TWI295235B - Droplet discharge method, electro optical device and electronic apparatus - Google Patents

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TWI295235B
TWI295235B TW095120219A TW95120219A TWI295235B TW I295235 B TWI295235 B TW I295235B TW 095120219 A TW095120219 A TW 095120219A TW 95120219 A TW95120219 A TW 95120219A TW I295235 B TWI295235 B TW I295235B
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Kazumi Aruga
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Description

1295235 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種液滴喷出方法、光電裝置及電子機 器。 【先前技術】 一種類皆不同之裝置將數種類之功能液噴出 多藉由如此之方法於形成之膜狀之彩色據 ,形成數種類之色彩。於專利文獻丨揭示 喷墨印表機之液滴喷出頭係可將微小之墨水滴點狀噴 出,在墨水滴之大小或間距統一性之面上,精度極高。該 技術被應用於各種製品之製造領域。例如亦可應用於液晶 裝置之彩色濾光片或形成有機EL顯示裝置之發光部等之情 況。具體而言係使特殊之墨水或感光性之樹脂液等(功^ 液)包含於液滴喷出頭,對光電裝置用之基板噴出該功能 液之液滴者(例如,參照專利文㈣。多藉由如此之方法, 於形成之彩色濾光片或發光部形成數種類之色彩,故藉由 於基板。
(專利文獻1)曰本特開2004-267927號公報 [發明所欲解決之問題】 111102.doc 1295235 然而’由喷頭噴出液體材料之際,多從設置於喷頭之兩 端部之噴嘴噴出之液體材料產生條狀不均,故若各喷頭之 兩端在與掃描方向平行之同一行上,則由各喷頭噴出之液 體材料之條狀不均之位置重疊,於基板全體之液體材料條 狀不均易變得明顯。 有鑑於上述情況,本發明之目的係提供一種液滴噴出方 法、光電裝置及電子機H,其可使於基板全體之功能液之
不均變得不明顯。 L發明内容】 :、達成上述目的’本發明相關之液滴喷出方法其特徵在 於··係將數個喷出頭一面在設 性地掃描,一面由,置於一f::基板之被噴出部上相對 、广mn 則述噴出頭之數個噴嘴噴出功能 /夜之液滴至刖述被喷出部者;鱼 〆、則述知描方向正交之正夺 方^中,包括前述數個喷嘴之噴出區域之大小,大於 正交方向中前述被喷出部之大小; '^ 於前述喷出區域時,由前” 、部全體包含 滴至前述被前:— 含於前述數個喷嘴之喷出區域時, ^至/ ^份未包 前述功能液之液滴至前述被喷出冑“述數個喷嘴喷出 在以往之構成,產生以下之情::、、 喷出部全體包含在設置於嘖 於某被噴出部,該被 另外之被噴出部,設置於 、 賀出區域;但在 在該被喷出部之一部份。如此之情、兄嘴出區域僅包含 身由正交方向偏開,一面掃描 /有一面將喷出頭本 、出功能液之必要,但於一 lin02.doc 1295235 左叩1出功月b液,噴出之功能 個被噴出部加上時 生不均之虞。 根據本發明’被噴出部全體包含於噴嘴之噴出區域時, 由其喷嘴喷出功能液之液滴於其被嗔出部;僅被喷出部之 一部份包含於噴出區域之情況,或者被h部完全 於喷出區域之情況,則不喷出功能液,故被喷出部亦益產 生不均。藉此,可使於基板全體之功能液之不均不明顯。 ,另外,最好使用數個前述噴出頭,將分別設置於數 述贺出頭之前述數個喷嘴中,設置於 部之噴嘴之於針、+、·ρ 一 士太 a正乂方向之兩端 ^正父方向之位置’以與每前述噴出頭值 開之狀態、,相對性地於前述基板上掃#。 、 根據本發明,於各個喷出頭易發生條狀不均之 出頭之兩端之噴嘴之位置與每噴出頭偏開,故 =由:發明相關之噴頭單元,邊於基板上掃描 之位置重疊之事 各個噴出頭㈣功能液之條狀不均 關於本發明之其他觀點之光電裝置, 上述液滴噴出方法喷出功能液之基板。 稭由 根據本發明,於基板全體藉由可減少功、 贺出方法喷出劢处、六 液不均之液滴 電裝置。、4之液滴,故可獲得顯示均句之優質光 關於本發明之其他觀點之電子機器,1特 光電裝置。 /、特铽係搭載上述 據本1明,搭載顯示均勻之優質光電裝置,故可獲得 】"】02.doc Ϊ295235 顯示性能優異之電子機器 【實施方式】 以下根據圖 了辨識各零件 (光電裝置) 面說明本發明之實施型態 之大小,故適當變更縮尺 在以下之圖 為 圖 圖1係表不關於本實施型態之液晶裝置i之構成之立體 鲁主I#二二斤丁液滴裝置1係以液晶面板40與背光41作為 成。液晶面板40係介由密封材26貼合主動矩陣美 反:與衫色濾光片基板3 ’於該主動矩陣基板2與彩色濾光 土板3、密封材26之間夾持液晶6之構成。圖中虛線所表 不之顯示區域2a係表示圖畫或動晝等之區域。 曰又本實施型態之液晶裝置!係採用主動矩ρ車方式之液 阳裝置,其使用雙端子型非線形元件之薄膜二極體(TFD) 元件作為切換元件,但例如使用薄膜電晶體(tft)元件作 • A切換元件之液晶裝置’或被動矩陣方式之液晶裝置當然 亦無妨。另外,液晶面板40係藉由拼合、切斷二張大尺寸 之母基板而形成(亦即,由一對之母基板可獲得數個面 板)。作為二張母基板,有生成彩色濾光片基板3之彩色濾 光片側母基板,與生成主動矩陣基板2之主動矩陣側母基 板。 圖2係表示彩色濾光片基板3之構成之平面圖。圖2(勾係 表示彩色濾光片基板3之全體構成之圖,圖2(b)係表示擴大 彩色濾光片基板3之一部份之圖。 111102.doc 1295235 如圖2(a)所示,彩色濾光片基板3係例如藉由玻璃或塑膠 等之透明材料形成之矩形基板。於彩色濾光片基板3上設 置遮光層13,對應以遮光層13包圍之區域(像素),設置包 、、色層1 6R、綠色層16(5、藍色層1 6B之彩色瀘、光片1 6。 於彩色濾光片基板3,以包覆該彩色濾光片j 6之方式 形成保濩膜層(未圖示),於保護膜層上形成配向膜(未圖 不)。該配向膜係例如由聚醯亞胺等組成,表面研磨處理 過之水平配向膜。 另外,如圖2(b)所示,關於一個紅色層16R(另有綠色層 MG、藍色層16B),係設為短邊之長度s為例如17〇 ^以程 度’長邊之長度L為例如510 μιη程度之矩形。另外,關於 iw接之彩色濾光片丨6彼此之間隔,列方向之間隔η係約π ,行方向之間隔Τ2係約40 μιη。 (液滴喷出裝置) 其次,針對關於本實施型態之液滴噴出裝置(以下稱為 「1出裝置」)100進行說明。 如圖3所示,噴出裝置100係以保持液體材料丨1丨之槽 101,與介由管110由槽101供應液體材料Ul<喷出掃 102為主體之構成。 田 液體材料111有以下三種類:例如構成卜 驭上述之液晶裝置1 之彩色濾光片16之紅色層16R之材料(以下「 卜%為「紅色材 料」)111R,構成綠色層16G之材料(以 卜%為「綠色材 料」)111G,與構成藍色層16B之材料(以下 ,梅马1藍色材 料」)111Β〇 111102.doc -10- 1295235 9 1係包含:保持紅色材料111R之紅色材料槽1 〇 1 r、 :::綠,材料1UG之綠色材料槽1〇lG,與保特藍色材料 之现色材料槽101B,上述三種類之液體材料111係個 別保持。於久她,Λ 於各槽101,安裝例如未圖示之壓力泵。驅 ^ 7 ,猎由於槽101内部施加壓力,將液體材料111由槽 1 0 1内供應至噴出掃描部1 02。 在此作為紅色材料111R係使用··例如於聚胺酯募聚八 • ,月、、工之無機顏料(例如,紅色氧化鐵(III)或鎘紅等) 後/加入二丙二醇甲醚醋酸酯作為溶劑,進一步添加非離 子系界面活性劑為作分散劑,將黏度調整至特定範圍之溶 =卜’作為綠色材料111G係使用:㈣如於聚胺_寡聚合 物:放、、’彔色之無機顏料(例#,氧化絡綠或始綠等)後,加 衣己酮及醋酸丁基作為溶劑,添加非離子系界面活性劑 ;、、作刀放劑,將黏度調整至特定範圍之溶液。
4乍為皿色材料111Β·使用:例如於聚胺酯寡聚合 刀散藍色之無機顏料(例如,群青或深藍等)後,加入二 作7放蜊,將黏度調整至特定範圍之溶液。 喷出掃描部1 〇2係包含.杠加 11/1/Α 匕3 .托架103,其保持數個嘖頭 (…4)、托架位置控制裝置1〇4,其控制托架1〇3之 Α平 其保持構成彩色遽光片側母基板⑽ 千台位置控制裝置108,其控制平台 制部112。又,實際t於崦山⑽ 1置控 不上於W裝置⑽設置數個(例如⑼固) 111102.doc 1295235 托架103。於圖3為簡化說明,圖示一個托架ι〇3進行說 明。 托架位置控制裝置1〇4係因應來自控制部112之信號,使 托架103沿著X軸方向或2軸方向移動,且亦包含在以冰 為軸之旋轉方向旋轉托架1〇3之功能。平台位置控制裝置 108係因應來自控制部112之信號,沿¥軸方向移動平台 106且包έ在以Z軸為軸之旋轉方向旋轉平台1〇6之功 能。 如上述,托架103係藉由托架位置控制裝置104,移動於 X軸方向。另一方面,+台1〇6係藉由平台位置控制裝置 108之控制’移動軸方向。即,藉由托架位置控制裝置 及平口位置控制裝置108,改變喷頭114對平台106之相 對位置。 即,藉由使托架1〇3及平台1〇6之中,雙方之至少任一方
=’托架1G3可掃描平台1G6(或者保持於平台⑽之基體 1〇A)。以下,說明關於在本實施型態藉由使托架1〇3靜 止、平台1〇6移動以進行掃描之情況。 圖4係由平台106側觀察一個托架103之圖,垂直於圖4 ::面之方向為Z轴方向。另外,圖4之紙面之左右方:為: 軸方向,紙面之上下方向為γ軸方向。 /如該圖所示,托架103係保持具有分別相同之構造.大 ^之數個噴頭114。喷頭114有以τ三種類:噴出液體材料 之紅色材料之喷頭114R、喷出綠色材料111(}之 、碩114G、噴出藍色材料111Β之喷頭114Β。 ^1102.(300 -12- 1295235 於本實施例,在一個托架1 03分別各設置4個喷頭1丨4R、 噴頭114G、噴頭114B,喷頭114之數目共計12個。又,關 於噴頭114彼此之位置關係如後述。又,於本說明書亦有 將隣接Y軸方向之6個喷頭114標示為「噴頭群114p」。 圖5係表示喷頭114之底面114a。底面114a之形狀係包含 對向之二個長邊及對向之二個短邊之矩形。該底面114&係 朝向平台106側(圖中Z軸方向)。關於喷頭114之長邊方向
與圖中X軸方向,另外關於喷頭114之短邊方向與圖中¥軸 方向係分別平行。 另外,於該底面114a,例如於X軸方向將各9〇個噴嘴 配置成二行(行116A與行116Β)β另外,各噴嘴US之噴嘴 直徑以系約30 μηι。行丨16Α側之喷嘴118及行U6b側之噴嘴 118係分別於各行以特定之間距LNp(LNp:約丨扣配 置。另外,噴嘴行_之各喷嘴118之位置係對於嗔嘴行 WA之各喷嘴118之μ,以僅偏帛喷嘴間距LNp之—半 長度(約70陶)之方式配置於父軸方向之負方向(圖$之下方 向)。又’設置於喷頭114之噴嘴行不為2行亦可。例如, 增加為3行、4行.·.···._(M為自然數)之行數亦可, 行亦無妨。 、背订116A及噴嘴rU6b分別由9()個喷嘴所組 :第―=_有18°個噴嘴。但,由喷嘴如心 至J第5個為止之嗜嘴 ^ 、 不喷出液體材料休止嗜嘴· m 中以虛線包圍之部份1 n ^ 噴爲·圖5 墙 H 。同樣的,由噴嘴行116B之兩迪^ 苐5個噴嘴為止,亦+ 兩^到 丌為不贺出液體材料111之休止噴 ]1 】102.doc 1295235 中以虛線包圍之部份)。因此,於喷頭丨i4之丨8〇個噴嘴118 之中,除兩端之20個噴嘴以外之16〇個喷嘴118噴出液體 料111(噴出噴嘴)。 於本5兒明書’以說明喷頭114之位置關係為目的,將包 =於噴嘴116A之90個她18之中,㈣部數來第6個噴 為例如由圖中上端數來第6個之噴嘴丨丨8標示為噴頭11 * 之基準噴嘴U8R」。即,於喷嘴行116入之8〇個噴出噴嘴 • 中,位於圖中最上部之喷出噴嘴為喷頭114之「基準噴嘴 118R」。又,對於全部之喷頭114,「基準喷嘴11狀」之指 定方式相同即可,故「基板喷嘴n8R」之位置,不為上^ 位置亦可。 /其次,說明關於在喷頭群11415之6個噴頭114之位置關 係0 圖6係表示喷頭114之相對位置關係之圖。又,本圖中, 關於圖4所示之2組噴頭mR、n4G、U4B,分別標示為 •喷頭 U4Rl、114Gl、、114G2、114B2,以做 為區別。 如圖6所示,噴頭群丨丨仆係以與隣接之喷頭ιΐ4彼此於χ 方向偏開之方式配置。隣接於喷頭n4Ri之喷頭U4Gi係對 喷項1141,例如偏開於圖中X方向下側之方式設置。另 外,關於隣接於噴頭Gl之噴頭Βί亦相同,對於隣接之噴頭 例如以偏開於圖中χ方向下側之方式設置。關於瞵接 於喷頭114Β!之喷頭114R2 ;另外,隣接於該噴頭114^之 喷員114G2,另外,隣接於該喷頭U4G2之喷頭ιΐ4Β2亦相 nil02.doc -14 - 1295235 5 •寸於刀別隣接之噴頭i 14以偏開於圖中x方向下側之方 式設置。 另外,在圖中設置於噴頭114R1之基準噴嘴118尺之又方 jpfj ^(立罢或「 马 l_a」及「l-b」(以實線表示)。設置於噴頭 U4Gl之基準噴嘴118R之X方向之位置為「2_a」及「2-b」 (X虛線表不)。設置於喷頭114Βι之基準喷嘴118R之X方向 之位置為「3-a」及r 3_b」(以一點鎖線表示)。設置於喷 馨頭U4R2之基準噴嘴11811之又方向之位置為「4-a」及「4-b」(以實線表示)。設置於喷頭U4g2之基準喷嘴118][1之又 方向之位置為「5_a」及r5_b」(以虛線表示)。設置於喷 頭114B2之基準喷嘴11811之又方向之位置為「6_a」及「卜 b」(以一點鎖線表示)。 藉由作為相同構造之各噴頭114彼此以於χ方向偏開之方 式配置’設置於本身之基準噴嘴11811之又方向之位置 a)〜(6-b)互相偏開。該結果,於托架ι〇3掃描(scan)之際, φ 由作為喷嘴U8之最端部之基準喷嘴118R喷出之液體材料 111之條狀不均不重疊即可完成。 其次,說明喷頭114之内部構成。如圖7(a)及圖7(b)所 示’喷頭114分別為噴墨噴頭。更具體而言,喷頭1丨4分別 包含振動板126與喷嘴片128。於振動板126與噴嘴片128之 間’設置始終充填有自槽1〇1介由孔131供應之液體材料 111之儲液部129。 另外’於振動板126與喷嘴片128之間,設置數個隔壁 122。而,藉由振動板126、喷嘴片128、一對隔壁122包圍 111102.doc 15 1295235 之部份為凹槽120。每喷嘴118設置凹槽120,凹槽12〇之數 目與噴嘴118之數目相同。介由設置於一對隔壁122間之供 應口 130,由儲液部129供應液體材料11丨於凹槽12〇。 於振動板126上,振動子124對應各自之凹槽12〇而定 位。振動子124包含壓電元件124C、夾著壓電元件124C之 一對電極124A、124B。藉由賦予驅動電壓於該一對電極 124A、124B之間,由對應之喷嘴118喷出液體材料ιη。 又,以從喷嘴118於Z軸方向喷出液狀之材料之方式,調整 喷嘴118之形狀。又,亦可包含電性熱轉換元件以取代壓 電元件。亦即,亦可包含:利用由電性熱轉換元件造成材 料之熱膨脹,噴出液體材料1 i!之構成。 其次,依照圖8說明控制部π 2之構成。 控制部112係統合控制喷出液體材料丨丨丨之時序、或托架 103之固定位置、平台1〇6之移動(移動速度、移動距離等) 4關於噴出裝置1 〇 0之動作之部位。 如圖8所示’控制部112係包含:輸入緩衝記憶體2〇〇、 記憶機構202、處理部2G4、掃描驅動部2G6、噴頭驅動部 208 ;各部份彼此可通信連接。 輸入緩衝記憶體200接收噴出資料,該噴出資料其係由 連接於外部之例如資訊處理裝置等進行液體材料丨Η之液 滴噴出用#。輸人緩衝記憶體係供應噴出資料至處理 部2〇4,處理部204係將噴出資料儲存於記憶機構202。作 為5己憶機構202係例如使用RAM等。 處理部204係存取儲存於記憶機構2〇2内之噴出資料,且 Π 】102.doc 16 1295235 二於4噴出資料,供應必需之驅動信號至掃描藤動部撕 及贺頭驅動部208。 >知描驅動部206係根據驅動信號,供應特定之位置控制 信號至托架位置控制裝置1〇4及平台位置控制裝請。另 噴碩驅動部208係根據驅動信號,供應喷出液體材料 I11之噴出信號至各噴頭114。 噴頭驅動部208係如圖9⑷所#,包含一個驅動信號產生 4 203與數個類比開關八8。類比開關八§係連接於喷頭114 内之振動子124(具體而言係連接於電極124八。但電極 未圖不於圖9(a))。該類比開關As係分別對應噴嘴} i 8而設 置,設置與喷嘴118之個數相同之個數。 驅動信號產生部203係產生如圖9(吖所示之驅動信號 DS。驅動信號DS係獨立供應至類比開關八8之各個輸入端 子。驅動信號DS之電位係對基準電位L時間性變化。亦即, 驅動信號DS係將數個噴出波形p以喷出周期抑重複之信 號。喷出周期EP係藉由例如處理部2〇4調節至斯望之值。 驅動信號產生部203係可將驅動信號〇8僅輸出至特定之 類比開關AS ’可僅驅動喷出液體材料u丨之喷嘴H 8。另 外,可適當調節該喷出周期EP,可用將液體材料lu從數 個喷嘴11 8以特定順序喷出之方式,產生喷出信號。 (液晶裝置之製造方法(液滴喷出方式)) 其次,說明關於如此構成之液晶裝置1之製造步驟。 於本實施型態,例舉使用大面積之母基板整批形成數個 液晶裝置,藉由切割分離各個液晶裝置1之方法進行說 111102.doc •17- 1295235 明。 首先,簡單說明關於彩色濾光片侧母基板之形成步驟。 使基體10A保持於噴出裝置1〇〇之平台1〇6。於該基體 ,形成保持彩色濾光片16之各色層之被喷出部 (18R 1 8G、1 8B .參照圖1 〇等)。於被喷出部j 8R保持 紅色層16R、於被喷出部18G保持綠色層16(}、於被喷出部 18B保持藍色層16B。又,將基體i〇a保持於平台之 際,以將基體10A之短邊方向與χ軸方向一致,長邊方向 與γ軸方向一致之方式調節位置。 於該狀態’如圖10所示,使平台106由圖中左側往右側 移動。托架103係例如由圖中右側至左側掃描基體ι〇Α。此 時,托架103—面於基體1〇Α上掃描,一面由各噴頭丨14噴 出液體材料111。 ' 在此,於各喷頭114之喷出用喷嘴118(配置於兩端之基 準喷嘴118R之間之噴嘴)未遍及正交於掃描方向之正交方 向全體地覆蓋-個被噴出部18之情況,不於其被噴出部U 喷出液體材料ill。另外,於各喷頭114之喷出用噴嘴 蓋-個被喷出部18之全體之情況,喷出液體材料iu於其^ 噴出部18 ;於各噴頭114之喷出用噴嘴118未覆蓋—個被嘴 出部18全體之情況,不噴出液體材料m於其被噴出部。、 依照圖11具體說明。圖11係模式表示由各噴頭114噴出 液體材料111之狀態之圖。χ,於該圖中,為清楚說明, 以將基準喷嘴118R位於喷頭114之端部之方式表示。 圖11中’例如著眼於喷頭114R,該喷頭114R之噴出喷嘴 111102.doc 1295235 118(包含基準喷嘴118R)係覆蓋圖中最上段之被喷出部i8r 之一部份,覆蓋由圖中上面數來第2段之被喷出部1 8R之全 部,關於由圖中上面數來第3段之被喷出部18R,完全不覆 蓋。該情況,僅於全部之區域由喷嘴11 8覆蓋之被噴出部 1 8R ’亦即僅於圖中上面數來第2段之被喷出部1 gR,喷出 液體材料111(紅色材料111R)。 另外,著眼於喷頭1140,該喷頭1140之喷出喷嘴118係
覆蓋圖中最上段之被喷出部18G之一部份,覆蓋由圖中上 面數來第2段之被喷出部18G之全部,覆蓋由圖中上面數來 第3段之被噴出部1 8G之一部份。該情況,全部之區域,僅 喷出液體材料111(綠色材料111(3)至藉由喷嘴118所覆蓋之 被喷出部1 8G,即由圖中上面數來之第2段之被喷出部 18G。
另外,著眼於喷頭114B,該喷頭114B之喷出喷嘴118係 不復蓋圖中最上丰又之被噴出部18B,覆蓋由圖中上面數來 第2段之被噴出部18B之—部份,覆蓋由圖中上面數來第3 段之被噴出部18B之全部。該情況,全部之區域,僅噴出 液體材料叫藍色材料_)至藉由噴嘴118所覆蓋之被喷 出部1 8B,即由圖φ μ & t ^ 面數來之第3段之被喷出部18B。 以如此之方法嗜屮夕^主 、 丨月况,如圖1 〇所示,例如於圖中最 上列之各被噴出部1 8嗔屮線# 赁出、、杂色材料11丨〇,於由圖中上 來第2段之各被噴出邱喊山廿 口 丫上卸数 々 、° 噴出益色材料,於由圖中上面數 來弟3段之各被喷出邮 + 、口 贺出紅色材料111R,於圖中最下 段之各被噴出吾β 1 R + i ^ r 散,口 IU8贺出綠色材料lu。 111102.doc -19- 1295235 在第2次之後之掃描,以將欲噴之液體材料1丨丨之喷嘴 11 8,覆蓋未噴出液體材料111之被喷出部1 8之全體之方 式’移動托架103,如圖12所示,到喷出液體材料111於所 有被噴出部1 8為止,重複上述掃描。 簡單說明關於此後之步驟。於形成彩色濾光片16之基材 10 A上,形成未圖示之電極或布線,形成平坦化膜。另 外,於基體10A之表面,形成間隙控制用之未圖示之分隔 物及隔壁。以包覆形成於該基材丨〇 A之布線或濾光片之方 式形成配向膜,對该配向膜實行研磨處理。配向膜係可藉 由例如塗佈或印刷聚醯亞胺而形成。另外,將環氧樹脂所 組成之密封材形成矩形環狀,在以密封材包圍之區域塗佈 液晶。 其次,關於主動矩陣側母基板之形成係於玻璃或塑膠等 之透光性材料組成之大尺寸之基材形成布線、電極等,於 形成該布線、電極等之區域’形成平坦化膜。形成平坦化 膜後,則形成由聚醯亞胺等組成之配向膜,對該配向膜實 行研磨處理。 其-人將彩色遽光片伯;I母基板與主動料側母基板貼合成 面板狀。使兩基板接近’將主動矩陣側母基板接著於彩色 渡光片側母基板上之密封材。其後,於接著之兩母基板形 成劃線’沿著該劃線切割面板,進行切割後之各面板之洗 淨,於各面板實裝驅動器等。於各液晶面板之外側表面貼 著偏光板,安裝背光41,完成液晶裝置j。 々此才艮據本實施型態,將各個喷頭工Μ易產生條狀不 ini02.doc -20- 1295235 均之位置’亦即各喷頭114之基準喷嘴118R之X方向上之 位置’與每噴頭114偏開,故即使如上述,在托架103—面 於基體10A上掃描,一面噴出液體材料ηι之情況,藉由各 個喷頭114噴出之液體材料111之條狀不均之位置亦無重 $ ’可使全體之液體材料之條狀不均不明顯。 另外,將噴頭1 Μ如上述偏開之情況,產生以下之情 〆兄·在某被噴出部1 8,噴嘴11 8包覆該被喷出部1 8之正交 方向全體;在其他之被喷出部18,喷嘴1 18僅包覆該被喷 出。卩1 8之正交方向之一部份。如此之情況,必需一面使每 托采103於正父方向動作一面掃描而喷出液體材料111,但 變成在一個被噴出部18加上時間差喷出液體材料1丨1,所 喷出之液體材料111有產生不均之虞。 對此’根據本實施型態,被噴出部18藉由喷嘴118包覆 遍及正乂方向全體時,由平面上重疊之噴嘴1丨8,於其被 噴邛1 8噴出液體材料丨丨丨,故例如僅包覆被喷出部1 8之一 邛伤之6況,不噴出液體材料丨丨丨,在噴出之液體材料工“ 亦無產生不均。藉此,於基板全體可使液體材料丨丨1之不 均不明顯。 (電子機器) 其次,針對關於本發明之電子機器,例舉行動電話進行 說明。 圖13係表示行動電話300之全體構成之立體圖。 行動電話300包含:框體301、設置數個操作鈕之操作部 3〇2、顯示圖像或動晝、文字等之顯示部3〇3。於顯示部 111102.doc •21- 1295235 303搭載關於本發明之液晶裝置1。 如此’搭載顯示均勻之優質液晶裝置1,故可獲得顯示 性能優異之電子機器(行動電話300)。 本發明之技術範圍並不限定於上述實施型態,在不脫離 本發明之旨趣之範圍,可適當加以變更。 另外’上述實施型態之說明係將本發明適用於:將彩色 據光層16形成於液晶裝置1之彩色濾光片基板3之情況之 例’但不限於此例,例如可將本發明適用於:將有機層 (發光層等)形成於有機EL裝置用基板之情況。 【圖式簡單說明】 圖1係表示關於本發明之實施型態之液晶裝置之構成之 立體圖。 圖2(a)、(b)係表示關於本實施型態之彩色濾光 構成之平面圖。
之液滴噴出裝置之托架 圖?係表示關於本實施型態 之立體圖。 圖4係表示關於本實施型態 成之平面圖。 回U)、(b)係表示關於本實施型態之 頭之内部構成之區塊圖。 之噴頭之配 圖5係表示關於本實施型態 部構成之平面圖。 圖6係表示關於本實施型態 置之圖。 圖 7(a)、 之液滴噴出裂置之噴頭 之液滴噴出裝置 液滴噴出裝置之噴 111102.doc -22- 1295235 圖8係表示關於本實施型態之液滴噴出事置 構成之圖。 之控制部 之 噴出裝置之噴頭驅動 動信號(b)之圖。 出方法之圖(其1)。 出方法之圖(其2)。 出方法之圖(其3)。 圖9係表示關於本實施型態之液滴 部之構成(a)及供應往喷頭驅動部之.驅 圖1 〇係表示關於本施型態之液滴嘴 圖11係表示關於本施型態之液滴噴 圖12係表示關於本施型態之液滴噴
圖13係表示關於本發明之電子機器之構成之立體圖 【主要元件符號說明】 1 液晶裝置 2 主動矩陣基板 3 彩色濾光片基板 10A 基體
16 18(18R,18G,18G) 100 103
106 111(111R,111G,111B) 114(114R,114G,114B) 114P 彩色渡光片 被喷出部 液滴噴出裝置(喷出裝置) 托架 平台 液體材料 喷頭 喷頭群 118 喷嘴 300 行動電話 111102.doc •23·

Claims (1)

1295235 、申請專利範圍: ι· 一種液滴噴出方法,其特徵在於:其係數個嘴出頭 ::對:地於基板上掃描,一面由設置於前述噴出頭之數 者嘴g出功能液之液滴至設置於前述基板之被噴出部 與前述掃描方向正交之正交方向中,包 嘴之噴出區域之大小, 個嘴 部之大小; 又方向中則述被噴出 則述被噴出部全體包含於前述 個喷嘴喑屮1、+、丄 码L a時’由則述數 、、别述功能液之液滴至前述被喷出部, 被喷出部之中至少一邱 而則述 區域時,不由〜 述數個喷嘴之喷出 述被喷出:核個嗔嘴喷出前述功能液之液滴至前 2_:;請在 數… 將設置於前:正:方:刖述噴出頭之前述數個嘴嘴中, 中之位置端部之噴嘴之前述正交方向 前述基板上掃描。 ’彳目對性地於 3. 4. 一種光電以,其特徵在於包含:藉由 液滴喷出方法噴出功能液之基板。 4項⑷之 置-種電子機器’其特徵在"載如請求項3之光電裝 niI02.doc
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4341589B2 (ja) 2005-06-10 2009-10-07 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法
JP5243954B2 (ja) * 2006-05-15 2013-07-24 東レエンジニアリング株式会社 カラーフィルタ製造方法およびその装置
JP2010234170A (ja) * 2007-08-10 2010-10-21 Toray Eng Co Ltd 塗布装置
JP4501988B2 (ja) * 2007-11-01 2010-07-14 セイコーエプソン株式会社 機能液滴吐出ヘッドの機能液充填方法、機能液供給装置および液滴吐出装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2839133B2 (ja) * 1994-03-31 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法
JP3111024B2 (ja) * 1995-07-19 2000-11-20 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造装置及び製造方法及び表示装置の製造方法及び表示装置を備えた装置の製造方法
JP2000289233A (ja) 1999-04-05 2000-10-17 Casio Comput Co Ltd 印字ヘッド
JP2000343716A (ja) 1999-06-08 2000-12-12 Casio Comput Co Ltd インクジェットプリンタヘッド
US7305004B2 (en) * 2001-01-16 2007-12-04 At&T Corp. Interference suppression methods for 802.11
JP2003159787A (ja) * 2001-11-28 2003-06-03 Seiko Epson Corp 吐出方法およびその装置、電気光学装置、その製造方法およびその製造装置、カラーフィルタ、その製造方法およびその製造装置、ならびに基材を有するデバイス、その製造方法およびその製造装置
US6736484B2 (en) * 2001-12-14 2004-05-18 Seiko Epson Corporation Liquid drop discharge method and discharge device; electro optical device, method of manufacture thereof, and device for manufacture thereof; color filter method of manufacture thereof, and device for manufacturing thereof; and device incorporating backing, method of manufacturing thereof, and device for manufacture thereof
KR100506642B1 (ko) * 2001-12-19 2005-08-05 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 디스플레이 패널의 패턴 형성방법 및 형성장치
JP3922177B2 (ja) * 2002-02-12 2007-05-30 セイコーエプソン株式会社 成膜方法、成膜装置、液滴吐出装置、カラーフィルタの製造方法、表示装置の製造方法
JP2004209409A (ja) * 2003-01-06 2004-07-29 Seiko Epson Corp 基板の製造方法、液滴吐出装置、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、および、電子機器
JP4023344B2 (ja) * 2003-03-10 2007-12-19 セイコーエプソン株式会社 描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP2004298787A (ja) * 2003-03-31 2004-10-28 Seiko Epson Corp 描画装置、電子光学装置及び電子機器
US7643794B2 (en) * 2003-04-07 2010-01-05 Yoram Ofek Multi-sector antenna apparatus
JP4506118B2 (ja) * 2003-07-02 2010-07-21 セイコーエプソン株式会社 吐出装置、カラーフィルタ基板の製造装置、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置、プラズマ表示装置の製造装置、配線製造装置、および塗布方法。
JP2005155461A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Sanyo Electric Co Ltd 圧縮機
TWI287375B (en) * 2004-11-23 2007-09-21 Inst Information Industry Parallel transmission method and the system of a wireless local area network
JP2006279201A (ja) 2005-03-28 2006-10-12 Toshiba Tec Corp 無線タグ読取装置
JP4341589B2 (ja) 2005-06-10 2009-10-07 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出方法

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