JP2006159110A - 液滴吐出装置、電気光学装置並びに電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡単な構成で、受け皿からのインクの跳ね返りを抑制し、これにより液滴吐出ヘッドの吐出不良と基板の汚染を防止することが可能な液滴吐出装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板Ｓを載置するステージ３９の上方に設けられて、基板Ｓに液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３４と、ステージ３９の移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアＦとを有した液滴吐出装置３０であって、フラッシングエリアＦに、液滴吐出ヘッド３４からのフラッシングによる液滴を受ける第１の容器５０が設けられ、液滴吐出ヘッド３４から第１の容器５０に対して液滴を吐出する際に、第１の容器５０内を湿潤状態に維持するようにした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置並びに電子機器に関するものである。

従来から、液晶表示装置等に使用されているカラーフィルタ等にインクを吐出する液滴吐出装置には、インクを吐出する液滴吐出ヘッドが備えられている。この液滴吐出ヘッドには、インクが吐出するインクノズルが備えられており、このインクノズルから吐出されるインクがカラーフィルタに着弾するようになっている。
具体的には、液滴吐出ヘッドには、圧電素子等が配置され、この圧電素子に電圧が印加されると、その電圧に応じて圧電素子が変形し、インクノズルからインクが吐出されるようになっている。このため、インク吐出が制御し易い液滴吐出ヘッドとなっている。このようにインクを吐出する方式は、インクジェット方式と称されている。

ところで、このようなインクジェット方式の液滴吐出ヘッドに多数、配置されているインクノズルは、上述のように液状のインクを吐出したり、吐出を停止したりするため、長時間使用すると、どうしてもインクノズルの先端部や内部等にインクの増粘作用でインクが付着してしまうことになる。このようにインクが付着したインクノズルを、そのまま使用すると、インクノズルから吐出されるインクの吐出角度が付着したインクによって変化させられたり、更には、インクノズルが詰まってしまう等が発生し、これらは、インクノズルの吐出不良の原因となっていた。

このため、液滴吐出装置には、液滴吐出ヘッドのインク予備吐出用の受け皿が設けられている。具体的には、液滴吐出ヘッドがカラーフィルタ等に対してインクを吐出する領域を避けて、インク予備吐出用の受け皿が形成されている。
そして、液滴吐出ヘッドは、カラーフィルタ等にインクを吐出していないときは、前記インク予備吐出用の受け皿が配置されている領域に移動させられ、このインク予備吐出用の受け皿に向かってインクを吐出するようになっている。
このように、インクノズルがインクを吐出することで、増粘作用により、インクノズルの内部等にインクが付着等して、インクノズルを詰まらせることを未然に防ぐようになっている。
特開２００３−２４６０５３号公報

上述したように、液滴吐出ヘッドは、インク予備吐出用の受け皿に対してインクの予備吐出を行うが、この際、受け皿からのインクの跳ね返りが液滴吐出ヘッドに付着して、その後のインク吐出に支障（吐出不良）を与える原因となってしまう。また、受け皿からのインクの跳ね返り等により、その周辺にインクのミストが発生して、カラーフィルタ等の基板に付着して汚染してしまうという問題がある。このように、受け皿からのインクの跳ね返りの存在が、カラーフィルタ等の歩留まり低下させてしまう要因となっている。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、簡単な構成で、受け皿からのインクの跳ね返りを抑制し、これにより液滴吐出ヘッドの吐出不良と基板の汚染を防止することが可能な液滴吐出装置、電気光学装置並びに電子機器を提供することを目的とする。

本発明に係る液滴吐出装置、電気光学装置並びに電子機器では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第１の発明は、基板を載置するステージの上方に設けられて、前記基板に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ステージの移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアとを有した液滴吐出装置であって、前記フラッシングエリアに、前記液滴吐出ヘッドからのフラッシングによる液滴を受ける第１の容器が設けられ、前記液滴吐出ヘッドから前記第１の容器に対して液滴を吐出する際に、前記第１の容器内を湿潤状態に維持することを特徴とする。
この発明によれば、フラッシングの際に、第１の容器からの跳ね返りが抑えられるので、液滴吐出ヘッドの底面への液滴付着を防止できる。また、フラッシングエリア付近に液滴によるミストの発生も防止できるので、基板上に液滴が付着することが防止できる。これにより、液滴吐出ヘッドの吐出不良を防止できると共に、基板の汚染を防止することができる。

また、前記第１の容器内に、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴と同一の液体、或いは溶媒を充填して、前記湿潤状態が形成されるものでは、良好に第１の容器からの液滴の跳ね返りや、ミストの発生を防止できる。
また、前記フラッシングエリアは、前記ステージの移動軸に対して両方の側方に設けることができる。
また、前記第１の容器に連通してなると共に、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴と同一の液体、或いは溶媒を貯留してなる第２の容器を更に備えるものでは、前記第１の容器を常に湿潤状態に維持することが可能となる。
また、前記第２の容器を前記第１の容器よりも上位或いは同位に昇降可能とする昇降部を備えるものでは、第２の容器の位置により、前記第１の容器の湿潤状態を容易に調整することが可能となる。

第２の発明は、電気光学装置が、第１の発明の液滴吐出装置によって形成された薄膜を備えるようにした。この発明によれば、液滴吐出ヘッドの吐出不良と、基板の汚染が防止されるので、効率よく良好な薄膜が形成され、高性能で低コストの電気光学を得ることができる。

第３の発明は、電子機器が、第２の発明の電気光学装置を備えるようにした。この発明によれば、高性能で低コストの電気光学が用いられるので、高品質の電子機器を得ることができる。

以下、本発明の液滴吐出装置、電気光学装置並びに電子機器の実施形態について図を参照して説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置３０の一例を示す図である。
液滴吐出装置３０は、ベース３１、基板移動部３２、ヘッド移動部３３、液滴吐出ヘッド３４、液供給部３５、制御装置４０等を有して構成されたものである。ベース３１は、その上に前記基板移動部３２、ヘッド移動部３３を設置したものである。

基板移動部３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動部３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
スライダ３７上には、ステージ３９が固定されている。よって、基板移動部３２がステージ３９の移動軸となる。このステージ３９は、基板Ｓを位置決めし、保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持部（図示せず）を有し、この吸着保持部を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。
基板Ｓは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。

ステージ３９上の基板Ｓに対し、その両側、すなわち後述する液滴吐出ヘッド３４の移動方向（Ｘ軸方向）での両側には、液滴吐出ヘッド３４にフラッシングを行わせるための一対のフラッシングエリアＦが設けられている。これら一対のフラッシングエリアＦには、液滴吐出ヘッド３４からのフラッシングによるインクＬの液滴を受ける第１の容器５０が設けられている。

第１の容器５０は、ステージ３９の移動方向（Ｙ軸方向）に沿って長く形成された直方体状のもので、内部にスポンジ等のインクＬを吸収する部材６０を収容したものである（図３参照）。
また、この第１の容器５０は、その底面が一方の側、本実施形態では液滴吐出ヘッド３４と反対の側が低位となるように、傾斜して形成されている（図３参照）。そして、この低位となった側の側面（又は底面）において、フレキシブルチューブ５１を介して第２の容器５２に接続している。

第２の容器５２は、フレキシブルチューブ５１を介して第１の容器５０に接続したことにより、その内部が第１の容器５０内に連通したものとなっている。また、この第２の容器５２は、ベース３１に設けられた昇降装置５３上に載置され、これによって昇降可能となっている。
昇降装置５３は、エアーシリンダー５４と、これに移動可能に設けられたロッド５５と、このロッド５５に接続し、かつ前記第２の容器５２を載置した載置板５６とからなるもので、ロッド５５を昇降可能としたことにより、これに接続する載置板５６を昇降可能にしたものである。

このような構成のもとに昇降装置５３は、第２の容器５２を昇降可能に保持するものとなっている。そして、第２の容器５２を第１の容器５０より高く上昇させることにより、第２の容器５２内のインクＬを、フレキシブルチューブ５１を介して第１の容器５０内に移送できるようになっている。
なお、本実施形態では、ベース３１の上面の一部が切り欠かれて開口が形成され、この開口内を前記載置板５６が昇降するように、昇降装置５３が構成されている。

ヘッド移動部３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａと、これら架台３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動部３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。
走行路３３ｂは、一対の架台３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持したものである。
キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ上を走行し、これにより液滴吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。

ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御装置４０によって制御されるようになっている。
したがって、前述したように第１の容器５０の位置が制御装置４０に記憶されることにより、後述するように液滴吐出ヘッド３４によるフラッシングのためのインクＬの液滴吐出が第１の容器５０上で確実になされるようになっている。

液滴吐出ヘッド３４は、キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、液滴吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。
このような構成のもとに、液滴吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も制御装置４０に接続されており、これによって液滴吐出ヘッド３４はその周方向への回動も、制御装置４０によって制御されるようになっている。

ここで、液滴吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部は液状体で満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供給口１７を介して連通したものとなっている。
また、ノズルプレート１２には、空間１５から液状体（インクＬ）を噴射するためのノズル孔１８が縦横に整列させられた状態で複数形成されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６に液状体を供給するための孔１９が形成されている。

また、振動板１３の空間１５に対向する面と反対側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、一対の電極２１を有し、これら電極２１間に通電されると外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。そして、このような構成のもとに圧電素子２０が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間１５の容積が増大するようになっている。
したがって、増大した容積分に相当する液状体（インクＬ）が、液溜まり１６から供給口１７を介して空間１５内に流入する。また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることから、空間１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル孔１８から基板Ｓに向けて液状体（インクＬ）の液滴２２が吐出される。

なお、このような構成からなる液滴吐出ヘッド３４は、その底面形状が略矩形状のもので、ノズル孔１８を例えば縦×横が２×１８０となるように整列配置させたものである。
ここで、図１では液滴吐出ヘッド３４を一つしか示していないが、本発明の液滴吐出装置３０はこれに限定されることなく、液滴吐出ヘッド３４を複数備えていてもよく、例えば１２台の液滴吐出ヘッド３４を並列した状態に備えるようにしてもよい。
また、液滴吐出ヘッド３４としては、圧電素子２０を用いたピエゾジェットタイプ以外にも、例えばエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いる方式などを採用することができる。

液供給部３５は、液滴吐出ヘッド３４に液状体を供給する液供給源４５と、この液供給源４５から液滴吐出ヘッド３４にインクＬを送るための液供給チューブ４６とからなるものである。
制御装置４０は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータなどによって構成されたもので、液滴吐出ヘッド３４による吐出動作、及び基板移動部３２による移動動作を制御するものとなっている。
また、前述したように第１の容器５０の位置、具体的にはＹ軸に平行となる両方の側縁のＸ座標を記憶するとともに、液滴吐出ヘッド３４の位置情報、すなわち液滴吐出ヘッド３４のガイドレール３３ｄ上での位置（Ｘ座標）とそのときの各ノズルの位置（Ｘ座標）とを検知して記憶するようになっている。
さらに、この制御装置４０には、昇降装置５３も電気的に接続されており、昇降装置５３の載置板５６の昇降も制御装置４０によって制御されるようになっている。

また、このような液滴吐出装置３０は、図１中二点鎖線で示すチャンバー４１内に設けられている。このチャンバー４１は、外部と遮断されたことによって内部を閉空間とするもので、真空ポンプ等の減圧部を備え、これによって内部の圧力を制御できるようにしたものである。
なお、このチャンバー４１には扉が備えられており、内部への出入りができるようになっているのはもちろんである。

次に、このような構成からなる液滴吐出装置３０を用いた薄膜形成方法について説明する。
まず、基板Ｓをステージ３９上の所定位置にセットする。ここで、基板Ｓとしては、各種の機能性薄膜を形成するための下地となるもので、薄膜の種類に応じてガラスやシリコン等の各種の基板が採用される。また、このような基板の上に、ＴＦＴや配線、絶縁層など各種の構成要素を形成したものも、使用可能である。

次に、液滴吐出ヘッド３４から薄膜形成材料となるインクＬを基板Ｓ上に吐出するのに先立ち、フラッシングを行う。このフラッシングは、特に吐出するインクＬ中の溶媒又は分散媒の揮発性が高い場合などに、インクＬの吐出が連続的になされないノズルでは、その開口に滞留する液状が溶媒（分散媒）の揮発によって粘度上昇を起こし、甚だしい場合には液状体が固化したり、ここに塵埃が付着したり、さらには気泡の混入などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすといった不都合に対処するためのものである。

フラッシングに先立ち、予め昇降装置５３によってその載置板５６を上昇し、図３（ａ）に示すように第２の容器５２が第１の容器５０より高位或いはほぼ同位となるようにしておく。これにより、フラッシングによって第１の容器５０内に吐出されたインクＬは、この第１の容器５０内に設けられたスポンジ等の部材６０に吸収されて、湿潤状態が形成される。
なお、湿潤状態を形成するためには、例えば、第１の容器５０の容量の５０パーセント以上の量のインクＬを充填することが望ましい。

次いで、液滴吐出ヘッド３４から第１の容器５０に対してインクＬの吐出作業、すなわちフラッシングを行う。
上述したように、第１の容器５０内には、インクＬを吸収したスポンジ等の部材６０が配置されて、湿潤状態が維持されている。したがって、液滴吐出ヘッド３４から第１の容器５０に対してインクＬの吐出しても、第１の容器５０から液滴吐出ヘッド３４へのインクＬの跳ね返りが抑えられる。また、インクＬの跳ね返りが殆どないので、第１の容器５０の周辺にインクＬが霧状となって存在することもなくなる。
これにより、液滴吐出ヘッド３４の底面にインクＬが付着したり、基板Ｓ上にインクＬが付着したりすることが回避される。

このようにしてフラッシングを行い、液滴吐出ヘッド３４の全てのノズルについて、良好な吐出が行えるようにしたら、液滴吐出ヘッド３４を移動して、基板Ｓに対して薄膜形成のための吐出を行う。

基板Ｓに対する吐出作業中は、昇降装置５３によってその載置板５６を下降し、図３（ａ）に示すように第２の容器５２が第１の容器５０より低位となるようにしておく。これにより、フラッシングによって第１の容器５０内に吐出されたインクＬは、この第１の容器５０内に接続されたフレキシブルチューブ５１を介して、第２の容器５２に回収される。そして、第２の容器５２には、新たなインクＬが供給され、次のフラッシングに備える。

以上説明したように、この液滴吐出装置３０にあっては、昇降装置５３によって第２の容器５２からインクＬを第１の容器５０内に移送し、第１の容器５０を湿潤状態に維持するので、フラッシングを行っても第１の容器５０から液滴吐出ヘッド３４へのインクＬの跳ね返りが抑えられ、また、第１の容器５０の周辺にインクＬが霧状となって存在することも抑えられる。これにより、液滴吐出ヘッド３４の底面にインクＬが付着したり、基板Ｓ上にインクＬが付着したりすることが回避される。
また、この液滴吐出装置３０にあっては、通常、装置の一部として設けられるフラッシングエリアの第１の容器５０に第２の容器５２を接続し、この第２の容器５２にインクＬを第１の容器５０内に移送するための昇降装置５３を設けただけであるので、装置の大型化や複雑化を抑えて装置構成を簡略なものとし、装置コストが高くなるのを抑えることができる。

なお、本発明の液滴吐出装置は、前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。
例えば、第２の容器５２を昇降する昇降装置５３を用いたが、昇降装置を用いて容器５０を昇降させてもよい。
また、昇降装置を用いることに代えて、送液ポンプを用いて第２の容器５２中の液を第１の容器５０に移送するようにしてもよい。
また、ステージの移動軸に対してその両側のフラッシングエリアに第１の容器５０を設け、これに第２の容器５２を接続したが、一方の側のフラッシングエリアのみに第１の容器５０を設けるようにしてもよい。
また、第１の容器５０を湿潤状態に維持するためにインクＬを用いたが、これに代えて、溶媒やインクＬと極性が同一の液体等を用いてもよい。

次に、このような液滴吐出装置３０を用いた薄膜形成方法を、有機ＥＬ装置の製造方法に適用した例について説明する。
図４は、前記液滴吐出装置３０によって一部の構成要素が製造された有機ＥＬ装置の側断面図であり、まずこの有機ＥＬ装置の概略構成を説明する。
有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止用基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。

有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。

発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入層形成工程は、正孔注入層３５２を形成するための第１組成物（液状体）を各画素電極３３１上に吐出する第１吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する第１乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（液状体）を正孔注入層３５２の上に吐出する第２吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。

この発光素子形成工程において、正孔注入層形成工程における第１吐出工程と、発光層形成工程における第２吐出工程とで、上述した液滴吐出装置３０を用いている。
なお、この有機ＥＬ装置３０１の製造においても、各構成要素形成のための吐出に先立ち、予め第１の容器５０にインクＬなどを充填し、湿潤状態にして、フラッシングを行うことにより、吐出不良や基板３１１の汚染を防止することができ、良好な薄膜を形成できる。

次に、上記実施形態の電気光学装置３０１を備えた電子機器について説明する。
図５（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図５（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記実施形態の電気光学装置３０１からなる表示部を示している。
図５（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図５（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記実施形態の電気光学装置３０１からなる表示部を示している。
図５（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図５（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記実施形態の電気光学装置３０１からなる表示部を示している。
図１５（ｄ）は、薄型大画面テレビの一例を示した斜視図である。図５（ｄ）において、薄型大画面テレビ１３００は、薄型大画面テレビ本体（筐体）１３０２、スピーカーなどの音声出力部１３０４、上記実施形態の電気光学装置３０１からなる表示部１３０６を備える。

図５に示す電子機器１０００，１１００，１２００，１３００は、上記実施形態の電気光学装置３０１を備えているので、表示部１００１，１１０１，１２０６，１３０６を大画面化しても、その表示部において高精細で高品質な画像を表示することができる。

なお、上記実施形態では電気光学装置の一例として有機ＥＬ装置を挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、プラズマディスプレイ装置、液晶装置などの各種電気光学装置に本発明を適用でき、カラーフィルタの着色材料の塗布などに本発明を適用することもできる。

また本発明に係る液滴吐出装置による形成物は、画素などに限定されるものではなく、配線パターン、電極、各種半導体素子などを、本発明に係る液滴吐出装置を用いて形成することができる。

液滴吐出装置３０の概略的構成を示す斜視図である。 液滴吐出ヘッド３４の概略構成を説明する図である。 第２の容器５２の動作を説明する図である。 有機ＥＬ装置３０１の側断面図である。 電子機器を示す図である。

符号の説明

Ｓ…基板、 Ｌ…インク（液滴）、 Ｆ…フラッシングエリア、 ３０…液滴吐出装置、 ３４…液滴吐出ヘッド、 ３９…ステージ、 ５０…第１の容器、 ５２…第２の容器、 ５３…昇降装置（昇降部）、 ６０…部材、 ３０１…電気光学装置、 １０００…携帯電話（電子機器）、 １１００…腕時計型電子機器（電子機器）、 １２００…携帯型情報処理装置（電子機器）、 １３００…薄型大画面テレビ（電子機器）

Claims (7)

1. 基板を載置するステージの上方に設けられて、前記基板に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記ステージの移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアとを有した液滴吐出装置であって、
   前記フラッシングエリアに、前記液滴吐出ヘッドからのフラッシングによる液滴を受ける第１の容器が設けられ、
   前記液滴吐出ヘッドから前記第１の容器に対して液滴を吐出する際に、前記第１の容器内を湿潤状態に維持することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記第１の容器内に、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴と同一の液体、或いは溶媒を充填して、前記湿潤状態が形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記フラッシングエリアは、前記ステージの移動軸に対して両方の側方に設けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記第１の容器に連通してなると共に、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴と同一の液体、或いは溶媒を貯留してなる第２の容器を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
5. 前記第２の容器を前記第１の容器よりも上位或いは同位に昇降可能とする昇降部を備えることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 請求項１から請求項５のうちいずれか一項に液滴吐出装置によって形成された薄膜を備えることを特徴とする電気光学装置。
7. 請求項６に記載された電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
   
   
   
   
   

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