CN100435979C - 液滴喷出方法、电光学装置及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于，提供可抑制不同种类的功能液彼此混合的液滴喷出方法、电光学装置及电子设备。由于在整体喷出扫描以外的扫描中，进行以避开被喷出部(18)的周缘部(18Q)的方式喷出液体材料(111)的部分喷出扫描，所以，可防止液体材料(111)的液滴弹落于被喷出部(18)的周缘部(18Q)。由此，可防止液体材料(111)从被喷出部(18)的周缘部(18Q)溅出，结果，可大幅度减少从被喷出部(18)溅出的液体材料(111)自身，因此，可抑制红色液体材料(111R)、绿色液体材料(111G)、蓝色液体材料(111B)的分别混合。

Description

液滴喷出方法、电光学装置及电子设备

技术领域

本发明涉及液滴喷出方法、电光学装置及电子设备。

背景技术

喷墨打印机的液滴喷头能以点状喷出微小的墨滴，在墨滴的大小和间距(pitch)的均匀性方面精度极高。该技术被应用在各种产品、例如电光学装置等的制造领域。例如，可以在形成液晶装置的滤色器或有机EL显示装置的发光部等的膜的情况下使用。

具体而言，使液滴喷头中包含特殊的墨水或感光性树脂液等(功能液)，对设置于基板上的被喷出部喷出该功能液的液滴(例如，参照专利文献1。)。近年来，由于用于电光学装置的滤色器或发光部上大多形成有多种颜色，所以将多种功能液通过不同的装置喷在基板上。

在使用专利文献1所述的装置的情况下，由于通过不同的装置在基板上喷出多种功能液，所以整体的喷出时间变长。鉴于此，为了缩短喷出时间，考虑用1个装置喷出所有种类的功能液。

另外，设置于基板上的被喷出部与功能液的液滴相比，通常容积较大，由于通过一次扫描不能完全装满功能液，所以，需进行多次扫描。而且，与功能液的液滴大小相比，被喷出部的底面积大，所以，为使功能液在被喷出部内不会产生不均匀，在各扫描中，使功能液在被喷出部底面整体均匀地喷出。

专利文献1：特开2004-267927号公报

但是，若通过多次扫描在被喷出部贮存功能液，则在朝向该被喷出部新喷出的功能液弹落时会产生弹回的情况。特别是在被喷出部的周缘部，弹回的功能液可能从被喷出部溅出，而与其他种类的功能液、例如保持在邻接的被喷出部上的功能液混合。进而，在喷出的功能液与划分各被喷出部的隔壁上部接触的情况下，也存在功能液的弹回和附着于上部的功能液流动而与非目标的被喷出部、即其他被喷出部的功能液混合的可能性。在光电学装置中，若不同种类的功能液发生混合，则会导致对比度下降。另外，即使在相同种类的功能液彼此混合的情况下，也存在因成为目标的被喷出部上没有收容目标量的功能液，而引起浓度不均的可能性。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的在于提供可抑制功能液的意外混合、特别是不同种类的功能液彼此混合的液滴喷出方法、电光学装置及电子设备。

为实现上述目的，本发明所涉及的液滴喷出方法，一边使基板和喷出喷头相对进行扫描，一边在所述基板上喷出功能液的液滴，其特征在于，所述喷出喷头喷出多种功能液，在所述基板上，设置有多个保持被喷出的所述功能液的被喷出部，使设置有所述被喷出部的基板和所述喷出喷头相对进行多次扫描，在所述多次扫描中，对所述每个被喷出部至少进行一次用于对各被喷出部的整个区域喷出所述功能液的整体喷出扫描，并且，在除了所述整体喷出扫描以外的扫描中，进行以避开所述被喷出部的周缘部中的至少一部分的方式喷出所述功能液的部分喷出扫描。

根据本发明，由于在整体喷出扫描以外的扫描中，进行了以避开被喷出部的周缘部中的至少一部分的方式喷出功能液的部分喷出扫描，所以，可防止功能液的液滴弹落于被喷出部的周缘部。由此，由于可防止从被喷出部的周缘部溅出功能液，结果，可大幅度减少从被喷出部溅出的功能液自身，所以，可抑制不同种类的功能液彼此的混合。另外，由于在多次扫描中，对各被喷出部至少进行1次整体喷出扫描，所以，使得功能液不会在被喷出部上产生不均，使得功能液在整个被喷出部均匀地濡湿扩散。

而且，优选在所述部分喷出扫描中，以避开所述被喷出部的整个周缘部的方式喷出所述功能液。

根据本发明，由于在部分喷出扫描中，以避开被喷出部的整个周缘部的方式喷出功能液的液滴，所以，即使该功能液弹落时产生弹回，利用该周缘部也可以在被喷出部的周围确保足够的距离，因此，弹回的功能液几乎不会超过被喷出部而溅出。因此，可抑制不同种类的功能液彼此混合。

另外，优选在全扫描的最初，进行所述整体喷出扫描。

根据本发明，通过在全扫描的最初进行整体喷出扫描，功能液可以在整个被喷出部均匀地濡湿扩散。由此，可防止功能液的不均匀，使所形成的膜的厚度均匀。

另外，优选交替进行所述整体喷出扫描和所述部分喷出扫描。

根据本发明，通过交替进行整体喷出扫描和部分喷出扫描，可以将被喷出部上的功能液液面的高度保持均匀。由此，可防止功能液的不均匀，可使所形成的膜的厚度均匀。

另外，优选随着保持于所述被喷出部的功能液的量增加，使所述功能液的喷出量减少。

根据本发明，通过随着保持于被喷出部的功能液的体积增加，使功能液的喷出量渐渐减少，可使功能液弹落的作用力变小。由此，可抑制功能液弹落时的弹回本身。

另外，优选所述扫描具有边喷出所述功能液边扫描的工序、和不喷出所述功能液而进行扫描的工序，在喷出所述功能液的工序中，与不喷出所述功能液的工序相比，扫描速度变低。

根据本发明，通过喷出功能液时扫描速度变低，即使在较窄的区域，也可喷出较多的功能液。由此，可提高喷出的精度及扫描效率。

另外，优选多次进行所述部分喷出扫描，在所述各部分喷出扫描中，对各被喷出部于相同的位置喷出液滴。

根据本发明，由于在部分喷出扫描中，对各被喷出部于相同位置喷出液滴，可容易地进行喷出喷头的位置控制。

并且，优选所述部分喷出扫描对与所述整体喷出扫描相同的范围，或者比所述整体喷出扫描靠向内侧作为范围的所述被喷出部进行喷出。

由此，抑制了功能液的弹回，不会与其他功能液彼此混合。

本发明的另一观点所涉及的电光学装置，其特征在于，包含利用上述液滴喷出方法喷出功能液的基板。

根据本发明，由于利用了可抑制不同种类的功能液彼此混合的液滴喷出方法喷出功能液的液滴，所以不同的功能液不会混合，可得到对比度高的电光学装置。

并且，本发明的另一观点所涉及的电子设备，其特征在于，搭载有上述的电光学装置。

根据本发明，由于搭载有对比度高的电光学装置，所以可得到显示性能优良的电子设备。

另外，本发明是一种液滴喷出装置，一边使基板和喷出喷头相对进行扫描，一边在所述基板上喷出多种功能液的液滴，所述基板设置有分别保持所述多种功能液的多个被喷出部，所述喷出喷头喷出多种功能液，其特征在于，具有：扫描驱动部，使所述基板和所述喷出喷头相对进行多次扫描；和喷头驱动部，在所述多次扫描中的至少1次扫描中，以避开所述各被喷出部的周缘部的方式进行所述各功能液的喷出。

根据本发明，由于以避开被喷出部的周缘部的方式喷出功能液，所以，可防止功能液的液滴弹落于被喷出部的周缘部。由此，可防止从被喷出部的周缘部溅出功能液，结果可大幅度减少从被喷出部溅出的功能液本身，因此，可抑制相邻的被喷出部所保持的不同种类的功能液彼此的混合。另外，即使保持于相邻被喷出部上的功能液为同一种类的情况下，也可使溅出的功能液不会进入其他被喷出部，而不会使各被喷出部的功能液的量产生增减。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的液晶装置的结构的立体图。

图2是表示本实施方式所涉及的滤色器基板的结构的俯视图。

图3是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的整体结构的立体图。

图4是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的台架的结构的俯视图。

图5是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头的外部结构的俯视图。

图6是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头的内部结构的图。

图7是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的控制部结构的框图。

图8是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头驱动部的结构的图。

图9是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(之一)。

图10是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(之二)。

图11是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(之三)。

图12是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(之四)。

图13是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(之五)。

图14是表示本发明所涉及的电子设备的结构的立体图。

图中：1-液晶装置；2-有源矩阵基板；3-滤色器基板；10A-基体；16-滤色器；18、18R、18G、18B-被喷出部；100-液滴喷出装置(喷出装置)；103-台架(carriage)；106-载物台(stage)；111、111R、111G、111B-液体材料；114、114R、114G、114B-喷头；114P-喷头组；114G-喷头；118-喷嘴；300-便携电话。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。在下面的图中，为了将各部件做成能认知的大小，故对比例尺进行适当的改变。

(电光学装置)

图1是表示本实施方式所涉及的液晶装置1的结构的立体图。

如该图所示，液晶装置1构成为以液晶面板40和背光灯41为主体的结构。液晶面板40的结构如下：有源矩阵基板2和滤色器基板3介由密封材料26粘着在一起，在该有源矩阵基板2和滤色器基板3及密封材料26之间夹持有液晶6。图中以虚线表示的显示区域2a是显示图像或动画等的区域。

另外，本实施方式的液晶装置1采用了使用双端子型非线性元件即薄膜二极管(TFD)元件作为开关元件的有源矩阵方式的液晶装置，当然也可以使用例如将薄膜晶体管(TFT)元件作为开关元件的液晶装置、或无源矩阵方式的液晶装置。而且，液晶面板40是通过将两枚大张的母基板粘合、切断而形成的(得到多个)。两张母基板有生成滤色器基板3的滤色器侧母基板、和生成有源矩阵基板2的有源矩阵侧母基板。

图2是表示滤色器基板3的结构的俯视图。图2(a)是表示滤色器基板3的整体结构的图，图2(b)是放大表示滤色器基板3的一部分的图。

如图2(a)所示，滤色器基板3是通过例如玻璃或塑料等透明材料而形成的矩形基板。在滤色器基板3上设置有遮光层13，与由遮光层13围成的区域(像素区域)对应，设置具有作为各像素的红色层16R、绿色层16G、蓝色层16B的滤色器16。另外，在本实施方式中，该滤色器16的红色层16R、绿色层16G以及蓝色层16B是通过喷墨方式形成的，所以在以下说明中，也将各像素区域称作“被喷出部”。

另外，在滤色器基板3上，以覆盖该滤色器16的方式形成有涂敷层(未图示)，在涂敷层上形成有取向膜(未图示)。该取向膜是由例如聚酰亚胺等构成，表面经过研磨处理的水平取向膜。

另外，如图2(b)所示，对于一个红色层16R(或绿色层16G、蓝色层16B)来说，其设置成短边的长度S例如为170μm左右，长边的长度L例如为510μm左右的矩形。另外，关于邻接的滤光器16彼此的间隔，行方向的间隔T1约为20μm，列方向的间隔T2约为40μm。

(液滴喷出装置)

接着，对本实施方式所涉及的液滴喷出装置(以下称作“喷出装置”)100进行说明。

如图3所示，喷出装置100构成为以保持液体材料111的容器101、介由管110从容器101供给液体材料111的喷出扫描部102为主体的结构。

液体材料111有三种，分别是例如上述液晶装置1的构成滤色器16的红色层16R的材料(以下称作“红色液体材料”)111R、构成绿色层16G的材料(以下称作“绿色液体材料”)111G、和构成蓝色层16B的材料(以下称作“蓝色液体材料”)111B。

容器101具有保持红色液体材料111R的红色材料容器101R、保持绿色液体材料111G的绿色材料容器101G、和保持蓝色液体材料111B的蓝色材料容器101B，其用于分别保持上述的三种液体材料111(111R、111G、111B)。在各容器101(111R、111G、111B)中，安装有例如未图示的压力泵。通过驱动该压力泵对容器101内部施加压力，来使液体材料111从容器101内向喷出扫描部102供给。

这里，作为红色液体材料111R，例如使用如下的溶液，即在将红色的无机颜料(例如红色氧化铁(III)或镉红等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作为溶剂，并且添加非离子系界面活性剂作为分散剂，将粘度调整到规定范围而得到的溶液。

另外，作为绿色液体材料111G，例如使用如下的溶液，即在将绿色的无机颜料(例如，氧化铬绿或钴绿等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加环己酮以及乙酸丁酯作为溶剂，并添加非离子系界面活性剂作为分散剂，将粘度调整到规定范围而得到的溶液。

另外，作为蓝色液体材料111B，例如使用如下的溶液，即在将蓝色的无机颜料(例如，群蓝或普鲁士蓝等)分散到聚氨基甲酸酯低聚物之后，添加二甘醇-丁醚乙酸酯作为溶剂，并添加非离子系界面活性剂作为分散剂，将粘度调整到规定范围而得到的溶液。

喷出扫描部102具有：保持多个喷头114(参照图4)的台架103、控制台架103的位置的台架位置控制装置104、保持构成滤色器侧母基板的基体10A的载物台106、控制载物台106的位置的载物台位置控制装置108、和控制部112。另外，实际上在喷出装置100上设置有多个(例如10个)台架103。在图3中，为了简化说明，图示了1个台架103来进行说明。

台架位置控制装置104具有如下功能，即根据来自控制部112的信号，使台架103沿着X轴方向或Z轴方向移动。载物台位置控制装置108具有如下功能，即根据来自控制部112的信号，使载物台106沿着Y轴方向移动。

如上所述，台架103通过台架位置控制装置104的控制在X轴方向移动。另一方面，载物台106通过载物台位置控制装置108的控制在Y轴方向上移动。即，通过台架位置控制装置104以及载物台位置控制装置108，使得喷头114相对载物台106的相对位置发生改变。

即，通过使台架103以及载物台106中的两方或任一方移动，使得台架103可以扫描载物台106(或由载物台106保持的基体10A)。下面，对在本实施方式中，通过使台架103静止、使载物台106移动来进行扫描的情况进行说明。

图4是从载物台106一侧观察1个台架103的图，与图4的纸面垂直的方向是Z轴方向。另外，图4纸面的左右方向是X轴方向，纸面的上下方向是Y轴方向。

如该图所示，台架103保持分别具有相同结构的多个喷头114。在喷头114上有三种喷头，分别是喷出液体材料111中的红色液体材料111R的喷头114R、喷出绿色液体材料111G的喷头114G、喷出蓝色液体材料111B的喷头114B。

在台架103上，于2处设置有喷头组114P。在各喷头组114P中，沿Y轴方向以直线状分别设置有2个喷头114R、2个喷头114G、2个喷头114B。因此，在1个台架103上，分别设置有4个喷头114R、4个喷头114G、4个喷头114B，喷头114的数量总计为12个。

图5是表示喷头114的底面114a的图。底面114a的形状是具有相对向的2条长边以及相对向的2条短边的矩形。该底面114a朝向载物台106一侧(图中的Z轴方向)。喷头114的长边方向和图中的X轴方向平行，另外，喷头114的短边方向与图中Y轴方向平行。

而且，在该底面114a上，沿着X轴方向配置有两列(喷嘴列116A和喷嘴列116B)喷嘴118，每列例如为90个。并且，各喷嘴118的喷嘴直径r约为30μm。喷嘴列116A侧的喷嘴118和喷嘴列116B侧的喷嘴118分别在各列中以规定的喷嘴间距LNP(LNP约为140μm)配置。

并且，喷嘴列116B的各喷嘴118的位置，相对于喷嘴列116A的各喷嘴118的位置，被配置成仅以喷嘴间距LNP的一半长度HXP(HXP约为70μm)向X轴方向的负方向(图5的下方向)错位。另外，在喷头114上设置的喷嘴列也可以不是两列。可以增加列数，例如为3列、4列、…M列(M为自然数)，或还可以是1列。

由于喷嘴列116A以及喷嘴列116B分别由90个喷嘴构成，所以，在1个喷头114上设置有180个喷嘴。其中，从喷嘴列116A的两端至第五个喷嘴不喷出液体材料111(休止喷嘴：图5中被虚线包围的部分)。

同样，从喷嘴列116B的两端至第五个喷嘴也是不喷出液体材料111的休止喷嘴(图5中被虚线包围的部分)。因此，在喷头114上的180个喷嘴118中，除了两端的20个喷嘴以外的160个喷嘴118，被设置成喷出液体材料111(喷出喷嘴)。

在本说明书中，在喷嘴列116A所包含的90个喷嘴118中，将从图中上端数第六个喷嘴118标记为喷头114的“基准喷嘴118R”。即，喷嘴列116A的80个喷出喷嘴中，位于图中最上部的喷出喷嘴是喷头114的“基准喷嘴118R”。另外，对于所有的喷头114，由于只要“基准喷嘴118R”的指定方法相同即可，所以“基准喷嘴118R”的位置不是上述位置也可以。

接着，对喷头114的内部结构进行说明。如图6(a)以及图6(b)所示，各个喷头114是喷墨式喷头。更具体而言，各个喷头114具有振动板126和喷嘴板128。在振动板126和喷嘴板128之间设置有存液部129，其始终填充有经由孔131从容器101供给的液体材料111。

另外，在振动板126和喷嘴板128之间设置有多个隔壁122。而且，通过振动板126、喷嘴板128和一对隔壁122围成的部分是腔120。腔120按每个喷嘴118来设置，因此，腔120的数量和喷嘴118的数量相同。液体材料111经由在一对隔壁122之间设置的供给口130，从存液部129供给到腔120中。

在振动板126上，振动件124位于与各个腔120相对应的位置。振动件124具有压电元件124C、夹着压电元件124C的对电极124A和124B。通过在该对电极124A和124B之间施加驱动电压，会从对应的喷嘴118喷出液体材料111。另外，调整喷嘴118的形状，使得从喷嘴118在Z轴方向上喷出液状材料。另外，也可以具有电热变换元件来取代压电元件。即，可以具有利用由电热变换元件引起的材料的热膨胀来喷出液体材料111的结构。

接着，说明控制部112的结构。图7是表示控制部112结构的框图。

控制部112是与喷出液体材料111的定时、台架103的固定位置、载物台106的移动(移动速度、移动距离等)等、喷出装置100的动作相关地进行总括控制的部位。

如图7所示，控制部112具有：输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206和喷头驱动部208，各部分之间被连接成可进行通信。

输入缓冲存储器200从与外部连接的例如信息处理装置等，取得用于进行喷出液体材料111的液滴的喷出数据。输入缓冲存储器200向处理部204供给喷出数据，处理部204将喷出数据存储在存储机构202中。作为存储机构202，可使用例如RAM等。

处理部204访问在存储机构202内存储的喷出数据，并基于该喷出数据，向扫描驱动部206以及喷头驱动部208供给必要的驱动信号。

扫描驱动部206基于驱动信号，向台架位置控制装置104以及载物台位置控制装置108供给规定的控制信号。另外，喷头驱动部208基于驱动信号，向各喷头114供给喷出液体材料111的喷出信号。

喷头驱动部208如图8(a)所示，具有1个驱动信号生成部203和多个模拟开关AS。模拟开关AS与喷头114内的振动件124连接(具体而言，与电极124A连接。但电极124A在图8(a)中没有表示)。该模拟开关AS被设置成与喷嘴118分别对应，因此，其数量与喷嘴118的个数相同。

驱动信号生成部203生成如图8(b)所示的驱动信号DS。驱动信号DS被独立地供给模拟开关AS的各个输入端子。驱动信号DS的电位相对于基准电位V随时间变化。即，驱动信号DS是多个喷出波形P以喷出周期EP而重复的信号。喷出周期EP通过例如处理部204而被调节成所期望的值。可通过适当调节该喷出周期EP，生成喷出信号，使得以规定的顺序从多个喷嘴118喷出液体材料111。这样，可控制喷出的定时。

另外，除可控制喷出的定时外，还可进行控制使得扫描驱动部206和喷头驱动部208连动。例如，在进行边扫描载物台106边喷出液体材料111的动作时，可控制使得与不喷出液体材料111期间相比，喷出液体材料111期间载物台106的移动速度更慢、即降低扫描速度。进而，可通过扫描中的载物台106和喷头114(或者喷嘴118)的相对位置关系，控制液体材料111的喷出、不喷出。

另外，控制部112也可控制从喷嘴118喷出的液体材料111的体积。可分别对各喷嘴118单独进行对该液体材料111的体积的控制。从各喷嘴118喷出的液体材料111的体积，在0pl～42pl(皮升)之间可变。

另外，控制部112也可以是包含有CPU、ROM、RAM的计算机。在这种情况下，控制部112的上述功能由计算机执行的软件程序实现。当然，控制部112也可由专用的电路(硬件)来实现。

(液晶装置的制造方法(液滴喷出方法))

接着，对如此构成的液晶装置1的制造工序进行说明。

在本实施方式中，以使用大面积的母基板一并形成多个液晶装置，并通过切断分离成一个一个的液晶装置1的方法为例进行说明。

首先，对滤色器侧母基板的形成工序进行简单的说明。

在喷出装置100的载物台106上保持基体10A。在该基体10A上形成有保持滤色器16各层的被喷出部18(18R、18G、18B：参照图9等)。在被喷出部18R上保持红色层16R，在被喷出部18G上保持绿色层16G，在被喷出部18B上保持蓝色层16B。另外，在将基体10A保持在载物台106上时，进行位置调节，使得基体10A的短边方向与X轴方向一致，长边方向与Y轴方向一致。

在该状态下，如图9所示，使载物台106从图中的左侧向右侧移动。台架103例如从图中右侧向左侧扫描基体10A。此时，台架103在基体10A上进行扫描的同时，从各喷头114向各被喷出部18的底面18L整体喷出液体材料111的液滴(整体喷出扫描)。例如，通过第1次扫描，如图9所示，向图中最上行的各被喷出部18喷出了红色液体材料111R、绿色液体材料111G、蓝色液体材料111B的液滴。此时，可适当设定对在多行范围内设置的被喷出部18中的哪一行喷出液体材料111的液滴。

接着，如图10所示，使载物台106从图中右侧向左侧移动。台架103沿与第1次扫描相反的方向、即从图中左侧向右侧在基体10A上进行扫描。此时，台架103扫描基体10A的同时，从各喷头114喷出液体材料111的液滴。

在该扫描中，对还没有被喷出液体材料111的液滴的被喷出部18喷出液体材料111。例如如图10所示，对在第1次扫描时，没有被喷出液体材料111的从图中上方数第2行的各被喷出部18喷出红色液体材料111R、绿色液体材料111G、蓝色液体材料111B的液滴。一边在多行范围内设置的被喷出部18中选择未喷出有液体材料111的被喷出部18的行，一边喷出液体材料111的液滴，直到对各被喷出部18共计分别喷出1次液体材料为止，来反复进行整体喷出扫描。

在对各喷出部18喷出液体材料111时，必须避免液体材料111与划分各被喷出部18的隔壁上面接触。因此，虽说是整体喷出扫描，但某种程度上必需以下述方式喷出，即俯视观察时，液滴的弹落中心点比划分被喷出部的隔壁靠近被喷出部18的内侧范围，优选比隔壁靠近内侧至少为被喷出液体材料111的液滴径的半径以上。进而，考虑弹落误差等，液滴最好在不碰到划分被喷出部的隔壁的喷出范围。

图11是表示对各被喷出部18共计分别整体喷出扫描1次液体材料111时的基体10A的状态的图。图11(a)是表示设置于基体10A上的被喷出部18的图，图11(b)是该被喷出部18的A-A剖视图。

在对各被喷出部18共计分别整体喷出扫描1次液体材料111的状态下，如图11(a)所示，虽然对各被喷出部18的整体喷出了液体材料111，但如图11(b)所示，其处于从被喷出部18的底面18L到液体材料111的液面111S的高度t_A，仍低于应该保持于被喷出部18内的液体材料111的高度T_A的状态。即，处于对形成滤光器16的红色层16R、绿色层16G、蓝色层16B来说，液体材料111的体积不足的状态。

因此，在以后的扫描中，对各喷出部18进行扫描，追加喷出液体材料111，使得液面111S的高度t_A与目标的高度T_A大致一致。另外，高度T_A可根据划分被喷出部的隔壁高度T_B适当设定，只要液体材料111因表面张力等不从被喷出部18溢出，则即使高度T_A超过划分被喷出部的隔壁的高度T_B也可。

接着，基于图12及图13对液体材料111的追加喷出进行说明。其中，图12是表示该扫描状态的图，与图9或图10对应。图13表示图12所示的基体10A中的一个被喷出部18和其周围的状态。

若使载物台106例如从图中左侧向右侧移动，则台架103例如从图中右侧向左右在基体10A上进行扫描。此时，台架103一边在基体10A上扫描，一边以避免各被喷出部18的周缘部18Q(参照图13)的方式，从各喷头114喷出液体材料111的液滴(部分喷出扫描)。关于部分喷出扫描，至少不喷出例如如图10所示的各被喷出部18中的最外周的液滴群111W(液体材料111的液滴中用斜线表示的部分)。

关于部分喷出扫描，优选俯视观察被喷出部时，在比整体喷出扫描的喷出范围靠近内侧的范围进行喷出。若液滴不发生弹回，不与其他液体材料混合，则部分喷出扫描的喷出范围也可以是与整体喷出扫描的喷出范围相同的范围。即使在存在弹回等的情况下，只要俯视观察被喷出部时，整体喷出扫描的喷出范围是足够的内侧范围，则整体喷出扫描的喷出范围也可以是与部分喷出扫描相同的范围。由于可以使部分喷出扫描的喷出范围接近于整体喷出扫描的喷出范围，在较宽的范围进行喷出，使得在1次扫描中可喷出的液滴数目变多，所以，可提高描绘效率。另外，在多次进行的各扫描中，也可使液滴弹落于相同位置。通过在各扫描使液滴弹落于相同位置，也可实现使之前弹落的液体材料扩展的效果，从而，可使液体材料遍布被喷出部的每个角落。

由此，例如如图12及图13所示，以避开各被喷出部18的周缘部18Q的方式使液体材料111的液滴喷出到中央部18S。另外，当然液可以使不喷出液滴的部分扩大，所述不喷出液滴的部分不只指最外周的液滴群111W，还包括从最外周到第2外周的液滴群、从最外周到第3外周的液滴群......。

另外，在本实施方式中，由于与图中上下方向的间隔相比，图中左右方向的间隔设计得小，使得弹跳的液体材料111的液滴容易混合，所以，以避开周缘部18Q中特别是图中左右方向的周缘部的方式喷出液体材料111的液滴。因此，对图中最上行的各被喷出部18的中央部18S喷出红色液体材料111R、绿色液体材料111G、蓝色液体材料111B的液滴。

而且，在该部分喷出扫描中，与整体喷出扫描的情况一样，可适当设定从多行范围内设置的被喷出部18中的哪一行喷出液体材料111。另外，对于台架103在基体10A上扫描时的扫描速度来说，与未喷出液体材料时的扫描速度相比，从喷头114喷出液体材料111时的扫描速度更慢。

当处于从被喷出部18的底面18L到液面111S的高度t_A与目标高度T_A大致一致、即为了形成过滤器16的红色层16R、绿色层16G、蓝色层16B，以足够体积的液体材料111来填满的状态为止，一直进行该部分喷出扫描。

对此之后的工序进行简单的说明。在形成有滤色器16的基体10A上，形成未图示的电极和布线等，形成平坦化膜。另外，在基体10A的表面形成间隙控制用的未图示的隔板以及隔壁。以覆盖在该基体10A上形成的布线和滤色器的方式形成取向膜，并对该取向膜实施研磨处理。取向膜可以通过涂覆或印刷例如聚酰亚胺而形成。另外，将由环氧树脂等构成的密封材料形成为矩形环状，在由密封材料围成的区域涂覆液晶。

接着，对于有源矩阵侧母基板的形成来说，是在由玻璃或塑料等透光性材料构成的大张基材上形成布线、电极等，在形成有该布线、电极等的区域形成平坦化膜。形成平坦化膜之后，形成由聚酰亚胺等构成的取向膜，并对该取向膜实施研磨处理。

接着，将滤色器侧母基板和有源矩阵侧母基板以面板状粘合在一起。使两基板靠近，将有源矩阵侧母基板粘接在滤色器侧母基板上的密封材料上。之后，在粘接后的两母基板上形成划线，沿着该划线切断面板，对切断后的各面板进行清洗，并在各面板上安装驱动器等。在各液晶面板的外侧表面上粘合偏光板、安装背光灯41，从而完成液晶装置1。

这样，根据本实施方式，由于在整体喷出扫描以外的扫描中，进行了以避开被喷出部18的周缘部18Q的方式喷出液体材料111的部分喷出扫描，所以，可防止液体材料111的液滴弹落于被喷出部18的周缘部18Q。由此，可防止液体材料111从被喷出部18的周缘部18Q溅出，结果，可大幅度减少从被喷出部18溅出的液体材料111自身，所以，可抑制红色液体材料111R、绿色液体材料111G以及蓝色液体材料111B分别混合。另外，由于在多次扫描中，对各被喷出部18至少进行1次整体喷出扫描，所以，使得液体材料111不会在被喷出部18上不均匀，从而，整个被喷出部18被均匀地濡湿扩散。

而且，通过在全扫描的最初进行整体喷出扫描，使得之后喷出到各被喷出部18的液体材料111容易在整个被喷出部18上均匀地濡湿扩散。由此，可使所形成的膜的厚度均匀。

并且，由于随着保持于被喷出部18上的液体材料111的体积增加，慢慢地使液体材料111的喷出量减少，所以，可抑制被喷出的液体材料111弹落时的弹回本身。

除此之外，在扫描中，与不喷出液体材料111时相比，喷出液体材料111时扫描速度降低，由此，即使在较窄的区域，也可喷出多的液体材料111。从而，可提高喷出的精度及扫描效率。

另外，在多次的部分喷出扫描中，对各被喷出部18来说，优选在相同位置喷出液体材料111。在部分喷出扫描中，通过对各被喷出部18于相同位置喷出液体材料111，可容易地进行喷头的位置控制。

(电子设备)

接着，对于本发明所涉及的电子设备，以便携电话为例进行说明。

图14是表示便携电话300的整体结构的立体图。

便携电话300具有：框体301；设置有多个操作按钮的操作部302；显示图像、动画和文字等的显示部303。在显示部303上搭载了本发明所涉及的液晶装置1。

这样，由于搭载了对比度高的、品质良好的液晶装置1，所以，能得到显示性能出色的电子设备(便携电话300)。

本发明的技术范围并不限于上述实施方式，在没有脱离本发明主旨的范围内可以进行适宜的变更。

例如，本发明以在液晶装置1的滤色器基板3上形成滤色器层16的情况为例进行了说明，但并不限定于该例，例如也可以将本发明应用于在有机EL装置用基板上形成有机层(发光层等)的情况。

另外，也可以交替进行对整个被喷出部18喷出液体材料111的整体喷出扫描、和对被喷出部18的中央部18S喷出液体材料111的部分喷出扫描。通过交替进行这些扫描，可以在使保持于被喷出部18上的液体材料111的厚度均匀的同时，进行喷出。由此，可使所形成的滤色器16的红色层16R、绿色层16G、蓝色层16B的厚度均匀。

另外，在上述实施方式中，控制部112可以控制从喷嘴118喷出的液体材料111的体积，而作为其一例，也可以根据保持于被喷出部18上的液体材料111的体积，控制液体材料111的喷出量(体积)。

具体而言，也可构成为：能够进行控制，使得随着保持于被喷出部18上的液体材料111的体积变大，而慢慢减小喷出量。由此，由于可使液体材料111弹落的作用力变小，所以，可抑制液体材料111弹落时的弹回本身。

Claims (11)

1.一种液滴喷出方法，一边使基板和喷出喷头相对进行扫描，一边在所述基板上喷出功能液的液滴，

所述喷出喷头喷出多种功能液，在所述基板上，设置有多个保持被喷出的所述功能液的被喷出部，

使设置有所述被喷出部的基板和所述喷出喷头相对进行多次扫描，

在所述多次扫描中，对所述每个被喷出部至少进行一次对各被喷出部的整个区域喷出所述功能液的整体喷出扫描，并且，在所述整体喷出扫描以外的扫描中，进行以避开所述被喷出部的周缘部中的至少一部分的方式喷出所述功能液的部分喷出扫描。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，在所述部分喷出扫描中，以避开所述被喷出部的整个周缘部的方式喷出所述功能液。

3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出方法，其特征在于，在全扫描的最初，进行所述整体喷出扫描。

4.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，交替进行所述整体喷出扫描和所述部分喷出扫描。

5.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，随着保持于所述被喷出部的功能液的量增加，使所述功能液的喷出量减少。

6.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，所述扫描具有边喷出所述功能液边扫描的工序、和不喷出所述功能液而进行扫描的工序，

在喷出所述功能液的工序中，与不喷出所述功能液的工序相比，扫描速度变低。

7.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，

多次进行所述部分喷出扫描，

在所述各部分喷出扫描中，对各被喷出部于相同的位置喷出液滴。

8.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征在于，所述部分喷出扫描对与所述整体喷出扫描相同的范围，或者比所述整体喷出扫描靠向内侧作为范围的所述被喷出部进行喷出。

9.一种电光学装置，包含利用权利要求1～8中任意一项所述的液滴喷出方法喷出有功能液的基板。

10.一种电子设备，搭载有权利要求9所述的电光学装置。

11.一种液滴喷出装置，一边使基板和喷出喷头相对进行扫描，一边在所述基板上喷出多种功能液的液滴，所述基板设置有分别保持所述多种功能液的多个被喷出部，所述喷出喷头喷出所述多种功能液，所述液滴喷出装置具有：

扫描驱动部，使所述基板和所述喷出喷头相对进行多次扫描；和

喷头驱动部，在所述多次扫描中的至少1次扫描中，以避开所述各被喷出部的周缘部的方式进行所述各功能液的喷出。

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