、ＤＮＡチップ製造装置、カラーフィルター製造装置及びインクジェット記録装置などに使用することができる。

以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明する。本体装置の構成は従来例と同一であるので、従来例の説明で用いた図１も本発明の実施例を説明する図として詳細は省略する。図２は本発明におけるアライメント機構の詳細を示す斜視図であり、図３は本発明におけるアライメント機構の詳細を示す平面図である。アライメント機構の構成も従来例と同一であるため、従来例と同一符号を付してその説明は省略する。ただし、アライメント機構の構成要素の配置に特徴がある。これについて、図３をもとに説明する。

ヘッド１０下面に設けられたヘッドアライメントマーク（第１アライメントマーク）１１ａと１１ｂはＸ方向にｘ₁だけ離れている。図中では、ヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂを「○」で示す。また、ヘッドアライメントマーク１１ｂからＹ方向にｙ₁だけ離れた位置を基板アライメントカメラ（第２撮像手段）２の中心は捕らえている。ヘッドアライメントマーク１１ａと１１ｂを結ぶ直線は、ヘッドアライメントマーク１１ｂと基板アライメントカメラ２を結ぶ直線と直交している。ガラス基板２０（固定手段）の上面に設けられた基板アライメントマーク（第２アライメントマーク）２１ａと２１ｂはＸ方向にｘ₂だけ離れている。図中では、基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂを「＋」で示す。また、基板アライメントマーク２１ａからＹ方向にｙ₂だけ離れた位置をヘッドアライメントカメラ（第１撮像手段）１の中心は捕らえている。基板アライメントマーク２１ａと２１ｂを結ぶ直線は、基板アライメントマーク２１ａとヘッドアライメントカメラ１を結ぶ直線と直交している。さらに、ヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂ間の距離ｘ₁と基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂ間の距離ｘ₂は等しく、ヘッドアライメントマーク１１ｂ・基板アライメントカメラ２間の距離ｙ₁と基板アライメントマーク１１ａ・ヘッドアライメントカメラ１間の距離ｙ₂は等しい。この結果、ヘッドアライメントマーク１１ａと、ヘッドアライメントマーク１１ａが設けられた面と基板アライメントカメラ２の光軸との交点とにより第１図形が形成される。また、基板アライメントマーク２１ａと、基板アライメントマーク２１ａが設けられた面とヘッドアライメントカメラ１の光軸の交点とにより第２図形が形成される。また、第１図形と第２図形は点対称となる。なお、ヘッドはステージに対向する面に複数の吐出口が配置された吐出口面を有する。

最初に、上記位置関係となるように、ヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の水平方向の位置を調整する必要がある。これは基準となるヘッド１０・ガラス基板２０を用意して行なう。しかし、基準となるヘッド１０・ガラス基板２０も、装置上に固定しただけでは位置・傾きに誤差があるため、個別にアライメントを行なう必要がある。これは、従来例で説明した方法で傾きの補正を行なえばよい。従来例でのアライメントを行なった後に、ヘッドアライメントカメラ１の画像の中心にヘッドアライメントマーク１１ａが来るようにＸ軸ステージ３３・Ｙ軸ステージ３４を移動させる。この時、基板アライメントカメラ２の画像の中心に基板アライメントマーク２１ｂが来るように図示しないカメラ位置調整手段で基板アライメントカメラ２の水平方向の位置を調整し、固定する。次に、ヘッドアライメントカメラ１の画像の中心にヘッドアライメントマーク１１ｂが来るようにＸ軸ステージ３３・Ｙ軸ステージ３４を移動させる。これで調整は終了のため、固定した基板アライメントカメラ２の水平方向位置は、今後移動させることはない。

次に、ヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の観察位置の基準を設ける必要がある。これは、ヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の光軸が一致する位置にすれば良い。ここで、光軸は同方向に伸びており、ステージの固定面に直交する方向である。具体的には、ヘッドアライメントカメラ１と基板アライメントカメラ２との間に、ガラスに十字マークを設けた調整部材を挿入する。そして、ヘッドアライメントカメラ１と基板アライメントカメラ２とで調整部材の見え方が同じになるように、ヘッドアライメントカメラ１の位置をＸ軸ステージ３３・Ｙ軸ステージ３４の移動で調整する。そして、ヘッドアライメントカメラ１と基板アライメントカメラ２とで調整部材の見え方が同じになった時のステージ位置を基準とする。この時のステージ位置を（Ｘ₀，Ｙ₀）とする。

ヘッド１０・ガラス基板２０が装置上に新たに固定された場合、ヘッド１０・ガラス基板２０は位置・傾きに誤差をもっている。ヘッド１０には図示しない位置決めのための穴があり、これを装置上の図示しない位置決めピンに嵌めこんで仮の位置決めを行なう。この場合、ヘッドの位置決め穴・ピンの位置精度、位置決め穴とピンの隙間等が、ヘッド１０の位置・傾きの誤差要因となる。同様に、チャック３１の図示しない突き当て部にガラス基板２０の端面を突き当てて、ガラス基板２０の仮の位置決めを行なう。よって、突き当て部の位置精度やガラス基板２０の端面の加工精度等が、ガラス基板２０の位置・傾きの誤差要因となる。これらの位置精度・加工精度を積み上げれば、ヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂおよび基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂが理想位置からどれだけずれる可能性があるのかが分かる。ヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂおよび基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂが理想位置から最大にずれた場合でも、ヘッドアライメントカメラ１および基板アライメントカメラ２が、それぞれヘッドアライメントマーク１１ａ・１１ｂおよび基板アライメントマーク２１ａ・２１ｂを捕らえることができるように、ヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の視野は広くなっている。

新たなヘッド１０・ガラス基板２０で描画を開始する場合のアライメント方法について、図４をもとに説明する。ヘッド１０・ガラス基板２０の傾きは説明のため、誇張して図示している。図４（ａ）に、基板アライメントカメラ２が基板アライメントマーク２１ｂを捕らえる位置にＸ軸ステージ３３・Ｙ軸ステージ３４を移動させた状態を示す。基板アライメントカメラ２の視野内に基板アライメントマーク２１ｂを捕らえるようにするには、理想位置にある基板アライメントマーク２１ｂを基板アライメントカメラ２が画像の中心で捕らえるようにＸ軸ステージ３３・Ｙ軸ステージ３４を移動させるだけでよい。この時、ヘッドアライメントカメラ１の視野内にヘッドアライメントマーク１１ａも存在している。つまり、新たなヘッド１０・ガラス基板２０を装置上に固定し、アライメントを行なう際、ヘッドアライメントマーク１１ａ・基板アライメントマーク２１ｂを取り込むためのステージ位置は毎回同じとなる。ここで、基板アライメントマーク２１ｂおよびヘッドアライメントマーク１１ａの画像を取り込み、マークの位置を記憶しておく。

次に、Ｘ軸ステージ３３のみを駆動させて、ヘッドアライメントカメラ１がヘッドアライメントマーク１１ｂを、基板アライメントカメラ２が基板アライメントマーク２１ａを捕らえるようにする。この状態を図４（ｂ）に示す。この時も、基板ヘッドアライメントマーク１１ｂ・アライメントマーク２１ａが理想位置にあると仮定し、Ｘ軸ステージ３３を駆動させるだけで、ヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の視野内にそれぞれヘッドアライメントマーク１１ｂ・アライメントマーク２１ａが存在する。ここで、基板アライメントマーク２１ａおよびヘッドアライメントマーク１１ｂの画像を取り込み、マークの位置を記憶しておく。

ここで、記憶したヘッドアライメントマーク１１ａと１１ｂの画像を比較することで、ヘッド１０のヘッドアライメントマーク１１ａと１１ｂを結んだ直線が、Ｘ軸ステージ３３の走査方向に対してどれだけ傾いているのかが分かる。この角度だけヘッドθステージ３０でヘッド１０の角度を補正する。同様に、記憶した基板アライメントマーク２１ａと２１ｂの画像を比較することで、ガラス基板２０の基板アライメントマーク２１ａと２１ｂを結んだ直線が、Ｘ軸ステージ３３の走査方向に対してどれだけ傾いているのかが分かる。この角度だけ基板θステージ３２でガラス基板２０の角度を補正する。

補正後の状態を図４（ｃ）に示す。この時、ヘッド１０・ガラス基板２０を回転させたため、ヘッド１０・ガラス基板２０の相対位置関係は不明のままである。よって、再度、ヘッドアライメントマーク１１ｂの位置をヘッドアライメントカメラ１で、基板アライメントマーク２１ａの位置を基板アライメントカメラ２で取り込む。この時のステージ位置を（Ｘ_m ， Ｙ_m）とする。ただし、ステージ位置（Ｘ_m ， Ｙ_m）は図４（ｂ）の状態から変わっていない。そして、画像内で理想位置からのずれを算出する。ヘッドアライメントカメラ１で捕らえた画像の中で、ヘッドアライメントマーク１１ｂの理想位置からのずれを（ｘ_h ， ｙ_h）とする。また、基板アライメントカメラ２で捕らえた画像の中で、基板アライメントマーク２１ａの理想位置からのずれを（ｘ_g ， ｙ_g）とする。以上で求めた、ヘッドアライメントマーク１１ｂのずれ量（ｘ_h ， ｙ_h）、基板アライメントマーク２１ａのずれ量（ｘ_g ， ｙ_g）、現在のステージ位置（Ｘ_m ， Ｙ_m）、先に求めているヘッドアライメントカメラ１・基板アライメントカメラ２の光軸が一致するステージ位置（Ｘ₀ ， Ｙ₀）から、基板アライメントマーク２１ａに対するヘッドアライメントマーク１１ｂの水平面内での位置関係は以下のように表現できる。

（ Ｘ_m−Ｘ₀＋ｘ_h−ｘ_g ， Ｙ_m−Ｙ₀＋ｙ_h−ｙ_g ）
これにより、ヘッド１０とガラス基板２０の相対位置関係を算出することができた。

図１は本発明の実施例・従来例に係る記録装置の斜視図である。 図２は本発明の実施例に係るアライメント機構の詳細を説明する斜視図である。 図３は本発明の実施例に係るアライメント機構の詳細を説明する平面図である。 図４（ａ）はＸ軸ステージ駆動前のアライメント機構の動作を説明する説明図である。図４（ｂ）はＸ軸ステージ駆動後のアライメント機構の動作を説明する説明図である。図４（ｃ）は補正後のアライメント機構の動作を説明する説明図である。 図５は従来例のアライメント機構の詳細を説明する斜視図である。

符号の説明

１ ヘッドアライメントカメラ
２ 基板アライメントカメラ
３ ステー
１０ ヘッド
１１ａ，１１ｂ ヘッドアライメントマーク
２０ ガラス基板
２１ａ，２１ｂ 基板アライメントマーク
３０ ヘッドθステージ
３１ チャック
３２ 基板θステージ
３３ Ｘ軸ステージ
３４ Ｙ軸ステージ
３５ａ，３５ｂ ガイドレール
４０ 定盤
４１ａ，４１ｂ ブリッジ
４２ａ，４２ｂ 支柱

Claims (4)

1. 液体を吐出する複数の吐出口が開口する吐出口面を有するヘッドと、前記吐出された液体が付着する基材を載置固定し得る固定面を有する固定手段と、該固定手段を搭載し、該固定面を前記吐出口面と所定の位置関係で対向させて配置し、かつ該固定面の少なくとも面方向での移動を可能とするステージと、前記吐出口面の面方向での回転を可能とし、該吐出口面の前記固定面に対する位置を調整して補正するための第１補正手段と、前記固定面の面方向での回転を可能とし、該固定面の前記吐出口面に対する位置を調整して補正するための第２補正手段と、前記ヘッドの前記固定面に対向配置される面を撮像するための第１撮像手段と、前記固定手段の前記ヘッドの吐出口面と対向配置される面を撮像するための第２撮像手段と、を有する装置であって、
   前記ヘッドは、該ヘッドの吐出口面と同一面をなす面の前記第１撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第１アライメントマークを有し、かつ前記固定手段または該固定手段の固定面に固定された基材は、該固定面または該基材への液体の付着面と同一面をなす面の前記第２撮像手段により撮像可能な位置に２以上の第２アライメントマークを有し、
   前記第１アライメントマークと、該第１アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第２撮像手段の光軸の交点と、によって第１図形が形成され、前記第２アライメントマークと、該第２アライメントマークが設けられた面と同一面をなす面と前記第１撮像手段の光軸の交点とによって第２図形が形成され、かつこれら第１図形及び第２図形が点対称の位置に配置し得ることを特徴とする装置。
2. 請求項１記載の装置において、前記液体が記録用液体であり、かつ前記基材が被記録部材であることを特徴とする装置。
3. 前記基材が平板形状からなり、平面状の面を有する請求項１又は２に記載の装置。
4. 前記吐出口面が複数の吐出口が並列配置された平面からなり、該吐出口面と前記平面状の面とが平行に配置される請求項１〜３の何れかに記載の装置。

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