JP2003127392A5 - ヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 それぞれがヘッド保持部材に保持された複数の液滴吐出ヘッドを、上下反転させた単一のキャリッジに対し、前記ヘッド保持部材を介してそれぞれのノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着したヘッドユニットに臨み、前記各液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立装置であって、
前記キャリッジの位置および前記各液滴吐出ヘッドの位置をそれぞれ画像認識する認識手段と、
前記液滴吐出ヘッドが上向き状態となるように前記キャリッジを保持すると共に前記キャリッジをＸ・Ｙ・θ軸方向に移動させる移動手段と、
前記ヘッド保持部材に係合し、前記ヘッド保持部材をＸ・Ｙ・θ軸方向に微少移動させる補正手段と、
前記ヘッド保持部材をキャリッジに固定する固定手段と、
前記認識手段、前記移動手段、前記補正手段および前記固定手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記認識手段の認識結果に基づいて、前記移動手段を駆動し前記キャリッジを位置決めした後、前記補正手段を駆動し前記キャリッジに対し前記各ヘッド保持部材を介して前記各液滴吐出ヘッドを位置決めし、更に前記固定手段を駆動し前記各ヘッド保持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに固定することを特徴とするヘッドユニットの組立装置。
【請求項２】 前記キャリッジの位置および前記キャリッジに搭載された前記各液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクを備え、
前記制御手段は、前記認識手段を介して前記移動手段に保持した前記アライメントマスクおよび前記ヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびユニット位置データに基づいて、前記移動手段、前記補正手段および前記固定手段を制御することを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項３】 前記キャリッジの位置認識は、相互に離間して前記キャリッジに設けられた２つの基準マークを、前記認識手段がそれぞれ画像認識することで行われ、
前記認識手段は、前記キャリッジに対するＸ軸方向およびＹ軸方向のいずれか一方向の相対的移動により、前記２つの基準マークをそれぞれ視野内に取り込む認識カメラを有していることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項４】 前記各液滴吐出ヘッドの位置認識は、前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面に形成したノズル列における離間した２つのノズルを、前記認識手段がそれぞれ画像認識することで行われ、
前記認識手段は、前記２つのノズルのそれぞれを同時に視野内に取り込む２つの認識カメラを有していることを特徴とする請求項１、２または３に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項５】 前記移動手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、
前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブル上に固定され、前記液滴吐出ヘッドを上向き状態で前記キャリッジを保持するセット部材とを有していることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項６】 前記ヘッド保持部材には、前記補正手段が係合すると共に相互に離間して配設された２つの係合孔が形成されており、
前記補正手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、
前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブルに取り付けたＺ軸移動テーブルと、
前記Ｚ軸移動テーブルに取り付けられ、前記ヘッド保持部材の２つの係合孔に係合する一対の係合アームとを有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項７】 前記固定手段は、前記ヘッド保持部材と前記キャリッジとの間に接着剤を塗布する接着剤塗布機構と、
前記接着剤塗布機構をＸ・Ｙ・Ｚ軸方向に移動させる移動テーブルとを有していることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項８】 それぞれがヘッド保持部材に保持された複数の液滴吐出ヘッドを、上下反転させた単一のキャリッジに対し、前記ヘッド保持部材を介してそれぞれのノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着したヘッドユニットに臨み、前記各液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、
前記キャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工程と、
前記キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、前記キャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程と、
前記各液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、
前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記キャリッジに対し前記各ヘッド保持部材を介して前記各液滴ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、
前記位置決めされた前記各ヘッド保持部材を前記キャリッジに固定する固定工程と、を備えたことを特徴とするヘッドユニットの組立方法。
【請求項９】 前記ヘッド認識工程、前記ヘッド位置決め工程および前記固定工程を、この工程順に前記液滴吐出ヘッドの数分繰り返すことを特徴とする請求項８に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項１０】 前記固定工程は、接着剤により前記ヘッド保持部材を前記キャリッジに接着することで行われ、
前記固定工程の後、前記ヘッド保持部材を前記キャリッジに機械的に固定する本固定工程を、更に備えたことを特徴とする請求項８または９に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項１１】 前記キャリッジの位置および前記キャリッジに搭載された前記各液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、
前記キャリッジ位置決め工程および前記ヘッド位置決め工程は、共通のセット部材にセットした前記アライメントマスクおよび前記ヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびユニット位置データに基づいて、それぞれ為されることを特徴とする請求項８、９または１０に記載のヘッドユニットの組立方法。
【請求項１２】 ヘッド保持部材に保持された液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへの固定に先立ち、上下反転させた前記キャリッジに対し、前記ヘッド保持部材を介してノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、
前記液滴吐出ヘッドが上向き状態となるように前記キャリッジをセットするセット部材と、
前記液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する認識手段と、
前記ヘッド保持部材に係合し、前記ヘッド保持部材をＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させる補正手段と、
前記認識手段および前記補正手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記認識手段の認識結果に基づいて、前記補正手段を駆動し、前記キャリッジに対し前記ヘッド保持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを位置決めすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１３】 前記キャリッジに対する前記液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクを備え、
前記制御手段は、前記認識手段を介して前記セット部材にセットした前記アライメントマスクおよび前記ヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびユニット位置データに基づいて、前記補正手段を制御することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１４】 前記液滴吐出ヘッドの位置認識は、当該液滴吐出ヘッドのノズル形成面に形成したノズル列における離間した２つのノズルを、前記認識手段がそれぞれ画像認識することで行われ、
前記認識手段は、前記２つのノズルのそれぞれを同時に視野内に取り込む２つの認識カメラを有していることを特徴とする請求項１２または１３に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１５】 前記認識手段は、前記２つの認識カメラにおける相互の視野間寸法を調節可能な視野間調節機構を有していることを特徴とする請求項１４に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１６】 前記ヘッド保持部材には、前記移動手段が係合すると共に、相互に離間して配設された２つの係合孔が形成されており、
前記補正手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、
前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブルに取り付けたＺ軸移動テーブルと、
前記Ｚ軸移動テーブルに取り付けられ、前記ヘッド保持部材の２つの係合孔に係合する一対の係合アームとを有していることを特徴とする請求項１２ないし１５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１７】 前記Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのＸ軸移動テーブルおよびＹ軸移動テーブルは、それぞれ駆動源を構成するリニアモータと、移動をガイドするエアースライダとを有していることを特徴とする請求項１６に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１８】 前記各係合アームは、先端部が前記各係合孔に挿入される係合ピンを有し、
前記係合ピンの先端部は、先端側を前記係合孔より細径とし基端側を前記係合孔より太径とするテーパー形状に形成されていることを特徴とする請求項１６または１７に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項１９】 前記各係合アームは、前記係合ピンをその軸方向の進退自在に保持するピンホルダと、
前記係合ピンを突出方向に付勢するばねとを、更に有していることを特徴とする請求項１８に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項２０】 前記ヘッド保持部材の２つの係合孔は、一方が円形に形成され、他方が長円形に形成されていることを特徴とする請求項１６ないし１９のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置。
【請求項２１】 請求項１２ないし２０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの位置決め装置を備えたことを特徴とするヘッドユニットの組立装置。
【請求項２２】 ヘッド保持部材に搭載された液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへの固定に先立ち、上下反転させた単一のキャリッジに対し、前記ヘッド保持部材を介してそれぞれのノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決め方法であって、
前記液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、
前記ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、前記キャリッジに対し前記ヘッド保持部材を介して前記液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程とを備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの位置決め方法。
【請求項２３】 前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、
前記ヘッド位置決め工程は、共通のセット部材にセットした前記アライメントマスクおよび前記液滴吐出ヘッドからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびヘッド位置データに基づいて為されることを特徴とする請求項２２に記載の液滴吐出ヘッドの位置決め方法。
【請求項２４】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２５】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２６】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とする電子放出装置の製造方法。
【請求項２７】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
【請求項２８】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項２９】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３０】 前記多数のフィルタエレメントは、前記基板上に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部に収容されており、
前記フィルタエレメントを形成する前に、
前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする請求項２９に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３１】 前記多数のフィルタエレメントおよび前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されており、
前記フィルタエレメントを形成した後に、
前記複数の液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成することを特徴とする請求項３０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３２】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬの製造方法。
【請求項３３】 前記多数のＥＬ発光層は、前記基板上に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部に収容されており、
前記ＥＬ発光層を形成する前に、
前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする請求項３２に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項３４】 前記多数のＥＬ発光層と前記基板との間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、
前記バンクを形成する前に、
前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを特徴とする請求項３３に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項３５】 前記多数のＥＬ発光層および前記バンクを覆うように対向電極が形成されており、
前記ＥＬ発光層を形成した後に、
前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴とする請求項３４に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項３６】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的に吐出して少なくとも一方の前記基板上に前記スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項３７】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴とする金属配線形成方法。
【請求項３８】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成することを特徴とするレンズ形成方法。
【請求項３９】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴とするレジスト形成方法。
【請求項４０】 請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特徴とする光拡散体形成方法。

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドの複数個を、単一のキャリッジに組み付けるヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、並びに上記ヘッドユニットを用いた液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関するものである。

本発明は、複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリッジに安定に且つ精度良く組み付けることができるヘッドユニットの組立装置および組立方法、液滴吐出ヘッドの位置決め装置および位置決め方法、並びに上記ヘッドユニットを用いた液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供することをその課題としている。

【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドユニットの組立装置は、それぞれがヘッド保持部材に保持された複数の液滴吐出ヘッドを、上下反転させた単一のキャリッジに対し、ヘッド保持部材を介してそれぞれのノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着したヘッドユニットに臨み、各液滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立装置であって、キャリッジの位置および各液滴吐出ヘッドの位置をそれぞれ画像認識する認識手段と、液滴吐出ヘッドが上向き状態となるようにキャリッジを保持すると共にキャリッジをＸ・Ｙ・θ軸方向に移動させる移動手段と、ヘッド保持部材に係合し、ヘッド保持部材をＸ・Ｙ・θ軸方向に微少移動させる補正手段と、ヘッド保持部材をキャリッジに固定する固定手段と、認識手段、移動手段、補正手段および固定手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、認識手段の認識結果に基づいて、移動手段を駆動しキャリッジを位置決めした後、補正手段を駆動しキャリッジに対し各ヘッド保持部材を介して各液滴吐出ヘッドを位置決めし、更に固定手段を駆動し各ヘッド保持部材を介して液滴吐出ヘッドをキャリッジに固定することを特徴とする。

これらの場合、移動手段は、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルと、Ｘ・Ｙ・θ軸移動テーブルのθ軸移動テーブル上に固定され、液滴吐出ヘッドを上向き状態でキャリッジを保持するセット部材とを有していることが、好ましい。

本発明のヘッドユニットの組立方法は、それぞれがヘッド保持部材に保持された複数の液滴吐出ヘッドを、上下反転させた単一のキャリッジに対し、ヘッド保持部材を介してそれぞれのノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着したヘッドユニットに臨み、各液滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決めした状態で固定するヘッドユニットの組立方法であって、キャリッジの位置を画像認識するキャリッジ認識工程と、キャリッジ認識工程における認識結果に基づいて、キャリッジを位置決めするキャリッジ位置決め工程と、各液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、キャリッジに対し各ヘッド保持部材を介して各液滴ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程と、位置決めされた各ヘッド保持部材をキャリッジに固定する固定工程と、を備えたことを特徴とする。

これらの場合、キャリッジの位置およびキャリッジに搭載された各液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、キャリッジ位置決め工程およびヘッド位置決め工程は、共通のセット部材にセットしたアライメントマスクおよびヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびユニット位置データに基づいて、それぞれ為されることが、好ましい。

本発明の液滴吐出ヘッドの位置決め装置は、ヘッド保持部材に保持された液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへの固定に先立ち、上下反転させたキャリッジに対し、ヘッド保持部材を介してノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着した液滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決め装置であって、液滴吐出ヘッドが上向き状態となるようにキャリッジをセットするセット部材と、液滴吐出ヘッドの位置を画像認識する認識手段と、ヘッド保持部材に係合し、ヘッド保持部材をＸ・Ｙ・θ軸方向に相対的に微少移動させる補正手段と、認識手段および補正手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は、認識手段の認識結果に基づいて、補正手段を駆動し、キャリッジに対しヘッド保持部材を介して液滴吐出ヘッドを位置決めすることを特徴とする。

この場合、キャリッジに対する液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクを備え、制御手段は、認識手段を介してセット部材にセットしたアライメントマスクおよびヘッドユニットからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびユニット位置データに基づいて、補正手段を制御することが、好ましい。

本発明の液滴吐出ヘッドの位置決め方法は、ヘッド保持部材に搭載された液滴吐出ヘッドのこれが搭載されるキャリッジへの固定に先立ち、上下反転させた単一のキャリッジに対し、ヘッド保持部材を介してそれぞれのノズル形成面を上向きにして吊下するように仮装着した液滴吐出ヘッドをキャリッジに位置決めする液滴吐出ヘッドの位置決め方法であって、液滴吐出ヘッドの位置を画像認識するヘッド認識工程と、ヘッド認識工程における認識結果に基づいて、キャリッジに対しヘッド保持部材を介して液滴吐出ヘッドを位置決めするヘッド位置決め工程とを備えたことを特徴とする。

この場合、キャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドの位置をパターン形成したアライメントマスクが用意されており、ヘッド位置決め工程は、共通のセット部材にセットしたアライメントマスクおよび液滴吐出ヘッドからそれぞれ得た、マスタ位置データおよびヘッド位置データに基づいて為されることが、好ましい。