JP2005221848A - 膜形成方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 均一な膜を形成することが可能であり、また生産性を向上することが可能な、膜形成方法を提供する。
【解決手段】 液滴吐出装置１０３により、画素領域６Ｇの角部に対して、角部以外の部分より多くの液滴Ｐｅを吐出する。この構成によれば、角部の近傍に液滴Ｐｅが配置されるので、吐出された液滴を画素領域６Ｇの角部まで迅速に濡れ広がらせることができる。これにより、画素領域６Ｇに均一なカラーフィルタを形成することができる。
【選択図】 図１０

Description

本発明は、膜形成方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

インクジェット法を用いて、電気光学装置の画素領域に各種被膜を形成する手法が知られている。インクジェット法は、液滴吐出装置から被膜形成領域に液滴を吐出し、吐出した液滴を被膜形成領域の全体に濡れ広がらせた後に、乾燥させて被膜を形成する方法である。インクジェット法を用いた膜形成方法として、例えば、マトリクス型の表示装置におけるマトリクス状に配置された発光部を形成する方法や、カラーフィルタ基板のフィルタエレメントを形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−１２７３４３号公報

上述した電気光学装置の画素領域は、一般に長方形状に形成されている。この場合、画素領域の内部に対して、複数の液滴をマトリクス状に吐出することになる。
しかしながら、この場合には、液滴の端部から画素領域の角部までの距離が長くなって、吐出された液滴が画素領域の角部まで濡れ広がるのに相当の長時間を要するという問題がある。これに伴って、カラーフィルタ基板の製造効率が低下することになる。そして、吐出された液滴が画素領域の全体に濡れ広がる前に乾燥が開始されると、カラーフィルタを均一に形成することが困難になる。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、均一な膜を形成することが可能であり、また生産性を向上することが可能な、膜形成方法の提供を目的とする。
また、表示品質に優れた電気光学装置および電子機器の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の膜形成方法は、被膜形成領域に液状体を塗布して被膜を形成する方法であって、前記領域の端部に対して、前記端部以外の部分より、多くの液状体を塗布することを特徴とする。
この構成によれば、塗布された液状体を前記領域の端部まで迅速に濡れ広がらせることができる。したがって、製造効率を向上させることが可能になり、また均一な膜を形成することが可能になる。

また、前記液状体の塗布は、液滴吐出装置から液滴を吐出して行うことが望ましい。
この構成によれば、所定量の液状体を所定位置に精確に塗布することができる。

また、前記端部に対して吐出する液滴数を、前記端部以外の部分に対して吐出する液滴数より多くすることが望ましい。
この構成によれば、前記端部の近傍に液滴が配置されるので、吐出された液滴を前記領域の端部まで迅速に濡れ広がらせることができる。したがって、製造効率を向上させることが可能になり、また均一な膜を形成することが可能になる。

なお、前記端部に対して吐出する液滴の体積を、前記端部以外の部分に対して吐出する液滴の体積より大きくしてもよい。
この構成によれば、前記端部に吐出された液滴の濡れ広がり速度を向上させることができるので、吐出された液滴を前記領域の端部まで迅速に濡れ広がらせることができる。したがって、製造効率を向上させることが可能になり、また均一な膜を形成することが可能になる。

また、前記液滴吐出装置は、整列配置された複数の液滴吐出ノズルを有し、前記領域は、長方形状に形成され、前記各液滴吐出ノズルの配列方向が前記領域の長辺方向と平行になるように前記液滴吐出装置を配置して、前記領域の短辺方向に沿って前記液滴吐出装置を走査させることにより、前記液滴の吐出を行うことが望ましい。
この構成によれば、前記各液滴吐出ノズルのピッチを前記各領域の短辺方向のピッチに合わせて前記液滴吐出装置を傾斜配置する必要がなくなる。この場合、前記各領域の短辺方向のピッチが異なるごとに前記液滴吐出装置を再構成する必要がなくなり、生産性を向上させることができる。

なお、前記領域は矩形領域であり、前記端部は角部であってもよい。
一般に、矩形領域に吐出された液滴は、角部までの距離が最も長くなるため、角部まで濡れ広がるのに相当の時間を要することになる。しかしながら、本発明の構成とすることにより、吐出された液滴を矩形領域の角部まで迅速に濡れ広がらせることができる。したがって、製造効率を向上させることが可能になり、また均一な膜を形成することが可能になる。

なお、前記領域は、液晶表示装置の画素領域であり、前記被膜は、液晶表示装置を構成するカラーフィルタであってもよい。
この構成によれば、カラーフィルタを均一に形成することが可能になる。したがって、色ムラがなく表示品質に優れた電気光学装置を提供することができる。

一方、本発明の電気光学装置は、上述した膜形成方法を使用して製造したことを特徴とする。
この構成によれば、表示品質に優れた電気光学装置を提供することができる。

一方、本発明の電子機器は、上述した電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、表示品質に優れた電子機器を提供することができる。

以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

［液滴吐出装置］
（Ａ．液滴吐出装置の全体構成）
図１は、液滴吐出装置の全体構成の説明図である。インクジェット装置（液滴吐出装置）１００は、インク（液状体）１１１を貯留するタンク１０１と、インク１１１を基板７０に吐出する吐出走査部１０２とを備えている。

吐出走査部１０２は、複数のヘッドを備えたキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御する第１位置制御手段１０４と、吐出対象物である基板７０を保持可能なステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御手段１０８と、制御部１１２とを備えている。なお、キャリッジ１０３に設けられた複数のヘッド１１４（図２参照）には、タンク１０１からインク１１１がパイプ１１０を介して供給されるようになっている。

図１に示すように、キャリッジ１０３は第１位置制御手段１０４によってＸ軸方向に移動可能に構成され、ステージ１０６は第２位置制御手段１０８によってＹ軸方向に移動可能に構成されている。つまり、第１位置制御手段１０４及び第２位置制御手段１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置を変更可能に構成されている。すなわち、キャリッジ１０３およびステージ１０６は、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査しうるようになっている。なお、キャリッジ１０３及びステージ１０６は、上記以外の平行移動及び回転の自由度をさらに有しているが、理解を容易にするため、上記自由度以外の自由度に関する説明は省略する。

（Ｂ．キャリッジ）
図２は、キャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した底面図であり、図２の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図２において紙面横方向がＸ軸方向であり、紙面縦方向がＹ軸方向である。キャリッジ１０３には、それぞれほぼ同じ構造を有する複数のヘッド１１４が設けられている。なお本実施形態では、キャリッジ１０３に保持されるヘッド１１４の数は２４個である。各ヘッド１１４の底面は略長方形状であり、その長辺方向および短辺方向はそれぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行に配置されている。そして、各ヘッド１１４の底面は、前記ステージ側に向けて配置されている。なお、キャリッジ１０３における各ヘッド１１４の相対位置関係については後述する。

（Ｃ．ヘッド）
図３は、ヘッド１１４の底面構成を示している。ヘッド１１４の底面には、インクの吐出口として複数のノズル１１８が形成されている。なお本実施形態では、１８０個のノズル１１８が一定間隔ＨＸＰで配置されている。各ノズル１１８はＸ軸方向に沿って千鳥状に配置され、ノズル列１Ａおよびノズル列１Ｂが構成されている。そして、各ノズル列１Ａ，１Ｂには、９０個のノズル１１８が一定間隔ＬＮＰで配置されている。ただし、各ノズル列１Ａ，１Ｂの両端における数個のノズルはインクが吐出されない「休止ノズル」に設定され、他のノズルはインクが吐出される「吐出ノズル」に設定されている。

図４（ａ）はヘッド１１４の吐出部の構成を示す斜視図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線における側面断面図である。図４（ａ）に示すように、ヘッド１１４の底面には、前記各ノズル１１８が形成されたノズルプレート１２８が配置されている。このノズルプレート１２８と振動板１２６との間には、各ノズル１１８に対応して複数のキャビティ１２０が形成されている。そして、図１に示すタンク１０１から、図４（ａ）に示す孔１３１および供給口１３０を介して、各キャビティ１２０にインクが供給されるようになっている。

一方、振動板１２６の外側には、各キャビティ１２０に対応して複数の振動子１２４が配設されている。図４（ｂ）に示すように、この振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃを一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂにより挟持して構成されている。この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂに対して、図１に示す制御部１１２から駆動電圧を印加すると、圧電効果により図４（ｂ）に示すピエゾ素子１２４Ｃが機械振動する。これにより、キャビティ１２０の内圧が変動して、ノズル１１８からインク１１１が吐出されるようになっている。なお、ピエゾ素子の代わりに、電気熱変換素子を採用することも可能である。本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。

（Ｄ．制御部）
図５は、制御部の構成を示すブロック図である。制御部１１２は、入力バッファメモリ２００を備えている。入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置からインクの吐出データを受け取る。この吐出データは、基板上のすべての被吐出領域の相対位置を表すデータと、すべての被吐出領域にインクを所望の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、オンノズルとして機能するノズルを指定するデータと、オフノズルとして機能するノズルを指定するデータとを含んで構成されている。そして、入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。なお図５では、記憶手段２０２はＲＡＭである。

処理部２０４は、記憶手段２０２内の吐出データに基づいて、被吐出領域に対するノズルの相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６は、このデータと、図６に示す吐出周期ＥＰとに応じた駆動信号を、図５に示す第１位置制御手段１０４及び第２位置制御手段１０８に与える。この結果、被吐出領域に対してヘッド１１４が相対走査する。一方、処理部２０４は、記憶手段２０２に記憶された吐出データと、吐出周期ＥＰとに基づいて、吐出タイミング毎のノズルのオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８に与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、インクの吐出に必要な吐出信号ＥＳをヘッド１１４に与える。この結果、ヘッド１１４における対応するノズルからインクが液滴として吐出される。

図６（ａ）はヘッド駆動部の構成を示すブロック図であり、図６（ｂ）はヘッド駆動部における各種信号のタイミングチャートである。図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。各アナログスイッチＡＳは、ヘッドにおける各振動子１２４に対応して設けられている。また駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成して、各アナログスイッチＡＳに供給するようになっている。図６（ｂ）に示すように、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｗを含む。この吐出波形Ｗは、ノズルから１つの液滴を吐出するために、振動子における一対の電極間に印加すべき駆動電圧波形に対応する。

なお、ヘッドから吐出される液滴の体積は、吐出波形Ｗによって制御される。そこで、所定体積の液滴を吐出しうる吐出波形Ｗのデータを駆動信号生成部に入力し、駆動信号生成部がそのデータから駆動信号ＤＳを生成するようになっている。しかしながら、必要な液滴の体積を駆動信号生成部に入力し、駆動信号生成部がそのデータから吐出波形Ｗを求めて、駆動信号ＤＳを自動生成するようにしてもよい。この場合、駆動信号生成部には、あらかじめ液滴の体積と吐出波形Ｗとの相関テーブルを入力しておく。この構成によれば、駆動信号生成部に入力するデータ量を低減することができる。

一方、図６（ａ）に示す各アナログスイッチＡＳには、各ノズルのオン・オフを制御する複数の選択信号ＳＣ（ＳＣ１、ＳＣ２…）が供給される。図６（ｂ）に示すように、各選択信号ＳＣは、吐出周期ＥＰごとにハイレベル及びローレベルのどちらかの状態を取り得る。そして、図６（ａ）に示す各アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４における一方の電極に対し、吐出信号ＥＳ（ＥＳ１、ＥＳ２…）を供給する。図６（ｂ）に示すように、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを供給する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、吐出信号ＥＳとして基準電位Ｌを供給する。そして、図６（ａ）に示すように、振動子１２４における他方の電極には基準電位Ｌが与えられているため、振動子１２４における一方の電極に駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズルからインクが吐出される。

（Ｅ．ヘッド群）
図７は、キャリッジにおける各ヘッドの相対位置関係を示す模式図である。図７には、図２に示す複数のヘッド群１１４Ｇのうち、隣接する２つのヘッド群１１４Ｇが記載されている。また、図７に示す各ヘッド群１１４Ｇには、４つのヘッド１１４（１１４１，１１４２，１１４３，１１４４）が階段状に配置されている。なお本実施形態では、ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰと、ヘッド１１４における吐出ノズルの数との積を、「ヘッドの有効長ＨＬ」と呼ぶ。また本実施形態では、各ヘッド１１４に対して、Ｘ軸方向に連続する４つのサブ領域ＳＲ（ＳＲ１，ＳＲ２，ＳＲ３，ＳＲ４）を設定する。各サブ領域ＳＲにおけるＸ軸方向の長さＤＬは、ヘッドの有効長ＨＬの１／４倍となっている。

本実施形態では、各ヘッド１１４における複数の吐出ノズルのうち、最も左側の吐出ノズルを「基準ノズル１１８Ｒ」と定義する。そして、各ヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ座標に対して、隣接するヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ座標がＤＬ＋ＨＸＰ／２だけずれるように、ヘッド群１１４Ｇを構成する各ヘッド１１４が配置されている。これにより、Ｘ軸方向に沿ったノズルピッチＨＸＰの長さの範囲内に、４つノズルのＸ座標が収まるようになっている。本実施形態では、この部分を重畳部Ｇ（図７中ではＧ１〜Ｇ７）と表記する。例えば重畳部Ｇ１には、ノズル列１ＡにおけるノズルＮ１と、ノズル列２ＡにおけるノズルＮ２と、ノズル列３ＡにおけるノズルＮ３と、ノズル列４ＡにおけるノズルＮ４とが含まれている。これにより、ヘッド群１１４Ｇ全体におけるＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰが、各ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰの１／４倍の長さになっている。

そして、本実施形態のヘッド配置によれば、重畳部Ｇ１〜Ｇ７のいずれにも、サブ領域ＳＲ１〜ＳＲ４に属するノズルが含まれる。しかも、１つの重畳部（例えば重畳部Ｇ１）に含まれる各サブ領域のノズル数は同じになっている。

図８（ａ）は、一個のヘッド１１４における吐出量のプロファイルをＸ軸方向に沿って模式的に示すグラフである。一般的なヘッド１１４では、両端のノズルからの吐出量が最も多く、略中央のノズルからの吐出量が最も少なくなる。その理由は、ヘッド１１４の製造上の問題に起因するが、ここではその詳細な説明を省略する。

図８（ｂ）は、ヘッド群における各重畳部Ｇ１〜Ｇ７の吐出量のプロファイルをＸ軸方向に沿って模式的に示すグラフである。上述したように、本実施形態におけるヘッド構成では、異なるサブ領域に属するノズルによって各重畳部Ｇ１〜Ｇ７が構成されている。このため、各重畳部Ｇ１〜Ｇ７から吐出される液滴の総体積は、どれも略同じになる。したがって、ヘッド群から吐出された液滴の列に吐出量の差が現れにくくなり、均一な膜を形成することができる。

一方、図７に示す重畳部Ｇ１では、各ノズルが次にように配置されている。すなわち、ノズル列２ＡにおけるノズルＮ２のＸ座標は、ノズル列１ＡにおけるノズルＮ１のＸ座標と、ノズル列１ＢにおけるノズルＮ５のＸ座標との中間に略一致している。また、ノズル列３ＡにおけるノズルＮ３のＸ座標は、ノズル列１ＡにおけるノズルＮ１のＸ座標と、ノズル列２ＡにおけるノズルＮ２のＸ座標との中間に略一致している。さらに、ノズル列４ＡにおけるノズルＮ４のＸ座標は、ノズル列１ＢにおけるノズルＮ５のＸ座標と、ノズル列２ＡにおけるノズルＮ３のＸ座標との中間に略一致している。

そして、長方形状の被吐出領域１８Ｌに対してインクを吐出するには、被吐出領域１８Ｌの長辺方向と各ヘッド１１４のノズル列とを略平行に配置し、被吐出領域１８Ｌの短辺方向に沿ってヘッド群１１４Ｇを相対移動させる。そして、被吐出領域１８Ｌの上方に到達したノズル列から順次インクを吐出する。例えば重畳部Ｇ１では、まずノズル列１ＡにおけるノズルＮ１から液滴Ｐ１が吐出され、次にノズル列１ＢにおけるノズルＮ５から液滴Ｐ５が吐出される。次に、液滴Ｐ１と液滴Ｐ５との略中間に、ノズル列２ＡにおけるノズルＮ２から液滴Ｐ２が吐出される。次に、液滴Ｐ１と液滴Ｐ２との略中間に、ノズル列３ＡにおけるノズルＮ３から液滴Ｐ３が吐出される。次に、液滴Ｐ５と液滴Ｐ２との略中間に、ノズル列４ＡにおけるノズルＮ４から液滴Ｐ４が吐出される。

このように、本実施形態のヘッド構成によれば、先に着弾した２つの液滴の略中間に、次の液滴が着弾する。そのため、後に着弾した液滴には、先に着弾した２つの液滴から対称方向に力が作用する。その結果、後に着弾した液滴は、その着弾位置から対称な形状に広がる。したがって、本実施例の吐出方法によれば、液状体の塗布ムラが生じにくく、均一な膜を形成することができる。

また、本実施形態のヘッド構成によれば、ヘッド群１１４Ｇが相対移動する方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に、各ノズル列が配置されている。このため、Ｘ軸方向に延びる被吐出領域１８Ｌに対して、ノズル列を構成する各ノズルから略同時にインクを吐出できる。この結果、図６（ａ）に示す駆動信号生成部２０３は、各ノズル列に対して１種類の駆動信号ＤＳを出力すれば足り、駆動信号ＤＳを遅延させるための回路構成などが不要になる。これにより、駆動信号ＤＳにおける波形になまりが生じる要因が少なく、精密な吐出波形を振動子１２４に印加することができる。したがって、各ノズルからインクを安定して吐出することができる。

さらに、図７に示す本実施形態のヘッド構成によれば、ヘッド群１１４ＧにおけるＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰは、各ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰの１／Ｎ倍の長さである。ここで、Ｎはヘッド群１１４Ｇに含まれるヘッド１１４の数である。このため、本実施形態の液滴吐出装置におけるＸ軸方向のノズル線密度は、従来の液滴吐出装置におけるＸ軸方向のノズル線密度のＮ倍となる。したがって、ヘッド群１１４ＧをＹ軸方向に１回だけ相対移動する期間内に、Ｘ軸方向に沿ってより精密な着弾パターンを形成することができる。

なお、従来の液滴吐出装置では、長方形状の被吐出領域の短辺方向とノズル列とが略平行になるようにヘッドを配置し、被吐出領域の長辺方向に沿ってヘッドを移動させることにより、被吐出領域に液滴を吐出していた。また、並列配置された複数の被吐出領域に対して液滴を吐出する場合には、各被吐出領域の短辺方向のピッチに各ノズルのピッチを合わせるため、ヘッドを傾斜配置していた。これに対して、本実施形態のヘッド構成では、被吐出領域の長辺方向とノズル列とが略平行になるようにヘッドを配置し、被吐出領域の短辺方向に沿ってヘッドを移動させることにより、被吐出領域に液滴を吐出する。これにより、ヘッドを傾斜配置する必要がなくなり、被吐出領域のピッチが異なるごとにヘッドを再構成する必要がなくなる。したがって、生産性を向上させることができる。

［膜形成方法］
本実施形態では、上述した液滴吐出装置を用いて、電気光学装置のカラーフィルタ膜を形成する方法について説明する。
図９は、カラーフィルタの平面図であり、図１３のＣ−Ｃ線における断面図である。図９に示すカラーフィルタ２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂは、それぞれ異なる色光（ＲＧＢ）を透過する顔料等により、長方形状に形成されている。各カラーフィルタは、電気光学装置における複数の画素領域６に対応して、透明基板上にマトリクス状に配置されている。なお、各カラーフィルタの周縁部には遮光膜７７が形成されている。このカラーフィルタ膜２２をインクジェット法により形成するには、まず顔料等を分散媒中に分散させてインクを作製する。次に、上述した液滴吐出装置を用いて、遮光膜７７により区画された画素領域６の内部にインクを吐出する。そして、吐出されたインクが画素領域６の全体に濡れ広がった後に、インクを乾燥させてカラーフィルタ膜２２を焼成する。

図１０は、画素領域の内部に吐出された液滴の平面図である。本実施形態では、画素領域６Ｇの角部に対して、角部以外の部分より多くのインクを塗布する。図１０に示す画素領域６Ｇの中央部には、長辺方向×短辺方向が９行×２列（第２列Ｌ２および第３列Ｌ３）のマトリクス状に、液滴Ｐｃが配置されている。これに加えて、画素領域６Ｇの四つの角部には、それぞれ液滴Ｐｅが配置されている。すなわち、画素領域６Ｇの長辺方向中央部には液滴が２列（第２列Ｌ２および第３列Ｌ３）に配置され、長辺方向両端部には液滴が４列（第１列Ｌ１ないし第４列Ｌ４）に配置されている。

ここで、上記のように液滴を配置する具体的な方法につき、図６、図１０および図１１を用いて説明する。
まず図１０に示すように、画素領域６Ｇの長辺方向に対して、ヘッド１１４におけるノズル列の配列方向が平行になるように、上述したキャリッジ１０３を配置する。次に、そのキャリッジ１０３を画素領域６Ｇの短辺方向に沿って移動させる。そして、ヘッド１１４のノズル列が画素領域６Ｇの上方に到達した時点で、所定ノズルから所定位置に液滴を吐出する。各液滴は、隣接する液滴と部分的に重なり合うように吐出してもよく、相互に離間させて吐出してもよい。なお、画素領域６Ｇにおいて同一列に吐出される液滴は、同一ヘッドの同一ノズル列に属する複数のノズルから同時に吐出してもよいし、異なるヘッドに属する複数のノズルから順次吐出してもよい。以下には、理解を容易にするため、同一ヘッドの同一ノズル列に属する複数のノズルから同時に吐出する場合を例にして説明する。

図１１（ａ）は、ヘッド駆動波形のグラフである。この駆動信号ＤＳは、画素領域６Ｇ（図１０参照）をノズル列が通過する時間帯に、それぞれ４個の吐出波形Ｗ１〜Ｗ４を備えている。図１１（ａ）の第１吐出波形Ｗ１ないし第４吐出波形Ｗ４は、それぞれ図１０の画素領域６Ｇにおける第１列Ｌ１ないし第４列Ｌ４に液滴を吐出するための波形である。図１１（ａ）に示す駆動信号ＤＳは、図６（ａ）に示すヘッド駆動部２０８の駆動信号生成部２０３により生成され、各アナログスイッチＡＳに供給される。

一方、各アナログスイッチＡＳには、図１１（ｂ）または図１１（ｃ）に示す選択信号ＳＣが供給される。ここで、図１０の第１行および第９行に対して液滴を吐出するノズルのアナログスイッチには、図１１（ｂ）に示す選択信号ＳＣｅが供給される。選択信号ＳＣｅは、第１吐出波形Ｗ１ないし第４吐出波形Ｗ４と同じ時間帯にハイレベルとなり、他の時間帯にはローレベルとなっている。一方、図１０の第２行ないし第８行に対して液滴を吐出するノズルのアナログスイッチには、図１１（ｃ）に示す選択信号ＳＣｃが供給される。選択信号ＳＣｃは、第２吐出波形Ｗ２および第３吐出波形Ｗ３と同じ時間帯にハイレベルとなり、他の時間帯にはローレベルとなっている。

以上により、図１０に示す画素領域６Ｇの第１行および第９行に液滴を吐出するノズルの振動子には、図１１（ｄ）に示す吐出信号ＥＳｅがアナログスイッチから出力される。また、図１０に示す画素領域６Ｇの第２行ないし第８行に液滴を吐出するノズルの振動子には、図１１（ｅ）に示す吐出信号ＥＳｃがアナログスイッチから出力される。これにより、図１０に示す画素領域６Ｇの中央部に液滴Ｐｃを、また画素領域６Ｇの角部に液滴Ｐｅを吐出することが可能になる。

ところで、図１０に示す画素領域６Ｇの内部に、９行×２列の液滴Ｐｃのみを配置した場合を仮定する。この場合、液滴の端部から画素領域の角部までの距離が長くなるので、吐出された液滴が画素領域の角部まで濡れ広がるには相当の長時間を要することになる。そして、画素領域６Ｇの角部まで濡れ広がる前に液滴の乾燥が開始されると、カラーフィルタを均一に形成することが困難になる。
これに対して、本実施形態では、画素領域６Ｇの角部に対して、角部以外の部分より多くのインクを塗布する。具体的には、画素領域６Ｇの角部に液滴Ｐｅを追加配置する構成とした。この構成によれば、液滴群の端部から画素領域６Ｇの角部までの距離が短くなるので、吐出された液滴を画素領域６Ｇの角部まで迅速に濡れ広がらせることが可能になる。したがって、製造効率を向上させることができる。そして、画素領域６Ｇの全体に濡れ広がった液滴を乾燥させれば、カラーフィルタを均一に形成することができる。

なお、本実施形態では、画素領域に吐出される複数の液滴の体積をすべて同じに設定したが、各液滴の体積は異なっていてもよい。特に、画素領域の角部に吐出する液滴Ｐｅの体積は、角部以外の部分に吐出する液滴Ｐｃの体積より少なくてもよく、逆に多くてもよい。いずれの場合でも、液滴群の端部から画素領域の角部までの距離が短くなるので、吐出された液滴を画素領域の角部まで迅速に濡れ広がらせることが可能になる。結局、各液滴の体積は、所定体積のカラーフィルタ膜が形成可能となるように適宜設定すればよい。なお、各液滴の体積は、振動子の駆動波形によって調整することが可能である。

また、本実施形態では、画素領域の角部における他の液滴とは異なる位置に液滴を追加吐出することにより、画素領域の角部に対して角部以外の部分より多くのインクを塗布した。これに対し、画素領域の角部における他の液滴と同じ位置に液滴を追加吐出することにより、画素領域の角部に対して角部以外の部分より多くのインクを塗布することも可能である。これを図１０により具体的に説明すると、画素領域６Ｇの角部における他の液滴とは異なる位置（第１行および第９行の第１列Ｌ１および第４列Ｌ４）に対する液滴の吐出を中止して、角部における他の液滴と同じ位置（第１行および第９行の第２列Ｌ２および第３列Ｌ３）に液滴を追加吐出する。なお、追加吐出する液滴の体積は、他の液滴の体積と同じでもよく、また異なっていてもよい。いずれの場合でも、第１行および第９行の第２列Ｌ２および第３列Ｌ３に配置された液滴の体積が大きくなるので、その液滴の濡れ広がり速度を向上させることができる。したがって、製造効率を向上させることが可能になり、またカラーフィルタを均一に作製することが可能になる。

また、本実施形態では、画素領域の角部に吐出する液滴数を角部以外に吐出する液滴数より多くすることにより、画素領域の角部に対して角部以外の部分より多くのインクを塗布した。これに対し、画素領域の角部に吐出する液滴数を角部以外に吐出する液滴数と同じにして、前者の液適の体積を多くすることにより、画素領域の角部に対して角部以外の部分より多くのインクを塗布することも可能である。これを図１０により具体的に説明すると、第１行および第９行の第１列Ｌ１および第４列Ｌ４に対する液滴の吐出を中止して、画素領域６Ｇの角部（第１行および第９行の第２列Ｌ２および第３列Ｌ３）に吐出する液滴の体積を、角部以外（第２行ないし第８行の第２列Ｌ２および第３列Ｌ３）に吐出する液滴の体積より大きくする。この場合、角部に配置された液滴の濡れ広がり速度を向上させることができる。したがって、製造効率を向上させることが可能になり、またカラーフィルタを均一に作製することが可能になる。

［電気光学装置］
上記のように形成したカラーフィルタにより、電気光学装置が構成される。そこで、電気光学装置の一例である液晶表示装置の概略構成につき、図１２および図１３を用いて説明する。なお本明細書では、液晶表示装置の各構成部材における液晶層側を内側と呼ぶことにする。

図１２は液晶表示装置の分解斜視図であり、図１３は図１２のＡ−Ａ線における側面断面図である。図１３に示すように、液晶表示装置１は、下基板７０および上基板８０により液晶層２を挟持して構成されている。この液晶層２にはネマチック液晶等が採用され、液晶表示装置１の動作モードとしてツイステッドネマチック（ＴＮ）モードが採用されている。なお上記以外の液晶材料を採用することも可能であり、また上記以外の動作モードを採用することも可能である。なお以下には、スイッチング素子としてＴＦＤ素子を用いたアクティブマトリクス型の液晶表示装置を例にして説明するが、これ以外のアクティブマトリクス型の液晶表示装置やパッシブマトリクス型の液晶表示装置に本発明を適用することも可能である。

図１２に示すように、液晶表示装置１では、ガラス等の透明材料からなる下基板７０および上基板８０が対向配置されている。
上基板８０の内側には、複数のデータ線８１が形成されている。そのデータ線８１の側方には、ＩＴＯ等の透明導電性材料からなる複数の画素電極８２が、マトリクス状に配置されている。なお、各画素電極８２の形成領域により画素領域が構成されている。この画素電極８２は、ＴＦＤ素子８３を介して各データ線８１に接続されている。このＴＦＤ素子８３は、基板表面に形成されたＴａを主成分とする第１導電膜と、その第１導電膜の表面に形成されたＴａ_２Ｏ_３を主成分とする絶縁膜と、その絶縁膜の表面に形成されたＣｒを主成分とする第２導電膜とによって構成されている（いわゆるＭＩＭ構造）。そして、第１導電膜がデータ線８１に接続され、第２導電膜が画素電極８２に接続されている。これによりＴＦＤ素子８３は、画素電極８２への通電を制御するスイッチング素子として機能する。

一方、下基板７０の内側には、上記のようにカラーフィルタ膜２２が形成されている。カラーフィルタ膜２２は、平面視略矩形状のカラーフィルタ２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂによって構成されている。各カラーフィルタ２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂは、それぞれ異なる色光のみを透過する顔料等によって構成され、各画素領域に対応してマトリクス状に配置されている。また、隣接する画素領域からの光洩れを防止するため、各カラーフィルタの周縁部には遮光膜７７が形成されている。この遮光膜７７は、光吸収性を有する黒色の金属クロム等により、額縁状に形成されている。さらに、カラーフィルタ膜２２および遮光膜７７を覆うように、透明な絶縁膜７９が形成されている。

その絶縁膜７９の内側には、複数の走査線７２が形成されている。この走査線７２は、ＩＴＯ等の透明導電材料によって略帯状に形成され、上基板８０のデータ線８１と交差する方向に延在している。そして走査線７２は、その延在方向に配列された前記カラーフィルタ２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂを覆うように形成され、対向電極として機能するようになっている。そして、走査線７２に走査信号が供給され、データ線８１にデータ信号が供給されると、対向する画素電極８２および対向電極７２により、液晶層に電界が印加されるようになっている。

また図１３に示すように、画素電極８２および対向電極７２を覆うように、配向膜７４，８４が形成されている。この配向膜７４，８４は、電界無印加時における液晶分子の配向状態を制御するものであり、ポリイミド等の有機高分子材料によって構成され、その表面にラビング処理が施されている。これにより電界無印加時には、配向膜７４，８４の表面付近における液晶分子が、その長軸方向をラビング処理方向に一致させて、配向膜７４，８４と略平行に配向されるようになっている。なお、配向膜７４の表面付近における液晶分子の配向方向と、配向膜８４の表面付近における液晶分子の配向方向とが、所定角度だけずれるように、各配向膜７４，８４に対してラビング処理が施されている。これにより、液晶層２を構成する液晶分子は、液晶層２の厚さ方向に沿ってらせん状に積層されるようになっている。

また、両基板７０，８０は、熱硬化型や紫外線硬化型などの接着剤からなるシール材３によって周縁部が接合されている。そして、両基板７０，８０とシール材３とによって囲まれた空間に、液晶層２が封止されている。なお、液晶層２の厚さ（セルギャップ）は、両基板の間に配置されたスペーサ粒子５によって規制されている。
一方、下基板７０および上基板８０の外側には、偏光板（不図示）が配置されている。各偏光板は、相互の偏光軸（透過軸）が所定角度だけずれた状態で配置されている。また入射側偏光板の外側には、バックライト（不図示）が配置されている。

そして、バックライトから照射された光は、入射側偏光板の偏光軸に沿った直線偏光に変換されて、下基板７０から液晶層２に入射する。この直線偏光は、電界無印加状態の液晶層２を透過する過程で、液晶分子のねじれ方向に沿って所定角度だけ旋回し、出射側偏光板を透過する。これにより、電界無印加時には白表示が行われる（ノーマリーホワイトモード）。一方、液晶層２に電界を印加すると、電界方向に沿って配向膜７４，８４と垂直に液晶分子が再配向する。この場合、液晶層２に入射した直線偏光は旋回しないので、出射側偏光板を透過しない。これにより、電界無印加時には黒表示が行われる。なお、印加する電界の強さによって階調表示を行うことも可能である。
液晶表示装置１は、以上のように構成されている。

［電子機器］
図１４は、本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。この図に示す携帯電話１３００は、上述した電気光学装置を小サイズの表示部１３０１として備え、複数の操作ボタン１３０２、受話口１３０３、及び送話口１３０４を備えて構成されている。
上述した電気光学装置は、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器等々の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれの場合にも表示品質に優れた電子機器を提供することができる。

なお、本発明の技術範囲は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、各実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上述した実施形態では、被吐出領域の長辺方向とノズル列とが略平行になるようにヘッドを配置し、被吐出領域の短辺方向に沿ってヘッドを移動させることにより、被吐出領域に液滴を吐出する方法について説明した。これに対して、長方形状の被吐出領域の短辺方向とノズル列とが略平行になるようにヘッドを配置し、被吐出領域の長辺方向に沿ってヘッドを移動させることにより、被吐出領域に液滴を吐出する方法を使用して、本発明の膜形成方法を実施することも可能である。

液滴吐出装置の全体構成の説明図である。 キャリッジをステージ側から観察した底面図である。 ヘッドの底面構成図である。 （ａ）はヘッドの吐出部の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線における側面断面図である。 制御部の構成を示すブロック図である。 （ａ）はヘッド駆動部の構成を示すブロック図であり、（ｂ）はヘッド駆動部における各種信号のタイミングチャートである。 キャリッジにおける各ヘッドの相対位置関係を示す模式図である。 （ａ）は一個のヘッドにおける吐出量のプロファイルを示すグラフであり、（ｂ）はヘッド群における各重畳部の吐出量のプロファイルを示すグラフである。 カラーフィルタの平面図である。 画素領域に吐出された液滴の平面図である。 各種信号のグラフである。 液晶表示装置の分解斜視図である。 液晶表示装置の側面断面図である。 電子機器の一例を示す携帯電話の斜視図である。

符号の説明

Ｐｅ液滴 ６Ｇ画素領域 １０３液滴吐出装置

Claims (9)

1. 被膜形成領域に液状体を塗布して被膜を形成する方法であって、
   前記領域の端部に対して、前記端部以外の部分より、多くの液状体を塗布することを特徴とする膜形成方法。
2. 前記液状体の塗布は、液滴吐出装置から液滴を吐出して行うことを特徴とする請求項１に記載の膜形成方法。
3. 前記端部に対して吐出する液滴数を、前記端部以外の部分に対して吐出する液滴数より多くすることを特徴とする請求項２に記載の膜形成方法。
4. 前記端部に対して吐出する液滴の体積を、前記端部以外の部分に対して吐出する液滴の体積より大きくすることを特徴とする請求項２に記載の膜形成方法。
5. 前記液滴吐出装置は、整列配置された複数の液滴吐出ノズルを有し、
   前記領域は、長方形状に形成され、
   前記各液滴吐出ノズルの配列方向が前記領域の長辺方向と平行になるように前記液滴吐出装置を配置して、前記領域の短辺方向に沿って前記液滴吐出装置を走査させることにより、前記液滴の吐出を行うことを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれかに記載の膜形成方法。
6. 前記領域は矩形領域であり、前記端部は角部であることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の膜形成方法。
7. 前記領域は、液晶表示装置の画素領域であり、
   前記被膜は、液晶表示装置を構成するカラーフィルタであることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の膜形成方法。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の膜形成方法を使用して製造したことを特徴とする電気光学装置。
9. 請求項８に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。

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