CN1872429A - 液滴喷出方法及装置、喷头单元、电光学装置、电子设备 - Google Patents

液滴喷出方法及装置、喷头单元、电光学装置、电子设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液滴喷出方法、喷头单元、液滴喷出装置、电光学装置以及电子设备。由于台架(103)在基体(10A)上进行扫描，同时以红色材料(111R)、绿色材料(111G)、蓝色材料(111B)各液体材料(111)的扫描区域中的至少一部分重合的方式喷出液体材料(111)，所以在扫描区域重合的部分，各液体材料(111)的溶剂蒸发，形成难以干燥的气氛，从而作为整体来说，液体材料(111)的干燥速度变得均匀。因此，即使同时喷出红色材料(111R)、绿色材料(111G)、蓝色材料(111B)各液体材料(111)，也不会在各液体材料(111)之间产生干燥不均。由此，在缩短了整体的描画时间的同时，还可以防止在所形成的滤色器层(16)上产生不均。

Description

液滴喷出方法及装置、喷头单元、电光学装置、电子设备
技术领域
本发明涉及液滴喷出方法、喷头单元、液滴喷出装置、电光学装置以及电子设备。
背景技术
喷墨打印机的液滴喷出头能够以点状喷出微小的墨滴，在墨滴的大小和间距的均匀性方面具有极其高的精度。该技术应用在各种产品的制造领域。例如，也可以在形成液晶装置的滤色器(color filter)和有机EL显示装置的发光部等时使用。具体而言，使液滴喷出头中含有特殊的墨水或感光性的树脂液等(功能液)，对电光学装置用的基板喷出该功能液的液滴(例如，参照专利文献1)。由于在通过该方法而形成的滤色器或发光部上，大多形成有多种颜色，所以通过每种不同的装置将多种功能液喷出到基板上。
但是，在专利文献1所记载的方法中，由于通过每种不同的装置喷出多种功能液，所以喷出所需要的总时间变长。另一方面，如果以1个装置来喷出多种功能液，则由于各种功能液的干燥时间不同，所以被喷出的功能液会形成干燥不均，使得在所形成的膜上产生不均匀。
专利文献1：特开2004-267927号公报
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的在于，提供一种能够缩短整体的描画时间，并且能够防止在所形成的膜上产生不均匀的液滴喷出方法、喷头单元、液滴喷出装置、电光学装置以及电子设备。
为了达成上述目的，本发明的液滴喷出方法，一边使基板和喷头相对扫描，一边向该基板上喷出功能液的液滴，其特征在于，在同一扫描中，将干燥速度不同的多种功能液喷到各自扫描方向中的不同位置，并且所述多种功能液的至少一部分种类的各扫描区域重合。
根据本发明，由于一边使基板和喷头相对扫描，一边以干燥速度不同的多种功能液的至少一部分种类的扫描区域重合的方式喷出，所以在扫描区域重合的部分中，多种功能液蒸发，形成难以干燥的气氛，从而作为整体来说，功能液的干燥速度变得均匀。因此，即使在同一扫描中喷出多种功能液，也不会在各功能液之间产生干燥不均。由此，在缩短了整体的描画时间的同时，还可以防止在所形成的膜上产生不均。
另外，优选所述多种功能液中、干燥速度快的功能液的扫描区域与其他种类的功能液的扫描区域重合。
根据本发明，由于通过使干燥速度快的功能液的扫描区域与其他种类的功能液的扫描区域重合，可以在扫描区域整体中，使从功能液蒸发的溶剂蒸发量平均化，所以可以形成均匀的溶剂气氛。由此，可以提高干燥速度的均一性，并能够在各功能液之间使干燥不均难以产生。
另外，优选以所述多种功能液的全部种类的扫描区域重合的方式喷出所述功能液。
根据本发明，通过以各种功能液的全部种类的扫描区域重合的方式喷出功能液，从而在扫描区域的所有部分中多种的功能液蒸发，产生难以干燥的气氛。由此，对整体来说，功能液的干燥速度能够容易地被均一化。
本发明其它观点的喷喷头单元，一边相对地扫描基板，一边向该基板上喷出功能液的液滴，其特征在于，具有喷嘴，其同时喷出干燥速度不同的多种功能液，并且排列为使所述多种功能液的至少一部分种类的各扫描区域重合而进行喷出。
根据本发明，一边相对地扫描基板，一边从设置在喷头中的喷嘴，以干燥速度不同的多种功能液的至少一部分种类的扫描区域重合的方式进行喷出。因此，在扫描区域重合的部分，由于从多种功能液蒸发的溶剂气氛，形成难以干燥的状态，从而对整体来说，功能液的干燥速度变得均一。由此，可以同时喷出多种功能液，并且，即使同时喷出该多种功能液，也能够防止在各功能液之间产生干燥不均。
本发明其它观点的液滴喷出装置，其特征在于，搭载有上述的喷喷头单元。
根据本发明，由于搭载了可以同时喷出多种功能液，并且即使同时喷出该多种功能液，也能够防止在各功能液之间产生干燥不均的喷喷头单元，所以，在缩短了整体的描画时间的同时，还可以防止在所形成的膜上产生不均。
本发明其它观点的电光学装置，其特征在于，包括通过上述的液滴喷出方法而被喷出功能液的基板。
根据本发明，由于通过在缩短了整体的描画时间的同时，还可以防止在所形成的膜上产生不均的液滴喷出方法，来喷出功能液的液滴，所以，在提高制造速度，能够在短时间内得到多个电光学装置的同时，还能够得到显示均匀、品质优良的电光学装置。
本发明其它观点的电子设备，其特征在于，搭载了上述的电光学装置。
根据本发明，由于搭载了显示均匀、品质优良的电光学装置，所以能够得到显示性能优越的电子设备。
附图说明
图1是表示本发明实施方式的液晶装置的结构的立体图。
图2是表示本实施方式的滤色器基板的结构的俯视图。
图3是表示本实施方式的液滴喷出装置的整体结构的立体图。
图4是表示本实施方式的液体喷出装置的台架的结构的俯视图。
图5是表示本实施方式液滴喷出装置的喷头的外部结构的俯视图。
图6是表示本实施方式的液滴喷出装置的喷头的内部结构的图。
图7是表示本实施方式的液滴喷出装置的控制部的结构的框图。
图8是表示本实施方式的液滴喷出装置的头驱动部的结构的图。
图9是表示本实施方式的液滴喷出装置的喷头的配置的图。
图10是表示本实施方式的液滴喷出装置的动作的图(其1)。
图11是表示本实施方式的液滴喷出装置的动作的图(其2)。
图12是表示本实施方式的液滴喷出装置的动作的图(其3)。
图13是表示本实施方式的液滴喷出装置的动作的图(其4)。
图14是表示本发明的电子设备的结构的立体图。
图中：1-液晶装置，2-有源矩阵基板，3-滤色器基板，10A-基体，16-滤色器，18(18R、18G、18B)-被喷出部，100-液滴喷出装置(喷出装置)，103-台架，106-载物台，111(111R、111G、111B)-液体材料，114(114R、114G、114B)-喷头，114P-喷头组，114G-喷头，118-喷嘴，300-移动电话。
具体实施方式
(电光学装置)
下面，根据附图对本发明的实施方式进行说明。在下面的图中，为了将各部件形成为可以识别的大小，适当地变更了比例尺。
图1是表示本实施方式的液晶装置1的结构的立体图。
如该图所示，液晶装置1以液晶面板40、背光灯41为主体而构成。液晶面板40的构成如下，有源矩阵基板2与滤色器基板3通过密封材料26被粘在一起，在该有源矩阵基板2、滤色器基板3和密封材料26之间夹持有液晶6。图中虚线所表示的显示区域2a是显示图像或动画等的区域。
另外，虽然本实施方式的液晶装置1，采用使用了作为二端子型非线性元件的薄膜二极管(TFD)元件来作为开关元件的有源矩阵方式的液晶装置，但是，也可以采用例如使用了薄膜晶体管(TFT)元件作为开关元件的液晶装置、或无源矩阵方式的液晶装置。而且，液晶面板40是通过将两张大开本的母基板粘在一起，并进行切断而形成的(形成多个)。两张母基板是生成滤色器基板3的滤色器侧母基板、和生成有源矩阵基板2的有源矩阵侧母基板。
图2是表示滤色器基板3的结构的俯视图。图2(a)是表示滤色器基板3的整体结构的图，图2(b)是放大表示滤色器基板3的一部分的图。
如图2(a)所示，滤色器基板3是由例如玻璃或者塑料等透明的材料形成的矩形基板。在滤色器基板3上设置有遮光层13，与由遮光层13所包围的区域(像素)对应，设置具有红色层16R、绿色层16G、蓝色层16B的滤色器16。另外，在滤色器基板3上形成有外涂层(未图示)，以便覆盖该滤色器16，在该外涂层上形成有取向膜(未图示)。该取向膜例如由聚酰亚胺等构成，表面是被研磨(rubbing)处理的水平取向膜。
而且，如图2(b)所示，对于一个红色层16R(或者绿色层16G、蓝色层16B)来说，其被设置成短边长度S例如是170μm左右、长边长度L例如是510μm左右的矩形。另外，对于相邻的滤色器16之间的间隔来说，行方向的间隔T1大约为20μm，列方向的间隔T2大约为40μm。
(液滴喷出装置)
接着，对本实施方式的液滴喷出装置(下面称作“喷出装置”)100进行说明。
如图3所示，喷出装置100以下述部件为主体而构成，即：保持液体材料111的容器101；经由管道(tube)110而被从容器101供给液体材料111的喷出扫描部102，。
液体材料111有三种，分别是例如：构成液晶装置1的滤色器16的红色层16R的材料(下面称作“红色材料”)111R、构成绿色层16G的材料(下面称作“绿色材料”)111G、和构成蓝色层16B的材料(下面称作“蓝色材料”)111B。
容器101具有：保持红色材料111R的红色材料容器101R、保持绿色材料111G的绿色材料容器101G、和保持蓝色材料111B的蓝色材料容器101B，将上述3种液体材料111单独保持。在各容器101中，例如安装有未图示的压力泵。通过驱动该压力泵，向容器101内部施加压力，从而液体材料111从容器101内向喷出扫描部102供给。
在这里，作为红色材料111R使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散红色的无机颜料(例如红色氧化铁(III)或镉红等)之后，加入二甘醇-丁醚乙酸酯作为溶剂，进而添加非离子系表面活性剂作为分散剂，并将粘度调整到规定的范围。
而且，作为绿色材料111G使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散绿色的无机颜料(例如氧化铬绿或钴绿等)之后，加入环己酮和乙酸丁酯作为溶剂，添加非离子系表面活性剂作为分散剂，并将粘度调整到规定的范围。
并且，作为蓝色材料111B使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散蓝色的无机颜料(例如群青或普鲁士蓝等)之后，加入二甘醇-丁醚乙酸酯作为溶剂，添加非离子系表面活性剂作为分散剂，并将粘度调整到规定的范围。
其中，在绿色材料111G中所使用的环己酮和乙酸丁酯，与在红色材料111R和蓝色材料111B中所使用的二甘醇-丁醚乙酸酯相比容易蒸发。由于液体材料111的干燥速度依靠于溶剂的蒸发容易程度，所以绿色材料111G的干燥速度比其他的液体材料111大，即绿色材料111G容易干燥。另外，液体材料111的干燥速度除了依靠于溶剂的蒸发容易程度之外，还与固体成分浓度有关。
喷出扫描部102具有：保持多个喷头114(参照图4)的台架103、控制台架103的位置的台架位置控制装置104、保持构成滤色器侧母基板的基体10A的载物台106、控制载物台106的位置的载物台位置控制装置108、控制部112。另外，实际在喷出装置100上设置有多个(例如10个)台架103。在图3中，为了简化说明，图示一个台架103进行了说明。
台架位置控制装置104根据来自控制部112的信号，使台架103沿着X轴方向或Z轴方向移动的同时，还具有使台架103在以Z轴为轴的旋转方向上旋转的功能。载物台位置控制装置108根据来自控制部112的信号，使载物台106沿着Y轴方向移动的同时，还具有使载物台106在以Z轴为轴的旋转方向上旋转的功能。
如上所述，台架103根据台架位置控制装置104的控制，在X轴方向上移动。另一方面，载物台106根据载物台位置控制装置108的控制，在Y轴方向上移动。即，通过台架位置控制装置104和载物台位置控制装置108，喷头114相对于载物台106的相对位置发生变化。
即，通过使台架103和载物台106中的双方或任意一方移动，台架103可以扫描载物台106(或者保持在载物台106上的基体10A)。下面，在本实施方式中，对通过使台架103静止而使载物台106移动来进行扫描的情况进行说明。
图4是从载物台106侧观察一个台架103的图，与图4的纸面方向垂直的方向是Z轴方向。另外，图4的纸面的左右方向为X轴方向，纸面的上下方向为Y轴方向。
如该图所示，台架103保持分别具有大致相同结构的多个喷头114。在喷头114中有三种喷头，分别是：喷出液体材料111中的红色材料111R的喷头114R、喷出绿色材料111G的喷头114G、和喷出蓝色材料111B的喷头114B。
在本实施方式中，在一个台架103上分别设置四个喷头114R、喷头114G、和喷头114B，喷头114的个数总计12个。另外，关于喷头114之间的位置关系将在后面叙述。另外，在本说明书中，将在Y轴方向上邻接的6个喷头114表示为“喷头组114P”。
图5是表示喷头114的底面114a的图。底面114a的形状为具有对置的两条长边和对置的两条短边的矩形。该底面114a朝向载物台106侧(图中Z轴方向)。喷头114的长边方向与图中X轴方向平行，另外，喷头114的短边方向与图中Y轴方向平行。
而且，在该底面114a上，沿着X轴方向配置有例如2列(列116A和列116B)、每列90个的喷嘴118。而且，各喷嘴118的喷嘴直径r大约为30μm。列116A侧的喷嘴118和列116B侧的喷嘴118，分别以规定的间距LNP(LNP：大约140μm)配置在各列中。并且，喷嘴列116B的各喷嘴118的位置被配置成，相对喷嘴列116A的各喷嘴118的位置，向X轴方向的负方向仅偏移喷嘴间距LNP的一半的长度(大约70μm)。另外，设置在喷头114中的喷嘴列也可以不是2列。例如，可以将列数增加为3列、4列、…M列(M为自然数)，或者还可以是1列。
由于喷嘴列116A和喷嘴列116B分别由90个喷嘴构成，所以在一个喷头114中设置有180个喷嘴。但是，从喷嘴列116A的两端开始到第5个为止的喷嘴，处于不能喷出材料液体111的状态(间歇喷嘴：图5中由虚线包围的部分)。同样地，从喷嘴列116B的两端开始到第5个为止的喷嘴，也是不能喷出材料液体111的间歇喷嘴(图5中由虚线包围的部分)。因此，在喷头114的180个喷嘴118中，除去两端的20个喷嘴所剩余的160个喷嘴118会喷出液体材料111(喷出喷嘴)。
在本说明书中，以说明喷头114的位置关系为目的，将包含在喷嘴列116A内的90个喷嘴118中、从图中上端排列为第6个的喷嘴118标记为喷头114的“基准喷嘴118R”。即，喷嘴列116A的80个喷出喷嘴中、位于图中最上部的喷出喷嘴是喷头114的“基准喷嘴118R”。另外，对所有的喷头114来说，由于只要是“基准喷嘴118R”的指定方法相同即可，所以，“基准喷嘴118R”的位置也可以不是上述位置。
接着，对喷头114的内部结构进行说明。如图6(a)和图6(b)所示，每个喷头114是喷墨头。更为具体而言，各喷头114具有振动板126、和喷嘴板128。在振动板126和喷嘴板128之间设置有液体存积单元129，从容器101经由孔131而被供给的液体材料111总是填充于此。
另外，在振动板126与喷嘴板128之间设置有多个隔壁122。而且，由振动板126、喷嘴板128和1对隔壁122所包围的部分是内腔室(cavity)120。内腔室120按每个喷嘴118设置，所以内腔120的个数与喷嘴118的数量相同。经由设置在1对隔壁122之间的供给口130，液体材料111从液体存积单元129而被供给到内腔室120中。
振子124与各个内腔室120对应地位于振动板126上。振子124具有压电元件124C、和夹持压电元件124C的1对电极124A、124B。通过在该1对电极124A、124B之间施加驱动电压，从而液体材料111自对应的喷嘴118喷出。另外，调整喷嘴118的形状，使得从喷嘴118向Z轴方向喷出液体状材料。此外，也可以替代压电元件而具有电热转换元件。即，也可以具有利用基于电热转换元件的材料的热膨胀来喷出液体材料111的结构。
接着，对控制部112的结构进行说明。
控制部112是对喷出液滴材料111的定时、台架103的固定位置、载物台106的移动(移动速度、移动距离等)等、喷出装置1的动作进行统一控制的部位。
如图7所示，控制部112包括：输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206和头驱动部208，并且各部分之间可通信地连接。
输入缓冲存储器200从与外部连接的例如信息处理装置等，接受用于进行液体材料111的液滴喷出的喷出数据。输入缓冲存储器200将喷出数据供给到处理部204，处理部204将喷出数据存储在存储机构202中。作为存储机构202可以使用例如RAM等。
处理部204对在存储机构202内存储的喷出数据进行访问，以该喷出数据为基础，向扫描驱动部206和头驱动部208供给必要的驱动信号。
扫描驱动部206基于驱动信号，向台架位置控制装置104和载物台位置控制装置108供给规定的位置控制信号。另外，头驱动部208基于驱动信号，向各喷头114供给喷出液体材料111的喷出信号。
头驱动部208如图8(a)所示，具有：1个驱动信号生成部203、和多个模拟开关AS。模拟开关AS与喷头114内的振子124连接(具体而言，与电极124A连接，但是电极124A在图8(a)中没有图示)。该模拟开关AS被设置成与各个喷嘴118分别对应，即设置与喷嘴118的个数相同的数量。
驱动信号生成部203生成图8(b)所示的驱动信号DS。驱动信号DS独立地向模拟开关AS的各个输入端子供给。驱动信号DS的电位相对于标准电位L在时间上发生变化。即，驱动信号DS是在喷出周期EP内重复多个喷出波形P的信号。喷出周期EP可以通过例如处理部204而被调节成所期望的值。通过适当地调节该喷出周期EP，能够生成从多个喷嘴118同时喷出液体材料111的喷出信号。另外，也可以生成喷出信号，以便从多个喷嘴118以不同定时喷出液体材料111。这样，可以控制喷出的定时。
而且，控制部112不仅能够控制喷出的定时，还可以控制从喷嘴118喷出的液体材料111的体积。该液体材料111体积的控制，可以对各个喷嘴118分别进行控制。对于从各喷嘴118喷出的液体材料111的体积来说，可以在0pl～42pl(微升)之间变动。
另外，控制部112也可以是包含CPU、ROM、RAM的计算机。在该情况下，控制部112的上述功能可以通过计算机所执行的软件程序来实现。当然，控制部112也可以通过专用的电路(硬件)来实现。
接着，对喷头组114P中的6个喷头114的位置关系进行说明。
图9是表示喷头114的相对位置关系的图。另外，在本图中，对图4所示的2组喷头114R、114G、114B分别标记为114R1、114G1、114B1和114R2、114G2、114B2来进行区分。
如图9所示，喷头组114P配置成相邻的喷头114彼此之间在X方向错开。例如，与喷头114R1相邻的喷头114G1的有效喷嘴列设置为：相对于喷头114R1的有效喷嘴列，向X方向仅错开其有效喷嘴列长度t的三分之一的长度。
在这里，所谓有效喷嘴列长度是指喷头114中、排列有喷出液体材料111的喷出喷嘴118的部分(有效喷嘴列：这里是基准喷嘴118R之间的部分)的长度。该有效喷嘴列长度例如可以设定为1厘米左右。另外，在图9中，为了使说明简单，对跨过喷头宽度整体形成喷出喷嘴118的情况进行说明。
对于和喷头G1相邻的喷头114B1的有效喷嘴列来说，也同样地设置为：相对于相邻的喷头114G1的有效喷嘴列，向X方向仅错开其有效喷嘴列长度的三分之一的长度。对于和喷头114B1相邻的喷头114R2、和该喷头114R2相邻的喷头114G2、和该喷头114G2相邻的喷头114B2的各有效喷嘴列来说，也同样地设置为：各个喷头114的有效喷嘴列相对于相邻的各喷头114的有效喷嘴列，向X方向仅错开其有效喷嘴列长度的三分之一的长度。
结果，设置于喷头114R2的有效喷嘴列的X轴方向中的图中上侧端部的位置，与设置于喷头114R1的有效喷嘴列的图中下侧端部的X轴方向的位置一致(图中，以虚线(4)表示的位置)。而且，设置于喷头114G2的有效喷嘴列的图中上侧端部的X轴方向的位置，与设置于喷头114G1的有效喷嘴列的图中下侧端部的X轴方向的位置一致(图中，以虚线(5)表示的位置)。另外，设置于喷头114B2的有效喷嘴列的图中上侧端部的X轴方向的位置，与设置于喷头114B1的有效喷嘴列的图中下侧端部的X轴方向的位置一致(图中，以虚线(6)表示的位置)。
即，喷出红色材料111R的X方向范围，是在喷头114R1和114R2中各自的有效喷嘴列的X方向的范围，即，从虚线(1)到虚线(7)之间的范围。而且，喷出绿色材料111G的X方向范围，是在喷头114G1和114G2中各自的有效喷嘴列的X方向的范围，即，从虚线(2)到虚线(8)之间的范围。另外，喷出蓝色材料111B的X方向范围，是在喷头114B1和114B2中各自的有效喷嘴列的X方向的范围，即，从虚线(3)到虚线(9)之间的范围。
因此，在台架103进行扫描(scan)之际，虚线(1)和虚线(2)之间的范围仅是红色材料111R的扫描区域，虚线(2)和虚线(3)之间的范围是红色材料111R的扫描区域和绿色材料111G的扫描区域重合的区域，虚线(3)和虚线(7)之间的范围是红色材料111R的扫描区域、绿色材料111G的扫描区域和蓝色材料111B的扫描区域全部重合的区域，虚线(7)和虚线(8)之间的范围是绿色材料111G的扫描区域和蓝色材料111B的扫描区域重合的区域，虚线(8)和虚线(9)之间的区域仅是蓝色材料111B的扫描区域。这样，除了虚线(1)和虚线(2)之间的区域、虚线(8)和虚线(9)之间的区域之外的区域，是各液体材料111的扫描区域的重合区域。
(液晶装置的制造方法(液滴喷出方法))
接着，对如此构成的液晶装置1的制造工序进行说明。
在本实施方式中，以使用大面积的母基板一次形成多个液晶装置，并通过切断而分离成每个液晶装置1的方法为例进行说明。
首先，对滤色器侧母基板的形成工序进行简单的说明。
使基体10A保持在喷出装置100的载物台106上。在该基体10A上形成有保持滤色器16的被喷出部18(18R、18G、18B：参照图10等)。红色层16R保持在被喷出部18R上，绿色层16G保持在被喷出部18G上，蓝色层16B保持在被喷出部18B上。另外，在将基体10A保持在载物台106上时，以基体10A的短边方向与X轴方向一致、长边方向与Y轴方向一致的方式来调节位置。
在该状态下，如图10所示，使载物台106从图中左侧向右侧移动。台架103例如从图中右侧向左侧扫描基体10A中的区域W(被点划线夹持的区域)。此时，台架103扫描基体10A的区域W，同时从各喷头114喷出液体材料111。
从各喷头114同时喷出液体材料111。所谓的“同时喷出”不是每一次扫描(在图10中，例如从右侧向左侧)喷出1种颜色，而是指在一次扫描中，从喷头114R喷出红色材料111R，从喷头114G喷出绿色材料111G，从喷头114B喷出蓝色材料111G。
例如，通过一次的扫描，如图10所示，红色材料111R、绿色材料111G、蓝色材料111B喷到例如图中最上行的各被喷出部18和图中最下行的各被喷出部18上。此时，向跨过多行而设置的被喷出部18中的哪一行喷出液体材料111，是能够适当地设定的。
接着，进行第2次扫描。在第1次扫描结束的状态下，载物台106向图中右侧移动。在第2次扫描中，如图11所示，使载物台106从图中右侧向左侧移动。载物台103从和第1次扫描相反的方向，即从图中左侧向右侧对基体10A的区域W进行扫描。此时，载物台103扫描基体10A，同时从各喷头114喷出液体材料111。
在第2次扫描中，向第1次扫描时喷出了液体材料111的被喷出部18之外的被喷出部18喷出液体材料111。例如，如图11所示，向在第1次扫描时没有被喷出液体材料111的从图中上数第2行的各被喷出部18以及从图中下数第2行的各被喷出部18，喷出红色材料111R、绿色材料111G和蓝色材料111B。
这样，在第2次之后的扫描中，一边从跨过多行而设置的被喷出部18中选择没有被喷出液体材料111的被喷出部18的行，一边喷出液体材料111，反复进行扫描，直至向各被喷出部18分别喷出1次液体材料111。
如果在各被喷出部18上分别喷出1次液体材料111，则反复进行图10和图11的扫描，直至如图12所示，此次向各被喷出部18喷出液体材料111共计2次。然后，反复进行该扫描，通过向各被喷出部18喷出液体材料111共计3次、共计4次，即渐渐地增加喷出次数，如图13所示，向各被喷出部18的整体喷出液体材料111。
对此之后的工序进行简单的说明。在形成有滤色器16的基体10A上，形成未图示的电极和布线等，并形成平坦化膜。另外，在基体10A的表面上形成间隙控制用的未图示的隔板(spacer)和隔壁。以覆盖形成于该基体10A上的布线和滤色器的方式形成取向膜，并对该取向膜实施研磨处理。取向膜可以通过涂覆或印刷例如聚酰亚胺而形成。另外，将由环氧树脂等构成的密封材料形成为矩形环状，并在由密封材料包围的区域上涂覆液晶。
接着，对有源矩阵侧母基板的形成进行说明，在由玻璃或塑料等透光性材料构成的大开本的基材上形成布线、电极等，并在形成有该布线、电极等的区域上形成平坦化膜。形成平坦化膜之后，形成由聚酰亚胺构成的取向膜，并对该取向膜进行研磨处理。
接着，将滤色器侧母基板和有源矩阵侧母基板粘贴成面板状。使两极板接近，并使有源矩阵侧母基板与滤色器侧母基板上的密封材料粘接。然后，在粘接的两母基板上形成划线，沿着该划线将面板切断，并对切断后的各面板进行清洗，之后，在各面板上安装驱动器等。在各液晶面板的外侧表面上粘贴偏振片，并安装背光灯41，则液晶装置1完成。
这样，根据本实施方式，由于在台架103扫描基体10A的同时喷出液体材料111，以使红色材料111R、绿色材料111G、蓝色材料111B各液体材料111的扫描区域中的至少一部分重合，所以在扫描区域重合的部分中，各液体材料111的溶剂蒸发，形成难以干燥的气氛，从而作为整体来说，液体材料111的干燥速度变得均匀。因此，即使在同一扫描中喷出红色材料111R、绿色材料111G、蓝色材料111B各液体材料111，也不会在各液体材料111之间产生干燥不均。由此，在缩短了整体的描画时间的同时，还可以防止在所形成的滤色器层16上产生不均。
另外，如本实施方式所述，通过使干燥速度最快的绿色材料111G的扫描区域与红色材料111R的扫描区域和蓝色材料111B的扫描区域重合，从而可以避免从各液体材料111蒸发的溶剂蒸发量因场所不同而产生偏差，从而能够形成均匀的溶剂气氛。由此，可以提高干燥速度的均一性，并能够在各液体材料111之间使干燥不均难以产生。
而且，在本实施方式中，例如如图10～图12所示，在区域W中，以红色材料111R的扫描区域、绿色材料111G的扫描区域以及蓝色材料111B的扫描区域全部重合的方式，喷出各液体材料111。由此，可以在扫描区域整体中形成均匀的溶剂气氛。由此，可以提高各液体材料111干燥速度的均一性，并能够在各液体材料111之间使干燥不均难以产生。
(电子设备)
接着，以移动电话为例，对本发明的电子设备进行说明。
图14是表示移动电话300的整体结构的立体图。
移动电话300具有：框体301；设置有多个操作按钮的操作部302；显示图像、动画或文字等的显示部303。在显示部303上搭载有本发明的液晶装置1。
这样，因为搭载了显示均匀、质量优良的液晶装置1，所以可以得到显示性能优越的电子设备(移动电话300)。
本发明的技术范围不限定于上述实施方式，在不脱离本发明主旨的范围内，可以施加适宜的改变。
例如，在上述实施方式中，如图10～图12所示，以红色材料111R的扫描区域、绿色材料111G的扫描区域以及蓝色材料111B的扫描区域全部重合的方式，喷出各液体材料111，但是并不限定于此。
举一个例子来说明，也可以在第1次扫描中，向红色材料111R的扫描区域和绿色材料111G的扫描区域重合的区域喷出红色材料111R和绿色材料111G；在第2次扫描中，向绿色材料111G的扫描区域和蓝色材料111B的扫描区域重合的区域喷出绿色材料111G和蓝色材料111B。即，不仅在各液体材料111的扫描区域全部重合的情况下，在2种液体材料111的扫描区域重合的情况下也可以采用本发明。
另外，上述实施方式的说明，是以在液晶装置1的滤色器基板3上形成滤色器层16的情况为例，对本发明进行说明，但是不限定于该实例，例如，也可以在有机EL装置用基板上形成有机层(发光层等)的情况下采用本发明。

Claims (7)

1.一种液滴喷出方法，一边使基板和喷头相对扫描，一边向该基板喷出功能液的液滴，
在同一扫描中，将干燥速度不同的多种功能液分别喷到扫描方向中的不同位置，并且，所述多种功能液的至少一部分种类的各扫描区域重合。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，所述多种功能液中、干燥速度快的功能液的扫描区域与其他种类的功能液的扫描区域重合。
3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出方法，其特征在于，所述多种功能液的全部种类的各扫描区域重合。
4.一种喷头单元，一边相对地扫描基板，一边向该基板喷出功能液的液滴，
该喷头单元具有喷嘴，其同时喷出干燥速度不同的多种功能液，并且排列为使所述多种功能液的至少一部分种类的各扫描区域重合而进行喷出。
5.一种液滴喷出装置，搭载有权利要求4所述的喷头单元。
6.一种电光学装置，包括通过权利要求1～3所述的液滴喷出方法喷出了功能液的基板。
7.一种电子设备，搭载有权利要求6所述的电光学装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108535281A (zh) * 2018-05-23 2018-09-14 苏州凡目视觉科技有限公司 一种3d曲面玻璃喷码机构

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006326541A (ja) 2005-05-30 2006-12-07 Seiko Epson Corp 液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器
JP4935152B2 (ja) * 2005-06-24 2012-05-23 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法
US8242516B2 (en) * 2008-08-29 2012-08-14 Panasonic Corporation Organic EL display panel and method of manufacturing the same

Family Cites Families (67)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9910A (en) * 1853-08-02 Theodore cotjpier and m
US255335A (en) * 1882-03-21 Hose coupling
JPS54116860A (en) * 1978-03-03 1979-09-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Variable power distributor
JP3176120B2 (ja) * 1991-05-27 2001-06-11 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置及びインクジェット記録方法
US5287543A (en) * 1991-10-07 1994-02-15 General Electric Co. Multichannel communication system with an amplifier in each channel
JP3404165B2 (ja) 1994-03-30 2003-05-06 日本板硝子株式会社 熱線遮蔽ガラス
US5568169A (en) 1994-10-19 1996-10-22 Xerox Corporation Method and apparatus using two different black inks to reduce intercolor bleeding and provide high quality edge definition with thermal ink jet systems
KR0136543B1 (ko) * 1994-12-31 1998-05-15 김주용 저주파 신호를 이용한 고주파 출력 전압레벨 제어 및 중간 주파수 전송전용(ifl) 케이블 연속성 확인 회로와 방법
JP3279133B2 (ja) 1995-07-18 2002-04-30 トヨタ自動車株式会社 撥液処理表面の評価方法
JP3257369B2 (ja) 1995-09-20 2002-02-18 松下電器産業株式会社 塗膜形成方法および塗膜形成装置
US5652019A (en) 1995-10-10 1997-07-29 Rockwell International Corporation Method for producing resistive gradients on substrates and articles produced thereby
KR19980065967A (ko) * 1997-01-17 1998-10-15 김광호 시스템 성능 개선을 위한 다중채널 시분할교신방식의 신호 송수신 장치
US5923348A (en) * 1997-02-26 1999-07-13 Lexmark International, Inc. Method of printing using a printhead having multiple rows of ink emitting orifices
JPH10282321A (ja) 1997-04-09 1998-10-23 Asahi Glass Co Ltd カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ
US5995495A (en) * 1997-05-23 1999-11-30 Mci Communications Corporation Method of and system for providing geographically targeted broadcast satellite service
JP3646510B2 (ja) 1998-03-18 2005-05-11 セイコーエプソン株式会社 薄膜形成方法、表示装置およびカラーフィルタ
JP4741045B2 (ja) 1998-03-25 2011-08-03 セイコーエプソン株式会社 電気回路、その製造方法および電気回路製造装置
JPH11340129A (ja) 1998-05-28 1999-12-10 Seiko Epson Corp パターン製造方法およびパターン製造装置
JP3965541B2 (ja) 1998-08-27 2007-08-29 セイコーエプソン株式会社 マイクロレンズアレイの製造方法
JP2000157906A (ja) 1998-11-25 2000-06-13 Canon Inc 枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法
GB2346049A (en) 1999-01-19 2000-07-26 Roke Manor Research Duplex filtering
JP2000289233A (ja) * 1999-04-05 2000-10-17 Casio Comput Co Ltd 印字ヘッド
US6771905B1 (en) * 1999-06-07 2004-08-03 Corvis Corporation Optical transmission systems including optical switching devices, control apparatuses, and methods
JP2000343716A (ja) * 1999-06-08 2000-12-12 Casio Comput Co Ltd インクジェットプリンタヘッド
CN1247359A (zh) 1999-06-29 2000-03-15 陈波 印刷品三维显示薄膜
JP2001239661A (ja) 2000-02-25 2001-09-04 Canon Inc 記録物、および記録方法
JP2001311025A (ja) 2000-02-25 2001-11-09 Canon Inc 記録物、記録方法、記録装置及びインク
US6526278B1 (en) * 2000-03-03 2003-02-25 Motorola, Inc. Mobile satellite communication system utilizing polarization diversity combining
JP2001327912A (ja) 2000-05-19 2001-11-27 Sony Corp 薄膜形成方法
JP2002003749A (ja) 2000-06-26 2002-01-09 Canon Inc 記録物、記録方法及び記録装置
JP2002002103A (ja) 2000-06-26 2002-01-08 Canon Inc 記録物、記録方法及び記録装置
US6992990B2 (en) * 2000-07-17 2006-01-31 Sony Corporation Radio communication apparatus
US6885847B1 (en) * 2000-10-10 2005-04-26 Symantec Corp. Extension mechanism and technique for enabling low-power end devices to access remote networks using short-range wireless communications means
DE10052711A1 (de) 2000-10-24 2002-05-02 Siemens Ag Multiband-Endgerät
JP2002141827A (ja) 2000-10-31 2002-05-17 Kyocera Corp 高周波モジュール
US7253702B2 (en) * 2000-11-01 2007-08-07 Hitachi Metals, Ltd. High-frequency switch module
DE10102201C2 (de) 2001-01-18 2003-05-08 Epcos Ag Elektrisches Schaltmodul, Schaltmodulanordnung und verwendung des Schaltmoduls und der Schaltmodulanordnung
GB2373095A (en) * 2001-03-09 2002-09-11 Seiko Epson Corp Patterning substrates with evaporation residues
JP2002299199A (ja) 2001-03-28 2002-10-11 Seiko Epson Corp レジスト塗布方法、薄膜形成方法、及び電気光学素子の製造方法
JP4340026B2 (ja) 2001-06-21 2009-10-07 京セラ株式会社 高周波モジュール
JP2003009910A (ja) 2001-07-04 2003-01-14 Maruchu Sangyo Co Ltd 紐締バックル
JP3470710B2 (ja) 2001-08-03 2003-11-25 トヨタ自動車株式会社 撥液処理表面の評価方法
JP2003053882A (ja) 2001-08-10 2003-02-26 Konica Corp 光学フィルム、その製造方法、反射防止フィルム、偏光板
US6806012B2 (en) * 2001-09-19 2004-10-19 Konica Corporation Electrostatic image developing
US20030058497A1 (en) * 2001-09-27 2003-03-27 Nortel Networks Limited All-optical switching sites for an agile optical network
JP4192456B2 (ja) 2001-10-22 2008-12-10 セイコーエプソン株式会社 薄膜形成方法ならびにこれを用いた薄膜構造体の製造装置、半導体装置の製造方法、および電気光学装置の製造方法
JP3948247B2 (ja) 2001-10-29 2007-07-25 セイコーエプソン株式会社 膜パターンの形成方法
JP4281342B2 (ja) * 2001-12-05 2009-06-17 セイコーエプソン株式会社 パターン形成方法および配線形成方法
JP2004230660A (ja) * 2002-01-30 2004-08-19 Seiko Epson Corp 液滴吐出ヘッド、吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
US6921148B2 (en) * 2002-01-30 2005-07-26 Seiko Epson Corporation Liquid drop discharge head, discharge method and discharge device; electro optical device, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; color filter, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; and device incorporating backing, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof
JP4161590B2 (ja) 2002-02-22 2008-10-08 セイコーエプソン株式会社 マイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ、光学膜、プロジェクション用スクリーン、及びプロジェクターシステム
JP3918601B2 (ja) 2002-03-26 2007-05-23 セイコーエプソン株式会社 描画システム
JP2003300082A (ja) 2002-04-08 2003-10-21 Denso Corp 排水改質装置
JP2003311196A (ja) 2002-04-19 2003-11-05 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、非接触型カード媒体、圧電体素子、並びにインクジェット式記録ヘッド
JP2004130299A (ja) 2002-08-02 2004-04-30 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2004167326A (ja) 2002-11-18 2004-06-17 Seiko Epson Corp 機能液供給装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器
JP4432322B2 (ja) 2003-01-20 2010-03-17 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置
US6900876B2 (en) * 2003-02-13 2005-05-31 Eastman Kodak Company Process and structures for selective deposition of liquid-crystal emulsion
JP2004255335A (ja) 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp 液状物の吐出方法、液状物の吐出装置、カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ、液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス装置の製造方法およびエレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法およびプラズマディスプレイ、並びに電子機器
JP4023344B2 (ja) 2003-03-10 2007-12-19 セイコーエプソン株式会社 描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2004305990A (ja) 2003-04-10 2004-11-04 Seiko Epson Corp パターン形成方法、パターン形成装置、導電膜配線、デバイスの製造方法、電気光学装置、並びに電子機器
JP2004321891A (ja) 2003-04-23 2004-11-18 Seiko Epson Corp 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP2005028279A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Seiko Epson Corp 膜形成方法、デバイス製造方法、電気光学装置、並びに電子機器
US7601386B2 (en) * 2003-07-11 2009-10-13 Seiko Epson Corporation Process for forming a film, process for manufacturing a device, electro-optical device and electronic equipment
JP3687663B2 (ja) * 2003-07-11 2005-08-24 セイコーエプソン株式会社 膜形成方法、デバイス製造方法、電気光学装置の製造方法、及び電子機器の製造方法
JP2005028275A (ja) * 2003-07-11 2005-02-03 Seiko Epson Corp 膜形成方法、デバイス製造方法、電気光学装置、並びに電子機器
JP2006326541A (ja) 2005-05-30 2006-12-07 Seiko Epson Corp 液滴吐出方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108535281A (zh) * 2018-05-23 2018-09-14 苏州凡目视觉科技有限公司 一种3d曲面玻璃喷码机构

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