CN1611355A - 膜形成方法、电光学装置及电子机器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可以形成均匀的没有不规则的膜的膜形成方法。作为在形成液晶层的驱动电极(72)的基板(70)上，从墨喷头(20)将液状体(73)进行涂敷，形成液晶分子的取向膜的方法，通过在液状体(73)的涂敷前或者涂敷中，向驱动电极(72)中供给电流，将液状体(73)不满沸点地进行加热来促进流动性。另外，在液状体(73)的涂敷后，通过向驱动电极(72)中供给电流，将液状体(73)沸点以上地进行加热来使其干燥。另外，向多个驱动电极(72)中供给不同的电流，可以控制干燥状态。

Description

膜形成方法、电光学装置及电子机器

技术领域

本发明涉及一种膜形成方法、电光学装置及电子机器。

背景技术

作为投影仪中搭载的光调制装置或移动电话等中搭载的直视型显示装置，液晶显示装置被广泛使用。此液晶显示装置，通过相对向配置的一对基板，挟持液晶层来构成。在这一对基板的内侧中，形成有用于在液晶层上施加电场的透明电极。该电极的内侧中，形成有控制在没有施加电场时的液晶分子的取向的取向膜。从而，根据没有施加电场时和施加电场时的液晶分子的排列变化，来进行图像表示。

上述的取向膜，由聚酰亚胺等的高分子材料构成。在形成取向膜的过程中，将包含取向膜的形成材料的液状体涂敷在基板上，并将涂敷的液体加热处理获得干燥膜。之后，通过将干燥膜的表面进行摩擦处理，形成取向膜。另外，作为将液状体涂敷在基板上的方法，可以利用旋涂法、浸渍法、喷雾法、印刷法、液滴喷吐法等。

其中的液滴喷吐法，是通过在基板上喷吐多个液滴将液状体涂敷的方法。这种情况下，喷吐的液滴通过在基板上湿扩散，通过与邻接的液滴相结合，成为液状体涂敷的状态。此液滴喷吐法的优点在于，可以将规定量的液状体涂敷在规定位置上，另外可以高效地利用液状体。

[专利文献1]特开平9-105938号公报

但是，在用液滴喷吐法进行的液状体涂敷时，在喷吐的液滴湿扩散之前，液滴的溶剂的一部分有时会蒸发。这样，液滴的粘稠度增加后流动性会下降。这时，会产生将取向膜均匀形成比较困难的问题。

另外，在较大的基板上形成取向膜的情况中，通过将液滴喷吐装置的头进行换行，可以在多个行涂敷液状体。若此时液滴的流动性降低，在邻接行的边界部分中会发生液状体的不良混合，在该部分会产生所谓出现换行条纹的问题。这个换行条纹，是使液晶显示装置的显示品质降低的原因。

另一方面，在进行涂敷的液状体的干燥时，在基板上的中央部溶剂的蒸汽分压升高，在周边部中蒸汽分压变低。因此，与中央部中干燥迟缓相对，周边部中迅速地干燥，会产生所谓在取向膜上产生干燥不规则的问题。

另外在专利文献1中，提出了通过对从涂敷取向膜形成溶液到开始加热的时间进行控制，形成均匀的取向膜的方法。但是，由于使用在此加热中发热量不均匀的红外线或者微波，很难形成均匀的取向膜。

发明内容，

本发明的目的在于：为了解决所述课题，提供一种可以均匀地形成没有不规则的膜的膜形成方法。

另外，提供一种显示质量高的液晶显示装置和电子机器。

为了达成上述目的，本发明的膜成形方法为一种在形成有导电体层的基板上涂敷液状体来形成膜的方法，其特征为，在所述液状体的涂敷前或者涂敷中，向所述导电体层中供给电流。

通过此构成，使导电体层发热，可以将涂敷的液状体加热。然后，由于在液状体的涂敷前或者涂敷中导电体层被预备加热，抑制了由于涂敷的液状体的温度较低导致的粘稠度增加。这样，促进了液状体的流动性，液状体可以湿扩散为均匀的厚度。另外，在走过多行涂敷液状体的情况下，由于在邻接行的边界部分中液状体被良好地混合，可以防止产生换行条纹。因此，能够形成均匀的膜。

另外，最好令对所述导电体层的电流的供给，为所述导电体层的温度不达到所述液状体的沸点地进行。

通过此构成，抑制了由于液状体蒸发导致的粘稠度增加。这样，促进了液状体的流动性，能够形成均匀的膜。

另一方面，本发明的模形成方法为，一种在形成有导电体层的基板上涂敷液状体来形成膜的方法，其特征为，在所述液状体的涂敷后，向所述导电体层中供给电流。

通过此构成，比起利用红外线或微波等的情况，可以将液状体均匀地加热，能够形成没有不规则的膜。另外，不需要照射红外线或微波等的模块，可以降低设备成本。还有，由于通过与涂敷的液状体接近的导电体层加热液状体，可以用较少的热量迅速地使液状体干燥，可以实现降低耗能及减少干燥时间。

另外，最好令对所述导电体层的电流的供给，为所述导电体层的温度为所述液状体的沸点以上地进行。

通过此构成，可以形成没有干燥不规则的膜。

另外，所述导电体层，备有电性上分离的多个导电部，最好对于在所述基板上的中央部配置的所述导电部，比所述基板上的周边部配置的所述导电部，供给更多的电流。

通过此构成，由于基板上的中央部涂敷的液状体被较强地加热，可以将基板上液状体的干燥速度均匀化。因此，能够形成没有不规则的取向膜。

另外，所述导电层，备有电性上分离的多个导电部，最好对于所述液状体的涂敷中或者涂敷后的区域配置的所述导电部，比所述液状体的涂敷前的区域配置的所述导电部，供给更多的电流。

通过此构成，可以对液状体的涂敷中或者涂敷后的区域直接地进行干燥处理，能够减少干燥时间。另外，可以高效地进行液状体的重叠涂敷。

另外，所述导电体层最好为，驱动图像显示单元的电极层。

通过此构成，由于在膜形成区域的几乎全体上形成有电极，可以将液状体均匀地加热。因此，能够形成均匀的膜。

另外，所述导电部最好为，无源矩阵型的电光学装置中的扫描电极或者信号电极。

通过此构成，可以从形成为条状的各电极的两端部，简单地供给电流。

另外，所述导电体层也可为，在图像表示单元的周围形成的遮光膜(黑矩阵)。另外，所述导电部也可为，将图像表示单元周围形成的黑矩阵电性上分离的多个遮光部。

通过此构成，能够达成上述的目的。

另一方面，本发明的电光学装置，其特征为，使用上述的膜形成方法来制造。

通过此构成，由于能够形成均匀的没有不规则的膜，能够提供一种显示品质优秀的电光学装置。

另一方面，本发明的电子机器，其特征为，具备上所述的电光学装置。

通过此构成，可以提供一种现实品质优秀的电子机器。

附图说明

图1是液晶显示装置的立体图。

图2是沿图1的A-A线剖开的正面剖面图。

图3是液滴喷涂装置的立体图。

图4是墨喷头的侧面剖面图。

图5是液状体的涂敷方法的说明图。

图6是黑矩阵的平面图。

图7是黑矩阵的变形例的说明图。

图8是移动电话的立体图。

图中：20～墨喷头、70～基板、72～驱动电极、73～液状体。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式，参照附图进行说明。另外，以下的说明中使用的各附图中，为了令各部分为可以识别的大小，对各部分的比例进行适当的更改。

另外在本说明书中，将在液晶显示装置的构成部分中的液晶层一侧称为内侧。

[第1实施方式]

首先，对本发明的第1实施方式，用图1到图5进行说明。第1实施方式的膜成形方法，是图2中所示的液晶显示装置1中的取向膜74的形成方法，它将包含取向膜74的形成材料的液状体涂敷在基板70上，并使涂敷的液状体干燥形成取向膜74。并在液状体的涂敷前、涂敷中及涂敷后，向液晶层2的驱动电极72供给电流，将液状体加热。

[液晶显示装置]

图1为液晶显示装置的立体图，图2为沿图1的A-A线剖开的正剖面图。图2中所示的液晶装置1，由下基板70及上基板80挟持液晶层2构成。另外，虽然在本实施方式中以无源矩阵型的液晶显示装置作为示例进行说明，但是本发明也可以适用于有源矩阵型的液晶显示装置。

如图2所示，液晶显示装置1中，由玻璃等的透明材料构成的下基板70及上基板80相对配置。在下基板70的内侧中，形成有滤色器层76。在此滤色器层中，将可以透过红、绿、蓝各色光的多个滤色器R、G、B以矩阵状排列(参照图6)。另外，为了防止透过各滤色器的色光的混色，在如图2所示的各滤色器R、G、B的周围，配置有由铬等的黑色材料组成的黑矩阵(遮光膜)77。还有，在滤色器层76的内侧中，形成有滤色器层的保护膜79。另外，滤色器层76及其保护膜79，也可形成在上基板80的内侧中。

在下基板70及上基板80的内侧中，形成有用于在液晶层中施加电场的驱动电极72、82。此驱动电极72、82，用ITO等的透明导电材料形成为条状。然后如图1所示，下基板70的驱动电极72和上基板80的驱动电极82正交地配置。另外，各驱动电极72、82与驱动用IC5相连接，从此驱动用IC5对一方的驱动电极供给扫描信号的同时，对另一方的驱动电极供给数据信号。另外，在两电极的交点附近配置如图2所示的各滤色器R、G、B构成像点区域，由3个具有透过不同色光的滤色器的像点区域构成1个像素(图像显示单元)区域。

另外，如图2所示，将各驱动电极72、82覆盖地，形成有取向膜74、84。此取向膜74、84，用于在没有施加电场时对液晶分子的取向状态进行控制。取向膜74、84，由聚酰亚胺等的有机高分子材料构成，并在其表面实施摩擦(rubbing)处理。这样，在没有施加电场时，在取向膜74、84的表面附近的液晶分子，其长轴方向与摩擦处理方向相一致，成为与取向膜74、84大致平行的取向状态。另外，通过对各取向膜74、84实施摩擦处理，使取向膜74的表面附近的液晶分子的取向方向，与取向膜84的表面附近的液晶分子的取向方向只偏离规定角度。

这样，液晶分子成为，沿液晶层2的厚度方向层积为螺旋状。

下基板70及上基板80的间隔，由在两基板间配置的串珠状衬垫(图中未表示)的直径决定，例如保持为5μm的程度。另外两基板70、80，通过由热固化型或紫外线固化型等的粘接剂构成的密封材料3将周边部接合。然后，在由两基板70、80和密封材料3包围的空间中封入液晶层。此液晶层2采用向列型液晶等，作为液晶显示装置1的动作模式采用超扭曲转向列(STN)模式。另外，也可采用上述以外的液晶材料，另外也可采用上述以外的动作模式。

另外，在下基板70及上基板80的外侧，以相互的偏光轴(透过轴)只偏离规定角度的状态配置有偏光板(图中未表示)。另外在入射侧偏光板的外侧，配置有背光(图中未表示)。

然后，从背光照射的光，转换为沿入射侧偏光板的偏光轴的直线偏光，从下基板70入射到液晶层2中。此直线偏光，在透过没有施加电场的状态的液晶层2的过程中，沿液晶分子的扭转方向转回规定角度，穿过出射侧偏光板。这样，在没有施加电场时进行白显示(普通白模式)。另一方面，在液晶层2中施加电场时，沿电场方向和取向膜74、84垂直地对液晶分子进行再取向。这时，由于入射到液晶层2的直线偏光没有转回，不穿过出射侧偏光板。这样，在施加电场时进行黑显示。另外，可以通过施加电场的强度进行灰度显示。另外，从背光照射的白光由于用透过滤色器层76的过程转换为有色光，可以通过加法混色进行彩色图像显示。

(液滴喷涂装置)

本实施方式为，涉及上述的取向膜74、84的形成方法。取向膜74、84，通过将其构成材料溶液从液滴喷涂装置喷涂形成。这里，对液滴喷涂装置用图3及图4进行说明。

图3为，液滴喷涂装置的立体图。在图3中，X方向为基底12的左右方向，Y方向为前后方向，Z方向为上下方向。液滴喷吐装置10，主要由墨喷头(以下，只称头)20，和载置基板48的台46构成。另外，液滴喷吐装置10的动作，通过控制装置23来控制。

载置基板48的台46，通过第1移动部件14可以沿Y方向移动及决定位置，并通过马达44可以沿θz方向摇动及决定位置。另一方面，头20，通过第2移动部件可以沿X方向移动及决定位置，并通过线性电动机可以沿Z方向移动及决定位置。另外头20，通过马达64、66、68，可以分别沿α、β、γ方向摇动及决定位置。这样，液滴喷吐装置10，可以对头20的墨水喷吐面20P，和台46上的基板48的相对位置及姿势，进行正确的控制。

这里，对头20的构造例，参照图4进行说明。图4为，墨喷头的侧面剖面图。头20为，用液滴喷吐方式将墨水2从喷嘴91喷吐的装置。作为液滴喷吐方式，用压电元件的使其喷墨的压电式，或通过将墨水加热产生的泡(bubbles)将墨水喷吐的方式等，众所周知的各种技术都可以适用。这里的压电方式其优点在于，由于不用将墨水加热，不会对材料的组成等产生影响。

这里，图4的头20中，采用上述的压电方式。

头20的头主体90中，形成有储液器95及从储液器95分支出的多个墨水室93。储液器95，为用于向各墨水室93供给墨水的流动通路。另外，头主体90的下端面上，安装着构成墨水喷吐面的喷嘴板。在该喷嘴板上，喷吐墨水的多个喷嘴91，对应各墨水室93被开口。然后，从各墨水室93向对应的喷嘴91，形成墨水的流动通路。另外，在头主体90的上端面安装有振动板94。并且震动板94构成各墨水室93的壁面。在该震动板94的外侧，对应各墨水室93，设有压电元件92。压电元件92为，将水晶等的压电材料用一对电极(图中未表示)挟持的元件。这一对电极，与驱动电路99相连接。

然后，从驱动电路99向压电元件92施加电压后，压电元件92膨胀变形或者收缩变形。若压电元件92收缩变形，墨水室93的压力降低，墨水2从储液器95流入到墨水室93。若压电元件92膨胀变形，墨水室93的压力增加，墨水2从喷嘴91喷吐。另外，通过改变施加电压，可以对压电元件92的形变量进行控制。另外，通过改变施加电压的频率，可以对压电元件92的形变速度进行控制。即，通过对向压电元件92的施加电压进行控制，能够控制墨水2的喷吐条件。

另外，图3中所示的覆盖单元(capping unit)22为，为了防止头20中的墨水喷吐面20P的干燥，在液滴喷吐装置10的待机时，将墨水喷吐面20P进行覆盖的装置。另外清洁单元24为，为了除掉头20中的喷嘴的堵塞，对喷嘴的内部进行吸引的装置。另外，清洁单元24为，为了除掉头20中的墨水喷吐面20P的污渍，可以进行墨水喷吐面20P的擦拭。

(涂敷方法)

下面，对使用上述液滴喷吐装置，将含有取向膜的形成材料的液状体进行涂敷的方法，用图5进行说明。图5为，液状体的涂敷方法的说明图，是沿图2的B-B线剖开的平面剖面图。另外，以下虽然将在下基板70的内侧上形成取向膜的情况作为示例进行说明，但也可使用同样的方法在上基板的内侧上形成取向膜。

在本实施方式中，向在下基板70上形成的驱动电极72中供给电流，通过其电阻产生焦耳热加热液状体。这里，如图5所示，将各驱动电极72与电源50相连接。具体来说，将形成为条状的多个驱动电极72分别与可变电阻52相串联连接，再将它们相对电源50并联连接。作为这个电源50，最好采用可以自由地更改施加电压的。

另外作为可变电阻器52，优选采用电阻值可以从0到无限大进行改变的。这样，可以对供给到各驱动电极72中的电流量进行自由地调整。

然后，向所有的驱动电极72中供给电流，将各驱动电极72预备加热。这时，对各驱动电极72的供给电流量进行调整，令各驱动电极72的温度，不达到涂敷的液状体73的溶剂的沸点的温度。

另一方面，将作为取向膜的形成材料的可溶性聚酰亚胺，溶解于γ-丁内酯(gamma-butyl-lactone；沸点204℃)等溶剂中，制成能涂敷液状体73。然后将此液状体73，从液滴喷吐装置的墨喷头20喷吐到驱动电极72的表面上。另外，在上述的头20的宽度方向上，多个喷嘴配置为一列或者交错状。

然后，在与其宽度方向正交的方向上一面使头20移动，可以一面通过从头20的各喷嘴将液状体喷出，将液状体73涂敷为面状。另外，在下基板中的取向膜形成区域的宽度与头20的宽度相等的情况下，只使头20扫过一次，就能在取向膜形成区域的整体上涂敷液状体。

这里，由于各驱动电极72被预备加热，抑制了由于液状体73的温度低下导致的粘稠度增加。另外，由于在没有达到液状体73的溶剂的沸点的温度(例如50℃)下被预备加热，所以抑制了由于溶剂的蒸发导致的粘稠度增加。这样，促进了喷吐的液状体73的流动性，使液状体73可以均匀厚度地湿扩散。因此，能够形成均匀的取向膜。这里，最好用升高在基板周边中的溶剂的蒸气分压的状态对液状体73进行涂敷。这时，由于也能抑制溶剂的自然蒸发，因此能够形成更均匀的取向膜。

另一方面，如图5中所示，取向膜形成区域的宽度比头20的宽度大的情况下，将取向膜形成区域分割为多行，通过对各行将头20扫过，在取向膜形成区域的全体上涂敷液状体73。这种情况下，最好在形成为条状的驱动电极72的长度方向上使头20扫过，将液状体73进行涂敷。另外实际中，由于驱动电极72的宽度比头20的宽度小得多，通过1回的扫过就可以在多个驱动电极72的表面上涂敷液状体73。

即使在这种情况下，由于各驱动电极72被预加热，所以喷吐的液状体也可以良好地湿扩散。并且，在邻接行上涂敷的液状体，相互的边界部分可被良好地混合。这样，可以防止产生所谓的换行条纹。因此，可以提供一种显示品质优秀的液晶显示装置。

如上所述，供给到各驱动电极72中的电流量可以被自由地调整。这样，对于液状体73的涂敷中或者在涂敷后的行中配置的驱动电极72，也可增加供给电流量。这时，使该驱动电极72的温度，为液状体73的沸点以上的温度地，增加供给电流量。这样，对于液状体73的涂敷中或者涂敷后的行可以直接进行干燥处理，能够减少干燥时间。另外，在取向膜形成区域的全体上将液状体涂敷时，可以先使对于最初的涂敷行的干燥处理结束。这种情况下，可以直接从最初的涂敷行将液状体重叠涂敷，能够将重叠涂敷高效地进行。

(干燥方法)

下面，对使在取向膜形成区域的全体上涂敷的液状体干燥的方法进行说明。

在对于取向膜形成区域的全体液状体73的涂敷结束的时刻，令所有的驱动电极72的温度为液状体的沸点以上的温度(例如220℃)地，对于各驱动电极72增加供给电流量。这样，将液状体73加热来蒸发其溶剂，形成干燥膜。

另外，由于驱动电极72形成于取向膜形成区域的几乎全体上，因此能够将涂敷的液状体均匀地进行加热。因此，与用烘箱、电炉、红外线灯等进行加热的情况相比，能够形成没有不规则的取向膜。另外，由于不用烘箱、电炉、红外线灯等的加热模块，能够减少设备成本。另一方面，由于用配置在紧贴取向膜的下方的驱动电极72进行加热，可以用较少的热量使液状体73迅速地干燥，能够减少耗能并缩短干燥时间。这种情况下，由于能够不令下基板70为高温地对液状体73进行加热，可以防止由于下基板的膨胀形变导致的断线等。

另外，液状体73的一部分的溶剂蒸发后，溶剂的蒸气分压上升，抑制了其周边部分中的溶剂的蒸发。因此，在取向膜形成区域的中央部中的液状体73的干燥速度，有比周边部迟缓的倾向。这里，最好令向配置于取向膜形成区域的中央部的驱动电极72供给的电流量，多于向配置于取向膜形成区域的周边部的驱动电极72供给的电流量。这样，由于在取向膜形成区域的中央部涂敷的液状体73被较强地加热，促进其干燥，可以将取向膜形成区域中的干燥速度均匀化。因此，可以形成没有不规则的取向膜。

[第2实施方式]

下面，对本发明的第2实施方式，用图6及图7进行说明。图6为，黑矩阵的说明图，是沿图2的C-C线剖开的平面剖面图。第2实施方式的膜形成方法，在向黑矩阵77中供给电流加热液状体这一点上，与第1实施方式不同。另外，对为与第1实施方式相同的构成的部分，省略其详细说明。

(涂敷方法)

本实施方式中，向形成于下基板上的黑矩阵77供给电流，通过其电阻产生焦耳热来将液状体加热。另外，一般的黑矩阵77，在电性上连续形成。这时，如图6所示，将黑矩阵77的两端部与电源50相连接。

图7为，黑矩阵的变形例的说明图，是沿图2的C-C线相应的部分剖开的平面剖面图。图7中所示的黑矩阵77，由电性上分离的多个遮光部78构成。各遮光部78，沿取向膜形成区域的一边(纸面上下方向)电性上连续形成，沿另一边(纸面左右方向)电性上分离形成。这时，与第1实施方式相同，将各遮光部78分别与可变电阻52串联连接，再将它们与电源相对并联连接。

接下来，向黑矩阵77中供给电流。这样，用图2所示的黑矩阵77发生的热，介由保护膜79被传达到各驱动电极72中，各驱动电极72被预备加热。再者，令各驱动电极72的温度，为不满涂敷的液状体的溶剂的沸点的温度地，调整对黑矩阵77的供给电流量。

另外，在取向膜形成区域的宽度大于头的宽度的情况下，与第1实施方式同样地将取向膜形成区域分割为多行，通过对各行将头扫过，在取向膜形成区域的全体上涂敷液状体。再者，图7这种形成黑矩阵77的情况下，最好使头沿遮光部电性上连续形成的方向扫过，将液状体进行涂敷。这样，能够只对在液状体的涂敷中或者涂敷后的行上配置的遮光部78，增加电流供给量。再者，最好令通过该遮光部78被过热的驱动电极的温度，为液状体的沸点以上的温度地，增加供给电流量。这样，可以对在液状体的涂敷中或者涂敷后的行直接进行干燥处理，能够减少干燥时间。

另外，可以高效地进行液状体的重叠涂敷。

(干燥方法)

接下来，使在取向膜形成区域的全体上涂敷的液状体干燥。具体来说，令所有的驱动电极的温度为液状体的沸点以上的温度地，增加对黑矩阵77的供给电流量。再者，在图7这种形成黑矩阵77的情况下，最好令将向在取向膜形成区域的中央部配置的遮光部78中供给的电流量，比向在周边部配置的遮光部78中供给的电流量多。这样，可以将取向膜形成区域的干燥速度均匀化，形成没有不规则的取向膜。

如以上说明地，第2实施方式中，构成为在液状体的涂敷前及涂敷中，向黑矩阵77中供给电流，将液状体进行加热。这样，与第1实施方式同样地，可以形成均匀的取向膜，同时可以防止产生换行条纹。同时第2实施方式中，构成为在液状体涂敷后，也向黑矩阵77中供给电流，使涂敷的液状体干燥。这样，可以与第1实施方式同样地，形成没有不规则的取向膜。

[电子机器]

下面，对使用本实施方式的膜形成方法制造的电子机器，用图8进行说明。图8为，移动电话的立体图。图8中符号1000表示移动电话，符号1001表示显示部。在此移动电话1000中，在显示部1001中采用了使用本实施方式的膜形成方法制造的液晶显示装置。因此，可以用较低成本提供显示品质优秀的移动电话1000。

再者，本发明的技术范围，不限于上述的各实施方式包含，在不脱离本发明的要旨的范围中，在上述的各实施方式上进行各种更改的产物。

即，用各实施方式例举的具体的材料或构成等只不过是一个示例，可以进行适当地改变。例如，在上述中虽然将形成液晶显示装置的取向膜作为示例进行了说明，但形成液晶显示装置的保护膜的情况，涂敷液晶层的情况，也可以使适用本发明。另外，形成液晶显示装置以外的电光学装置中的功能膜的情况也可以适用本发明。例如，形成有机EL装置的发光层及空穴注入层的情况、或形成等离子显示其装置的荧光体膜等的情况下，也可以适用本发明。

Claims (12)

1.一种膜形成方法，在形成有导电体层的基板上涂敷液状体来形成膜，其特征在于：在所述液状体的涂敷前或者涂敷中，向所述导电体层中供给电流。

2.根据权利要求1所述的膜形成方法，其特征在于：对所述导电体层的电流的供给，为所述导电体层的温度小于所述液状体的沸点。

3.一种膜形成方法，在形成有导电体层的基板上涂敷液状体来形成膜，其特征在于：在所述液状体的涂敷后，向所述导电体层中供给电流。

4.根据权利要求3所述的膜形成方法，其特征在于：对所述导电体层的电流的供给，为所述导电体层的温度大于或等于所述液状体的沸点。

5.根据权利要求3或4所述的膜形成方法，其特征在于：所述导电体层，具有电性上分离的多个导电部，

向在所述基板上的中央部配置的所述导电部，供给比所述基板上的周边部配置的所述导电部更多的电流。

6.根据权利要求1到5任一项所述的膜形成方法，其特征在于：所述导电体层，具有电性上分离的多个导电部，

向所述液状体的涂敷中或者涂敷后的区域配置的所述导电部，供给比所述液状体的涂敷前的区域配置的所述导电部更多的电流。

7.根据权利要求1到6任一项所述的膜形成方法，其特征在于：所述导电体层，是驱动图像显示单元的电极层。

8.根据权利要求5或6所述的膜形成方法，其特征在于：所述导电部，是无源矩阵型的电光学装置中的扫描电极或者信号电极。

9.根据权利要求1到6任一项所述的膜形成方法，其特征在于：所述导电体层，是形成在图像表示单元周围的遮光膜。

10.根据权利要求5或6所述的膜形成方法，其特征在于：所述导电部，是将形成在图像表示单元周围的遮光膜电性分离后的多个遮光部。

11.一种电光学装置，其特征在于：使用权利要求1到10任一项所述的膜形成方法来制造。

12.一种电子机器，其特征在于：具备权利要求11所述的电光学装置。

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