JP2003127391A

JP2003127391A - ヘッドユニットのアライメントマスクおよびこれがセット可能なヘッドユニットの組立装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ｐｄｐ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

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Publication number: JP2003127391A
Application number: JP2001322828A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Nakamura; 真一中村; Yoshiaki Yamada; 善昭山田
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2001-10-19
Filing date: 2001-10-19
Publication date: 2003-05-08
Anticipated expiration: 2021-10-19
Also published as: JP3893936B2

Abstract

(57)【要約】【課題】単一のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッド
を、ばらつきの無い高い精度で搭載することを可能とす
るヘッドユニットのアライメントマスクおよびこれがセ
ット可能なヘッドユニットの組立装置を提供することを
その課題としている。【解決手段】単一のキャリッジ２に複数の液滴吐出ヘ
ッド３を搭載したヘッドユニット１のアライメントマス
クＤであって、液滴吐出ヘッド３のノズル形成面５２に
平行な平面内における各液滴吐出ヘッド３の基準位置１
６４およびキャリッジ２の基準位置１６５をパターン形
成したマスタプレート１６１を備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに代表される液滴吐出ヘッドの複数個と、これが搭
載される単一のキャリッジとから成るヘッドユニットに
関し、特にキャリッジおよび各液滴吐出ヘッドの位置決
め基準となるヘッドユニットのアライメントマスクおよ
びこれがセット可能なヘッドユニットの組立装置、並び
に上記ヘッドユニットを用いた液晶表示装置の製造方
法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方
法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方
法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、
スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方
法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のプリンタ等では、複数（多数）の
液滴吐出ヘッドを必要とする場合、各液滴吐出ヘッドを
個々にヘッド保持部材に保持し、更にこれを単一のキャ
リッジに搭載して、複数の液滴吐出ヘッドを、ヘッド保
持部材およびキャリッジと共にヘッドユニットとして扱
うようにしている。この場合、ヘッド保持部材に取り付
けられる液滴吐出ヘッドは、例えば顕微鏡等を用いて人
的に位置決めされた後、ヘッド保持部材にねじ止め固定
され、またキャリッジに取り付けられるヘッド保持部材
は、例えばキャリッジに設けた位置決めピン等を介して
装着された後、これにねじ止め固定されるようになって
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の液
滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精度良
く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表示装
置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタの製造に応用
可能であると共に、各種の電子デバイスや光デバイス等
の製造装置への応用も期待されている。このような応用
技術を考慮すると、液滴吐出ヘッド自体の性能に加え、
平面内におけるノズル（ノズル列）位置精度や液滴吐出
ヘッドが搭載されるキャリッジの位置精度なども問題と
なる。また、吐出対象となる液体等によっては、液滴吐
出ヘッドの寿命が短くなり、液滴吐出ヘッド（ヘッドユ
ニット）の頻繁な交換も考慮する必要が生ずる。これら
の点において、従来の液滴吐出ヘッド（ヘッドユニッ
ト）では、各部の精度の累積が全体の精度を決定してし
まうため、高い精度を安定に維持することにおいて、単
純にこれを適用することが不可能であることが想定され
る。また、装置に搭載した状態における位置精度も問題
となる。

【０００４】本発明は、単一のキャリッジに複数の液滴
吐出ヘッドを、ばらつきの無い高い精度で搭載すること
を可能とするヘッドユニットのアライメントマスクおよ
びこれがセット可能なヘッドユニットの組立装置、並び
に上記ヘッドユニットを用いた液晶表示装置の製造方
法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方
法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方
法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、
スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方
法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供す
ることをその課題としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のヘッドユニット
のアライメントマスクは、単一のキャリッジに複数の液
滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットのアライメント
マスクであって、キャリッジの基準位置とキャリッジに
搭載される各液滴吐出ヘッドを位置決めするための基準
位置をそれぞれ示すパターンが形成されたマスタプレー
トを備えたことを特徴とする。

【０００６】この構成によれば、各液滴吐出ヘッドの基
準位置およびキャリッジの基準位置をパターン形成した
マスタプレートを位置基準の原型とし、これを基準とし
てキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドを位置決めするこ
とができる。すなわち、キャリッジの基準位置に対し、
各液滴吐出ヘッドの基準位置を精度良く位置決めするこ
とができる。このことはまた、マスタプレートを原型と
して、その複製である多数のヘッドユニットを、常に一
定の位置決め精度を維持しつつ作成することを可能とす
る。これにより、液滴吐出ヘッドをキャリッジに組み付
ける組立装置毎の製造上の精度誤差や、同一の組立装置
における温度や湿度などの環境変化に基づく精度誤差等
を、確実に排除することができる。なお、液滴吐出ヘッ
ドとしては、圧電素子に電圧を印加しその変形を利用し
て液滴を吐出する方式や、ヒーターにより液滴を瞬時に
加熱しその蒸発（体積膨張）を利用して液滴を吐出する
方式等があるが、いずれであってもよい。

【０００７】この場合、キャリッジは、平面視方形に形
成され、且つ複数の液滴吐出ヘッドは、キャリッジの長
辺および短辺に対し所定の角度傾けて搭載されており、
マスタプレートは、傾けた液滴吐出ヘッドの長辺に平行
な２辺と、短辺に平行な２辺とで方形に形成されている
ことが、好ましい。

【０００８】この構成によれば、マスタプレートをキャ
リッジと相似形に形成する場合に比して、マスタプレー
トに求められる性状を損なうことなく、これをコンパク
トに形成することができる。このため、位置基準の原型
となるマスタプレートの取り扱いが容易となると共に、
マスタプレート自体のコストを低減することができる。
特に、マスタプレートに、熱による歪みの少ない高価な
石英ガラスを用いた場合には、コスト低減効果は大き
い。

【０００９】これらの場合、液滴吐出ヘッドの基準位置
は、液滴吐出ヘッドに作り込まれたノズル列における最
外端の２つのノズルに対応していることが、好ましい。

【００１０】この構成によれば、キャリッジに対し、各
液滴吐出ヘッドのノズル列を精度良く位置決めすること
ができる。すなわち、液滴吐出ヘッドのノズル形成面に
平行な平面内において、キャリッジの基準位置に対する
各液滴吐出ヘッドのノズル列の角度を含む位置を、正確
に位置決めすることができる。また、液滴吐出ヘッドの
基準位置が、ノズル列における最外端の２つのノズルに
対応していることから、特に液滴吐出ヘッドの主走査方
向に対する角度を、より正確に位置決めすることができ
る。なお、液滴吐出ヘッドの基準位置は、上記の２つの
ノズルそのものの位置ではなく、これらのノズルに代え
てその近傍に設けたマーク（画像認識可能）であっても
よい。

【００１１】これらの場合、キャリッジの基準位置は、
キャリッジの長辺方向または短辺方向に離間して設けた
２つのマークに対応していることが、好ましい。

【００１２】この構成によれば、キャリッジのＸ軸方向
およびＹ軸方向における位置および傾き角度（θ軸方
向）を、正確に位置決めすることができる。これによ
り、キャリッジと各液滴吐出ヘッドとの間に位置決めを
正確に行い得ると共に、上記の２つのマークを利用する
ことでキャリッジ（ヘッドユニット）自体を、これが搭
載される装置に正確に位置決めすることができる。

【００１３】これらの場合、マスタプレートは、石英ガ
ラスで構成されていることが、好ましい。

【００１４】この構成によれば、温度等の影響を受け難
く、位置基準の原型として狂いのないものとすることが
できる。また、マーキングが容易であると共に、且つコ
ントラストを考慮したマークの画像認識も容易となる。

【００１５】これらの場合、マスタプレートを保持する
プレートホルダを、更に備えたことが好ましい。

【００１６】この構成によれば、マスタプレートの扱い
は元より、マスタプレートの撓みや歪みを有効に防止す
ることができ、マスタプレート自体の信頼性が損なわれ
ることがない。

【００１７】この場合、プレートホルダは、マスタプレ
ートを支持すると共に高さ調節可能な複数本の支持ピン
を有していることが、好ましい。

【００１８】この構成によれば、マスタプレートのパタ
ーン形成面のレベルを精度良く調節することができる。

【００１９】これらの場合、マスタプレートとプレート
ホルダとの加算重量が、ヘッドユニットの重量と略同一
であることが、好ましい。

【００２０】この構成によれば、画像認識による各基準
位置の認識動作において、マスタプレートの移動とヘッ
ドユニットとの移動を、慣性等において全く同一条件と
することができ、移動に伴う精度誤差を排除することが
できる。

【００２１】本発明のヘッドユニットの組立装置は、上
記した本発明のヘッドユニットのアライメントマスク
と、ヘッドユニットとを交換セット可能に構成された移
動テーブルと、移動テーブルにセットされたアライメン
トマスクのパターンを画像認識すると共に、移動テーブ
ルにセットされたヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘ
ッドの位置およびキャリッジの位置を画像認識する認識
手段とを備えたことを特徴とする。

【００２２】この構成によれば、アライメントマスクお
よびヘッドユニットを移動テーブルに交換セットして、
認識手段によりこれらを位置認識する。これにより、ア
ライメントマスクの認識結果を基準とし、ヘッドユニッ
トの位置ずれを認識することができる。すなわち、各液
滴吐出ヘッドの位置およびキャリッジの位置におけるマ
スタデータと、実際の認識データとを比較することがで
き、これに基づいて、各液滴吐出ヘッドおよびキャリッ
ジの位置補正が可能となる。

【００２３】この場合、アライメントマスクとヘッドユ
ニットとは、移動テーブルに対し、マスタプレートのパ
ターン形成面と、各液滴吐出ヘッドおよびキャリッジの
位置認識面とが略同一平面内に位置するように、交換セ
ット可能に構成されていることが、好ましい。

【００２４】この構成によれば、マスタプレートの位置
認識とヘッドユニット位置認識において、画像認識に用
いる認識カメラの焦点位置を変更する必要が無く、焦点
位置を変更（認識カメラのＺ軸方向への移動等）に伴う
精度誤差を排除することができる。

【００２５】これらの場合、認識手段の認識結果に基づ
いて、各液滴吐出ヘッドの位置およびキャリッジの位置
を、個々に補正する補正手段を、更に備えたことが好ま
しい。

【００２６】この構成によれば、補正手段により、アラ
イメントマスクを基準として、各液滴吐出ヘッドの位置
およびキャリッジの位置を、正確に位置決めすることが
できる。

【００２７】この場合、位置補正後のキャリッジに、位
置補正後の各液滴吐出ヘッドを固定する固定手段を、更
に備えたことが好ましい。

【００２８】この構成によれば、複数の液滴吐出ヘッド
をキャリッジに対して個々に正確に位置決めした状態
で、これらを固定することができる。これにより、複数
の液滴吐出ヘッドをキャリッジに、簡単且つ精度良く組
み付けることができ、高精度のヘッドユニットを安定且
つ迅速に組み立てることができる。

【００２９】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上
に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の
製造方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィ
ルタ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、フィルタ材料
を選択的に吐出して多数のフィルタエレメントを形成す
ることを特徴とする。

【００３０】本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピク
セルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製
造方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材
料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘ
ッドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に
吐出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とす
る。

【００３１】本発明の電子放出装置の製造方法は、上記
した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立て
られたヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を
形成する電子放出装置の製造方法であって、複数の液滴
吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、ヘッドユニット
を介して複数の液滴吐出ヘッドを電極に対し相対的に走
査し、蛍光材料を選択的に吐出して多数の蛍光体を形成
することを特徴とする。

【００３２】本発明のＰＤＰ装置の製造方法は、上記し
た本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てら
れたヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部に
それぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であっ
て、複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを背面基
板に対し相対的に走査し、蛍光材料を選択的に吐出して
多数の蛍光体を形成することを特徴とする。

【００３３】本発明の電気泳動表示装置の製造方法は、
上記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み
立てられたヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部
に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であっ
て、複数の液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを電
極に対し相対的に走査し、泳動体材料を選択的に吐出し
て多数の泳動体を形成することを特徴とする。

【００３４】このように、上記のヘッドユニットを、液
晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ（Electronic Lumines
cence）装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ（Plasma Display Panel）装置の製造方法および電
気泳動表示装置の製造方法に適用することにより、各装
置に求められるフィルタ材料や発光材料等を、適切な位
置に適切な量を選択的に供給することができる。また、
ヘッドユニットを介して専用の液滴吐出ヘッドを迅速に
供給することができる。なお、液滴吐出ヘッドの走査
は、一般的には主走査および副走査となるが、いわゆる
１ラインを単一の液滴吐出ヘッドで構成する場合には、
副走査のみとなる。また、電子放出装置は、いわゆるＦ
ＥＤ（Field Emission Display）装置を含む概念であ
る。

【００３５】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記した本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立
てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィル
タエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造する
カラーフィルタの製造方法であって、複数の液滴吐出ヘ
ッドに各色のフィルタ材料を導入し、ヘッドユニットを
介して複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、フィルタ材料を選択的に吐出して多数のフィルタエ
レメントを形成することを特徴とする。この場合、多数
のフィルタエレメントは、基板上に設けられた凸状のバ
ンク（隔壁ともいう）により形成した凹部に収容されて
おり、フィルタエレメントを形成する前に、複数の液滴
吐出ヘッドにバンク材料を導入し、ヘッドユニットを介
して複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査
し、バンク材料を選択的に吐出してバンクを形成するこ
とが、好ましい。またこの場合、多数のフィルタエレメ
ントおよびバンクを被覆するオーバーコート膜が形成さ
れており、フィルタエレメントを形成した後に、複数の
液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを基板に
対し相対的に走査し、コーティング材料を選択的に吐出
してオーバーコート膜を形成することが、好ましい。

【００３６】本発明の有機ＥＬの製造方法は、上記した
本発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられ
たヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数
の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造
方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料
を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッ
ドを基板に対し相対的に走査し、発光材料を選択的に吐
出して多数のＥＬ発光層を形成することを特徴とする。
この場合、多数のＥＬ発光層は、基板上に設けられた凸
状のバンク（隔壁ともいう）により形成した凹部に収容
されており、ＥＬ発光層を形成する前に、複数の液滴吐
出ヘッドにバンク材料を導入し、ヘッドユニットを介し
て複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
バンク材料を選択的に吐出してバンクを形成すること
が、好ましい。またこの場合、多数のＥＬ発光層と基板
との間には、ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
成されており、バンクを形成する前に、複数の液滴吐出
ヘッドに液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介し
て複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
液状電極材料を選択的に吐出して多数の画素電極を形成
することが、好ましい。さらにこの場合、多数のＥＬ発
光層およびバンクを覆うように対向電極が形成されてお
り、ＥＬ発光層を形成した後に、複数の液滴吐出ヘッド
に液状電極材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状電
極材料を選択的に吐出して対向電極を形成することが、
好ましい。

【００３７】本発明のスペーサ形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャ
ップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するス
ペーサ形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッドにスペ
ーサを構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介
して複数の液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の基板に対
し相対的に走査し、粒子材料を選択的に吐出して基板上
にスペーサを形成することを特徴とする。

【００３８】本発明の金属配線形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金
属配線形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッドに液状
金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の液滴
吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、液状金属材料
を選択的に吐出して金属配線を形成することを特徴とす
る。

【００３９】本発明のレンズ形成方法は、上記した本発
明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘ
ッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを
形成するレンズ形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッ
ドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レンズ
材料を選択的に吐出して多数のマイクロレンズを形成す
ることを特徴とする。

【００４０】本発明のレジスト形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを
形成するレジスト形成方法であって、複数の液滴吐出ヘ
ッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、レ
ジスト材料を選択的に吐出してレジストを形成すること
を特徴とする。

【００４１】本発明の光拡散体形成方法は、上記した本
発明のヘッドユニットの組立装置により組み立てられた
ヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成
する光拡散体形成方法であって、複数の液滴吐出ヘッド
に光拡散材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数の
液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、光拡散材
料を選択的に吐出して多数の光拡散体を形成することを
特徴とする。

【００４２】このように、上記のヘッドユニットを、カ
ラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペー
サ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジ
スト形成方法および光拡散体形成方法に適用することに
より、各電子デバイスや各光デバイスに求められるフィ
ルタ材料や発光材料等を、適切な位置に適切な量を選択
的に供給することができる。また、ヘッドユニットを介
して専用の液滴吐出ヘッドを迅速に供給することができ
る。なお、上記の「バンク」の語は、側面が傾斜面であ
るか垂直面であるか等を問わず、突出形状の側壁を有す
る隔壁およびリブ等を含む概念である。すなわち、「バ
ンク」は、基板から見て相対的に凸となる部分をいう。

【００４３】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施形態について説明する。インクジェットプリ
ンタのインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微
小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出するこ
とができることから、例えば液滴（吐出対象液）に特殊
なインクや感光性の樹脂等を用いることにより、各種部
品の製造分野への応用が期待されている。また、係る応
用技術では、粘性の高い吐出対象液等の液滴吐出ヘッド
の耐久性に大きな影響を与えるものも想定され、複数の
液滴吐出ヘッドをキャリッジに精度良く組み込んだヘッ
ドユニットを、随時供給可能とすることが必要となる。

【００４４】本実施形態のヘッドユニットの組立装置
は、例えば液晶表示装置等のフラットディスプレイに組
み込まれるカラーフィルタの製造装置（以下、「描画装
置」という）に併設され、これに随時ヘッドユニットを
供給可能とするものである。この描画装置では、カラー
フィルタのフィルタエレメントに、Ｒ．Ｇ．Ｂのフィル
タ材料を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備
えており、ヘッドユニットの組立装置は、この複数の液
滴吐出ヘッドをキャリッジに精度良く組み込んでヘッド
ユニットを組み立て、これを描画装置に適宜供給できる
ようにしている。

【００４５】この場合のヘッドユニットの組立手順は、
先ず各液滴吐出ヘッドをヘッド保持部材に位置決め状態
で個々に組み付け、これを単一のキャリッジに仮装着
し、次いでキャリッジに対し各液滴吐出ヘッドを位置決
めした後、仮固定し、最後に本固定するものである。そ
して、液滴吐出ヘッドのヘッド保持部材への組付け、キ
ャリッジへの仮装着および本固定は、外工程として手作
業により行われる一方、キャリッジに複数の液滴吐出ヘ
ッドを位置決めし且つ仮固定する作業は、実施形態の組
立装置で行われる。

【００４６】そこで、本実施形態では、先ずこの組立装
置で扱うヘッドユニットと、その構成要素である液滴吐
出ヘッド、ヘッド保持部材およびキャリッジについて説
明する。また、この説明に相前後して、ヘッドユニット
と上記の描画装置との関係、治具を用いた液滴吐出ヘッ
ドのヘッド保持部材への組付方法、およびヘッドユニッ
トの位置決め基準となるアライメントマスクについて説
明する。その後、ヘッドユニットの組立装置について詳
細に説明することとする。そして、最後に、このヘッド
ユニットを、いわゆるフラットディスプレイの製造方法
に適用した例について説明する。

【００４７】図１、図２および図３は、ヘッドユニット
の構造図である。同図に示すように、ヘッドユニット１
は、キャリッジ２と、キャリッジ２に搭載した複数個
（１２個）の液滴吐出ヘッド３と、各液滴吐出ヘッド３
をキャリッジ２に個々に取り付けるための複数個（１２
個）のヘッド保持部材４とを備えている。１２個の液滴
吐出ヘッド３は、６個づつ左右に二分され、主走査方向
に対し所定の角度傾けて配設されている。また、各６個
の液滴吐出ヘッド３は、副走査方向に対し相互に位置ず
れして配設され、１２個の液滴吐出ヘッド３の全吐出ノ
ズル５７（後述する）が副走査方向において連続する
（一部重複）ようになっている。すなわち、実施形態の
ヘッド配列は、キャリッジ２上において、同一方向に傾
けて配置した６個の液滴吐出ヘッド３を２列としてもの
であり、且つ各ヘッド列間において液滴吐出ヘッド３が
相互に１８０°回転した配置となっている。もっとも、
この配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列に
おける隣接する滴吐出ヘッド３同士を９０°の角度を持
って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘ
ッド列間における滴吐出ヘッド３を９０°の角度を持っ
て配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりすること
は可能である。いずれにしても、１２個の液滴吐出ヘッ
ド３の全吐出ノズル５７によるドットが副走査方向にお
いて連続していればよい。また、各種の基板に対し液滴
吐出ヘッド３を専用部品とすれば、液滴吐出ヘッド３を
あえて傾けてセットする必要は無く、千鳥状や階段状に
配設すれば足りる。さらにいえば、所定長さのノズル列
（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出
ヘッド３で構成してもよいし複数の液滴吐出ヘッド３で
構成してもよい。すなわち、液滴吐出ヘッド３の個数や
列数、さらに配列パターンは任意である。

【００４８】キャリッジ２は、一部が切り欠かれた略方
形の本体プレート１１と、本体プレート１１の長辺方向
の中間位置に設けた左右一対の基準ピン１２，１２と、
本体プレート１１の両長辺部分に取り付けた左右一対の
支持部材１３，１３と、各支持部材１３の端部に設けた
左右一対のハンドル１４，１４とを有している。左右の
ハンドル１４，１４は、例えば組み立てたヘッドユニッ
ト１を上記の描画装置Ｂに載せ込む場合に、ヘッドユニ
ット１を手持ちするための部位となる。また、左右の支
持部材１３，１３は、キャリッジ２を組立装置Ａや描画
装置Ｂのセット部に固定するときの部位となる（いずれ
も詳細は後述する）。

【００４９】さらに、キャリッジ２には、二分された液
滴吐出ヘッド群３Ｓの上側に位置して、これら液滴吐出
ヘッド３に接続される左右一対の配管接続アッセンブリ
１５，１５および左右一対の配線接続アッセンブリ１
６，１６が設けられている。各配管接続アッセンブリ１
５は、描画装置Ｂのフィルタ材料供給系に配管接続さ
れ、同様に各配線接続アッセンブリ１６は、描画装置Ｂ
の制御系に配線接続されるようになっている。なお、図
１は、一方（左側）の配管接続アッセンブリ１５を省略
して、描かれている。

【００５０】本体プレート１１は、ステンレス等の厚板
で構成され、左右に各６個の液滴吐出ヘッド３を取り付
けるための一対の装着開口１８，１８が形成されると共
に、適宜位置に重量を軽減するための複数の抜き開口１
９が形成されている。各装着開口１８は、６個の液滴吐
出ヘッド３を取り付ける開口部位１８ａが連続したもの
であり、６個の液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド群３
Ｓ）３の並びに倣って、その軸線が本体プレート１１の
軸線に対しわずかに傾いている。

【００５１】各支持部材１３は、厚手のステンレス板等
で構成され、これを固定するための２つの固定孔（ばか
孔）２１，２１および２つのボルト孔２２，２２が形成
されると共に、これら固定孔２１，２１およびボルト孔
２２，２２間に位置決め用のピンが挿入されるピン孔２
３が形成されている。詳細は後述するが、組立装置Ａに
ヘッドユニット１をセットするときには、ピン孔２３を
用いて位置決めされると共に２つの固定孔２１，２１を
用いてねじ止め固定され、同様に描画装置Ｂにヘッドユ
ニット１をセットするときには、ピン孔２３を用いて位
置決めされると共に２つのボルト孔２２，２２を用いて
ねじ止め固定される。

【００５２】左右一対の基準ピン１２，１２は、画像認
識を前提として、キャリッジ２をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸
方向に位置決め（位置認識）するための基準となるもの
であり、本体プレート１１の裏面に突出するように取り
付けられている。図４に示すように、各基準ピン１２
は、円柱状のピン本体２５と、ピン本体２５の先端面の
中央部に形成した凹状、具体的には孔状の基準マーク２
６とで構成されている。ピン本体２５は、キャリッジ２
に圧入するための基部圧入部２７と、基部圧入部２７に
連なる胴部２８と、胴部２８の先端に突出形成したマー
ク形成部２９とから成り、このマーク形成部２９の先端
面２９ａに基準マーク２６が形成されている。

【００５３】マーク形成部２９の先端面２９ａは鏡面加
工されており、この先端面２９ａの中心位置に基準マー
ク２６となる小孔が穿孔されている。小孔（基準マー
ク）２６は、例えば直径０．３ｍｍ程度のものであり、
基部圧入部２７から胴部２８にかけてその軸心部分に形
成した軸心孔３０に連通している。この場合、基準ピン
１２は、小孔２６を穿孔した後、熱処理（イオン窒化）
し、マーク形成部２９の先端面２９ａを、鏡面仕上げし
て、形成される。鏡面仕上げの例としては、研磨工具と
先端面２９ａの間に微細な砥粒を介在させて磨くラップ
仕上げであるが、これに限定されるものではない。

【００５４】このように、簡単なプロセスによって先端
面２９ａが白色で小孔の基準マーク２６が暗色に認識カ
メラで撮像することができるため、キャリッジ２のアラ
イメント精度を向上させることができる。なお、基準ピ
ン１２は、断面を円柱状として説明したが、楕円状で
も、多角形状でも構わない。さらに、小孔の基準マーク
２６も、小孔に限定されるものではなく、充分なコント
ラストが得られるような溝を持つ凹形状であればよく、
その凹の平面形状も円形に限定されるものではない。

【００５５】詳細は後述するが、組立装置Ａおよび描画
装置Ｂに搭載した認識カメラ３５３は、基準マーク２６
を形成した基準ピン１２の先端面２９ａを、視野内に捕
らえて画像認識（パターン認識）を行う。このため、認
識カメラ３５３によるパターン認識では、鏡面仕上げの
先端面２９ａが明色で、その先端面２９ａの略中央部に
形成された凹形状の基準マーク２６が暗色で認識され、
十分なコントラストを持って基準マーク２６が画像認識
される。したがって、基準マーク２６を精度良く認識す
ることができ、認識ミスを確実に防止することができ
る。

【００５６】このようにして形成された基準ピン１２
は、その先端面２９ａを下向きにしてキャリッジ（本体
プレート１１）２に形成した取付用の孔部分に打ち込む
ようにして圧入される。キャリッジ２に圧入された基準
ピン１２は、キャリッジ２から突出した液滴吐出ヘッド
３と略同一高さとなるように、本体プレート１１の裏面
から突出している。すなわち、基準ピン１２の画像認識
面となる先端面２９ａと、液滴吐出ヘッド３の画像認識
面となるノズル形成面（図３参照）５２とが、略同一平
面内に位置するようになっている。

【００５７】これにより、認識カメラ３５３で、両基準
ピン１２，１２に続いて各液滴吐出ヘッド３の吐出ノズ
ル５７を検出する場合に、その焦点位置を変更（認識カ
メラ３５３の上下動）する必要が無く、且つ画像認識の
ための認識カメラ３５３の相対的移動に際し、認識カメ
ラ３５３が他の部品等に干渉するのを有効に防止するこ
とができる。なお、一対の基準ピン１２，１２は、本体
プレート１１の長辺方向の略中間位置に設けることが好
ましいが、相互に離間している限り他の位置に設けても
よい。

【００５８】図１、図２および図３に示すように、左右
のハンドル１４，１４は、重量のある（７ｋｇ程度）ヘ
ッドユニット１を手持ちするためのものであり、各ハン
ドル１４は、握り部分となるハンドル本体３２と、ハン
ドル本体３２の下端から直角に延びるアーム部３３とで
「Ｌ」字状に形成されている。ハンドル本体３２は、そ
の上端部が滑止め用の太径部３４となっている。また、
ハンドル本体３２の外周面には、滑止め用のローレット
加工が施されている。なお、本実施形態では、アヤ目の
ローレット加工を採用している（図２および図３参照）
が、スジ目であってもよい。

【００５９】アーム部３３は水平に延在し、その先端部
でキャリッジ２の支持部材１３に着座するようにしてね
じ止めされている。すなわち、各ハンドル１４は、キャ
リッジ２に着脱自在に取り付けられている。このよう
に、左右のハンドル１４，１４は、キャリッジ（本体プ
レート１１）２の長辺方向の端部からはみ出した位置、
すなわち液滴吐出ヘッド３から離れた位置に、立ち上が
るようにして設けられている。

【００６０】このため、両ハンドル１４，１４を把持し
てキャリッジ（ヘッドユニット１）２を持ち上げると、
力のバランスにより、キャリッジ２は略水平姿勢を維持
したまま持ち上げられることになる。また、運搬作業な
どにおいて、ハンドル１４を握った手が液滴吐出ヘッド
３に触れるなどの支障を生ずることがない。なお、詳細
は後述するが、このハンドル１４は、ヘッドユニット１
の運搬は元より、ヘッドユニット１の描画装置Ｂへのセ
ット作業に特に有用となる（詳細は後述する）。

【００６１】各配管接続アッセンブリ１５は、各液滴吐
出ヘッド群３Ｓの上側に配設されており、本体プレート
１１の長辺方向の両端部に立設した一対のスペーサ３
６，３６と、一対のスペーサ３６，３６間に渡した押さ
えプレート３７と、押さえプレート３７に搭載した６組
の配管アダプタ３８とで構成されている。６組の配管ア
ダプタ３８は、その下端のヘッド側接続部分をわずかに
突出するようにして、それぞれ押さえプレート３７に固
着されている。

【００６２】詳細は後述するが、液滴吐出ヘッド３はい
わゆる２連のものであり、６組の配管アダプタ３８は、
それぞれ２連の配管接続部材１７を介して液滴吐出ヘッ
ド３に接続される。すなわち、各液滴吐出ヘッド３に配
管接続部材１７を嵌合接続する一方、６組の配管アダプ
タ３８を搭載した押さえプレート３７を両スペーサ３
６，３６にねじ止めすることで、６組の配管アダプタ３
８が、それぞれ配管接続部材１７を介して液滴吐出ヘッ
ド３に接続される。そして、各配管アダプタ３８の流入
側には、描画装置Ｂにセットする際にそのフィルタ材料
供給系にワンタッチで配管接続される（詳細は後述す
る）。

【００６３】同様に、各配線接続アッセンブリ１６は、
キャリッジ２の左右の端部に立設した３個の屈曲支持部
材４０，４０，４０と、屈曲支持部材４０の上端に固定
したコネクタベース４１と、コネクタベース４１上に取
り付けた配線コネクタ４３付きの４つのヘッド中継基板
４２とで構成されている。４つのヘッド中継基板４２
は、それぞれフレキシブルフラットケーブル（図示省
略）を介して、後述する各液滴吐出ヘッド３の２連のヘ
ッド基板４７に接続されている。そして、各ヘッド中継
基板４２には、描画装置Ｂにセットする際にその制御系
ケーブルの配線プラグにより配線接続される（詳細は後
述する）。

【００６４】なお、図２にのみ示すように、このヘッド
ユニット１には更に、両配線接続アッセンブリ１６を覆
う中継基板カバー２４が設けられている。中継基板カバ
ー２４は、各配線接続アッセンブリ１６の側面から直上
部を覆う一対の側面カバー２４ａと、一対の側面カバー
２４ａ間に渡した上面カバー２４ｂとで構成されてお
り、このうち上面カバー２４ｂは、ヘッドユニット１を
描画装置Ｂにセットした後に取り付けるようになってい
る。また、詳細は後述するが、ヘッドユニット１を組立
装置Ａにセットする段階では、描画装置Ｂにセットする
場合と異なり、中継基板カバー２４は元より両アッセン
ブリ１５，１６も組み付けておかないものとする。

【００６５】次に、図５ないし図８を用いて液滴吐出ヘ
ッド３について説明する。この液滴吐出ヘッド３は、い
わゆる２連のものであり、２連の接続針４６を有する液
体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なる２連の
ヘッド基板４７と、液体導入部４５に下方に連なる２連
のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズル形成プ
レート４９とを備えている。液体導入部４５には、上記
の配管接続部材１７が接続され、ヘッド基板４７には、
上記のフレキシブルフラットケーブルが接続されてい
る。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレート４９
とにより、キャリッジ２の裏面側に突出する方形のヘッ
ド本体５０が構成されている。また、ノズル形成プレー
ト４９のノズル形成面５２には、２列のノズル列５３，
５３が形成されている（図６参照）。

【００６６】図６および図７に示すように、ポンプ部４
８は、ノズル数に対応する圧力室５５と圧電素子５６と
を有し、各圧力室５５は、対応する吐出ノズル５７に連
通している。また、ポンプ部４８の基部側、すなわちヘ
ッド本体５０の基部側は、液体導入部４５を受けるべく
方形フランジ状に形成され、このフランジ部５８には、
液滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定する小ねじ
用の一対のねじ孔（雌ねじ）５９，５９が形成されてい
る。この一対のねじ孔５９，５９は、両長辺部分に位置
し、且つノズル形成面５２の中心に対し点対称となるよ
うに配設されている。詳細は後述するが、ヘッド保持部
材４を貫通してフランジ部５８に螺合した２本の小ねじ
７３，７３により、液滴吐出ヘッド３がヘッド保持部材
４に固定される（図９参照）。

【００６７】ノズル形成プレート４９は、ステンレス板
等で形成され、ポンプ部４８の吐出側端面（液滴吐出
面）に接着されている。より具体的には、図６および図
７（ａ）に模式的に示すように、ポンプ部４８は、上記
の圧電素子５６を収容した機構部４８ａと、樹脂フィル
ム４８ｂを介して、ノズル形成プレート４９と共にこの
機構部４８ａに接合されるシリコンキャビティ４８ｃと
を有している。すなわち、ノズル形成プレート４９は、
シリコンキャビティ４８ｃに接着され、この状態で樹脂
フィルム４８ｂを介して、機構部４８ａの接合面４８ｄ
に接合され、上記の圧力室５５を構成している。したが
って、ヘッド本体５０において組立方法を勘案すると、
上記の樹脂フィルム４８ｂ、シリコンキャビティ４８ｃ
およびノズル形成プレート（後述するメッキ層４９ａを
含む）４９は、ポンプ部４８の機構部４８ａに対し、圧
力室組立体６０を構成している。そして、機構部４８ａ
の接合面４８ｄは、長方形に形成される一方、ノズル形
成プレート４９を含む圧力室組立体６０は、これより幾
分小さい相似形に形成されており、圧力室組立体６０
は、接合面４８ｄと略同心となるように重ねて接合され
ている。

【００６８】このため、圧力室組立体６０の四周と機構
部４８ａの接合面４８ｄの四周縁部との間には、四周に
亘って接合のためのクリアランスとしての段部６１が構
成され、この段部６１には樹脂６２がモールドされてい
る。すなわち、接合面４８ｄの端縁（周縁部）と圧力室
組立体６０の端面（側面部）とで構成される段部６１
は、これを埋めるように樹脂６２でモールドされてい
る。したがって、ヘッド本体５０の下端は、この樹脂６
２により四周が面取りされた形態になっている。

【００６９】詳細は後述するが、この樹脂６２によるモ
ールドにより、ワイピングの際にヘッド本体５０がワイ
ピングシート１３１につかえるのを防止している。この
場合、液滴吐出ヘッド３は水平面内において幾分傾いて
キャリッジ２に保持されているものの、ヘッド本体５０
に対しワイピングシート１３１は、Ｘ軸方向から拭取り
動作する（図１７参照）。したがって、上記の四周に亘
るモールドの樹脂６２は、最低限拭取りを開始する側の
長辺部分にのみ、或いは両長辺部分にのみに設けられて
いればよい。また、後述する面取り加工でも同様であ
る。なお、図７（ｂ）に示すように、樹脂６２をノズル
形成プレート４９から前方に幾分突出（図示のｔ寸法）
するようにモールドし、樹脂６２に、吐出ノズル５７を
保護するプロテクタの機能を持たせることも可能であ
る。また、図７（ｃ）に示すように、機構部４８ａの接
合面４８ｄと圧力室組立体６０とを同一形状とし、樹脂
６２のモールドに代えて、圧力室組立体６０の端縁を面
取り加工するようにしてもよい。

【００７０】一方、ノズル形成プレート４９には、２本
のノズル列５３，５３が相互に平行に列設されており、
各ノズル列５３は、等ピッチで並べた１８０個（図示で
は模式的に表している）の吐出ノズル５７で構成されて
いる。すなわち、ヘッド本体５０のノズル形成面５２に
は、その中心線を挟んで２本のノズル列５３，５３が左
右対称に配設されている。そして、各吐出ノズル５７の
ノズル口６３は、撥水性（撥液性）のメッキ層４９ａを
形成した円形窪み部６４の奥に開口している。

【００７１】なお、図６中の符号６５，６５は、液滴吐
出ヘッド３を位置認識するための２つのノズル基準マー
クである。後述するように、本実施形態では液滴吐出ヘ
ッド３の位置認識を、いずれか一方のノズル列５３にお
ける最外端の２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを画像認
識（パターン認識）することで行われる。ところが、吐
出対象液によっては、吐出ノズル（ノズル口Ｓ６３）５
７に形成されるメニスカスの形態が一定しない場合があ
り（図６（ｂ）中の仮想線参照）、パターン認識におい
て認識不能（ＮＧ）となるおそれがある。

【００７２】そこで、本実施形態では、上記最外端の２
つの吐出ノズル５７ａ，５７ａの近傍に、２つのノズル
基準マーク６５，６５を形成するようにしている。すな
わち、ノズル形成面５２において、２つの吐出ノズル５
７ａ，５７ａを平行移動した位置、より厳密にはノズル
列５３を平行移動（必ずしもノズル列５３に直交する方
向でなくてもよい）したときの両吐出ノズル５７ａ，５
７ａに対応する位置に、レーザーエッチングなどにより
２つのノズル基準マーク６５，６５が形成されている。
２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａに対し２つのノズル基
準マーク６５，６５は位置保証されており、２つの吐出
ノズル５７ａ，５７ａにおける画像認識が不安定な場合
には、この２つのノズル基準マーク６５，６５を用いて
画像認識を行うようにする。なお、２つのノズル基準マ
ーク６５，６５は、２つの吐出ノズル(厳密には離間し
た任意の２つの吐出ノズル５７，５７で可)５７ａ，５
７ａに対し位置保証されている限り、且つ十分に離間し
ている限り、ノズル形成面５２のいずれの位置に設けて
もよい。

【００７３】このように構成された液滴吐出ヘッド３
は、そのヘッド本体５０を、キャリッジ２に形成した装
着開口１８からキャリッジ２の裏面側に突出させ、装着
開口１８の縁部にあてがったヘッド保持部材４に上記の
フランジ部５８の部分でねじ止め固定される。また、ヘ
ッド保持部材４は、キャリッジ２に接着により仮固定さ
れ、その後、機械的な固定手段を使って本固定される。

【００７４】次に、図８および図９を参照して、ヘッド
保持部材４について説明する。ヘッド保持部材４は、液
滴吐出ヘッド３をキャリッジ２に安定に取り付けるため
の媒介金具であり、ステンレス等で構成された略長方形
の平板状に形成されている。ヘッド保持部材４には、そ
の中央に液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０が挿通する
方形の挿通開口７１が形成されている。この場合、ヘッ
ド保持部材４は、その長辺方向の両端部で装着開口（開
口部位１８ａ）１８を跨ぐようにしてキャリッジ２の裏
面側にセットされ、これに対し液滴吐出ヘッド３は、そ
のヘッド本体５０を挿通開口７１に挿通すようにしてキ
ャリッジ２の表側にセットされる（図５参照）。

【００７５】ヘッド保持部材４の挿通開口７１の周囲に
は、上記フランジ部５８の２つのねじ孔５９，５９に対
応する２つの貫通孔７２，７２および２本の小ねじ７
３，７３と、２つの突出位置規制ピン７４，７４が配設
されている。２つの貫通孔７２，７２は、それぞれ装着
開口１８側に突出する２つのボス部７５，７５に形成さ
れている。この場合、各ボス部７５は、ヘッド保持部材
４に圧入した筒状のカラーで構成されている。この２つ
のボス部７５，７５と２つの突出位置規制ピン７４，７
４とは、いずれも挿通開口７１の中心に対し点対称位置
に配設されており、これらボス部７５，７５と突出位置
規制ピン７４，７４がヘッド本体５０のフランジ部５８
に当接することにより、液滴吐出ヘッド３のキャリッジ
２からの吐出寸法が規制されるようになっている。

【００７６】また、挿通開口７１の中心線上において、
挿通開口７１の外側には２つの係合孔７６，７６が形成
されている。この２つの係合孔７６，７６は、後述する
液滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃが装着される部位である
と同時に、組立装置Ａにおける位置補正用の係合ピン３
４３，３４３が係合される部位でもある。この場合、組
付治具Ｃの装着や係合ピン３４３の係合が無理なく為さ
れるように、２つの係合孔７６，７６は、一方が円形
に、他方が上記中心線方向に長い長円形に形成されてい
る。

【００７７】さらに、挿通開口７１の中心線上におい
て、ヘッド保持部材４の両端部には、それぞれ２つの接
着剤注入孔７７，７７が、挿通開口７１を挟んで対称位
置に形成されている。各接着剤注入孔７７はヘッド保持
部材４の横断方向に延びる長孔となっており、この長孔
のキャリッジ２側の端部は、面取りされている（図８参
照）。各２つの接着剤注入孔７７，７７が形成されたヘ
ッド保持部材４の両端部は、ヘッド保持部材４をキャリ
ッジ２に接着するための接着部位７８，７８となってお
り、各接着剤注入孔７７から注入された接着剤は、毛細
管現象によりキャリッジ２と接着部位７８，７８との界
面部分に広がって、塗着される。

【００７８】この場合、一方の端部の外側（内側）に形
成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と他方の端部の内
側（外側）に形成した接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ）と
は、それぞれ対となっている。詳細は後述するが、組立
装置Ａは２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を有し
ており、２本の接着剤注入ノズル３８７，３８７は、対
となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａに同時
に挿入されて接着剤を注入すると共に、上記中心線方向
に移動した後、他方の２つの不接着剤注入孔７７ｂ，７
７ｂに同時に挿入されて接着剤を注入する。

【００７９】なお、図中の符号７９，７９は、ヘッド保
持部材４をキャリッジ２に仮装着するときに使用する
（詳細は後述する）一対の締結孔であり、この一対の締
結孔７９，７９は、それぞれ接着剤注入孔７７，７７の
近傍であって、挿通開口７１の中心に対し点対称位置に
形成されている。また、キャリッジ２の開口部位１８ａ
には、この一対の締結孔７９，７９に対応する一対の仮
締め用ねじ孔２０，２０が形成されている（図１１参
照）。

【００８０】ところで、一対の基準ピン１２，１２を介
して位置決めされるキャリッジ２に対し、各液滴吐出ヘ
ッド３は、その出力端であるノズル列（吐出ノズル５
７）５３を基準に、Ｘ軸、Ｙ軸およびθ軸方向に位置決
め（位置認識）される。より具体的には、２つのノズル
列５３，５３は、製造段階で相互の位置精度が保証され
ているため、いずれか一方のノズル列５３の最外端に位
置する２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置決め基準
とし、これを認識するようにしている。また、液滴吐出
ヘッド３のヘッド本体５０における先端部の四辺（厳密
には、ポンプ部４８の数ミリ幅に亘る先端部の四辺）
も、製造段階で相互の位置精度が保証されている。

【００８１】一方、液滴吐出ヘッド３は、ヘッド保持部
材４を介してキャリッジ２に固定する形態である。そこ
で、本実施形態では、組付治具Ｃを用い、上記ヘッド本
体５０の先端部四辺を基準にして、液滴吐出ヘッド３を
ヘッド保持部材４に位置決めし、ねじ止め固定の後、上
記２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａを基準にして、ヘッ
ド保持部材４付き液滴吐出ヘッド３を位置決めし、仮固
定するようにしている。すなわち、液滴吐出ヘッド３
は、組付治具Ｃを用いた手作業により、いったんヘッド
保持部材４に仮位置決めされ、続く組立装置Ａでの画像
認識（吐出ノズル５７ａ，５７ａを認識）を経て、本位
置決めされる。

【００８２】実施形態の組立装置Ａでは、位置認識のス
ピードアップを図るため、上記２つの吐出ノズル５７
ａ，５７ａを、固定的に設けた２つの認識カメラ３５
３，３５３で同時に認識する、すなわち２つの認識カメ
ラ３５３，３５３が同時に視野内に捕らえるようにして
いる。このため、組付治具Ｃを用いた液滴吐出ヘッド３
の仮位置決めは、本位置決めの段階で、設定した位置デ
ータに基づいて、２つの認識カメラ３５３，３５３を上
記の２つの吐出ノズル５７ａ，５７ａに臨ませたとき
に、いずれも視野から外れることのないようにするもの
である。

【００８３】ここで、図９および図１０を参照して、液
滴吐出ヘッド３の組付治具Ｃについて説明すると共に、
この組付治具Ｃを用いて液滴吐出ヘッド３をヘッド保持
部材４に組み付ける組付方法について説明する。図１０
に示すように、組付治具Ｃは、液滴吐出ヘッド３のヘッ
ド本体５０を位置決めする治具本体８１と、治具本体８
１をヘッド保持部材４に位置決め状態で装着する一対の
装着ピン８２，８２とで構成されている。

【００８４】治具本体８１は、縦辺部８４と、縦辺部８
４の両端から直角に延びる一対の横辺部８５，８５と
で、略「Ｃ」字状に一体に形成されている。一方、一対
の装着ピン８２，８２は、それぞれ横辺部８５，８５の
裏面側から突出しており、この一対の装着ピン８２，８
２をヘッド保持部材４の係合孔７６，７６に嵌合させる
ことで、治具本体８１がヘッド保持部材４に装着され
る。

【００８５】縦辺部８４の内側から一方の横辺部８５の
内側に亘る部位には、略「Ｌ」字状の位置決め部８６が
形成され、この位置決め部８６にヘッド本体５０の一方
の長辺および短辺を当接させることで、液滴吐出ヘッド
３がヘッド保持部材４に位置決めされるようになってい
る。位置決め部８６は、表側を他の部分と面一として薄
肉に形成され、且つコーナー部分８６ａが半円状に窪入
形成されている。また、治具本体８１は、これをヘッド
保持部材４に装着した状態で、その表面と液滴吐出ヘッ
ド３のノズル形成面５２とが、ほぼ面一（同レベル）と
になるように、その厚みが設計されている。

【００８６】これにより、ヘッド本体５０はその突出方
向の先端部が、組付治具Ｃの位置決め部８６に当接して
位置決めされるようになっている。すなわち、製造段階
で、ノズル列５３に対し位置精度が保証されたヘッド本
体５０における先端部の四辺のうち隣接する２つの辺
を、組付治具Ｃの位置決め部８６に突き当てることで、
液滴吐出ヘッド３がヘッド保持部材４に位置決めされる
ようになっている。

【００８７】一方、一対の装着ピン８２，８２は、位置
決め部８６に突き当てたヘッド本体５０の中心線に合致
するように配設されている。より具体的には、位置決め
部８６の長辺部位８６ｂは、一対の装着ピン８２，８２
を結ぶ直線と平行に形成され、且つその離間寸法は、ヘ
ッド本体５０の長辺位置に合わせて管理されると共に、
ヘッド本体５０の短辺の１／２の寸法に形成されてい
る。また、位置決め部８６の短辺部位８６ｃは、長辺部
位８６ｂに直角に形成され、且つ短辺部位８６ｃ側に位
置する装着ピン８２との離間寸法は、ヘッド本体５０の
短辺位置に合わせて管理されている。

【００８８】これにより、組付治具Ｃは、図９の状態か
ら１８０°回転した状態で、ヘッド保持部材４に装着し
ても、特段の支障を生ずることなく、液滴吐出ヘッド３
を位置決めすることができる。すなわち、実施形態の組
付治具Ｃは、その平面形状が左右対称ではないが、いわ
ゆる右勝手・左勝手のない構造となっている。

【００８９】次に、図９、図１１および図１２を参照し
て、上記の組付治具Ｃを用いた、液滴吐出ヘッド３のヘ
ッド保持部材４への組付方法について説明する。この組
付作業は、組立装置Ａの外工程として手作業で行われ
る。先ず、キャリッジ（厳密には本体プレート１１）２
の表側の周縁部に４本の支持脚８８，８８，８８，８８
をねじ止めする。次いで、キャリッジ２を上下反転さ
せ、キャリッジ２を支持脚８８により浮いて状態にセッ
トする。なお、図示では省略したが、この状態でキャリ
ッジ２に、上記一対の支持部材１３，１３および一対の
基準ピン１２，１２を取り付けておくことが、好まし
い。

【００９０】次に、ヘッド本体５０を上向きにした液滴
吐出ヘッド３を、キャリッジ２の下側から装着開口１８
に挿入する。ここで、キャリッジ２の上側からヘッド保
持部材４の挿通開口７１をヘッド本体５０に位置合わせ
し嵌め入れるようにして、ヘッド保持部材４をキャリッ
ジ２上にセットする。ヘッド保持部材４をセットした
ら、上側からヘッド保持部材４に組付治具Ｃを装着する
と共に、ヘッド保持部材４の位置決め部８６に、これに
対峙するヘッド本体５０の２辺を押し付ける。なお、組
付治具Ｃを複数個用意しておいて、これを予めヘッド保
持部材４に装着しておいてから、作業を開始してもよ
い。

【００９１】続いて、上記の押付け状態を維持しつつ、
上側から２本の小ねじ７３，７３を、ヘッド保持部材４
を貫通して液滴吐出ヘッド３のフランジ部５８にそれぞ
れ螺合し、液滴吐出ヘッド３をヘッド保持部材４に固定
する。次に、２つの認識カメラ３５３，３５３の視野
が、２つの吐出ノズル７５ａ，７５ａから外れないよう
にする手段として、上記一対の締結孔７９，７９からキ
ャリッジ２の仮締め用ねじ孔２０，２０に、それぞれ固
定ねじ８９，８９を仮締め状態で螺合しておく（図９参
照）。

【００９２】これにより、固定ねじ８９と締結孔７９の
寸法交差の範囲において、キャリッジ２に対する液滴吐
出ヘッド３の位置合わせが可能となると共に、２つの認
識カメラ３５３，３５３の視野が、２つの吐出ノズル７
５ａ，７５ａから外れることがなくなる。このようにし
て、液滴吐出ヘッド３のヘッド保持部材４への位置決め
および固定を順に繰り返すことで、１２個の液滴吐出ヘ
ッド３が個々にヘッド保持部４に組み付けられる。最後
に、ヘッド保持部材４から組付治具Ｃを引き抜くと共に
４本の支持脚８８を取り外して、作業を完了する。

【００９３】以上のようにして、キャリッジ２を挟ん
で、１２個の液滴吐出ヘッド３が１２個のヘッド保持部
４に組み付けられるが、この状態では、１２個の液滴吐
出ヘッド３はキャリッジ２に固定されておらず、吊り下
げられた状態となっている。すなわち、ヘッド保持部４
付きの１２個の液滴吐出ヘッド３は、キャリッジ２に対
し、固定ねじ８９と締結孔７９の寸法交差範囲内で微小
移動可能に、仮装着されている。なお、この固定ねじ８
９は捨てねじであり、組立装置Ａにおいて、キャリッジ
２にヘッド保持部４が接着された（仮固定）後に、取り
外される。すなわち、実施形態では、ヘッド保持部４の
キャリッジ２へのねじによる直接的な本固定は行わない
（別部材による押圧固定とする）。

【００９４】そして、キャリッジ２に、ヘッド保持部材
４付きの１２個の液滴吐出ヘッド３が仮装着されたヘッ
ドユニット１は、組立装置Ａに導入され、上下反転姿勢
のままこれにセットされる。なお、組立装置Ａに導入さ
れるヘッドユニット１は、上記の主構成部品に一対の支
持部材１３，１３および基準ピン１２，１２を組み込ん
だものとなり、描画装置Ｂに導入されるヘッドユニット
１は、これに更にハンドル１４を始め、両アッセンブリ
１５，１６等を組み込んだものとなる。

【００９５】ここで、描画装置Ｂについて簡単に説明す
ると共に、一対のハンドル１４，１４を利用してヘッド
ユニット１を描画装置Ｂに載せ込むヘッドユニット１の
セット方法について説明する。また、液滴吐出ヘッド３
のヘッド本体５０の構造に関連して、描画装置Ｂのワイ
ピング装置についても簡単に説明する。

【００９６】図１３は描画装置Ｂを模式的に表した概念
図であり、同図に示すように、描画装置Ｂは、ヘッドユ
ニット１を搭載しこれをＹ軸方向およびθ軸方向に移動
させるヘッド移動部１０１と、ヘッド移動部１０１に対
峙しカラーフィルタ等の基板１０２をＸ軸方向に移動さ
せる基板移動部１０３と、ヘッドユニット１の液滴吐出
ヘッド３を保全するメンテナンス部１０４とを備えてい
る。ヘッド移動部１０１は、これに搭載したヘッドユニ
ット１を、基板移動部１０３を挟んでユニット導入部１
０５とメンテナンス部１０４との間で移動させる。

【００９７】ヘッドユニット１を導入セットする場合に
は、ヘッド移動部１０１がユニット導入部１０５側に移
動し、その仮置き台１０６がユニット導入部１０５に臨
んでいる。ヘッドユニット１は、この仮置き台１０６上
に仮置きされ配管および配線を繋ぎこんだ後、ヘッド移
動部１０１に送り込むようにしてセットされる。そし
て、ヘッドユニット１の初期位置決めを行う準備工程で
は、ヘッドユニット１のθ軸方向への微小移動（角度補
正）が行われるが、フィルタ材料を吐出する製造工程で
は、基板１０２がＸ軸方向に且つヘッドユニット１がＹ
軸方向に移動して、液滴吐出ヘッド３の主走査および副
走査が行われる。

【００９８】ヘッド移動部１０１は、ヘッドユニット１
を垂設するようにして支持するメインキャリッジ１１１
と、メインキャリッジ１１１をθ軸方向に移動させるθ
テーブル１１２と、θテーブル１１２を介してヘッドユ
ニット１をＹ軸方向に移動させるＹテーブル１１３とを
有している。また、基板移動部１０３は、基板１０２を
吸着するようにしてセットする基板セットテーブル１１
５と、基板セットテーブル１１５を介して基板をＸ軸方
向に移動させるＸテーブル１１６とを有している。

【００９９】この場合、Ｘテーブル１１６は、エアース
ライダとリニアモータとの組み合わせで駆動し、Ｙテー
ブル１１３は、ボールねじとサーボモータの組み合わせ
で駆動する（いずれも図示省略）。また、基板認識カメ
ラ１１７はメインキャリッジ１１１に（図１５参照）、
ヘッド認識カメラ１１８は基板セットテーブル１１５
に、それぞれ搭載されている。したがって、ヘッドユニ
ット１のキャリッジ２に設けた一対の基準ピン１２，１
２は、ヘッド認識カメラ１１８とこれをＸ軸方向に移動
させるＸテーブル１１６との協働により、画像認識され
る。

【０１００】ここで、図６７を参照して、ヘッド認識カ
メラ１１８による一対の基準ピン１２，１２の認識動作
について説明する。先ず、設計上のデータに基づいてＸ
テーブル１１６およびＹテーブル１１３が適宜駆動し
て、ヘッド認識カメラ１１８およびキャリッジ（ヘッド
ユニット１）を移動させ、一方の基準ピン１２をヘッド
認識カメラ１１８の視野内に取り込む。一方の基準ピン
１２をヘッド認識カメラ１１８で認識したら、次に、Ｘ
テーブル１１６を駆動し、ヘッド認識カメラ１１８をＸ
軸方向（主走査方向）に移動させ、他方の基準ピン１２
をヘッド認識カメラ１１８の視野内に取り込んでこれを
認識する。

【０１０１】そして、ヘッド認識カメラ１１８による一
対の基準ピン１２，１２の認識結果に基づいて、Ｘテー
ブル１１６、Ｙテーブル１１３およびθテーブル１１２
が適宜駆動して、キャリッジ（ヘッドユニット１）の位
置補正が行われる。なお、位置補正後に、確認のため再
度上記の認識動作が行われ、一連の認識動作が完了す
る。

【０１０２】その後、実際の液滴吐出作業では、先ずＸ
テーブル１１６が駆動し、基板１０２を主走査方向に往
復移動させると共に複数の液滴吐出ヘッド３を駆動し
て、液滴吐出ヘッド３の選択的な液滴吐出が行われる。
次に、Ｙテーブル１１３が駆動し、キャリッジ（ヘッド
ユニット１）２を１ピッチ分、副走査方向に移動させ、
再度基板１０２の主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘ
ッド３の駆動が行われる。そしてこれを、数回繰り返す
ことで、基板１０２の端から端まで（全領域）液滴吐出
が行われる。

【０１０３】このように、一対の基準ピン１２，１２の
画像認識におけるヘッド認識カメラ１１８の移動を、Ｘ
テーブル１１６で行うようにしているため、ボールねじ
を用いるＹテーブル１１３等と異なり、移動精度が認識
精度に影響するのを防止することができる。また、Ｘテ
ーブル１１６の移動方向であるＸ軸方向は、主走査方向
に合致しており、構造上、液滴吐出の精度（着弾点の精
度）を高めることができる。

【０１０４】なお、本実施形態では、ヘッドユニット
（キャリッジ２）１に対し、その吐出対象物である基板
１０２を主走査方向に移動させるようにしているが、キ
ャリッジ（ヘッドユニット１）２を主走査方向に移動さ
せる構成であってもよい。また、一対の基準ピン１２，
１２をキャリッジ２の長辺方向の両端部に設けられる場
合も考えられるが、かかる場合には、キャリッジ２のＹ
軸方向への相対的移動により、一対の基準ピン１２，１
２が認識されることとなる。

【０１０５】図１４および図１５は、メインキャリッジ
１１１の外観図である。メインキャリッジ１１１は、ヘ
ッドユニット１が着座するベースプレート１２１と、ベ
ースプレート１２１を垂設するように支持するアーチ部
材１２２と、ベースプレート１２１の一方の端部に突出
するように設けた仮置き台１０６である左右一対の仮置
きアングル１０６ａ，１０６ａと、ペースプレート１２
１の他方の端部に設けたストッパプレート１２３とを備
えている。なお、上記の基板認識カメラ１１７は、スト
ッパプレート１２１の外側に一対設けられている。

【０１０６】ベースプレート１２１には、ヘッドユニッ
ト１の本体プレート１１が遊嵌する方形開口１２４が形
成され、またこの方形開口１２４を構成するベースプレ
ート１２１の左右の各開口縁部１２５には、ヘッドユニ
ット１の各支持部材１３に形成した２つのボルト孔２
２，２２およびピン孔２３に合致する２つの貫通孔１２
６，１２６と位置決めピン１２７とが設けられている。
この場合、方形開口１２４の幅と本体プレート１１の幅
とがほぼ合致しており、側方からセットされるヘッドユ
ニット１は、本体プレート１１の左右が方形開口１２４
の左右に案内されるようにして、挿入される。

【０１０７】各仮置きアングル１０６ａは、十分な厚み
（高さ）を有し、外側に「Ｌ」字状に屈曲した基部で、
ベースプレート１２１の端部に載置するようにして固定
されている。また、両仮置きアングル１０６ａ，１０６
ａの離間寸法は、ヘッドユニット１の両支持部材１３，
１３の離間寸法に対応している。したがって、ヘッドユ
ニット１は、その両支持部材１３，１３が両仮置きアン
グル１０６ａ，１０６ａに着座することで仮置きされ、
且つ両仮置きアングル１０６ａ，１０６ａによりベース
プレート１２１への送り込みが案内される。また、この
状態で、各液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５０がベース
プレート１２１から十分に浮いて、ベースプレート１２
１との接触（干渉）が防止される。

【０１０８】図１６のイメージ図に示すように、ヘッド
ユニット１を、メインキャリッジ１１１のベースプレー
ト１２１にセットする場合には、先ず両ハンドル１４，
１４で手持ちして運び込んだヘッドユニット１を、両仮
置きアングル１０６ａ，１０６ａ上に載置する（仮置
き）。ここで、特に図示しないが、アーチ部材１２２上
に配設した描画装置Ｂのフィルタ材料供給系のチューブ
をヘッドユニット１の配管接続アッセンブリ１５に配管
接続すると共に、制御系のケーブルを配線接続アッセン
ブリ１６に配線接続する（同図（ａ））。

【０１０９】接続作業が完了したら、再度ハンドル１
４，１４を把持し、両仮置きアングル１０６ａ，１０６
ａをガイドにしてヘッドユニット１を先方に押し入れ、
更にその先端部を下げるように傾ける（同図（ｂ））。
ヘッドユニット１を傾けてゆくと、本体プレート１１の
先端部が方形開口１２４に挿入され、且つ両支持部材１
３，１３の先端が方形開口１２４の両開口縁部１２５，
１２５に着地する。両支持部材１３，１３が開口縁部１
２５，１２５に着地したら、両仮置きアングル１０６
ａ，１０６ａから両支持部材１３，１３を浮かせるよう
にし、こんどは両支持部材１３，１３の先端を中心に、
ヘッドユニット１を、開口縁部１２５上をスライドさせ
ながら更に奥に向かって押し込んでゆく。

【０１１０】そして、ヘッドユニット１の先端がストッ
パプレート１２３に突き当たったら、ヘッドユニット１
の後部をゆっくり下げて、両支持部材１３，１３のピン
孔２３に両開口縁部１２５，１２５の位置決めピン１２
７を嵌合させるようにして、ヘッドユニット１をベース
プレート１２１上に着座させる。ここで、ベースプレー
ト１２１の下側からベースプレート１２１を貫通して、
４本の固定ねじ１２８を両支持部材１３，１３に螺合
し、作業を完了する（同図（ｃ））。

【０１１１】このように、ユニット導入部１０５におい
て、ヘッドユニット１を仮置きし、この状態で必要な配
管・配線接続を行うようにしているため、これら接続作
業が行い易く、且つ接続作業後のヘッドユニット１を狭
いスペースに適切にセットすることができる。また、ヘ
ッドユニット１を、仮置きアングル１０６ａから一段低
いベースプレート１２１に、スライドさせながらセット
するようにしているため、ヘッドユニット１をメインキ
ャリッジ１１１にソフトランディングさせるようにセッ
トすることができ、重いヘッドユニット１を、衝撃なく
円滑にセットすることができる。

【０１１２】一方、描画装置Ｂのメンテナンス部１０４
には、キャッピング装置やクリーニング装置に併設する
ようにワイピング装置が設けられている。図１７に示す
ように、ワイピング装置１０８は、ワイピングシート１
３１を備えるワイピングユニット１３２と、ワイピング
ユニット１３２をヘッドユニット１に向かって進退させ
る移動機構１３３とを有している。Ｙテーブル１１３に
よりメンテナンス部１０４に導入されたヘッドユニット
１に対し、移動機構１３３がワイピングユニット１３２
をＸ軸方向（主走査方向）に進退させるようにして拭取
り動作させる。

【０１１３】ワイピングユニット１３３は、ワイピング
シート１３１をロール状に巻回した繰出しリール１３５
と、繰出しリール１３５から繰り出したワイピングシー
ト１３１を巻き取る巻取りリール１３６と、繰出しリー
ル１３５および巻取りリール１３６間においてワイピン
グシート１３１を掛け渡したワイピングローラ１３７と
を備えている。また、繰出しリール１３５とワイピング
ローラ１３７との間には、回転速度検出軸を兼ねるガイ
ドローラ１３８が配設され、且つワイピングローラ１３
７の近傍には、洗浄液供給ヘッド１３９が配設されてい
る。

【０１１４】繰出しリール１３５は、これに設けたトル
クリミッタにより制動回転し、巻取りリール１３６は、
これに設けたモータにより駆動回転する。繰出しリール
１３５から繰り出されたワイピングシート１３１は、ガ
イドローラ１３８をくぐって経路変更され、洗浄液供給
ヘッド１３９から洗浄液の供給を受けた後、ワイピング
ローラ１３７を周回し、巻取りリール１３６に巻き取ら
れる。

【０１１５】ワイピングローラ１３７は、自由回転ロー
ラであり、弾力性或いは柔軟性を有するゴムローラ等で
構成されている。ワイピング時におけるワイピングロー
ラ１３７は、ワイピングシート１３１を各液滴吐出ヘッ
ド３のヘッド本体５０に下側から押し付けるように作用
する。また、ワイピング時には、ワイピングローラ１３
７は巻取りリール１３６の回転を受けて走行するワイピ
ングシート１３１により回転し、且つ移動機構１３３に
より、ワイピングユニット１３３全体としてＸ軸方向に
移動する。これにより、ワイピングシート１３１が、ヘ
ッドニットの下面、すなわち１２個の液滴吐出ヘッド３
のヘッド本体５０に順に摺接してゆく。言い換えれば、
ヘッド本体５０の相対的な移動方向に対し、ワイピング
シート１３１が逆方向に走行し、各ヘッド本体５０のノ
ズル形成面５２が拭き取られることになる。

【０１１６】ヘッド本体５０に摺接してゆくワイピング
シート１３１には、ワイピングローラ１３７に達する直
前に、洗浄液供給ヘッド１３９から洗浄液、すなわちフ
ィルタ材料の溶剤等が供給される。これにより、各ヘッ
ド本体５０のノズル形成面５２に付着したフィルタ材料
は、ワイピングローラ１３７を介して洗浄液を含浸した
ワイピングシート１３１により、きれいに拭き取られ
る。また、上述したように、ヘッド本体５０の下端部は
これにモールドした樹脂６２により、面取りされている
ため、このワイピングの際にヘッド本体５０がワイピン
グシート１３１につかえることがない。

【０１１７】次に、図１８および図１９を参照して、ア
ライメントマスクＤについて説明する。実施形態の組立
装置Ａでは、ヘッドユニット１の組立個数に係わらず、
常に一定レベルの組立精度を有するヘッドユニット１を
供給する必要がある。そこで、キャリッジ２および１２
個の液滴吐出ヘッド３の基準位置をマークしたアライメ
ントマスクＤを用意している。すなわち、アライメント
マスクＤを部品位置の原型（原版）とし、複製としての
ヘッドユニット１を、この組立装置Ａで組み立てるよう
にしている。これにより、ヘッドユニット１に対する各
組立装置Ａが持つ癖や経時変化等の精度的影響を排除す
るようにしている。

【０１１８】アライメントマスクＤは、キャリッジ２の
基準位置および各液滴吐出ヘッド３の基準位置をマスク
パターン形成したマスタプレート１６１と、マスタプレ
ート１６１を下側から保持するプレートホルダ１６２と
で構成されている。上述したように、各液滴吐出ヘッド
３は、主走査方向に対し所定の角度（角度４０°〜６０
°）傾けて配設されている。そこで、マスタプレート１
６１およびプレートホルダ１６２は、この傾き角度に合
わせて形成されている。

【０１１９】より具体的には、マスタプレート１６１
は、傾けて搭載される液滴吐出ヘッド３のヘッド本体５
０に対応し、その長辺に平行な２辺と短辺に平行な２辺
とで方形に形成され、無駄な部分が生じないようにして
いる。また、マスタプレート１６１は、原型として狂い
が生じないように厚手の透明な石英ガラスで構成されて
いる。

【０１２０】マスタプレート１６１の表面には、各液滴
吐出ヘッド３の基準位置を表す各５つのヘッド基準マー
ク１６４，１６４，１６４，１６４，１６４を１組とし
て、これが両側に６組ずつ計１２組形成されている。ま
た、この１２組のヘッド基準マーク１６４の外側には、
キャリッジ２の基準位置を表す一対のキャリッジ基準マ
ーク１６５，１６５が形成されている。さらに、端部に
位置するヘッド基準マーク１６４の近傍には、認識カメ
ラ３５３の画素分解能を調整するための被写体画像１６
６が形成されている。

【０１２１】各５つのヘッド基準マーク１６４は、液滴
吐出ヘッド３におけるノズル形成面５２の中心位置と、
２列のノズル列５３，５３のそれぞれ最外端部に位置す
る計４つの吐出ノズル５７，５７，５７，５７の位置を
表示している。図１８（ａ）に示すように、各ヘッド基
準マーク１６４は、円形ラインの内部に中抜きの十字を
描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成され
ている。したがって、これを認識カメラ３５３で画像認
識（撮像）すると、暗色の円形部分の内部に、明色の十
字部分が認識される。

【０１２２】上記と同様に、各キャリッジ基準マーク１
６５も、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと共
に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されている。
また、被写体画像１６６は、格子状に精度良く描いた縦
横の多数のラインで形成されている。なお、ノズル形成
面５２の中心位置を表すヘッド基準マーク１６４は、４
つの吐出ノズル５７の位置を表す４つのヘッド基準マー
ク１６４から演算可能であるため、省略してもよい。な
お、アライメントマスクＤに形成されたパターンは、Ｃ
ｒ等の金属に代表される不透明膜を一面形成し、その膜
を半導体技術を用いてパターニングする等して形成され
る。

【０１２３】プレートホルダ１６２は、図１９および図
２０に示すように、マスタプレート１６１より一回り大
きく形成した略方形のマスタ支持プレート１６８と、マ
スタ支持プレート１６８の裏面四隅に取り付けた樹脂製
の４つの脚ブロック１６９，１６９，１６９，１６９
と、マスタ支持プレート１６８の表面に設けられたマス
タプレート１６１を縦横不動に位置決めする複数のウレ
タンストッパ１７０と、マスタプレート１６１をマスタ
支持プレート１６８上に浮いた状態で支持する複数の支
持ピン１７１と、支持ピン１７１に対応して設けられマ
スタプレート１６８を上側から押さえる複数の押さえブ
ロック１７２とを備えている。

【０１２４】複数のウレタンストッパ１７０は、マスタ
プレート１６１の四辺に各２個ずつ突き当てられてい
る。また、複数の支持ピン１７１は、マスタプレート１
６１の隅部に各２個ずつ配置され、且つマスタ支持プレ
ート１６８に対し高さ調節可能に取り付けられている。
すなわち、各支持ピン１７１は、アジャストボルトの構
造を有しており、マスタプレート１６１の表面、すなわ
ちマーク形成面１６１ａのレベルを調整できるようにな
っている。複数の押さえブロック１７２は、それぞれ支
持ピン１７１に対応しており、支持ピン１７１との間に
マスタプレート１６１を挟み込むようにして、これを押
さえている。

【０１２５】このように構成されたアライメントマスク
Ｄは、後述する組立装置Ａのセットテーブル２３１に固
定される。このため、マスタ支持プレート１６８の左右
の各縁部には、２つの固定孔１７３，１７３と、２つの
固定孔１７３，１７３間に配設したピン孔１７４とが形
成されている。そして、アライメントマスクＤとヘッド
ユニット１とは、組立装置Ａのセットテーブル２３１に
交換セットされる。

【０１２６】次に、液滴吐出ヘッド３の組立装置Ａおよ
び組立方法について説明する。組立装置Ａは、キャリッ
ジ２に１２個の液滴吐出ヘッド３を仮装着した上記のヘ
ッドユニット１を組立対象物とし、ヘッドユニット１の
キャリッジ２に各液滴吐出ヘッド３を精度良く位置決め
して接着（仮固定）するものである。なお、この組立装
置Ａで、液滴吐出ヘッド３を仮固定したヘッドユニット
１は、洗浄工程および上記のハンドル１４等の部品組込
み工程を経て、描画装置Ｂにセットされる。

【０１２７】図２１ないし図２５の外観図に示すよう
に、組立装置Ａは、架台２０１上に透明な安全カバー２
０２を有し、架台２０１にエアー供給機器２０３等を組
み込むと共に、安全カバー２０２内に機台２０４に載置
するようにして主構成装置２０５を収容して、構成され
ている。架台２０１には、４個のキャスタ２０６と６個
のアジャストボルト付き支持脚２０７とが設けられてい
る。安全カバー２０２の正面には、ヘッドユニット１を
導入するための開閉扉２０８が設けられ、またその上面
には、警告灯２０９が立設されている。

【０１２８】主構成装置２０５は、ヘッドユニット１を
搭載しこれを水平面内においてＸ・Ｙ・θ方向に移動さ
せるユニット移動装置２１１と、キャリッジ２に仮装着
されている各液滴吐出ヘッド３の位置補正を行うヘッド
補正装置２１２と、キャリッジ２に各液滴吐出ヘッド３
を接着する仮固定装置２１３と、液滴吐出ヘッド３の位
置補正に先立ってキャリッジ２および各液滴吐出ヘッド
３を位置認識する認識装置２１４と、これらユニット移
動装置２１１、ヘッド補正装置２１２、仮固定装置２１
３および認識装置２１４を統括制御する制御装置（図５
０参照）２１５とを備えている。

【０１２９】この組立装置Ａでは、予めユニット移動装
置２１１に上記のアライメントマスクＤを導入し、認識
装置２１４によりアライメントマスクＤの各基準マーク
１６４，１６５を画像認識して、キャリッジ２および各
液滴吐出ヘッド３の基準位置データを記憶し、この基準
位置データ（マスタデータ）に基づいてキャリッジ２お
よび各液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。なお、
アライメントマスクＤは、新規のヘッドユニット１の導
入組立時は元より、同一のヘッドユニット１であって
も、その組立個数や稼動時間に基づいて、定期的に導入
される。もちろん、その際に基準位置データはリセット
される。

【０１３０】一方、ヘッドユニット１は、各液滴吐出ヘ
ッド３のヘッド本体５０を上向きにしてユニット移動装
置２１１の上面にセットされ、ヘッドユニット１の組立
ては、先ず認識装置２１４によるキャリッジ２の位置認
識からスタートする。キャリッジ２が位置認識される
と、この認識データと基準位置データとが比較され、そ
の比較結果に基づいて、ユニット移動装置２１１により
キャリッジ２の位置補正が行われる。次に、認識装置２
１４により液滴吐出ヘッド３が位置認識され、この認識
結果（比較結果）に基づいてヘッド補正装置２１２によ
り、液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる。

【０１３１】続いて、この位置補正状態を維持しつつ、
仮固定装置２１３により、ヘッド保持部材４を介して液
滴吐出ヘッド３がキャリッジ２に接着される。またその
際、接着剤が硬化するまで、ヘッド補正装置２１２は、
液滴吐出ヘッド（ヘッド保持部材４）３を動かないよう
に押さえている。そして、この液滴吐出ヘッド３の位置
認識から接着までの工程を、液滴吐出ヘッド３の個数分
繰り返えすようにし、全液滴吐出ヘッド３の仮固定が完
了する。

【０１３２】図２１および図２６に示すように、ユニッ
ト移動装置２１１は、３個所のアジャストボルト２１７
により水平に支持した板状の機台２０４に、広い占有面
積をもって載置されている。ユニット移動装置２１１
は、ヘッドユニット１を反転状態でセットするセットテ
ーブル２３１と、セットテーブル２３１を下側から支持
するθテーブル２３２と、θテーブル２３２を下側から
支持するＸ・Ｙテーブル２３３とを、備えている。ヘッ
ドユニット１は、セットテーブル２３１と共に搭載した
液滴吐出ヘッド３の傾きに合わせ、傾けてセットされて
いる。このため、液滴吐出ヘッド３の主走査方向に相当
する方向がＸ軸方向となり、副走査方向がＹ軸方向とな
る。

【０１３３】図２７に示すように、セットテーブル２３
１は、複数の円形抜き孔２３６を形成した方形のベース
プレート２３５と、ベースプレート２３５の両側に固定
した一対の帯状ブロック２３７，２３７とを有してい
る。各帯状ブロック２３７の上面には、位置決めピン２
３８が立設される共に２つのねじ孔２３９，２３９が形
成されている。すなわち、ヘッドユニット１はセットテ
ーブル２３１に対し、左右の２個所で位置決めされ、計
４個所でねじ止め固定されるようになっている。また、
ベースプレート２３５の中央部分には、セットテーブル
２３１をθテーブル２３２に固定するための４つの貫通
孔２４０等が形成されている。

【０１３４】このように、ヘッドユニット１は、セット
テーブル２３１を介してθテーブル２３２に固定され、
同様にアライメントマスクＤも、セットテーブル２３１
を介してθテーブル２３２に固定されるようになってい
る。この場合、ヘッドユニット１とアライメントマスク
Ｄとは、θテーブル２３２に固定したヘッドユニット１
の各液滴吐出ヘッド３のノズル形成面５２と、θテーブ
ル２３２に固定したアライメントマスクＤのマーク形成
面（マスタプレートの表面）１６１ａとが、同一水平面
内に位置するように設計されている。

【０１３５】同様に、ヘッドユニット１の重量と、プレ
ートホルダ１６２を含むアライメントマスクＤの重量と
が、略同一重量となるように設計されている。これによ
り、アライメントマスクＤの位置認識動作とヘッドユニ
ット１の位置認識動作とを、全く同一条件で行えるよう
にしている。なお、セットテーブル２３１は、ヘッドユ
ニット１に対し専用部品となっており、ヘッドユニット
１が変更されるとこれに合わせてセットテーブル２３１
も変更される。

【０１３６】次に、図２８、図２９および図３０を参照
して、θテーブル２３２について説明する。θテーブル
２３２は、セットテーブル２３１を介してヘッドユニッ
ト１を微小回転（微小回動）させる回転作動部２４２
と、回転作動部２４２を駆動する進退駆動部２４３とで
構成されている。回転作動部２４２は、セットテーブル
２３１が固定されるテーブル本体２４５と、テーブル本
体２４５から進退駆動部２４３側に延びる連結アーム２
４６と、テープル本体２４５を回転自在に支持するロー
ラリング２４７と、ローラリング２４７を支持する支持
台２４８とを有している。この場合、セットテーブル２
３１は、テーブル本体２４５に設けた２個所の位置決め
ピン２５０，２５０と、４個所のねじ孔２５１を介し
て、テーブル本体２４５の上面に位置決め状態でねじ止
めされている。

【０１３７】進退駆動部２４３は、動力源を構成するθ
テーブルモータ（サーボモータ）２５３と、θテーブル
モータ２５３の主軸２５４にカップリング２５５を介し
て連結されボールねじ２５６と、ボールねじ２５６が螺
合する雌ねじブロック２５７と、雌ねじブロック２５７
をボールねじ２５６の軸方向（Ｘ軸方向に）にスライド
自在に支持する主スライダ２５８とを有しており、また
上記の連結アーム２４６の先端部が連結されアーム受け
２６０と、ベアリング２６１を介してアーム受け２６０
を回動自在に軸支する鉛直軸部材２６２と、雌ねじブロ
ック２５７に対し鉛直軸部材２６２をＹ軸方向にスライ
ド自在に支持する副スライダ２６３とを有している。

【０１３８】θテーブルモータ２５３は正逆回転可能に
構成され、θテーブルモータ２５３が正逆回転すると、
ボールねじ２５６により、雌ねじブロック２５７が主ス
ライダ２５８に案内されてＸ軸方向に進退する。雌ねじ
ブロック２５７が進退すると、これに支持されている副
スライダ２６３おび鉛直軸部材２６２もＸ軸方向に進退
する。さらに、鉛直軸部材２６２が進退すると、これに
軸着されているアーム受け２６０を介して、連結アーム
２４６およびテーブル本体２４５がテーブル本体２４５
の軸心を中心に回動する。すなわち、テーブル本体２４
５が水平面内において、正逆微小回転する（θ方向に正
逆移動）。

【０１３９】また、この回動に伴って、テーブル本体２
４５と鉛直軸部材２６２との中心間距離が変化するが、
この距離の変化は、副スライダ２６３を介して鉛直軸部
材２６２がＹ軸方向に適宜、微小移動することにより吸
収される。なお、雌ねじブロック２５７から突出する遮
光板２６５と、雌ねじブロック２５７の進退に伴って遮
光板２６５が臨む３個のフォトインタラプタ２６６によ
り、雌ねじブロック２５７の移動端位置、すなわちテー
ブル本体２４５の回動範囲（角度）が規制されるように
なっている（オーバーランの防止）。

【０１４０】進退駆動部２４３は、主スライダ２５８の
下側に設けた支持プレート２６７に支持されており、こ
の支持プレート２６７が回転作動部２４２の支持台２４
８に固定されている。そして、この支持台２４８がＸ・
Ｙテーブル２３３に載置されている。

【０１４１】次に、図２６、図３１および図３２を参照
して、Ｘ・Ｙテーブル２３３について説明する。Ｘ・Ｙ
テーブル２３３は、θテーブル２３２を下側から支持す
る支持ブロック２７０と、支持ブロック２７０をＸ軸方
向にスライド自在に支持するＸ軸テーブル２７１と、Ｘ
軸テーブル２７１をＹ軸方向にスライド自在に支持する
Ｙ軸テーブル２７２とを有している。支持ブロック２７
０には、４箇所にねじ孔２７４を有しており、この４箇
所にねじ孔２７４を介して支持ブロック２７０にθテー
ブル２３２が固定されている。

【０１４２】Ｘ軸テーブル２７１は、Ｘ軸エアースライ
ダ２７６と、Ｘ軸リニアモータ２７７と、Ｘ軸エアース
ライダ２７６に併設したＸ軸リニアスケール２７８とで
構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２７２は、Ｙ軸
エアースライダ２７９と、Ｙ軸リニアモータ２８０と、
Ｙ軸エアースライダ２７９に併設したＹ軸リニアスケー
ル２８１とで構成されている。なお、図中の符号、２８
２，２８３は、それぞれＸ軸ケーブルベア（登録商標）
およびＹ軸ケーブルベアである。また、符号２８４，２
８４は、両リニアモータ２７７，２８０のアンプであ
る。

【０１４３】Ｘ軸リニアモータ２７７およびＹ軸リニア
モータ２８０は、適宜制御駆動され、θテーブル２３２
をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。すなわち、セ
ットテーブル２３１にセットされたヘッドユニット（或
いはアライメントマスクＤ）１は、水平面内において、
θテーブル２３１によりθ軸方向に移動すると共に、Ｘ
・Ｙテーブル２３３によりＸ軸方向およびＹ軸方向に移
動する。

【０１４４】次に、ヘッド補正装置２１２について説明
する。ヘッド補正装置２１２は、認識装置２１４による
液滴吐出ヘッド３の位置認識に基づき、ヘッド保持部材
４を介して液滴吐出ヘッド３をＸ軸、Ｙ軸およびθ軸方
向に微小移動させて、液滴吐出ヘッド３の位置決め（位
置補正）を行うものである。また同時に、ヘッド補正装
置２１２は仮固定装置２１３と協働し、接着剤が凝固す
るまでヘッド保持部材４をキャリッジ２に押し付けるよ
う機能する。

【０１４５】図２３および図３３に示すように、ヘッド
補正装置２１２は、上記の機台２０４の奥側に取り付け
た補正装置用スタンド３０１と、これに載置された補正
用Ｘ・Ｙテーブル３０２と、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０
２に支持された補正用θテーブル３０３と、補正用θテ
ーブル３０３に支持されたアームユニット３０４とで構
成されている。この場合、補正用θテーブル３０３は、
ユニット移動装置２１１のθテーブル２３２と全く同一
の構造を有しているため、ここでは説明を省略する。な
お、θテーブル２３２ではその進退駆動部２４３が左側
に位置するように配設されているが、この補正用θテー
ブル３０３では右側に位置するように配設されている
（図２３参照）。

【０１４６】補正装置用スタンド３０１は、図３３に示
すように、補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２が載置されるベ
ースプレート３０７と、ベースプレート３０７を支持す
る３組の脚ユニット３０８，３０８，３０８とを有して
いる。３組の脚ユニット３０８は、左部、右部および中
央後部の３個所に配設されており、それぞれ一対の支柱
３０９，３０９と、一対の支柱３０９，３０９の上下に
固定した上板３１０および下板３１１とで構成されてい
る。

【０１４７】この場合、補正装置用スタンド３０１の下
側空間には、ユニット移動装置２１１により移動するヘ
ッドユニット１が臨み、補正装置用スタンド３０１から
張り出したアームユニット３０４がこのヘッドユニット
１に上側から臨む（ヘッド保持部材４に係合）ようにな
っている。そして、ヘッドユニット１の移動およびキャ
リッジ２の位置補正は、ユニット移動装置２１１により
行われ、各液滴ヘッド３の位置補正は、このヘッド補正
装置２１２により行われる。したがって、任意の１の液
滴吐出ヘッド３が仮固定された後、ユニット移動装置２
１１がヘッドユニット１を移動させて、次の液滴吐出ヘ
ッド３をヘッド補正装置２１２に臨ませる。

【０１４８】図３３ないし図３６に示すように、補正用
Ｘ・Ｙテーブル３０２は、補正装置用スタンド３０１の
中央に載置されており、補正用θテーブル３０２を支持
する支持ブロック３１４と、支持ブロック３１４をＸ軸
方向にスライド自在に支持する補正用Ｘ軸テーブル３１
５と、補正用Ｘ軸テーブル３１５をＹ軸方向にスライド
自在に支持する補正用Ｙ軸テーブル３１６とを有してい
る。支持ブロック３１４には、４箇所にねじ孔３１８を
有しており、この４箇所にねじ孔３１８を介して支持ブ
ロック３１４に補正用θテーブル３０３が固定されてい
る。

【０１４９】補正用Ｘ軸テーブル３１５は、Ｘ軸エアー
スライダ３２０と、Ｘ軸リニアモータ３２１と、Ｘ軸エ
アースライダ３２０に併設したＸ軸リニアスケール３２
２とで構成されている。同様に、補正用Ｙ軸テーブル３
１６は、Ｙ軸エアースライダ３２３と、Ｙ軸リニアモー
タ３２４と、Ｙ軸エアースライダ３２３に併設したＹ軸
リニアスケール３２５とで構成されている。なお、図中
の符号、３２６，３２７は、それぞれＸ軸ケーブルベア
およびＹ軸ケーブルベアであり、また、符号３２８，３
２８は、両リニアモータ３２１，３２４のアンプであ
る。

【０１５０】図３７、図３８および図３９に示すよう
に、アームユニット３０４は、ヘッド保持部材４の一対
の係合孔７６，７６に係合する一対の係合アーム３３
１，３３１と、一対の係合アーム３３１，３３１を支持
するブラケット３３２と、ブラケット３３２を昇降させ
るアーム昇降機構３３３と、アーム昇降機構３３３を支
持する支持台３３４とで構成されている。支持台３３４
は、補正用θテーブル３０３に固定される固定板３３６
と、固定板３３６から前方に延びる一対のＬ字アーム３
３７，３３７と、一対のＬ字アーム３３７，３３７の前
端に固定した鉛直板３３８とで構成され、前方に向かっ
て逆「Ｌ」字状に延在している。

【０１５１】アーム昇降機構３３３は、ブラケット３３
２を昇降自在に支持する昇降スライダ３４０と、鉛直板
３３８の下部に固定され昇降スライダ３４０を昇降させ
るエアーシリンダ３４１とで構成されている。エアーシ
リンダ３４１は、上記のエアー供給機器２０３に接続さ
れており、エアーバルブ等の切り替えにより昇降スライ
ダ３４０を案内にしてブラケット３３２を昇降させる。
ブラケット３３２は、「Ｌ」字状に形成され、先端が二
股に形成されている。そして、この二股部分に、それぞ
れ係合アーム３３１，３３１が下向きに取り付けられて
いる。

【０１５２】各係合アーム３３１は、図４０に示すよう
に、ヘッド保持部材４の係合孔７６に挿入される係合ピ
ン３４３と、係合ピン３４３を上下動自在に保持するピ
ンホルダ３４４と、ピンホルダ３４４に内蔵され係合ピ
ン３４３を下方に付勢するコイルばね３４５とを有して
いる。ピンホルダ３４４の上端部は、ブラケット３３２
に下側から嵌合するようにして固定されている。係合ピ
ン３４３の先端部は、テーパー形状に形成されており、
このテーパー部３４７は、ヘッド保持部材４の係合孔７
６に対し基端側が太径に先端側が細径に形成されてい
る。これにより、係合ピン３４３は係合孔７６にがたつ
きなく、係合するようになっている。

【０１５３】初期状態において、両係合アーム３３１，
３３１はエアーシリンダ３４１により上昇端位置に移動
しており、ユニット移動装置２１１によりヘッドユニッ
ト１を移動させた後、エアーシリンダ３４１により両係
合アーム３３１，３３１を下降させると、その一対の係
合ピン３４３，３４３が、所望のヘッド保持部材４の係
合孔７６，７６に係合する。また、エアーシリンダ３４
１は、上記の制御装置２１５によりタイマー制御されて
おり、仮固定装置２１３により塗布された接着剤が凝固
するまで、位置補正後のヘッド保持部材４をそのままキ
ャリッジ２に押圧している。

【０１５４】すなわち、両係合アーム３３１，３３１を
下降させたエアーシリンダ３４１は、ヘッド保持部材４
の位置補正および接着剤の塗布（詳細後述する）が行わ
れた後、接着剤の凝固時間（所定の接着強度に達する時
間）が経過した時に両係合アーム３３１，３３１を元の
位置に上昇させる。なお、本実施形態では、係合ピン３
４３をコイルばね３４５で付勢するようにしているが、
コイルばね３４５を省略し、係合ピン３４３とピンホル
ダ３４４とを一体化した単純な構造にしてもよい。

【０１５５】以上の構成では、アームユニット３０４の
両係合アーム３３１，３３１が下降して、ヘッド保持部
材４に係合すると、補正用θテーブル３０３および補正
用Ｘ・Ｙテーブル３０２が駆動して、ヘッド保持部材４
を介して液滴吐出ヘッド３を位置決めする。そして、接
着剤が凝固するまで、この位置決め状態が維持される。
すなわち、アームユニット３０４の両係合アーム３３
１，３３１が、位置きめ状態でヘッド保持部材４をキャ
リッジ２に向かって押さえており、このヘッド保持部材
４に仮固定装置（接着）２１３が臨むことになる。

【０１５６】次に、認識装置２１４について説明する。
図２４および図４１に示すように、認識装置２１４は、
補正用Ｘ・Ｙテーブル３０２の前部を跨ぐように補正装
置用スタンド３０１上に固定したカメラスタンド３５１
と、カメラスタンド３５１の前面に固定したカメラ位置
調節ユニット３５２と、カメラ位置調節ユニット３５２
に取り付けた一対の認識カメラ（ＣＣＤカメラ）３５
３，３５３とで構成されている。この場合、一対の認識
カメラ３５３，３５３は、認識対象となるヘッドユニッ
ト（アライメントマスクＤ）１に対し、固定的に設けら
れている。

【０１５７】カメラスタンド３５１は、逆「Ｌ」字状に
前方に延びる左右一対の脚片部材３５５，３５５と、一
対の脚片部材３５５，３５５間に渡した横長の前面プレ
ート３５６とを有している。カメラ位置調節ユニット３
５２を介して前面プレート３５６に固定された一対の認
識カメラ３５３，３５３は、ヘッド補正装置２１２の一
対の係合アーム３３１，３３１より幾分高い位置に、且
つ幾分前方に張り出した位置に配設され（図２５参
照）、係合アーム３３１との干渉が防止されるようにな
っている。

【０１５８】図４１ないし図４４に示すように、カメラ
位置調節ユニット３５２は、前面プレート３５６に添設
したＺ軸調整プレート３５８と、Ｚ軸調整プレート３５
８の下端部に取り付けたマイクロステージ３５９と、左
側の認識カメラ３５３ａを保持する左カメラホルダ３６
０と、右側の認識カメラ３５３ｂを保持する右カメラホ
ルダ３６１とを有している。Ｚ軸調整プレート３５８
は、前面プレート３５６との間に鉛直方向に延びる一対
のガイドレール３６２，３６２を有すると共に、前面プ
レート３５６の上端に突き当てたアジャストボルト３６
３を有している。このアジャストボルト３６３の正逆回
転により、Ｚ軸調整プレート３５８を介して、両認識カ
メラ３５３，３５３の上下方向の位置が調節できるよう
になっている。

【０１５９】マイクロステージ３５９は、右カメラホル
ダ３６１を介して右側の認識カメラ３５３ｂを支持する
Ｘ軸ステージ３６５と、Ｘ軸ステージ３６５を支持する
と共にＺ軸調整プレート３５８の下端部に固定したＹ軸
ステージ３６６とで構成されている。Ｘ軸ステージ３６
５は、右側の認識カメラ３５３ｂをＸ軸方向に微小移動
可能に構成され、右側の認識カメラ３５３ｂにおける前
後方向の位置を調節可能に構成されている。同様に、Ｙ
軸ステージ３６６は、右側の認識カメラ３５３ｂにおけ
る左右方向の位置を調節可能に構成されている。

【０１６０】一方、左カメラホルダ３６０は、Ｚ軸調整
プレート３５８の下端部に固定されている。このため、
左カメラホルダ３６０を介して固定的に設けた左側の認
識カメラ３５３ａに対し、右側の認識カメラ３５３ｂを
マイクロステージ３５９で位置調節するようになってい
る。上述したように、左右の認識カメラ３５３ａ，３５
３ｂにより、２つの吐出ヘッド５７ａ，５７ａを同時に
位置認識するため、特に新規の液滴吐出ヘッド３を扱う
ときには、予めマイクロステージ３５９により、左右の
認識カメラ３５３ａ，３５３ｂの離間距離、すなわち視
野間距離を調節するようにしている。なお、図中の符号
３６７は、カメラ位置調節ユニット３５２および両認識
カメラ３５３，３５３を一体に覆うカメラカバーであ
る。

【０１６１】このように構成された認識装置２１４で
は、一方の認識カメラ３５３とユニット移動機構２１１
のＸ軸テーブル２７１との協働により、キャリッジ２の
２つの基準マーク（基準ピン１２，１２）２６，２６が
位置認識される。すなわち、一方の認識カメラ３５３に
より一方の基準ピン１２の画像認識が行われ、続いてキ
ャリッジ２がＸ軸方向に移動して他方の基準ピン１２の
画像認識が行われる。そして、この認識結果に基づい
て、ユニット移動装置２１１によりキャリッジ（ヘッド
ユニット１）２の位置補正が行われ、さらに確認のため
再度の位置認識が行われる。

【０１６２】また、一対の認識カメラ３５３，３５３に
より、各液滴吐出ヘッド３の基準となる２つの吐出ノズ
ル５７ａ，５７ａが、同時に位置認識される。すなわ
ち、該当する液滴吐出ヘッド３が一対の認識カメラ３５
３，３５３の直下に移動して、２つの吐出ヘッド５７
ａ，５７ａが同時に画像認識される。また、この状態
で、ヘッド保持部材４にヘッド補正装置２１２が臨ん
で、液滴吐出ヘッド３の位置補正が行われる、且つ仮固
定装置２１３による接着が行われる。なお、アライメン
トマスクＤにおける各マーク１６４，１６５の認識も、
上記と同様に為される。

【０１６３】次に、仮固定装置２１３について説明す
る。図２２および図４５に示すように、上記の機台２０
４の右部には、補正装置用スタンド３０１を跨ぐように
して前後方向に延びる共有スタンド２１９が設けられて
おり、仮固定装置２１３は、この共有スタンド２１９の
前部に配設されている。仮固定装置２１３は、４本のス
テー３７１で共有スタンド２１９に支持した方形支持プ
レート３７２と、方形支持プレート３７２の下面に固定
したエアーテーブル３７３と、エアーテーブル３７３の
先端部に固定した接着剤塗布装置３７４と、ホーム位置
に移動した接着剤塗布装置３７４に下側から臨む接着剤
トレイ３７５とを備えている。接着剤トレイ３７５は、
共有スタンド２１９に固定されており、接着剤塗布装置
３７４から垂れた接着剤を受けるようになっている。

【０１６４】図４５ないし図４９に示すように、エアー
テーブル３７３は、方形支持プレート３７２に取り付け
たＹ軸エアーテーブル３７７と、Ｙ軸エアーテーブル３
７７の先端部に取り付けたサブＹ軸エアーテーブル３７
８と、サブＹ軸エアーテーブル３７８の先端部に取り付
けたＸ軸エアーテーブル３７９と、Ｘ軸エアーテーブル
３７９の先端部に取り付けたＺ軸エアーテーブル３８０
とで構成されている。そして、これらＹ軸エアーテーブ
ル３７７、サブＹ軸エアーテーブル３７８、Ｘ軸エアー
テーブル３７９およびＺ軸エアーテーブル３８０は、い
ずれも上記のエアー供給機器２０３に接続されたエアー
シリンダ３７７ａ，３７８ａ，３７９ａ，３８０ａと、
スライダ３７７ｂ，３７８ｂ，３７９ｂ，３８０ｂとで
構成されている。

【０１６５】接着剤塗布装置３７４は、上記のＺ軸エア
ーテーブル３８０に固定した鉛直支持板３８２と、鉛直
支持板３８２の下部から先方に突出する左右一対の水平
支持ブロック３８３，３８３と、各水平支持ブロック３
８３に取り付けた一対のディスペンサユニット３８４，
３８４と、上記の共有スタンド２１９に支持したディス
ペンサコントローラ３８５とで構成されている。一対の
ディスペンサユニット３８４，３８４は、上記一対の係
合アーム３３１，３３１や一対の認識カメラ３５３，３
５３に対し、前方から対峙するように配設されている。

【０１６６】各ディスペンサユニット３８４は、先端に
接着剤注入ノズル３８７を装着したディスペンサ３８８
と、ディスペンサ３８８に接着剤を供給するカートリッ
ジ形式のシリンジ３８９と、ディスペンサ３８８および
シリンジ３８９を保持するディスペンサホルダ３９０と
を備えている。ディスペンサホルダ３９０は、水平支持
ブロック３８３の先端部に角度調節自在に取り付けられ
ており、本実施形態では、接着剤注入ノズル３８７が水
平に対し４５度程度、傾くように調節されている。な
お、各水平支持ブロック３８３は、鉛直支持板３８２に
対し、前後および左右方向に位置調節可能に固定されて
いる。

【０１６７】上述したように、接着剤は、上記の２本の
接着剤注入ノズル３８７，３８７を用い、ヘッド保持部
材４の対となる一方の２つの接着剤注入孔７７ａ，７７
ａに同時に注入（塗布）されると共に、両接着剤注入ノ
ズル３８７，３８７のＹ軸方向への移動を経た後、対と
なる他方の２つの不接着剤注入孔７７ｂ，７７ｂに同時
に注入（塗布）される。したがって、両接着剤注入ノズ
ル３８７，３８７の離間寸法は、ヘッド保持部材４にお
ける対を為す接着剤注入孔７７ａ（７７ｂ），７７ａ
（７７ｂ）の離間寸法に対応している。また、所定の傾
き角度を有する各接着剤注入ノズル３８７は、長孔であ
る接着剤注入孔７７に差し込まれ、その内周面に吹き付
けるようにして接着剤を注入する。

【０１６８】ところで、ヘッド補正装置２１２は、位置
決め動作を完了した状態で、そのままヘッド保持部材４
をキャリッジ２に押し付けるようにして、これを不動に
保持している。これに対し、Ｘ軸エアーテーブル３７９
およびＹ軸エアーテーブル３７７が駆動して、２本の接
着剤注入ノズル３８７，３８７をヘッド保持部材４の２
つの接着剤注入孔７７ａ，７７ａの直上部に移動させ
る。ここで、Ｚ軸エアーテーブル３８０が駆動して、２
本の接着剤注入ノズル３８７，３８７を２つの接着剤注
入孔７７ａ，７７ａに同時に挿入する。

【０１６９】つぎに、シリンジ３８９により、２本の接
着剤注入ノズル３８７，３８７から所定量（ディスペン
サコントローラ３８５で調整）の接着剤が注入される。
続いて、Ｚ軸エアーテーブル３８０により、２本の接着
剤注入ノズル３８７，３８７を上昇させると共に、サブ
Ｙ軸エアーテーブル３７８を駆動して、２本の接着剤注
入ノズル３８７，３８７を、他方の２つの接着剤注入孔
７７ｂ，７７ｂの直上部に移動させる。この場合、ヘッ
ド保持部材４における対となる２組の接着剤注入孔７７
ａ（７７ｂ），７７ａ（７７ｂ）間の距離は、一定して
いるため、ここでは、Ｙ軸エアーテーブル３７７を停止
させ、サブＹ軸エアーテーブル３７８のみを駆動させる
ようにしている。

【０１７０】次に、再度、接着剤注入ノズル３８７，３
８７を上昇させてから、仮固定装置２１３を休止させて
接着剤の凝固時間を待つ。凝固時間が経過すると、ヘッ
ド補正装置２１２がヘッド保持部材４に対する係合を解
き、任意の１つの液滴吐出ヘッド３の仮固定（位置決め
および接着）作業が完了する。そして、このヘッド補正
装置２１２と仮固定装置２１３との協働による液滴吐出
ヘッド３の位置決めおよび接着作業が、１２回繰り返さ
れることにより、液滴吐出ヘッド３の仮固定が完了し、
それぞれヘッド補正装置２１２と仮固定装置２１３はホ
ーム位置に戻る。

【０１７１】ここで、図５０を参照して、制御装置２１
５について説明すると共に、この制御装置２１５に基づ
くヘッドユニット１の一連の組立手順について説明す
る。同図のブロック図に示すように、制御装置２１５に
おける制御系は、キャリッジ２や液滴吐出ヘッド３の設
計上の位置データ等を操作パネル４０１により入力する
入力部４０２と、ユニット移動装置２１１等の構成装置
を駆動する各種のドライバ等を有する駆動部４０３と、
認識カメラ３５３により位置認識を行う検出部４０４
と、組立装置Ａの各構成装置を統括制御する制御部４０
５とを備えている。

【０１７２】駆動部４０３は、ユニット移動装置２１１
の各モータを駆動制御する移動用ドライバ４０７と、ヘ
ッド補正装置２１２の各モータを駆動制御する補正用ド
ライバ４０８と、仮固定装置２１３におけるエアーテー
ブル３７３の各エアーシリンダを駆動制御するエアー用
ドライバ４０９と、仮固定装置２１３におけるディスペ
ンサユニット３８４を制御するディスペンサコントロー
ラ３８５とを有している。

【０１７３】制御部４０５は、ＣＰＵ４１１、ＲＯＭ４
１２、ＲＡＭ４１３およびＰ−ＣＯＮ４１４を有してお
り、これらは互いにバス４１５を介して接続されてい
る。ＲＯＭ４１２には、ＣＰＵ４１１で処理する制御プ
ログラムを記憶する制御プログラムの他、各種の制御デ
ータを記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ４
１３は、外部から入力した位置データや、認識カメラ３
５３がアライメントマスクＤから得たマスタ位置データ
等を記憶する位置データ領域の他、各種レジスタ群を有
し、制御処理のための作業領域として使用される。

【０１７４】Ｐ−ＣＯＮ４１４は、ＣＰＵ４１１の機能
を補うと共に、周辺回路とのインターフェース信号を取
り扱うための論理回路やタイマー４１６が組み込まれて
いる。このため、Ｐ−ＣＯＮ４１４は、操作パネル４０
１と接続され入力部４０２からの各種指令などを、その
まま或いは加工してバス４１５に取り込む。また、Ｐ−
ＣＯＮ４１４はＣＰＵ４１１と連動して、ＣＰＵ４１１
等からバス４１５に出力されたデータや制御信号を、そ
のまま或いは加工して駆動部に出力する。

【０１７５】そして、ＣＰＵ４１１は、上記の構成によ
り、ＲＯＭ４１２内の制御プログラムにしたがって、Ｐ
−ＣＯＮ４１４を介して各種検出信号、各種指令、各種
データ等を入力し、ＲＡＭ４１３内の各種データを処理
し、Ｐ−ＣＯＮ４１４を介して駆動部４０３に制御信号
を出力する。これにより、ユニット移動装置２１１、ヘ
ッド補正装置２１２、仮固定装置２１３等の組立装置Ａ
全体が制御される。

【０１７６】例えば、認識カメラ３５３から得たアライ
メントマスクＤのマスタ位置データ、および認識カメラ
３５３から得たヘッドユニット１のユニット位置データ
は、ＲＡＭ４１３内に格納され、ＲＯＭ４１２内の制御
プログラムに従って、マスタ位置データとユニット位置
データとが比較され、その比較結果に基づいて、ユニッ
ト移動装置２１１、ヘッド補正装置２１２等が制御され
る。

【０１７７】ここで、実施形態の組立装置Ａによるヘッ
ドユニット１の組立方法について、順を追って説明す
る。この組立装置Ａでは、ヘッドユニット１の導入に先
立って、先ずアライメントマスクＤが導入される。アラ
イメントマスクＤがセットテーブル２３１にセットされ
ると、ユニット移動装置２１１が駆動し、アライメント
マスクＤの一方のキャリッジ基準マーク１６５を一方の
認識カメラ３５３に臨ませ、一方のキャリッジ基準マー
ク１６５を位置認識する。次に、ユニット移動装置２１
１のＸ軸テーブル２７１が駆動し、他方のキャリッジ基
準マーク１６５を認識カメラ３５３に臨ませ、他方のキ
ャリッジ基準マーク１６５を位置認識する。

【０１７８】次に、ユニット移動装置２１１が駆動し、
アライメントマスクＤの端部に位置するヘッド基準マー
ク１６４を一対の認識カメラ３５３，３５３に同時に臨
ませ、２個所のヘッド基準マーク１６４，１６４を同時
に位置認識する。これを、順に繰り返して、１２個の液
滴吐出ヘッド３に対応する１２組のヘッド基準マーク１
６４を位置認識する。このようにして、アライメントマ
スクＤの位置認識が完了したら、アライメントマスクＤ
をホーム位置に戻し、セットテーブル２３１にヘッドユ
ニット１を載せかえる。

【０１７９】ここで、ヘッドユニット１を上記と全く同
様の手順で移動させ、先ずキャリッジ２の一対の基準ピ
ン１２，１２を位置認識し、この認識結果に基づいて、
ユニット移動装置２１１によりキャリッジ（ヘッドユニ
ット１）２を位置補正する。次に、上記と同様の手順
で、第１番目の液滴吐出ヘッド３のヘッド本体（ヘッド
保持部材４）５０をヘッド補正装置２１２の一対の係合
アーム３３１に臨ませ、ヘッド保持部材４に係合アーム
３３１を係合させる。ここで、一対の認識カメラ３５
３，３５３によりヘッド本体５０の位置基準となる２つ
の吐出ノズル５７ａ，５７ａを位置認識する。

【０１８０】次に、ヘッド補正装置２１２を駆動し、上
記の認識結果に基づきヘッド保持部材４を介して液滴吐
出ヘッド３を位置決めする。そして、この位置決め状態
のまま、仮固定装置２１３を駆動し、一対の接着剤注入
ノズル３８７，３８７をヘッド保持部材４に臨ませて、
接着剤の注入を行う。接着剤の注入は、仮固定装置２１
３のサブＹ軸エアーシリンダ３７８により、接着剤注入
ノズル３８７の移動を伴って２回行われる。接着剤の注
入が完了したら、タイマー制御により接着剤の硬化を待
って、ヘッド補正装置２１２のヘッド保持部材４への係
合を解く。

【０１８１】このようにして、第１番目の液滴吐出ヘッ
ド３の位置決めおよび仮固定が完了し、この作業を第２
番目から第１２番目の液滴吐出ヘッド３まで繰り返す。
そして、最後に、ユニット移動装置２１１、ヘッド補正
装置２１２および仮固定装置２１３を、それぞれホーム
位置に戻し、組み立てられたヘッドユニット１をセット
テーブル２３１から外す。その後、ヘッドユニット１
は、液滴吐出ヘッド３の洗浄を経ると共に、これに、ハ
ンドル１４や両アッセンブリ１５，１６等の構成部品を
組み込んで、描画装置Ｂに運び込まれる。

【０１８２】なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド３
を、ヘッド保持部材４を介してキャリッジ２に接着し、
接着部分が金属−金属の接着となるようにしているが、
液滴吐出ヘッド３を直接、キャリッジ２に接着する構造
にしてもよい。

【０１８３】ところで、本発明のヘッドユニットの組立
装置およびこれによって組み立てられるヘッドユニット
１は、上記の描画装置Ｂのみならず、各種フラットディ
スプレイの製造方法や、各種の電子デバイスおよび光デ
バイスの製造方法等にも適用可能である。そこで、この
ヘッドユニット１を用いた製造方法を、液晶表示装置の
製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、説明す
る。

【０１８４】図５１は、液晶表示装置のカラーフィルタ
の部分拡大図である。図５１（ａ）は平面図であり、図
５１（ｂ）は図５１（ａ）のＢ−Ｂ´線断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。

【０１８５】図５１（ａ）に示されるように、カラーフ
ィルタ５００は、マトリクス状に並んだ画素（フィルタ
エレメント）５１２を備え、画素と画素の境目は、仕切
り５１３によって区切られている。画素５１２の１つ１
つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのイ
ンク（フィルタ材料）が導入されている。この例では
赤、緑、青の配置をいわゆるモザイク配列としたが、ス
トライプ配列、デルタ配列など、その他の配置でも構わ
ない。

【０１８６】図５１（ｂ）に示されるように、カラーフ
ィルタ５００は、透光性の基板５１１と、遮光性の仕切
り５１３とを備えている。仕切り５１３が形成されてい
ない（除去された）部分は、上記画素５１２を構成す
る。この画素５１２に導入された各色のインクは着色層
５２１を構成する。仕切り５１３及び着色層５２１の上
面には、オーバーコート層５２２及び電極層５２３が形
成されている。

【０１８７】図５２は、本発明の実施形態によるカラー
フィルタの製造方法を説明する製造工程断面図である。
断面図各部のハッチングは一部省略している。

【０１８８】膜厚０．７ｍｍ、たて３８ｃｍ、横３０ｃ
ｍの無アルカリガラスからなる透明基板５１１の表面
を、熱濃硫酸に過酸化水素水を１重量％添加した洗浄液
で洗浄し、純水でリンスした後、エア乾燥を行って清浄
表面を得る。この表面に、スパッタ法によりクロム膜を
平均０．２μｍの膜厚で形成し、金属層５１４´を得る
（図５２：Ｓ１）。

【０１８９】この基板をホットプレート上で、８０℃で
５分間乾燥させた後、金属層５１４´の表面に、スピン
コートによりフォトレジスト層（図示せず）を形成す
る。この基板表面に、所要のマトリクスパターン形状を
描画したマスクフィルムを密着させ、紫外線で露光をお
こなう。次に、これを、水酸化カリウムを８重量％の割
合で含むアルカリ現像液に浸漬して、未露光の部分のフ
ォトレジストを除去し、レジスト層をパターニングす
る。続いて、露出した金属層を、塩酸を主成分とするエ
ッチング液でエッチング除去する。このようにして所定
のマトリクスパターンを有する遮光層（ブラックマトリ
クス）５１４を得ることができる（図５２：Ｓ２）。遮
光層５１４の膜厚は、およそ０．２μｍである。また、
遮光層５１４の幅は、およそ２２μｍである。

【０１９０】この基板上に、さらにネガ型の透明アクリ
ル系の感光性樹脂組成物５１５´をやはりスピンコート
法で塗布する（図５２：Ｓ３）。これを１００℃で２０
分間プレベークした後、所定のマトリクスパターン形状
を描画したマスクフィルムを用いて紫外線露光を行な
う。未露光部分の樹脂を、やはりアルカリ性の現像液で
現像し、純水でリンスした後スピン乾燥する。最終乾燥
としてのアフターベークを２００℃で３０分間行い、樹
脂部を十分硬化させることにより、バンク層５１５が形
成され、遮光層５１４及びバンク層５１５からなる仕切
り５１３が形成される（図５２：Ｓ４）。このバンク層
５１５の膜厚は、平均で２．７μｍである。また、バン
ク層５１５の幅は、およそ１４μｍである。

【０１９１】得られた遮光層５１４およびバンク層５１
５で区画された着色層形成領域（特にガラス基板５１１
の露出面）のインク濡れ性を改善するため、ドライエッ
チング、すなわちプラズマ処理を行なう。具体的には、
ヘリウムに酸素を２０％加えた混合ガスに高電圧を印加
し、プラズマ雰囲気でエッチングスポットに形成し、基
板を、このエッチングスポット下を通過させてエッチン
グする。

【０１９２】次に、仕切り５１３で区切られて形成され
た画素５１２内に、上記Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）
の各インクをインクジェット方式により導入する（図５
２：Ｓ５）。液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）
には、ピエゾ圧電効果を応用した精密ヘッドを使用し、
微小インク滴を着色層形成領域毎に１０滴、選択的に飛
ばす。駆動周波数は１４．４ｋＨｚ、すなわち、各イン
ク滴の吐出間隔は６９．５μ秒に設定する。ヘッドとタ
ーゲットとの距離は、０．３ｍｍに設定する。ヘッドよ
りターゲットである着色層形成領域への飛翔速度、飛行
曲がり、サテライトと称される分裂迷走滴の発生防止の
ためには、インクの物性はもとよりヘッドのピエゾ素子
を駆動する波形（電圧を含む）が重要である。従って、
あらかじめ条件設定された波形をプログラムして、イン
ク滴を赤、緑、青の３色を同時に塗布して所定の配色パ
ターンにインクを塗布する。

【０１９３】インク（フィルタ材料）としては、例えば
ポリウレタン樹脂オリゴマーに無機顔料を分散させた
後、低沸点溶剤としてシクロヘキサノンおよび酢酸ブチ
ルを、高沸点溶剤としてブチルカルビトールアセテート
を加え、さらに非イオン系界面活性剤０．０１重量％を
分散剤として添加し、粘度６〜８センチポアズとしたも
のを用いる。

【０１９４】次に、塗布したインクを乾燥させる。ま
ず、自然雰囲気中で３時間放置してインク層５１６のセ
ッティングを行った後、８０℃のホットプレート上で４
０分間加熱し、最後にオーブン中で２００℃で３０分間
加熱してインク層５１６の硬化処理を行って、着色層５
２１が得られる（図５２：Ｓ６）。

【０１９５】上記基板に、透明アクリル樹脂塗料をスピ
ンコートして平滑面を有するオーバーコート層５２２を
形成する。さらに、この上面にＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）からなる電極層５２３を所要パターンで形成して、
カラーフィルタ５００とする（図５２：Ｓ７）。

【０１９６】図５３は、本発明の製造方法により製造さ
れる電気光学装置（フラットディスプレイ）の一例であ
るカラー液晶表示装置の断面図である。断面図各部のハ
ッチングは一部省略している。

【０１９７】このカラー液晶表示装置５５０は、カラー
フィルタ５００と対向基板５６６とを組み合わせ、両者
の間に液晶組成物５６５を封入することにより製造され
る。液晶表示装置５５０の一方の基板５６６の内側の面
には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せず）と
画素電極５６３とがマトリクス状に形成されている。ま
た、もう一方の基板として、画素電極５６３に対向する
位置に赤、緑、青の着色層５２１が配列するようにカラ
ーフィルタ５００が設置されている。

【０１９８】基板５６６とカラーフィルタ５００の対向
するそれぞれの面には、配向膜５６１、５６４が形成さ
れている。これらの配向膜５６１、５６４はラビング処
理されており、液晶分子を一定方向に配列させることが
できる。また、基板５６６およびカラーフィルタ５００
の外側の面には、偏光板５６２、５６７がそれぞれ接着
されている。また、バックライトとしては蛍光燈（図示
せず）と散乱板の組合わせが一般的に用いられており、
液晶組成物５６５をバックライト光の透過率を変化させ
る光シャッターとして機能させることにより表示を行
う。

【０１９９】なお、電気光学装置は、本発明では上記の
カラー液晶表示装置に限定されず、例えば薄型のブラウ
ン管、あるいは液晶シャッター等を用いた小型テレビ、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ、ＣＲＴディスプ
レイ、ＦＥＤ（Field Emission Display）パネル等の種
々の電気光学手段を用いることができる。

【０２００】次に、図５２ないし図６６を参照して、有
機ＥＬ装置の有機ＥＬ（表示装置）とその製造方法を説
明する。

【０２０１】（１）第１の実施の形態第５４図乃至第５８図は、本発明の第１の実施の形態を
示す図であって、この実施の形態は、ＥＬ表示素子を用
いたアクティブマトリクス型の表示装置に適用したもの
である。より具体的には、配線としての走査線、信号線
及び共通給電線を利用して、光学材料としての発光材料
の塗布を行う例を示している。

【０２０２】第５４図は、本実施の形態における表示装
置６００の一部を示す回路図であって、この表示装置６
００は、透明の表示基板上に、複数の走査線６３１と、
これら走査線６３１に対して交差する方向に延びる複数
の信号線６３２と、これら信号線６３２に並列に延びる
複数の共通給電線６３３と、がそれぞれ配線された構成
を有するとともに、走査線６３１及び信号線６３２の各
交点毎に、画素領域素６００Ａが設けられている。

【０２０３】信号線６３２に対しては、シフトレジス
タ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを
備えるデータ側駆動回路６０１か設けられている。

【０２０４】また、走査線６３１に対しては、シフトレ
ジスタおよびレベルシフタを備える走査側駆動回路６０
２が設けられている。さらに、また、画素領域６００Ａ
の各々には、走査線６３１を介して走査信号がゲート電
極に供給されるスイッチング薄膜トランジスタ６４３
と、このスイッチング薄膜トランジスタ６４３を介して
信号線６３２から供給される画像信号を保持する保持容
量ｃａｐと、該保持容量ｃａｐによって保持された画像
信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜トランジス
タ６４４と、このカレント薄膜トランジスタ６４４を介
して共通給電線６３３に電気的に接続したときに共通給
電線６３３から駆動電流が流れ込む画素電極６４２と、
この画素電極６４２と反射電極６５２との間に挟み込ま
れる発光素子６４１と、が設けられている。

【０２０５】かかる構成であれば、走査線６３１が駆動
されてスイッチング薄膜トランジスタ６４３がオンとな
ると、その時の信号線６３２の電位が保持容量ｃａｐに
保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて、カレント
薄膜トランジスタ６４４のオン・オフ状態が決まる。そ
して、カレント薄膜トランジスタ６４４のチャネルを介
して、共通給電線６３３から画素電極６４２に電流が流
れ、さらに発光素子６４１を通じて反射電極６５２に電
流が流れるから、発光素子６４１は、これを流れる電流
量に応じて発光する。

【０２０６】ここで、各画素領域６００Ａの平面構造
は、反射電極や発光素子を取り除いた状態での拡大平面
図である第５５図に示すように、平面形状が長方形の画
素電極６４２の四辺が、信号線６３２、共通給電線６３
３、走査線６３１及び図示しない他の画素電極用の走査
線によって囲まれた配置となっている。

【０２０７】第５６図〜第５８図は、画素領域６００Ａ
の製造過程を順次示す断面図であって、第５５図のＡ−
Ａ線断面に相当する。以下、第５６図〜第５８図に従っ
て、画素領域６００Ａの製造工程を説明する。

【０２０８】先ず、第５７図（ａ）に示すように、透明
の表示基板６２１に対して、必要に応じて、ＴＥＯＳ
（テトラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料ガスと
してプラズマＣＶＤ法により厚さが約２０００〜５００
０オングストロームのシリコン酸化膜からなる下地保護
膜（図示せず。）を形成する。次いで、表示基板６２１
の温度を約３５０℃に設定して、下地保護膜の表面にプ
ラズマＣＶＤ法により厚さが約３００〜７００オングス
トロームのアモルファスのシリコン膜からなる半導体膜
７００を形成する。次にアモルファスのシリコン膜から
なる半導体膜７００に対して、レーザアニールまたは固
相成長法などの結晶化工程を行い、半導体膜７００をポ
リシリコン膜に結晶化する。レーザアニール法では、例
えば、エキシマレーザでビームの長寸が４００ｍｍのラ
インビームを用い、その出力強度はたとえば２００ｍＪ
／ｃｍ²である。ラインビームについてはその短寸方向
におけるレーザ強度のピーク値の９０％に相当する部分
が各領域毎に重なるようにラインビームを走査する。

【０２０９】次いで、第５６図（ｂ）に示すように、半
導体膜７００をパターニングして島状の半導体膜７１０
とし、その表面に対して、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシ
ラン）や酸素ガスなどを原料ガスとしてプラズマＣＶＤ
法により厚さが約６００〜１５００オングストロームの
シリコン酸化膜または窒化膜からなるゲート絶縁膜７２
０を形成する。なお、半導体膜７１０は、カレント薄膜
トランジスタ６４４のチャネル領域及びソース・ドレイ
ン領域となるものであるが、異なる断面位置においては
スイッチング薄膜トランジスタ６４３のチャネル領域及
びソース・ドレイン領域となる半導体膜も形成されてい
る。つまり、第５６図〜第５８図に示す製造工程では二
種類のトランジスタ６４３、６４４が同時に作られるの
であるが、同じ手順で作られるため、以下の説明では、
トランジスタに関しては、カレント薄膜トランジスタ６
４４についてのみ説明し、スイッチング薄膜トランジス
タ６４３については説明を省略する。

【０２１０】次いで、第５６図（ｃ）に示すように、ア
ルミニウム、タンタル、モリプデン、チタン、タングス
テンなどの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形
成した後、パターニングし、ゲート電極６４４Ａを形成
する。

【０２１１】この状態で、高温度のリンイオンを打ち込
んで、シリコン薄膜７１０に、ゲート電極６４４Ａに対
して自己整合的にソース・ドレイン領域６４４ａ、６４
４ｂを形成する。なお、不純物が導入されなかった部分
がチャネル領域６４４ｃとなる。

【０２１２】次いで、第５６図（ｄ）に示すように、層
間絶縁膜７３０を形成した後、コンタクトホール７３
１、７３２を形成し、それらコンタクトホール７３１、
７３２内に中継電極７３３、７３４を埋め込む。

【０２１３】次いで、第５６図（ｅ）に示すように、層
間絶縁膜７３０上に、信号線６３２、共通給電線６３３
及び走査線（第５６図には図示せず。）を形成する。こ
のとき、信号線６３２、共通給電線６３３及び走査線の
各配線は、配線として必要な厚さに捕らわれることな
く、十分に厚く形成する。具体的には、各配線を１〜２
μｍ程度の厚さに形成する。ここで中継電極７３４と各
配線とは、同一工程で形成されていてもよい。この時、
中継電極７３３は、後述するＩＴＯ膜により形成される
ことになる。

【０２１４】そして、各配線の上面をも覆うように層間
絶縁膜７４０を形成し、中継電極７３３に対応する位置
にコンタクトホール７４１を形成し、そのコンタクトホ
ール７４１内にも埋め込まれるようにＩＴＯ膜を形成
し、そのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線６３２、
共通給電線６３３及び走査線に囲まれた所定位置に、ソ
ース・ドレイン領域６４４ａに電気的に接続する画素電
極６４２を形成する。

【０２１５】ここで、第５６図（ｅ）では、信号線６３
２及び共通給電線６３３に狭まれた部分が、光学材料が
選択的に配置される所定位置に相当するものである。そ
して、その所定位置とその周囲との間には、信号線６３
２や共通給電線６３３によって段差６１１が形成されて
いる。具体的には、所定位置の方がその周囲よりも低く
なっている凹型の段差６１１が形成されている。

【０２１６】次いで、第５７図（ａ）に示すように、表
示基板６２１の上面を上に向けた状態で、インクジェッ
トヘッド方式により、発光素子６４１の下層部分に当た
る正孔注入層を形成するための液状（溶媒に溶かされた
溶液状）の光学材料（前駆体）６１２Ａを吐出し、これ
を段差６１１で囲まれた領域内（所定位置）に選択的に
塗布する。

【０２１７】正孔注入層を形成するための材料として
は、ポリマー前駆体がポリテトラヒドロチオフェニルフ
ェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス
ー（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキ
サン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニ
ウム等が挙げられる。

【０２１８】このとき、液状の前駆体６１２Ａは、流動
性が高いため、水平方向に広がろうとするが、塗布され
た位置を取り囲むように段差６１１が形成されているた
め、その液状の前駆体６１２Ａの１回当たりの塗布量を
極端に大量にしなければ、液状の前駆体６１２Ａが段差
６１１を越えて所定位置の外側に広がることは防止され
る。

【０２１９】次いで、第５７図（ｂ）に示すように、加
熱或いは光照射により液状の前駆体６１２Ａの溶媒を蒸
発させて、画素電極６４２上に、固形の薄い正孔注入層
６４１ａを形成する。ここでは、液状の前駆体６１２Ａ
の濃度にもよるが、薄い正孔注入層６４１ａしか形成さ
れない。そこで、より厚い正孔注入層６４１ａを必要と
する場合には、第５７図（ａ）及び（ｂ）の工程を必要
回数繰り返し実行し、第５７図（ｃ）に示すように、十
分な厚さの正孔注入層６４１Ａを形成する。

【０２２０】次いで、第５８図（ａ）に示すように、表
示基板６２１の上面を上に向けた状態で、インクジェッ
トヘッド方式により、発光素子６４１の上層部分に当た
る有撃半導体膜を形成するための液状（溶媒に溶かされ
た溶液状）の光学材料（有機蛍光材料）６１２Ｂを吐出
し、これを段差６１１で囲まれた領域内（所定位置）に
選択的に塗布する。

【０２２１】有機蛍光材料としては、シアノポリフェニ
レンビニレン、ポリフェニレンビニレン、ポリアルキル
フェニレン、２，３，６，７−テトラヒドロー１１−オ
キソー１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）ペンゾビラノ［６，
７，８−ｉｊ］−キノリジンー１０−カルボン酸、１，
１−ビスー（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シ
クロヘキサン、２−１３・４´−ジヒドロキシフェニ
ル）−３，５，７−トリヒドロキシー１−ベンゾピリリ
ウムパークロレート、トリス（８−ヒドロキシキノリノ
ール）アルミニウム、２，３・６・７−テトラヒドロー
９−メチルー１１−オキソー１Ｈ・５Ｈ・１１Ｈ（１）
ベンゾピラノ［６，７，８−Iｊ］−キノリジン、アロ
マティックジアミン誘導体（ＴＤＰ）、オキシジアゾー
ルダイマー（ＯＸＤ）、オキシジアゾール誘専体（ＰＢ
Ｄ）、ジスチルアリーレン誘導体（ＤＳＡ）、キノリノ
ール系金属錯体、ベリリウムーベンゾキノリノール錯体
（Ｂｅｂｑ）、トリフェニルアミン誘導体（ＭＴＤＡＴ
Ａ）、ジスチリル誘導体、ピラゾリンダイマー、ルブレ
ン、キナクリドン、トリアゾール誘導体、ポリフェニレ
ン、ポリアルキルフルオレン、ポリアルキルチオフェ
ン、アゾメチン亜鉛錯体、ポリフイリン亜鉛錯体、ベン
ゾオキサゾール亜鉛錯体、フェナントロリンユウロピウ
ム錯体等が挙げられる。

【０２２２】このとき、液状の有機蛍光材料６１２Ｂ
は、流動性が高いため、やはり水平方向に広がろうとす
るが、塗布された位置を取り囲むように段差６１１が形
成されているため、その液状の有機蛍光材料６１２Ｂの
１回当たりの塗布量を極端に大量にしなければ、液状の
有機蛍光材料６１２Ｂが段差６１１を越えて所定位置の
外側に広がることは防止される。

【０２２３】次いで、第５８図（ｂ）に示すように、加
熱或いは光照射により液状の有機蛍光材料６１２Ｂの溶
媒を蒸発させて、正孔注入層６４１Ａ上に、固形の薄い
有機半導体膜６４１ｂを形成する。ここでは、液状の有
機蛍光材料６１２Ｂの濃度にもよるが、薄い有機半導体
膜６４１ｂしか形成されない。そこで、より厚い有機半
導体膜６４１ｂを必要とする場合には、第５８図（a）
及び（ｂ）の工程を必要回数繰り返し実行し、第５８図
（ｃ）に示すように、十分な厚さの有機半導体膜６４１
Ｂを形成する。正孔注入層６４１Ａ及び有機半導体膜６
４１Ｂによって、発光素子６４１が構成される。最後
に、第５８図（ｄ）に示すように、表示基板６２１の表
面全体に若しくはストライプ状に反射電極６５２を形成
する。

【０２２４】このように、本実施の形態にあっては、発
光素子６４１が配置される処置位置を四方から取り囲む
ように信号線６３２、共通配線６３３等の配線を形成す
るとともに、それら配線を通常よりも厚く形成して段差
６１１を形成し、そして、液状の前駆体６１２Ａや液状
の有機蛍光材料６１２Ｂを選択的に塗布するようにして
いるため、発光素子６４１のパターニング精度が高いと
いう利点がある。

【０２２５】そして、段差６１１を形成すると、反射電
極６５２は比較的凹凸の大きな面に形成されることにな
るが、その反射電極６５２の厚さをある程度厚くしてお
けば、断線等の不具合が発生する可能性は極めて小さく
なる。

【０２２６】しかも、信号線６３２や共通配線６３３等
の配線を利用して段差６１１を形成するため、特に新た
な工程が増加する訳ではないから、製造工程の大幅な複
雑化等を招くこともない。

【０２２７】なお、発光素子６４１の上層部を形成する
光学材料は、有機蛍光材料６１２Ｂに限定されるもので
はなく、無機の蛍光材料であってもよい。

【０２２８】また、スイッチング素子としての各トラン
ジスタ６４３、６４４は、６００℃以下の低温プロセス
で形成された多結晶シリコンにより形成することが望ま
しく、これにより、ガラス基板の使用による低コスト化
と、高移動度による高性能化が両立できる。なお、スイ
ッチング素子は、非晶質シリセンまたは６００℃以上の
高温プロセスで形成された多結晶シリコンにより形成さ
れてもよい。

【０２２９】そして、スイッチング薄膜トランジスタ６
４３およびカレント薄膜トランジスタ６４４の他にトラ
ンジスタを設ける形式であってもよいし、或いは、一つ
のトランジスタで駆動する形式であってもよい。

【０２３０】また、段差６１１は、パッシブマトリクス
型表示素子の第１のバス配線、アクティブマトリク大型
表示素子の走査線６３１および、遮光層によって形成し
てもよい。

【０２３１】なお、発光素子６４１としては、発光効率
（正孔注入率）がやや低下するものの、正孔注入層６４
１Ａを省略してもよい。また、正孔注入層６４１Ａに代
えて電子注入層を有機半導体膜６４１Ｂと反射電極６５
２との間に形成してもよいし、或いは、正孔注入層及び
電子注入層の双方を形成してもよい。

【０２３２】また、上記実施の形態では、特にカラー表
示を念頭において、各発光素子６４１全体を選択的に配
置した場合について説明したが、例えば単色表示の表示
装置６００の場合には、第５９図に示すように、有機半
導体膜６４１Ｂは、表示基板６２１全面に一様に形成し
てもよい。ただし、この場合でも、クロストークを防止
するために正孔注入層６４１Ａは各所定位置毎に選択的
に配置しなければならないため、段差６１１を利用した
塗布が極めて有効である。

【０２３３】（２）第２の実施の形態第６０図は本発明の第２の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態は、ＥＬ表示素子を用いたパッシブ
マトリクス型の表示装置に適用したものである。

【０２３４】なお、第６０図（ａ）は、複数の第１のバ
ス配線７５０と、これに直交する方向に配設された複数
の第２のバス配線７６０と、の配置関係を示す平面図で
あり、第６０図（ｂ）は、同（ａ）のＢ−Ｂ線断面図で
ある。

【０２３５】なお、上記第１の実施の形態と同様の構成
には、同じ符号を付し、その重複する説明は省略する。
また、細かな製造工程等も上記第１の実施の形態と同様
であるため、その図示及び説明は省略する。

【０２３６】即ち、本実施の形態にあっては、発光素子
６４１が配置される所定位置を取り囲むように、例えば
ＳｉＯ₂等の絶縁膜７７０が配設されていて、これによ
り、所定位置とその周囲との間に、段差６１１が形成さ
れている。

【０２３７】このような構成であっても、上記第１の実
施の形態と同様に、液状の前駆体６１２Ａや液状の有機
蛍光材料６１２Ｂを選択的に塗布する際に、それらが周
囲に流れ出ることが防止でき、高精度のパターニングが
行える等の利点がある。

【０２３８】（３）第３の実施の形態第６１図は本発明の第３の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。より具体的には、画素電
極６４２を利用して段差６１１を形成することにより、
高精度のパターニングが行えるようにしたものである。

【０２３９】なお、上記実施の形態と同様の構成には、
同じ符号を付しておく。また、第６１図は製造工程の途
中を示す断面図であり、その前後は上記第１の実施の形
態と略同様であるためその図示及び説明は省略する。

【０２４０】即ち、本実施の形態では、画素電極６４２
を通常よりも厚く形成し、これにより、その周囲と間に
段差６１１を形成している。つまり、本実施の形態で
は、後に光学材料が塗布される画素電極６４２の方がそ
の周囲よりも高くなっている凸型の段差が形成されてい
る。

【０２４１】そして、上記第１の実施の形態と同様に、
インクジェットヘッド方式により、発光素子６４１の下
層部分に当たる正孔注入層を形成するための液状（溶媒
に溶かされた溶液状）の光学材料（前駆体）６１２Ａを
吐出し、画素電極６４２上面に塗布する。

【０２４２】ただし、上記第１の実施の形態の場合とは
異なり、表示基板６２１を上下逆にした状態、つまり液
状の前駆体６１２Ａが塗布される画素電極６４２上面を
下方に向けた状態で、液状の前駆体６１２Ａの塗布を行
う。

【０２４３】すると、液状の前駆体６１２Ａは、重力と
表面張力とによって、画素電極６４２上面に溜まり、そ
の周囲には広がらない。よって、加熱や光照射等を行っ
て固形化すれば、第５７図（ｂ）と同様の薄い正孔注入
層を形成でき、これを繰り返せば正孔注入層が形成され
る。同様の手法で、有機半導体膜も形成される。

【０２４４】このように、本実施の形態では、凸型の段
差６１１を利用して液状の光学材料を塗布して発光素子
のパターニング精度を向上することができる。

【０２４５】なお、遠心力等の慣性力を利用して、画素
電極６４２上面に溜まる液状の光学材料の量を調整する
ようにしてもよい。

【０２４６】（４）第４の実施の形態第６２図は本発明の第４の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６２
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。

【０２４７】即ち、本実施の形態では、先ず、表示基板
６２１上に、反射電極６５２を形成し、次いで、反射電
極６５２上に、後に発光素子６４１が配置される所定位
置を取り囲むように絶縁膜７７０を形成し、これにより
所定位置の方がその周囲よりも低くなっている凹型の段
差６１１を形成する。

【０２４８】そして、上記第１の実施の形態と同様に、
段差６１１で囲まれた領域内に、インクジェット方式に
より液状の光学材料を選択的に塗布することにより、発
光素子６４１を形成する。

【０２４９】一方、剥離用基板６２２上に、剥離層６５
１を介して、走査線６３１、信号線６３２、画素電極６
４２、スイッチング薄膜トランジスタ６４３カレント薄
膜トランジスタ６４４および絶縁膜７４０を形成する。

【０２５０】最後に、表示基板６２１上に、剥離用基板
６２２上の剥離層６２２から剥離された構造を転写す
る。

【０２５１】このように、本実施の形態であっても、段
差６１１を利用して液状の光学材料を塗布するようにし
たから、高精度のパターニングが行える。さらに、本実
施の形態では、発光素子６４１等の下地材料への、その
後の工程によるダメージ、あるいは、走査線６３１、信
号線６３２、画素電極６４２、スイッチング薄膜トラン
ジスタ６４３．カレント薄膜トランジスタ６４４または
絶縁膜７４０への、光学材料の塗布等によるダメージ
を、軽減することが可能となる。

【０２５２】本実施の形態では、アクティブマトリクス
型表示素子として説明したが、パッシブマトリクス型表
示素子であってもよい。

【０２５３】（５）第５の実施の形態第６３図は本発明の第６の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６３
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。

【０２５４】即ち、本実施の形態では、層間絶縁膜７４
０を利用して凹型の段差６１１を形成していて、これに
より、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を得るよ
うにしている。

【０２５５】また、層間絶縁膜７４０を利用して段差６
１１を形成するため、特に新たな工程が増加する訳では
ないから、製造工程の大幅な複雑化等を招くこともな
い。

【０２５６】（６）第６の実施の形態第６４図は本発明の第６の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態も、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６４
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。

【０２５７】即ち、本実施の形態では、段差を利用して
パターニング精度を向上させるのではなく「液状の光学
材料が塗布される所定位置の親水性を、その周囲の親水
性よりも相対的に強くすることにより、塗布された液状
の光学材料が周囲に広がらないようにしたものである。

【０２５８】具体的には、第６４図に示すように、層間
絶縁膜７４０を形成した後に、その上面に非晶質シリコ
ン層６５３を形成している。非晶質シリコン層６５３
は、画素電極６４２を形成するＩＴＯよりも相対的に撥
水性が強いので、ここに、画素電極６４２表面の親水性
がその周囲の親水性よりも相対的に強い掩撥水性・親水
性の分布が形成される。

【０２５９】そして、上記第１の実施の形態と同様に、
画素電極６４２の上面に向けて、インクジェット方式に
より液状の光学材料を選択的に塗布することにより、発
光素子６４１を形成し、最後に反射電極を形成する。

【０２６０】このように、本実施の形態であっても、所
望の撥水性・親液性の分布を形成してから液状の光学材
料を塗布するようにしているから、パターニングの精度
を向上させることができる。

【０２６１】なお、本実施の形態の場合も、パッシブマ
トリクス型表示素子に適用できることは勿論である。

【０２６２】また、剥離用基板６２１上に剥離層６５１
を介して形成された構造を、表示基板６２１に転写する
工程を含んでいてもよい。

【０２６３】さらに、本実施の形態では、所望の撥水性
・親水性の分布を、非晶質シリコン層６５３によって形
成しているが、撥水性・親水性の分布は、金属や、陽極
酸化膜、ポリイミドまたは酸化シリコン等の絶縁膜や、
他の材料により形成されていてもよい。なお、パッシブ
マトリクス型表示素子であれば第１のバス配線、アクテ
ィブマトリクス型表示素子であれば走査線６３１、信号
線６３２、画素電極６４２、絶縁膜７４０或いは遮光層
によって形成してもよい。

【０２６４】また、本実施の形態では、液状の光学材料
が水溶液であることを前提に説明したが、他の液体の溶
液を用いた液状の光学材料であってもよく、その場合
は、その溶液に対して撥液性・親液性が得られるように
すればよい。

【０２６５】（７）第７の実施の形態本発明の第７の実施の形態は、断面積造は上記第５の実
施の形態で使用した第６３図と同様であるため、これを
用いて説明する。

【０２６６】即ち、本実施の形態では、層間絶縁膜７４
０をＳｉＯ₂で形成するとともに、その表面に紫外線を
照射し、その後に、画素電極６４２表面を露出させ、そ
して液状の光学材料を選択的に塗布するようになってい
る。

【０２６７】このような製造工程であれば、段差６１１
が形成されるだけでなく、層間絶縁膜７４０表面に沿っ
て撥液性の強い分布が形成されるため、塗布された液状
の光学材料は、段差６１１と層間絶縁膜７４０の撥液性
との両方の作用によって所定位置に溜まり易くなってい
る。つまり、上記第５の実施の形態と、上記第６の実施
の形態との両方の作用が発揮されるから、さらに発光素
子６４１のパターニング精度を向上させることができ
る。

【０２６８】なお、紫外線を照射するタイミングは、画
素電極６４２の表面を露出させる前後いずれでもよく、
層間絶縁膜７４０を形成する材料や、画素電極６４２を
形成する材料等に応じて適宜選定すればよい。ちなみ
に、画素電極６４２の表面を露出させる帝に紫外線を照
射する場合には、段差６１１の内壁面は撥液性が強くな
らないから、段差６１１で囲まれた領域に液状の光学材
料を溜めることにとって有利である。これとは逆に、画
素電極６４２の表面を露出させた後に紫外線を照射する
場合には、段差６１１の内壁面の撥液性が強くならない
ように垂直に紫外線を照射する必要があるが、画素電極
６４２の表面を露出する際のエッチング工程の後で紫外
線を照射するため、そのエッチング工程によって撥液性
が弱まるような懸念がないという利点がある。

【０２６９】また、層間絶縁膜７４０を形成する材料と
しては、例えばフォトレジストを用いることもできる
し、或いはポリイミドを用いてもよく、これらであれば
スピンコートにより膜を形成できるという利点がある。

【０２７０】そして、層間絶縁膜７４０を形成する材料
によっては、紫外線を照射するのではなく、例えば
Ｏ₂、ＣＦ₃、Ａｒ等のプラズマを照射することにより撥
液性が強くなるようにしてもよい。

【０２７１】（８）第８の実施の形態第６５図は本発明の第８の実施の形態を示す図であっ
て、この実施の形態は、上記第１の実施の形態と同様
に、ＥＬ表示素子を用いたアクティブマトリクス型の表
示装置に適用したものである。なお、上記実施の形態と
同様の構成には、同じ符号を付しておく。また、第６５
図は製造工程の途中を示す断面図であり、その前後は上
記第１の実施の形態と略同様であるためその図示及び説
明は省略する。

【０２７２】即ち、本実施の形態では、段差や撥液性・
親液性の分布等を利用してパターニング精度を向上させ
るのではなく、電位による引力や斥力を利用してパター
ニング精度の向上を図っている。

【０２７３】つまり、第６５図に示すように、信号線６
３２や共通給電線６３３を駆動するとともに、図示しな
いトランジスタを適宜オン・オフすることにより、画素
電極６４２がマイナス電位となり、層間絶縁膜７４０が
プラス電位となる電位分布を形成する。そして、インク
ジェット方式により、プラスに帯電した液状の光学材料
６１２を所定位置に選択的に塗布する。

【０２７４】このように、本実施の形態であれば、表示
基板６２１上に所望の電位分布を形成し、その電位分布
と、プラスに帯電した液状の光学材料６１２との間の引
力及び斥力を利用して、液状の光学材料を選択的に塗布
しているから、パターニングの精度を向上させることが
できる。

【０２７５】特に、本実施の形態では、液状の光学材料
６１２を帯電させているので、自発分極だけでなく帯電
電荷も利用することにより、パターニングの精度を向上
する効果が、さらに高まる。

【０２７６】本実施の形態では、アクティブマトリクス
型表示素子に適用した場合を示しているが、パッシブマ
トリクス型表示素子であっても適用可能である。

【０２７７】なお、剥離用基板６２１上に剥離層６５１
を介して形成された構造を、表示基板６２１に転写する
工程を含んでいてもよい。

【０２７８】また、本実施の形態では、所望の電位分布
は、走査線６３１に順次電位を印加し、同時に信号線６
３２および共通線６３３に電位を印加し、画素電極６４
２にスイッチング薄膜トランジスタ６４３およびカレン
ト薄膜トランジスタ６４４を介して電位を印加すること
により形成される。電位分布を走査線６３１、信号線６
３２、共通線６３３および画素電極６４２で形成するこ
とにより、工程の増加が抑制できる。なお、パッシブマ
トリクス型表示素子であれば、電位分布は、第１のバス
配線および遮光層によって形成することができる。

【０２７９】さらに、本実施の形態では、画素電極６４
２と、その周囲の層間絶縁膜７４０との両方に電位を与
えているが、これに限定されるものではなく、例えば第
６６図に示すように、画素電極６４２には電位を与え
ず、層間絶縁膜７４０にのみプラス電位を与え、そし
て、液状の光学材料６１２をプラスに帯電させてから塗
布するようにしてもよい。このようにすれば、塗布され
た後にも、液状の光学材料６１２は確実にプラスに帯電
した状態を維持できるから、周囲の層間絶縁膜７４０と
の間の斥力によって、液状の光学材料６１２が周囲に流
れ出ることをより確実に防止することができるようにな
る。

【０２８０】同様に、本実施形態のヘッドユニットは、
電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法および
電気泳動表示装置の製造方法等に、適用することができ
る。

【０２８１】電子放出装置の製造方法では、複数の液滴
吐出ヘッドにＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入
し、ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主
走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電
極上に多数の蛍光体を形成する。なお、電子放出装置
は、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を含む上位の概念
である。

【０２８２】ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐
出ヘッドにＲ、Ｇ、Ｂ各色の各色の蛍光材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査
および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基
板上の多数の凹部にそれそれ蛍光体を形成する。

【０２８３】電気泳動表示装置の製造方法では、複数の
液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、ヘッドユ
ニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副
走査し、インク材料を選択的に吐出して、電極上の多数
の凹部にそれぞれ泳動体を形成する。なお、帯電粒子と
染料とから成る泳動体は、マイクロカプセルに封入され
ていることが、好ましい。

【０２８４】一方、本実施形態のヘッドユニットは、ス
ペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、
レジスト形成方法および光拡散体形成方法等にも、適用
可能である。

【０２８５】スペーサ形成方法は、２枚の基板間に微小
なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを
形成するものであり、複数の液滴吐出ヘッドにスペーサ
を構成する粒子材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、粒子材
料を選択的に吐出して少なくとも一方の基板上にスペー
サを形成する。例えば、上記の液晶表示装置や電気泳動
表示装置における２枚の基板間のセルギャップを構成す
る場合に有用であり、その他この種の微小なギャップを
必要とする半導体製造技術に適用できることはいうまで
もない。

【０２８６】金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘ
ッドに液状金属材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、液状金
属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成す
る。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各
電極とを接続する金属配線や、上記の有機ＥＬ装置にお
けるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用する
ことができる。また、この種のフラットディスプレイの
他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうま
でもない。

【０２８７】レンズ形成方法では、複数の液滴吐出ヘッ
ドにレンズ材料を導入し、ヘッドユニットを介して複数
の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レンズ材料
を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレン
ズを形成する。例えば、上記のＦＥＤ装置におけるビー
ム収束用のデバイスとして適用可能である。また、各種
の光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。

【０２８８】レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘ
ッドにレジスト材料を導入し、ヘッドユニットを介して
複数の液滴吐出ヘッドを主走査および副走査し、レジス
ト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォト
レジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置おけ
るバンクの形成は元より、半導体製造技術の主体を為す
フォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗
布に広く適用可能である。

【０２８９】光拡散体形成方法では、ヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法で
あって、複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
ヘッドユニットを介して複数の液滴吐出ヘッドを主走査
および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して多数の
光拡散体を形成する。この場合も、各種の光デバイスに
適用可能であることはいうまでもない。

【０２９０】

【発明の効果】以上のように、本発明のヘッドユニット
のアライメントマスクおよびこれがセット可能なヘッド
ユニットの組立装置によれば、マスタプレートを位置決
め基準の原型とし、液滴吐出ヘッドを位置決めすること
ができるため、キャリッジおよび各液滴吐出ヘッドを精
度良く位置決めすることができると共に、ばらつきの無
い安定した位置決めを行うことができる。したがって、
液滴吐出ヘッドが所定の高い精度で位置きめされヘッド
ユニットを、安定に得ることができる。

【０２９１】一方、本発明の液晶表示装置の製造方法、
有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、Ｐ
ＤＰ装置の製造方法および電気泳動表示装置の製造方法
によれば、各装置におけるフィルタ材料や発光材料等に
適した液滴吐出ヘッドを用いることができため、製造効
率を向上させることができる。

【０２９２】また、本発明のカラーフィルタの製造方
法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線
形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光
拡散体形成方法によれば、各電子デバイスや各光デバイ
スにおけるフィルタ材料や発光材料等に適した液滴吐出
ヘッドを用いることができため、製造効率を向上させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態に係るヘッドユニットの平面図であ
る。

【図２】実施形態に係るヘッドユニットの正面図であ
る。

【図３】実施形態に係るヘッドユニットの側面図であ
る。

【図４】実施形態の基準ピンの構造図である。

【図５】実施形態の液滴吐出ヘッド廻りの断面図であ
る。

【図６】実施形態の液滴吐出ヘッドを模式的に表した斜
視図である。

【図７】実施形態の液滴吐出ヘッドの拡大断面図であ
る。

【図８】実施形態のヘッド保持部材の構造図である。

【図９】実施形態の組付治具を用いたヘッドユニットの
組付方法を示す拡大斜視図である。

【図１０】実施形態の組付治具の構造図である。

【図１１】実施形態の組付治具を用いたヘッドユニット
の組付方法を示す平面図である。

【図１２】実施形態の組付治具を用いたヘッドユニット
の組付方法を示す正面図である。

【図１３】実施形態の描画装置の模式図である。

【図１４】実施形態の描画装置におけるメインキャリッ
ジの斜視図である。

【図１５】実施形態の描画装置におけるメインキャリッ
ジの平面図である。

【図１６】ヘッドユニットのセット方法を示す説明図で
ある。

【図１７】実施形態の描画装置におけるワイピング装置
の模式図である。

【図１８】実施形態のアライメントマスクにおけるマス
タプレートの構造図である。

【図１９】実施形態のアライメントマスクの平面図であ
る。

【図２０】実施形態のアライメントマスクの正面図であ
る。

【図２１】実施形態の組立装置の正面側から見た全体斜
視図である。

【図２２】実施形態の組立装置の背面側から見た全体斜
視図である。

【図２３】実施形態の組立装置の全体平面図である。

【図２４】実施形態の組立装置の全体正面図である。

【図２５】実施形態の組立装置の左側から見た全体側面
図である。

【図２６】実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙ
テーブル廻りの斜視図である。

【図２７】実施形態のユニット移動装置におけるセット
テーブルの構造図である。

【図２８】実施形態のユニット移動装置におけるθテー
ブルの平面図である。

【図２９】実施形態のユニット移動装置におけるθテー
ブルの裁断側面図である。

【図３０】実施形態のユニット移動装置におけるθテー
ブルの正面図である。

【図３１】実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙ
テーブル廻りの平面図である。

【図３２】実施形態のユニット移動装置におけるＸ・Ｙ
テーブル廻りの正面図である。

【図３３】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの斜視図である。

【図３４】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの平面図である。

【図３５】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの正面図である。

【図３６】実施形態のヘッド補正装置における補正用Ｘ
・Ｙテーブル廻りの側面図である。

【図３７】実施形態のヘッド補正装置におけるアームユ
ニットの斜視図である。

【図３８】実施形態のヘッド補正装置におけるアームユ
ニットの正面図である。

【図３９】実施形態のヘッド補正装置におけるアームユ
ニットの側面図である。

【図４０】アームユニットの係合アームの断面図であ
る。

【図４１】実施形態の認識装置の斜視図である。

【図４２】実施形態の認識装置の平面図である。

【図４３】実施形態の認識装置の正面図である。

【図４４】実施形態の認識装置の側面図である。

【図４５】実施形態の仮固定装置の全体斜視図である。

【図４６】実施形態の仮固定装置の平面図である。

【図４７】実施形態の仮固定装置の正面図である。

【図４８】実施形態の仮固定装置の側面図である。

【図４９】接着剤塗布装置の斜視図である。

【図５０】実施形態に係る制御装置のブロック図であ
る。

【図５１】実施形態のカラーフィルタの製造方法により
製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。

【図５２】実施形態のカラーフィルタの製造方法を模式
的に示す製造工程断面図である。

【図５３】実施形態のカラーフィルタの製造方法により
製造される液晶表示装置の断面図である。

【図５４】実施形態の有機ＥＬの製造方法により製造さ
れる表示装置の回路図である。

【図５５】表示装置の画素領域の平面構造を示す拡大平
面図である。

【図５６】第１実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す製造工程（１）の断面図である。

【図５７】第１実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す製造工程（２）の断面図である。

【図５８】第１実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す製造工程（３）の断面図である。

【図５９】第１実施形態の変形例に係る有機ＥＬの製造
方法を模式的に示す断面図である。

【図６０】第２実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す平面図および断面図である。

【図６１】第３実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。

【図６２】第４実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。

【図６３】第５実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。

【図６４】第６実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。

【図６５】第８実施形態の有機ＥＬの製造方法を模式的
に示す断面図である。

【図６６】第８実施形態の変形例に係る有機ＥＬの製造
方法を模式的に示す断面図である。

【図６７】実施形態の描画装置におけるキャリッジの認
識動作を示す模式図である。

【符号の説明】

Ａ組立装置Ｂ描画装置Ｃ組付治具Ｄアライメン
トマスク１ヘッドユニット２キャリッジ３液滴吐出ヘッド４ヘッド保持
部材１１本体プレート１２基準ピン１３支持部材１４ハンドル１５配管接続アッセンブリ１６配線接続
アッセンブリ１７配管接続部材２５ピン本体２６基準マーク（小孔）２９ａ先端面３２ハンドル本体３４太径部４５液体導入部４８ポンプ部４８ａ吐出側端面４９ノズル
形成プレート５０ヘッド本体５２ノズル形
成面５３ノズル列５７吐出ノズ
ル５７ａ吐出ノズル（最外端）６１段部６２樹脂６５ノズル基
準マーク７６係合孔７７接着剤注
入孔７８接着部位８１治具本体８２装着ピン８４縦辺部８５横辺部８６位置決め
部１０１ヘッド移動部１０５ユニッ
ト導入部１０６仮置き台１０６ａ仮置き
アングル１０８ワイピング装置１１３Ｙテー
ブル１１６Ｘテーブル１２１ベース
プレート１２３ストッパプレート１２４方形開
口１３１ワイピングシート１３２ワイピ
ングユニット１３３移動機構１３７ワイピ
ングローラ１３９洗浄液供給ヘッド１６１マスタ
プレート１６１ａマーク形成面１６２プレ
ートホルダ１６４ヘッド基準マーク１６５キャリ
ッジ基準マーク１７１支持ピン２１１ユニッ
ト移動装置２１２ヘッド補正装置２１３仮固定
装置２１４認識装置２１５制御装
置２３１セットテーブル２３２ θテー
ブル２３３Ｘ・Ｙテーブル２７１Ｘ軸テ
ーブル２７２Ｙ軸テーブル３０２補正用
Ｘ・Ｙテーブル３０３補正用θテーブル３０４アーム
ユニット３３１係合アーム３３３アーム
昇降装置３４３係合ピン３４４ピンホ
ルダ３４５コイルばね３４７テーパ
ー部３５２カメラ位置調節ユニット３５３認識カ
メラ３５９マイクロステージ３７３エアー
テーブル３７４接着剤塗布装置３７７Ｙエア
ーテーブル３７８サブＹエアーテーブル３８０Ｚ軸エ
アーテーブル３８４ディスペンサユニット３８７接着剤
注入ノズル４０２入力部４０３駆動部４０４検出部４０５制御部４１１ＣＰＵ４１２ＲＯＭ４１３ＲＡＭ４１４Ｐ−Ｃ
ＯＮ４１６タイマー５００カラー
フィルタ５１１基板５１２画素
（フィルタエレメント）５１３仕切り５１４遮光層５１５バンク層５１６インク
層５２１着色層５２２オーバ
ーコート層５２３電極層６１１表示装
置（有機ＥＬ）６２１表示基板６４１発光素
子（正孔注入層）６４２画素電極６５２反射電
極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０５Ｂ 33/10 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ 33/12 33/22 Ｚ 33/14 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０３Ｈ 33/22 １０１ＺＦターム(参考） 2C056 EA24 FB01 2C057 AF29 AF93 AP02 AP75 AP77 2H048 BA11 BA48 BA64 BB02 BB08 BB24 3K007 AB04 AB17 AB18 BA06 DB03 EB00 FA01 5G435 AA04 AA17 BB02 BB05 BB06 BB11 BB12 CC09 CC12 KK05 KK07 (54)【発明の名称】ヘッドユニットのアライメントマスクおよびこれがセット可能なヘッドユニットの組立装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】単一のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッ
ドを搭載したヘッドユニットのアライメントマスクであ
って、前記キャリッジの基準位置と前記キャリッジに搭載され
る前記各液滴吐出ヘッドを位置決めするための基準位置
をそれぞれ示すパターンが形成されたマスタプレートを
備えたことを特徴とするヘッドユニットのアライメント
マスク。
【請求項２】前記キャリッジは、平面視方形に形成さ
れ、且つ前記複数の液滴吐出ヘッドは、前記キャリッジの長
辺および短辺に対し所定の角度傾けて搭載されており、前記マスタプレートは、傾けた液滴吐出ヘッドの長辺に
平行な２辺と、短辺に平行な２辺とで方形に形成されて
いることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット
のアライメントマスク。
【請求項３】前記液滴吐出ヘッドの基準位置は、前記
液滴吐出ヘッドに作り込まれたノズル列における離間し
た２つのノズルに対応していることを特徴とする請求項
１または２に記載のヘッドユニットのアライメントマス
ク。
【請求項４】前記キャリッジの基準位置は、前記キャ
リッジの長辺方向または短辺方向に離間して設けた２つ
のマークに対応していることを特徴とする請求項１、２
または３に記載のヘッドユニットのアライメントマス
ク。
【請求項５】前記マスタプレートは、石英ガラスで構
成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいず
れかに記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項６】前記マスタプレートを保持するプレート
ホルダを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし
５のいずれかに記載のヘッドユニットのアライメントマ
スク。
【請求項７】前記プレートホルダは、前記マスタプレ
ートを支持すると共に高さ調節可能な複数本の支持ピン
を有していることを特徴とする請求項６に記載のヘッド
ユニットのアライメントマスク。
【請求項８】前記マスタプレートと前記プレートホル
ダとの加算重量が、前記ヘッドユニットの重量と略同一
であることを特徴とする請求項６または７に記載のヘッ
ドユニットのアライメントマスク。
【請求項９】請求項１ないし８のいずれかに記載のヘ
ッドユニットのアライメントマスクと、前記ヘッドユニ
ットとを交換セット可能に構成された移動テーブルと、前記移動テーブルにセットされた前記アライメントマス
クのパターンを画像認識すると共に、前記移動テーブル
にセットされた前記ヘッドユニットにおける前記各液滴
吐出ヘッドの位置および前記キャリッジの位置を画像認
識する認識手段とを備えたことを特徴とするヘッドユニ
ットの組立装置。
【請求項１０】前記アライメントマスクと前記ヘッド
ユニットとは、前記移動テーブルに対し、前記マスタプ
レートのパターン形成面と、前記各液滴吐出ヘッドおよ
び前記キャリッジの位置認識面とが略同一平面内に位置
するように、交換セット可能に構成されていることを特
徴とする請求項９に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項１１】前記認識手段の認識結果に基づいて、
前記各液滴吐出ヘッドの位置および前記キャリッジの位
置を、個々に補正する補正手段を、更に備えたことを特
徴とする請求項９または１０に記載のヘッドユニットの
組立装置。
【請求項１２】位置補正後の前記キャリッジに、位置
補正後の前記各液滴吐出ヘッドを固定する固定手段を、
更に備えたことを特徴とする請求項１１に記載のヘッド
ユニットの組立装置。
【請求項１３】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを
形成する液晶表示装置の製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入
し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を
選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成
することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形
成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択
的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特
徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１５】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方
法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択
的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴と
する電子放出装置の製造方法。
【請求項１６】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰ
ＤＰ装置の製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を
選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特
徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
【請求項１７】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装
置の製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入
し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選
択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴
とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１８】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラ
ーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であっ
て、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入
し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を
選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成
することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１９】前記多数のフィルタエレメントは、前
記基板上に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部
に収容されており、前記フィルタエレメントを形成する前に、前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選
択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする
請求項１８に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項２０】前記多数のフィルタエレメントおよび
前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されてお
り、前記フィルタエレメントを形成した後に、前記複数の液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料
を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材
料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成する
ことを特徴とする請求項１９に記載のカラーフィルタの
製造方法。
【請求項２１】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に
配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択
的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特
徴とする有機ＥＬの製造方法。
【請求項２２】前記多数のＥＬ発光層は、前記基板上
に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部に収容さ
れており、前記ＥＬ発光層を形成する前に、前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選
択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする
請求項２１に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２３】前記多数のＥＬ発光層と前記基板との
間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形
成されており、前記バンクを形成する前に、前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を
選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを
特徴とする請求項２２に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２４】前記多数のＥＬ発光層および前記バン
クを覆うように対向電極が形成されており、前記ＥＬ発光層を形成した後に、前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を
選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴と
する請求項２３に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２５】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の
粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であっ
て、前記複数の液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材
料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を少なくとも一方の前記基板に対し相対的に走査し、前
記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上に前記スペー
サを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項２６】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であっ
て、前記複数の液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を
選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴と
する金属配線形成方法。
【請求項２７】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方
法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選
択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成するこ
とを特徴とするレンズ形成方法。
【請求項２８】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方
法であって、前記複数の液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を
選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴と
するレジスト形成方法。
【請求項２９】請求項１２に記載のヘッドユニットの
組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、
基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法で
あって、前記複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッド
を前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選
択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特
徴とする光拡散体形成方法。