TW592983B - Film-forming device, liquid filling method thereof, device manufacturing method, device manufacturing apparatus, and device - Google Patents

Description

592983 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於製膜裝置及其液狀體塡充方法及元件製造 方法及元件製造裝置以及元件。 【先前技術】

伴隨電子機器，例如電腦或攜帶型資訊終端機之發 展，液晶顯示元件，特別是彩色液晶顯示元件之使用增 加。此種液晶顯示元件使用彩色濾光片使顯示影像彩色 化。彩色濾光片，具有基板，對該基板供給特定圖型之R (紅）、G (綠）、B (藍）之油墨而形成。對基板供給 油墨之方式採用例如噴墨方式之製膜裝置。

採用噴出步驟時係於製膜裝置由噴頭對基板噴出特定 量油墨，而噴出油墨之手段大多採用，在構成貯墨槽之壁 面形成多數噴嘴口之同時，與各噴嘴口呈對向、且伸縮方 向一致地配置壓電元件。如特開昭6 3 - 2 9 5 2 6 9號公報所 示，此種壓電元件係將電極與壓電材料交互積層爲夾層 狀，塡滿噴頭之噴孔（貯墨部）內的油墨藉由壓電元件之 變形產生之壓力波而被噴出。 此種噴頭，其可噴出之油墨黏度有限制，難以噴出高 黏度油墨。因此，習知技術提供於介由供給口而與壓力室 連通之貯墨槽設置加熱器（發熱體）（特開平5 - 2 8 1 5 62 號公報），或於噴頭及貯墨槽雙方埋入加熱器（特開平9 一 1 64702號公報）。使用彼等技術將高黏度油墨予以低 -4 - (2) (2)592983 黏度化成爲可噴出之黏度，使習知製膜困難之工業藥品可 以使用。 【發明內容】 (發明所欲解決之課題） 但是，上述習知技術存在以下問題。加熱時特性會變 質之油墨存在之故，對於此種油墨無法採用上述加熱使低 黏度化之方法，無法改善噴出困難之問題點。 另外，塡充油墨於噴頭內時，例如係將噴頭外部之貯 墨槽與噴頭連接，對噴頭之噴嘴部分施予負壓吸引。 但疋，噴頭內部之油墨流路極細微，在彎曲部分或流 路寬度變化處，凹凸部等，油墨之淤塞部分會有氣泡產 生，無法將其排出。如上述當氣泡殘留於噴頭內部時，油 墨噴出時之壓力損失變大，不僅造成噴出不穩定，甚而會 有無法噴出油墨之問題產生。 本發明有鑑於上述問題，目的在於提供一種即使高黏 度油墨，加熱不會於流路殘留氣泡，可塡充噴頭的製膜裝 置及其液狀體塡充方法及元件製造方法及元件製造裝置以 及元件。 (用以解決課題的手段） 爲達成上述目的之本發明採用以下構成。 本發明之製膜裝置之液狀體塡充方法，係對具備噴出 液滴之噴頭的製膜裝置之上述噴頭塡充液狀體的方法，其 -5- (3)592983 特徵爲包含：振動賦與步驟，係在上述液狀體塡充時對該 液狀體賦與振動。 因此，本發明中，塡充時液狀體和氣泡同時容易移 動，可抑制氣泡殘留於液狀體淤塞部分。因此，氣泡不會 殘留於流路，可以將液狀體塡充於噴頭，可以防止液狀體 之噴出不穩定、不能噴出等不良情況之發生。

又，本發明亦適用液狀體爲非牛頓（Newton )型擬塑 性流體者。非牛頓型擬塑性流體被賦與振動時流速變快， 結果黏度變小。因此，即使是高黏度液狀體，不必施予加 熱亦可縮小塡充時之黏度，可提升流動性。依此則氣泡不 會殘留於流路可予以排出，可以防止液滴排出之不穩定， 排出不能之狀態。 又，包含噴出步驟，俾藉由壓電元件之驅動對上述噴 頭賦與振動據以噴出液滴之情況下，較好是於振動賦與步 驟藉由該壓電元件之驅動對液狀體賦與振動。

依此則本發明中，不必另外設置機構用於在塡充時對 液狀體賦與振動，有助於裝置之小型化及低價格化。又， 此情況下，於振動賦與步驟中，較好在噴頭不噴出液滴之 振動特性下對液狀體賦與振動。 又，包含噴出步驟，俾於液狀體產生氣泡據以噴出上 述液滴之情況下，於振動賦與步驟亦可採用藉由氣泡伸縮 對液狀體賦與振動之程序。此情況下，不必另外設置機構 用於在塡充時對液狀體賦與振動，有助於裝置之小型化及 低價格化。 -6 - (4)592983 另外，本發明之元件製造方法，係具備塡充步驟俾對 噴頭塡充液狀體，及製膜步驟俾由上述噴頭噴出液滴而於 基板上進行製膜者；其特徵·爲：使用上述製膜裝置之液狀 體搞充方法進行上述塡充步驟。 依此則本發明中，可以防止液狀體塡充時氣泡殘留於 噴頭、液滴排出不穩定、以及排出不能等狀態，可以在所 要噴出特性下於基板上進行製膜。

本發明之製膜裝置，係具備噴頭用於噴出液滴者，其 特徵爲具備：振動賦與裝置，係於對上述噴頭塡充上述液 狀體時，對上述液狀體賦與振動。 因此，本發明中，塡充時液狀體和氣泡同時容易移 動，可抑制氣泡殘留於液狀體淤塞部分。因此，氣泡不會 殘留於流路，可以將液狀體塡充於噴頭，可以防止液狀體 之噴出不穩定、不能噴出等不良情況之發生。

又，本發明之製膜裝置中，液狀體爲非牛頓型擬塑性 流體者液適用。非牛頓型擬塑性流體被賦與振動時流速變 快，結果黏度變小。因此，即使是高黏度液狀體，不必施 予加熱亦可縮小塡充時之黏度，可提升流動性。依此則氣 泡不會殘留於流路可予以排出，可以防止液滴排出之不穩 定，排出不能之狀態。 振動賦與裝置較好爲，對噴頭賦與振動而噴出液滴的 壓電元件。依此則本發明中，不必另外設置機構用於在塡 充時對液狀體賦與振動，有助於裝置之小型化及低價格 化。又，此情況下，較好在噴頭不噴出液滴之振動特性下 (5)592983 對液狀體賦與振動。 又，振動賦與裝置亦可採用以下構成，亦即具有··氣 泡產生裝置，俾於上述液狀體產生氣泡據以噴出上述液 滴；及控制裝置，俾控制上述氣泡產生裝置之驅動使上述 產生之氣泡伸縮。 此情況下，不必另外設置機構用於在塡充時對液狀體 賦與振動，有助於裝置之小型化及低價格化。

另外，本發明之元件製造裝置，係具備製膜裝置俾藉 由噴頭噴出之液滴於基板上製膜；其特徵爲：該製膜裝 置，係使用上述說明之製膜裝置。 依此則本發明中，可以防止液狀體塡充時氣泡殘留於 噴頭、液滴排出不穩定、以及排出不能等狀態，可以在所 要噴出特性下於基板上進行製膜。

本發明之元件，其特徵爲：藉由上述元件製造裝置所 製造者。依此則本發明中，可以穩定噴出之液滴形成膜， 可獲得高品質元件。 【實施方式】 以下參照圖1 - 7說明本發明之製膜裝置及其液狀體 塡充方法及元件製造方法及元件製造裝置以及元件之實施 形態。 於此，說明本發明之製膜裝置適用，例如使用液狀體 等之油墨製造液晶元件使用之彩色濾光片等濾光片製造裝 置之例。又，本發明可用之液體包含於液狀體。亦即，液 •8· (6)592983 狀體，除上述液體以外，亦可爲包含例如金屬等微粒子之 液狀體。 圖1爲濾光片製造裝置（元件製造裝置）之製膜裝置 (噴墨裝置）1 0之槪略外觀斜視圖。該濾光片製造裝置 具備具有同樣構造之3基之製膜裝置10,各製膜裝置 1 0，分別將R、G、B各色油墨噴出於濾光片基板。

製膜裝置10具有：基台12,第1移動手段14,第2 @動手段1 6，電子天平（重量測定手段）（未圖示）， 作爲液滴噴頭之油墨噴頭20，帽蓋單元22,潔淨單元24 等。於基台12上設置第1移動手段14、電子天平、帽蓋 單元22、潔淨單元24及第2移動手段16。

第1移動手段14,較好直接設於基台12上，而且該 第1移動手段1 4沿Y軸方向被定位。相對於此，第2移 動手段1 6則使用支柱1 6 A、1 6 A相對於基台1 2被豎立 安裝，而且第2移動手段16安裝於基台12之後部12 A。第2移動手段16之X軸方向，係與第1移動手段14 之Y軸方向呈正交之方向。Y軸爲沿基台12前部12 B與 後部1 2 A方向之軸。相對於此，X軸爲沿基台1 2左右方 向之軸，各爲水平。 第1移動手段14具有導軌40、40，第1移動手段14 可採用例如線性馬達。該線性馬達形式之第1移動手段 14之滑動部42可沿導軌40移動於Y軸方向而定位。 滑動部4 2具備0軸用馬達4 4。該馬達4 4例如爲直 接驅動馬達，馬達44之轉子固定於平台46。依此則藉由 -9- (7)592983 對馬達44通電，轉子與平台46沿0方向旋轉，可.對平台 46進行分度（旋轉分度）。 平台46用於定位基板48並予以保持。平台46具有 吸附保持手段5 0 ,藉由吸附保持手段5 0之動作，經由平 台46之孔46 A將基板48吸附、保持於平台46上。於平 台46設有預備噴出區域52，油墨噴頭20可進行油墨之 預備噴出。

第2移動手段16具有被固定於支柱16 A、16 A的 列柱1 6 B，該列柱1 6 B具有線性馬達形式之第2移動手 段1 6。滑動部60具備作爲油墨噴出手段之油墨噴頭20。

油墨噴頭20具備搖動定位手段之馬達62、64、66、 68。馬達62做動時，油墨噴頭20沿Z軸上下移動而被定 位。該Z軸對X軸與Y軸分別爲正交之方向（上下方 向）。馬達64做動時，油墨噴頭20沿Y軸旋轉之/3方向 搖動而被定位。馬達6 6做動時，油墨噴頭2 0沿X軸旋轉 之r方向搖動而被定位。馬達68做動時，油墨噴頭20沿 Z軸旋轉之α方向搖動而被定位。 如上述，圖1之油墨噴頭20,可於滑動部60,於Ζ 軸方向直線移動被定位，可沿α方向、/3方向、r方向搖 動而被定位，油墨噴頭20之油墨噴出面20 P，對於平台 46側之基板48可正確定位或控制其姿勢。又，於油墨噴 頭2 0之油墨噴出面2 0 P分別設有噴孔作爲噴出油墨之多 數（例如120個）開口部。 以下參照圖2說明油墨噴頭20之構造例。油墨噴頭 -10- (8)592983 2 0爲例如使用壓電元件之噴頭，如圖2 ( A )所示 本體9 0之油墨噴出面2 Ο P形成多數噴孔9 1。於 孔91分別設壓電元件92。 如圖2 ( B )所示，壓電元件9 2係和噴孔9 1 室9 3對應配置，位於例如一對電極（未圖示）間 時朝外側突出彎曲。如圖2 ( C )所示對壓電元件 加施加電壓V h,則如圖2 ( D )、 （ F )、及（ 示，可使壓電元件9 2朝箭頭Q方向伸縮，可對油 而由噴孔9 1噴出特定量之液滴（油墨滴）99。 以下更詳細說明之，如圖3 ( a )之噴出波 示，於正斜率波形部a 1，油墨室擴大、容積變大 大之容積部分相當之油墨流入油墨室。另外，於負 形部a2被施加施加電壓V h，油墨室縮小，油墨 而由噴孔91噴出特定量油墨。又，油墨噴頭20之 式，除上述使用壓電元件92之壓電噴墨方式以外 使用例如熱膨脹之熱噴墨方式。 圖4簡單表示油墨噴頭20相關之驅動控制系 供給系。貯存於油墨槽2 5之油墨介由油墨路徑2 6 油墨噴頭20。於控制裝置28之控制下將適合油墨 溫度之驅動電壓經由油墨噴頭驅動裝置2 7分別施 噴孔91 ,俾對設於油墨噴頭20之壓電元件92噴 量油墨。又，控制裝置28控制油墨噴頭驅動裝置 僅將圖3 ( a )所示噴出波形，亦將圖3 ( b )所示 波形及驅動波形施加於壓電元件9 2。 於噴頭 彼等噴 及油墨 ,通電 92施 E )所 墨加壓 形圖所 ,與增 斜率波 被加壓 噴墨方 ,亦可 及油墨 被供至 種類、 加於各 出特定 27,不 微振動 -11 - (9)592983

該微振動波形爲，在正斜率波形部b 1擴大油墨室， 在負斜率波形部b2施加施加電壓V 1使油墨室縮小、被 加壓，施加電壓V 1設爲油墨不會由噴孔9 1被噴出之大 小。亦即，將該微振動波形電壓施加於壓電元件92，使 凹凸面重複分離/接近產生微振動。亦即，以壓力產生手 段之壓電元件92作爲振動產生手段（振動賦與裝置）， 且油墨不會由噴孔9 1噴出之振幅（振動特性）下予以驅 動。

潔淨單元24,可於濾光片製程中或待機時定期或隨 時進行油墨噴頭20之噴孔等之潔淨。帽蓋單元22 ,係於 非濾光片製程之待機時使油墨噴出面2 0 P不會與外部空 氣接觸地予以保持，使油墨噴頭20之噴孔內油墨不致於 乾燥。潔淨單元24具備移動手段，可於吸附墊及控制裝 置28之控制下使該吸附墊相對於油墨噴頭20在接觸位置 與分離位置間移動（參照圖4 )。於吸附墊連接由吸附泵 等構成之吸附手段（塡充手段）29 ,介由吸附墊被吸附之 油墨被排出廢氣液槽。 回至圖1 ,電子天平管理、測定由油墨噴頭20之噴 孔噴出之油墨滴1滴之重量，例如由油墨噴頭20之噴孔 接受5000滴分之油墨滴。電子天平，將該5000滴油墨滴 之重量分爲5 000分，可正確測定油墨滴1滴之重量。依 該油墨滴之測定量可以最適當控制由油墨噴頭20噴出之 油墨滴之量。 以下說明對油墨噴頭2 0塡充油墨之動作。 -12- (10)592983 於製膜處理步驟（液滴噴出步驟）最初液體未被導入 油墨噴頭20。因此，於製膜處理前藉由吸附手段29吸附 油墨噴/頭2 0導入油墨。具體言之爲，首先控制裝置28, 介由移動手段使潔淨單元24之吸附墊接觸油墨噴頭20, 使吸附手段29動作，則油墨槽25內之油墨被吸附，經由 給液管26塡充於油墨噴頭20。塡充於油墨噴頭20之油 墨被吸附於吸附墊，介由吸附手段29排至廢氣液槽3 0。

對油墨噴頭2 0進行油墨塡充時，控制裝置2 8控制油 墨噴頭驅動裝置27 ,將圖3 ( b )所示微振動波形之驅動 電壓施加於壓電元件92，依此則在油墨不致於由噴孔9 1 噴出之範圍內可對油墨噴頭2 0內之油墨賦與振動。依此 則即使油墨內有氣泡時油墨與氣泡同時被振動，氣泡附著 於流路內壁部時，或者油墨淤塞部分有氣泡殘留時，氣泡 亦容易被移動，油墨和氣泡可同時由油墨噴頭2 0排出。

一般流體分爲黏度與移動速度無關之牛頓型流體，及 黏度依移動速度變化之非牛頓型流體，而非牛頓型流體依 黏度變化之傾向再度區分爲膨脹流體及擬塑性流體（擬似 塑性流體）。圖5表示各流體之移動速度與黏度之關係， 如圖示，牛頓型流體即使移動速度變大黏度亦大略保持一 定，非牛頓型流體中之膨脹流體則隨移動速度變大其黏度 亦變大。另外，非牛頓型流體之中之擬塑性流體隨移動速 度之變大其黏度變小。 因此，使用非牛頓型擬塑性流體油墨時，對油墨噴頭 20之塡充時賦與振動，則隨油墨移動速度之變大其黏度 -13- (11)592983 將變小。因此，如上述藉由振動容易移動氣泡之同時，可 以降低油墨黏度、提升流動性，氣泡容易排出、不致於殘 留油墨噴頭20內。 以下說明油墨噴頭20之驅動。

如上述例如溫度控制於40 °C之油墨由油墨槽25介由 給液管26塡充於油墨噴頭20 ,則由油墨噴頭驅動裝置27 施加圖3 ( a )所示噴出波形之驅動電壓，與任一噴孔9 1 對應之壓電元件92被以任意間隔、週期驅動，由特定噴 孔9 1噴出油墨。 以下說明製膜處理步驟。當操作者由平台46前端側 將基板48供至第1移動手段14之平台46上時，該基板 48被吸附、保持、定位於平台46。之後馬達44動作，基 板4 8之端面設爲與Y軸方向並列。 之後，油墨噴頭2 0沿X軸方向移動，定位於電子天 平上部，進行指定滴數（指定油墨滴數）之噴出。

依此則電子天平計測例如5 000滴之油墨重量，計算 相當於油墨滴1滴之重量，判斷相當於油墨滴1滴之重量 是否在預定之適當範圍內，在適當範圍外時進行壓電元件 3 〇之施加電壓調整，適當調整相當於油墨滴1滴之重 量。 相當於油墨滴1滴之重量在適當範圍內時，基板4 8 藉由第1移動手段14被適當移至Y軸方向而定位之同 時，藉由第2移動手段16使油墨噴頭20適當移至X軸方 向而定位。油墨噴頭2 0，由全噴孔對預備噴出區域5 2進 -14 - (12)592983 行油墨之預備噴出後，對基板4 8相對移動於Y軸方向 (實際上基板4 8對油墨噴頭2 0移動於Υ軸方向），由特 定噴孔以特定寬對基板48上之特定區域噴出油墨。當油 墨噴頭2 0與基板4 8之一次相對移動結束後，油墨噴頭 2〇對基板48朝X軸方向移動特定量步進，之後，於基板 48相對於油墨噴頭20移動期間噴出油墨。重複多數次該 動作即可於製膜區域全體噴出油墨進行製膜。

以下參照圖6及7說明使用製膜處理製造彩色濾光片 之例。 圖6之基板48可用透明基板、具適度機械強度，且 光透過性高者。基板4 8適用例如透明玻璃基板、丙稀基 玻璃、塑膠基板、塑膠薄膜以及彼等之表面處理品等。

例如圖7所示於長方形基板4 8上，就生產性觀點而 言以矩陣狀形成多數個彩色濾光片區域1 〇 5。彼等之彩色 濾光片區域105於其後切斷玻璃48作爲適合液晶顯示裝 置用之彩色濾光片。 如圖7所示，於彩色濾光片區域105上以特定圖型形 成R、G、Β各色之油墨予以配置。形成之圖型，除習知 直條狀以外，可用鑲嵌型、三角形或正方形等。特別是傾 斜油墨噴頭20使噴孔間隔對應畫素部之配列間隔時，直 條狀一次能噴出之噴孔數較多，效果較好。 圖6爲對基板48形成彩色濾光片區域105之步驟之 一例0 於圖6 ( a ),係在透明基板4 8之一方面形成暗矩陣 -15- (13) (13)592983 l l 〇者。於彩色濾光片之基礎的基板4 8上，以自旋塗敷 法等塗敷特定厚度（例如約2um)之不具光透過性之樹脂 (較好爲黑色），-以微影成像技術等方法設置矩陣狀之暗 矩陣11 〇。暗矩陣丨i 〇之格子包圍之最小顯示要素成爲濾 光片單元，例如爲x軸方向之寬3〇um、γ軸方向之長 lOOum之程度之尺寸之窗。 形成暗矩陣1 1 〇之後，藉由加熱器加熱將基板4 8上 之樹脂予以燒結。 如無6 ( b )所示，油墨滴9 9被供至濾光片單元 1 1 2 °油墨滴9 9之量爲考慮加熱工程中油墨體積減少之足 夠之量。 於圖6(c)之加熱工程，當彩色濾光片上之全濾光 片單元112被塡充油墨滴99之後，使用加熱器進行加熱 處理。 基板48被加熱至特定溫度（例如7〇 t )。當油墨之 溶媒蒸發後，油墨體積減少。體積減少快速時重複進行油 墨噴出步驟，及加熱步驟，直至獲得足夠油墨厚度之彩色 爐光片。依此處理，油墨之溶媒蒸發，最後僅油墨之固形 部分殘留成爲膜。 於圖6(d)之保護膜形成步驟中，爲使油墨滴99完 全乾燥，進行特定溫度，特定時間加熱。乾燥終了後形成 保護膜120,俾達成形成有油墨膜之彩色濾光片基板48 之保護以及濾光片表面之平坦化。保護膜1 20之形成可用 例如自旋塗敷法、旋轉塗敷法、唇形法等。 -16- (14)592983 於圖6 ( e )之透明電極形成步驟中，使用濺射法或 真空蒸鍍法等於保護膜1 2 0全面形成透明電極1 3 0。 於圖6 ( f)之圖型形成步驟中，透明電極13〇被圖 型化成爲與濾光片單元1 1 2之開口部對應之畫素電極。 又，液晶驅動使用T F T (薄膜電晶體）時不需該圖 型化。又，於上述製膜處理間，較好定期或隨時使用潔淨 單元24進行油墨噴頭20之油墨噴出面20 P之淸除。

如上述說明，於本實施形態中，油墨塡充時設置對該 油墨賦與振動之步驟，則即使高黏度油墨，進行油墨塡充 時亦可移動氣泡使氣泡不致於殘留油墨噴頭內部。特別是 擬塑性流體油墨時，不僅移動氣泡，在不必加熱油墨之情 況下可減低油墨黏度，氣泡容易由油墨噴頭排出。因此即 使是高黏度油墨或無法加熱油墨亦可由油墨噴頭穩定地予 以排出，可於所要噴出特性下於基板上製膜。結果，以油 墨噴頭20噴出之油墨所製造之元件，可達成所要形狀、 尺寸，可維持品質。 又，本實施形態中，由油墨噴頭20噴出油墨時驅動 之壓電元件92，兼作爲油墨塡充時之振動賦與裝置，不 必另外設置振動賦與裝置，可達成裝置之小型化及低價格 化。 又，本發明不限於上述實施形態，在不脫離本發明要 旨情況下可做各種變更。 例如上述實施形態中，構成爲藉由壓電元件由油墨噴 頭噴出油墨。但亦可於油墨噴頭內設置加熱器（氣泡產生 -17- (15)592983 裝置），於控制裝置之控制下使用加熱器加熱產生之氣泡 噴出油墨。此情況下，可於油墨塡充時，在油墨不被排出 範圍內連續施予加熱器之驅動、停止，使氣泡伸縮V對油 墨賦與振動，和使用上述壓電元件之情況可獲得同樣之作 用、效果。

又，上述實施形態中，製膜裝置爲適用濾光片製造裝 置之構成，但並不限於此，例如用紙等之印字、製膜之印 表機（繪圖機）等亦可適用。

又，本發明之元件製造裝置不限於液晶顯示元件用之 彩色濾光片之製造，例如亦可用於E L (電激發光）顯示 元件。E L (電激發光）顯示元件之構成爲具有，以陰極 與陽極挾持含有螢光性之無機及有機化合物薄膜，於上述 薄膜植入電子及電洞使再結合而產生激光子，利用該激光 子非活化時之光之射出（螢光、燐光）而發光的元件此種 E L (電激發光）顯示元件使用之螢光性材料之中，呈現 R、G、B各發光色之材料，亦即發光層形成材料，以及 電洞植入/電子輸送層之形成材料以油墨構成，分別使用 本發明之元件製造裝置，於TFT或TFD等元件基板上 施予圖型化，可以製造自發光型全彩EL元件。本發明之 元件範圍包含此種E L元件。 此情況下，例如和上述彩色濾光片之暗矩陣同樣地使 用樹脂阻劑形成依每一像素區隔之隔壁之同時，爲使排出 之液滴容易附著於下層之表面，而且，防止隔壁排拒排出 之液滴而與鄰接之區隔之液滴之間之混合，對基板進行電 -18- (16)592983 漿、'^^'處理、耦接處理等表面處理作爲液滴噴出之前步 驟。之後，經由以電洞植入./電子輸送層之形成材料爲液 滴予以供給而製膜的第1製膜處理步驟，以及同樣形成發 光層之桌2製膜步驟而製造。

如此製造之E L元件可用於分段顯示或全面同時發光 之靜止畫顯示，例如圖畫、文字、標籤等之低層次資訊領 域，或者作爲具點、線、面形狀之光源使用亦可。又，從 被動式驅動之顯示元件到T F T等主動元件驅動之使用， 可得高亮度、響應性佳之全彩顯示元件。 又，於本發明之製膜裝置供給金屬材料或絕緣材料， 可形成金屬配線或絕緣膜等直接之細微圖型，可用於新穎 之高機能元件之製作。

又，上述實施形態中，爲方便起見稱爲「噴墨裝置」 以及「油墨噴頭」，噴出之噴出物以「油墨」做說明，但 該油墨噴頭所噴出之噴出物不限於油墨，只要是作爲液滴 可由油墨噴頭調整爲可噴出者即可，例如亦包含上述EL 元件之材料、金屬材料、絕緣材料，或半導體材料等各種 材料。 又，圖示之製膜裝置之油墨噴頭20可噴出R、G、 B各色之中丨種之油墨，但是亦可同時噴出其中2種或3 種油墨。又，製膜裝置1〇之第1移動手段14及第2移動 手段1 6使用線性馬達，但並不限於此，亦可用其他種類 之馬達或制動器。 -19- (17) (17)592983 (發明效果） 如上述，本發明中，即使是高黏度液狀體亦不必施予 加熱，氣泡不會殘留於流路，油墨噴頭容易塡充，可以排 出穩定之液滴，可以所要噴出特性施予製膜之同時，可達 成裝置之小型化及低成本化。又，本發明中不致於發生噴 出不穩定引起之品質不良，可得高品質之元件。 【圖式簡單說明】 圖1 :構成本發明之濾光片製造裝置的製膜裝置之槪 略外觀斜視圖。 圖2 :油墨噴頭之構造，（A )爲油墨噴頭本體之外 觀斜視圖，（B )爲一部分之擴大圖，（C )爲時間與施 加電壓之關係圖，（D) —（F)爲依每一施加電壓表示 之液體室之動作圖。 圖3 : ( a )爲噴出波形圖，（b )爲微振動波形圖。 圖4 :油墨噴頭之驅動控制系及油墨供給系之圖。 圖5 :流體之移動速度與黏度之關係。 圖6 ( a ) -（ f) ••使用基板製造彩色濾光片之順序 之一例。 圖7 :基板及基板上之彩色濾光片區物之一部分之 圖。 (符號說明） 1 〇、製膜裝置（噴墨裝置） -20- (18) (18)592983 20、油墨噴頭（液滴噴頭） 2 8 ;控制裝置 4 8、基板 · 92、壓電元件（振動賦與裝置） 99、液滴（油墨滴）

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Claims (1)

1. (1) (1)592983 拾、申請專利範圍 1 · 一種製膜裝置之液狀體塡充方法，係對具備噴出液 滴之噴頭的製膜裝置之上述噴頭塡充液狀體的方法，其特 徵爲包含： 振動賦與步驟，係在上述液狀體塡充時對該液狀體賦 與振動。 2 ·如申請專利範圍第1項之製膜裝置之液狀體塡充方 法，其中 上述液狀體爲非牛頓（Newton )型擬塑性流體。 3 ·如申請專利範圍第1或2項之製膜裝置之液狀體塡 充方法，其中 包含噴出步驟，俾藉由壓電元件之驅動對上述噴頭賦 與振動據以噴出上述液滴， 在上述振動賦與步驟係藉由壓電元件之驅動對上述液 狀體賦與振動。 4·如申請專利範圍第3項之製膜裝置之液狀體塡充方 法，其中. 在上述振動賦與步驟，係在由上述噴頭不噴出上述液 滴之振動特性下賦與上述振動。 5 ·如申請專利範圍第！或2項之製膜裝置之液狀體塡 充方法，其中 包含噴出步驟，俾於上述液狀體產生氣泡據以噴出上 述液滴， 在上述振動賦與步驟係藉由上述氣泡伸縮對上述液狀 -22- (2) (2)592983 體賦與振動。 6 · —種元件製造方法，係具備塡充步驟俾對噴頭塡充 液狀·體，及製膜步驟俾由上述噴頭噴出液滴而於基板上進 行製膜；其特徵爲：使用申請專利範圍第1 一 5項中任〜 項之製膜裝置之液狀體塡充方法進行上述塡充步驟。 7 · —種製膜裝置，係具備噴頭用於噴出液滴者，其特 徵爲具備： 振動賦與裝置，係於對上述噴頭塡充上述液狀體時， 對上述液狀體賦與振動。 8 .如申請專利範圍第7項之製膜裝置，其中 上述液狀體爲非牛頓型擬塑性流體。 9.如申請專利範圍第7或8項之製膜裝置，其中 上述振動賦與裝置，係對上述噴頭賦與振動而噴出上 述液滴的壓電元件。 I 0 ·如申請專利範圍第9項之製膜裝置，其中 具有控制裝置俾控制上述壓電元件之驅動，使由上述 噴頭不噴出上述液滴之振動特性下對上述液狀體賦與振 動。 II ·如申請專利範圍第7或8項之製膜裝置，其中 上述振動賦與裝置具有··氣泡產生裝置，俾於上述液 狀體產生氣泡據以噴出上述液滴；及 控制裝置，俾控制上述氣泡產生裝置之驅動使上述產 生之氣泡伸縮。 12·—種元件製造裝置，係具備製膜裝置俾藉由噴頭 -23- (3) (3)592983 噴出之液滴於基板上製膜；其特徵爲：上述製膜裝置，係 使用申請專利範圍第7 — 1 1項中任一項之製膜裝置。 1 3 . —種元件，其嘴徵爲：藉由申請專利範圍第1 2項 之元件製造裝置所製造者。

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