CN100420524C - 液滴喷出方法、电光学装置及电子设备 - Google Patents

液滴喷出方法、电光学装置及电子设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供能缩短整体描绘时间、并且能防止可在所形成的膜上产生不匀的现象的液滴喷出方法、喷头单元、液滴喷出装置、电光学装置以及电子设备。在通过喷嘴(118)遍及整体来覆盖各喷出部(18)时,从与该被喷出部(18)平面重叠的喷嘴(118)喷出液体材料(111)的液滴,而在只覆盖例如被喷出部(18)的一部分的情况不喷出液体材料(111),从而可以防止在被喷出部(18)上产生不匀。由此,能实现在基板整体上使液体材料的不匀不明显。

Description

液滴喷出方法、电光学装置及电子设备
技术领域
本发明涉及液滴喷出方法、电光学装置及电子设备。
背景技术
喷墨打印机的液滴喷头能以点状喷出微小的墨滴,在墨滴的大小或间距(pitch)的均匀性方面精度极高。该技术被应用在各种产品的制造领域。例如,也可以应用在形成液晶装置的滤色器或有机EL显示装置的发光部等的情况。具体而言有如下的技术,即在液滴喷头中包含特殊的墨水或感光性的树脂液等(功能液),对电光学装置用的基板喷出该功能液的液滴(例如参照专利文献1)。由于在由该方法形成的滤色器或发光部上大多形成多种颜色,所以将多种功能液通过不同的装置一次一种地喷在基板上。
在由这样的方法形成的膜状的滤色层或发光部上,大多形成多种颜色。在专利文献1所述的装置中,由于通过不同的装置在基板上一次喷出多种功能液的一种,所以喷出时间变长。在以缩短时间为目的由1个装置在一次扫描过程中欲同时喷出所有种类的液体材料的情况,例如考虑到如下的方法等,即将设有喷出各种液体材料的喷嘴的喷头(head)以使喷嘴的配置一致的方式在扫描方向上排列,通过一次扫描从各喷头同时喷出液体材料。
专利文献1:特开2004-267927号公报
但是,在从喷头喷出液体材料时,从在喷头的两端部设置的喷嘴喷出的液体材料中产生覆盖不均匀线条的情况很多,所以若各喷头的两端位于与扫描方向平行的同一列上,则从各喷头喷出的液体材料的不均匀线条的位置重叠,从而导致在基板整体上,液体材料的不均匀线条更显著。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而做成的发明,其目的在于提供能使在基板整体上功能液的不均匀不明显的液滴喷出方法、电光学装置及电子设备。
为了达到上述目的,本发明所涉及的液滴喷出方法,多个喷头在基板上设置的被喷出部上进行相对扫描的同时,从在所述喷头上设置的多个喷嘴将功能液的液滴喷出到所述被喷出部上,其特征在于,由与所述扫描的方向正交的正交方向上的所述多个喷嘴构成的喷出区域的尺寸,比所述正交方向上的所述被喷出部的尺寸大,当所述被喷出部整体包含于所述喷出区域时,从所述多个喷嘴将所述功能液的液滴喷出到所述被喷出部;当所述被喷出部的至少一部分不包含于所述多个喷嘴的喷出区域时,不将所述功能液的液滴从所述多个喷嘴喷出到所述被喷出部。
通过以往的结构,会产生如下的情况:在某个被喷出部中,该被喷出部整体包含于在喷头上设置的喷嘴的喷出区域,而在其他的被喷出部中,只有该被喷出部的一部分包含于在喷头上设置的喷嘴的喷出区域。在这样的情况下,需要使喷头自身在正交方向上错开的同时进行扫描并喷出功能液,但担心会在1个被喷出部上带有时间差地喷出功能液,从而所喷出的功能液产生不匀。
根据本发明,在被喷出部整体包含于喷嘴的喷出区域时,从该喷嘴向该被喷出部喷出功能液的液滴,在只有被喷出部的一部分包含于喷出区域的情况,或被喷出部完全没有包含于喷出区域的情况不喷出功能液,从而不会在被喷出部上产生不匀。由此,能实现在基板整体上使液体材料的不匀不明显。
另外,作为优选方式,使用多个所述喷头,在每个所述喷头错开的状态下,在所述基板上对分别设置在多个所述喷头的所述多个喷嘴中的设于所述正交方向的两端部的喷嘴在所述正交方向上所处的位置进行相对扫描。
根据本发明,由于将各个喷头中不均匀线条容易产生的位置、即在喷头的两端部设置的喷嘴的位置,按每个喷头错开,所以即使在通过本发明所涉及的喷头单元在基板上进行扫描的同时喷出功能液的情况,也不会出现从各个喷头喷出的功能液的不均匀线条的位置重叠的现象。
本发明的其他观点所涉及的电光学装置,其特征在于,包括通过上述的液滴喷出方法来喷出功能液的基板。
根据本发明,由于通过能使在基板整体上功能液的不均匀线条减少的液滴喷出方法来喷出功能液的液滴,所以能得到显示均匀、品质良好的电光学装置。
本发明的其他观点所涉及的电子设备,其特征在于,搭载有上述的电光学装置。
根据本发明,由于搭载有显示均匀、品质良好的电光学装置,所以能得到显示性能出色的电子设备。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式所涉及的液晶装置的结构的立体图。
图2是表示本实施方式所涉及的滤色器基板的结构的俯视图。
图3是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的整体结构的立体图。
图4是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的托架的结构的俯视图。
图5是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头的外部结构的俯视图。
图6是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头的配置的图。
图7是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头的内部结构的方块图。
图8是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的控制部结构的图。
图9是表示本实施方式所涉及的液滴喷出装置的喷头驱动部的结构(a)以及向喷头驱动部供给的驱动信号(b)的图。
图10是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(其一)。
图11是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(其二)。
图12是表示本实施方式所涉及的液滴喷出方法的图(其三)。
图13是表示本发明所涉及的电子设备的结构的立体图。
图中:1-液晶装置;2-有源矩阵基板;3-滤色器基板;10A-基体;16-滤色器;18(18R、18G、18B)-被喷出部;100-液滴喷出装置(喷出装置);103-托架(carriage);106-载物台(stage);111(111R、111G、111B)-液体材料;114(114R、114G、114B)-喷头;114P-喷头群;114G-喷头;118-喷嘴;300-移动电话。
具体实施方式
下面,参照附图对本发明的实施方式进行说明。在下面的图中,为了将各部件做成能认知的大小,故对比例尺进行适当的改变。
(电光学装置)
图1是表示本实施方式所涉及的液晶装置1的结构的立体图。
如该图所示,液晶装置1被构成为以液晶面板40和背光灯41为主体的结构。液晶面板40的结构是,介由密封件26粘着有源矩阵基板2和滤色器基板3,在该源矩阵基板2和滤色器基板3及密封件26之间夹着液晶6。图中的虚线表示的显示区域2a是显示图像或动画等的区域。
另外,本实施方式的液晶装置1采用了使用双端子型非线性元件即薄膜二极管(TFD)元件来作为开关元件的有源矩阵方式的液晶装置,但当然也可以例如使用薄膜晶体管(TFT)来作为开关元件的液晶装置、或无源矩阵方式的液晶装置。另外,液晶面板40是通过将两张大张的母板粘合、切断而形成的(即,从一对母板得到多个面板)。作为两张母板,有生成滤色器基板3的滤色器侧母板、和生成有源矩阵基板2的有源矩阵侧母板。
图2是表示滤色器基板3的结构的图。图2(a)是表示滤色器基板3的整体结构的图。图2(b)是放大表示滤色器基板3的一部分的图。
如图2(a)所示,滤色器基板3是通过例如玻璃或塑料等透明的材料形成的矩形的基板。在滤色器基板3上设有遮光层13,与由遮光层13围成的区域(像素)相对应而设置具有红色层16R、绿色层16G、蓝色层16B的滤色器16。另外,在滤色器基板3上形成有覆盖层(未图示),以覆盖该滤色器16,在覆盖层上形成有取向膜(未图示)。该取向膜是例如由聚酰亚胺等构成,表面经过研磨处理的水平取向膜。
另外,如图2(b)所示,关于一个红色层16R(或绿色层16G、蓝色层16B),设置成短边的长度S例如为170μm左右,长边的长度L例如为510μm左右的矩形。另外,关于相邻的滤色器基板16之间的间隔,行方向的间隔T1约为20μm左右,列方向的间隔T2约为40μm左右。
(液滴喷出装置)
接着,对本实施方式所涉及的液滴喷出装置(以下称作“喷出装置”)100进行说明。
如图3所示,喷出装置100被构成为以保持液体材料111的箱101、介由管110从箱101供给液体材料111的喷出扫描部102为主体的结构。
在液体材料111中,有构成例如上述的液晶装置1的滤色器16的红色层16R的材料(以下称作“红色材料”)111R、构成绿色层16G的材料(以下称作“绿色材料”)111G、和构成蓝色层16B的材料(以下称作“蓝色材料”)111B这三种。
箱101具有保持红色材料111R的红色材料箱101R、保持绿色材料111G的绿色材料箱101G、和保持蓝色材料111B的蓝色材料箱101B,来分别保持上述的三种液体材料111。在各箱101中,例如安装有未图示的压力泵。通过驱动该压力泵而对箱101内部施加压力,从而液体材料111从箱101向喷出扫描部102供给。
这里,作为红色材料111R,例如使用如下的溶液,即将红色的无机颜料(例如红色氧化铁(III)或镉红等)分散在聚氨基甲酸酯低聚物之后,添加二甘醇-丁醚乙酸酯作为溶剂,而且添加非离子系界面活性剂来作为分散剂,在规定的范围内调整粘度而得到的溶液。
另外,作为绿色材料111G,例如使用如下的溶液,即将绿色的无机颜料(例如,氧化铬绿或钴绿等)分散在聚氨基甲酸酯低聚物之后,添加环乙酮以及乙酸丁酯作为溶剂,添加非离子系界面活性剂作为分散剂,在规定的范围内调整粘度而得到的溶液。
另外,作为蓝色材料111B,例如使用如下的溶液,即将蓝色的无机颜料(例如,群蓝或普鲁士蓝等)分散在聚氨基甲酸酯低聚物之后,添加二甘醇-丁醚乙酸酯作为溶剂,添加非离子系界面活性剂作为分散剂,在规定的范围内调整粘度而得到的溶液。
喷出扫描部102具有保持多个喷头114(参照图4)的托架103、控制托架103的位置的托架位置控制装置104、对构成滤色器侧母板的基板10A进行保持的载物台106、控制载物台106的位置的载物台位置控制装置108、和控制部112。另外,实际上在喷出装置100上设有多个(例如10个)托架103。在图3中,为了简化说明,图示了1个托架103来进行说明。
托架位置控制装置104具有根据来自控制部112的信号而使托架103沿着X轴方向或Z轴方向移动的功能,并且还具有在以Z轴为轴进行旋转的方向上使托架103旋转的功能。载物台位置控制装置108具有根据来自控制部112的信号而使载物台106沿着Y轴方向移动的功能,并且还具有在以Z轴为轴进行旋转的方向上使载物台106旋转的功能。
如上所述,托架103通过托架位置控制装置104的控制而在X轴方向上移动。另一方面,载物台106通过载物台位置控制装置108的控制而在Y轴方向上移动。即,通过托架位置控制装置104以及载物台位置控制装置108,使得喷头114相对于载物台106的相对位置发生改变。
即,通过使托架103以及载物台106中的两方或任一方移动,从而托架103可以扫描载物台106(或由载物台106保持的基体10A)。下面,对在本实施方式中,通过使托架103静止、使载物台106移动来进行扫描的情况进行说明。
图4是从载物台106一侧观察1个托架103的图,与图4的纸面垂直的方向是Z轴方向。另外,图4的纸面的左右方向是X轴方向,纸面的上下方向是Y轴方向。
如该图所示,托架103保持分别具有相同结构及尺寸的多个喷头114。在喷头114上,有喷出液体材料111中红色材料111R的喷头114R、喷出绿色材料111G的喷头114G、喷出蓝色材料111B的喷头114B这三种。
在本实施方式中,在1个托架103上,分别设有4个喷头114R、4个喷头114G、4个喷头114B,喷头114的数量总计为12个。另外,关于喷头114之间的位置关系在后面叙述。另外,在本说明书中,在Y轴方向上相邻的6个喷头114被标记为“喷头群114P”。
图5是表示喷头114的底面114a的图。底面114a的形状是具有相对向的2个长边以及相对向的2个短边的矩形。该底面114a朝载物台106一侧(图中的Z轴方向)。喷头114的长边方向和图中的X轴方向平行,另外喷头114的短边方向与图中Y轴方向平行。
另外,在该底面114a上,在X轴方向上配置两列(列116A和列116B)喷嘴118,每列例如为90个。另外,各喷嘴118的喷嘴直径r约为30μm。列116A侧的喷嘴118和列116B侧的喷嘴118分别在各列中以规定的间距LNP(LNP约为140μm)配置。另外,喷嘴列116B的各喷嘴118的位置相对于喷嘴列116A的各喷嘴118被配置成仅以喷嘴间距LNP的一半的长度(约为70μm)在X轴方向的负方向(图5的下方向)错位。另外,在喷头114上设置的喷嘴列也可以不是两列。可以增加列数,例如为3列、4列、…M列(M为自然数),或可以是1列。
由于喷嘴列116A以及喷嘴列116B分别由90个喷嘴构成,所以在1个喷头114上设有180个喷嘴。其中设置成:从喷嘴列116A的两端至第五个喷嘴不喷出液体材料111(中止喷嘴:图5中被虚线包围的部分)。同样,从喷嘴列116B的两端至第五个喷嘴也不喷出液体材料111,是中止喷嘴(图5中被虚线包围的部分)。因此,在喷头114上的180个喷嘴118中,除了两端的20个喷嘴以外的160个喷嘴118,被设置成喷出液体材料111(喷出喷嘴)。
在本说明书中,以说明喷头114的位置关系为目的,在喷嘴列116A所包含的90个喷嘴118中,将从端部数第六个喷嘴、例如从图中的上端数第六个喷嘴118标记为喷头114的“基准喷嘴118R”。即,喷嘴列116A的80个喷出喷嘴中,位于图中最上部的喷出喷嘴是喷头114的“基准喷嘴118R”。另外,对于所有的喷头,由于只要“基准喷嘴118R”的指定方法相同即可,所以“基准喷嘴118R”的位置不是上述位置也可以。
接着,对喷头群114P中的6个喷头114的位置关系进行说明。
图6是表示喷头114的相对位置关系的图。另外,在该图中,关于图4所示的两组喷头114R、114G、114B,分别标记为114R1、114G1、114B1以及114R2、114G2、114B2,来进行区别。
如图6所示喷头群114P被配置成相邻的喷头114之间在X轴方向上错位。与喷头114R1相邻的喷头114G1被设置成相对于喷头114R1例如向图中X方向下侧错位。另外与喷头114G1相邻的喷头114B1也同样被设置成相对于相邻的喷头114G1例如向图中X方向下侧错位。关于与喷头114B1相邻的喷头114R2、另外与该喷头114R2相邻的喷头114G2、另外与该喷头114G2相邻的喷头114B2,同样被设置成分别相对于相邻的喷头114向图中X方向下侧错位。
另外,在图中,设置在114R1上的基准喷嘴118R的X方向的位置是“1-a”以及“1-b”(用实线表示)。设置在114G1上的基准喷嘴118R的X方向的位置是“2-a”以及“2-b”(用虚线表示)。设置在114B1上的基准喷嘴118R的X方向的位置是“3-a”以及“3-b”(用单点划线表示)。设置在114R2上的基准喷嘴118R的X方向的位置是“4-a”以及“4-b”(用实线表示)。设置在114G2上的基准喷嘴118R的X方向的位置是“5-a”以及“5-b”(用虚线表示)。设置在114B2上的基准喷嘴118R的X方向的位置是“6-a”以及“6-b”(用单点划线表示)。
通过将同样结构的各喷头114彼此配置成在X方向上错位,使得设置在自身上的基准喷嘴118R的X方向的位置(1-a)~(6-b)相互错位。其结果,使得当托架103进行扫描(scan)时,从喷嘴118的最端部即基准喷嘴118R喷出的液体材料111的不均匀线条不重叠。
接着,说明喷头114的内部结构。如图7(a)以及图7(b)所示,各个喷头114都是喷墨式喷头。更具体而言,各个喷头114具有振动板126和喷嘴板128。在振动板126和喷嘴板128之间设有存液部129,在其中始终填充经由孔131从箱101供给来的液体材料111。
另外,在振动板126和喷嘴板128之间设有多个隔壁122。而且,通过振动板126、喷嘴板128和一对隔壁122围成的部分是腔120。腔120被设置在每个喷嘴118中,腔120的数量和喷嘴118的数量相同。在腔120中,经由在一对隔壁122之间设置的供给口130而从存液部129供给液体材料111。
在振动板126上,振动件124位于与各个腔120相对应的位置。振动件124具有压电元件124C、夹着压电元件124C的一对电极124A和124B。通过在该一对压电元件124A和124B之间施加驱动电压,而从对应的喷嘴118喷出液体材料。另外,调整喷嘴118的形状,以从喷嘴118在Z轴方向上喷出液状的材料。另外,也可以具有电热变换元件来取代压电元件。即,可以具有利用由电热变换元件带来的材料的热膨胀来喷出液体材料111的结构。
接着,以图8为基准来说明控制部112的结构。
控制部112,是与喷出液体材料111的时刻、托架103的固定位置、载物台106的移动(移动速度、移动距离等)等、喷出装置100的动作相关地进行总括控制的部位。
如图8所示,控制部112具有输入缓冲存储器200、存储机构202、处理部204、扫描驱动部206和喷头驱动部208,各部分之间被连接成能进行通信。
输入缓冲存储器200从与外部连接的例如信息处理装置等取得用于进行液体材料111的液滴的喷出的喷出数据。输入缓冲存储器200向处理部204供给喷出数据,处理部204将喷出数据存储在存储机构202中。作为存储机构202,例如使用RAM等。
处理部204访问在存储机构202中存储的喷出数据,基于该喷出数据,向扫描驱动部206以及喷头驱动部208供给必要的驱动信号。
扫描驱动部206基于驱动信号,向托架位置控制装置104以及载物台位置控制装置108供给规定的位置控制信号。另外,喷头驱动部208基于驱动信号,向各喷头114供给喷出液体材料111的喷出信号。
喷头驱动部208如图9(a)所示,具有1个驱动信号生成部203和多个模拟开关AS。模拟开关AS与喷头114内的振动件124连接(具体而言与电极124A连接,但电极124A在图9(a)中没有表示)。该模拟开关AS被设置成与喷嘴118的每一个对应,其数量设置得与喷嘴118的个数相同。
驱动信号生成部203生成图9(b)所示那样的驱动信号DS。驱动信号DS被独立地供给到模拟开关AS的各自的输入端子。驱动信号DS的电位相对于基准电位L随时间变化。即,驱动信号DS是多个喷出波形P以喷出周期EP进行反复的信号。喷出周期EP例如通过处理部204而被调节成所期望的值。
驱动信号生成部203可以仅对规定的模拟开关AS输出驱动信号DS,可以仅对喷出液体材料111的喷嘴118进行驱动。另外,按照可以适宜调节该喷出周期EP,以规定的顺序从多个喷嘴118喷出液体材料111的方式来生成喷出信号。
(液晶装置的制造方法(液滴喷出方法))
接着,对如上述方式构成的液晶装置1的制造工序进行说明。
在本实施方式中,以使用大面积的母板一并形成多个液晶装置,通过切断分离成一个一个的液晶装置1的方法为例子进行说明。
首先,对滤色器侧母板的形成工序简单地进行说明。
在喷出装置100的载物台106上保持基体10A。在该基体10A上形成对滤色器16的各色层进行保持的被喷出部18(18R、18G、18B:参照图10)。在被喷出部18R上保持红色层16R,在被喷出部18G上保持绿色层16G,在被喷出部18B上保持蓝色层16B。另外,在将基体10A保持在载物台106上时,进行位置调节,以使基体10A的短边方向与X轴方向一致,长边方向与Y轴方向一致。
在该状态下,如图10所示,将载物台106从图中的左侧向右侧移动。托架103例如从图中右侧向左侧扫描基体10A。此时,托架103扫描基体10A的同时,从各喷头114喷出液体材料111。
这里,在各喷头114的喷出用喷嘴118(在两端的基准喷嘴118R之间配置的喷嘴)没有遍及与扫描方向正交的正交方向整体来覆盖1个被喷出部18的情况,不将液体材料111喷出到该被喷出部18上。另外,在各喷头114的喷出用喷嘴118覆盖1个被喷出部18整体的情况,将液体材料111喷出到该被喷出部18上,在各喷头114的喷出用喷嘴118没有覆盖1个被喷出部18整体的情况,不将液体材料111喷出到该被喷出部18上。
基于图11具体地进行说明。图11是模式表示从各喷头114喷出液体材料111的状态的图。另外,在该图中,为了容易理解说明,基准喷嘴118R位于喷头114的端部来进行表示。
图11中,若例如着眼于喷头114R,该喷头114R的喷嘴118(包括基准喷嘴118R)覆盖图中最上段的被喷出部18R的一部分,覆盖从图中上方数第二段的被喷出部18R的全部,完全没有覆盖从图中上方数第三段的被喷出部18R。在该情况下,仅对通过喷嘴118覆盖全部的区域的被喷出部18R、即从图中上方数第二段的被喷出部18R,喷出液体材料111(红色材料111R)。
另外,若着眼于喷头114G,该喷头114G的喷嘴118覆盖图中最上段的被喷出部18G的一部分,覆盖从图中上方数第二段的被喷出部18G的全部,覆盖从图中上方数第三段的被喷出部18G的一部分。在该情况下,仅对通过喷嘴118覆盖全部的区域的被喷出部18G、即从图中上方数第二段的被喷出部18G,喷出液体材料111(绿色材料111G)。
另外,若着眼于喷头114B,该喷头114B的喷嘴118没有覆盖图中最上段的被喷出部18B,覆盖从图中上方数第二段的被喷出部18B的一部分,覆盖从图中上方数第三段的被喷出部18B的全部。在该情况下,仅对通过喷嘴118覆盖全部的区域的被喷出部18B、即从图中上方数第三段的被喷出部18B,喷出液体材料111(蓝色材料111B)。
在由这样的方法进行喷出的情况,如图10所示,例如在图中最上行的各被喷出部18上喷出绿色材料111G,在从图中上方数第二段的各被喷出部18上喷出蓝色材料111B,在从图中上方数第三段的各被喷出部18上喷出红色材料111R,在图中最下段的各被喷出部18上喷出绿色材料111G。
在第二次以后的扫描中,移动托架103,使得想要喷出的液体材料111的喷嘴118覆盖没有喷出液体材料111的被喷出部18的整体,如图12所示,反复上述的扫描,直至所有的被喷出部18上都喷出了液体材料111。
对此以后的工序进行简单的说明。在形成有滤色器16的基材10A上,形成未图示的电极或布线等,形成平坦化膜。另外,在基材10A的表面形成间隙控制用的未图示的隔板或隔壁。形成取向膜,以覆盖在该基材10A上形成的布线或滤色器,对该取向膜实行研磨处理。取向膜可以通过涂覆或印刷例如聚酰亚胺来形成。另外,由环氧树脂等构成的密封件被形成为矩形环状,在由密封件围成的区域涂覆液晶。
接着,关于有源矩阵侧的母板的形成,在由玻璃或塑料等的透光性材料构成的大张的基材上形成布线、电极等,在形成有该布线、电极等的区域形成平坦化膜。形成平坦化膜之后,形成由聚酰亚胺等构成的取向膜,对该取向膜实行研磨处理。
接着,以面板状粘合滤色器侧母板和有源矩阵侧母板。使两基板靠近,将有源矩阵侧母板粘接在滤色器侧母板上的密封件上。其后,在粘接后的两母板上形成划线,沿着该划线切断面板,对切断后的各面板进行清洗,在各面板上实装驱动器等。在各液晶面板的外侧表面上粘合偏光板,安装背光灯41,从而完成液晶装置1。
这样,根据本实施方式,由于将各个喷头114的不均匀线条容易产生的位置、即各喷头114的基准喷嘴118R的X方向上的位置,按每个喷头114错开,所以即使在如上所述托架103扫描基体10A的同时,喷出液体材料111的情况,由各个喷头114喷出的液体材料111的不均匀线条的位置不会重叠,从而可以在整体上难以使液体材料的不均匀线条明显。
另外,在使喷头114如上述错开时,会产生如下的情况:在某个被喷出部18中,通过喷嘴118覆盖该被喷出部18的正交方向整体,但在其他的被喷出部18中,通过喷嘴118仅覆盖了该被喷出部18的正交方向的一部分。在这样的情况下,需要连同托架103在正交方向上运动的同时进行扫描来喷出液体材料111,但担心会在1个被喷出部18上带有时间差地喷出液体材料111,从而所喷出的液体材料111产生不匀。
对此,根据本实施方式,由于当通过喷嘴118遍及正交方向整体覆盖被喷出部18时,从与该被喷出部18平面重叠的喷嘴118喷出液体材料111,所以在只覆盖例如被喷出部18的一部分的情况不喷出液体材料111,所喷出的液体材料111不会产生不匀。由此,能实现在基板整体上使液体材料111的不匀不明显。
(电子设备)
接着,关于本发明所涉及的电子设备,以移动电话为例进行说明。
图13是表示移动电话300的整体结构的立体图。
携带电话300具有框体301、设有多个操作按钮的操作部302、显示图像或动画和文字等的显示部303。在显示部303上搭载了本发明所涉及的液晶装置1。
这样,由于搭载了显示均匀的品质良好的液晶装置1,所以能得到显示性能出色的电子设备(移动电话300)。
本发明的技术范围并不限于上述实施方式,在没有脱离本发明的主旨的范围内可以进行适宜的变更。
另外,关于上述实施方式的说明,是将本发明适用于在液晶装置1的滤色器基板3上形成滤色器层16的情况,但并不仅限于此,例如也可以将本发明适用于在有机EL装置用基板上形成有机层(发光层等)的情况。

Claims (4)

1. 一种液滴喷出方法,多个喷头在基板上进行相对扫描的同时,从在所述喷头上设置的多个喷嘴将功能液的液滴喷出到在所述基板上设置的被喷出部上,
由与所述扫描的方向正交的正交方向上的所述多个喷嘴构成的喷出区域的尺寸,比所述正交方向上的所述被喷出部的尺寸大,
当所述被喷出部整体包含于所述喷出区域时,从所述多个喷嘴将所述功能液的液滴喷出到所述被喷出部;当所述被喷出部的至少一部分不包含于所述多个喷嘴的喷出区域时,不将所述功能液的液滴从所述多个喷嘴喷出到所述被喷出部。
2. 根据权利要求1所述的液滴喷出方法,其中,
使用多个所述喷头,在每个所述喷头错开的状态下,在所述基板上对分别设置在多个所述喷头的所述多个喷嘴中的设于所述正交方向的两端部的喷嘴在所述正交方向上所处的位置进行相对扫描。
3. 一种电光学装置,
其包括通过权利要求1或2所述的液滴喷出方法来喷出功能液的基板。
4. 一种电子设备,
其搭载有权利要求3所述的电光学装置。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4341589B2 (ja) 2005-06-10 2009-10-07 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法
JP5243954B2 (ja) * 2006-05-15 2013-07-24 東レエンジニアリング株式会社 カラーフィルタ製造方法およびその装置
JP2010234170A (ja) * 2007-08-10 2010-10-21 Toray Eng Co Ltd 塗布装置
JP4501988B2 (ja) * 2007-11-01 2010-07-14 セイコーエプソン株式会社 機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1116713A (zh) * 1994-03-31 1996-02-14 佳能株式会社 制造滤色器的方法及设备,滤色器,液晶显示装置,具有液晶显示装置的设备
CN1422747A (zh) * 2001-11-28 2003-06-11 精工爱普生株式会社 喷出方法及其装置
CN1426852A (zh) * 2001-12-19 2003-07-02 松下电器产业株式会社 显示板的图形形成方法以及形成装置
CN1438077A (zh) * 2002-02-12 2003-08-27 精工爱普生株式会社 成膜方法和装置、液滴吐出装置、滤色片的制造方法及其应用
JP2004209409A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Seiko Epson Corp 基板の製造方法、液滴吐出装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および、電子機器
JP2004267927A (ja) * 2003-03-10 2004-09-30 Seiko Epson Corp 描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2005021862A (ja) * 2003-07-02 2005-01-27 Seiko Epson Corp 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および製造方法。

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3111024B2 (ja) * 1995-07-19 2000-11-20 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法
JP2000289233A (ja) 1999-04-05 2000-10-17 Casio Comput Co Ltd 印字ヘッド
JP2000343716A (ja) 1999-06-08 2000-12-12 Casio Comput Co Ltd インクジェットプリンタヘッド
US7305004B2 (en) * 2001-01-16 2007-12-04 At&T Corp. Interference suppression methods for 802.11
US6736484B2 (en) * 2001-12-14 2004-05-18 Seiko Epson Corporation Liquid drop discharge method and discharge device; electro optical device, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; color filter method of manufacture thereof, and device for manufacturing thereof; and device incorporating backing, method of manufacturing thereof, and device for manufacture thereof
JP2004298787A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Seiko Epson Corp 描画装置、電子光学装置及び電子機器
US7643794B2 (en) * 2003-04-07 2010-01-05 Yoram Ofek Multi-sector antenna apparatus
JP2005155461A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Sanyo Electric Co Ltd 圧縮機
TWI287375B (en) * 2004-11-23 2007-09-21 Inst Information Industry Parallel transmission method and the system of a wireless local area network
JP2006279201A (ja) 2005-03-28 2006-10-12 Toshiba Tec Corp 無線タグ読取装置
JP4341589B2 (ja) 2005-06-10 2009-10-07 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1116713A (zh) * 1994-03-31 1996-02-14 佳能株式会社 制造滤色器的方法及设备,滤色器,液晶显示装置,具有液晶显示装置的设备
CN1422747A (zh) * 2001-11-28 2003-06-11 精工爱普生株式会社 喷出方法及其装置
CN1426852A (zh) * 2001-12-19 2003-07-02 松下电器产业株式会社 显示板的图形形成方法以及形成装置
CN1438077A (zh) * 2002-02-12 2003-08-27 精工爱普生株式会社 成膜方法和装置、液滴吐出装置、滤色片的制造方法及其应用
JP2004209409A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Seiko Epson Corp 基板の製造方法、液滴吐出装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および、電子機器
JP2004267927A (ja) * 2003-03-10 2004-09-30 Seiko Epson Corp 描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2005021862A (ja) * 2003-07-02 2005-01-27 Seiko Epson Corp 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および製造方法。

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Publication number Publication date
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