JP3772873B2 - 膜形成方法 - Google Patents
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Description
また、大きな基板上に配向膜を形成する場合には、液滴吐出装置のヘッドを改行させることにより、複数行にわたって液状体を塗布する。この場合に液滴の流動性が低下すると、隣接行の境界部分において液状体の混合不良が発生して、当該部分に改行スジが現れるという問題がある。この改行スジは、液晶表示装置の表示品質を低下させる原因となる。
また、表示品質に優れた液晶表示装置および電子機器の提供を目的とする。
この構成によれば、導電体層を発熱させて、塗布された液状体を加熱することができる。そして、液状体の塗布前または塗布中に導電体層が予備加熱されるので、塗布された液状体の温度低下による粘度増加が抑制される。これにより、液状体の流動化が促進され、液状体は均一な厚さに濡れ広がる。また、複数行にわたって液状体を塗布する場合でも、隣接行の境界部分において液状体が良好に混合されるので、改行スジの発生を防止することが可能になる。したがって、均一な膜を形成することができる。
この構成によれば、液状体の蒸発による粘度増加が抑制される。これにより、液状体の流動化が促進され、均一な膜を形成することができる。
この構成によれば、赤外線やマイクロ波などを利用する場合と比べて、液状体を均一に加熱することが可能になり、ムラのない膜を形成することができる。また、赤外線やマイクロ波などを照射する加熱手段も不要となり、設備コストを低減することができる。さらに、塗布された液状体に近接する導電体層によって液状体を加熱するので、少ない熱量で速やかに液状体を乾燥させることが可能になり、消費エネルギーの低減および乾燥時間の短縮を実現することができる。
この構成によれば、乾燥ムラのない膜を形成することができる。
この構成によれば、基板上の中央部に塗布された液状体が強く加熱されるので、基板上において液状体の乾燥速度を均一化することができる。したがって、ムラのない配向膜を形成することができる。
この構成によれば、液状体の塗布中または塗布後の領域について直ちに乾燥処理を行うことが可能になり、乾燥時間を短縮することができる。また、液状体の重ね塗りを効率的に行うことも可能になる。
この構成によれば、膜形成領域のほぼ全体に電極が形成されているので、液状体を均一に加熱することが可能になる。したがって、均一な膜を形成することができる。
この構成によれば、ストライプ状に形成された各電極の両端部から、簡単に電流を供給することができる。
これらの構成によっても、上記目的を達成することができる。
この構成によれば、均一でムラのない膜を形成することができるので、表示品質に優れた電気光学装置を提供することができる。
この構成によれば、表示品質に優れた電子機器を提供することができる。
最初に、本発明の第1実施形態につき、図1ないし図5を用いて説明する。第1実施形態の膜形成方法は、図2に示す液晶表示装置1における配向膜74の形成方法であって、配向膜74の形成材料を含む液状体を基板70上に塗布し、塗布された液状体を乾燥させて配向膜74を形成するものであり、液状体の塗布前、塗布中および塗布後に、液晶層2の駆動電極72に電流を供給して、液状体を加熱するものである。
図1は液晶表示装置の斜視図であり、図2は図1のA−A線における正面断面図である。図2に示す液晶表示装置1は、下基板70および上基板80により液晶層2を挟持して構成されている。なお、本実施形態ではパッシブマトリクス型の液晶表示装置を例にして説明するが、本発明をアクティブマトリクス型の液晶表示装置に適用することも可能である。
本実施形態は、上述した配向膜74,84の形成方法に関するものである。配向膜74,84は、その構成材料溶液を液滴吐出装置から吐出することによって形成する。そこで、液滴吐出装置につき図3および図4を用いて説明する。
図3は、液滴吐出装置の斜視図である。図3において、X方向はベース12の左右方向であり、Y方向は前後方向であり、Z方向は上下方向である。液滴吐出装置10は、インクジェットヘッド(以下、単にヘッドと呼ぶ)20と、基板48を載置するテーブル46とを主として構成されている。なお、液滴吐出装置10の動作は、制御装置23により制御されるようになっている。
次に、上述した液滴吐出装置を用いて、配向膜の形成材料を含む液状体を塗布する方法につき、図5を用いて説明する。図5は、液状体の塗布方法の説明図であって、図2のB−B線における平面断面図である。なお以下には、下基板70の内側に配向膜を形成する場合を例にして説明するが、同様の方法により上基板の内側に配向膜を形成することも可能である。
そして、すべて駆動電極72に電流を供給し、各駆動電極72を予備加熱する。その際、各駆動電極72の温度が、塗布される液状体73の溶媒の沸点未満の温度となるように、各駆動電極72に対する供給電流量を調整する。
次に、配向膜形成領域の全体に塗布された液状体を乾燥させる方法について説明する。
配向膜形成領域の全体に対して液状体73の塗布が終了した時点で、すべての駆動電極72の温度が液状体の沸点以上の温度(例えば220℃)となるように、各駆動電極72に対する供給電流量を増加させる。これにより、液状体73が加熱されてその溶媒が蒸発し、乾燥膜が形成される。
次に、本発明の第2実施形態につき、図6および図7を用いて説明する。図6は、ブラックマトリクスの説明図であって、図2のC−C線における平面断面図である。第2実施形態の膜形成方法は、ブラックマトリクス(遮光膜)77に電流を供給して液状体を加熱する点で、第1実施形態と異なっている。なお、第1実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
本実施形態では、下基板に形成されたブラックマトリクス77に電流を供給し、その電気抵抗によりジュール熱を発生させて液状体を加熱する。なお、一般的なブラックマトリクス77は、電気的に連続して形成されている。この場合には、図6に示すように、ブラックマトリクス77の両端部を電源50に接続する。
図7は、ブラックマトリクスの変形例の説明図であって、図2のC−C線に相当する部分における平面断面図である。図7に示すブラックマトリクス77は、電気的に分離された複数の遮光部78によって構成されている。各遮光部78は、配向膜形成領域の一辺(紙面上下方向)に沿って電気的に連続形成され、他辺(紙面左右方向)に沿って電気的に分離形成されている。この場合には、第1実施形態と同様に、各遮光部78をそれぞれ可変抵抗器52に直列接続し、さらにこれらを電源50に対して並列接続する。
そして、配向膜74の形成材料を含む液状体を、液滴吐出装置のインクジェットヘッドから駆動電極72の表面に吐出する。このとき、各駆動電極72は予備加熱されているので、吐出された液状体の粘度増加が抑制されて、液状体は均一な厚さに濡れ広がる。したがって、均一な配向膜を形成することができる。
次に、配向膜形成領域の全体に塗布された液状体を乾燥させる。具体的には、すべての駆動電極の温度が液状体の沸点以上の温度となるように、ブラックマトリクス77に対する供給電流量を増加させる。なお、図7のようにブラックマトリクス77を形成した場合には、配向膜形成領域の中央部に配置された遮光部78に供給する電流量を、周辺部に配置された遮光部78に供給する電流量より多くすることが望ましい。これにより、配向膜形成領域の乾燥速度を均一化することが可能になり、ムラのない配向膜を形成することができる。
次に、本実施形態の膜形成方法を使用して製造した電子機器につき、図8を用いて説明する。図8は、携帯電話の斜視図である。図8において符号1000は携帯電話を示し、符号1001は表示部を示している。この携帯電話1000には、本実施形態の膜形成方法を使用して製造した液晶表示装置が表示部1001に採用されている。したがって、表示品質に優れた携帯電話1000を低コストで提供することができる。
Claims (9)
- 導電体層が形成された基板上に液状体を塗布して膜を形成する方法であって、
液滴吐出法による前記液状体の塗布中に、前記導電体層に電流を供給して前記液状体を加熱することを特徴とする膜形成方法。 - 前記導電体層に対する電流の供給は、前記導電体層の温度が前記液状体の沸点未満となるように行うことを特徴とする請求項1に記載の膜形成方法。
- 導電体層が形成された基板上に液状体を塗布した後に、前記導電体層に電流を供給し前記液状体を加熱して膜を形成する方法であって、
前記導電体層は、電気的に分離された複数の導電部を備え、
前記基板上の中央部に配置された前記導電部に対して、前記基板上の周縁部に配置された前記導電部より、多くの電流を供給して加熱することを特徴とする膜形成方法。 - 前記導電体層に対する電流の供給は、前記導電体層の温度が前記液状体の沸点以上となるように行うことを特徴とする請求項3に記載の膜形成方法。
- 前記導電体層は、電気的に分離された複数の導電部を備え、
前記液状体が塗布された領域に配置された前記導電部に対して、前記液状体が塗布されていない領域に配置された前記導電部より、多くの電流を供給して加熱することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の膜形成方法。 - 前記導電体層は、画像表示素子を駆動する電極層であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の膜形成方法。
- 前記導電部は、パッシブマトリクス型の電気光学装置における走査電極または信号電極であることを特徴とする請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載の膜形成方法。
- 前記導電体層は、画像表示素子の周囲に形成された遮光膜であることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の膜形成方法。
- 前記導電部は、画像表示素子の周囲に形成された遮光膜を電気的に分離した複数の遮光部であることを特徴とする請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載の膜形成方法。
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