TWI267683B - Method for forming film, electro-optical device and electronic apparatus - Google Patents

Description

1267683 ⑴ 九、發明說明 [發明所屬之技術領域】 本發明係有關膜形成方法，光電裝置以及電子機器。 【先前技術】 作爲裝載有投影機之光調變裝置，或行動電話等所裝 配之直視型顯示裝置，係廣泛使用液晶顯示裝置。此液晶 顯示裝置，係由對向配置之一對之基板，來挾持液晶層而 構成。該一對之基板之內側，係形成有用以對液晶層施加 電場之透明電極。該電極之內側，係形成有於不施加電場 時’控制液晶分子排列之配向膜。然後，根據施加電場與 未施加電場時液晶分子之排列變化，而進行畫像顯示。 上述之配向膜，係由聚亞胺等高分子材料所構成。爲 了形成配向膜，係將包含配向膜形成材料之液狀體塗佈於 基板上，將被塗佈之液狀體加熱處理而得。之後，於乾燥 表面施加摩擦處理，可形成配向膜。另外，作爲將液狀體 塗佈於基板上之方法，可利用旋轉塗佈法、或浸泡塗佈法 、噴塗佈法、印刷法、液滴吐出法等。 其中液滴吐出法，係於基板上吐出複數之液滴，而塗 佈液狀體之方法。此時’吐出之液滴將擴散於基板上，與 鄰接之液滴相結合’而成爲塗佈液狀體之狀態。此液滴吐 出法’係可將特定量之液狀體正確的塗佈於特定位置，而 具有可有效利用液狀體之優點。 [專利文件1]日本特開平9_1 0 5 9 3 8號公報 1267683 (2) [發明內容】 發明所欲解決之課題 然而，以液滴吐出法塗佈液狀體時，被吐出之液滴在 擴散前，液滴之溶媒有一部分將蒸發。因此，液滴之黏度 將增加而降低流動性。此時，將有難以平均形成配向膜之 問題。 又，於大基板上形成配向膜時，將液滴吐出裝置之噴 頭加以區分，而塗佈複數行之液狀體。此時液滴之流動性 若降低，則鄰接行之邊界部分將發生液狀體之混合不良， 而有於該部分發生分行痕跡之問題。此分行痕跡，將成爲 降低液晶顯示裝置之顯示品質的原因。 另一方面，被塗佈之液狀體於乾燥時，基板上中央部 的溶媒蒸氣分壓爲高，而週邊部的蒸氣分壓爲低。故，中 央部之乾燥遲緩，而週邊部乾燥快速，使的發生配向膜之 乾燥斑點。此乾燥斑點，亦將成爲降低液晶顯示裝置之顯 示品質的原因。 另外專利文件1中’提出了將配向膜形成溶液加以塗 佈到開始加熱爲止之時間加以控制，而形成平均之配向膜 的方法。然而，該加熱係利用發熱量不平均之紅外線或微 波，故難以形成平均之配向膜。 本發明，係用以解決上述課題者，並以提供可形成平 均而無斑點之fl吴之膜形成方法，爲其目的。 又，亦以提供高顯示品質之液晶顯示裝置及電子彳幾_ ，爲其目的。 -5- 1267683 (3) 用以解決課題之手段 爲達成上述目的’本發明之膜形成方法，係於形成有 導電體層之基板上，以液狀體塗佈而形成膜之方法，其特 徵係於上述液狀體之塗佈前或塗佈中，於上述導電體層供 給電流者。 若依此構成，可使導電體層發熱，而對被塗佈之液狀 體加熱。然後，因導電體層於液狀體之塗佈前或塗佈中進 行預加熱，故可抑制被塗佈之液狀體因溫度降低而增加黏 度。依此，可促進液狀體之流動，而使液狀體擴散爲平均 之厚度。又，以複數行塗佈液狀體時，亦可防止發生分行 痕跡。從而，可形成平均之膜。 又，對上述導電層之電流供給，係於上述導電體層之 溫度未滿上述液狀體之沸點下，所進行者爲佳。 若依此構成，可抑制液狀體之蒸發所造成的黏度增加 。依此，可促進液狀體之流動化，而形成平均之膜。 另一方面，本發明之其他膜形成方法，係於形成有導 電體層之基板上，以液狀體塗佈而形成膜之方法，其特徵 係於上述液狀體之塗佈後，於上述導電體層供給電流者。 若依此構成，比起使用紅外線或微波的情況，可更平 均的加熱液狀體，而形成無斑點之膜。又，不需要照射紅 外線或微波之照射手段，故可降低設備成本。更且，因借 由靠近被塗佈之液狀體的導電體層，而對導電體加熱，故 可以較少熱量並快速的使液狀體乾燥，而實現消耗能量之 降低，以及乾燥時間之縮短。 -6- 1267683 (4) 又，對上述導電體層之電流供給，係於上述導電體層 之溫度高於上述液狀體之沸點下，所進行者爲佳。 若依此構成，可形成無乾燥斑點之膜。 又，上述導電體層係具備電性分離之複數的導電部； 對於配置在上述基板上之中央部的上述導電部，較配置於 上述基板上之邊緣部的上述導電部，供給更多電流爲佳。 若依此構成，塗佈於基板上中央部之液狀體將被強力 加熱，而可使基板上之液狀體的乾燥速度成爲平均。從而 ，可形成無乾燥斑點之配向膜。 又，上述導電體層係具備電性分離之複數的導電部； 對於配置在上述液狀體之塗佈中或塗佈後之範圍的上述導 電部，較配置在上述液狀體之塗佈中或塗佈後之範圍的上 述導電部，供給更多電流爲佳。 若依此構成，對液狀體塗佈中或塗佈後之範圍，可立 即進行乾燥處理，而縮短乾燥時間。又，亦可有效進行液 狀體之重複塗佈。 又，上述導電體層，係驅動晝像顯示元件之電極層者 爲佳。 若依此構成，因整個膜形成範圍幾乎皆形成有電極， 故可平均的加熱液狀體。從而，可形成平均之膜。 又，上述導電體部，係於被動矩陣型之光電裝置中， 爲掃描電極或者訊號電極者亦可。 若依此構成，自形成爲條紋狀之各電極之兩端部，可 簡單的供給電流。 -7 - 1267683 (5) 又，上述導電體層，係於畫像顯示元件之周圍，所形 成之遮光膜者亦可。又，上述導電部，係將形成於畫像顯 示元件之周圍的遮光膜，加以電性分離之遮光部者亦可。 即使依此構成，亦可達成上述目的。 另一方面’本發明之光電裝置，其特徵係使用上述之 膜形成方法而製造者。 若依此構成，可形成平均且無斑點之膜，故可提供優 良顯示品質之光電裝置。 另一方面，本發明之電子機器，其特徵係具備上述之 光電裝置。 若依此構成，可提供優良顯示品質之光電裝置。 【實施方式】 以下’對本發明之實施方式，參考圖示加以說明。另 外’以下說明所使用之各圖示，爲了將各部件作爲可辨識 之大小，而適當變更各部件之比例尺。 力外’本5兌明書中，係將液晶顯不裝置之構成部件之 液晶層側，稱爲內側。 [第1實施方式] 一開始，對本發明之第1實施方式，使用第1圖到第5 圖加以說明。第1實施方式之膜形成方法，係第2圖中液晶 顯示裝置1之配向膜7 4之形成方法；其中，將包含配向膜 7 4之形成材料的液狀體，塗佈於基板7 0上，被塗佈之液狀 1267683 (6) 體乾燥後形成配向膜7 4 ;於液狀體之塗佈前、塗佈中及塗 佈後’對液晶層之驅動電極7 2供給電流，而加熱液狀體。 [液晶顯示裝置] 第1圖係液晶顯示裝置之立體圖，第2圖係第1圖之a -A線正面剖面圖。第2圖所示之液晶顯示裝置1，係以上基 板7 〇及下基板8 0挾持液晶層2所構成。另外，北實施方式 雖例舉被動矩陣型之液晶顯示裝置加以說明，但本發明亦 可適用於主動矩陣型之液晶顯示裝置。 如第2圖所示，液晶顯示裝置1中，玻璃等透明材料所 構成之下基板70及上基板80 ’係對向配置。下基板70之內 側，係形成有彩色濾光片層7 6。此彩色濾光片層，係使紅 、綠 '藍之各色光透過的複數之彩色濾光片 R、G、B， 被配置爲矩陣狀（參考第6圖）。又，爲了防止透過各彩 色濾光片之色光被混色，係如第2圖所示於各彩色濾光片 R、G、B之周圍，配置有金屬鉻等黑色材料所構成之黑 矩陣（遮光層）7 7。更且，彩色濾光片層7 6之內側，形成 有彩色濾光片層之保護膜79。另外，彩色濾光片層76及其 保護層79，亦可形成於上基板8 0之內側。 下基板7 〇及上基板8 〇之內側，係形成有用以對液晶層 施加電場之驅動電極72、82。此驅動電極72、82，係由 1丁〇等透明導電性材料而形成爲條紋狀。然後如第1圖所 示，下基板7 0之驅動電極7 2和上基板8 0之驅動電極8 2 ’係 配置爲垂直交叉狀態。另外，各驅動電極7 2、8 2係連接於 -9- 1267683 (7) 驅動用I C 5 ;自此驅動用I c 5，對一方之驅動電極供給 描訊號，而對另一方之驅動電極供給資料訊號。又，於 電極之交叉點附近，係如第2圖所示，構成有配置了各 色濾光片R、G、B之點範圍，而具備透過不同色光之 色濾光片的3個點範圍，係構成]個像素（畫像顯示元件 範圍。 更且如第2圖所示，係形成了覆蓋各驅動電極72、 的配向膜7 4、8 4。此配向膜7 4、8 4，係無不施加電場時 控制液晶分子之配向狀態者。配向膜74、84，係由聚亞 等有機高分子材料構成，於其表面施加有摩擦處理。依 ，不施加電場時，配向膜74、84之表面附近的液晶分子 其長軸方向與摩擦處理方向一致，而被配向爲約略平行 配向膜74、84。另外，使配向膜74之表面附近之液晶分 的配向方向，和配向膜84之表面附近之液晶分子的配向 向，僅錯開特定角度地，對各配向膜74、S 4施加摩擦處 〇 依此，液晶分子，係沿著液晶層2之厚度方向，層 爲扇狀。 下基板7 0及上基板8 0之間隔，係由配置於兩基板間 珠狀之間隔物（未圖示）之直徑所規定，例如保持爲5 ηι左右。又，基板7 0、8 0，係由熱硬化型或紫外線硬化 等之黏著劑所構成之密封材3，被黏著周邊部。然後， 基板7 0、8 0和密封材3所包圍之空間，封存液晶層2。此 晶層2係採用配向液晶等’作爲攸晶顯不裝置1之動作模 掃 兩 彩 彩 82 5 胺 此 於 子 方 理 積 圓 β 行 以 液 式 10- 1267683 (8) ’係ί未用超扭曲配向模式（Super ITwisted Nematic)。另 外亦可採用上述以外之液晶材料，或採用上述以外之動作 模式。 另外’下基板70及上基板80之外側，係以相互之偏光 軸（透過軸）僅偏離特定角度之狀態，配置偏光板（未圖 示）。又入射側偏光板之外側，係設置有背光（未圖示） 〇 然後，自背光所照射的光線，係沿著入設側偏光板之 偏光軸，被變換爲直線偏光，而自下基板7 0側射入液晶層 2。此直線偏光，於透過不施加電場狀態之液晶層2的過程 中，沿著液晶分子之扭轉方向僅旋轉特定角度，而透過射 出側之偏光板。此時，射入液晶層2之直線偏光係不旋轉 ，故不會透過射出側偏光板。依此，不施加電場時可進行 黑顯示。另外，可依據電場強度而調整色調。又，自背光 所照射之白色光，於透過彩色濾光片層7 6之過程中，係變 換爲有色光，故可用加法混色來進行畫像顯示。 (液滴吐出裝置） 本實施方式，係有關上述之配向膜7 4、8 4之形成方法 者。配向膜74、8 4，係將其構成材料液自液滴吐出裝置吐 出，而形成之。於此，使用第3圖及第4圖說明液滴吐出裝 置。 第3圖’係液滴吐出裝置之立體圖。第3圖中，X方向 係基座1 2之左右方向，而γ方向係前後方向，Z.方向係上 -11 - 1267683 (9) 下方向。液滴吐出裝置1 Ο，係由噴墨頭（以下簡稱噴頭） 2 0 ’和裝載基板4 8之平台4 6爲主所構成。另外，液滴吐出 裝置10之動作，係由控制裝置23所控制。 裝載基板4 8之平台4 6，係可以第1移動手段於γ方向 移動及定位，即以馬達4 4於0 ζ方向搖動並定位。另一方 面’噴頭20，係可以第2移動手段於X方向移動及定位， 即以線性馬達6 2於Ζ方向搖動並定位。又，噴頭2 0，係可 由馬達64、66、68，各自於α、/9、7方向搖動並定位。 依此，液滴吐出裝置1 0中，噴頭2 0之液滴吐出面2 Ο Ρ，和 平台46上之基板48之相對位置及姿勢，係可被正確控制。 於此，對噴頭20之構造例，參考第4圖加以說明。第4 圖’係噴墨噴頭之側面剖面圖。噴頭2〇，係以液滴吐出方 式，將墨水2自噴嘴9 1吐出者。作爲液滴吐出裝置，可使 用壓電元件之振動元件而吐出墨水之振動方式，或以加熱 墨水邀產生之泡沬來吐出墨水等，各種習知之方式。其中 振動方式，因不須對墨水加熱，固有不影響材料組成之優 點。 於此，第4圖之噴頭2 0，係採用上述之振動方式。 噴頭2 0之噴頭本體9 0，係由貯藏器9 5，及自貯藏器9 5 所分歧之複數之墨水室93所形成。貯藏器95 ’係成爲對各 墨水室93供給墨水之通路。又，噴頭本體90之下端面’係 裝配有構成墨水吐出面之噴嘴板。該噴嘴板’係對應各墨 水室9 3，開口有吐出墨水用之複數之噴嘴9 1。然後’對著 對應各墨水室9 3之噴嘴9 1，則形成有墨水通路。另一方面 -12- 1267683 (10) ，噴頭本體9 0之上端面，係裝配有振動板9 4。另外，振 板9 4，係構成於各墨水室9 3之壁面。該振動板9 4之外側 係對應各墨水室9 3，而設有振動元件9 2。振動元件9 2， 將水晶等壓電材料，以一對之電極（未圖示）挾特而成 該一對之電極，係連接於驅動電路9 9。 然後，由驅動電路99對振動元件92施加電壓後，振 元件9 2將膨脹變形或收縮變形。振動元件9 2若收縮變形 則使墨水室9 3之壓力降低’而墨水2由貯藏器9 5流向墨 室93。又振動元件92若膨脹變形，則使墨水室93之壓力 力口，墨水2自噴嘴9 1被吐出。另外’錯由改變施加電壓 可控制振動元件92之變形量。又，藉由改變施加電壓之 率，可控制振動元件92之變形速度。也就是，藉由控制 振動元件9 2之施加電壓，可控制墨水2之吐出條件。 另外，第3圖所示之覆蓋單元22，係用以防止噴頭 中墨水吐出面2 0Ρ之乾燥’而於液滴吐出裝置1 0停止時 蓋墨水吐出面2 Ο Ρ者。又’淸潔單元2 4，係用以去除噴 20中之噴嘴阻塞，而吸引噴嘴內部者。另外淸潔單元24 係用以淸除墨水吐出面2 〇Ρ之髒污’而可進行墨水吐出 2 Ο Ρ之擦拭者。 (塗佈方法） 其次，對於使用上述之液滴吐出裝置，將包含配向 形成材料之液狀體加以塗佈的方法，使用第5圖加以說 。第5圖，係液狀體之塗佈方法之說明圖，亦爲第2圖 動 係 動 5 水 增 J 頻 對 20 覆 頭 5 面 膜 明 中 - 13- 1267683 (11) B - B線之平面剖面圖。另外，以下雖舉例說明於下基板7 Ο 之內側形成配向膜之狀況，但以同樣之方法於上基板之內 側形成配向膜亦可。 本實施方式中，對形成於下基板7 0之驅動電極7 2供給 電流，由該電阻產生焦耳熱而對液狀體加熱。於此，係如 第5圖所示，各驅動電極係連接於電源5 0。具體來說，將 形成爲條紋狀之複數之驅動電極7 2，各自串聯於可變電阻 5 2，再將該等對電源5 0並聯連接。作爲次電源5 〇，係採用 可任意改變施加電壓者爲佳。 又，作爲可變電阻5 2，係採用電阻値可由〇變化至無 限大者爲佳。依此，可任意調整對各驅動電極72所供給之 電流量。 然後，對所有驅動電極7 2供給電流，將各驅動電極7 2 加以預加熱。此時，使各驅動電極7 2之溫度，低於被塗佈 之液狀體73之溶媒的沸點，而調整對各驅動電極72之供給 電流量。 另一方面，將配向膜形成材料之可溶性聚亞胺，以 r -丙烯酸正丁酯（沸點2 0 4 °c )等之溶媒加以溶解，而製 造塗佈用之液狀體7 3。然後將此液狀體7 3，自液滴吐出裝 置之噴墨頭20，吐出至驅動電極72之表面。另外，上述噴 頭2 0之寬度方向，係有複數之噴嘴排列爲一列之鋸齒狀。 於此，在垂直交叉於該寬度方向之方向，使噴頭2〇栘 動，自噴頭2 0之各噴嘴吐出液狀體，而可將液狀體7 3塗佈 爲面狀。另外，下基板7 0中配向膜形成範圍之寬度，與噴 -14- 1267683 (12) 頭20之寬度相同時，則噴頭20僅需掃過一次，即 配向膜形成範圍塗佈液狀體。 於此，各驅動電極72係被預加熱，故可抑制 之溫度降低所造成的黏度增加。另外，因預加熱 狀體7 3之溶媒沸點之溫度（例如5 0 °C )，故可抑 發所造成的黏度增加。依此，可促進被吐出之液 流動化，而液狀體7 3可擴散爲平均之厚度。從而 平均之配向膜。於此，使基板周邊之溶媒蒸氣分 ，而塗佈液狀體7 3爲佳。此時，可抑制溶媒之自 而可形成更平均之配向膜。 另一方面，如第5圖所示，配向膜形成範圍 於噴頭2 0之寬度時，則將配向膜形成範圍分割成 於各行掃過噴頭2 0，而於整個配向膜形成範圍塗 7 3。此時，在形成爲條紋狀之驅動電極7 2之長邊 過噴頭2 0，而塗佈液狀體7 3爲佳。另外，實際上 極7 2之寬度係較噴頭2 0之寬度小很多，故一次掃 複數之驅動電極7 2之表面，塗佈液狀體7 3。 此時，各驅動電極72亦被預加熱，故被吐出 可良好的擴散。然後，塗佈於鄰接行之液狀體， 界部分可良好的混和。以此，可防止分行痕跡之 而，可提供顯示品質優良之液晶顯示裝置。 如上述般’對各驅動電極7 2所供給之電流， 自由調整者。於此，液狀體7 3之塗佈中或塗佈後 爲行之驅動電極7 2，可增加其供給電流量。此時 可於整個 液狀體7 3 至未滿液 制溶媒蒸 狀體7 3更 ，可形成 壓爲高地 然揮發， 之寬度大 複數行， 佈液狀體 方向，掃 ，驅動電 過，可於 之液狀體 相互之邊 發生。從 係成爲可 ，對配置 ，使該驅 > 15- 1267683 (13) 動電極7 2之溫度，成爲液狀體7 3之沸點以上地，增加供給 電流量。依此，於液狀體7 3之塗佈中或塗佈後之行’可立 刻進行乾燥處理，而縮短乾燥時間。又，於整個配向膜形 成範圍塗佈液狀體之時，即可預先結束對最初塗佈行之乾 燥處理。此時，可立刻於最初塗佈行開始，重複塗佈液狀 體，而有效進行重複塗佈。 (乾燥方法） 其次，對於將整個配向膜形成範圍所塗佈之液狀體， 加以乾燥之方法，加以說明。 對整個配向膜形成範圍，結束液狀體7 3之塗佈時，使 所有驅動電極72之溫度成爲液狀體之沸點以上（例如220 °C )地，增加對各驅動電極7 2之供給電流量。依此，液狀 體7 3將被加熱，使其溶媒蒸發而形成乾燥膜。 另外，驅動電極72係幾乎形成於整個配向膜形成範圍 ，故可對被塗佈之液狀體7 3平均加熱。從而，比起烤爐、 電熱板、紅外線燈等加熱，更可以形成無斑點之配向膜。 另外，亦不需要烤爐、電熱板、紅外線燈等加熱手段，而 可降低設備成本。另一方面，因以配置於配向膜下方之驅 動電極7 2，對液狀體7 3加熱，故可以少量熱量使液狀體7 3 快速乾燥’而實現降低消耗能量及縮短乾燥時間。此時， 無須使下基板7 0成爲高溫即可對液狀體7 3加熱，故可防止 下基板7 0膨脹變形而造成斷線。 然而，液狀體73之一部分其溶媒若蒸發，溶媒隻蒸氣 -16- 1267683 (14) 分壓將上升’而可抑制周邊部分之溶媒蒸發。故，配向膜 形成範圍之中央部之液狀體7 3的乾燥速度，係有比周邊部 慢的傾向。於此，配置於配向膜形成範圍之中央部的驅動 電極7 3 ’其被供應之電流量，係作爲較周邊部所配置之驅 動電極72被供給電流量更高者爲佳。依此，塗佈於配向膜 形成範圍中央部之液狀體7 3被強力加熱，促進其乾燥，故 配向膜形成範圍中之乾燥速度將可平均化。從而，可形成 無斑點之配向膜。 [第2實施方式] 其次，對本發明之第2實施方式，使用第6圖及第7圖 加以說明。第6圖，係黑矩陣之說明圖，亦爲第2圖之C-C 線之平面剖面圖。第2實施方式之膜形成方法，其中對黑 矩陣（遮光膜）7 7供給電流而加熱液狀體之點，係與第i 實施方式不同。另外，對於與第1實施方式成爲相同構成 之部分，省略其詳細說明。 (塗佈方法） 本實施方式中，對形成於下基板7 〇之黑矩陣7 7供給電 ill ’以其電阻產生焦耳熱而對液狀體加熱。另外，一般之 黑矩陣7 7，係電性連續形成。此時，係如第6圖所示，將 黑矩陣77之兩端部連接於電源50。 第7圖，係黑矩陣之變形例之說明圖，即相當於第2圖 C - C線部分之平面剖面圖。第7圖所示之黑矩陣7 7，係由 -17- 1267683 (15) 電性分離之複數之遮光部78所構成。各遮光部78，係沿著 配向膜形成範圍之一邊（紙面上下方向），電性連續形成 ’而沿著另一邊（紙面左右方向）電性分離形成。此時， 與第]實施方式相同，各遮光部7 8係各自串聯於可變電阻 5 2，再將該等對電源5 0並聯連接。 其次，對黑矩陣7 7供給電流。依此，第2圖所示之黑 矩陣7 7所產生的熱，將經由保護膜7 9而傳導至各驅動電極 72，使各驅動電極72被預加熱。另外，使各驅動電極72之 溫度’成爲未滿被塗佈之液狀體之溶媒沸點地，調整對黑 矩陣7 7之供給電流量。 然後’將包含配向膜7 4之形成材料的液狀體，自液滴 吐出裝置之噴墨頭吐出至驅動電極7 2之表面。此時，各驅 動電極7 2因被預加熱，故可抑制被吐出之液狀體的黏度增 加，而使液狀體擴散爲平均之厚度。從而，可形成平均之 配向膜。 又，配向膜形成範圍之寬度大於噴頭之寬度時，則與 第1實施方式相同，將膜形成範圍分割爲複數行，於各行 掃過噴頭’而於整個配向膜形成範圍塗佈液狀體。另外， 如第7圖所示而形成黑矩陣7 7時，於遮光部7 8被電性連續 形成之方向掃過噴頭，而塗佈液狀體爲佳。依此，可僅對 配置於液狀體塗佈中或塗佈後之行的遮光部7 8，增加其供 給電流量。另外，由該遮光部7 8所加熱之驅動電極，使其 溫度局於液狀體之沸點以上地，增加供給電流量爲佳。依 此，於液狀體之塗佈中或塗佈後，可立刻進行乾燥處理， -18 - 1267683 (16) 而縮短乾燥時間。 又’亦可有效進行液狀體之重複塗佈。 (乾燥方法） 其次’將塗佈於整個配向膜形成範圍之液狀體，加以 乾燥。具體來說’使所有驅動電極之溫度成爲液狀體之沸 點以上，而增加對黑矩陣7 7之供給電流量。另外，如第7 圖般形成黑矩陣77時，配置於配向膜形成範圍中央之遮光 部7 8，其被供應之電流量，係作爲較配置於周邊部之遮光 部被供給之電流量更高者爲佳。依此，可使配向膜形成範 圍之乾燥速度平均化，而形成無斑點之配向膜。 如以上說明般，第2實施方式中，係於液狀體之塗佈 前或塗佈中，對黑矩陣7 7供給電流，而對液狀體加熱。依 此，亦與第1實施方式相同，可形成平均之配向膜，並防 止分行痕跡之產生。又，第2實施方式中，即使於液狀體 塗佈後，亦對黑矩陣7 7供給電流，使被塗佈之液狀體加以 乾燥。依此’亦與第1實施方式相同，可形成無斑點之配 向膜。 [電子機器] 其次’對於使用本實施方式之膜形成方法，而製造之 電子機器，使用第8圖加以說明。第8圖，係行動電話之立 體圖。第S圖中符號]〇 〇 〇係表示行動電話，而符號]〇 〇 1則 表示顯示部。此行動電話1 〇 〇 〇中，係採用了以本實施方式 - 19_ 1267683 (17) 之膜形成方法而製造之液晶顯示裝置，作爲顯示部]〇 〇 J。 k而’可以低成本提供優良顯示品質之行動電話〗0 0 0。 另外’本發明之技術範圍，並非限定於上述各實施方 式者’而於不脫離本發明之主旨之範圍內，可對上述各實 方也方式追加各種變更。

也就是’各實施方式中所舉出之具體材料或構成，僅 爲範例，而可做適當變更。例如，上述中雖舉例說明將液 晶顯示裝置之配向膜，加以形成的狀況；但於形成液晶顯 示裝置之保護膜的狀況，或塗佈液晶層之狀況，亦可適用 於本發明。又，液晶顯示裝置以外之光電裝置中，形成功 能膜之狀況，亦可適用本發明。例如，將有機E L裝置之 發光層及電洞注入層加以形成的狀況，或將電漿顯示裝置 之螢光體膜加以形成的狀況，皆可適用本發明。 【圖式簡單說明】

第1圖液晶顯不裝置之立體圖。 第2圖第1圖之A - A線之正面剖面圖。 第3圖液滴吐出裝置之立體圖。 第4圖噴墨頭之側面剖面圖。 第5圖液狀體之塗佈方法之說明圖。 第6圖黑矩陣之平面圖。 第7圖黑矩陣之平面例的說明圖。 第8圖行動電話之立體圖。 -20- 1267683 (18) [主要元件符號說明】 2 0 :噴墨噴頭 7 〇 :基板 7 2 :驅動電極 7 3 :液狀體

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Claims (1)

1. 十、申請專利範圍 第93 1 32635號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國95年7月14日修正 1 · 一種液晶配向膜的形成方法，係於形成有導電體層 之基板上’以液狀體塗佈而形成液晶配向膜之方法，其特 徵係於上述液狀體之塗佈前或塗佈中，於上述導電體層供 給電流者。 2·如申請範圍第1項、所記載之液晶配向膜的形成方法 ’其中’對上述導電體層之電流供給，係於上述導電體層 之溫度未滿上述液狀體之沸點下，所進行者。 3 · —種液晶配向膜的形成方法，係於形成有導電體層 之基板上’以液狀體塗佈而形成液晶配向膜之方法，其特 徵係於上述液狀體之塗佈後，於上述導電體層供給電流者 〇 4 ·如申請範圍第3項所記載之液晶配向膜的形成方法 ’其中’對上述導電體層之電流供給，係於上述導電體層 之溫度高於上述液狀體之沸點下，所進行者。 5 .如申請範圍第4項所記載之液晶配向膜的形成方法 ’其中’上述導電體層係具備電性分離之複數的導電部； 對於配置在上述基板上之中央部的上述導電部，較配置於 上述基板上之邊緣部的上述導電部，供給更多電流。 6 ·如申請範圍第5項所記載之液晶配向膜的形成方法 ’其中’上述導電體層係具備電性分離之複數的導電部； 1267683 (2) 對於配置在上述液狀體之塗佈中或塗佈後之範圍的上述導 電部，較配置在上述液狀體之塗佈中或塗佈後之範圍的上 述導電部，供給更多電流。 7 ·如申請範圍第6項所記載之液晶配向膜的形成方法 ’其中，上述導電體層，係驅動畫像顯示元件之電極層者 〇 8.如申請範圍第5項或第6項所記載之液晶配向膜的形 成方法’其中’上述導電體部，係於被動矩陣型之光電裝 置中，爲掃描電極或者訊號電極者。 9 ·如申請範圍第6項所記載之液晶配向膜的形成方法 ’其中’上述導電體層，係於畫像顯示元件之周圍，所形 成之遮光膜者。 I 0 ·如申請範圔第5項或第6項所記載之液晶配向膜的 形成方法’其中’上述導電部，係將形成於畫像顯示元件 之周圍的遮光膜’加以電性分離之遮光部者。 II ·一種光電裝置，其特徵係使用如申請專利範圍第1 項至第1〇項之任一項所記載之液晶配向膜的形成方法，以 形成均勻之膜厚且無分行痕跡之液晶配向膜的方式所製造 者。 12·—種電子機器，其特徵係具備如申請專利範圍第 11項所記載之光電裝置者。