TWI314101B - Color element forming method, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device - Google Patents
Color element forming method, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device Download PDFInfo
- Publication number
- TWI314101B TWI314101B TW095121922A TW95121922A TWI314101B TW I314101 B TWI314101 B TW I314101B TW 095121922 A TW095121922 A TW 095121922A TW 95121922 A TW95121922 A TW 95121922A TW I314101 B TWI314101 B TW I314101B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- liquid
- color element
- tracing
- color
- substrate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
1314101 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關使用液滴噴出裝置之色要素之形成方法 光電裝置之製造方法、光電裝置及電子機器。 【先前技術】 =為於基板上,將含功能性材料之液狀體作 =行描晝之液滴喷出裝置,據知有一種描晝裝置,其: 使、墨列印機之噴墨頭作為功能液滴喷出頭(液滴喷出頭) ,並具備經由搭載有複數功能液滴噴出頭之托架 滴噴出頭往主掃描方向及副掃描方向移動之 移動機構(專利文獻1)。 此描畫裝置係對應於副掃描方向上均等地區分 土板)上之複數假想分割部位,將複數 ::掃描方向而搭载於托架。此外,藉由複數 。’大致㈣並行地喷出液狀體而進行描畫。藉此, :父於先描畫複數假想分割部位之兩外側部位之情況' :劑從落下於兩外側部位之液狀體氣化之時期延::以降 门乾:處理前之溶劑之氣化量依基板上之位置而大幅不 不I即,更降低乾燥後之含功能性材料之成膜部之㈣ 【專利文獻1】日本特開2004_267927號公報 (發明所欲解決之問題) 然而,使用上述以往之描晝裝置,將例如具有3色之色要 111398.doc 1314101 素(晝素)之彩色渡光器進行成膜之情況,於基板上之特定描 晝區域噴出含色要素材料之液狀體㈣行财之描晝襄置 系色各1 0亦即需要3台。此外,除了將基板對各描晝裝 置,、δ料除料之時間或定位之時間,由於在1個描畫裝置進 行描晝後,於其次之描畫裝置進行描畫前,藉由乾燥裝置 進打乾燥’因此具有至描晝所有色要素為止需要時間之課 題。 為了解決上述課題,可考慮於同—描晝裝置内描畫所有 色要素。然❿,由於省略描晝步,驟中之㈣,因此在含不 同色要素材料之複數種液狀體落下於基板,並由於表面張 力而隆起之狀態下,異種液狀體彼此可能混合而引起混色。 本發明係考慮到上述課題而實現者,其目的在於提供可 大致同時噴出複數種液狀體而描晝,且難以引起混色之色 要素之形成方法,使用此形成方法之光電裝置之製造方 法、光電裝置及電子機器。 【發明内容】 本發明之色要素之形成方法之特徵在於:使用具備複數 液滴噴出頭、及使複數液滴噴出頭與基板在對向配置之狀 態相對地移動之移動機構之液滴喷出裝置,於包含藉由配 置於基板上之隔牆部所劃分之複數色要素區域之描晝區域 上’同步於藉由移動機構所進行之複數次主掃描,自複數 液滴喷出頭之喷嘴,噴出含色要素材料之複數種液狀體而 描晝形成複數種色要素;其具備:第一描晝步驟,其係將 描晝區域假想分割為複數之部分描晝區域,藉由至少1次主 111398.doc 1314101 掃描描晝至少1個部分描晝區域;及第二描晝步驟,其係將 間隔特定時間再描晝以第一描晝步驟所描晝之至少丨個部 分描晝㊣域之主掃#,至少重複描畫卜欠以上;^次主掃 ’描中’以將用以於i個色要素區域形成色要素所必需之液狀 ' 體之總量分割之喷出量,進行噴出描晝。 若根據此方法,由於在第—描畫步驟中,將含複數色要 素區域之描畫區域假想分割為複數之部分描晝區域,藉由 • 至少1次主掃描描畫至少1個部分描畫區域。接著於第二描 晝步驟中,將間隔特定時間再描畫以第—描畫步驟所描畫 之至少1個部分描畫區域之主掃描,至少重複描晝i次以 上。此外,於1次主掃描中,以將用以於】個色要素區域形 成色要素所必需之液狀體之總量分割之噴出量,進行噴出 - 描晝。因此,落下於第一描畫步驟中所描晝之至少丨個部分 • 描晝區域之複數種液狀體,會於各要素區域潤濕擴散,由 於表面張力而隆起,但由於相對於所需總量而分割喷出 _ 4 、因此可降低含不同色要素之液狀體越過劃分各色要素 區域之隔牆部而互相混合。此外,於第二描晝步驟中,由 於至再描晝為止有間隔特定時間,因此第一描晝步驟所喷 出之液狀體之乾燥進展而減膜,故即使重複進行主掃描, 仍可抑制液狀體之隆起’降低含不同色要素之液狀體混 二。亦即可提供-種色要素之形成方法,其係即使藉由同 -液滴噴出裝置噴出複數種液狀體而描晝,仍難以引起混 色。 此外’於上述第二描晝步驟中,宜藉由主掃描,描晝將 111398.doc 1314101 至少1個部分描晝區域進而假想分割之分割區域之一,並間 隔特定時間,至少重複進行1次以上描晝剩餘之分割區域之 主掃描。 $'很據此刀 • . — / ,τ. Ί--Ι yp <田直少哪厂" 描畫之至少1個部分描晝區域進而假想分割,並間隔特定時 間’藉由主掃描描畫分割區域之一,再度間隔特定時間, 描畫剩餘之分割區域。因此,於剩餘之分割區域,在第一 描晝步財落下之液狀體間隔更長時間而進行乾燥之狀態 下,於第二描晝步驟再度進行描畫。因此即使於液狀體之 乾燥已進屐之剩餘之分割區域,進而重複使液狀體落下, 仍可確實地降低在色要素區域内隆起之不同種類之液狀體 越過隔牆部而混合。故’即可提供-種色要素之形成方法, ΐ係即使藉由同一液滴噴出裝置噴出複數種液狀體而描 畫’仍難以引起混色。 ,卜此外,^於上述第-描晝步驟與第二描晝步驟之間,至 V以1次主掃描’描晝上述至少丨個部分 他部分描晝區域,Μ以$ = „ Γ <再 — s進而具備間隔特定時間之步驟。 右根據此方法’相較於 間而實施第二描晝步驟之二= 步驟後’幾乎未間隔時 畫其他部分描晝區域之特^時門1隔至少以1次主掃描描 畫步驟所喷出之液狀體之乾步驟間’可促進第一描 色之色要素之形成方法。 可提供更難以引起混 此外且於上帛-& 4纟 少以2次主掃描,描書 驟之間,至 一上迷至少1個部分描晝區域以外之其 H1398.doc 1314101 他部分描畫區域,U、# t s βΒ 錯以進而具備間隔特定時間之步驟。 右*根據此方法,於《楚 .. 、第一描畫步驟後,實施以至少2 描描晝其他部分描畫區域之間隔更長特定時間之步 進打第二描晝步驟。故,更進行第一描畫步驟所噴出 狀體之乾燥而減、 次 成方法。咸膜W供更難以引起混色之色要素之形 此外,亦可將上述描晝區域假想分割為3份以 晝區域,於上述第一浐I丰碰。 芡口Ρ刀描 乩第描畫步驟與上述第二描畫步驟之 將1個部分描晝區域以冰+ & 士# -卜之所有其他部分描晝區域均各沪 一 \次’藉以進而具備間隔前述特定時間之步驟。 田 右根據此方法,由於描晝區域被假想分割為分割3份以上 之部分描晝區域,因此筮告止首 弟一“丑步驟係於各描晝1次且 分描晝區域後進杆,亦PD „ 、 他4 P 4隔以2次以上之主掃描描畫之 定時間而進行。Ι9Π α ® 、 子’广因此,更進行第一描畫步驟所喷出之液狀 體之乾燥而減膜,可提供# 供更難以引起混色之色要素之形 方法。 此外’於上述第二描金半越;士 一描里步驟中,宜使1次主掃描噴出之液 狀體之噴出量逐漸比第—描晝步驟減少而描晝。 若根據此方法,相較於將用以於1個色要素區域形成色要 素所需之液狀體總量,單纯 早、,,屯也以主%描次數分割之喷出 量,將液取體噴出之情況,由 由於洛下而潤濕擴散之液狀體, 以隔牆部劃分之各色要素區域 ^ 各里會逐漸減少,但由於 重複於同一色要素區域内嗜屮夕、产 株円嚷出之液狀體之量降低,因此液 狀體之隆起方式係後面越受到抑制^ ?p制’可更降低不同種類之 111398.doc 1314101 液狀體越過隔牆部而互相混色。 、此外,於上述第-描晝步财,宜於至少工個部分描晝區 域所包含之複數色要素區域’互不鄰接之色要素區域,噴 出液狀體而描t ’於第二描晝步驟中,於第—描晝步驟中 未被喷有液狀體之色要素區域m狀體而描晝。 若根據此方法,於第—描晝步驟中,於互不鄰接之色要 素區域噴出液《,於第二描晝步驟+,以土真埋在第一描 晝步驟所未喷出之色要素區域之方式來喷出液狀體。故, 由於第一描畫步驟中,於相鄰之色要素區域未喷有液狀 體’因此可降低不同種類之液狀體在相鄰之色要素區域間 混合。此外,第二描畫步驟係間隔特定時間後進行,於第 一描晝步驟所噴出之液狀體之乾燥已進展之狀態下再度 噴出液狀體。故可更降低相鄰之色要素區域間發生混色。 此外,於上述第一描晝步驟中,於至少丨個部分描晝區域 所包含之複數色要素區域之各個,空出間隔而使液狀體落 下複數而描畫,於第二描晝步驟中,於第一描晝步驟中未 落有液狀體之複數色要素區域之各部位,使液狀體落下而 描晝亦可。 若根據此方法,於第二描晝步驟中,於第一描晝步驟中 未落有液狀體之複數色要素區域之各部位,使液狀體落下 而描晝。因此’第二描晝步驟所喷出之液狀體係重叠於第 一描晝步驟所喷出之液狀體而未落下,因此可降低落下之 液狀體之隆起。亦即,可降低隆起之液狀體越過隔牆部而 與不同種類之液狀體混色。 111398.doc -11 - 1314101 本發明之光電裝置之製造方法之特徵在於:該光電裝置 具備光電面板,而該光電面板具有:丨對基板;及複數色要 素區域,其係藉由配置於至少—基板上之隔牆部所劃分; 具備.色要素描畫步驟,其係使用如上述發明之色要素之 广成方》於基板上之複數色要素區域’喷出含色要素材 料之複數種液狀體而描畫複數種色要素;及成膜步驟,其 係將描晝之色要素乾燥而成膜化。 若根據此方法,於色素乾燥步驟中,使用難以引起混色 之色要素之形成方法,於基板上之複數色要素區域喷出複 數種液狀體’描畫複數種色要素。接著,於成膜步驟中, 將描畫之色要素乾燥而成膜化。因此,可降低發生混色所 造成之色不均或顯示不均,良率良好地製造光電裝置。 本發明之光電裴置之特徵在於具備光電面板,該光電面 板具有.1對基板;及色要素區域,其係藉由配置於至少— 基板上之隔牆部所劃分;使用如上述發明之光電裝置之製 ^方法,於基板上之複數色要素區域,形成有複數種色要 素。 若根據此構成,由於使用難以引起混色之光電裝置之製 =方法’製造光電面板之基板上之複數種色要素,因此可 提供降低發生混色所造成之色不均或顯示不均之具有高顯 示品質之光電裝置。 本發明之電子機器之特徵在於:具備如上述發明之光電 裳置。若根據此’由於具備降低發生混色所造成之色不均 或颂不不均之具有高顯示品質之光電裝置,因此可提供能 111398.doc 12 1314101 正確辨識顯示圖像等之資訊之電子機器。 嗜.本I月液滴噴出裝置之特徵在於具備:複數液滴 、=’及移動機構,其係使前述複數液滴喷出頭與基板 在對向配置之狀態相對地 移動’於包含藉由配置於前述基 板t之隔牆部戶悄分之複數色要素區域之描畫區域’同步 =由:述移動機構所進行之複數次主掃描,自前述複數 液滴赁出頭之噴嘴,喷出含声 ^ ^ ^ 色要素材料之複數種液狀體而 ::畫=複數種色要素,·其具傷:招畫控制機構,其控制: 係將前述指晝區域假想分割為複數之部分描 旦£域’错由至少1次主播 β.Μ 人主知描而描畫至少1個部分描畫區 域,及第一描晝,其係將間 ,^^ 于1再描晝前述第一描 晝步驟中所描晝之前述至少丨個 刀指旦&域之主掃描,至 少重铍描晝1次以上;於1次主掃 Λ 主 拎描中,以將用以於1個前述 色要素區域形成前述色要素所必 1 割之喷出量,進行喷出描晝。㈣液狀體之總量分 若= 康此構成’由於在第_描畫中,將含複數色要素區 域之描旦區域假想分割為複數之部分描晝區域,藉由至少i 次主掃描描畫至少丨個部分描書 —q 接者於第二描書中, 將間隔特定時間再描晝以第一描佥 — 彻旦步驟所描晝之至少 部分描畫區域之主掃描,至少重 7 L ^ 1 人以上。此外,於 1二人主掃描中,以將用以於丨個色要 、 _ 吗*形成色要素所必 品之液狀體之總量分割之噴出量,進 ’ 貝出描畫。因it卜, 洛下至第一描晝中所描晝之至少丨個部 旦區域之福叙 種液狀體,會於各要素區域潤濕擴散, 由於表面張力而隆 111398.doc 1314101 起,但由於相對於所需總量而分割噴出量,因此可降低含 不同色要素之液狀體越過劃分各色要素區域之隔牆部而互 相混合。此外,於第二描晝中,由於至再描畫為止有間隔 特定時間,因此第-描晝所嗔出之液狀體之乾操進展而減 膜,故即使重複進行主掃#,仍可抑制液狀體之隆起,降 低含不g色要素之液狀體混纟。亦即可提供一種液滴喷出 裝置,其係即使喷出複數種液狀體而描畫,仍難以引起混 色。 【實施方式】 本發明之實施型態係舉例說明一種色要素之形成方法, 其係使用可將含色要素材料之複數種液狀體作為液滴噴出 之液滴噴出裝置,於構成作為光電裝置之液晶顯示裝置之 =顯示面板,在基板上之色要素區域,描畫形成作為色 要素之彩色濾光器。 (液滴噴出裝置) 啥根據圖1〜圖3 ’說明有關液滴噴出裝置。圖1係表 不’之/ 、出裝置之構造之概略立體圖。 存= 所示,液滴喷出装置1係具備:工件移動機構2,其 動·及+件之基板以’使其往X轴方向(主掃描方向)移 動,及贺碩移動機構3,1俜 方向(副掃描方向_ )架單元如軸 數液滴嘴出;52(n複數托架單元5,分別具備以複 5U參考圖:考圖2)與基板謂向之方式搭载之托架 圖3)。此外,呈偌你氣 考圖4) 〃、備作為為晝控制機構之控制部4(參 考)其知同步於藉由工件移動機構2所進行之基板鄕 JI1398.doc -14- 1314101 x軸方向之移動(主掃描),選擇性地驅動複數液滴噴出頭, 以於基板W上噴出複數種液狀體。藉由此控制部4,控制以 - 下描晝:將描晝區域假想分割為複數部分描畫區域,藉由 -· 至少1次主掃描,進行描畫至少1個部分描畫區域之描晝; * 及將間隔特定時間再描晝至少已被描晝1次之至少丨個部分 描晝區域之主掃描,至少重複進行2次以上之描畫。 工件移動機構2係具有、安裝台24,其係載置有基板w; • 及1對X軸導軌23,其係具有經由空氣式滑塊(省略圖式)而 使安裝台24往X軸方向移動之線性馬達22。1對又軸導軌u 係載置於設在地板上之共同架台9上,並配設於延伸在乂轴 方向之定石盤21上。 於安裝台24具備:吸著台(省略圖示),其係真空吸附並固 定基板W;及0台(省略圖示),其係為了使基板㈣面愈複 數液滴喷出頭52設置特定間隔而精度良好地對向,而可實 現基板W之水平調整及角度調整。 喷頭移動機構3係具有,軸導軌32,其係具有經由空氣 式滑塊(省略圖式)而使複數托架單元5往¥軸 性馬達31叫對丫軸導軌32伟於私杪勒之踝 守平你於°又置間隔而站立於共同架么9 上之8根支持支架8上,以橫跨工件移動機構2之方式配、言:。 於1對Υ軸導軌32間,進行解除槔 喰屮^ 仃解除搭载於托架51之複數液滴 賀出碩52之噴嘴之堵塞、除去 之維修機構U,#㈣;^臨^纟”物或>了垢等維修 苒14係、配°又於臨向複數液滴噴出頭52之位置。 元1 架/元5係插通1對γ轴導軌32而配置。於插通之托架單 之板上載置有:液狀體供給單元6,其係將從儲存有各 111398.doc 1314101 :狀體之槽經由配管而送入之液狀體,儲存特定量,並對 仏液滴噴出頭52供給液狀體;及噴頭用電裝單元7,其係供 用以驅動各液滴噴出頭5 2之電性信號。 其-人’根據圖2說明有關液滴喷出頭。圖2係表示液滴喷 出頭之概略圖。同圖⑷為立體圖,同圖⑻係表示喷嘴之配 置狀態之平面圖。 如圖2(a)所不,本實施型態之液滴喷出頭52為所謂2連 者,其具備··具有2連之連接針54之液狀體之導入部53;疊 層,導入部53之喷頭基板55;及配置於噴頭基板”上,二 内部形成有液狀體之喷頭内流路之喷頭本體%。連接針Μ 係經由配管而連接於前述液狀體供給單元6,並將液狀體供 給至噴頭内流路。於喷頭基板55設有2連之連接器59,其係 ’’星由可撓性扁型纜線(未圖示)而連接於前述喷頭用電裝單 元7。 、 喷頭本體56係具有:加壓部57,其係具有以壓電元件等 構成之模穴;及喷嘴板58,其係於喷嘴面58a,2個噴嘴串 列62,62互相平行地形成。 如圖2(b)所示,2個噴嘴串列Μ,”係分別複數(18〇個)喷 嘴61以間距Pi來排列,於互相偏離間距?1之一半間距打之 狀態下,配設於喷嘴板58。於此情況,間距ρι大致為14〇 μηι。故,若從正交於噴嘴串列62之方向觀看,36〇個噴嘴 6 1係成為大致以70 μιη之喷嘴間距(Ρ2)排列之狀態。而且, 於實際喷出液狀體時,並未使用噴嘴串列62之兩端側之i 〇 個喷嘴6 1。此係考慮到來自位於兩端側之喷嘴6丨之噴出量 111398.doc 16 1314101 八他喷腎61不易安定。因此,具有2個喷嘴串列aw之 液滴噴出頭52之有效噴嘴全長為間距ρ2χ3ΐ9(約22叫。 液滴喷出頭52若從噴㈣電裝單元7對壓電元件等施加 有作為電性信號之驅動波形,則加壓部57之模穴體積引起 變動,以藉此之泵作用,加塵填充於模穴之液狀體,可自 喷嘴61將液狀體作為液滴喷出。此外,本實施型態之液滴 噴出頭52係具有2連之噴嘴串列62,但不限於此,}連者亦 可。此外’以下所述之喷嘴串列62係財效喷嘴之串列。 其次,根據圖3說明有關托架。圖3係表示搭載有液滴喷 出頭之托架之概略平面圖。詳細而言為臨向喷嘴面“a之平 面圖。 如圖3所示,托架51為平行四邊形之平面形狀,將3個液 滴噴出頭52作為1群,4群喷嘴群52八,526,52<::, 52〇係於副 掃為方向(Y軸方向)及主掃描方向(X軸方向)分別配置有2 群而且,於配置於主掃描方向之2個噴嘴群52A, 52B與另 外2個喷嘴群52C,52D之間設有間隔。 喷嘴群52A係分別噴出不同種類之液狀體之噴頭Ri、噴 頭G1及喷頭B123個液滴噴出頭52,並列配置於γ軸方向 而且,各液滴噴出頭52之喷嘴串列62之端部位置係於γ軸方 向互相偏離而配置。此情況之偏離量為(間距ρ2χ32〇)/3,亦 即於有效喷嘴之全長加上1喷嘴間距者之1/3。其他噴嘴群 5 2Β,5 2C,5 2D之液滴喷出頭52之配置亦同。 並且,於喷嘴群52Α及喷嘴群52Β,噴出同一種類液狀體 之液滴噴出頭52(例如喷嘴R1及噴嘴R2)之喷嘴串列62係從 11 1398.doc -】7· 1314101 主掃描方向看來’配置為間隔】噴嘴間距而連續。 喷嘴群52B及喷嘴群5冗,從主掃描方 ; + , 孑向看來,位置最接近 之實出同-種類之液狀體之液滴噴出頭52之喷嘴串列以 間隔係設定為,於對喷嘴串列62之全長加上】喷嘴間距之長 度’乘以排列於主掃描方向(X軸方向)之嗔頭群之^目之^ 之自然數倍之值,加上i喷嘴間距之長度。亦即,例如喷頭 们及喷柳之各液㈣出頭52之喷嘴462之間隔,係於 對有效喷嘴之全長(P2x319)加上!喷嘴間距㈣者之2倍,再 加上1喷嘴間距(P2),亦即(Ρ2χ32〇)χ2+ρ2。 。 此外,2個托架51,51之間隔L1設定為,配置於不同托架 5k複數㈣喷出頭52中,從主掃描方向看來位置最接近 之喷出同-種類液狀體之液滴噴出頭52之噴嘴串列Μ之間 隔’係於對噴嘴串列62之全長加上旧嘴間距之長度,乘以 排列於主掃描方向(X軸方向)之喷頭群之數目之值之自然 數倍之值,加上!噴嘴間距之長度。例如喷頭以及嗔頭R5 之各液滴噴出頭52之喷嘴串列62之間隔,係以成為 02\32〇)><2+?2之方式來設定間隔£1。 若使用托架51,重複進行往乂轴方向之主掃描、及往γ軸 方向以(P2x32G)x2+P2之間隔移動之副掃描,能以連續於 副掃描方向之描畫寬度,噴出3種不同液狀體。關於詳細之 噴出描晝方法會於後面敘述。 、/、人,說明有關液滴喷出裝置丨之控制系統。圖4係表示 1商噴出裝置之控制系統之區塊圖。如圖4所示,液滴喷出 哀置1之控制系統係具備:高位電腦1〇,其係鍵盤12及顯示 H1398.doc 18- 1314101 二13連接於本體11 ;驅動部46,其係具有驅動液滴喷出頭 、。工件移動機構2、噴頭移動機構3、、維修機構“等之各 、、°動β,及控制部4,其係統括控制包含驅動部46在内之 液滴噴出裝置1全體。 驅動部46係具備:移動用驅動器47,其係分別驅動控制 工件移動機構2及喷頭移動機構3之各線性馬達22 3ι •噴頭 驅動器48,其係將液滴喷出頭52進行喷出驅動控制;及維 修用艇動器49,其係將維修機構14之各維修用單元進行驅 動控制。 ★控制部4係具備 CPU41、R〇M42、RAM43 及 p_c〇N44,此 等係互相經由匯流排45而連接。⑽⑽具有:控制程式區 域,其係記憶以哪41所處理之控制程式等;及控制資料 區域’其係記憶用以進行描畫動作或功能回復處理等之控 制資料等。 工 RAM43係具有記憶用以於基板臀進行描畫之描晝資料之 描畫資料記憶部,及記憶基板w及液滴喷出頭52之位置資 料之位置資料錢部等各種記㈣,並作為用於控制處理 之各種作業區域。於P_c〇N44,除了驅動部46之各種驅動 器以外,還連接有工件辨識照相機15或喷頭辨識照相機16 等,其構成並裝有彌補CPUWU力能,並且用以處理與周 邊電路之介面信號之邏輯電路.因此,p_c〇N44係將來自 高位電腦1〇之各種指令等直接或進行加工而取入至匯流排 45,並且與CPU41連動,將從CPU41等輸出至匯流排“之資 料或控制信號,直接或進行加工而輸出至驅動部46。 H1398.doc -19· 1314101 接著,cPU4丨係按照ROM42内之控制程式,經由p_c〇N44 而輸入各種檢測信號、各種指令、各種資料等,將RAM43 内之各種資料等處理後’經由p_CON44而對驅動部46等輸 出各種號,藉以控制液滴噴出裝置丨全體。例如 CPU41控制液滴喷出頭52、工件移動機構2及喷頭移動機構 3’以特定描畫條件及特定移動條件,同步於基板w及液滴 喷出頭52之相對移動(複數次之主掃描),從對向配置於基板
w之複數液滴喷出頭52之喷嘴61喷出液狀體而進行描畫。 此外,可根據來自喷頭驅動器48之控制信號選擇驅動波 形’而可使藉由1次主掃描而自液滴喷出頭52之各喷嘴Η 噴出之液滴量變化。 ' (液晶顯示裝置) 其次,根據圖5說明有關作為本實施型態之光電裝置之液 晶顯示裝置。圖5係表示液晶顯示裝置之構造之概略立體 圖。如圖5所示,本實施型態之液晶顯示裝置1〇〇係具備: TFT (Thin Film Transistor :薄膜電晶體)透過型之液晶顯示 面板120、及照明液晶顯示面板12〇之照明裝置丨丨6。液晶顯 示面板120係具備:對向基板101,其係具有作為色要素之 彩色濾光器;元件基板108 ’其係具有3端子中之“固連接於 像素電極110之TFT元件111 ;及液晶(省略圖示),其係由工 對對向基板101、元件基板108所夾持。此外,於作為液晶 顯示面板120之外側面之1對對向基板1(H '元件基板1〇8之 表面,配設有使透過之光偏向之上偏光板U4及下偏光板 115。 1 II398,doc •20· 1314101
對向基板1(H係含透明玻璃等材料,於夾住液晶之表面 側,在由隔牆部104劃分為矩陣狀之複數色要素區域,作為 複數種色要素而形成有臟3色之彩色遽光器聰,105G • 刪°隔牆㈣4之構成係包含:稱為黑矩陣之下層岸堤 .1〇2,其係含Cr等具有遮光性之金屬或其氧化膜;及上層岸 堤103’其係形成於下層岸堤1()2上(於圖式中為朝下^含 有機化合物。此外,對向基板1G1係具備:作為平坦化層之 • 覆膜層(oc層)106’其係包覆隔牆部1〇4、及由隔牆部1〇4 所劃分之彩色濾光器105R,1〇5G,1〇5B;及對向電極1〇7, 其係以包覆〇(:層106之方式形成,含IT〇 (Indium Tin Oxide:氧化銦錫)等透明導電膜。彩色濾光器i〇5r, i〇5g, 10 5 B係使用後述之液晶顯示裝置之製造方法來製造。 - 凡件基板108係同樣含透明玻璃等材料,其具有:像素電 極110,其係於夾住液晶之表面側,經由絕緣膜1〇9而形成 矩陣狀;及複數TFT元件111,其係對應於像素電極u〇而形 春成。TFT元件1Ui3端子中未連接於像素電極11〇之其他2 端子,係連接於在互相絕緣之狀態下,以包圍像素電極11〇 之方式配設為格子狀之掃描線112及資料線1 1 3。 照明裝置11 6使用例如白色LED、EL、冷陰極管等,來作 為光源,只要具備可將來自此等光源之光,朝向液晶顯示 面板120出射之導光板或擴散板、反射板等構成者,任何裝 置均可。 此外’作為主動元件,液晶顯示面板12〇不限於TFT元件, 亦可具有TFD (Thin Film Diode :薄膜二極體),並且只要至 111398.doc 21 1314101 少於-基板具備彩色據光器,以構成像素之電極互相交又 之方式配置之被動型液晶顯示裝置亦可。此外,上偏光板 114、下偏光板115亦可與為了改善視角依存性之目的等而 使用之相位差膜等光學功能性膜組合。 (液晶顯示裝置之製造方法) 其次,根據圖6〜圖12,說明有關使用本發明之色要素之 形成方法之液晶顯示裝置之製造方法。圖6係表示液晶顯示 裝置之製造方法之流程圖。圖7⑷〜(g)係表示液晶顯示裝 置之製造方法之概略剖面圖。 如圖6所示本實施型態之液晶顯示裝置1〇〇之製造方法 係具備以下步驟:於對向基板1G1之表面形成隔牆部1〇4之 ㈣H “所劃分之色要素區域進行表面處理 之步驟。此外具備:作為色要素描畫步驟之第一描晝步驟 及第二描畫步驟’其係對使用液滴喷出裝置1已進行表面處 理之色要素區域,賦予包含作為色要素形成材料之彩色濟 光器形成材料之3種(3色)液狀體,以描畫彩色遽光器1〇5 ; 及成膜步驟,其儀將γ查+β, 、、把旦之彩色濾光|§ 1 05乾燥成膜。進而 、、下^驟以包覆隔牆部104及彩色濾光器ί 〇5之方式 形成OC層1〇6之步驟;及以包覆0C層1〇6之方式形成透明之 對向電極10 7之步驟。 使用液滴噴出裳置1描畫形成色要素之情況,於實際之液 晶顯示面板12G之對向基板1G1之製造步驟中,係使用設計 成對應於1片液晶顯示面板12〇之對向基板⑻配置成矩陣 土板見7,母基板係為了大晝面液晶顯示面板12 0 ni398.doc -22- 1314101 之製造、或有效率且低價地製造此而大型化 型母基板形成作為複數色要素之彩色遽光器之方法於此大 不浪費地使用彩色濾光器材料而有效率地奢:了 器,而使用液滴喷出法。 /色濾光 圖6之步驟S1為形成隔牆部1〇4之步驟
ΓΓ’首先於對一上,形二^ 層序請。下層岸堤102之材料可使用例如。、如、J =2屬二使用此等金屬之氧化物等化合物。作為下 曰疋 /成方法,係以瘵鍍法或濺鍍法,於對向其 1〇1上’將含上述材料之膜進行成膜。膜厚係因應於選^之 材科來設定確保遮光性之膜厚即可。例如^為〜, 〜200 nm。接著’藉由錢影法,以抗❹ 開口部咖之部分以外,使用對應於上述材料之酸等^ 刻液,將膜進行蝕刻。藉此形成 蝕 堤1〇2。 $開口。”〇2a之下層岸 其次,於下層岸堤1〇2上形成上層岸堤1〇3。作為 堤H)3之材料,可使用丙婦酸系感光^ 光性樹脂㈣宜具有遮綠。作為上層岸堤如之形成= 可舉例如於形成有下層岸堤1〇2之對向基板ι〇ι之表 面,以輥塗佈法或旋轉塗佈法塗佈感光性樹脂材料,使盆 ==厚度約2㈣感光性樹脂層,接著,以對應: 域A之大小,使設有開口部之光罩在特定位置愈對 1對向,並進行曝光、顯影,藉以形成上層岸堤103 之方法。精此,於對向基板HH上,形成將複數色要素區域 111398.doc -23- 1314101 A劃分為矩陣狀之隔牆部1〇4。接著,前進至步驟s2 ^ 圖6之步驟S2為表面處理步驟。於步驟82,進行以作為 處理氣體之電漿處理及以氟系氣體作為處理氣體之電聚處 理士亦即,將色要素區域A進行親液處理,其後,將含感光 〖生桔"曰之上層岸堤1〇3之表面(含壁面在⑴進行撥液處理。 接著,前進至步驟S3。
於此’根據圖8,說明有關對作為實際使用之母基板之基 板w之描畫區域之描晝方法。圖8係表示對基板之描晝區域 之為忠方法之模式圖。詳言之,其為根據搭載於托架Η之 液滴喷出頭52之噴嘴面58a對基板w對向配置之狀態之模 式圖此外’圖式上表示以喷出各不同種類液狀體之噴頭 R1、喷頭⑺、喷頭B1為首之液滴噴出頭52之四角形之丫軸 方向寬度係表7F對應於該液滴喷出頭52之有效喷嘴全長 之描畫寬度Iw。此外,為了祛却
為了使說明易於理解,色要素區域A 及噴頭群52A〜52H之士 __ 】、係放大或縮小為適當大小來表 示0 戈口圍8(a)及(b)所示,於作兔都盆 、作為母基板之基板W之描晝區 E’複數色要素區域八係以同一種類之色要素排列於γ轴 向之方式’而由隔牆部1G4所劃分。此外,料同種類之 要素以RGB之順序排列於又軸 Π之方式劃分。成為所謂 紋方式之色要素區域A之配置。 對此基板W,托架5丨係 饼列2個之方式而位於Y軸 向,同步於先前說明之藉由液 /IJ貝裝置1之工件移動機 2所進行之基板W往X軸方向 义移動,亦即同步於主掃描 111398.doc -24- 1314101 從液滴噴出頭52之各喷嘴61,於複數色要素區域A選擇性地 噴出複數種液狀體,藉以可描晝複數色之彩色濾光器。 如圖8(a)所示,基板w之描晝區域e係假想分割為7個部分 描旦區域E1〜E7。各部分描畫區域E1〜E7i寬度係從主掃 • 描方向看來,搭載於托架Μ之噴出同一種類液狀體之液滴 喷出頭52之喷嘴串列62之連續部分之長度(ρ2χ3ΐ9)χ2 + Ρ2,亦即於對應於該液滴噴出頭52之有效喷嘴全長之描晝 • 寬度1〜之2倍加上1噴嘴間距之長度。例如若以噴出含Β(藍 色)彩色濾光器材料之液狀體之噴頭Β4之有效喷嘴端與描 畫區域Ε之Υ軸方向端大致成為相同位置之方式,將托架^ 對基板w定位而進行主掃描的話,可對排列於4個部分描畫 區域£1,五3,丑5,£7之3之色要素區域八,未有遺漏地喷出含 - Β之彩色濾光器材料之液狀體。 • 於此情況,搭載於托架51之喷出不同種類液狀體之液滴 噴出-頁52之喷觜串列62之端部位置,係互相偏移而設置。 鲁因此,若大致同時喷出其他種類液狀體,於4個部分描晝區 域Ε1,Ε3, Ε5, Ε7,會產生對應於〇及尺之色要素區域a之液 狀體未於Y軸方向喷出之部分。故,若以相當於喷嘴串列6 2 之端部之偏差量之長度,往γ軸方向將托架51進行副掃描後 再進行主掃描,可對排列於4個部分描畫區域Ε丨,Ε 3,Ε 5,Ε 7 之3種(RGB)之色要素區域Α,無遺漏地噴出不同種類之液 ^體。此外,於此情況’以相當於喷嘴串列62之端部偏差 里之2么長度進行副掃描,亦可無遺漏地噴出,可減少副掃 描之次數。 I11398.doc -25- 1314101
如圖8(b)所示,於描晝其他部分描晝區域E2,E4,E 6之情 况,使托架移動5 1往Y軸方向,移動在對應於有效噴嘴全長 之描晝寬度Iw之2倍加上1喷嘴間距之長度,亦即使其以相 當於(P2X319)x2+P2之長度移動(換行)。接著,若往χ軸方 向進行主掃描,可遍及描畫區域Ε,於對應之色要素區域Α 噴出不同種類液狀體。於此情況,若重複進行對應於各喷 嘴串列62之偏差量之副掃描後再進行主掃描,可對排列於 其他部分描畫區域E2,E4,E6之3種(RGB)之色要素區域a無 遺漏地噴出。 此外,於本實施型態中,以將基板W之描晝區域E均等地 假想分割為7份之部分描畫區域E1〜E7為前提而說明,但不 限於此,對應於基板w之尺寸而假想分割,產生多餘區域 亦可。例如即使部分描畫區域E7之寬度比其他部分描晝區 域Ei〜E6窄,亦可對應。此外,基板w之大小比設置間隔 L1而配置2個托架51之情況大之情況,進而進行換行動作, 或增設托架5 1即可對應。 承如以上之基本描晝方法,說明有關圖6之步驟Μ。步 驟以係作為色要素之彩色滤光器之第—描晝步驟。於步驟 S3,如圖7(b)所示,於已表面處理之各色要素區域a之各 個’賦予對應之液狀體7GR,7GG,则而描晝彩色滤光器 :5。液狀體70R係含R(紅色)之彩色渡光器形成材料,液狀 m7〇G係含G(綠色)之彩色濾光器形成材料,液狀體川丑係含 B(藍色)之彩色渡光器形成材料。接著,使用液滴噴出裝置 1,於液滴噴出頭52填充各液狀體70R,7〇G,7〇B,作為液滴 111398.doc -26- 1314101 使其h於色要素區域A。於第—描畫步驟中,如圖8⑷所 不,藉由至少重複1次以噴頭B4之端部為基準之丨次主掃 描,及對應於喷嘴串列62之偏差量之副掃描及主掃描,藉 以噴出描晝4個部分描畫區細,既仍,£7。接著,如圖8^ 7不’使托架51換行’重複!次以喷頭B4之端部為基準之【 次主掃描’及對應於噴嘴串列62之偏差量之副掃描及主掃 描,藉以噴出描晝剩餘之部分描畫區域们,£4,£6。此情況 之噴出於1個色要素區域A之液狀體之喷出量,係將所需之 液狀體總量分割而使其減少。因&,^下之不同種類之各 液狀體7〇R,7GG,觸係料要素區域賴濕擴散,並由於 表面張力而隆起,&由於喷出量已相對於所需總量減少, 因此可抑制互相越過隔牆部104而混合。 此外,落下於先前喷出描畫之部分描晝區域Ει,E3, E5, E7之色要素區域A之各液狀體观,,,係藉由具備 間隔噴出描晝剩餘之部分描畫區域£2, E4, E6之特定時間 之步驟’溶媒成分蒸發,自㈣燥進展,如圖7⑷所示而成 為減膜之第-描晝層1()5a。此外,於剩餘之部分描晝區域 哎E4, E6 ’至以後說明之第二描晝步驟中進行再描畫為 止,亦先實施間隔再描畫4個部分描晝區域£1, E3, E5, E7 之特定時間之步驟,因此於第一描晝步驟中喷出之各液狀 體7〇R,70G,70B係如圖7(c)所示而成為減膜之第—描晝層 105a。接著,前進至步驟S4。 圖6之步驟S4為第二描晝步驟。於步驟以,首先將4個部 刀也晝區域El,E3, E5, E7進行再喷出描晝。接著,將剩餘 H1398.doc •27· 1314101 之部分描晝區域E2, E4, E6進行再噴出描晝。此情況之描畫 各部分描晝區域E1〜以之方法基本上係與步驟S3之第一描 晝步驟相同’但於再描畫時之1個色要素區域A,藉由1次主 掃描所嗔出之液狀體噴出量,係比先前之第一描畫步驟稍 從地減少。因此’如圖7(d)所示’即使於第一描晝層i〇5a 上喷出各液狀體70R,70G,70B,因表面張力而隆起之各液 片、體70R, 70G,70B之喷出量減少,因此可抑制互相越過隔
牆部1〇4而混合。接著,前進至步驟S5。此外,關於第一描 旦步驟及第二描晝步驟中進一步詳細之色要素之形成方 法’會於後面敘述。 圖6之步驟S5係將描晝之彩色濾光器1〇5乾燥而成膜化之 y驟於步驟S5中,如圖7(e)所示,將在第一描晝層1〇5a 上疊層第二描畫層105b之方式而喷出描晝之彩色濾光器 105’進行—次乾燥’從各液狀體观,觸,7崎去溶劑成 將彩色滤光器1〇5R,105G,105B成膜叫乍為乾燥方法, ^為可將溶劑成分均質地乾燥之減壓乾燥等方法。接著, 前進至步驟S6。 圖6之步驟S6為OC層形成步 一 a / π 八^哪Μ,如圖7(f)所 示,以包覆彩色濾、光器105及上層岸堤1〇3之方式形成沉層 料作:為0^ 106之材料’可使用透明之丙烯酸樹脂材 科。作為形成方法’可舉出旋轉塗佈法、偏移印刷等方法。 〇c層1〇6係緩和形成有彩色濾光器1〇5之對向基板⑻之 面凹凸,為了使後續附膜於此表面之對向電極iq7平' 設置。此外,為了確保與對向電極1〇7之密著 - JI1398.doc -28. I3141〇i 6上進而升> 成Si〇2等之薄膜。接著’前進至步驟S7。 圖6之乂驟87為形成對向電極1〇7之步驟。於步驟§7中, 圖(g)所示’使用濺鍍法或蒸鑛法,於真空中將ιτο等透 明電極材料進行成膜,以包覆OC層106之方式,於全面形 成對向電極107。 ;上述液bb破置之製造方法中,著眼於4個部分描晝區域 El,E3,E5,E7,但若著眼於剩餘之部分描畫區域E2,E4, • &,同樣地具備第一描晝步驟及第二描畫步驟,第一描畫 步驟後,間隔喷出描畫4個部分描畫區域£1, E3, E5, E7之特 定時間後’進行第二描晝步驟。 於本實施型態中,於第一描晝層1〇5&疊層第二描晝層 10 5 b而开> 成彩色遽光器1 〇 5,但不限於此,亦可作為層疊有 - 複數描晝層之構成。 ' 此外,雖表示藉由下層岸堤丨〇2及上層岸堤103來形成隔 牆部104之例,但不限於此,亦可使用具有遮光性材料而製 • 成1層岸堤之構成。 、 若使用上述液晶顯示裝置之製造方法,於對向基板ι〇ι 形成作為色要素之彩色濾光器105,可降低彩色濾光器1〇5 之混色不良,良率良好地製造對向基板1〇1。此外,若使用 接著劑’以特定位置將完成之對向基板1()1與具有像素電極 110及TFT元件m之it件基板1G8黏著,於丨對對向基板1〇1 及元件基板108間填充液晶,可完成彩色濾光器ι〇5之混色 降低’具有鮮盤度良好之顯示品質之液晶顯示農置。 其次,根據實施例卜4,進而詳細說明有關作為液晶顯 111398.doc -29· 1314101 不裝置100之製造方法之色要素之形成方法之第一描畫步 驟及第二描畫步驟之液狀體噴出描畫。 (實施例1) 圖9係表示實施例丨之液狀體之噴出描畫狀態之概略平面 圖。详言之,同圖(a)係表示第一描晝步驟之液狀體落下狀 I、,同圖(b)係表示第二描畫步驟之液狀體落下狀態。 如圖9(a)所示,於第一描晝步驟中,於先前圖8所示之4 • 個部分描晝區域E1,E3, E5, E7之複數色要素區域A,至少 藉由2次主掃描,將不同種類之液狀體7〇R,7〇G,7〇B作為液 滴喷出描晝。落下於各色要素區域A之液狀體71之喷出量, 係为割用以於1個色要素區域A形成色要素所需之總量之 量。接著,實施間隔同樣將圖8所示之剩餘之部分描畫區域 - E2, E4, E6進行喷出描畫之特定時間之步驟後,再度將4個 - 部分描畫區域E1,E3, E5, E7進行再噴出描晝。此時落下於 各色要素區域A之液狀體72之喷出量係考慮到有先前落下 # 之液狀體71之殘量,而比液狀體Ή之噴出量減少。因此, 相較於在第一描畫步驟,將所需總量全部喷出之情況,由 於間隔特定時間,於先前落下之液狀體71在色要素區域A 潤濕擴散並自然乾燥而減膜後,液狀體72才落下,因此降 低不同種類液狀體70R,70G,70B越過隔牆部1〇4,互相混合 而因此混色。 (實施例2) 圖10係表示實施例2之液狀體之喷出描晝狀態之概略平 面圖。詳言之,同圖⑷係表示第一描晝步驟之液狀體落下 111398.doc -30· 1314101 2瘧丧同圖(15)及(c)係表示第二描畫步驟之液狀體落下狀 心κ軛例2係相對於實施例1,於第二描晝步驟中,藉由 主知拾描晝將部分描畫區域進而假想分割之分割區域之 並間隔特定時間,至少重複丨次以上描晝剩餘之分割區 - 域之主掃描。 如圖10(a)所示,於第一描晝步驟中,與實施例丄相同,首 先將圖8所示之描晝區域分割為4個部分描晝區域Ε1,Ε3, • Ε7及剩餘之部分描晝區域Ε2, Ε4, Ε6,並重複主掃描, 藉以進仃噴出描晝。接著,間隔嗔出描晝剩餘之部分描晝 區域Ε2, Ε4, Ε6之特定時間後,再度進行將描畫區域£再喷 出&晝之第二描晝步驟。此時’如圖1〇(b)所示,例如部分 描晝區域E1進而假想分割為2個分割區域ει&及分割區域 - 訊’首先將分割區域Ela進行再噴出描晝。落下之液狀體 ,2之喷出里係與實施例丨相同而逐漸地減少。關於其他3 個刀描畫區域E3, E5, E7,亦同樣地將進而假想分割為2 • 個之一分割區域進行再描畫。接著,進行換行(副掃描),關 於剩餘之部分描畫區_,E4, E6,亦同樣地將進而値想分 割為2個之一分割區域進行再描晝。其次,如圖i〇(c)所示, 間隔再描畫剩餘之部分描晝區域E2, E4, E6之一分割區域 之特定時間,本次則將4個部分描晝區域以,Ε3, Ε5, Μ之剩 餘之分割區域Elb進行在喷出描畫。如此的話,由於至再喷 出描晝剩餘之分割區域為止,比實施例i需要更長時間,因 此於剩餘之分割區域落下之液狀體71之自然乾燥進展,於 更減膜之後,其次之液狀體72才落下,因此更降低混色。、 111398.doc * 31 - 1314101 (實施例3)
圖⑽表示實施例3之液狀體之噴出描晝狀態之概略平 面圖…之’同圖⑷、(b)係表示第—描畫步驟之噴出描 畫狀態’同圖⑷、⑷係表示第二描晝步驟之喷出描書狀 態。實施例3係於第一描畫步驟中,於描晝區域明含:複 數色要素區域A中互不鄰接之色要素區域A,喷出液狀體而 進订描晝’於第二描晝步驟中,於第一推晝步驟中未喷有 液狀體之色要素區域A,喷出液狀體而進行描晝。 ,如圖U⑷所示,於第—描晝步驟中,首先於描晝區域E 形成有RGB3種色要素之複數色要素區域入内之互不鄰接之 色要素區域A,使已分割噴出總量之液狀體71落下。接著, 如圖H(b)所示,進而使喷出量已減少之液狀體Μ落下。此 時’如圖8所示,將描晝區域E分割為4個部分描晝區⑽, E3, E5, E7及剩餘之部分描晝區域队£4, ,並重複主掃 描’藉以喷出液狀體71,72而進行描晝。其次,如圖"⑷ 所示’於第二描晝步驟中,於第—描晝步驟中未噴有液狀 體71,72之色要素區域Α,使液狀體71落下。接著,如圖 所示,進而使喷出量已減少之液狀體72落下。液狀體了丨,?】 之噴出描晝方法係與第一描晝步驟相同,將描畫區域砂割 為4個部分描畫區域£1, Ε3, Ε5, £7及剩餘之部分描晝區域 Ε2, Ε4, Ε6,並重複主掃描。如此的話,液狀體^,72落下 於鄰接之色要素區域Α之一。接著,液狀體72係間隔在剩餘 之部分描晝區域Ε2,Ε4, Ε6喷出液狀體71而描晝之特定時 間後,於4個部分描畫區域以,丑3,£5,:£7噴出。此外,於剩 111398.doc -32- 1314101 餘之部分描晝區域E2,E4,E6,間隔在4個部分描晝區域£1, E3,E5,E7喷出液狀體72之特定時間後,喷出液狀體72。 故,於1次主掃描中,液狀體71,72不會落下於鄰接之色要 素區域A,藉由間隔上述特定時間,先前喷出之液狀體71 之自然乾燥進展,成為減膜狀態之後,液狀體72才落下。 因此,更降低不同種類液狀體彼此越過隔牆部j 〇4而混合混 色。 (實施例4) 圖12係表示實施例4之液狀體之喷出描晝狀態之概略平 面圖。實施例4係於第一描晝步驟中,於描晝區域E所含之 複數色要素區域A之各個,設置間隔而使液狀體複數落下, 以進行描畫,於第二描晝步驟中,於第一描畫步驟中未落 有液狀體之複數色要素區域A之各部位,使液狀體落下而描 晝。 如圖12(a)所示,於第一描晝步驟中,於描晝區域£形成 有RGB3種色要素之複數色要素區域A之各個,至少藉由2 次主掃描,使液狀體71, 72設置間隔而落下,以進行描晝。 於此情況,亦如圖8所示,藉由將描畫區域E分割為4個部分 描畫區域El,E3, E5, E7及剩餘之部分描晝區域E2, E4, E6,並重複主掃描,以便喷出液狀體71,72而進行描晝。此 時,於形成有不同種類色要素之色要素區域入中,以液狀體 71,72互相於副掃描方向偏移而落下之方式,將液狀體71, 72喷出。其次如圖12(b)所示,於第二描晝步驟中,於第— 描晝步驟甲未落有液狀體7〗,72之複數色要素區域A之各個 ni398.doc -33- 主掃描,以便噴出液狀體71,72而進行描晝。如此的話,於 第描畫步驟,在形成有不同種類之色要素之色要素區域A 之各個互相偏離之狀態下,液狀體71,72設置間隔而落下, 因此降低在落下位置隆起之液狀體7丨,7 2越過隔牆部丨〇 4而
1314101 之部位73,使液狀體71,72落下,進行再喷出描晝。再噴出 七田晝亦藉由將圖8所示之描晝區域E分割為4個部分描晝區 域^,E3, E5, E7及剩餘之部分描晝區域μ,E4, E6,並重複 互相犯合,因而混色。此外,於第二描畫步驟中,進行分 』間1^進行主掃描之特定時間,由於液狀體7丨,72落下於 複數色要素區域A之各部位73 ’因此先落下之液狀體”,” 自二乾燥進展,於更減膜之狀態下,其次之液狀體η,72 落下於其間,因此更降低混色。 /於上述實施例卜4中,於各色要素區域A,液狀體Η,Μ 係在於副掃描方向排列為1排之狀態下S下Μ旦實際上,如 圖2所示,由於液滴噴出頭52具有2連之喷嘴串列62,因此 亦可使各液狀體71,72分別落下於2排。此外,落下於^個色 要素區域Α之液滴數(量),亦可依色要素區域八之 液狀體之種類來改變。 (電子機器) :二根據圖13,說明有關具備使用上述液晶顯示裳置 之“纟所製造之作為光電裝置之液晶顯示 機器。圖13係表示作為電子機器之搞帶型 = 概略立體圖。 心王展置之 如圖13所示 作為本實施型態 之電子機器之攜帶型資 訊 111398.doc -34- 1314101 處理裝置20()係具備:具有輸入用鍵盤搬之資訊處理裝置 本體201;及顯示部203。顯示部2〇3係搭載有彩色濾光器Mg 之混色降低,具有鮮麩度良好之顯示品質之液晶顯 100。 ’ _ 本實施型態之效果如下。 (1)於本實施型態之液晶顯示裝置1〇〇之製造方法,於第一 描晝步驟中,將基板|之描晝區域E假想分割之7個部分描 • 畫區域E1〜E7中,首先藉由2次主掃描,將4個部分描畫: 域El,E3, E5, E7以各液狀體70R,70G,7〇B進行喷出描書。 接著移動牦架51,進行換行(副掃描),同樣地喷出描晝剩餘 之部分描晝區域E2,E4,E6。藉此,形成第一描晝層105a。、 間隔至少藉由2次主掃描而喷出描畫剩餘之部分描晝區域 • E2,E4,E6之特定時間之步驟後,於第二描晝步驟,再度藉 • 由2次主掃描,將4個部分描晝區域El,E3, E5, E?進行再描 畫。於第一描晝步驟之1次主掃描中,以分割用以在色要素 • 區域A形成作為色要素之彩色濾光器1 0 5所需總量之喷出 量,喷出各液狀體70R,70G,70B而描晝,於第二描晝步驟 中,相對於第一描晝步驟而逐漸減少噴出量,進行喷出描 畫。因此,於第一描畫步驟中,抑制各液狀體70R,70G,70B 越過隔牆部104而互相混合。此外,於第二描晝步驟中,間 隔上述特定時間後,再度進行喷出描晝,於第一描晝步驟 喷出之各液狀體70R,70G,70B係於上述特定時間中,由於 自然乾燥而減膜後,再度落下,因此抑制不同種類之液狀 體彼此越過隔牆部丨〇4而混合。亦即,可降低彩色濾光器^ Μ IU398.doc -35- 1314101 之混色。 (2) 於液晶顯示裝置1〇〇之製造方法之實施例2之色要素之 形成方法,於第一描畫步驟中’精由主掃描,描書將部分 描晝區域E1,E3,E5,E7進而假想分割為2個之分割區域之 一後,間隔藉由主掃描描晝,進而將其他部分描畫區域E2, E4,E6假想分割為2個之分割區域之一之特定時間,至少藉 由2次主掃描,描晝剩餘之分割區域。因此,剩餘之分割區 φ 域係間隔更長時間後,在第一描晝步驟落下之液狀體71之 自然乾燥更進展之狀態下,進行再描晝,因此抑制不同種 類之液狀體彼此越過隔牆部1〇4而混合,可更降低彩色濾光 器10 5之混色。 (3) 於液晶顯示裝置100之製造方法之實施例3之色要素之 - 形成方法,於第一描畫步驟中,於互不鄰接之色要素區域a ' 喷出液狀體71,72而描晝,於第二描晝步驟中,分割描畫區 域E,間隔進行主掃描之特定時間,液狀體”,^落下於第 • 一描晝步驟中未落有液狀體71,72之色要素區域A。因此, 由於液狀體71,72落下於鄰接之色要素區域A之一,因此更 降低不同種類之液狀體彼此越過隔牆部104而混合,因而混 色。 (4) 於液晶顯示裝置丨〇 〇之製造方法之實施例4之色要素之 形成方法,於第一描晝步驟中,液狀體71,72係設置間隔而 在形成有不同種類之色要素之色要素區域A之各個互相偏 離之狀態下落下。於第二描晝步驟中,分割描畫區域£,間 隔進行主掃描之特定時間,液狀體71,72以填埋該間隔之方 ϊ 11398.doc -36- 1314101 式再度落下。因此先前落下之液狀體71,72之自然乾燥進 展’於更減膜之狀態下,其次之液狀體71,72落下於I間之 部位73’因此更降低不同種類之液狀體彼此越過隔牆部刚 而混合,因而混色。 ⑺本實施型態之攜帶型資訊處理裝置係搭载液晶顯 示裝置1〇〇’因此可提供色不均等顯示故障少,能以高顯干 品質破認文字或圖像等之資訊之作為電子機器之攜帶型資 訊處理装置200。 上述實施型態以外之變形例係如下。 (變形例D於上述實施例1〜4之色要素之形成方法,藉由 先前之主掃描而落下之液狀體71(或液狀體71,7⑽ 燥,並不限於自’然乾燥。例如於液滴喷出裝置以備可加溫。 基板W之加熱器,以使其乾燥亦可。此外以流動於基板^ 表面之方式设定氣流’以促進溶媒從液狀體71蒸發而使 乾燥亦可。 、 • (變形例2)於液晶顯示裝置⑽之製造方法,以1次主掃描 在色要素區域Α喷出之各液狀體70R,70G,70Β之噴出量, 亦可使從噴嘴61喷出之1液滴之量相同,於第—描書步驟及 第二描畫步驟改變落下於色要素區域A之數目。如此的話, 即使不對液狀體71進行改變液狀體72之液滴大小之複雜之 喷出控制’仍可分割總量而於各色要素區域A噴出各液狀體 70R,70G, 70B。 U形例3)於液滴噴出t置1,搭載於托架51之液滴噴出頭 52之酉己置,並尤 ', 义於此。例如於X軸方向,使喷出不同種類 ni398.doc -37· 1314101 液狀體之各液滴嘴出頭52成為相同之描晝範圍,而使其並 \配置亦可。如此的話’可減少考慮到喷出不 1 3之液狀體之液滴噴出頭52之喷嘴串列Μ之偏離量而 ' 進行之副掃描及主掃描之次數。 , (變形例4)於液滴喷出裝以中,托架51之數目不限於2 ^此外’搭載於托架51之液滴喷出頭52之配置不限於此。 例如把架5 1為1個,於喷頭群52A,52B與噴頭群52C,52D之不 •㈤喷頭群串列間’以噴出同一種類液狀體之液滴嘖出頭52 之喷嘴串列62之間隔成為(ρ2χ32〇)χ4+ρ2之方式,將各液 滴喷出頭52配置於托架51。亦即,若使用此托扣,會在 隔開有排列於主掃描方向之噴頭群(噴頭群串列)可描畫之 為旦寬度之2倍間隔之狀態下,進行噴出描畫。接著,亦能 'W將描晝區域砂割為部分描晝區域E1,E4、部分描晝區域 ' ’E5 #刀描晝區域E3,E6、部分描畫區域E7之4個(3個以 上),重複進行主掃描之方式,來進行噴出描畫。如此的話, # 可=第:描晝步驟中,將分割之描畫區域e之各區域每_ …亍換行而喷出描晝’於第二描晝步驟中’例如於間隔將 部分描晝區域E1,E4以外之其他部分描晝區域之所有各描 晝1次之特定時間後,將部分描畫區細,E4進行再描晝。 (變形例5)上述實施型態之基板评中之色要素區域A之配 置,並不限定於條紋方式。圖14係表示色要素區域之排列 之概略圖。上述實施型態之色要素區域八之排列係如圖 14⑷所示之條紋方式,但即使為圖14(b)所示之鑲银方式或 圖14⑷所示之三角狀方式,均可適用與上述實施型態相同 II1398.doc _38· 1314101 之色要素之形成方法,並發揮其效果。 。(變形例6)上述實施例卜4所示之作為色要素之彩色滤光 器之形成方法,亦可適用於在藉由隔牆部所劃分之色要 素區域,形成透明電極,於形成之透明電極上,疊層電洞 注入輸送層之後,喷出含發光層形成材料之複數種液狀體 而進仃描畫’作為色要素而形成有機扯等之發光層之情況。 (變形例7)搭載有液晶顯示裝置⑽之電子機器並不限於 攜帶型資訊處理裝置200。例如可適宜作為行動電話、稱為 心㈣s_! Digital Assist她:個人數位助理)之攜帶型 貝讯機器或攜帶終端機器、桌 示丄1個人電腦、文字處理機、 相機、車載用監視器、數位攝影機、液晶電視、觀景 自型、監視器直視型之錄影機、車用導航裝置、呼叫Γ 電子記事本、電子計算檣 ° f鼻機、文字處理機、工作站、電禎雷 話機、POS終端機等之 電視電 Μ 冢顯不機構來使用,於任一雷; 機器,均可進行鮮m度良好之_。 電子 【圖式簡單說明】 :1係表示液滴噴出裝置之構造之概略剖面圖。 圖2(a)、(b)係表示液滴喷出頭之概略圖。 圖3(a)、(b)係表示捉 圖。 。载有液滴噴出頭之托架之概略平面 圖4係表示液滴噴 ㈣…出裝置之控制系統之區塊圖。 圖5係表不液滴噴屮胜里 _ '裝置之構造之概略立體圖。 圖6係表讀晶㈣ ㈣ 叫)〜⑷係表示液” k方法之流程圖。 曰曰頒不裝置之製造方法之概略剖面 II1398.doc -39- Ϊ314101 圖。 圖8(a)、(b)係表示對基板之描晝區域之描晝方法之模式 圖0 圖9(a)、(b)係表示實施例1之液狀體之喷出描畫狀態之概 略平面圖。 圖10(a)〜(c)係表示實施例2之液狀體之喷出描晝狀態之 概略平面圖。
圖11(a)〜(d)係表示實施例3之液狀體之噴出描晝狀態之 概略平面圖。 圖12(a)、(b)係表示實施例4之液狀體之喷出描晝狀態之 概略平面圖。 圖13係表示作為電子機器之攜帶型資訊處理裴置之概略 立體圖。 圖4(a) (c)係表示色要素區域之排列之概略圖。 【主要元件符號說明】 1 2 3 52 液滴喷出裝置 61 作為移動機構之工件移動機構 作為移動機構之噴頭移動機構 液滴噴出頭 喷嘴 70R, 70G, 70B 含色要素材料之液狀體 71,72 落下之液狀體 73 未落有液狀體之複數色要素區域之各 部位 111398.doc -40· 1314101 100 作為光電裝置之液晶顯示裝置 101 作為基板之對向基板 104 隔牆部 105 作為色要素之彩色濾光器 120 作為光電面板之液晶顯示面板 200 作為電子機器之攜帶型資訊處理裝置 A 色要素區域 E 描晝區域 El 〜E7 部分描晝區域 Ela,Elb 分割區域 W 基板 111398.doc -41 -
Claims (1)
- 0年&月$曰修(更)正替換頁 ΤΉ 43¾¾21922號專利申請案 '睛專利範圍替換本(97年6月) 十、申請專利範圍: 一種色要素之形成方法,其特徵在於:使用包括複數液 滴噴出頭、及使前述複數液滴噴出頭與基板在對向配置 之狀態相對地移動之移動機構之液滴噴出裝置,於包含 藉由配置於前述基板上之隔牆部所劃分之複數色要素區 域之描畫區域上,同步於藉由前述移動機構所進行之複 數次主掃描,自前述複數液滴嘴出頭之喷嘴,噴出含色 要素材料之複數種液狀體而描晝形成複數種色要素I其 包含: ^ 第一描晝步驟,其係將前述描晝區域假想分割為複數 之部分描晝區域,#由至少i次主掃描描晝至少i個部分 描晝區域;及 第二描晝步 具係將間隔特定時間再描晝以前述第 —描畫步驟所描晝之前述至少i個部分描晝區域之主掃 描’至少重複描晝1次以上; 此於1次主掃描中’以將用以於_前述色要素區域形成 月'J述色要素所必需之前述液狀體之總量分割之嘴, 進行噴出描晝。 s ’ 2. 3. 如請求項1之色要素之形成方法’其中於前述第 驟’藉由主掃描,描畫將前述至少1個部分描晝 假想分割之分割區域之—’並間隔特定時間, 進行1次以上描畫剩餘之分割區域之主掃描。 如請求項1或2之色要素之形成方法,其中於前 晝步驟與前述第二描晝步驟之間,至少以丨次主 二描晝步 區域進而 至少重複 述第一描 掃插,描 111398-970626.doc !3141〇i 辦1鞭)正替換頁 ~-------- 畫前述至少1個部分描書-- 域,Μ、% 畫&域以外之其他部分描畫區 '9以而包含間隔前述特定時間之步驟。 4.如請求項1或2之色要幸之 查形成方法,其中於前述第-描 旦步驟與前述第二插書步 間至少以2次主掃描,描 量刖;4至少1個部公护查 „ ^ 丨刀描畫區域以外之其他部分描畫區 域’藉以進而包含間隔前述特定時間之步驟。 5·如請求項1或2之色要幸之报Λ古、土 ^ ^ 京之形成方去,其中將前述描畫區 :假想分割為3份以上之部分描晝區域’於前述第一描畫 步驟與前述第二描畫步驟之間’將1個部分描晝區域以外 之所有其他部分描晝區域均各描畫1次,藉以進而包含間 隔前述特定時間之步驟。 6·如请求項1或2之色要素之形成方法,其中於前述第二描 ^步称,使β主掃描噴出之前述液狀體之喷出量逐漸比 月’J述第一描畫步驟減少而描畫。 7.如請求項丨或2之色要素之形成方法,其中於前述第一描 晝步驟中,於前述至少丨個部分描晝區域所包含之前述複 數色要素區域中互不鄰接之前述色要素區域,噴出前述 液狀體而描晝,於前述第二描晝步驟中,於前述第一描 晝步驟中未被喷有前述液狀體之前述色要素區域,噴出 前述液狀體而描畫。 8-如請求項1或2之色要素之形成方法,其中於前述第一描 晝步驟,於前述至少1個部分描晝區域所包含之前述複數 色要素區域之各個’空出間隔而使前述液狀體落下複數 而描晝,於前述第二描晝步驟中,於前述第一描晝步驟 111398-970626.doc 1314101 紗ρ έ月,修(更)正替换頁 中未落有前述液狀體之前述複匕要素區域之各部i, 使前述液狀體落下而描晝。 9. -種光電裝置之製造方法,其特徵在於:該光電裝置包 含光電面板,而該光電面板包括:1對基板;及複數色要 素區域,其係藉由配置於至少—前述基板上之隔牆部所 劃分;包含: 色要素描畫步驟,其係使用如請求項1至8中任一項之 色要素之形成方法,於前述基板上之前述複數色要素區 域,喷出含色要素材料之複數種液狀體而描畫複數種色 要素;及 成膜步驟’其係將描畫之色要素乾燥而成膜化。 〇種光電裝置,其特徵在於包含光電面板,該光電面板 包括:1對基板;及色要素區域,其係藉由配置於至少— 前述基板上之隔牆部所劃分; 使用如請求項9之光電裝置之製造方法,於前述基板上 之前述複數色要素區域,形成有複數種色要素。 11. 一種電子機器,其特徵在於:包含如請求項1〇之光電裝 置。 ’ 12. —種液滴喷出裝置,其特徵在於包含:複數液滴噴出頭; 及移動機構,其係使前述複數液滴噴出頭與基板在對向 配置之狀態相對地移動;於包含藉由配置於前述基板上 之隔牆部所劃分之複數色要素區域之描畫區域,同步於 藉由前述移動機構所進行之複數次主掃描,自前述複數 液滴喷出頭之噴嘴,喷出含色要素材料之複數種液狀體 111398-970626.doc 1314101 而描畫形㈣…她替換頁 控制機構’其控制:第一描晝,其係將前述描晝 區域假想分割為複數之部分描畫區域,藉由至少1次主掃 也而描畫至少1個部分描畫區域;及第二描晝’其係將間 隔特疋柃間再描晝前述第一描晝步驟中所描晝之前述至 上1個部分描畫區域之主掃描,至少重複描晝1次以上;於1次主掃描中,以將用以於1個前述色要素區域形成 月’J述色要素所必需之前述液狀體之總量分割之噴出量, 進行喷出描晝。111398-970626.doc
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005182973 | 2005-06-23 | ||
JP2006101641A JP4779773B2 (ja) | 2005-06-23 | 2006-04-03 | 色要素の形成方法、電気光学装置の製造方法、及び液滴吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200706384A TW200706384A (en) | 2007-02-16 |
TWI314101B true TWI314101B (en) | 2009-09-01 |
Family
ID=37566788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW095121922A TWI314101B (en) | 2005-06-23 | 2006-06-19 | Color element forming method, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060290724A1 (zh) |
JP (1) | JP4779773B2 (zh) |
KR (1) | KR100795915B1 (zh) |
TW (1) | TWI314101B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI556871B (zh) * | 2007-02-21 | 2016-11-11 | Musashi Engineering Inc | Ink jet forming method and coating apparatus |
JP2011200796A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Sharp Corp | 液体塗布装置及び液体塗布方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4967203A (en) * | 1989-09-29 | 1990-10-30 | Hewlett-Packard Company | Interlace printing process |
EP1162568B1 (en) * | 1993-05-27 | 2007-09-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording method and apparatus |
JP2839133B2 (ja) * | 1994-03-31 | 1998-12-16 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法 |
JPH1049061A (ja) * | 1996-08-02 | 1998-02-20 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法 |
JPH10260307A (ja) | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Seiko Epson Corp | カラーフィルタの製造装置およびその方法 |
JP3697131B2 (ja) * | 2000-02-21 | 2005-09-21 | キヤノン株式会社 | カラーフィルタの製造方法、製造装置、カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法及び該表示装置を備えた装置の製造方法 |
JP2001291584A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置部品の製造方法 |
JP2002022508A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Osaka Gas Co Ltd | サンプリング方法および異常脈動検出方法 |
JP3876684B2 (ja) | 2000-12-21 | 2007-02-07 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタの製造装置、液晶装置の製造方法、液晶装置の製造装置、el装置の製造方法、el装置の製造装置、材料の吐出方法、ヘッドの制御装置、電子機器 |
US20040231593A1 (en) * | 2001-06-01 | 2004-11-25 | Edwards Charles O. | Apparatus for microdeposition of multiple fluid materials |
JP3627728B2 (ja) * | 2001-09-19 | 2005-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶装置、並びに電子機器 |
JP2003232912A (ja) * | 2002-02-07 | 2003-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示素子の製造装置及びその製造方法 |
JP3966034B2 (ja) * | 2002-03-14 | 2007-08-29 | セイコーエプソン株式会社 | 吐出パターンデータ生成方法および吐出パターンデータ生成装置 |
-
2006
- 2006-04-03 JP JP2006101641A patent/JP4779773B2/ja active Active
- 2006-06-19 US US11/454,780 patent/US20060290724A1/en not_active Abandoned
- 2006-06-19 TW TW095121922A patent/TWI314101B/zh active
- 2006-06-20 KR KR1020060055421A patent/KR100795915B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200706384A (en) | 2007-02-16 |
JP2007034267A (ja) | 2007-02-08 |
US20060290724A1 (en) | 2006-12-28 |
KR20060134816A (ko) | 2006-12-28 |
JP4779773B2 (ja) | 2011-09-28 |
KR100795915B1 (ko) | 2008-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW539871B (en) | Method and apparatus for producing color filter, method and apparatus for manufacturing liquid crystal device, method and apparatus for manufacturing EL device, method of discharging material, apparatus for ink-jet head and electronic apparatus | |
US8128197B2 (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optic device, electro-optic device, and electronic equipment | |
TWI331232B (en) | Discharge method, color filter manufacturing method, electro-optical apparatus, and electronic device | |
TWI232977B (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electrooptic device, electrooptic device, and electronic device | |
KR100730856B1 (ko) | 액적 토출 장치, 전기 광학 장치 및 그의 제조 방법, 및전자기기 | |
TWI302991B (zh) | ||
TWI331568B (en) | Liquid material discharge method, wiring substrate manufacturing method, color filter manufacturing method, and organic el element manufacturing method | |
US7032990B2 (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electrooptic device, electrooptic device, and electronic device | |
JP2005119139A (ja) | 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法およびその装置、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
US8037841B2 (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic apparatus | |
TW201021921A (en) | Method for discharging liquid body, method for manufacturing color filter, and method for manufacturing organic EL device | |
TWI302115B (en) | Droplet discharge method, electro-optical device, and electronic device | |
TWI314101B (en) | Color element forming method, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device | |
JP2004295092A (ja) | 電気光学パネルの製造方法及び電子機器の製造方法、電気光学パネルのカラーフィルタ保護膜材料、並びに電気光学パネル、電気光学装置及び電子機器 | |
KR20080106107A (ko) | 액적 토출 헤드의 배치 방법, 헤드 유닛 및 액적 토출장치, 및, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및전자기기 | |
US20080166471A1 (en) | Forming method for predetermined pattern, forming method for colored layer, and manufacturing method for electro-optical device | |
JP2002221617A (ja) | カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、el装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器 | |
JP2006116436A (ja) | 液滴吐出装置およびこれに適用されるワーク、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 | |
JP2006044059A (ja) | 液滴吐出装置の液滴着弾位置補正方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
CN100435979C (zh) | 液滴喷出方法、电光学装置及电子设备 | |
JP4320635B2 (ja) | 液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2005305242A (ja) | 液滴吐出装置を用いた描画方法および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
TW200940187A (en) | Coating device and coating method | |
JP2004321891A (ja) | 液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP2006075772A (ja) | フラッシングユニットおよびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 |