KR100795915B1

KR100795915B1 - 색요소의 형성 방법, 및 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기광학 장치 및 전자 기기

Info

Publication number: KR100795915B1
Application number: KR1020060055421A
Authority: KR
Inventors: 노부아키 나가에; 가즈미 아루가
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2005-06-23
Filing date: 2006-06-20
Publication date: 2008-01-21
Also published as: JP2007034267A; JP4779773B2; KR20060134816A; TW200706384A; TWI314101B; US20060290724A1

Abstract

본 발명은 복수 종류의 액상체(液狀體)를 대략 동시에 토출하여 묘화할 수 있고, 또한 혼색(混色)이 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법, 및 이 형성 방법을 이용한 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.

색요소로서의 컬러 필터(105)의 형성 방법은 기판(W) 위의 복수의 색요소 영역 A를 포함하는 묘화(描畵) 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상(假想) 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주(主)주사에 의해 컬러 필터 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체(70R, 70G, 70B)를 액적 토출 헤드(52)의 노즐로부터 토출하여 묘화하는 제 1 묘화 공정과, 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재(再)묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화하는 제 2 묘화 공정을 구비하고 있다. 또한, 1회의 주주사에 의해 토출되는 액상체의 토출량은 서서히 감소하고 있다.

액적 토출 헤드, 노즐, 액상체, 색요소 영역, 묘화 영역

Description

색요소의 형성 방법, 및 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기{COLOR ELEMENT FORMING METHOD, ELECTRO-OPTICAL DEVICE MANUFACTURING METHOD, ELECTRO-OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE}

도 1은 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 사시도.

도 2는 액적 토출 헤드를 나타낸 개략도.

도 3은 액적 토출 헤드가 탑재된 캐리지(carriage)를 나타낸 개략 평면도.

도 4는 액적 토출 장치의 제어계를 나타낸 블록도.

도 5는 액정 표시 장치의 구조를 나타낸 개략 사시도.

도 6은 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 플로차트.

도 7의 (a) 내지 (g)는 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 개략 단면도.

도 8의 (a) 및 (b)는 기판의 묘화(描畵) 영역에 대한 묘화 방법을 나타낸 모식도.

도 9는 실시예 1의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도.

도 10은 실시예 2의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도.

도 11은 실시예 3의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도.

도 12는 실시예 4의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도.

도 13은 전자 기기로서의 휴대형 정보 처리 장치를 나타낸 개략 사시도.

도 14의 (a) 내지 (c)는 색요소 영역의 배열을 나타낸 개략도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 액적 토출 장치

2 : 이동 수단으로서의 워크 이동 수단

3 : 이동 수단으로서의 헤드 이동 수단 52 : 액적 토출 헤드

61 : 노즐

70R, 70G, 70B : 색요소 재료를 포함하는 액상체

71, 72 : 착탄(着彈)된 액상체

73 : 액상체가 착탄되지 않은 복수의 색요소 영역 각각의 부위

100 : 전기 광학 장치로서의 액정 표시 장치

101 : 기판으로서의 대향 기판 104 : 격벽부

105 : 색요소로서의 컬러 필터

120 : 전기 광학 패널로서의 액정 표시 패널

200 : 전자 기기로서의 휴대형 정보 처리 장치

A : 색요소 영역 E : 묘화 영역

E1∼E7 : 부분 묘화 영역 E1a, E1b : 분할 영역

W : 기판

본 발명은 액적 토출 장치를 사용한 색요소의 형성 방법, 및 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.

기판 위에 기능성 재료를 포함하는 액상체(液狀體)를 액적으로서 토출 묘화(描畵)하는 액적 토출 장치로서, 잉크젯 프린터의 잉크젯 헤드를 기능 액적 토출 헤드(액적 토출 헤드)로서 사용하고, 복수의 기능 액적 토출 헤드가 탑재된 캐리지(carriage)를 통하여 복수의 기능 액적 토출 헤드를 주(主)주사 방향 및 부(副)주사 방향으로 이동시키는 이동 수단을 구비한 묘화 장치가 알려져 있다(특허문헌 1).

이 묘화 장치는 부주사 방향으로 균등하게 구분한 워크(기판) 위의 복수의 가상(假想) 분할 부위에 대응하여 복수의 기능 액적 토출 헤드를 부주사 방향으로 분산시켜 캐리지에 탑재되어 있다. 또한, 복수의 기능 액적 토출 헤드에 의해, 복수의 가상 분할 부위에 대하여 부주사 방향의 중간 부위로부터 양 외측 부위를 향하여 대략 동시 병행적으로 액상체를 토출하여 묘화를 행하는 것이다. 이것에 의해, 복수의 가상 분할 부위의 양 외측 부위를 먼저 묘화하는 경우에 비하여, 양 외측 부위에서의 착탄(着彈)된 액상체로부터 용제(溶劑)가 기화(氣化)하는 시기를 지연시켜 건조 처리 전의 용제의 기화량이 기판 위의 위치에 따라 크게 상이한 것을 저감하고자 하는 것이다. 즉, 건조 후의 기능성 재료로 이루어지는 성막부(成膜部)의 건조 불균일을 더욱 저감하고자 하는 것이다.

[특허문헌 1] 일본국 공개특허2004-267927호 공보

그러나, 상기 종래의 묘화 장치를 사용하여 예를 들어 3색의 색요소(회소(繪素))를 갖는 컬러 필터를 성막하는 경우는, 색요소 재료를 포함하는 액상체를 기판 위의 소정의 묘화 영역에 토출하여 묘화하는 묘화 장치가 1색에 대하여 1대, 즉, 3대 필요했다. 또한, 기판을 각 묘화 장치에 급재(給材) 및 제재(除材)하는 시간이나 위치 결정하는 시간에 더하여 하나의 묘화 장치로 묘화를 행한 후에, 다음 묘화 장치로 묘화를 행하기 전에 건조 장치에 의해 건조를 행했기 때문에, 모든 색요소를 묘화할 때까지 시간을 필요로 한다는 과제를 갖고 있었다.

상기 과제를 해결하기 위해, 동일한 묘화 장치 내에서 모든 색요소를 묘화하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 묘화 공정 중의 건조가 생략되기 때문에, 다른 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체가 기판에 착탄되어 표면장력에 의해 상승한 상태에서는, 다른 종류의 액상체끼리가 혼합되어 혼색(混色)을 야기할 가능성이 있었다.

본 발명은 상기 과제를 고려하여 안출된 것으로서, 복수 종류의 액상체를 대략 동시에 토출하여 묘화할 수 있고, 또한 혼색이 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법, 및 이 형성 방법을 이용한 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 색요소의 형성 방법은, 복수의 액적 토출 헤드와, 복수의 액적 토출 헤드와 기판을 대향 배치시킨 상태에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비한 액적 토출 장치를 사용하여, 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 복수의 색요소 영역을 포함하는 묘화 영역에, 이동 수단에 의한 복수회의 주주사에 동기하여, 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 복수의 액적 토출 헤드의 노즐로부터 토출하여 복수 종류의 색요소를 묘화 형성하는 색요소의 형성 방법으로서, 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화하는 제 1 묘화 공정과, 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재(再)묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화하는 제 2 묘화 공정을 구비하며, 1회의 주주사에서는, 하나의 색요소 영역에 색요소를 형성하기 위해 필요한 액상체의 총량을 분할한 토출량으로 토출 묘화하는 것을 특징으로 한다.

이 방법에 의하면, 제 1 묘화 공정에서는, 복수의 색요소 영역을 포함하는 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화한다. 그리고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화한다. 또한, 1회의 주주사에서는, 하나의 색요소 영역에 색요소를 형성하기 위해 필요한 액상체의 총량을 분할한 토출량으로 토출 묘화된다. 따라서, 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역에 착탄된 복수 종류의 액상체는 각 색요소 영역에 습윤 확장되어 표면장력에 의해 상승하지만, 토출량이 필요한 총량에 대하여 분할되어 있기 때문에, 각 색요소 영역을 구획하는 격벽부를 넘어 다른 색요소를 포함하는 액상체가 서로 혼합되는 것이 저감된다. 또한, 제 2 묘화 공정에서는, 재묘화될 때까지 소정의 시간이 두어지기 때문에, 제 1 묘화 공정에서 토출된 액상체의 건조가 진행되어 막이 감소하기 때문에, 반복 주주사가 행해져도 액상체의 상승이 억제되어 다른 색요소를 포함하는 액상체가 혼합되는 것이 저감된다. 즉, 동일한 액적 토출 장치에 의해, 복수 종류의 액상체를 토출 묘화해도 혼색이 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법을 제공할 수 있다.

또한, 상기 제 2 묘화 공정에서는, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 더 가상 분할한 분할 영역의 하나를 주주사에 의해 묘화하고, 소정의 시간을 두고, 나머지 분할 영역을 묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 행하는 것이 바람직하다.

이 방법에 의하면, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 더 가상 분할하여, 소정의 시간을 두고 분할 영역의 하나를 주주사에 의해 묘화하고, 다시 소정의 시간을 두고 나머지 분할 영역을 묘화한다. 따라서, 나머지 분할 영역에서는, 제 1 묘화 공정에서 착탄된 액상체가 보다 긴 시간을 두고 건조가 진행된 상태에서 제 2 묘화 공정에서 다시 묘화된다. 따라서, 액상체의 건조가 진행된 나머지 분할 영역에 액상체를 더 반복하여 착탄시켜도, 색요소 영역 내에서 상승한 다른 종류의 액상체가 격벽부를 넘어 혼합되는 것이 확률적으로 저하한다. 따라서, 동일한 액적 토출 장치에 의해 복수 종류의 액상체를 토출 묘화해도, 혼색이 보다 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법을 제공할 수 있다.

또한, 상기 제 1 묘화 공정과 제 2 묘화 공정 사이에, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역 이외의 다른 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화함으로써, 소정의 시간을 두는 공정을 구비하는 것이 바람직하다.

이 방법에 의하면, 제 1 묘화 공정 후에, 거의 간격을 두지 않고 제 2 묘화 공정을 실시하는 경우에 비하여, 다른 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화하는 소정의 시간을 두는 공정 사이에, 제 1 묘화 공정에서 토출된 액상체의 건조를 진행시킬 수 있다. 따라서, 혼색이 보다 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법을 제공할 수 있다.

또한, 상기 제 1 묘화 공정과 제 2 묘화 공정 사이에, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역 이외의 다른 부분 묘화 영역을 적어도 2회의 주주사에 의해 묘화함으로써, 소정의 시간을 두는 공정을 구비할 수도 있다.

이 방법에 의하면, 제 1 묘화 공정 후에, 다른 부분 묘화 영역을 적어도 2회의 주주사에 의해 묘화하는 것보다 긴 소정의 시간을 두는 공정을 실시하고 나서 제 2 묘화 공정이 행해진다. 따라서, 제 1 묘화 공정에서 토출된 액상체의 건조가 보다 진행되어 막이 감소하게 되어, 혼색이 보다 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법을 제공할 수 있다.

또한, 상기 묘화 영역을 3분할 이상의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하고, 상기 제 1 묘화 공정과 제 2 묘화 공정 사이에, 하나의 부분 묘화 영역 이외의 다른 부분 묘화 영역 전체를 1회씩 묘화함으로써, 소정의 시간을 두는 공정을 구비할 수도 있다.

이 방법에 의하면, 묘화 영역은 3분할 이상의 부분 묘화 영역으로 가상 분할 되기 때문에, 제 2 묘화 공정은 다른 부분 묘화 영역 전체를 1회씩 묘화한 후, 즉 2회 이상의 주주사에 의해 묘화하는 소정의 시간을 두고 행해진다. 따라서, 제 1 묘화 공정에서 토출된 액상체의 건조가 보다 진행되어 막이 감소하게 되어, 혼색이 보다 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법을 제공할 수 있다.

또한, 상기 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에 비하여 1회의 주주사에 의해 토출하는 액상체의 토출량을 서서히 감소시켜 묘화하는 것이 바람직하다.

이 방법에 의하면, 하나의 색요소 영역에 색요소를 형성하기 위해 필요한 액상체의 총량을 단순하게 주주사 회수로 분할한 토출량으로 액상체를 토출하는 경우에 비하여, 착탄되어 습윤 확장된 액상체에 의해, 격벽부에 의해 구획된 각 색요소 영역의 용량이 서서히 감소하지만, 동일 색요소 영역 내에 반복하여 토출되는 액상체의 양이 저하되어 가기 때문에, 액상체의 상승 부분이 시간이 갈수록 억제되어, 다른 종류의 액상체가 격벽부를 넘어 서로 혼합되는 것을 보다 저감할 수 있다.

또한, 상기 제 1 묘화 공정에서는, 적어도 하나의 부분 묘화 영역에 포함되는 복수의 색요소 영역 중, 서로 인접하지 않는 색요소 영역에 액상체를 토출하여 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체가 토출되지 않은 색요소 영역에 액상체를 토출하여 묘화하는 것이 바람직하다.

이 방법에 의하면, 제 1 묘화 공정에서는, 서로 인접하지 않는 색요소 영역에 액상체가 토출되고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 토출되지 않은 색요소 영역을 매립하도록 액상체가 토출된다. 따라서, 제 1 묘화 공정에서는 인접하는 색요소 영역에는 액상체가 토출되지 않기 때문에, 인접하는 색요소 영역 사 이에서의 다른 종류의 액상체의 혼합이 저감된다. 또한, 제 2 묘화 공정은 소정의 시간을 두고 나서 행해지고, 제 1 묘화 공정에서 토출된 액상체의 건조가 진행된 상태에서 다시 액상체가 토출된다. 따라서, 인접하는 색요소 영역 사이에서 혼색이 발생하는 것을 보다 저감할 수 있다.

또한, 상기 제 1 묘화 공정에서는, 적어도 하나의 부분 묘화 영역에 포함되는 복수의 색요소 영역의 각각에 액상체를 간격을 두고 복수 착탄시켜 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체가 착탄되지 않은 복수의 색요소 영역 각각의 부위에 액상체를 착탄시켜 묘화할 수도 있다.

이 방법에 의하면, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체가 착탄되지 않은 복수의 색요소 영역의 각각에 액상체를 착탄시켜 묘화한다. 따라서, 제 2 묘화 공정에서 토출된 액상체는 제 1 묘화 공정에서 토출된 액상체와 겹쳐 착탄되지 않기 때문에, 착탄된 액상체의 상승을 저감할 수 있다. 즉, 상승한 액상체가 격벽부를 넘어 다른 종류의 액상체와 혼색되는 것을 저감할 수 있다.

본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법은, 한 쌍의 기판을 갖는 동시에 적어도 한쪽 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 복수의 색요소 영역을 갖는 전기 광학 패널을 구비한 전기 광학 장치의 제조 방법으로서, 상기 발명의 색요소의 형성 방법을 이용하여, 기판 위의 복수의 색요소 영역에 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 토출하여 복수 종류의 색요소를 묘화하는 색요소 묘화 공정과, 묘화된 색요소를 건조시켜 성막화하는 성막 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

이 방법에 의하면, 색요소 묘화 공정에서는, 혼색이 일어나기 어려운 색요소 의 형성 방법을 이용하여 복수 종류의 액상체가 기판 위의 복수의 색요소 영역에 토출되어 복수 종류의 색요소가 묘화된다. 그리고, 성막 공정에서는, 묘화된 색요소를 건조시켜 성막화된다. 따라서, 혼색에 의한 색의 불균일이나 표시 불균일의 발생을 저감시켜 제조 수율이 양호한 전기 광학 장치를 제조할 수 있다.

본 발명의 전기 광학 장치는, 한 쌍의 기판을 갖는 동시에 적어도 한쪽 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 색요소 영역을 갖는 전기 광학 패널을 구비한 전기 광학 장치로서, 상기 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법을 이용하여, 기판 위의 복수의 색요소 영역에 복수 종류의 색요소가 형성된 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 전기 광학 패널의 기판 위의 복수 종류의 색요소는 혼색이 일어나기 어려운 전기 광학 장치의 제조 방법을 이용하여 제조되어 있기 때문에, 혼색에 의한 색의 불균일이나 표시 불균일의 발생이 저감된 높은 표시 품질을 갖는 전기 광학 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 전자 기기는 상기 발명의 전기 광학 장치를 구비한 것을 특징으로 한다. 이것에 의하면, 혼색에 의한 색의 불균일이나 표시 불균일의 발생이 저감된 높은 표시 품질을 갖는 전기 광학 장치를 구비하고 있기 때문에, 표시된 화상 등의 정보를 정확하게 인식할 수 있는 전자 기기를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명의 액적 토출 장치는, 복수의 액적 토출 헤드와, 상기 복수의 액적 토출 헤드와 기판을 대향 배치시킨 상태에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 상기 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 복수의 색요소 영역을 포함하는 묘화 영역에, 상기 이동 수단에 의한 복수회의 주주사에 동기하여, 색 요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 상기 복수의 액적 토출 헤드의 노즐로부터 토출하여 복수 종류의 색요소를 묘화 형성하는 액적 토출 장치로서, 상기 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화하는 제 1 묘화와, 상기 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화하는 제 2 묘화를 제어하는 묘화 제어 수단을 구비하며, 1회의 주주사에서는, 하나의 상기 색요소 영역에 상기 색요소를 형성하기 위해 필요한 상기 액상체의 총량을 분할한 토출량으로 토출 묘화하는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 제 1 묘화에서는, 복수의 색요소 영역을 포함하는 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화한다. 그리고, 제 2 묘화에서는, 제 1 묘화에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화한다. 또한, 1회의 주주사에서는, 하나의 색요소 영역에 색요소를 형성하기 위해 필요한 액상체의 총량을 분할한 토출량으로 토출 묘화된다. 따라서, 제 1 묘화에 의해 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역에 착탄된 복수 종류의 액상체는 각 색요소 영역에 습윤 확장되어 표면장력에 의해 상승하지만, 토출량이 필요한 총량에 대하여 분할되어 있기 때문에, 각 색요소 영역을 구획하는 격벽부를 넘어 다른 색요소를 포함하는 액상체가 혼합되는 것이 저감된다. 또한, 제 2 묘화에서는, 재묘화될 때까지 소정의 시간이 두어지기 때문 에, 제 1 묘화에서 토출된 액상체의 건조가 진행되어 막이 감소하기 때문에, 반복 주주사가 행해져도 액상체의 상승이 억제되어 다른 색요소를 포함하는 액상체가 혼합되는 것이 저감된다. 즉, 복수 종류의 액상체를 토출 묘화해도 혼색이 일어나기 어려운 액적 토출 장치이다.

본 발명의 실시예는 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 액적으로서 토출 가능한 액적 토출 장치를 사용하여, 전기 광학 장치로서의 액정 표시 장치를 구성하는 액정 표시 패널에서, 기판 위의 색요소 영역에 색요소로서의 컬러 필터를 묘화 형성하는 색요소의 형성 방법을 예로 들어 설명한다.

(액적 토출 장치)

우선, 액적 토출 장치에 대해서 도 1 내지 도 3에 의거하여 설명한다. 도 1은 액적 토출 장치의 구조를 나타낸 개략 사시도이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 장치(1)는 워크로서의 기판(W)을 탑재 배치하여 X축 방향(주주사 방향)으로 이동시키는 워크 이동 수단(2)과, 복수(2개)의 캐리지 유닛(5)을 Y축 방향(부주사 방향)으로 이동시키는 헤드 이동 수단(3)을 구비하고 있다. 복수의 캐리지 유닛(5)에는 복수의 액적 토출 헤드(52)(도 2 참조)가 기판(W)과 대향하도록 탑재된 캐리지(51)(도 3 참조)가 각각 구비되어 있다. 또한, 워크 이동 수단(2)에 의한 기판(W)의 X축 방향으로의 이동(주주사)에 동기하여, 복수의 액적 토출 헤드를 선택적으로 구동하여 복수 종류의 액상체를 기판(W) 위에 토출시키는 묘화 제어 수단으로서의 제어부(4)(도 4 참조)를 구비하고 있다. 이 제어부(4)에 의해, 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하여, 적 어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 행하는 묘화나, 적어도 1회는 묘화된 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 행하는 묘화를 제어한다.

워크 이동 수단(2)은 기판(W)이 탑재 배치되는 세트 테이블(24)과, 세트 테이블(24)을 에어 슬라이더(air slider)(도시 생략)를 통하여 X축 방향으로 이동시키는 리니어 모터(22)를 구비한 한 쌍의 X축 가이드 레일(23)을 갖고 있다. 한 쌍의 X축 가이드 레일(23)은 바닥 위에 설치된 공통 가대(架臺)(9) 위에 탑재 배치되어 X축 방향으로 연장되는 석정반(石定盤)(21) 위에 배열 설치되어 있다.

세트 테이블(24)에는 기판(W)이 진공 흡착하여 고정되는 흡착 테이블(도시 생략)과, 기판(W)의 표면이 복수의 액적 토출 헤드(52)와 소정의 간격을 두고 양호한 정밀도로 대향하도록 기판(W)의 수평 조정 및 각도 조정이 가능한 θ테이블(도시 생략)을 구비하고 있다.

헤드 이동 수단(3)은 복수의 캐리지 유닛(5)을 에어 슬라이더(도시 생략)를 통하여 Y축 방향으로 이동시키는 리니어 모터(31)를 구비한 한 쌍의 Y축 가이드 레일(32)을 갖고 있다. 한 쌍의 Y축 가이드 레일(32)은 공통 가대(9) 위에 간격을 두고 세운 8개의 지지 스탠드(8) 위에 워크 이동 수단(2)을 타 넘도록 배열 설치되어 있다.

한 쌍의 Y축 가이드 레일(32) 사이에는 캐리지(51)에 탑재된 복수의 액적 토출 헤드(52)의 노즐 막힘의 해소, 노즐면의 이물(異物)이나 오염 제거 등의 메인터넌스를 행하는 메인터넌스 수단(14)이 복수의 액적 토출 헤드(52)를 향하는 위치에 배열 설치되어 있다.

캐리지 유닛(5)은 한 쌍의 Y축 가이드 레일(32) 사이에 걸쳐지도록 하여 배치되어 있다. 걸쳐진 캐리지 유닛(5)의 플레이트 위에는 각 액상체가 저장된 탱크로부터 배관을 경유하여 보내진 액상체를 소정량 저장하여, 각 액적 토출 헤드(52)에 액상체를 공급하는 액상체 공급 유닛(6)과, 각 액적 토출 헤드(52)를 구동하기 위한 전기 신호를 공급하는 헤드용 전장(電裝) 유닛(7)이 탑재 배치되어 있다.

다음으로, 액적 토출 헤드에 대해서 도 2에 의거하여 설명한다. 도 2는 액적 토출 헤드를 나타낸 개략도이다. 도 2의 (a)는 사시도이고, 도 2의 (b)는 노즐의 배치 상태를 나타낸 평면도이다.

도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 액적 토출 헤드(52)는 소위 2연(連)의 것이고, 2연의 접속 바늘(54)을 갖는 액상체의 도입부(53)와, 도입부(53)에 적층된 헤드 기판(55)과, 헤드 기판(55) 위에 배치되어 내부에 액상체의 헤드 내 유로(流路)가 형성된 헤드 본체(56)를 구비하고 있다. 접속 바늘(54)은 상술한 액상체 공급 유닛(6)에 배관을 경유하여 접속되고, 액상체를 헤드 내 유로에 공급한다. 헤드 기판(55)에는 플렉시블 플랫 케이블(도시 생략)을 통하여 상술한 헤드용 전장 유닛(7)에 접속되는 2연의 커넥터(59)가 설치되어 있다.

헤드 본체(56)는 피에조 소자 등으로 구성된 캐비티를 갖는 가압부(57)와 노즐면(58a)에 2개의 노즐 열(62, 62)이 서로 평행하게 형성된 노즐 플레이트(58)를 갖고 있다.

도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 2개의 노즐 열(62, 62)은 각각 복수(180개) 의 노즐(61)이 피치 P1으로 나열되어 있고, 서로 피치 P1의 절반의 피치 P2가 어긋난 상태로 노즐 플레이트(58)에 배열 설치되어 있다. 이 경우, 피치 P1는 약 140㎛이다. 따라서, 노즐 열(62)과 직교하는 방향으로부터 보면 360개의 노즐(61)이 약 70㎛의 노즐 피치 P2로 배열된 상태로 되어 있다. 또한, 실제 액상체의 토출 시에는, 노즐 열(62) 양단 측의 10개의 노즐(61)을 사용하지 않는다. 이것은 양단 측에 위치하는 노즐(61)로부터의 토출량이 다른 노즐(61)에 비하여 안정되기 어려운 것을 고려한 것이다. 따라서, 2개의 노즐 열(62, 62)을 갖는 액적 토출 헤드(52)의 유효 노즐의 전장(全長)은 피치 P2×319(약 22㎜)이다.

액적 토출 헤드(52)는 헤드용 전장 유닛(7)으로부터 전기 신호로서의 구동 파형이 피에조 소자 등에 인가되면 가압부(57)의 캐비티의 부피 변동이 일어나고, 이것에 의한 펌프 작용으로 캐비티에 충전된 액상체가 가압되어 노즐(61)로부터 액상체를 액적으로서 토출할 수 있다. 또한, 본 실시예의 액적 토출 헤드(52)는 2연의 노즐 열(62)을 갖고 있지만, 이것에 한정되지 않아 1연의 것일 수도 있다. 또한, 후술하는 노즐 열(62)은 유효 노즐 열을 가리키는 것으로 한다.

다음으로, 캐리지에 대해서 도 3에 의거하여 설명한다. 도 3은 액적 토출 헤드가 탑재된 캐리지를 나타낸 개략 평면도이다. 상세하게는, 노즐면(58a)을 향하는 평면도이다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 캐리지(51)는 평행사변형인 평면 형상으로 되어 있고, 3개의 액적 토출 헤드(52)를 1개의 그룹으로서, 4개의 헤드 그룹(52A, 52B, 52C, 52D)이 부주사 방향(Y축 방향)과 주주사 방향(X축 방향)으로 각각 2그룹씩 배 치되어 있다. 그리고, 주주사 방향으로 배열한 2개의 헤드 그룹(52A, 52B)과 나머지 2개의 헤드 그룹(52C, 52D) 사이에는 간격이 마련되어 있다.

헤드 그룹(52A)은 각각 다른 종류의 액상체를 토출하는 헤드(R1), 헤드(G1) 및 헤드(B1)의 3개의 액적 토출 헤드(52)가 Y축 방향으로 병렬되어 배치된 것이다. 그리고, 각 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62) 단부(端部)의 위치가 Y축 방향에서 서로 어긋나게 배치되어 있다. 이 경우의 시프트량은 (피치 P2×320)/3, 즉, 유효 노즐의 전장에 1노즐 피치를 더한 것의 1/3로 되어 있다. 다른 헤드 그룹(52B, 52C, 52D)에서의 액적 토출 헤드(52)의 배치도 동일하다.

또한, 헤드 그룹(52A)과 헤드 그룹(52B)에서 동일한 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)(예를 들어 헤드(R1)와 헤드(R2))의 노즐 열(62)은 주주사 방향으로부터 보아, 1노즐 피치를 두고 연속되도록 배치되어 있다. 또한, 헤드 그룹(52B)과 헤드 그룹(52C)에서 주주사 방향으로부터 보아, 가장 근접하여 위치하는 동일한 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)의 간격이 노즐 열(62)의 전장에 1노즐 피치를 더한 길이에 주주사 방향(X축 방향)으로 배열하는 헤드 그룹의 수를 곱한 값의 자연수 배의 값에 1노즐 피치를 더한 길이로 되도록 설정된 것이다. 즉, 예를 들어 헤드(R2)와 헤드(R3)의 각 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)의 간격은 유효 노즐의 전장(P2×319)에 1노즐 피치 P2를 더한 것의 2배에 1노즐 피치 (P2), 즉 (P2×320)×2+P2로 되어 있다.

또한, 2개의 캐리지(51, 51)의 간격 L1은 다른 캐리지(51)에 배치된 복수의 액적 토출 헤드(52) 중, 주주사 방향으로부터 보아, 가장 근접하여 위치하는 동일 한 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)의 간격이 노즐 열(62)의 전장에 1노즐 피치를 더한 길이에 주주사 방향(X축 방향)으로 배열하는 헤드 그룹의 수를 곱한 값의 자연수 배의 값에 1노즐 피치를 더한 길이로 되도록 설정되어 있다. 예를 들어 헤드(R4)와 헤드(R5)의 각 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)의 간격이 (P2×320)×2+P2로 되도록 간격 L1이 설정되어 있다.

캐리지(51)를 사용하여 X축 방향으로의 주주사와 Y축 방향으로 (P2×320)×2+P2의 간격으로 이동시키는 부주사를 반복하여 행하면, 부주사 방향으로 연속된 묘화 폭으로 3종의 다른 액상체를 토출하는 것이 가능해진다. 상세한 토출 묘화의 방법에 대해서는 후술한다.

다음으로, 액적 토출 장치(1)의 제어계에 대해서 설명한다. 도 4는 액적 토출 장치의 제어계를 나타낸 블록도이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 장치(1)의 제어계는 키보드(12)와 디스플레이(13)가 본체(11)에 접속된 상위 컴퓨터(10)와, 액적 토출 헤드(52), 워크 이동 수단(2), 헤드 이동 수단(3), 메인터넌스 수단(14) 등을 구동하는 각종 드라이버를 갖는 구동부(46)와, 구동부(46)를 포함하여 액적 토출 장치(1) 전체를 통괄 제어하는 제어부(4)를 구비하고 있다.

구동부(46)는 워크 이동 수단(2) 및 헤드 이동 수단(3)의 각 리니어 모터(22, 31)를 각각 구동 제어하는 이동용 드라이버(47)와, 액적 토출 헤드(52)를 토출 구동 제어하는 헤드 드라이버(48)와, 메인터넌스 수단(14)의 각 메인터넌스용 유닛을 구동 제어하는 메인터넌스용 드라이버(49)를 구비하고 있다.

제어부(4)는 CPU(41)와, ROM(42)과, RAM(43)과, P-CON(44)을 구비하고, 이들 은 서로 버스(45)를 통하여 접속되어 있다. ROM(42)은 CPU(41)에 의해 처리하는 제어 프로그램 등을 기억하는 제어 프로그램 영역과, 묘화 동작이나 기능 회복 처리 등을 행하기 위한 제어 데이터 등을 기억하는 제어 데이터 영역을 갖고 있다.

RAM(43)은 기판(W)에 묘화를 행하기 위한 묘화 데이터를 기억하는 묘화 데이터 기억부, 기판(W) 및 액적 토출 헤드(52)의 위치 데이터를 기억하는 위치 데이터 기억부 등의 각종 기억부를 갖고, 제어 처리를 위한 각종 작업 영역으로서 사용된다. P-CON(44)에는 구동부(46)의 각종 드라이버 이외에, 워크 인식 카메라(15)나 헤드 인식 카메라(16) 등이 접속되어 있고, CPU(41)의 기능을 보완하는 동시에, 주변 회로와의 인터페이스 신호를 취급하기 위한 논리 회로가 일체로 구성되어 있다. 이 때문에, P-CON(44)은 상위 컴퓨터(10)로부터의 각종 지령 등을 그대로, 또는 가공하여 버스(45)에 수용하는 동시에, CPU(41)와 연동하여 CPU(41) 등으로부터 버스(45)에 출력된 데이터나 제어 신호를 그대로, 또는 가공하여 구동부(46)에 출력한다.

그리고, CPU(41)는 ROM(42) 내의 제어 프로그램에 따라 P-CON(44)을 통하여 각종 검출 신호, 각종 지령, 각종 데이터 등을 입력하고, RAM(43) 내의 각종 데이터 등을 처리한 후, P-CON(44)을 통하여 구동부(46) 등에 각종 제어 신호를 출력함으로써, 액적 토출 장치(1) 전체를 제어하고 있다. 예를 들어 CPU(41)는 액적 토출 헤드(52), 워크 이동 수단(2) 및 헤드 이동 수단(3)을 제어하여, 소정의 묘화 조건 및 소정의 이동 조건으로 기판(W)과 액적 토출 헤드(52)의 상대적인 이동(복수회의 주주사)에 동기하여, 기판(W)에 대향 배치된 복수의 액적 토출 헤드(52)의 노즐(61)로부터 액상체를 토출시켜 묘화를 행한다. 또한, 1회의 주주사에 의해 액적 토출 헤드(52)의 각 노즐(61)로부터 토출되는 액적의 양을 헤드 드라이버(48)로부터의 제어 신호에 의거하여 구동 파형을 선택함으로써 가변하는 것이 가능하다.

(액정 표시 장치)

다음으로, 본 실시예의 전기 광학 장치로서의 액정 표시 장치에 대해서 도 5에 의거하여 설명한다. 도 5는 액정 표시 장치의 구조를 나타낸 개략 사시도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 액정 표시 장치(100)는 TFT(Thin Film Transistor) 투과형의 액정 표시 패널(120)과, 액정 표시 패널(120)을 조명하는 조명 장치(116)를 구비하고 있다. 액정 표시 패널(120)은 색요소로서의 컬러 필터를 갖는 대향 기판(101)과, 화소 전극(110)에 3단자 중의 1개가 접속된 TFT 소자(111)를 갖는 소자 기판(108)과, 한 쌍의 대향 기판(101), 소자 기판(108)에 의해 사이에 삽입된 액정(도시 생략)을 구비하고 있다. 또한, 액정 표시 패널(120)의 외면(外面) 측으로 되는 한 쌍의 대향 기판(101), 소자 기판(108)의 표면에는 투과하는 광을 편향시키는 상부 편광판(114)과 하부 편광판(115)이 배열 설치된다.

대향 기판(101)은 투명한 유리 등의 재료로 이루어지고, 액정을 사이에 끼우는 표면 측에 격벽부(104)에 의해 매트릭스 형상으로 구획된 복수의 색요소 영역에 복수 종류의 색요소로서 RGB 3색의 컬러 필터(105R, 105G, 105B)가 형성되어 있다. 격벽부(104)는 Cr 등의 차광성을 갖는 금속 또는 그 산화막으로 이루어지는 블랙 매트릭스로 불리는 하층 뱅크(102)와, 하층 뱅크(102) 위(도면에서는 하방(下方))에 형성된 유기 화합물로 이루어지는 상층 뱅크(103)에 의해 구성되어 있다. 또 한, 대향 기판(101)은 격벽부(104)와 격벽부(104)에 의해 구획된 컬러 필터(105R, 105G, 105B)를 덮는 평탄화층으로서의 오버코팅층(OC층)(106)과, OC층(106)을 덮도록 형성된 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 투명 도전막으로 이루어지는 대향 전극(107)을 구비하고 있다. 컬러 필터(105R, 105G, 105B)는 후술하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 이용하여 제조되어 있다.

소자 기판(108)은 마찬가지로 투명한 유리 등의 재료로 이루어지고, 액정을 사이에 끼우는 표면 측에 절연막(109)을 통하여 매트릭스 형상으로 형성된 화소 전극(110)과, 화소 전극(110)에 대응하여 형성된 복수의 TFT 소자(111)를 갖고 있다. TFT 소자(111)의 3단자 중, 화소 전극(110)에 접속되지 않는 다른 2단자는 서로 절연된 상태로 화소 전극(110)을 둘러싸도록 격자 형상으로 배열 설치된 주사선(112)과 데이터선(113)에 접속되어 있다.

조명 장치(116)는 예를 들어 광원(光源)으로서 백색의 LED, EL, 냉음극관 등을 사용하여, 이들 광원으로부터의 광을 액정 표시 패널(120)을 향하여 출사(出射)할 수 있는 도광판(導光板)이나 확산판, 반사판 등의 구성을 구비한 것이면, 어떤 것이라도 좋다.

또한, 액정 표시 패널(120)은 액티브 소자로서 TFT 소자에 한정되지 않아 TFD(Thin Film Diode) 소자를 가진 것이라도 좋고, 또한 적어도 한쪽 기판에 컬러 필터를 구비하는 것이면, 화소를 구성하는 전극이 서로 교차하도록 배치되는 패시브형(passive type) 액정 표시 장치라도 좋다. 또한, 상부 편광판(114), 하부 편광판(115)은 시각 의존성을 개선하는 목적 등으로 사용되는 위상차 필름 등의 광학 기능성 필름과 조합된 것이라도 좋다.

(액정 표시 장치의 제조 방법)

다음으로, 본 발명의 색요소의 형성 방법을 이용한 액정 표시 장치의 제조 방법에 대해서 도 6 내지 도 12에 의거하여 설명한다. 도 6은 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 플로차트이다.

도 7의 (a) 내지 (g)는 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 개략 단면도이다.

도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 액정 표시 장치(100)의 제조 방법은 대향 기판(101)의 표면에 격벽부(104)를 형성하는 공정과, 격벽부(104)에 의해 구획된 색요소 영역을 표면 처리하는 공정을 구비하고 있다. 또한, 액적 토출 장치(1)를 사용하여 표면 처리된 색요소 영역에 색요소 형성 재료로서의 컬러 필터 형성 재료를 포함하는 3종(3색)의 액상체를 부여하여, 컬러 필터(105)를 묘화하는 색요소 묘화 공정으로서의 제 1 묘화 공정 및 제 2 묘화 공정과, 묘화된 컬러 필터(105)를 건조시켜 성막화하는 성막 공정을 구비하고 있다. 또한, 격벽부(104)와 컬러 필터(105)를 덮도록 OC층(106)을 형성하는 공정과, OC층(106)을 덮도록 투명한 대향 전극(107)을 형성하는 공정을 구비하고 있다.

액적 토출 장치(1)를 사용하여 색요소를 묘화 형성할 경우, 실제 액정 표시 패널(120)의 대향 기판(101)의 제조 공정에서는, 1개의 액정 표시 패널(120)에 대응하는 대향 기판(101)이 매트릭스 형상으로 배치되도록 설계된 마더(mother) 보드가 사용된다. 요즘, 마더 보드는 대화면의 액정 표시 패널(120)의 제조, 또한 이 것을 효율적이며 저렴하게 제조하기 위해 대형화하고 있다. 이러한 대형 마더 보드에 복수 종류의 색요소로서의 컬러 필터를 형성하는 방법으로서, 컬러 필터 재료를 낭비 없이 사용하여 컬러 필터를 효율적으로 형성하기 위해 액적 토출법을 이용하고 있다.

도 6의 스텝 S1은 격벽부(104)를 형성하는 공정이다. 스텝 S1에서는, 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 우선 블랙 매트릭스로서의 하층 뱅크(102)를 대향 기판(101) 위에 형성한다. 하층 뱅크(102)의 재료는 예를 들어 Cr, Ni, Al 등의 불투명한 금속, 또는 이들 금속 산화물 등의 화합물을 사용할 수 있다. 하층 뱅크(102)의 형성 방법으로서는, 증착법(蒸着法) 또는 스퍼터링법에 의해 상기 재료로 이루어지는 막을 대향 기판(101) 위에 성막한다. 막 두께는 차광성이 유지되는 막 두께를 선정된 재료에 따라 설정하면 된다. 예를 들어 Cr이면, 100㎚ 내지 200㎚가 바람직하다. 그리고, 포토리소그래피법에 의해 개구부(102a)에 대응하는 부분 이외를 레지스트로 막을 덮고, 상기 재료에 대응하는 산(酸) 등의 에칭액을 사용하여 막을 에칭한다. 이것에 의해, 개구부(102a)를 갖는 하층 뱅크(102)가 형성된다.

다음으로, 상층 뱅크(103)를 하층 뱅크(102) 위에 형성한다. 상층 뱅크(103)의 재료로서는, 아크릴계 감광성 수지 재료를 사용할 수 있다. 또한, 감광성 수지 재료는 차광성을 갖는 것이 바람직하다. 상층 뱅크(103)의 형성 방법으로서는, 예를 들어 하층 뱅크(102)가 형성된 대향 기판(101)의 표면에 감광성 수지 재료를 롤 코팅법이나 스핀 코팅법에 의해 도포하고, 건조시켜 두께가 약 2㎛의 감광 성 수지층을 형성한다. 그리고, 색요소 영역 A에 대응한 크기로 개구부가 설치된 마스크를 대향 기판(101)과 소정의 위치에서 대향시켜 노광 및 현상함으로써, 상층 뱅크(103)를 형성하는 방법을 들 수 있다. 이것에 의해, 대향 기판(101) 위에 복수의 색요소 영역 A를 매트릭스 형상으로 구획하는 격벽부(104)가 형성된다. 그리고, 스텝 S2로 진행된다.

도 6의 스텝 S2는 표면 처리 공정이다. 스텝 S2에서는, O₂를 처리 가스로 하는 플라스마 처리와 불소계 가스를 처리 가스로 하는 플라스마 처리를 행한다. 즉, 색요소 영역 A가 친액(親液) 처리되고, 그 후 감광성 수지로 이루어지는 상층 뱅크(103)의 표면(벽면을 포함함)이 발액(撥液) 처리된다. 그리고, 스텝 S3로 진행된다.

여기서 실제로 사용하는 마더 보드로서의 기판(W)의 묘화 영역에 대한 묘화 방법에 대해서 도 8에 의거하여 설명한다. 도 8은 기판의 묘화 영역에 대한 묘화 방법을 나타낸 모식도이다. 상세하게는, 기판(W)에 대하여 캐리지(51)에 탑재된 액적 토출 헤드(52)의 노즐면(58a)이 대향하도록 배치된 상태에 의거하는 모식도이다. 또한, 도면상의 각기 다른 종류의 액상체를 토출하는 헤드(R1), 헤드(G1), 헤드(B1)로 시작되는 각 액적 토출 헤드(52)를 나타낸 사각형인 Y축 방향의 폭은 상기 액적 토출 헤드(52)의 유효 노즐의 전장에 대응한 묘화 폭 Iw를 나타낸 것이다. 또한, 색요소 영역 A 및 헤드 그룹(52A∼52H)의 크기는 설명을 이해하기 쉽게 하기 위해, 적당한 크기로 확대 또는 축소하여 표시하고 있다.

도 8의 (a) 및 (b)에 나타낸 바와 같이, 마더 보드로서의 기판(W)의 묘화 영역 E에는 복수의 색요소 영역 A가 Y축 방향으로 동일한 종류의 색요소가 배열되도록 격벽부(104)에 의해 구획되어 있다. 또한, 다른 종류의 색요소가 X축 방향으로 RGB의 순서로 배열되도록 구획되어 있다. 소위 스트라이프 방식의 색요소 영역 A의 배치로 되어 있다.

이러한 기판(W)에 대하여 캐리지(51)는 Y축 방향으로 2개 나열되도록 위치하고 있고, 상술한 액적 토출 장치(1)의 워크 이동 수단(2)에 의한 기판(W)의 X축 방향으로의 이동, 즉 주주사에 동기하여, 액적 토출 헤드(52)의 각 노즐(61)로부터 복수의 색요소 영역 A에 선택적으로 복수 종류의 액상체를 토출함으로써, 복수 색의 컬러 필터를 묘화 가능하게 되어 있다.

도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의 묘화 영역 E는 7개의 부분 묘화 영역 E1 내지 E7으로 가상 분할되어 있다. 각 부분 묘화 영역 E1 내지 E7의 폭은 캐리지(51)에 탑재된 동일한 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)이 주주사 방향으로부터 보아 연속되어 있는 부분의 길이 (P2×319)×2+P2, 즉, 상기 액적 토출 헤드(52)의 유효 노즐의 전장에 대응한 묘화 폭 Iw의 2배에 1노즐 피치를 더한 길이로 되어 있다. 예를 들어 B(청색)의 컬러 필터 재료를 포함하는 액상체를 토출하는 헤드(B4)의 유효 노즐 단부와 묘화 영역 E의 Y축 방향 단부가 거의 동일한 위치로 되도록 캐리지(51)를 기판(W)에 대하여 위치 결정하여 주주사를 행하면, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7에 배열한 B의 색요소 영역 A에 대하여 B의 컬러 필터 재료를 포함하는 액상체를 빈틈없이 토출하는 것이 가능 하다.

이 경우, 캐리지(51)에 탑재된 다른 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62) 단부의 위치는 서로 어긋나게 배치되어 있다. 따라서, 다른 종류의 액상체를 대략 동시에 토출하면, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7에서 G와 R의 색요소 영역 A에 대응하는 액상체가 Y축 방향으로 토출되지 않는 부분이 발생한다. 따라서, 노즐 열(62) 단부의 시프트량에 상당하는 길이로 캐리지(51)를 Y축 방향으로 부주사한 후에 주주사를 행하면, 다른 종류의 액상체를 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7에 배열한 3종(RGB)의 색요소 영역 A에 대하여 빈틈없이 토출하는 것이 가능하다. 또한, 이 경우, 노즐 열(62) 단부의 시프트량에 상당하는 길이의 2배로 부주사하여도 마찬가지로 빈틈없이 토출하는 것이 가능하고, 부주사의 회수를 감소시킬 수 있다.

도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이, 다른 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 묘화하는 경우에는, 캐리지(51)를 Y축 방향으로 유효 노즐의 전장에 대응한 묘화 폭 Iw의 2배에 1노즐 피치를 더한 길이, 즉 (P2×319)×2+P2에 상당하는 길이로 이동(개행(改行))시킨다. 그리고, X축 방향으로 주주사하면, 묘화 영역 E의 전역(全域)에 걸쳐 다른 종류의 액상체를 대응하는 색요소 영역 A에 토출하는 것이 가능하다. 이 경우도, 각 노즐 열(62)의 시프트량에 대응한 부주사를 행하고 나서 주주사하는 것을 반복하면, 다른 부분 묘화 영역 E2, E4, E6에 배열한 3종(RGB)의 색요소 영역 A에 대하여 빈틈없이 토출하는 것이 가능하다.

또한, 본 실시예에서는 기판(W)의 묘화 영역 E를 균등하게 가상 7분할한 부 분 묘화 영역 E1 내지 E7을 전제로 설명했지만, 이것에 한정되지 않아, 기판(W)의 크기에 따라 가상 분할하여 남은 영역이 발생할 수도 있다. 예를 들어 부분 묘화 영역 E7의 폭이 다른 부분 묘화 영역 E1 내지 E6에 비하여 협소하여도 대응 가능하다. 또한, 기판(W)의 크기가 2개의 캐리지(51)를 간격 L1을 두고 배치한 경우보다도 큰 경우는, 개행 동작을 더 행하든지, 캐리지(51)를 증설하면 대응할 수 있다.

이상과 같은 기본적인 묘화 방법에 입각하여, 도 6의 스텝 S3에 대해서 설명한다. 스텝 S3는 색요소로서의 컬러 필터의 제 1 묘화 공정이다. 스텝 S3에서는, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 표면 처리된 각 색요소 영역 A의 각각에 대응하는 액상체(70R, 70G, 70B)를 부여하여 컬러 필터(105)를 묘화한다. 액상체(70R)는 R(적색)의 컬러 필터 형성 재료를 포함하고, 액상체(70G)는 G(녹색)의 컬러 필터 형성 재료를 포함하며, 액상체(70B)는 B(청색)의 컬러 필터 형성 재료를 포함하는 것이다. 그리고, 액적 토출 장치(1)를 사용하여 액적 토출 헤드(52)에 각 액상체(70R, 70G, 70B)를 충전하고, 액적으로서 색요소 영역 A에 착탄시킨다. 제 1 묘화 공정에서는, 도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이 헤드(B4)의 단부를 기준으로 하는 1회의 주주사와, 노즐 열(62)의 시프트량에 대응하는 부주사와 주주사를 적어도 1회 반복함으로써, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 토출 묘화한다. 이어서, 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같이, 캐리지(51)를 개행시켜 헤드(B4)의 단부를 기준으로 하는 1회의 주주사와, 노즐 열(62)의 시프트량에 대응하는 부주사와 주주사를 적어도 1회 반복함으로써, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 토출 묘화한다. 이 경우의 하나의 색요소 영역 A에 토출되는 액상체의 토출량은 필요한 액상체의 총량을 분할하여 감소시킨다. 따라서, 착탄된 다른 종류의 각 액상체(70R, 70G, 70B)는 색요소 영역 A에 습윤 확장되어 표면장력에 의해 상승하지만, 토출량이 필요한 총량에 대하여 감소되어 있기 때문에, 서로 격벽부(104)를 넘어 혼합되는 것이 억제된다.

또한, 먼저 토출 묘화된 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7의 색요소 영역 A에 착탄된 각 액상체(70R, 70G, 70B)는 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 토출 묘화하는 소정의 시간을 두는 공정을 구비함으로써, 용매 성분이 증발하여 자연 건조가 진행되고, 도 7의 (c)에 나타낸 바와 같이 막이 감소한 제 1 묘화층(105a)으로 된다. 또한, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6에서도, 후술하는 제 2 묘화 공정에 의해 재묘화될 때까지 먼저 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7이 재묘화되는 소정의 시간을 두는 공정이 실시되기 때문에, 제 1 묘화 공정에서 토출된 각 액상체(70R, 70G, 70B)는, 도 7의 (c)에 나타낸 바와 같이 막이 감소한 제 1 묘화층(105a)으로 된다. 그리고, 스텝 S4로 진행된다.

도 6의 스텝 S4는 제 2 묘화 공정이다. 스텝 S4에서는, 우선 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 재토출 묘화한다. 이어서, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 재토출 묘화한다. 이 경우의 각 부분 묘화 영역 E1 내지 E7을 묘화하는 방법은 기본적으로 스텝 S3의 제 1 묘화 공정과 동일하지만, 재묘화 시의 하나의 색요소 영역 A에 1회의 주주사에 의해 토출되는 액상체의 토출량은 상기 제 1 묘화 공정에 비하여 서서히 감소되고 있다. 따라서, 도 7의 (d)에 나타낸 바와 같이, 제 1 묘화층(105a) 위에 각 액상체(70R, 70G, 70B)를 토출하여도 표면장력에 의해 상승한 각 액상체(70R, 70G, 70B)는 토출량이 감소되어 있기 때문에, 서로 격벽부(104)를 넘어 혼합되는 것이 억제된다. 그리고, 스텝 S5로 진행된다. 또한, 제 1 묘화 공정 및 제 2 묘화 공정에서의 더욱 상세한 색요소의 형성 방법에 대해서는 후술한다.

도 6의 스텝 S5는 묘화된 컬러 필터(105)를 건조시켜 성막화하는 공정이다. 스텝 S5에서는, 도 7의 (e)에 나타낸 바와 같이, 제 1 묘화층(105a) 위에 제 2 묘화층(105b)이 적층되도록 토출 묘화된 컬러 필터(105)를 일괄 건조시키고, 각 액상체(70R, 70G, 70B)로부터 용제 성분을 제거하여 컬러 필터(105R, 105G, 105B)를 성막한다. 건조 방법으로서는, 용제 성분을 균질로 건조 가능한 감압(減壓) 건조 등의 방법이 바람직하다. 그리고, 스텝 S6로 진행된다.

도 6의 스텝 S6는 OC층 형성 공정이다. 스텝 S6에서는, 도 7의 (f)에 나타낸 바와 같이, 컬러 필터(105)와 상층 뱅크(103)를 덮도록 OC층(106)을 형성한다. OC층(106)의 재료로서는, 투명한 아크릴계 수지 재료를 사용할 수 있다. 형성 방법으로서는, 스핀 코팅법, 오프셋(offset) 인쇄 등의 방법을 들 수 있다. OC층(106)은 컬러 필터(105)가 형성된 대향 기판(101) 표면의 요철(凹凸)을 완화하여, 나중에 이 표면에 막이 부착되는 대향 전극(107)을 평탄화하기 위해 설치되어 있다. 또한, 대향 전극(107)과의 밀착성을 확보하기 위해, OC층(106) 위에 SiO₂ 등의 박막을 더 형성할 수도 있다. 그리고, 스텝 S7로 진행된다.

도 6의 스텝 S7은 대향 전극(107)을 형성하는 공정이다. 스텝 S7에서는, 도 7의 (g)에 나타낸 바와 같이, 스퍼터링법이나 증착법을 이용하여 ITO 등의 투명 전극 재료를 진공 중에서 성막하여 OC층(106)을 덮도록 전면(全面)에 대향 전극(107)을 형성한다.

상기 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7에 착안했지만, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6에 착안하면, 마찬가지로 제 1 묘화 공정과 제 2 묘화 공정을 구비하고, 제 1 묘화 공정 후, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 토출 묘화하는 소정의 시간을 둔 후에, 제 2 묘화 공정 이 행해지게 된다.

본 실시예에서는, 컬러 필터(105)를 제 1 묘화층(105a)에 제 2 묘화층(105b)을 적층하도록 형성했지만, 이것에 한정되지 않아 복수의 묘화층이 적층되는 구성으로 할 수도 있다.

또한, 하층 뱅크(102) 및 상층 뱅크(103)에 의해 격벽부(104)를 형성하는 예를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않아 차광성이 있는 재료를 사용하여 1층 뱅크의 구성으로 할 수도 있다.

상기 액정 표시 장치의 제조 방법을 이용하여, 대향 기판(101)에 색요소로서의 컬러 필터(105)를 형성하면, 컬러 필터(105)의 혼색 불량을 저감하여 양호한 제조 수율로 대향 기판(101)을 제조하는 것이 가능하다. 또한, 완성된 대향 기판(101)과 화소 전극(110) 및 TFT 소자(111)를 갖는 소자 기판(108)을 접착제를 사용하여 소정의 위치에서 접착하고, 한 쌍의 대향 기판(101)과 소자 기판(108) 사이에 액정을 충전하면, 컬러 필터(105)의 혼색이 저감된 우수한 표시 품질을 갖는 액정 표시 장치(100)가 완성된다.

다음으로, 액정 표시 장치(100)의 제조 방법에서의 색요소의 형성 방법으로서의 제 1 묘화 공정 및 제 2 묘화 공정의 액상체의 토출 묘화에 대해서, 실시예 1 내지 4에 의거하여 더욱 상세하게 설명한다.

(실시예 1)

도 9는 실시예 1의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도이다. 상세하게는, 도 9의 (a)는 제 1 묘화 공정의 액상체의 착탄 상태를 나타내고, 도 9의 (b)는 제 2 묘화 공정의 액상체의 착탄 상태를 나타낸 것이다.

도 9의 (a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 묘화 공정에서는, 상기 도 8에 나타낸 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7의 복수의 색요소 영역 A에 적어도 2회의 주주사에 의해 다른 종류의 액상체(70R, 70G, 70B)를 액적으로서 토출 묘화한다. 각 색요소 영역 A에 착탄된 액상체(71)의 토출량은 하나의 색요소 영역 A에 색요소를 형성하기 위해 필요한 총량이 분할된 양이다. 그리고, 도 8에 나타낸 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 동일한 방법으로 하여 토출 묘화하는 소정의 시간을 두는 공정을 실시하고 나서, 다시 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 재토출 묘화한다. 이 때의 각 색요소 영역 A에 착탄된 액상체(72)의 토출량은 먼저 착탄된 액상체(71)의 잔량이 있는 것을 고려하여 액상체(71)의 토출량에 비하여 감소되어 있다. 따라서, 필요한 총량을 제 1 묘화 공정에서 전부 토출하는 경우에 비하여 소정의 시간을 두고 먼저 착탄된 액상체(71)가 색요소 영역 A에 습윤 확장되어 자연 건조되어 막이 감소한 후에 액상체(72)가 착탄되기 때문에, 격벽부(104)를 넘어 다 른 종류의 액상체(70R, 70G, 70B)가 서로 혼합되어 혼색이 일어나는 것이 저감된다.

(실시예 2)

도 10은 실시예 2의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도이다. 상세하게는, 도 10의 (a)는 제 1 묘화 공정의 액상체의 착탄 상태를 나타내고, 도 10의 (b) 및 (c)는 제 2 묘화 공정의 액상체의 착탄 상태를 나타낸 것이다. 실시예 2는 실시예 1에 대하여, 제 2 묘화 공정에서는, 부분 묘화 영역을 더 가상 분할한 분할 영역의 하나를 주주사에 의해 묘화하고, 소정의 시간을 두고, 나머지 분할 영역을 묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하는 것이다.

도 10의 (a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 묘화 공정에서는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여, 우선 도 8에 나타낸 묘화 영역 E를 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7과 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6로 분할하여 주주사를 반복함으로써 토출 묘화한다. 그리고, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 토출 묘화하는 소정의 시간을 두고 나서, 다시 묘화 영역 E를 재토출 묘화하는 제 2 묘화 공정을 행한다. 이 때, 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 예를 들어 부분 묘화 영역 E1은 2개의 분할 영역 E1a와 분할 영역 E1b로 더 가상 분할되고, 우선 분할 영역 E1a를 재토출 묘화한다. 착탄된 액상체(71, 72)의 토출량은 실시예 1과 마찬가지로 서서히 감소된다. 다른 3개의 부분 묘화 영역 E3, E5, E7에서도 마찬가지로 2개로 더 가상 분할한 하나의 분할 영역을 재묘화한다. 그리고, 개행(부주사)을 행하여 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6도 마찬가지로 2개에 가상 분할한 하나의 분할 영역을 재 묘화한다. 다음으로, 도 10의 (c)에 나타낸 바와 같이, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6의 하나의 분할 영역을 재묘화하는 소정의 시간을 두고, 이번에는 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7의 나머지 분할 영역 E1b를 재토출 묘화한다. 이렇게 하면, 나머지 분할 영역이 재토출 묘화될 때까지 실시예 1에 비하여 긴 시간이 필요하기 때문에, 나머지 분할 영역에서 착탄된 액상체(71)의 자연 건조가 진행되어, 보다 막이 감소한 후에 다음 액상체(72)가 착탄되기 때문에, 혼색이 보다 저감된다.

(실시예 3)

도 11은 실시예 3의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도이다. 상세하게는, 도 11의 (a) 및 (b)는 제 1 묘화 공정의 토출 묘화 상태를 나타내고, 도 11의 (c) 및 (d)는 제 2 묘화 공정의 토출 묘화 상태를 나타낸 것이다. 실시예 3은 제 1 묘화 공정에서는, 묘화 영역 E에 포함되는 복수의 색요소 영역 A 중, 서로 인접하지 않는 색요소 영역 A에 액상체를 토출하여 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체가 토출되지 않은 색요소 영역 A에 액상체를 토출하여 묘화하는 것이다.

도 11의 (a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 묘화 공정에서는, 우선 묘화 영역 E의 RGB 3종의 색요소가 형성되는 복수의 색요소 영역 A 중, 서로 인접하지 않는 색요소 영역 A에 토출되는 총량이 분할된 액상체(71)를 착탄시킨다. 그리고, 도 11의 (b)에 나타낸 바와 같이, 토출량이 감소한 액상체(72)를 더 착탄시킨다. 이 때, 도 8에 나타낸 바와 같이, 묘화 영역 E를 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7 과 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6로 분할하여 주주사를 반복함으로써 액상체(71, 72)를 토출하여 묘화한다. 다음으로, 도 11의 (c)에 나타낸 바와 같이, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체(71, 72)가 토출되지 않은 색요소 영역 A에 액상체(71)를 착탄시킨다. 그리고, 도 11의 (d)에 나타낸 바와 같이, 토출량이 감소한 액상체(72)를 더 착탄시킨다. 액상체(71, 72)의 토출 묘화 방법은 제 1 묘화 공정과 마찬가지로 묘화 영역 E를 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7과 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6로 분할하여 주주사를 반복한다. 이렇게 하면, 인접하는 색요소 영역 A의 한쪽에 액상체(71, 72)가 착탄된다. 그리고, 액상체(72)는 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6에 액상체(71)를 토출 묘화하는 소정의 시간을 두고 나서, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7에 토출된다. 또한, 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6에서는, 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7에 액상체(72)가 토출되는 소정의 시간을 두고 나서 액상체(72)가 토출된다. 따라서, 1회의 주주사에서 인접하는 색요소 영역 A에 액상체(71, 72)가 착탄되지 않아, 먼저 토출되는 액상체(71)가 상기 소정의 시간을 둠으로써 자연 건조가 진행되어 막이 감소한 상태로 되고 나서 액상체(72)가 착탄된다. 따라서, 다른 종류의 액상체끼리가 격벽부(104)를 넘어 혼합되어 혼색되는 것이 보다 저감된다.

(실시예 4)

도 12는 실시예 4의 액상체의 토출 묘화 상태를 나타낸 개략 평면도이다. 실시예 4는 제 1 묘화 공정에서는, 묘화 영역 E에 포함되는 복수의 색요소 영역 A의 각각에 액상체를 간격을 두고 복수 착탄시켜 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체가 착탄되지 않은 복수의 색요소 영역 A 각각의 부위에 액상체를 착탄시켜 묘화하는 것이다.

도 12의 (a)에 나타낸 바와 같이, 제 1 묘화 공정에서는, 묘화 영역 E의 RGB 3종의 색요소가 형성되는 복수의 색요소 영역 A의 각각에, 적어도 2회의 주주사에 의해 액상체(71, 72)를 간격을 두고 착탄시켜 묘화한다. 이 경우도, 도 8에 나타낸 바와 같이, 묘화 영역 E를 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7과 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6로 분할하여 주주사를 반복함으로써 액상체(71, 72)를 토출하여 묘화한다. 이 때, 다른 종류의 색요소가 형성되는 색요소 영역 A에서 서로 액상체(71, 72)가 부주사 방향으로 어긋나 착탄되도록 액상체(71, 72)를 토출한다. 다음으로, 도 12의 (b)에 나타낸 바와 같이, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에서 액상체(71, 72)가 착탄되지 않은 복수의 색요소 영역 A 각각의 부위(73)에 액상체(71, 72)를 착탄시켜 재토출 묘화한다. 재토출 묘화에서도 마찬가지로 도 8에 나타낸 묘화 영역 E를 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7과 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6로 분할하여 주주사를 반복함으로써 액상체(71, 72)를 토출하여 묘화한다. 이렇게 하면, 제 1 묘화 공정에서는, 다른 종류의 색요소가 형성되는 색요소 영역 A의 각각에 서로 어긋난 상태로 간격을 두고 액상체(71, 72)가 착탄되기 때문에, 착탄된 위치에서 상승한 액상체(71, 72)가 격벽부(104)를 넘어 서로 혼합되어 혼색되는 것이 저감된다. 또한, 제 2 묘화 공정에서는, 분할하여 주주사를 행하는 소정의 시간을 두고, 복수의 색요소 영역 A 각각의 부위(73)에 액상체(71, 72)가 착탄되기 때문에, 먼저 착탄된 액상체(71, 72)의 자연 건조가 진행되어, 보 다 막이 감소한 상태에서 다음 액상체(71, 72)가 그 사이에 착탄되기 때문에, 혼색이 보다 저감된다.

상기 실시예 1 내지 4에서는, 각 색요소 영역 A에서 액상체(71, 72)가 부주사 방향으로 1열로 나열된 상태에서 착탄되어 있지만, 실제로는 도 2에 나타낸 바와 같이 액적 토출 헤드(52)는 2연의 노즐 열(62)을 갖고 있기 때문에, 각 액상체(71, 72)를 각각 2열로 착탄시킬 수도 있다. 또한, 하나의 색요소 영역 A에 착탄되는 액적의 수(양)는 색요소 영역 A의 크기나 각 액상체의 종류에 따라 바뀔 수도 있다.

(전자 기기)

다음으로, 상기 액정 표시 장치의 제조 방법을 이용하여 제조된 전기 광학 장치로서의 액정 표시 장치를 구비한 전자 기기에 대해서 도 13에 의거하여 설명한다. 도 13은 전자 기기로서의 휴대형 정보 처리 장치를 나타낸 개략 사시도이다.

도 13에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 전자 기기로서의 휴대형 정보 처리 장치(200)는 입력용 키보드(202)를 갖는 정보 처리 장치 본체(201)와, 표시부(203)를 구비하고 있다. 표시부(203)에는 컬러 필터(105)의 혼색이 저감된 우수한 표시 품질을 갖는 액정 표시 장치(100)가 탑재되어 있다.

본 실시예의 효과는 아래와 같다.

(1) 본 실시예의 액정 표시 장치(100)의 제조 방법에 있어서, 제 1 묘화 공정에서는, 기판(W)의 묘화 영역 E를 가상 분할한 7개의 부분 묘화 영역 E1 내지 E7 중, 우선 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 적어도 2회의 주주사에 의해 각 액상체(70R, 70G, 70B)를 토출 묘화한다. 그리고, 캐리지(51)를 이동시키는 개행(부주사)을 행하여 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 마찬가지로 토출 묘화한다. 이것에 의해, 제 1 묘화층(105a)을 형성한다. 나머지 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 적어도 2회의 주주사에 의해 토출 묘화하는 소정의 시간을 두는 공정 후에, 제 2 묘화 공정에서는, 다시 4개의 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 적어도 2회의 주주사에 의해 재묘화한다. 제 1 묘화 공정의 1회의 주주사에서는, 색요소 영역 A에 색요소로서의 컬러 필터(105)를 형성하기 위해 필요한 총량을 분할한 토출량으로 각 액상체(70R, 70G, 70B)를 토출 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 제 1 묘화 공정에 대하여 토출량을 서서히 감소시켜 토출 묘화한다. 따라서, 제 1 묘화 공정에서는, 격벽부(104)를 넘어 각 액상체(70R, 70G, 70B)가 서로 혼합되는 것이 억제된다. 또한, 제 2 묘화 공정에서는, 상기 소정의 시간을 두고 나서 다시 토출 묘화되고, 제 1 묘화 공정에서 토출된 각 액상체(70R, 70G, 70B)가 상기 소정의 시간에서 자연 건조에 의해 막이 감소한 후에 다시 착탄되기 때문에, 다른 종류의 액상체끼리가 격벽부(104)를 넘어 혼합되는 것이 억제된다. 즉, 컬러 필터(105)의 혼색을 저감할 수 있다.

(2) 액정 표시 장치(100)의 제조 방법의 실시예 2의 색요소의 형성 방법에 있어서, 제 2 묘화 공정에서는, 부분 묘화 영역 E1, E3, E5, E7을 2개로 더 가상 분할한 분할 영역의 하나를 주주사에 의해 묘화한 후에, 다른 부분 묘화 영역 E2, E4, E6를 2개로 더 가상 분할한 분할 영역의 하나를 주주사에 의해 묘화하는 소정의 시간을 두고, 나머지 분할 영역을 적어도 2회의 주주사에 의해 묘화한다. 따라 서, 나머지 분할 영역은 보다 긴 시간을 두고 나서 제 1 묘화 공정에서 착탄된 액상체(71)의 자연 건조가 보다 진행된 상태에서 재묘화되기 때문에, 다른 종류의 액상체끼리가 격벽부(104)를 넘어 혼합되는 것이 억제되어 컬러 필터(105)의 혼색이 보다 저감된다.

(3) 액정 표시 장치(100)의 제조 방법의 실시예 3의 색요소의 형성 방법에 있어서, 제 1 묘화 공정에서는, 서로 인접하지 않는 색요소 영역 A에 액상체(71, 72)를 토출하여 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 묘화 영역 E를 분할하여 주주사하는 소정의 시간을 두고, 제 1 묘화 공정에서 액상체(71, 72)가 착탄되지 않은 색요소 영역 A에 액상체(71, 72)가 착탄된다. 따라서, 인접하는 색요소 영역 A의 한쪽에 액상체(71, 72)가 착탄되기 때문에, 다른 종류의 액상체끼리가 격벽부(104)를 넘어 혼합되어 혼색되는 것이 보다 저감된다.

(4) 액정 표시 장치(100)의 제조 방법의 실시예 4의 색요소의 형성 방법에 있어서, 제 1 묘화 공정에서는, 다른 종류의 색요소가 형성되는 색요소 영역 A의 각각에 서로 어긋난 상태로 간격을 두고 액상체(71, 72)가 착탄된다. 제 2 묘화 공정에서는, 묘화 영역 E를 분할하여 주주사하는 소정의 시간을 두고, 상기 간격을 매립하도록 다시 액상체(71, 72)가 착탄된다. 따라서, 먼저 착탄된 액상체(71, 72)의 자연 건조가 진행되어, 보다 막이 감소한 상태에서 다음 액상체(71, 72)가 그 사이의 부위(73)에 착탄되기 때문에, 다른 종류의 액상체끼리가 격벽부(104)를 넘어 혼합되어 혼색되는 것이 보다 저감된다.

(5) 본 실시예의 휴대형 정보 처리 장치(200)는 액정 표시 장치(100)를 탑재 하고 있기 때문에, 색의 불균일 등의 표시 불량이 적은 높은 표시 품질로 문자나 화상 등의 정보를 확인하는 것이 가능한 전자 기기로서의 휴대형 정보 처리 장치(200)를 제공할 수 있다.

상기 실시예 이외의 변형예는 아래와 같다.

(변형예 1)

상기 실시예 1 내지 4에서의 색요소의 형성 방법에 있어서, 상기 주주사에 의해 착탄된 액상체(71)(또는 액상체(71, 72))의 건조는 자연 건조에 한정되지 않는다. 예를 들어 기판(W)을 가온(加溫) 가능한 히터를 액적 토출 장치(1)에 구비하여 건조시킬 수도 있다. 또한, 기판(W)의 표면을 흐르도록 기류를 설정하고, 액상체(71)로부터의 용매의 증발을 재촉하도록 하여 건조시킬 수도 있다.

(변형예 2)

액정 표시 장치(100)의 제조 방법에 있어서, 1회의 주주사에 의해 색요소 영역 A에 토출하는 각 액상체(70R, 70G, 70B)의 토출량은 노즐(61)로부터 토출되는 1개의 액적의 양을 동일하게 하여, 색요소 영역 A에 착탄되는 수를 제 1 묘화 공정과 제 2 묘화 공정에서 바꿀 수도 있다. 이렇게 하면, 액상체(71)에 대하여 액상체(72)의 액적의 크기를 바꾸는 복잡한 토출 제어를 하지 않아도 총량을 분할하여 색요소 영역 A에 각 액상체(70R, 70G, 70B)를 토출할 수 있다.

(변형예 3)

액적 토출 장치(1)에 있어서, 캐리지(51)에 탑재되는 액적 토출 헤드(52)의 배치는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어 다른 종류의 액상체를 토출하는 각 액 적 토출 헤드(52)를 X축 방향에서 동일한 묘화 범위로 되도록 Y축 방향으로 병렬시켜 배치할 수도 있다. 이렇게 하면, 다른 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)의 시프트량을 고려하여 행하는 부주사와 주주사의 회수를 감소시킬 수 있다.

(변형예 4)

액적 토출 장치(1)에 있어서, 캐리지(51)의 수는 2개로 한정되지 않는다. 또한, 캐리지(51)에 탑재되는 액적 토출 헤드(52)의 배치는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어 캐리지(51)를 1개로 하여, 헤드 그룹(52A, 52B)과 헤드 그룹(52C, 52D)의 다른 헤드 그룹 열 사이에서, 동일한 종류의 액상체를 토출하는 액적 토출 헤드(52)의 노즐 열(62)의 간격이 (P2×320)×4+P2로 되도록 각 액적 토출 헤드(52)를 캐리지(51)에 배치한다. 즉, 이러한 캐리지(51)를 사용하면, 주주사 방향으로 배열된 헤드 그룹(헤드 그룹 열)이 묘화 가능한 묘화 폭의 2배의 간격을 둔 상태에서 토출 묘화하게 된다. 그리고, 묘화 영역 E를 부분 묘화 영역 E1, E4, 부분 묘화 영역 E2, E5, 부분 묘화 영역 E3, E6, 부분 묘화 영역 E7의 4개(3개 이상)로 분할하여 주주사를 반복하여 토출 묘화하도록 할 수도 있다. 이렇게 하면, 제 1 묘화 공정에서는, 분할된 묘화 영역 E의 각 영역을 하나씩 개행하여 토출 묘화하고, 제 2 묘화 공정에서는, 예를 들어 부분 묘화 영역 E1, E4 이외의 다른 부분 묘화 영역 전체를 1회씩 묘화하는 소정의 시간을 두고 나서 부분 묘화 영역 E1, E4을 재묘화할 수 있다.

(변형예 5)

상기 실시예의 기판(W)에서의 색요소 영역 A의 배치는 스트라이프 방식에 한정되지 않는다. 도 14는 색요소 영역의 배열을 나타낸 개략도이다. 상기 실시예에서의 색요소 영역 A의 배열은 도 14의 (a)에 나타낸 바와 같은 스트라이프 방식이지만, 도 14의 (b)에 나타낸 모자이크 방식, 또는 도 14의 (c)에 나타낸 델타 방식이어도, 상기 실시예와 동일한 색요소의 형성 방법을 적용할 수 있고, 그 효과가 얻어진다.

(변형예 6)

상기 실시예 1 내지 4에 나타낸 색요소로서의 컬러 필터(105)의 형성 방법은 격벽부에 의해 구획된 색요소 영역에 투명 전극을 형성하고, 형성된 투명 전극 위에 정공 주입 수송층을 적층한 후에, 발광층 형성 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 토출 묘화하여 색요소로서 유기 EL 등의 발광층을 형성하는 경우에도 적용할 수 있다.

(변형예 7)

액정 표시 장치(100)가 탑재되는 전자 기기는 휴대형 정보 처리 장치(200)에 한정되지 않는다. 예를 들어 휴대 전화기, PDA(Personal Digital Assistants)라고 불리는 휴대형 정보 기기나 휴대 단말 기기, 탁상형 퍼스널 컴퓨터, 워드프로세서, 디지털 스틸 카메라, 차재용 모니터, 디지털 비디오 카메라, 액정 텔레비전, 뷰파인더형, 모니터 직시형의 비디오 테이프 리코더, 카 네비게이션 장치, 소형 무선 호출기(pager), 전자 수첩, 전자 계산기, 워드프로세서, 워크스테이션, 텔레비전 전화기, POS 단말기 등의 화상 표시 수단으로서 적합하게 사용할 수 있고, 어떠한 전자 기기에서도 우수한 표시를 행할 수 있다.

상기한 바와 같이 본 발명에 의하면, 복수 종류의 액상체(液狀體)를 대략 동시에 토출하여 묘화(描畵)할 수 있고, 또한 혼색(混色)이 일어나기 어려운 색요소의 형성 방법, 및 이 형성 방법을 이용한 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims

복수의 액적 토출 헤드와, 상기 복수의 액적 토출 헤드와 기판을 대향 배치시킨 상태에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비한 액적 토출 장치를 사용하여, 상기 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 복수의 색요소 영역을 포함하는 묘화(描畵) 영역에, 상기 이동 수단에 의한 복수회의 주(主)주사에 동기하여, 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체(液狀體)를 상기 복수의 액적 토출 헤드의 노즐로부터 토출하여 복수 종류의 색요소를 묘화 형성하는 색요소의 형성 방법으로서,

상기 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상(假想) 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화하는 제 1 묘화 공정과,

상기 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재(再)묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화하는 제 2 묘화 공정을 구비하며,

1회의 주주사에서는, 하나의 상기 색요소 영역에 상기 색요소를 형성하기 위해 필요한 상기 액상체의 총량을 분할한 토출량으로 토출 묘화하는 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 제 2 묘화 공정에서는, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 다시 가 상 분할한 분할 영역 중 하나를 주주사에 의해 묘화하고, 소정의 시간을 두고, 나머지 분할 영역을 묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 행하는 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 제 1 묘화 공정과 상기 제 2 묘화 공정 사이에, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역 이외의 다른 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화함으로써, 상기 소정의 시간을 두는 공정을 더 구비한 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 제 1 묘화 공정과 상기 제 2 묘화 공정 사이에, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역 이외의 다른 부분 묘화 영역을 적어도 2회의 주주사에 의해 묘화함으로써, 상기 소정의 시간을 두는 공정을 더 구비한 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 묘화 영역을 3분할 이상의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하고, 상기 제 1 묘화 공정과 상기 제 2 묘화 공정 사이에, 하나의 부분 묘화 영역 이외의 다른 부분 묘화 영역 전체를 1회씩 묘화함으로써, 상기 소정의 시간을 두는 공정을 더 구비한 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 제 2 묘화 공정에서는, 상기 제 1 묘화 공정에 비하여 1회의 주주사에 의해 토출하는 상기 액상체의 토출량을 서서히 감소시켜 묘화하는 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 묘화 공정에서는, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역에 포함되는 상기 복수의 색요소 영역 중, 서로 인접하지 않는 상기 색요소 영역에 상기 액상체를 토출하여 묘화하고, 상기 제 2 묘화 공정에서는, 상기 제 1 묘화 공정에서 상기 액상체가 토출되지 않은 상기 색요소 영역에 상기 액상체를 토출하여 묘화하는 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 묘화 공정에서는, 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역에 포함되는 상기 복수의 색요소 영역 각각에 상기 액상체를 간격을 두고 복수 착탄(着彈)시켜 묘화하고, 상기 제 2 묘화 공정에서는, 상기 제 1 묘화 공정에서 상기 액상체가 착탄되지 않은 상기 복수의 색요소 영역 각각의 부위에 상기 액상체를 착탄시켜 묘화하는 것을 특징으로 하는 색요소의 형성 방법.
한 쌍의 기판을 갖는 동시에 적어도 한쪽의 상기 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 복수의 색요소 영역을 갖는 전기 광학 패널을 구비한 전기 광학 장치의 제조 방법으로서,

제 1 항에 기재된 색요소의 형성 방법을 이용하여, 상기 기판 위의 상기 복수의 색요소 영역에 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 토출하여 복수 종류의 색요소를 묘화하는 색요소 묘화 공정과,

묘화된 색요소를 건조시켜 성막화(成膜化)하는 성막 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
한 쌍의 기판을 갖는 동시에 적어도 한쪽의 상기 기판 위에 배치된 격벽부에 의해 구획된 색요소 영역을 갖는 전기 광학 패널을 구비한 전기 광학 장치로서,

제 9 항에 기재된 전기 광학 장치의 제조 방법을 이용하여, 상기 기판 위의 상기 복수의 색요소 영역에 복수 종류의 색요소가 형성된 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 10 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 전자 기기.
복수의 액적 토출 헤드와, 상기 복수의 액적 토출 헤드와 기판을 대향 배치시킨 상태에서 상대적으로 이동시키는 이동 수단을 구비하고, 상기 기판 위에 배치 된 격벽부에 의해 구획된 복수의 색요소 영역을 포함하는 묘화 영역에, 상기 이동 수단에 의한 복수회의 주주사에 동기하여, 색요소 재료를 포함하는 복수 종류의 액상체를 상기 복수의 액적 토출 헤드의 노즐로부터 토출하여 복수 종류의 색요소를 묘화 형성하는 액적 토출 장치로서,

상기 묘화 영역을 복수의 부분 묘화 영역으로 가상 분할하여, 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 적어도 1회의 주주사에 의해 묘화하는 제 1 묘화와, 상기 제 1 묘화 공정에 의해 묘화된 상기 적어도 하나의 부분 묘화 영역을 소정의 시간을 두고 재묘화하는 주주사를 적어도 1회 이상 반복하여 묘화하는 제 2 묘화를 제어하는 묘화 제어 수단을 구비하며,

1회의 주주사에서는, 하나의 상기 색요소 영역에 상기 색요소를 형성하기 위해 필요한 상기 액상체의 총량을 분할한 토출량으로 토출 묘화하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.