JP2003127391A5

JP2003127391A5 -

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Publication number: JP2003127391A5
Application number: JP2001322828A
Authority: JP
Filing date: 2001-10-19
Publication date: 2006-09-14
Anticipated expiration: 2021-10-19

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】平面視方形に形成された単一のキャリッジに、複数の液滴吐出ヘッドを前記キャリッジの長辺および短辺に対し所定の角度傾けて搭載したヘッドユニットのアライメントマスクであって、
前記キャリッジの基準位置と前記キャリッジに搭載される前記各液滴吐出ヘッドを位置決めするための基準位置をそれぞれ示すパターンが形成されたマスタプレートを備え、
前記マスタプレートは、傾けた前記液滴吐出ヘッドの長辺に平行な２辺と、短辺に平行な２辺とで方形に形成されていることを特徴とするヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項２】前記液滴吐出ヘッドの基準位置は、前記液滴吐出ヘッドに作り込まれたノズル列における離間した２つのノズルに対応していることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項３】前記キャリッジの基準位置は、前記キャリッジの長辺方向または短辺方向に離間して設けた２つのマークに対応していることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項４】前記マスタプレートは、石英ガラスで構成されていることを特徴とする請求項１，２または３のいずれかに記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項５】前記マスタプレートを保持するプレートホルダを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項６】前記プレートホルダは、前記マスタプレートを支持すると共に高さ調節可能な複数本の支持ピンを有していることを特徴とする請求項５に記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項７】前記マスタプレートおよび前記プレートホルダは、前記マスタプレートと前記プレートホルダとの加算重量が、前記ヘッドユニットの重量と同一となるように設計されていることを特徴とする請求項５または６に記載のヘッドユニットのアライメントマスク。
【請求項８】請求項１ないし７のいずれかに記載のヘッドユニットのアライメントマスクと、前記ヘッドユニットとを交換セット可能に構成された移動テーブルと、
前記移動テーブルにセットされた前記アライメントマスクのパターンを画像認識すると共に、前記移動テーブルにセットされた前記ヘッドユニットにおける前記各液滴吐出ヘッドの位置および前記キャリッジの位置を画像認識する認識手段とを備えたことを特徴とするヘッドユニットの組立装置。
【請求項９】前記アライメントマスクと前記ヘッドユニットとは、前記移動テーブルに対し、前記マスタプレートのパターン形成面と、前記各液滴吐出ヘッドおよび前記キャリッジの位置認識面とが同一平面内に位置するように、交換セット可能に構成されていることを特徴とする請求項８に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項１０】前記認識手段の認識結果に基づいて、前記各液滴吐出ヘッドの位置および前記キャリッジの位置を、個々に補正する補正手段を、更に備えたことを特徴とする請求項８または９に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項１１】位置補正後の前記キャリッジに、位置補正後の前記各液滴吐出ヘッドを固定する固定手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１０に記載のヘッドユニットの組立装置。
【請求項１２】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板上に多数のフィルタエレメントを形成する液晶表示装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上の多数の絵素ピクセルにそれぞれＥＬ発光層を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１４】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、電極上に多数の蛍光体を形成する電子放出装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とする電子放出装置の製造方法。
【請求項１５】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成するＰＤＰ装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の蛍光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記背面基板に対し相対的に走査し、前記蛍光材料を選択的に吐出して多数の前記蛍光体を形成することを特徴とするＰＤＰ装置の製造方法。
【請求項１６】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、電極上の多数の凹部に泳動体を形成する電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の泳動体材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記電極に対し相対的に走査し、前記泳動体材料を選択的に吐出して多数の前記泳動体を形成することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１７】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のフィルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色のフィルタ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記フィルタ材料を選択的に吐出して多数の前記フィルタエレメントを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１８】前記多数のフィルタエレメントは、前記基板上に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部に収容されており、
前記フィルタエレメントを形成する前に、
前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする請求項１７に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１９】前記多数のフィルタエレメントおよび前記バンクを被覆するオーバーコート膜が形成されており、
前記フィルタエレメントを形成した後に、
前記複数の液滴吐出ヘッドに透光性のコーティング材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記コーティング材料を選択的に吐出して前記オーバーコート膜を形成することを特徴とする請求項１８に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項２０】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、ＥＬ発光層を含む多数の複数の絵素ピクセルを基板上に配列して成る有機ＥＬの製造方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに各色の発光材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記発光材料を選択的に吐出して多数の前記ＥＬ発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬの製造方法。
【請求項２１】前記多数のＥＬ発光層は、前記基板上に設けられた凸状のバンクにより形成した凹部に収容されており、
前記ＥＬ発光層を形成する前に、
前記複数の液滴吐出ヘッドにバンク材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記バンク材料を選択的に吐出して前記バンクを形成することを特徴とする請求項２０に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２２】前記多数のＥＬ発光層と前記基板との間には、前記ＥＬ発光層に対応して多数の画素電極が形成されており、
前記バンクを形成する前に、
前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して多数の前記画素電極を形成することを特徴とする請求項２１に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２３】前記多数のＥＬ発光層および前記バンクを覆うように対向電極が形成されており、
前記ＥＬ発光層を形成した後に、
前記複数の液滴吐出ヘッドに液状電極材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極を形成することを特徴とする請求項２２に記載の有機ＥＬの製造方法。
【請求項２４】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペーサ形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドにスペーサを構成する粒子材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを少なくとも一方の前記基板に対し相対的に走査し、前記粒子材料を選択的に吐出して前記基板上に前記スペーサを形成することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項２５】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に金属配線を形成する金属配線形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記液状金属材料を選択的に吐出して前記金属配線を形成することを特徴とする金属配線形成方法。
【請求項２６】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドにレンズ材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レンズ材料を選択的に吐出して多数の前記マイクロレンズを形成することを特徴とするレンズ形成方法。
【請求項２７】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に任意形状のレジストを形成するレジスト形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドにレジスト材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記レジスト材料を選択的に吐出して前記レジストを形成することを特徴とするレジスト形成方法。
【請求項２８】請求項１１に記載のヘッドユニットの組立装置により組み立てられたヘッドユニットを用い、基板上に多数の光拡散体を形成する光拡散体形成方法であって、
前記複数の液滴吐出ヘッドに光拡散材料を導入し、
前記ヘッドユニットを介して前記複数の液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査し、前記光拡散材料を選択的に吐出して多数の前記光拡散体を形成することを特徴とする光拡散体形成方法。

【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドユニットのアライメントマスクは、平面視方形に形成された単一のキャリッジに、複数の液滴吐出ヘッドをキャリッジの長辺および短辺に対し所定の角度傾けて搭載したヘッドユニットのアライメントマスクであって、キャリッジの基準位置とキャリッジに搭載される各液滴吐出ヘッドを位置決めするための基準位置をそれぞれ示すパターンが形成されたマスタプレートを備え、マスタプレートは、傾けた液滴吐出ヘッドの長辺に平行な２辺と、短辺に平行な２辺とで方形に形成されていることを特徴とする。

この構成によれば、各液滴吐出ヘッドの基準位置およびキャリッジの基準位置をパターン形成したマスタプレートを位置基準の原型とし、これを基準としてキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドを位置決めすることができる。すなわち、キャリッジの基準位置に対し、各液滴吐出ヘッドの基準位置を精度良く位置決めすることができる。このことはまた、マスタプレートを原型として、その複製である多数のヘッドユニットを、常に一定の位置決め精度を維持しつつ作成することを可能とする。これにより、液滴吐出ヘッドをキャリッジに組み付ける組立装置毎の製造上の精度誤差や、同一の組立装置における温度や湿度などの環境変化に基づく精度誤差等を、確実に排除することができる。
また、マスタプレートをキャリッジと相似形に形成する場合に比して、マスタプレートに求められる性状を損なうことなく、これをコンパクトに形成することができる。このため、位置基準の原型となるマスタプレートの取り扱いが容易となると共に、マスタプレート自体のコストを低減することができる。
特に、マスタプレートに、熱による歪みの少ない高価な石英ガラスを用いた場合には、コスト低減効果は大きい。
なお、液滴吐出ヘッドとしては、圧電素子に電圧を印加しその変形を利用して液滴を吐出する方式や、ヒーターにより液滴を瞬時に加熱しその蒸発（体積膨張）を利用して液滴を吐出する方式等があるが、いずれであってもよい。

これらの場合、マスタプレートおよびプレートホルダは、マスタプレートとプレートホルダとの加算重量が、ヘッドユニットの重量と同一となるように設計されていることが、好ましい。

この場合、アライメントマスクとヘッドユニットとは、移動テーブルに対し、マスタプレートのパターン形成面と、各液滴吐出ヘッドおよびキャリッジの位置認識面とが同一平面内に位置するように、交換セット可能に構成されていることが、好ましい。