JP2003029017A

JP2003029017A - カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ製造装置

Info

Publication number: JP2003029017A
Application number: JP2001214734A
Authority: JP
Inventors: Eiji Okuda; 英二奥田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-07-16
Filing date: 2001-07-16
Publication date: 2003-01-29

Abstract

(57)【要約】【課題】外形規正による破損危険性の高いガラス基板
を、高精度に位置決めを行う場合、装置の高価格化やタ
クトダウンによる生産性低下を引き起こすことなく、高
精度な位置決めを行う事の可能なカラーフィルタ製造装
置を提供するものである。【解決手段】少なくとも２種類以上の光学倍率にてアラ
イメントマークを撮像する撮像手段を備え、低光学倍率
による粗調整動作と高光学倍率による微調整動作の組み
合わせによって、ガラス基板の正確な位置決めを行う事
をできるよう構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数のインク吐出
ノズルを有するインクジェットヘッドを基板に対して相
対的に走査させながらインクを吐出するカラーフィルタ
製造方法、及びカラーフィルタ製造装置に関するもので
あり、特に、基板の位置合わせを行うためにアライメン
ト補正するカラーフィルタ製造方法、及びカラーフィル
タ製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のアライメント補正方法について図
１３を用いて説明する。図１３は、特開平９−１０１４
１０号で公開されている公知技術である。１は、カラー
フィルタの基材となるガラス基板であり、２は、インク
ジェットヘッドである。ガラス基板１は、インクジェッ
トヘッド２に対して相対的に走査可能となるように、Ｘ
Ｙθテーブル７上に搭載され、インクジェットヘッド２
のインク吐出ノズル面下を移動させ、インクを所定の位
置に吐出させることにより、ガラス基板１の着色を行
う。ガラス基板１の上には、３で示されるブラックマト
リックスと呼ばれるカラーフィルタの各画素の境界にあ
たる格子が形成されており、インクジェット工法の種類
により構造は多少違うが、このブラックマトリックス３
で囲まれている画素部分に正確にインクを吐出させる必
要がある。

【０００３】また、１つの着色領域に対して予め設定さ
れている滴数だけインクジェットヘッド２からインクを
吐出させ、着色領域内の所定の着弾目標位置に着弾させ
る。一滴の液量は、ノズル毎に予め調整されており、結
果として、各々の着色領域に吐出される液量は所定の精
度内で同量となる。

【０００４】図には示していないが、インクジェットヘ
ッド２はインク吐出位置制御、および吐出液適量の制御
を行う制御システムが備えられている。

【０００５】インクジェットヘッド２を用いたカラーフ
ィルタ製造方法では，カラーフィルタの画素に相当する
部分に対して、非常に高精度なインク吐出位置精度を求
められる。インク吐出位置が基板に対して正確に位置出
しできていないと、本来吐出されるべき画素ではなく、
隣接する画素にインクが混じり、混色が発生する結果と
なり、カラーフィルタとしての性能を満たせなく場合が
ある。

【０００６】インク吐出位置と前記基板との位置合わせ
を行うための従来のアライメント調整方法としては、固
定倍率の光学レンズ１２を使用していた。しかし、光学
レンズ１２は固定倍率であるために、求められる分解能
を達成するためには、かなり高倍率のレンズを使う必要
があった。この結果、高光学倍率と広視野範囲を実現す
るために、撮像素子５は、約４００万画素クラスの高解
像度撮像素子を使った高価な撮像カメラを使用して装置
を構成していた。

【０００７】また、図には示していないが、アライメン
トマークが確実に視野範囲内に撮像可能となるように、
カラーフィルタ製造装置内または装置にワーク基板を搬
入する搬入装置においてワーク基板の外形による位置合
わせを行う場合がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図２は、ガラス基板１
上に形成されているブラックマトリックス３とインクジ
ェットヘッドから吐出されるインクの吐出目標位置を示
した図である。

【０００９】ブラックマトリックス３により囲まれた着
色領域１３が規則的に配置されている。着色領域１３の
寸法は、近年の技術では、約９０μｍ×約２７０μｍ程
度の製品が製造されているが、技術進歩とともにさらに
微小化が進むと予想される。インクジェット工法による
カラーフィルタの製造方法では、この着色領域に対し
て、所定の着弾位置精度でインクを吐出・着色する必要
があり、この着弾位置精度をいかに少ない誤差にし、安
定させる事ができるかが、技術力の差となり、カラーフ
ィルタの品質および歩留まりを支配している。

【００１０】実際にインクが着弾する位置は目標位置か
ら少なからず誤差をもつ。この場合、誤差要因として
は、ガラス基板の位置決め誤差、ヘッドおよびノズルの
位置調整誤差、ブラックマトリックスの寸法誤差、イン
クジェットヘッドの吐出方向バラツキによる誤差などが
含まれる。経験的には、各誤差の合計で２０μｍ以下に
抑える必要があると判っている。もし、これよりも大き
な着弾位置誤差がある場合、隣接する他の着色領域との
インク混色が発生し、カラーフィルタとしての仕様を満
足しなくなる。

【００１１】このような混色による不良を防止するため
に、各誤差要因についてそれぞれ精度を上げる必要があ
ることは言うまでもないが、特に、全ての基準となり、
基材となるガラス基板の位置決めが非常に重要となる。

【００１２】高精度なワーク基板の位置決めを行うため
には、高光学倍率の光学素子を使用する必要があるが、
光学倍率を高倍率化するほど視野範囲が狭くなるという
相反する問題が生じる。従来技術に示しているような高
価な高解像度撮像素子を使用すれば、ある程度までは高
光学倍率と広視野範囲を両立できるが、限界があり、更
なる高光学倍率が要求される場合には視野範囲が狭くな
ってしまうという課題がある。しかも、カラーフィルタ
を使用した映像機器の高解像度化は必至であり、画素の
微小化、すなわち、前述の着色領域寸法の微小化がさら
に求められるのは言うまでもなく、高光学倍率化を行っ
た場合、視野の狭視野化の問題はさらに深刻となる。

【００１３】狭視野化の課題を回避するための手段とし
て、ワーク基板を外形規正する事により、アライメント
補正前のワーク基板位置の位置決め精度を向上させ、撮
像視野範囲が十分広くなくてもマークを視野範囲に撮像
する事が可能であるが、これを行うための外形規正機構
は複雑であり、装置が複雑になるだけでなく、外形規正
を行う時間によりタクトが低下し、生産性の低下を引き
起こす。

【００１４】特に、ワーク基板がカラーフィルタ基板に
使われているような非常に薄いガラス基板のようなもの
である場合、外的圧力による欠け、割れ、ひびなどの破
損の可能性が高いため、外形規正機構は、ガラス基板に
ストレスを与えないような配慮を施す必要があり、機構
がさらに複雑になり、かつ、外形規正に要する時間が長
くなる。

【００１５】従って、ガラス基板などの破損しやすい材
料からなる基板を高精度に位置決めする必要がある場合
においては、従来のアライメント補正方法では、高光学
倍率と広視野範囲の両立を実現することが困難であるな
どの問題があった。

【００１６】本発明は上記問題を解決するためになされ
たものであり、高価な高解像度撮像手段を備えることな
く、高光学倍率と広視野範囲とを両立したアライメント
マークの撮像を実現でき、また、ガラス基板などの破損
しやすい材料からなる基板を高精度に位置決めする場合
においても、アライメント補正前に外形規正によって位
置決めを行わずに高精度な位置決めを実現できるカラー
フィルタ製造方法、及びカラーフィルタ製造装置を提供
することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の請求項１に記載のカラーフィルタ製造方法
は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェットヘ
ッドを、基板に対して相対的に走査させながらインクを
吐出することにより製造するカラーフィルタの製造方法
において、上記基板上に形成されているアライメントマ
ークを、少なくとも低光学倍率、及び高光学倍率の２種
類の光学倍率にて、撮像する撮像手段と、上記低光学倍
率にて撮像した画像をもとに行うアライメント粗調整動
作と、上記高光学倍率にて撮像した画像をもとに行うア
ライメント微調整動作とを行うアライメント調整手段と
を備え、上記撮像手段により低光学倍率にて撮像した画
像をもとに行うアライメント粗調整動作と、高光学倍率
にて撮像した画像をもとに行うアライメント微調整動作
とを組み合わせて行い、上記基板上の着色すべき領域
と、上記インクジェットヘッドから吐出されるインクの
着弾位置とが一致するように、上記基板の位置決めを行
うものである。

【００１８】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立した、アライメント
マークの撮像を可能にするとともに、高価な高解像度撮
像素子を使用することなく、また、複雑な外形規正機構
を必要とせずに、高精度なアライメント調整を可能に
し、混色などのない高品質なカラーフィルタを製造する
ことができる。

【００１９】また、本発明の請求項２に記載のカラーフ
ィルタ製造方法は、請求項１に記載のカラーフィルタ製
造方法において、上記基板を垂直上方向から撮像できる
ように配置され、上記低光学倍率にて撮像を行う粗調整
用撮像手段と、上記基板を垂直上方向から撮像できるよ
うに配置され、上記高光学倍率にて撮像を行う微調整用
撮像手段とを備え、上記粗調整用撮像手段による撮像結
果を用いて、上記アライメント粗調整動作を行い、その
後、基板の位置を移動させて、上記微調整用撮像手段に
よる撮像結果を用いて、上記アライメント微調整動作を
行うものである。

【００２０】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立した、アライメント
マークの撮像を可能にするとともに、撮像した画像をも
とに行なうアライメント調整手段によって、高価な高解
像度撮像素子を使用することなく、また、複雑な外形規
正機構を必要とせずに、高精度なアライメント調整を可
能にし、混色などのない高品質なカラーフィルタを製造
することができる。

【００２１】また、本発明の請求項３に記載のカラーフ
ィルタ製造方法は、請求項１に記載のカラーフィルタ製
造方法において、上記基板を垂直上方向から撮像できる
ように配置した、上記粗調整用撮像手段と、上記基板を
垂直上方向から撮像できるように配置した、上記微調整
用撮像手段と、撮像する像を分岐させて、上記粗調整用
撮像手段、及び上記微調整用撮像手段にて、同一のアラ
イメントマークを撮像できるようにする偏光手段とを備
え、上記粗調整用撮像手段による撮像結果を用いて、上
記アライメント粗調整動作を行い、上記微調整用撮像手
段を用いて、上記アライメント微調整動作を行うもので
ある。

【００２２】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマ
ークの撮像を行う可能にするとともに、高価な高解像度
撮像素子を使用することなく、また、複雑な外形規正機
構を必要とせずに、高精度なアライメント調整を可能に
し、混色などのない高品質なカラーフィルタを製造する
ことができ、また、基板の動作を小さく抑えて、両光学
倍率にて、撮像できるので、アライメント調整に要する
時間を短縮できる。

【００２３】また、本発明の請求項４に記載のカラーフ
ィルタ製造方法は、請求項１に記載のカラーフィルタ製
造方法において、上記基板上に形成されているアライメ
ントマークを垂直上方向から撮像できるように配置した
上記微調整用撮像手段と、上記基板面に対して所定角度
をなす方向から上記アライメントマークを撮像できるよ
うに配置した上記粗調整用撮像手段とを備え、上記粗調
整用撮像手段による撮像結果を用いて、上記アライメン
ト粗調整動作を行い、上記微調整用撮像手段による撮像
結果を用いて、上記アライメント微調整動作を行うもの
である。

【００２４】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマ
ークの撮像を可能にするとともに、高価な高解像度撮像
素子を使用することなく、また、複雑な外形規正機構を
必要とせずに、低コストで高精度なアライメント調整を
可能にし、低コストで、混色などのない高品質なカラー
フィルタを製造することができる。

【００２５】また、請求項５に記載のカラーフィルタ製
造方法は、請求項２ないし４のいずれかに記載のカラー
フィルタ製造方法において、上記粗調整用撮像手段と、
上記微調整用撮像手段とを、相互に固定する固定手段を
備え、その相対的位置を保持して移動できるものであ
る。

【００２６】これにより、製造しようとするカラーフィ
ルタの機種切替えや、撮像手段の故障により、撮像手段
の移動や調整が必要な場合においても、両光学倍率の撮
像位置の位置関係は保持されており、撮像手段の移動や
調整の作業を、容易に、且つ短時間で実現できる。

【００２７】また、本発明の請求項６に記載のカラーフ
ィルタ製造方法は、請求項１ないし５のいずれかに記載
のカラーフィルタ製造方法において、上記基板上に少な
くとも３つのアライメントマークを配置し、上記３つの
アライメントマークのうち最も間隔が大きい２つのアラ
イメントマークのそれぞれを撮像する、少なくとも２台
の粗調整用撮像手段と、上記３つのアライメントマーク
のそれぞれを撮像する少なくとも３台の微調整用撮像手
段とを備えるものである。

【００２８】これにより、アライメント粗調整、及びア
ライメント微調整の各調整精度を最も高く、且つ、安定
して調整を行うことができる配置となり、混色などのな
い高品質なカラーフィルタを製造することができる。

【００２９】また、請求項７に記載のカラーフィルタ製
造装置は、複数のインク吐出ノズルを有するインクジェ
ットヘッドを、基板に対して相対的に走査させながらイ
ンクを吐出することにより製造するカラーフィルタ製造
装置において、上記基板上に形成されているアライメン
トマークを、少なくとも低光学倍率、及び高光学倍率の
２種類の光学倍率にて、撮像する撮像手段と、上記低光
学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメント粗調
整動作と、上記高光学倍率にて撮像した画像をもとに行
うアライメント微調整動作とを行うアライメント調整手
段とを備え、上記アライメント調整手段による上記アラ
イメント粗調整動作と、上記アライメント微調整動作と
を組み合わせて、上記基板上の着色すべき領域と、上記
インクジェットヘッドから吐出されるインクの着弾位置
とが一致するように、上記基板の位置決めを行うもので
ある。

【００３０】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマ
ークの撮像を可能にするとともに、高価な高解像度撮像
素子を使用することなく、また、複雑な外形規正機構を
必要とせずに、高精度なアライメント調整を可能にし、
混色などのない高品質なカラーフィルタを製造すること
ができる。

【００３１】また、請求項８に記載のカラーフィルタ製
造装置は、請求項７に記載のカラーフィルタ製造装置に
おいて、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配
置され、上記低光学倍率で撮像する粗調整用撮像手段
と、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置さ
れ、上記高光学倍率で撮像する微調整用撮像手段とを各
々独立に備え、上記基板の位置を移動させて、上記両撮
像手段にて、上記アライメントマークを撮像し、上記ア
ライメント調整手段によりアライメント調整を行なうも
のである。

【００３２】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマ
ークの撮像を可能にするとともに、高価な高解像度撮像
素子を使用することなく、また、複雑な外形規正機構を
必要とせずに、高精度なアライメント調整を可能にし、
混色などのない高品質なカラーフィルタを製造すること
ができ、また、粗調整用撮像手段と、微調整用撮像手段
とが互いに独立した構成であるために、各撮像手段部の
設計、及び調整作業を簡単に行うことができる。

【００３３】また、請求項９記載のカラーフィルタ製造
装置は、請求項７に記載のカラーフィルタ製造装置にお
いて、上記基板を垂直上方向から撮像できるように各々
独立に配置した、上記粗調整用撮像手段、及び上記微調
整用撮像手段と、撮像する像を分岐させて、該粗整用撮
像手段、及び該微調整用撮像手段にて、同一のアライメ
ントマークを撮像することができるようにする偏光手段
とを備え、上記撮像手段にて、上記アライメントマーク
を撮像し、上記アライメント調整手段によりアライメン
ト調整を行なうものである。

【００３４】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立した撮像を可能にす
るとともに、高価な高解像度撮像素子を使用することな
く、また、複雑な外形規正機構を必要とせずに、高精度
なアライメント調整を可能にし、混色などのない高品質
なカラーフィルタを製造することができ、また、基板の
動作を小さく抑えることができるので、アライメント調
整に要する時間を短縮できる。

【００３５】また、本発明の請求項１０に記載のカラー
フィルタ製造装置は、請求項７に記載のカラーフィルタ
製造装置において、上記基板上に形成されている上記ア
ライメントマークを垂直上方向から撮像可能となるよう
に配置した上記微調整用撮像手段と、上記基板に対して
所定角度をなす方向から該アライメントマークを撮像可
能となるように配置した上記粗調整用撮像手段とを備
え、上記両撮像手段にて、上記アライメントマークを撮
像し、上記アライメント調整手段により、アライメント
調整を行なうものである。

【００３６】これにより、基板の高精度な位置決めを行
う際に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマ
ークの撮像を可能にするとともに、高価な高解像度撮像
素子を使用することなく、また、複雑な外形規正機構を
必要とせずに、低コストで高精度なアライメント調整を
可能にし、低コストで、混色などのない高品質なカラー
フィルタを製造することができる。

【００３７】また、本発明の請求項１１に記載のカラー
フィルタ製造装置は、請求項８ないし１０のいずれかに
記載のカラーフィルタ製造装置において、上記粗調整用
撮像手段と、上記微調整用撮像手段とを、相互に固定す
る固定手段を備え、その相対的位置を保持して移動でき
るものである。

【００３８】これにより、製造しようとするカラーフィ
ルタの機種切替えや、撮像手段の故障により、撮像手段
の移動や調整が必要な場合においても、両光学倍率の撮
像位置の位置関係は保持されており、撮像手段の移動や
調整の作業を容易に、且つ短時間で実現できる。

【００３９】また、本発明の請求項１２に記載のカラー
フィルタ製造装置は、請求項７ないし１１のいずれかに
記載のフィルタ製造装置において、上記基板上に少なく
とも３つのアライメントマークを配置し、上記３つのア
ライメントマークのうち、最も間隔が大きい２つのアラ
イメントマークのそれぞれを撮像する、少なくとも２台
の粗調整用撮像手段と、上記３つのアライメントマーク
のそれぞれを撮像する、少なくとも３台の微調整用撮像
手段とを備えたものである。

【００４０】これにより、アライメント粗調整、及びア
ライメント微調整の各調整精度を最も高く、且つ、安定
して調整を行うことができる配置となり、混色などのな
い高品質なカラーフィルタを製造することができる。

【００４１】

【発明の実施の形態】実施の形態１．本発明の実施の形
態１に係るカラーフィルタ製造装置を、図１、図２、図
３、図４を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形
態１におけるカラーフィルタ製造装置の主要部の構成を
示したものである。

【００４２】図において、１は架台８上のＸＹθテーブ
ル７に載置したガラス基板、２は複数のノズルからイン
クを吐出するインクジェットヘッド、３はガラス基板１
上に形成した、カラーフィルタとしての着色領域の境界
となるブラックマトリックス、４はアライメント調整を
行うために使用するアライメントマーク、５はアライメ
ントマーク４を撮像するための撮像素子、６は撮像素子
５に取り付けた可変倍率光学レンズである。

【００４３】ガラス基板１の材質はガラスに限らず樹脂
系の材質であっても、傷、破損などに注意を払うべき材
料を使う場合でも本発明は有効である。また、カラーフ
ィルタのみに限らず、ガラス基板またはその代替材料か
らなる基板上に、高精度な位置決めを行う用途におい
て、本発明は非常に有効となる。

【００４４】ガラス基板１上には、カラーフィルタとし
ての着色領域の境界となるブラックマトリックス３が形
成されている。図２、図３は、ブラックマトリックス３
にて形成されている着色領域の一例を示している。図２
は、ストライプ配列と呼ばれる配列であり、図２は、デ
ルタ配列と呼ばれる配列である。何れの配列においても
本発明は効果がある。また、一般的には、１枚のガラス
基板上には複数のカラーフィルタが形成され、図２、図
３の構造をもつカラーフィルタのブラックマトリックス
が複数形成されている。

【００４５】インクジェットヘッド２は、複数のインク
ジェットヘッドから構成されるインクジェットヘッドユ
ニットでも構わないし、複数の種類の色、例えばＲ、
Ｇ、Ｂの各色用のインクジェットヘッドから構成される
インクジェットヘッドユニットでも構わない。各インク
ジェットヘッドの相対位置は、前記ブラックマトリック
ス３にて形成される各着色領域の位置と、その領域を着
色すべきインクジェットヘッドの各ノズル位置とが一致
するように予め位置調整されている。

【００４６】さらに、インクジェットヘッド２から吐出
されるインクが、上記着色領域に対して所定の着弾位置
精度にて着弾可能となるように、アライメント調整を行
うために使用するアライメントマーク４が形成されてい
る。アライメントマーク４の位置は、対角に配置される
ことが最も一般的であり、図においても対向する２辺の
中央付近に示しているが、これ以外の位置に配置しても
全く問題ない。また、アライメントマークの数は２個所
に限らず、３個所以上でも構わない。

【００４７】アライメントマーク４を撮像するための撮
像素子５は、例えば、ＣＣＤカメラで構成する。撮像素
子５には可変倍率光学レンズ６が取付けられており、粗
調整用および微調整用として少なくとも低光学倍率、及
び高光学倍率の２種類の光学倍率にて撮像可能とする。
具体例としては、ズームレンズなどを用いる事ができ
る。

【００４８】本明細書の中で、撮像手段とは、撮像素子
と光学レンズを合わせたものを総称して撮像手段と表現
するものとする。ガラス基板１は、ＸＹθテーブル７上
に載せられ、インクジェットヘッド２に対して走査可能
となるように、Ｘ、Ｙ軸方向およびＸＹ平面内での回転
各θの各自由度を有する。なお、相対的に走査が可能で
あれば、インクジェットヘッド側に自由度があっても、
本発明は有効である。

【００４９】各アライメントマーク４の位置とブラック
マトリックス３で形成される着色領域との位置関係は、
ブラックマトリックスの設計データもしくは実測データ
などにより予めわかっている。また、アライメント基準
位置に対する、インクジェットヘッド２の位置、もしく
は、インクジェットヘッドより吐出されるインク着弾位
置との位置関係も予めわかっている。これにより、アラ
イメント補正を所定の精度で行う事により、上記着色領
域に対して所定の着弾位置精度にてインクを吐出着弾す
る事が可能となる。

【００５０】なお、本発明は、インクジェット工法の種
類、および、インクジェットヘッドの構造、ブラックマ
トリックスの配列種類にかかわらず、同様の効果があ
る。すなわち、インクジェット工法では、着色領域が受
容層と呼ばれるインク吸収性を持ち、インクを染み込ま
せる事により着色を行う工法や、着色領域に顔料分散し
た樹脂を塗布・乾燥・硬化させる工法の何れに対しても
有効である。また、インクジェットヘッドは、ピエゾ素
子の変形を利用した、アクチュエータ内の容積変化によ
りインクを吐出させる構造のインクジェットヘッド、あ
るいは、熱エネルギーを利用してインクを吐出させるイ
ンクジェットヘッドの何れの場合でも有効である。さら
に、図２は、ストライプ配列と呼ばれるブラックマトリ
ックスの配列を示したものであるが、図３のようなデル
タ配列と呼ばれるものに対しても同じ効果がある。

【００５１】次に、本発明の実施の形態１に係るカラー
フィルタ製造装置の動作を、図４を用いて説明する。図
４は、本発明の実施の形態１においてアライメント調整
の動作を説明したフローチャートである。

【００５２】まず、ステップＳ１は、最初にガラス基板
をＸＹθテーブル上に搬入し、吸着、把持を行う。一般
的に移載用ロボットまたはコンベアなどを使って移載を
行う。

【００５３】次に、ステップＳ２は、低光学倍率である
粗調整用撮像手段にてアライメントマークを撮像できる
位置にテーブル移動を行う。特に、この移動を省略でき
るように、ガラス基板を搬入とアライメント粗調整開始
位置を同じ位置で行うよう構成すれば、タクト短縮を実
現できるので好ましい。

【００５４】次に、ステップＳ３は、粗調整用撮像手段
にて、アライメントマークを撮像した後、得られたアラ
イメントマークの画像データに対して画像処理などを用
い、正しくアライメント補正するために必要なＸ軸方向
の補正量、Ｙ軸方向の補正量、θ角度の補正量をそれぞ
れ算出する。ここで必要な補正量の精度は、高いほど好
ましいが、あくまでも、次工程での微調整において微調
整用撮像手段にてアライメントマークを撮像可能な位置
に基板を移動することができれば良い。また、この処理
は、専用の画像処理装置として構成されたユニットで行
っても良いし、ＰＣに画像入力ボードなどにより画像デ
ータを取り込み、画像処理プログラムにより行っても良
い。

【００５５】次に、ステップＳ４は、ステップＳ３で算
出した補正量をもとに、実際にＸＹθテーブルを移動さ
せる。次に、ステップＳ５は、高光学倍率である微調整
用撮像手段にて、アライメントマークを撮像した後、得
られたアライメントマークの画像データに対して画像処
理などを用い、正しくアライメント補正するために必要
なＸ軸方向の補正量、Ｙ軸方向の補正量、θ角度の補正
量をそれぞれ算出する。

【００５６】次にステップＳ６は、ステップＳ５で算出
した誤差量が、予め設定してある規格範囲内であるかど
うかを判別し、規格範囲内であればアライメント補正動
作完了となる。規格範囲外である場合には、次のステッ
プＳ７の処理へ進む。

【００５７】次に、ステップＳ７はステップＳ５で算出
した補正量をもとに、実際にＸＹθテーブルを移動させ
る。次に、ステップＳ８は、再度、微調整用撮像手段に
て、アライメントマークを撮像した後、Ｘ軸方向の補正
量、Ｙ軸方向の補正量、θ角度の誤差量をそれぞれ算出
する。

【００５８】次に、ステップＳ９は、ステップＳ８で算
出した誤差量が、予め設定してある規格範囲内であるか
どうかを判別し、規格範囲内であればアライメント補正
動作完了となる。規格範囲外である場合には、算出した
誤差量を再補正量としてステップＳ７の処理から再度微
調整を行い、このリトライを所定回数繰り返す。

【００５９】上述したフローチャートでは、エラー処理
は示していないが、必要に応じてエラー処理を行う必要
がある。また、アライメント補正を行うためには、少な
くとも２箇所のアライメントマークを撮像する必要があ
る。生産性を向上させるために、画像処理装置を各アラ
イメントマーク毎に独立備え、アライメントマークの撮
像、画像処理、補正量の算出などを独立に行うように構
成しても良い。また、粗調整と微調整とは、同時に行う
必要はなく、時系列的に行うので、画像データ入力部分
を切替えるように構成する事により、画像処理装置を共
用することができ、無駄を省く事ができる。

【００６０】以上のような本実施の形態１のカラーフィ
ルタ製造装置は、ガラス基板の位置決めを行う際に、撮
像手段として、可変倍率光学レンズを備えて、高分解能
と広視野とを両立したアライメントマークの撮像を可能
とし、低光学倍率、及び高光学倍率の２種類の光学倍率
により撮像した画像をもとにアライメント粗調整、及び
アライメント微調整を行なうことにより、高精度なアラ
イメント調整を可能としたので、混色などのない高品質
なカラーフィルタを製造することができる。

【００６１】実施の形態２．本発明の実施の形態２のカ
ラーフィルタ製造装置は、低光学倍率である粗調整用撮
像手段と、高光学倍率である微調整用撮像手段とを各々
独立に配置し、基板を移動させ、撮像位置を変更するこ
とによって、両撮像手段にてアライメントマークの撮像
を行い、該撮像した両画像をもとに、アライメント粗調
整、及びアライメント微調整を行うものである。

【００６２】本発明の実施の形態２に係るカラーフィル
タ製造装置について、図５、図６を用いて説明する。な
お、上述した実施の形態と同じ構成については同じ符号
を用い、説明を省略する。

【００６３】図５は本発明の実施の形態２に係るカラー
フィルタ製造装置の構成を示す図である。図において、
５ａは、粗調整用撮像素子であり、６ａは、粗調整用光
学レンズである。粗調整用撮像素子５ａおよび粗調整用
光学レンズ６ａは、少なくとも２組以上あり、共に、前
記ガラス基板１に対して垂直に配置し、アライメントマ
ーク４を垂直上方向から低光学倍率にて撮像する。５ｂ
は、微調整用撮像素子、６ｂは微調整用光学レンズであ
り、同様にガラス基板１に対して垂直に配置し、アライ
メントマーク４aを垂直上方向から高光学倍率にて撮像
する。

【００６４】次に、本実施の形態２に係るカラーフィル
タ製造装置の動作を、図６を用いて説明する。図６は、
粗調整用撮像素子５ａ、粗調整用光学レンズ６ａ、微調
整用撮像素子５ｂ、微調整用光学レンズ６ｂ、および、
アライメントマーク４、４ａの配置を側面から見た図で
ある。

【００６５】アライメントマーク４を粗調整用撮像素子
５ａで撮像した状態から、微調整用撮像素子５ｂで撮像
するために、アライメントマーク４ａの位置、すなわち
ガラス基板１を搭載しているＸＹθテーブル７を、粗調
整用撮像素子５ａと微調整用撮像素子５ｂとの配置され
ている距離分だけ移動させて、微調整用撮像素子にてア
ライメントマーク４の撮像を行い、アライメント微調整
を行う。

【００６６】以上のような本実施の形態２のカラーフィ
ルタ製造装置は、ガラス基板の位置決めを行う際に、粗
調整用撮像手段と微調整用撮像手段とを各々独立に備
え、基板を移動させて両撮像手段にてアライメントマー
クを撮像することにより、高分解能と広視野とを両立し
たアライメントマークの撮像を行なうことができ、撮像
した画像をもとにアライメント粗調整、及び、アライメ
ント微調整を行なうことによって、高精度なアライメン
ト調整を行うことが可能となり、混色などのない高品質
なカラーフィルタを製造することができる。

【００６７】また、粗調整用と微調整用とが独立に構成
されているので、各撮像素子や各光学レンズの設計や取
付け調整が簡単にできる。

【００６８】実施の形態３．本発明の実施の形態３のカ
ラーフィルタ製造装置は、粗調整用撮像手段と、微調整
用撮像手段とを独立に備え、さらに、撮像する像を分岐
させて両撮像手段にて、同一のアライメントマークを撮
像できるようにする偏光手段を備えて、両撮像手段によ
って撮像した画像をもとに、アライメント粗調整、及び
アライメント微調整を行うものである。

【００６９】本発明の実施の形態３にかかるカラーフィ
ルタ製造装置について、図７、図８を用いて説明する。
なお、上述した実施の形態と同じ構成については同じ符
号を用い、説明を省略する。

【００７０】図７は本発明の実施の形態３に係るカラー
フィルタ製造装置の構成を示す図である。図において、
５ａは、粗調整用撮像素子、５ｂは、微調整用撮像素
子、６ａは、粗調整用光学レンズ、６ｂは微調整用光学
レンズである。両光学レンズの主光軸上には、プリズム
やハーフミラーなどから構成される偏光手段１０を挿入
している。

【００７１】偏光手段１０は、粗調整用撮像素子５ａ、
及び微調整用撮像素子５ｂにて同一のアライメントマー
ク４を撮像できるように、撮像する像を偏光させて両撮
像素子に分岐させる。

【００７２】次に、本実施の形態３に係るカラーフィル
タ装置の動作を、図８を用いて説明する。図８は、これ
らから構成した撮像手段とアライメントマーク４との位
置関係を側面から見た図である。

【００７３】偏光手段１０により、同一のアライメント
マーク４を、粗調整撮像素子５ａで撮像できる中心位置
と、微調整撮像素子５ｂで撮像できる中心位置とに一致
させるような偏光を行い、両撮像素子にて、アライメン
トマーク４を撮像してアライメント粗調整、及びアライ
メント微調整を行う。

【００７４】なお、図では説明のために粗調整用光学レ
ンズ６ａ、微調整用光学レンズ６ｂ、偏光手段１０は、
別体として示しているが、実際の構成上では一体化して
ある場合が多く、機能的に同等であれば同じ効果が期待
できる。

【００７５】以上のような本実施の形態３のカラーフィ
ルタ製造装置は、ガラス基板の位置決めを行う際に、偏
光手段にて撮像する像を粗調整用撮像手段と、微調整用
撮像手段とに分岐させることにより、高分解能と広視野
とを両立したアライメントマークの撮像を行なうことが
でき、該撮像した両画像をもとにアライメント粗調整、
及びアライメント微調整を行なうことによって、高精度
なアライメント調整を可能としたので、混色などのない
高品質なカラーフィルタを製造することができる。

【００７６】また、粗調整動作から微調整動作へ移行す
る際に、アライメントマーク４の位置変化量を非常に小
さく抑えることが可能となり、動作に要する時間を抑
え、タクトアップできる。

【００７７】実施の形態４．本発明の実施の形態４のカ
ラーフィルタ製造装置は、微調整用撮像手段を、基板上
に形成されているアライメントマークを垂直上方向から
撮像できるように配置し、粗調整用撮像手段を、基板面
に対して所定の角度をなす方向からアライメントマーク
を撮像できるように配置して、両撮像手段にてアライメ
ントマークを撮像し、該撮像した両画像をもとにアライ
メント粗調整、及びアライメント微調整を行うものであ
る本発明の実施の形態４に係るカラーフィルタ製造装置
について、図９、図１０を用いて説明する。なお、上述
した実施の形態と同じ構成については同じ符号を用い、
説明を省略する。

【００７８】図９は本発明の実施の形態４に係るカラー
フィルタ製造装置の構成を示す図である。図において、
微調整用撮像素子５ｂ、及び微調整用光学レンズ６ｂ
は、ガラス基板１に対して垂直に配置し、アライメント
マーク４を垂直上方から撮像可能なようにしてある。粗
調整用撮像素子５ａ、及び粗調整用光学レンズ６ａは、
ガラス基板１に対して所定の角度を持たせるように配置
し、かつ、両撮像手段の主光軸の交点にガラス基板１の
上面が一致するように配置する。

【００７９】上述のように配置した両撮像手段の主光軸
を、図１０のようにアライメントマーク４に合わせて、
該両撮像手段にてアライメントマーク４の撮像を行い、
アライメント調整をする。

【００８０】このような構成の光学系の場合において
は、粗調整用撮像手段はアライメントマーク４を斜め方
向から撮像することなり、焦点深度が十分確保できない
ことがあり、一般的には用いられない。しかしながら、
本発明での粗調整用撮像手段の役割は、次工程の微調整
用撮像手段で撮像可能な位置にアライメント補正するこ
とであり、多少ピントがずれて十分鮮明な撮像画像を得
られなかったとしても、余り大きな影響は及ぼさないた
めに問題とはならない。

【００８１】以上のような実施の形態４のカラーフィル
タ製造装置は、ガラス基板の位置決めを行う際に、微調
整手段を基板上のアライメントマークを垂直上方向から
撮像できるように配置し、粗調整用撮像手段を基板面に
対して所定の角度をなす方向から上記アライメントマー
クを撮像できるように配置することにより、高分解能と
広視野とを両立したアライメントマークの撮像を可能と
し、該撮像した両画像をもとにアライメント粗調整、及
びアライメント微調整を行なうことにより、高精度なア
ライメント調整を可能としたので、混色などのない高品
質なカラーフィルタを製造することができる。

【００８２】また、特殊な光学素子を使用することがな
く、アライメント調整を行うことができるので、低コス
トで高品質なカラーフィルタを製造できる。

【００８３】実施の形態５．本発明の実施の形態５のカ
ラーフィルタ製造装置は、撮像手段の故障や、製造しよ
うとするカラーフィルタの機種変更により撮像位置を変
更する場合に、粗調整用撮像手段と、微調整用撮像手段
とを、相互に固定する固定手段を備え、両撮像手段を、
その相対的位置を保持して移動できるようにしたもので
ある。

【００８４】本発明の実施の形態５に係るカラーフィル
タ製造装置について、図１１を用いて説明する。図１１
は、図１０の実施の形態４の撮像素子、及び光学レンズ
を例に、本実施の形態５における撮像手段の構成を示し
た図である。

【００８５】図において、１１は、固定具であり、粗調
整用撮像素子５ａ、及び粗調整用光学レンズ６ａと、微
調整用撮像素子５ｂ、及び微調整用光学レンズ６ｂと
を、相互に固定する。

【００８６】また、粗調整用撮像素子５ａ、及び粗調整
用光学レンズ６ａと、微調整用撮像素子５ｂ、及び微調
整用光学レンズ６ｂとは、両撮像素子にてアライメント
マークを撮像できるように位置調整された状態で固定さ
れている。

【００８７】本実施の形態５のカラーフィルタ製造装置
では、製造しようとするカラーフィルタの機種変更など
でアライメントマーク位置を変更する場合、固定具１１
ごと移動することにより、該固定具１１に取り付けられ
ている各撮像素子および各光学レンズの相対的な配置は
変わることなく撮像位置を変更できる。

【００８８】従って、製造しようとするカラーフィルタ
の機種切替えや、撮像手段の故障などにより、該撮像手
段の移動や調整が必要になった場合においても、固定具
により粗調整用、及び微調整用の両撮像手段の位置関係
は保持されているので、製造しようとするカラーフィル
タの機種切替えの作業を、容易に、且つ短時間で行うこ
とができる。

【００８９】実施の形態６．本発明の実施の形態６のカ
ラーフィルタ製造装置は、基板上に配置した３つのアラ
イメントマークの撮像位置に、２台の粗調整用撮像手段
と、３台の微調整用撮像手段とを、最も高精度にアライ
メント調整ができるように配置したものである。

【００９０】本発明の実施の形態６について、図１２を
用いて説明する。図１２は、実施の形態４の撮像素子、
光学レンズの配置を例に、本実施の形態６に係るカラー
フィルタ製造装置の構成を示す図である。

【００９１】図において、微調整用撮像素子５ｂ、及び
微調整用光学レンズ６ｂは、ガラス基板１の４隅のう
ち、３箇所のアライメントマークを撮像できるように３
組配置している。各撮像手段の間隔が最も大きい対角に
配置された各微調整撮像素子５ｂの近傍には、該各微調
整撮像素子に対応するアライメントマークを撮像可能な
粗調整撮像素子５ａ、粗調整用光学レンズ６ａを２組配
置している。

【００９２】また、同一のアライメントマークを撮像す
る微調整用撮像素子５ｂ、及び微調整用光学レンズ６ｂ
と、粗調整用撮像素子５ａ，及び粗調整用光学レンズ６
ａとの１対を、機種切替え時にも位置を変更しないよう
固定し、残りの撮像素子を機種により位置変更可能にす
ることによって、短時間での機種切替えを可能とする。
このとき、位置変更可能な微調整用素子、及び粗調整用
撮像素子の１対を、実施の形態５の固定具１１を用いて
固定することにより、より短時間での機種変更を可能に
する。

【００９３】なお、撮像手段は、微調整用が３台、粗調
整用が２台で示しているが、精度を向上させるために、
数を増やす事も可能である。

【００９４】また、アライメントマークは、ガラス基板
の四隅近傍に配置しているが、四辺の中央付近、また
は、オフセットした位置に配置しても同様の効果を得る
ことができる。

【００９５】以上のような本実施の形態６のカラーフィ
ルタ製造装置は、微調整用、及び粗調整用の両撮像手段
を、最も高精度にアライメント調整できるような配置に
したので、粗調整、及び微調整の各調整精度を最も高
く、且つ、安定した調整を行うことができ、混色などの
ない高品質なカラーフィルタを製造することができる。

【００９６】また、同一のアライメントマークを撮像す
る、微調整用撮像手段と、粗調整用撮像手段との１対
を、機種切替え時にも位置を変更しないように固定し、
残りの撮像手段を可動にすることによって、機種切替え
の作業を容易に、且つ、短時間で行うことができる。

【００９７】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載のカラーフィル
タ製造方法によれば、複数のインク吐出ノズルを有する
インクジェットヘッドを、基板に対して相対的に走査さ
せながらインクを吐出することにより製造するカラーフ
ィルタの製造方法において、上記基板上に形成されてい
るアライメントマークを、少なくとも低光学倍率、及び
高光学倍率の２種類の光学倍率にて、撮像する撮像手段
と、上記低光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアラ
イメント粗調整動作と、上記高光学倍率にて撮像した画
像をもとに行うアライメント微調整動作とを行うアライ
メント調整手段とを備え、上記撮像手段により低光学倍
率にて撮像した画像をもとに行うアライメント粗調整動
作と、高光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライ
メント微調整動作とを組み合わせて行い、上記基板上の
着色すべき領域と、上記インクジェットヘッドから吐出
されるインクの着弾位置とが一致するように、上記基板
の位置決めを行うので、基板の高精度な位置決めを行う
際に、高分解能と広視野とを両立した、アライメントマ
ークの撮像を可能にするとともに、装置の高価格化、タ
クトダウンによる生産性の低下などを生じることなく、
高精度なアライメント調整を可能にし、混色などのない
高品質なカラーフィルタを製造することができる効果が
ある。

【００９８】また、本発明の請求項２に記載のカラーフ
ィルタ製造方法によれば、請求項１に記載のカラーフィ
ルタ製造方法において、上記基板を垂直上方向から撮像
できるように配置され、上記低光学倍率にて撮像を行う
粗調整用撮像手段と、上記基板を垂直上方向から撮像で
きるように配置され、上記高光学倍率にて撮像を行う微
調整用撮像手段とを備え、上記粗調整用撮像手段による
撮像結果を用いて、上記アライメント粗調整動作を行
い、その後、基板の位置を移動させて、上記微調整用撮
像手段による撮像結果を用いて、上記アライメント微調
整動作を行うので、基板の高精度な位置決めを行なう際
に、高分解能と広視野とを両立した、アライメントマー
クの撮像を可能にするとともに、装置の高価格化、タク
トダウンによる生産性の低下などを生じることなく、高
精度なアライメント調整を可能にし、混色などのない高
品質なカラーフィルタを製造することができる効果があ
る。

【００９９】また、本発明の請求項３に記載のカラーフ
ィルタ製造方法によれば、請求項１に記載のカラーフィ
ルタ製造方法において、上記粗調整用撮像手段と、上記
微調整用撮像手段とを、上記基板を垂直上方向から撮像
できるように配置し、さらに、撮像する像を分岐させ
て、上記粗調整用撮像手段、及び上記微調整用撮像手段
によって、同一のアライメントマークを撮像できるよう
にする偏光手段を備え、上記粗調整用撮像手段による撮
像結果を用いて、上記アライメント粗調整動作を行い、
上記微調整用撮像手段を用いて、上記アライメント微調
整動作を行うので、基板の高精度な位置決めを行なう際
に、高分解能と広視野とを両立した、アライメントマー
クの撮像を可能にするとともに、装置の高価格化、タク
トダウンによる生産性の低下などを生じることなく、高
精度なアライメント調整を可能にし、混色などのない高
品質なカラーフィルタを製造することができ、また、基
板の動作を小さく抑えて、両光学倍率にて、撮像できる
ので、アライメント調整に要する時間を短縮できる効果
がある。

【０１００】また、本発明の請求項４に記載のカラーフ
ィルタ製造方法によれば、請求項１に記載のカラーフィ
ルタ製造方法において、上記基板上に形成されているア
ライメントマークを垂直上方向から撮像できるように配
置した上記微調整用撮像手段と、上記基板面に対して所
定角度をなす方向から上記アライメントマークを撮像で
きるように配置した上記粗調整用撮像手段とを備え、上
記粗調整用撮像手段による撮像結果を用いて、上記アラ
イメント粗調整動作を行い、上記微調整用撮像手段によ
る撮像結果を用いて、上記アライメント微調整動作を行
うので、基板の高精度な位置決めを行なう際に、高分解
能と広視野とを両立した、アライメントマークの撮像を
可能にするとともに、装置の高価格化、タクトダウンに
よる生産性の低下などを生じることなく、高精度なアラ
イメント調整を可能にし、低コストで、混色などのない
高品質なカラーフィルタを製造することができる効果が
ある。

【０１０１】また、本発明の請求項５に記載のカラーフ
ィルタ製造方法によれば、請求項２ないし４のいずれか
に記載のカラーフィルタ製造方法において、上記粗調整
用撮像手段と、上記微調整用撮像手段とを、相互に固定
する固定手段を備え、その相対的位置を保持して移動で
きるので、製造しようとするカラーフィルタの機種切替
えや、撮像手段の故障などにより、撮像手段の移動や調
整が必要な場合においても、両光学倍率の撮像位置の位
置関係は保持されており、撮像手段の移動や調整の作業
を、容易に、且つ短時間で実現できる効果がある。

【０１０２】また、本発明の請求項６に記載のカラーフ
ィルタ製造方法によれば、請求項１ないし５のいずれか
に記載のカラーフィルタ製造方法において、上記基板上
に少なくとも３つのアライメントマークを配置し、上記
３つのアライメントマークのうち最も間隔が大きい２つ
のアライメントマークのそれぞれを撮像する、少なくと
も２台の粗調整用撮像手段と、上記３つのアライメント
マークのそれぞれを撮像する少なくとも３台の微調整用
撮像手段とを備えるので、アライメント粗調整、及びア
ライメント微調整の各調整精度を最も高く、且つ、安定
したアライメント調整ができる配置となり、混色などの
ない高品質なカラーフィルタを製造することができる効
果がある。

【０１０３】また、本発明の請求項７に記載のカラーフ
ィルタ製造装置によれば、複数のインク吐出ノズルを有
するインクジェットヘッドを、基板に対して相対的に走
査させながらインクを吐出することにより製造するカラ
ーフィルタ製造装置において、上記基板上に形成されて
いるアライメントマークを、少なくとも低光学倍率、及
び高光学倍率の２種類の光学倍率にて、撮像する撮像手
段と、上記低光学倍率にて撮像した画像をもとに行うア
ライメント粗調整動作と、上記高光学倍率にて撮像した
画像をもとに行うアライメント微調整動作とを行うアラ
イメント調整手段とを備え、上記アライメント調整手段
による上記アライメント粗調整動作と、上記アライメン
ト微調整動作とを組み合わせて、上記基板上の着色すべ
き領域と、上記インクジェットヘッドから吐出されるイ
ンクの着弾位置とが一致するように、上記基板の位置決
めを行うので、基板の高精度な位置決めを行う際に、高
分解能と広視野とを両立したアライメントマークの撮像
を可能にするとともに、装置の高価格化、タクトダウン
による生産性の低下などを生じることなく、高精度なア
ライメント調整を可能にし、混色などのない高品質なカ
ラーフィルタを製造することができる効果がある。

【０１０４】また、本発明の請求項８に記載のカラーフ
ィルタ製造装置によれば、請求項７に記載のカラーフィ
ルタ製造装置において、上記基板を垂直上方向から撮像
できるように配置され、上記低光学倍率で撮像する粗調
整用撮像手段と、上記基板を垂直上方向から撮像できる
ように配置され、上記高光学倍率で撮像する微調整用撮
像手段とを各々独立に備え、上記基板の位置を移動させ
て、上記両撮像手段にて、上記アライメントマークを撮
像し、上記アライメント調整手段によりアライメント調
整を行なうので、基板の高精度な位置決めを行なう際
に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマーク
の撮像を可能にするとともに、装置の高価格化、タクト
ダウンによる生産性の低下などを生じることなく、高精
度なアライメント調整を可能にし、混色などのない高品
質なカラーフィルタを製造することができ、また、粗調
整用撮像手段と、微調整用撮像手段とが互いに独立した
構成であるために、各撮像手段部の設計、及び調整作業
を簡単に行うことができる効果がある。

【０１０５】また、本発明の請求項９記載のカラーフィ
ルタ製造装置によれば、請求項７に記載のカラーフィル
タ製造装置において、上記基板を垂直上方向から撮像で
きるように各々独立に配置した、上記粗調整用撮像手
段、及び上記微調整用撮像手段と、撮像する像を分岐さ
せて、該粗整用撮像手段、及び該微調整用撮像手段に
て、同一のアライメントマークを撮像することができる
ようにする偏光手段とを備え、上記撮像手段にて、上記
アライメントマークを撮像し、上記アライメント調整手
段によりアライメント調整を行なうので、基板の高精度
な位置決めを行なう際に、高分解能と広視野とを両立し
たアライメントマークの撮像を可能にするとともに、装
置の高価格化、タクトダウンによる生産性の低下などを
生じることなく、高精度なアライメント調整を可能に
し、混色などのない高品質なカラーフィルタを製造する
ことができ、また、基板の動作を小さく抑えることがで
きることにより、アライメント調整に要する時間を短縮
できる。

【０１０６】また、本発明の請求項１０に記載のカラー
フィルタ製造装置によれば、請求項７に記載のカラーフ
ィルタ製造装置において、上記基板上に形成されている
上記アライメントマークを垂直上方向から撮像可能とな
るように配置した上記微調整用撮像手段と、上記基板に
対して所定角度をなす方向から該アライメントマークを
撮像可能となるように配置した上記粗調整用撮像手段と
を備え、上記両撮像手段にて、上記アライメントマーク
を撮像し、上記アライメント調整手段により、アライメ
ント調整を行なうので、基板の高精度な位置決めを行な
う際に、高分解能と広視野とを両立したアライメントマ
ークの撮像を可能にするとともに、装置の高価格化、タ
クトダウンによる生産性の低下などを生じることなく、
高精度なアライメント調整を可能にし、低コストで、混
色などのない高品質なカラーフィルタを製造することが
できる効果がある。

【０１０７】また、本発明の請求項１１に記載のカラー
フィルタ製造装置によれば、請求項８ないし１０のいず
れかに記載のカラーフィルタ製造装置において、上記粗
調整用撮像手段と、上記微調整用撮像手段とを、相互に
固定する固定手段を備え、その相対的位置を保持して移
動できるので、製造しようとするカラーフィルタの機種
切替えや、撮像手段の故障などにより、撮像手段の移動
や調整が必要な場合においても、両光学倍率の撮像位置
の位置関係は保持されており、撮像手段の移動や調整の
作業を、容易に、且つ短時間で実現できる効果がある。

【０１０８】また、本発明の請求項１２に記載のカラー
フィルタ製造装置によれば、請求項７ないし１１のいず
れかに記載のフィルタ製造装置において、上記基板上に
少なくとも３つのアライメントマークを配置し、上記３
つのアライメントマークのうち、最も間隔が大きい２つ
のアライメントマークのそれぞれを撮像する、少なくと
も２台の粗調整用撮像手段と、上記３つのアライメント
マークのそれぞれを撮像する、少なくとも３台の微調整
用撮像手段とを備えたので、アライメント粗調整、及び
アライメント微調整の各調整精度を最も高く、且つ、安
定して調整を行うことができる配置となり、混色などの
ない高品質なカラーフィルタを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１におけるカラーフィルタ
製造装置の構成図

【図２】本発明の実施の形態１におけるストライプ配列
のブラックマトリックスの図

【図３】本発明の実施の形態１におけるデルタ配列のブ
ラックマトリックスの図

【図４】本発明の実施の形態１におけるアライメント動
作のフローチャート

【図５】本発明の実施の形態２におけるカラーフィルタ
製造装置の構成図

【図６】本発明の実施の形態２における撮像手段の配置
を示す構成図

【図７】本発明の実施の形態３におけるカラーフィルタ
製造装置の構成図

【図８】本発明の実施の形態３における撮像手段の配置
を示す構成図

【図９】本発明の実施の形態４におけるカラーフィルタ
製造装置の構成図

【図１０】本発明の実施の形態４における撮像手段の配
置を示す構成図

【図１１】本発明の実施の形態５における撮像手段の配
置を示す構成図

【図１２】本発明の実施の形態６におけるカラーフィル
タ製造装置の構成図

【図１３】従来技術におけるカラーフィルタ製造装置の
構成図

【符号の説明】

１ガラス基板２インクジェットヘッド３ブラックマトリックス４アライメントマーク４ａＸＹθテーブル移動後のアライメントマーク５撮像素子５ａ粗調整用撮像素子５ｂ微調整用撮像素子６可変倍率光学レンズ６ａ粗調整用光学レンズ６ｂ微調整用光学レンズ７ＸＹθテーブル８架台１０偏光手段１１固定具１２固定倍率レンズ１３着色領域

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のインク吐出ノズルを有するインク
ジェットヘッドを、基板に対して相対的に走査させなが
らインクを吐出することにより製造するカラーフィルタ
の製造方法において、上記基板上に形成されているアライメントマークを、少
なくとも低光学倍率、及び高光学倍率の２種類の光学倍
率にて、撮像する撮像手段と、上記低光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメ
ント粗調整動作と、上記高光学倍率にて撮像した画像を
もとに行うアライメント微調整動作とを行うアライメン
ト調整手段とを備え、上記撮像手段により低光学倍率にて撮像した画像をもと
に行うアライメント粗調整動作と、高光学倍率にて撮像
した画像をもとに行うアライメント微調整動作とを組み
合わせて行い、上記基板上の着色すべき領域と、上記イ
ンクジェットヘッドから吐出されるインクの着弾位置と
が一致するように、上記基板の位置決めを行う、ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】請求項１に記載のカラーフィルタ製造方
法において、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置され、
上記低光学倍率にて撮像を行う粗調整用撮像手段と、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置され、
上記高光学倍率にて撮像を行う微調整用撮像手段とを備
え、上記粗調整用撮像手段による撮像結果を用いて、上記ア
ライメント粗調整動作を行い、その後、基板の位置を移
動させて、上記微調整用撮像手段による撮像結果を用い
て、上記アライメント微調整動作を行う、ことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項３】請求項１に記載のカラーフィルタ製造方
法において、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置した、
上記粗調整用撮像手段と、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置した、
上記微調整用撮像手段と、撮像する像を分岐させて、上記粗調整用撮像手段、及び
上記微調整用撮像手段にて、同一のアライメントマーク
を撮像できるようにする偏光手段とを備え、上記粗調整用撮像手段による撮像結果を用いて、上記ア
ライメント粗調整動作を行い、上記微調整用撮像手段を
用いて、上記アライメント微調整動作を行う、ことを特
徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項４】請求項１に記載のカラーフィルタ製造方
法において、上記基板上に形成されているアライメントマークを垂直
上方向から撮像できるように配置した上記微調整用撮像
手段と、上記基板面に対して所定角度をなす方向から上記アライ
メントマークを撮像できるように配置した上記粗調整用
撮像手段とを備え、上記粗調整用撮像手段による撮像結果を用いて、上記ア
ライメント粗調整動作を行い、上記微調整用撮像手段に
よる撮像結果を用いて、上記アライメント微調整動作を
行う、ことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項５】請求項２ないし４のいずれかに記載のカ
ラーフィルタ製造方法において、上記粗調整用撮像手段と、上記微調整用撮像手段とを、
相互に固定する固定手段を備え、その相対的位置を保持
して移動できる、ことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項６】請求項１ないし５のいずれかに記載のカ
ラーフィルタ製造方法において、上記基板上に少なくとも３つのアライメントマークを配
置し、上記３つのアライメントマークのうち最も間隔が大きい
２つのアライメントマークのそれぞれを撮像する、少な
くとも２台の粗調整用撮像手段と、上記３つのアライメントマークのそれぞれを撮像する少
なくとも３台の微調整用撮像手段とを備える、ことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。
【請求項７】複数のインク吐出ノズルを有するインク
ジェットヘッドを、基板に対して相対的に走査させなが
らインクを吐出することにより製造するカラーフィルタ
製造装置において、上記基板上に形成されているアライメントマークを、少
なくとも低光学倍率、及び高光学倍率の２種類の光学倍
率にて、撮像する撮像手段と、上記低光学倍率にて撮像した画像をもとに行うアライメ
ント粗調整動作と、上記高光学倍率にて撮像した画像を
もとに行うアライメント微調整動作とを行うアライメン
ト調整手段とを備え、上記アライメント調整手段による上記アライメント粗調
整動作と、上記アライメント微調整動作とを組み合わせ
て、上記基板上の着色すべき領域と、上記インクジェッ
トヘッドから吐出されるインクの着弾位置とが一致する
ように、上記基板の位置決めを行う、ことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項８】請求項７に記載のカラーフィルタ製造装
置において、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置され、
上記低光学倍率で撮像する粗調整用撮像手段と、上記基板を垂直上方向から撮像できるように配置され、
上記高光学倍率で撮像する微調整用撮像手段とを各々独
立に備え、上記基板の位置を移動させて、上記両撮像手段にて、上
記アライメントマークを撮像し、上記アライメント調整
手段によりアライメント調整を行なう、ことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項９】請求項７に記載のカラーフィルタ製造装
置において、上記基板を垂直上方向から撮像できるように各々独立に
配置した、上記粗調整用撮像手段、及び上記微調整用撮
像手段と、撮像する像を分岐させて、該粗整用撮像手段、及び該微
調整用撮像手段にて、同一のアライメントマークを撮像
することができるようにする偏光手段とを備え、上記両撮像手段にて、上記アライメントマークを撮像
し、上記アライメント調整手段によりアライメント調整
を行なう、ことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項１０】請求項７に記載のカラーフィルタ製造
装置において、上記基板上に形成されている上記アライメントマークを
垂直上方向から撮像可能となるように配置した上記微調
整用撮像手段と、上記基板に対して所定角度をなす方向から該アライメン
トマークを撮像可能となるように配置した上記粗調整用
撮像手段とを備え、上記両撮像手段にて、上記アライメントマークを撮像
し、上記アライメント調整手段により、アライメント調
整を行なう、ことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項１１】請求項８ないし１０のいずれかに記載
のカラーフィルタ製造装置において、上記粗調整用撮像手段と、上記微調整用撮像手段とを、
相互に固定する固定手段を備え、その相対的位置を保持
して移動できる、ことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項１２】請求項７ないし１１のいずれかに記載
のフィルタ製造装置において、上記基板上に少なくとも３つのアライメントマークを配
置し、上記３つのアライメントマークのうち、最も間隔が大き
い２つのアライメントマークのそれぞれを撮像する、少
なくとも２台の粗調整用撮像手段と、上記３つのアライメントマークのそれぞれを撮像する、
少なくとも３台の微調整用撮像手段とを備えた、ことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項１３】請求項１ないし１２のいずれかに記載
のカラーフィルタ製造方法、またはカラーフィルタ製造
装置により製造する、ことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１４】請求項１３に記載のカラーフィルタを
備えた、ことを特徴とする映像表示装置。
【請求項１５】請求項１４に記載の映像表示装置を備
えた、ことを特徴とする装置。