KR20070081771A - 액적 토출 장치, 기능막 형성 방법, 액정 배향막 형성장치, 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법 및 액정표시 장치 - Google Patents

액적 토출 장치, 기능막 형성 방법, 액정 배향막 형성장치, 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법 및 액정표시 장치 Download PDF

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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

복수의 노즐이 형성된 노즐 형성면을 갖는 액적 토출 헤드를 구비하고, 상기 복수의 노즐로부터 기능막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 기능막을 형성하기 위한 액적 토출 장치가 개시된다. 상기 복수의 노즐은 직선 형상으로 연장되는 복수의 노즐 열을 형성한다. 상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐은 인접하는 노즐 사이의 간격이 상기 기판 위에 착탄(着彈)된 상기 액적에 의해 형성되는 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작아지도록 거의 등간격으로 배열된다. 상기 복수의 노즐 열은 그들 노즐 열을 형성하는 복수의 노즐이 지그재그 배치로 되도록 배치된다.
액적 토출 헤드, 액적 토출 장치, 기능막 형성용 조성물, 노즐, 액적

Description

액적 토출 장치, 기능막 형성 방법, 액정 배향막 형성 장치, 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법 및 액정 표시 장치{DROPLET EJECTION APPARATUS, METHOD FOR FORMING FUNCTIONAL FILM, APPARATUS FOR FORMING LIQUID CRYSTAL ALIGNMENT FILM, METHOD FOR FORMING LIQUID CRYSTAL ALIGNMENT FILM OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
도 1은 본 발명의 액적 토출 장치의 일례를 나타내는 개략도.
도 2의 (a)는 액적 토출 장치의 노즐 배치를 설명하는 도면.
도 2의 (b)는 액적 토출 장치의 도포 도트를 설명하는 도면.
도 3은 액적 토출 장치의 일례에 의한 도포 도트의 형성을 설명하는 도면.
도 4는 액정 배향막 형성 방법을 나타내는 플로차트.
도 5는 액정 표시 장치의 사시도.
도 6은 도 5에 나타낸 액정 표시 장치의 6-6선을 따른 단면도.
도 7은 액적 토출 장치의 사시도.
도 8은 토출 헤드의 하면도.
도 9는 토출 헤드의 일부 절결(切缺) 측면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
2 : 기판 3a, 70 : 액적 토출 장치
10 : 제 1 노즐 열 11 : 제 2 노즐 열
12a~12d, 13a~13d : 도포 도트 22, 80 : 액적 토출 헤드
26 : 노즐 형성면 34 : 토출물
57 : 액정 67 : 액정 배향막
N : 노즐
본 발명은 액정 배향막 등의 기능막을 기판 위에 효율적으로 균일하게 형성할 수 있는 액적 토출 장치, 기능막 형성 방법, 액정 배향막 형성 장치, 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법 및 액정 표시 장치에 관한 것이다.
액정 표시 장치의 액정 배향막 등의 기능막을 형성하는 방법으로서, 액적 토출 장치를 사용하는 방법이 알려져 있다. 이 방법은 원하는 위치에 원하는 두께의 기능막을 정확하게 형성할 수 있다는 등의 이유에서, 최근에 특히 액정 배향막 형성 방법 등으로서 주목받고 있다.
액정 배향막은 액정 배향막 형성용 조성물의 액적을 토출 장치에 의해 기판 위에 토출함으로써 복수의 도포 도트를 형성하고, 그 복수의 도포 도트를 건조시킴으로써 형성된다. 일반적으로 액정 배향막 형성용 조성물의 휘발성은 높다. 따라서, 각 도포 도트 사이의 건조 시간차에 의해, 액정 배향막에 라인 불균일이나 건조 불균일 등의 도포 불균일이 발생하여 균일한 액정 배향막을 형성할 수 없는 경 우가 있었다.
이 문제를 해결하기 위해, 일본국 공개특허2005-221890호 공보에 개시된 배향막 형성 장치는 60㎛∼120㎛의 간격으로 배열된 복수의 노즐을 갖고, 인접하여 기판 위에 형성되는 복수의 도포 도트의 일부가 서로 겹치도록 기판 위에 액적을 토출한다.
그러나, 일본국 공개특허2005-221890호 공보의 배향막 형성 장치에 의해 형성된 액정 배향막은 인접하는 도포 도트끼리의 겹침 부분이 비교적 많다. 그 때문에, 배향막 형성용 조성물의 소비량이 많아져 상대적으로 비용이 상승하는 동시에, 매우 얇은 막을 형성하는 것이 곤란하다. 또한, 인접하는 도포 도트끼리 서로 겹치도록 하기 위해 노즐 사이의 간격을 좁게 설정하고 있기 때문에, 인접하는 노즐끼리 서로 영향을 미치는 것(크로스토크)에 의해 토출량에 불균일이 발생하여 균일한 막이 형성되지 않을 우려가 있다. 또한, 노즐로부터 토출된 액적이 비산(飛散)되어 인접하는 노즐을 막히게 할 우려도 있다.
본 발명의 목적은 효율성 있게 저비용으로 균일한 기능막을 형성할 수 있는 액적 토출 장치, 기능막 형성 방법, 액정 배향막 형성 장치, 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법 및 액정 표시 장치를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 1 형태에서는, 복수의 노즐이 형성된 노즐 형성면을 갖는 액적 토출 헤드를 구비하고, 상기 복수의 노즐로부터 기 능막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 기능막을 형성하기 위한 액적 토출 장치가 제공된다. 상기 복수의 노즐은 직선 형상으로 연장되는 복수의 노즐 열을 형성한다. 상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐은 인접하는 노즐 사이의 간격이 상기 기판 위에 착탄(着彈)된 상기 액적에 의해 형성되는 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작아지도록 거의 등간격으로 배열된다. 상기 복수의 노즐 열은 그들 노즐 열을 형성하는 복수의 노즐이 지그재그 배치로 되도록 배치된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 2 형태에서는, 상기 제 1 형태에 기재된 액적 토출 장치를 사용하여 기능막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 기능막을 형성하는 기능막 형성 방법이 제공된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 3 형태에서는, 복수의 노즐이 형성된 노즐 형성면을 갖는 액적 토출 헤드를 구비하고, 상기 복수의 노즐로부터 액정 배향막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 액정 배향막을 형성하기 위한 액정 배향막 형성 장치가 제공된다. 상기 복수의 노즐은 직선 형상으로 연장되는 복수의 노즐 열을 형성한다. 상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐은 인접하는 노즐 사이의 간격이 상기 기판 위에 착탄된 상기 액적에 의해 형성되는 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작아지도록 거의 등간격으로 배열된다. 상기 복수의 노즐 열은 그들 노즐 열을 형성하는 복수의 노즐이 지그재그 배치로 되도록 배치된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 4 형태에서는, 액정 배향막을 갖 는 기판을 구비한 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법에서, 상기 제 3 형태에 기재된 액정 배향막 형성 장치를 사용하여 액정 배향막 형성용 조성물의 액적을 상기 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 액정 배향막을 형성하는 액정 배향막 형성 방법이 제공된다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 5 형태에서는, 대향 기판과, 소자 기판과, 밀봉재를 구비하는 액정 표시 장치가 제공된다. 상기 대향 기판은 액정 배향막을 갖는다. 상기 소자 기판은 액정 배향막을 갖는다. 상기 밀봉재는 상기 대향 기판과 상기 소자 기판을 접합, 상기 밀봉재에 둘러싸인 부분에 액정이 봉입된다. 상기 액정 배향막은 상기 제 3 형태에 기재된 액정 배향막 형성 장치를 사용하여, 상기 대향 기판 또는 상기 소자 기판에 형성된다.
본 발명에 사용되는 액적 토출 장치의 일례를 도 1에 나타낸다. 도 1은 잉크젯식 액적 토출 장치(3a) 구성의 개략을 나타내는 도면이다.
도 1의 액적 토출 장치(3a)는 기판을 탑재 배치하는 테이블(28)을 구비하고 있다. 이 테이블(28)은 소정의 방향, 예를 들어 X방향, Y방향 및 Z방향으로 이동가능하다. 테이블(28)이 X방향을 따라 이동함으로써, 벨트 컨베이어 등에 의해 테이블(28) 위에 반송된 기판이 액적 토출 장치(3a) 내에 수용된다.
액적 토출 장치(3a)는 기판 위에 토출물(34)을 토출시키는 액적 토출 헤드(22)를 구비하고 있다. 이 액적 토출 헤드(22)는 헤드 본체(24) 및 토출물(34)을 토출하는 복수의 노즐이 형성되어 있는 노즐 형성면(26)을 구비하고 있다. 이 노즐 형성면(26)의 노즐로부터 토출물(34), 즉 기판 위에 기능막을 형성하기 위한 기 능막 형성용 조성물이 토출된다.
액적 토출 헤드(22)에는 토출물 반송관(32)을 통하여 탱크(30)가 접속되어 있다. 그 탱크(30)는 토출물(34)(기능막 형성용 조성물)을 수용하고, 토출물 반송관(32)은 토출물(34)을 반송한다.
토출물 반송관(32)은 토출물 반송관(32)의 유로(流路) 내의 대전(帶電)을 방지하기 위해, 토출물 유로부 접지 이음매(32a)와 헤드부 기포(氣泡) 배제 밸브(32b)를 구비하고 있다. 이 헤드부 기포 배제 밸브(32b)는, 후술하는 바와 같이, 액적 토출 헤드(22) 내의 토출물(34)을 흡인할 경우에 사용된다.
탱크(30)는 탱크(30) 내에 수용되어 있는 토출물(34)의 양, 환언하면 탱크(30) 내에 수용되어 있는 기능막 재료의 액면(液面)(34a) 높이를 제어하기 위한 액면 제어 센서(36)를 구비하고 있다. 액면 제어 센서(36)는 액적 토출 헤드(22)가 구비하는 노즐 형성면(26)의 선단부(27)와 탱크(30) 내의 액면(34a) 높이 차 h(이하, 수두값(水頭値)이라고 함)를 소정의 범위 내에 유지하는 제어를 행한다. 액면(34a) 높이를 제어함으로써, 탱크(30) 내의 토출물(34)을 소정 범위 내의 압력으로 액적 토출 헤드(22)에 보낼 수 있다. 이것에 의해, 액적 토출 헤드(22)로부터 안정적으로 토출물(34)을 토출할 수 있다.
흡인 캡(40)은 액적 토출 헤드(22)의 노즐 형성면(26)에 대향하는 동시에, 그 노즐 형성면(26)으로부터 일정 거리 떨어진 위치에 설치된다. 흡인 캡(40)은 도 1에서 Z방향을 따라 이동 가능하며, 노즐 형성면(26)에 형성된 복수의 노즐을 둘러싸도록 노즐 형성면(26)에 밀착하고, 노즐 형성면(26)과의 사이에 밀폐 공간을 형성하여 노즐을 외기(外氣)로부터 차단한다.
흡인 캡(40)의 하방에는 유로가 설치되어 있고, 이 유로에는 흡인 밸브(42), 흡인 이상(異常)을 검출하는 흡인압 검출 센서(44) 및 튜브 펌프 등으로 이루어지는 흡인 펌프(46)가 배치되어 있다. 흡인 캡(40)을 통하여 액적 토출 헤드(22) 내의 토출물(34)을 흡인 펌프(46)에 의해 흡인할 때에는, 상기 헤드부 기포 배제 밸브(32b)를 폐쇄 상태로 하여 탱크(30) 측으로부터 토출물(34)이 유입되지 않는 상태로 한다. 그리고, 흡인 펌프(46)를 작동시키면, 흡인되는 토출물(34)의 유속(流速)이 올라가 액적 토출 헤드(22) 내의 기포가 신속하게 배출된다. 흡인 펌프(46) 등에 의해 흡인되고, 유로를 반송되어 온 토출물(34)은 폐액(廢液) 탱크(48) 내에 수용된다.
흡인 캡(40)에 의한 노즐 내의 토출물(34)의 흡인은 액적 토출 헤드(22)가 토출물(34)을 토출하지 않은 상태, 예를 들어 액적 토출 헤드(22)가 퇴피(退避) 위치 등에 퇴피하여 있고, 테이블(28)이 파선으로 나타내는 위치에 퇴피하고 있을 때에 행해진다.
상기 액적 토출 헤드(22)의 노즐 형성면(26)에 형성된 노즐은 직선 형상으로 연장되는 복수의 노즐 열을 형성하고 있다. 각 노즐 열에서, 인접하는 노즐 사이의 간격은 기판 위에 토출된 액적의 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작아지도록 설정되어 있다.
여기서, 「도포 도트」란 1개의 노즐로부터 기판 위에 토출된 기능막 형성용 조성물의 1개의 액적이 기판 위에 착탄된 후, 확산되면서 건조되어 최종적으로 기 판 위에 형성되는 도포막을 말한다. 토출된 액적은 기판 위에 균일하게 확산되기 때문에, 통상 도포 도트는 원 형상으로 된다. 도포 도트 직경이란 그 직경(타원 형상의 경우에는 긴 직경)을 나타낸다. 「노즐 사이의 간격」이란 1개의 노즐 중심으로부터 인접하는 노즐 중심까지의 거리를 말한다.
복수의 노즐 열은 복수의 노즐이 지그재그 배치로 되도록 배치되어 있다. 노즐 열의 수는 통상 2개∼5개이며, 조작 간편성의 관점에서, 바람직하게는 2개이다.
본 발명의 노즐 배열의 일례를 도 2의 (a)(부분도)에 나타낸다. 도 2의 (a)에 나타낸 노즐 배열은 2개의 노즐 열로 이루어지는 것이다. 노즐 간격은 이하의 식 (1)이 성립되는 범위, 바람직하게는 이하의 식 (2)가 성립되는 범위에서 결정된다. 식 중에서, L은 도포 도트 직경을, M은 노즐 간격을 각각 나타낸다.
L<M<2L …… (1)
1.2L<M<1.7L …… (2)
노즐 간격(M)이 지나치게 넓으면, 도포되지 않는 부분이 생길 우려가 있다, 한편, 노즐 간격(M)이 지나치게 좁으면, 인접하는 노즐끼리 서로 영향을 미쳐 토출량이 불균일해져서, 균일한 막이 형성되지 않을 우려, 또는 노즐로부터 비산되는 액적에 의해 인접하는 노즐이 막힐 우려가 있다.
구체적으로는, 도포 도트 직경(L)은 사용하는 기능막 형성용 조성물의 종류 등에 의해 상이하지만, 통상 50㎛∼200㎛, 바람직하게는 100㎛∼120㎛이다. 노즐 간격(M)은 통상 100㎛∼240㎛, 바람직하게는 120㎛∼160㎛이다.
상기 도 2의 (a)에 있어서, 노즐(10a, 10b, 10c, 10d)은 제 1 열째의 노즐 열(이하, 이 노즐 열을 「제 1 노즐 열(10)」이라고 함)을 구성한다. 노즐(11a, 11b, 11c, 11d)은 제 2 열째의 노즐 열(이하, 이 노즐 열을 「제 2 노즐 열(11)」이라고 함)을 구성한다. 제 1 노즐 열(10)과 제 2 노즐 열(11)은 노즐(10a, 10b, 10c, 10d)과, 노즐(11a, 11b, 11c, 11d)이 지그재그 배치로 되도록 배치되어 있다.
각 노즐 열(10, 11)을 구성하는 노즐 수는 특별히 제약은 없어, 기판 크기, 형성하는 기능막의 용도 등에 따라 적절히 결정할 수 있지만, 통상 5개∼500개, 바람직하게는 50개∼300개, 더 바람직하게는 100개∼200개이다.
제 1 노즐 열(10)과 제 2 노즐 열(11)의 간격은 특별히 제약은 없지만, 제 1 노즐 열(10)의 노즐과 제 2 노즐 열(11)의 노즐이 서로 영향을 미치지 않는 거리인 것이 바람직하다. 또한, 제 1 노즐 열(10)과 제 2 노즐 열(11)의 간격이 지나치게 넓으면, 후술하는 도포 도트 사이에 건조 불균일이 생기기 때문에 바람직하지 않다. 제 1 노즐 열(10)의 노즐과 제 2 노즐 열(11)의 노즐 간격 D(예를 들어 노즐(10a)과 노즐(11a)의 거리, 노즐(10b)과 노즐(11a)의 거리)는 이하의 식 (3), 바람직하게는 식 (4)가 성립되는 범위에서 결정된다.
L<D<2L …… (3)
1.2L<D<1.7L …… (4)
액적은 통상 액적 토출 헤드(22)에 형성된 모든 노즐로부터 동시에 토출된다. 각 노즐로부터 토출된 액적이 기판에 착탄되면, 그 액적은 기판 위를 확산하면서 건조된다. 이것에 의해, 기판 위에 도포 도트가 형성된다.
본 발명의 액적 토출 장치에서는, 노즐 간격(M)은 도포 도트 직경(L)보다 크게 설정되어 있기 때문에, 서로 인접하는 도포 도트 사이에는 간극(間隙)이 생긴다. 이 때, 노즐 간격(M)은 도포 도트 직경(L)의 2배보다 작기 때문에, 도포 도트 사이의 간극은 도포 도트 직경(L)보다 작아진다. 후술하는 바와 같이, 나중에 그 간극에 도포 도트를 더 형성시킴으로써, 도포 도트 사이의 간극을 과부족 없이 메울 수 있다.
액적이 토출되어 형성되는 도포 도트를 도 2의 (b) 및 도 3에 나타낸다. 도 2의 (b) 및 도 3에서, 2는 기판을 나타낸다.
도 2의 (b)는 1회의 토출로 형성되는 도포 도트의 상태를 기판(2)의 상방에서 본 모식도이다. 도포 도트(12a∼12d)는 각각 상기 제 1 노즐 열(10)의 노즐(10a∼10d)로부터 액적이 토출되어 형성되는 도포 도트이다. 또한, 도포 도트(13a∼13d)는 각각 상기 제 2 노즐 열(11)의 노즐(11a∼11d)로부터 액적이 토출되어 형성되는 도포 도트이다.
도 3은 상기 토출을 반복함으로써 형성되는 도포 도트의 상태를 기판(2)의 상방에서 본 모식도이다. 1회째 토출 후, 기판(2) 및 액적 토출 헤드(22)의 한쪽을 다른쪽 토출 위치에 맞추어 이동 방향(주사 방향)에서 직선적으로 이동(주사) 시키고, 제 1 노즐 열(10) 및 제 2 노즐 열(11)로부터 소정의 타이밍에서 소정의 위치에 액적을 토출시킨다(2회째 토출).
도 3에 나타낸 바와 같이, 이 2회째 토출에 의해, 1회째 토출에 의해 형성된 도포 도트에 부분적으로 겹치도록 2회째의 도포 도트가 형성된다. 이어서, 기판 (2) 또는 액적 토출 헤드(22)를 다시 토출 위치에 맞추어 직선적으로 이동시키고, 제 1 노즐 열(10) 및 제 2 노즐 열(11)로부터 소정의 타이밍에서 소정의 위치에 액적을 마찬가지로 토출시킨다(3회째 토출). 도 3에 나타낸 바와 같이, 이 3회째 토출에 의해, 2회째 토출에 의해 형성된 도포 도트에 부분적으로 겹치도록 3회째의 도포 도트가 형성된다.
4회째 이후도 동일한 토출을 행함으로써, 도 3에 나타낸 바와 같이, 도포 도트의 겹침이 형성된다. 이와 같이 하여, 액적을 이루는 기능막 형성용 조성물을 과부족 없이 효율적으로 도포할 수 있어, 기판(2) 위에 기능막을 형성할 수 있다.
도포 도트 사이의 겹침 폭은 원하는 기능막의 종류, 막 두께 등에 의해 결정된다. 비용을 저감하기 위해서는, 겹침 폭을 기능막 형성용 조성물이 도포되지 않는 부분이 생기지 않는 범위에서 작게 하는 것이 바람직하다. 도포 도트의 겹침 폭은 노즐 간격(M), 기판(2) 또는 액적 토출 헤드(22)의 이동 속도, 1회의 토출에 의한 액적 토출량 및 액적의 토출 타이밍 등에 의해 조정할 수 있다.
본 발명의 액적 토출 장치에 의하면, 기능막 형성용 조성물이 겹쳐서 도포되는 부분을 적게 할 수 있기 때문에, 매우 얇은 막을 효율적으로 형성할 수 있다. 특히, 10㎚∼100㎚의 매우 얇은 기능막을 형성하는데 적합하다.
겹침 부분을 적게 함으로써 기능막 형성용 조성물의 사용량을 절약할 수 있어, 비용 저감을 도모할 수 있다.
인접하는 도포 도트에 대해서는, 종방향(도 3에서의 이동 방향) 및 횡방향(도 3에서의 이동 방향과 직교하는 방향)에서도 인접하는 도포 도트가 형성되는 시 간차가 짧기 때문에, 인접하는 도포 도트의 경계에 건조 시간차에 의한 건조 불균일이 생기지는 않는다. 따라서, 기판 전면(全面)에 건조 불균일이나 라인 불균일이 없는 균일한 기능막을 형성할 수 있다.
본 발명의 액적 토출 장치에서는, 노즐 열이 연장되는 방향과 수직인 방향에 기판 또는 액적 토출 헤드를 이동시켜 액적 토출을 행하는 것이 바람직하다.
본 발명의 액적 토출 장치에서는, 액적 토출 헤드(22)에 형성된 노즐 열의 길이를 기판(2) 위의 기능막을 형성해야 할 범위(기능막 형성 영역)의 폭과 동등하게 하여, 기판 위의 기능막 형성 영역 전폭(全幅)에 노즐 열로부터 기능막 형성용 조성물을 한번에 도포하는 것이 바람직하다. 노즐 열의 길이와 기능막 형성 영역의 폭을 동등하게 하면, 기판(2) 또는 액적 토출 헤드(22)를 1회만 1방향으로 이동시키면서 반복 토출을 행하는 것만으로 기판 전체의 도포를 완료시킬 수 있어, 효율적이다. 또한, 건조 시간차에 의한 건조 불균일이나 라인 불균일이 발생할 우려가 없어, 기판 전면에 균일한 기능막을 형성할 수 있다.
본 발명의 액적 토출 장치에서 사용되는 기능막 형성용 조성물은 그 표면장력이 30mN/m∼45mN/m(20℃에서)의 용액인 것이 바람직하다. 표면장력이 이러한 범위에 있는 기능막 형성용 조성물은 기판 표면에의 습윤성에 우수하다. 따라서, 본 발명의 액적 토출 장치에 의해, 균일한 두께의 도포막을 효율적으로 형성할 수 있다.
본 발명의 액적 토출 장치에 사용되는 기능막 형성용 조성물은 그 점도가 20℃에서 3mPa·s∼20mPa·s의 용액인 것이 바람직하다. 이러한 범위에 점도를 조정 한 기능막 형성용 조성물은 유동성에 우수하다. 따라서, 본 발명의 액적 토출 장치에 의한 토출성이 안정된다.
본 발명의 액적 토출 장치에 사용되는 기능막 형성용 조성물로서는, 기판 위에 도포막을 형성하여, 얻어지는 도포막이 어떠한 기능을 발휘하는 것이면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어 액정 배향막 형성용 조성물, 오버코팅막 형성용 조성물, 컬러 필터막 형성용 조성물, 포토레지스트막 형성용 조성물 등을 들 수 있다.
다음으로, 본 발명의 기능막 형성 방법에 대해서, 액정 배향막 형성 방법을 예로 들어 설명한다.
본 발명의 액정 배향막 형성 방법의 조작 순서를 도 4의 플로차트에 나타낸다. 이하, 도 4에 나타낸 플로차트를 참조하면서 상세하게 설명한다.
우선, 액정 배향막이 형성되는 기판을 준비한다. 기판으로서는, 예를 들어 플로트(float) 유리, 소다 유리 등의 유리, 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르설폰, 폴리카보네이트 등의 플라스틱으로 이루어지는 투명 기판을 사용할 수 있다. 기판 일면(一面)에 설치되는 투명 도전막으로서는, 산화주석(SnO2)으로 이루어지는 NESA막(미국 PPG사 등록상표), 산화인듐-산화주석(In2O3-SnO2)으로 이루어지는 ITO막 등을 사용할 수 있다. 이들 투명 도전막의 패터닝에는 포토·에칭법이나 미리 마스크를 사용하는 방법이 이용된다.
스텝 S1에 있어서, 이 기판(2)을 UV(172㎚) 세정 후, 순수(純水) 또는 알코올로 세정한다.
스텝 S2에 있어서, 기판(2)을 테이블(28)에 탑재하여 진공 흡착으로 테이블(28)에 유지한다.
스텝 S3에 있어서, 액정 배향막 형성용 조성물의 토출 준비가 되면, 본 발명의 액적 토출 장치(3a)의 테이블(28)에 의해 기판(2)을 노즐 열에서의 복수의 노즐의 배열 방향과 수직인 방향으로 이동시킨다.
스텝 S4에 있어서, 스텝 S3의 이동과 동기시켜 액적 토출 헤드(22)(선단부(27))로부터 액적을 기판(2) 위에 토출한다.
액적 토출량은 도포 도트 직경(L)과 노즐 간격(M)이 상기 식 (1)의 관계를 성립시키도록 조정된다.
테이블(28)의 이동 방향에서 인접하여 형성되는 도포 도트 사이에 원하는 겹침이 형성되도록 액적 토출의 타이밍, 테이블(28)의 이동 속도 등을 조정한다. 막 두께를 얇게 조정할 때에는, 인접하여 형성되는 도포 도트 사이의 간격이 넓어지도록 테이블(28)의 이동 속도 등을 조정하면 된다.
기판(2) 위에 형성되어 있는 배선부에 의한 단차나, 금속막면 등의 상황에 의해, 기판(2) 위를 확산하는 액정 배향막 형성용 조성물의 액적의 유동 상태가 변화될 경우에는, 기판(2)의 종류에 따라 액적 토출량이나 테이블(28)의 이동 속도 등을 변화시키면 된다.
스텝 S5에 있어서, 기판(2) 위로의 액정 배향막 형성용 조성물의 도포가 종료되면, 테이블(28)에 의한 기판(2)의 이동을 종료한다.
스텝 S6에 있어서, 성막(成膜)한 기판(2)을 테이블(28)로부터 이탈시킨다.
스텝 S7에 있어서, 기판(2)을 히터부(60℃∼80℃)에 탑재하여 건조 처리를 행한다.
이상에 의해, 기판(2) 표면 위에 액정 배향막이 형성된 액정 배향막 형성 기판을 얻을 수 있다.
형성되는 액정 배향막의 막 두께는 통상 1㎚∼1000㎚이며, 바람직하게는 10㎚∼100㎚이다.
본 발명의 기능막 형성 방법에 의하면, 기판 위에 매우 얇은 균일한 액정 배향막을 효율성 있게 저비용으로 형성할 수 있다.
본 발명의 기능막 형성 방법은 매우 얇은 기능막을 간편하게 형성할 수 있기 때문에, 특히 막의 얇기, 막의 균일성이 요구되는 액정 배향막 형성에 적합하다.
본 발명의 형성 방법에 의해 얻어지는 기능막은 액정 배향막에 한정되지 않아, 다른 기능막에 대해서도 마찬가지로 형성할 수 있다. 기능막으로서는, 액정 배향막, 오버코팅막, 컬러 필터막, 포토레지스트막 등을 들 수 있다.
본 발명의 형성 방법에 의해 얻어지는 액정 배향막 형성 기판을 사용하여, 고품질의 액정 표시 장치를 저비용으로 제조할 수 있다.
다음으로, 상기한 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 기판에 액정 배향막을 형성하는 액적 토출 장치로 이루어지는 배향막 형성 장치에 대해서 설명한다.
도 5는 액정 표시 장치(50)의 사시도이다. 액정 표시 장치(50)의 하측에는 LED 등의 광원(光源)(51)을 갖고 사각판 형상으로 형성된 에지 라이트형(edge light) 백라이트(52)가 구비되어 있다. 백라이트(52)의 상방에는 백라이트(52)와 거의 동일한 사이즈로 형성된 사각판 형상의 액정 패널(53)이 구비되어 있다. 그리고, 광원(51)으로부터 출사되는 광이 액정 패널(53)을 향하여 조사된다.
액정 패널(53)은 소자 기판(54)과 그 소자 기판(54)에 서로 대향하는 대향 기판(55)을 갖는다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 이들 소자 기판(54)과 대향 기판(55)은 광경화성 수지로 이루어지는 사각 프레임 형상의 밀봉재(56)를 통하여 접합되어 있다. 소자 기판(54)과 대향 기판(55) 사이의 간극에 액정(57)이 봉입되어 있다.
소자 기판(54)의 하면(백라이트(52)에 대향하는 면)에는 편광판이나 위상차판 등의 광학 기판(58)이 접합되어 있다. 광학 기판(58)은 백라이트(52)로부터의 광을 직선 편광으로 하여 액정(57)에 출사시킨다. 소자 기판(54)의 상면(대향 기판(55)에 대향하는 면), 즉 소자 형성면(54a) 위에는 복수의 주사선(Lx)이 형성되고, 소자 형성면(54a)의 일방향, 즉 X방향을 따라 거의 전폭에 걸쳐 연장되어 있다. 각 주사선(Lx)은 소자 기판(54)의 한쪽에 배열 설치되는 주사선 구동 회로(59)에 전기적으로 접속되고, 주사선 구동 회로(59)로부터의 주사 신호가 각 주사선(Lx)에 소정의 타이밍에서 입력된다. 소자 형성면(54a)에는 복수의 데이터선(Ly)이 형성되고, 소자 형성면(54a)의 Y방향을 따라 거의 전장(全長)에 걸쳐 연장되어 있다. 각 데이터선(Ly)은 소자 기판(54)의 다른쪽에 배열 설치되는 데이터선 구동 회로(61)에 전기적으로 접속되어 있다. 데이터선 구동 회로(61)로부터의 표시 데이터에 의거하는 데이터 신호가 데이터선 구동 회로(61)로부터 각 데이터선(Ly)에 소정의 타이밍에서 입력된다.
소자 형성면(54a) 위이며, 주사선(Lx)과 데이터선(Ly)이 교차하는 복수의 위치에는 각각 화소(62)가 설치되어 있다. 즉, 소자 형성면(54a) 위에는 복수의 화소(62)가 매트릭스 형상으로 배치되어 있다. 각 화소(62)에는 TFT 등의 도시되지 않은 제어 소자나, 투명 도전막 등으로 이루어지는 광투과성 화소 전극(63)이 구비되어 있다.
도 6에 있어서, 모든 화소(62) 위에는 러빙(rubbing) 처리 등에 의해 배향 처리가 실시된 액정 배향막(64)이 적층되어 있다. 액정 배향막(64)은 배향성 고분자로 이루어지는 박막 패턴이며, 화소 전극(63) 위의 액정(57) 배향을 소정 배향으로 설정한다. 액정 배향막(64)은 잉크젯법에 의해 형성되어 있다. 즉, 액정 배향막(64)은 폴리이미드 등의 액정 배향막 형성 재료를 소정의 용매에 용해시켜 이루어지는 용액(액정 배향막 형성용 조성물(F))을 액적(Fb)(도 9 참조)으로서 모든 화소(62) 위에 토출하고, 착탄된 액적(Fb)을 건조시킴으로써 형성되어 있다.
상기 대향 기판(55) 위에는 편광판(65)이 배열 설치되고, 그 편광판(65)은 광학 기판(58)을 통과한 광과 직교하는 직선 편광의 광을 바깥 쪽(도 6에서의 상방)을 향하여 출사시킨다. 대향 기판(55)의 하면(소자 기판(54)에 대향하는 면), 즉 전극 형성면(55a) 전체에는 각 화소 전극(63)과 서로 대향하도록 형성된 광투과성 도전막으로 이루어지는 대향 전극(66)이 적층되어 있다. 대향 전극(66)은 상기데이터선 구동 회로(61)에 전기적으로 접속되고, 그 데이터선 구동 회로(61)로부터 소정의 공통 전위가 대향 전극(66)에 부여된다. 대향 전극(66)의 하면 전체에는 러빙 처리 등에 의해 배향 처리가 실시된 액정 배향막(67)이 적층되어 있다. 액정 배향막(67)은 상기 액정 배향막(64)과 동일하게 잉크젯법에 의해 형성된다. 액정 배향막(67)은 상기 대향 전극(66) 근방에서 액정(57) 배향을 소정 배향으로 설정한다.
선순차 주사에 의거하여 각 주사선(Lx)을 소정의 타이밍에서 선택하여, 각 화소(62)의 제어 소자를 선택 기간 동안만 온 상태로 한다. 그러면, 각 제어 소자에 대응하는 각 화소 전극(63)에, 대응하는 데이터선(Ly)으로부터의 표시 데이터에 의거하는 데이터 신호가 입력된다. 각 화소 전극(63)에 데이터 신호가 입력되면, 각 화소 전극(63)과 대향 전극(66) 사이의 전위차가 상기 데이터 신호에 따라 변동하고, 그 결과 화소 전극(63)과 대향 전극(66) 사이에 배치된 액정(57)의 배향 상태가 변한다. 즉, 광학 기판(58)으로부터의 광의 편광 상태가 상기 데이터 신호 에 따라 화소(62)마다 변한다. 그리고, 편광판(65)에 대한 광의 통과가 화소(62) 마다 허용 및 차단됨으로써, 표시 데이터에 의거하는 화상이 액정 패널(53)의 상측에 표시된다.
다음으로, 상기 액정 배향막(67)(액정 배향막(64))을 형성하기 위한 액적 토출 장치(70)로 이루어지는 배향막 형성 장치를 도 7 내지 도 9에 따라 설명한다.
도 7은 액적 토출 장치(70)의 전체 사시도이다. 액적 토출 장치(70)는 배향막 형성 장치이며, 직육면체 형상으로 형성된 베이스(71)를 갖고 있다. 베이스(71)의 상면에는 그 길이 방향(Y방향)을 따라 연장되는 한 쌍의 안내 홈(72)이 형성되어 있다. 베이스(71)의 상면에는 안내 홈(72)을 따라 주주사 방향(Y방향을 따른 방향)으로 이동하는 스테이지(73)가 구비되어 있다. 스테이지(73)의 상면은 대 향 기판(55)을 탑재 배치 가능하게 하는 탑재 배치면(74)을 형성한다. 탑재 배치면(74)은 상기 대향 전극(66)을 상측으로 한 상태로 탑재 배치된 대향 기판(55)을 스테이지(73)에 대하여 위치 결정 및 고정시킨다. 본 실시예에서는, 탑재 배치면(74)에 대향 전극(66)을 상측으로 한 상태로 대향 기판(55)을 탑재 배치하지만, 이것에 한정하지 않고, 상기 화소 전극(63)을 상측으로 한 상태로 소자 기판(54)을 탑재 배치할 수도 있다.
액적 토출 장치(70)에는, 또한 문형(門型)의 가이드 부재(75)가 설치되고, 그 가이드 부재(75)는 주주사 방향과 직교하는 부주사 방향(X방향을 따른 방향)에서 베이스(71)를 걸치도록 구비되어 있다. 가이드 부재(75)의 상면에는 X방향을 따라 연장되는 탱크(76)가 배열 설치되고, 그 탱크(76)에는 상기 액정 배향막 형성용 조성물(F)이 수납되어 있다.
상기 탱크(76)에는 공급 튜브(T)(도 9 참조)가 접속되고, 액정 배향막 형성용 조성물(F)은 상기 공급 튜브(T)를 통하여 액적 토출 헤드(이하 간단히, 토출 헤드라고 함)(80)에 소정의 압력으로 공급된다. 토출 헤드(80)에 공급된 액정 배향막 형성용 조성물(F)은 상기 토출 헤드(80)로부터 액적(Fb)으로 되어 탑재 배치면(74)에 탑재 배치된 대향 기판(55)을 향하여 토출된다.
가이드 부재(75)에는 X방향 거의 전장에 걸쳐 연장되는 상하 한 쌍의 가이드 레일(78)이 형성되어 있다. 상하 한 쌍의 가이드 레일(78)에는 캐리지(carriage)(79)가 부착되어 있다. 캐리지(79)는 가이드 레일(78)에 안내되어 X방향을 따라 이동한다. 캐리지(79)에는 토출 부재로서의 액적 토출 헤드(80)가 탑재 되어 있다.
도 8은 스테이지(73)측(액적 토출 장치(70)에서의 하측)에서 본 토출 헤드(80)를 나타내고 있다. 토출 헤드(80)의 노즐 플레이트(85)는 상기한 제 1 노즐 열(10)과 제 2 노즐 열(11)을 구비하고 있다. 제 1 노즐 열 및 제 2 노즐 열(10, 11)에서는, 상기 도 2의 (a)에서 설명한 조건으로 각 노즐(N)(10a, 10b…, 11a, 11b…)이 형성되어 있다.
도 9는 토출 헤드(80)의 내부 구성을 설명하기 위한 요부 단면도이다.
도 9에 있어서, 토출 헤드(80)의 상측에는 공급 튜브(T)가 연결되어 있다. 공급 튜브(T)를 통하여 탱크(76) 내의 액정 배향막 형성용 조성물(F)이 토출 헤드(80)에 공급된다. 토출 헤드(80)는 공급 튜브(T)에 연통(連通)되는 캐비티(cavity)(86)를 갖고 있다. 캐비티(86)는 공급 튜브(T)로부터의 액정 배향막 형성용 조성물(F)을 수용하여, 대응하는 노즐(N)에 액정 배향막 형성용 조성물(F)을 공급한다. 각 캐비티(86)의 상측에는 상하 방향으로 진동하여 캐비티(86) 내의 용적을 확대 및 축소하는 진동판(87)이 설치되어 있다. 진동판(87)의 상측에는 노즐(N)에 대응하는 압전 소자(PZ)가 배열 설치되어 있다. 압전 소자(PZ)는 상하 방향으로 수축 및 신장(伸張)함으로써 대응하는 진동판(87)을 상하 방향으로 진동시킨다.
상하 방향으로 진동하는 진동판(87)은 액정 배향막 형성용 조성물(F)을 소정 사이즈의 액적(Fb)으로 하여 대응하는 노즐(N)로부터 토출시킨다. 토출된 액적(Fb)은 대응하는 노즐(N)로부터 Z방향과 반대 방향으로 비행하여, 바로 아래를 이 동하는 대향 기판(55)의 전극 형성면(55a)에 대하여 착탄된다.
즉, 토출 헤드(80) 바로 아래를 주주사 방향으로 대향 기판(55)이 이동할 때, 상기한 도 3에 나타낸 바와 같이, 토출 헤드(80)는 대향 기판(55)에 대하여 액적(Fb)을 토출한다.
1회째 토출 후, 제 1 노즐 열(10) 및 제 2 노즐 열(11)로부터 소정의 타이밍에서 소정의 위치에 액정 배향막 형성용 조성물(F)을 토출시킨다(2회째 토출). 이 2회째 토출에 의해, 도 3에 나타낸 바와 같이, 1회째 토출에 의해 형성된 도포 도트에 부분적으로 겹치도록 2회째의 도포 도트가 형성된다.
이어서, 제 1 노즐 열(10) 및 제 2 노즐 열(11)로부터 소정의 타이밍에서 소정의 위치에 액정 배향막 형성용 조성물(F)을 마찬가지로 토출시킨다(3회째 토출). 이 3회째 토출에 의해, 도 3에 나타낸 바와 같이, 2회째 토출에 의해 형성된 도포 도트에 부분적으로 겹치도록 3회째의 도포 도트가 형성된다.
또한, 4회째 이후도 동일한 토출을 행함으로써, 도 3에 나타낸 바와 같이, 도포 도트의 겹침이 형성된다. 이와 같이 하여, 과부족 없이 액정 배향막 형성용 조성물(F)을 효율적으로 도포할 수 있어, 대향 기판(55) 위에 액정 배향막(67)을 형성할 수 있다.
이상 설명한 액적 토출 장치(70)에 의하면, 이하의 이점(利點)을 얻을 수 있다.
액적 토출 장치(70)에 의하면, 액정 배향막 형성용 조성물(F)이 겹쳐서 도포되는 부분을 적게 할 수 있기 때문에, 매우 얇은 막을 효율적으로 형성할 수 있다. 특히, 액적 토출 장치(70)는 10㎚∼100㎚의 매우 얇은 액정 배향막(67)을 형성하는데 적합하다.
겹침 부분을 적게 함으로써 액정 배향막 형성용 조성물(F)의 사용량을 절약할 수 있어, 비용 저감을 도모할 수 있다.
인접하는 도포 도트에 대해서는, 주주사 방향에서도 부주사 방향에서도 인접하는 도포 도트가 형성되는 시간차가 짧기 때문에, 인접하는 도포 도트의 경계에 건조 시간차에 의한 건조 불균일이 생기지는 않는다. 따라서, 대향 기판(55) 전면에 건조 불균일이나 라인 불균일이 없는 균일한 액정 배향막(67)을 형성할 수 있다. 그 결과, 표시 품위가 높은 액정 표시 장치를 제공할 수 있다.
노즐(N)로부터 액적(Fb)이 비산됨으로써, 인접하는 노즐(N)이 막히지 않기 때문에, 메인터넌스가 용이하다.
본 발명의 액적 토출 장치는 소위 잉크젯 방식의 토출 장치이면, 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어 가열 발포에 의해 기포를 발생시켜 액적 토출을 행하는 서멀 방식의 토출 장치, 피에조 소자를 이용하는 압축에 의해 액적 토출을 행하는 피에조 방식의 토출 장치 등일 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 효율성 있게 저비용으로 균일한 기능막을 형성할 수 있는 액적 토출 장치, 기능막 형성 방법, 액정 배향막 형성 장치, 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법 및 액정 표시 장치를 제공할 수 있다.

Claims (19)

  1. 복수의 노즐이 형성된 노즐 형성면을 갖는 액적 토출 헤드를 구비하고, 상기 복수의 노즐로부터 기능막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 기능막을 형성하기 위한 액적 토출 장치로서,
    상기 복수의 노즐은 직선 형상으로 연장되는 복수의 노즐 열을 형성하며,
    상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐은 인접하는 노즐 사이의 간격이 상기 기판 위에 착탄(着彈)된 상기 액적에 의해 형성되는 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작아지도록 거의 등간격으로 배열되며,
    상기 복수의 노즐 열은 그들 노즐 열을 형성하는 복수의 노즐이 지그재그 배치로 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    인접하는 노즐 열 사이의 간격은 상기 기판 위의 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작은 액적 토출 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 액적 토출 장치는 상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐의 배열 방향에 대하여 직각인 방향으로 기판 또는 액적 토출 헤드를 이동시키면서 상기 노즐로부터 액적을 토출하도록 구성되어 있는 액적 토출 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기능막은 10㎚∼100㎚의 두께를 갖는 액적 토출 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기능막 형성용 조성물은 30mN/m∼45mN/m의 표면장력을 갖는 용액인 액적 토출 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 기능막 형성용 조성물은 3mPa·s∼20mPa·s의 점도를 갖는 용액인 액적 토출 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 액적 토출 장치를 사용하여 기능막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 기능막을 형성하는 것을 특징으로 하는 기능막 형성 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐의 배열 방향에 대하여 직각인 방향으로 기판 또는 액적 토출 헤드를 이동시키면서 상기 노즐로부터 액적을 토출하는 것을 구비하는 기능막 형성 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    기판 또는 액적 토출 헤드의 이동 방향에서 인접하여 형성되는 도포 도트가 부분적으로 겹치도록 상기 노즐로부터 액적을 기판 위에 토출하는 것을 구비하는 기능막 형성 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    10㎚∼100㎚의 두께를 갖는 기능막이 형성되도록 액적을 기판 위에 토출하는 것을 구비하는 기능막 형성 방법.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 기능막 형성용 조성물로서, 30mN/m∼45mN/m의 표면장력을 갖는 용액을 사용하는 것을 구비하는 기능막 형성 방법.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 기능막 형성용 조성물로서, 3mPa·s∼20mPa·s의 점도를 갖는 용액을 사용하는 것을 구비하는 기능막 형성 방법.
  13. 복수의 노즐이 형성된 노즐 형성면을 갖는 액적 토출 헤드를 구비하고, 상기 복수의 노즐로부터 액정 배향막 형성용 조성물의 액적을 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 액정 배향막을 형성하기 위한 액정 배향막 형성 장치로서,
    상기 복수의 노즐은 직선 형상으로 연장되는 복수의 노즐 열을 형성하며,
    상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐은 인접하는 노즐 사이의 간격이 상기 기판 위에 착탄된 상기 액적에 의해 형성되는 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작아지도록 거의 등간격으로 배열되며,
    상기 복수의 노즐 열은 그들 노즐 열을 형성하는 복수의 노즐이 지그재그 배치로 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 형성 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    인접하는 노즐 열 사이의 간격은 상기 기판 위의 도포 도트 직경보다 크고, 또한 그 도포 도트 직경의 2배보다 작은 액정 배향막 형성 장치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 액정 배향막 형성 장치는 상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐의 배열 방향에 대하여 직각인 방향으로 기판 또는 액적 토출 헤드를 이동시키면서 상기 노즐로부터 액적을 토출하도록 구성되어 있는 액정 배향막 형성 장치.
  16. 액정 배향막을 갖는 기판을 구비한 액정 표시 장치의 액정 배향막 형성 방법에 있어서, 제 13 항 또는 제 14 항에 기재된 액정 배향막 형성 장치를 사용하여 액정 배향막 형성용 조성물의 액적을 상기 기판 위에 토출하여, 그 기판 위에 액정 배향막을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 형성 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 각 노즐 열에서의 복수의 노즐의 배열 방향에 대하여 직각인 방향으로 기판 또는 액적 토출 헤드를 이동시키면서 상기 노즐로부터 액적을 토출하는 것을 구비하는 액정 배향막 형성 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    기판 또는 액적 토출 헤드의 이동 방향에서 인접하여 형성되는 도포 도트가 부분적으로 겹치도록 상기 노즐로부터 액적을 기판 위에 토출하는 것을 구비하는 액정 배향막 형성 방법.
  19. 액정 배향막을 갖는 대향 기판과,
    액정 배향막을 갖는 소자 기판과,
    상기 대향 기판과 상기 소자 기판을 접합시키는 밀봉재를 구비하고, 그 밀봉재에 둘러싸인 부분에 액정이 봉입되는 액정 표시 장치에 있어서,
    상기 액정 배향막은 제 13 항 내지 제 15 중 어느 한 항에 기재된 액정 배향막 형성 장치를 사용하여, 상기 대향 기판 또는 상기 소자 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
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