TWI314101B - Color element forming method, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic device - Google Patents

Description

1314101 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關使用液滴噴出裝置之色要素之形成方法 光電裝置之製造方法、光電裝置及電子機器。 【先前技術】 =為於基板上，將含功能性材料之液狀體作 =行描晝之液滴喷出裝置，據知有一種描晝裝置，其: 使、墨列印機之噴墨頭作為功能液滴喷出頭（液滴喷出頭) ，並具備經由搭載有複數功能液滴噴出頭之托架 滴噴出頭往主掃描方向及副掃描方向移動之 移動機構（專利文獻1)。 此描畫裝置係對應於副掃描方向上均等地區分 土板)上之複數假想分割部位，將複數 ::掃描方向而搭载於托架。此外，藉由複數 。’大致㈣並行地喷出液狀體而進行描畫。藉此， :父於先描畫複數假想分割部位之兩外側部位之情況' :劑從落下於兩外側部位之液狀體氣化之時期延：：以降 门乾：處理前之溶劑之氣化量依基板上之位置而大幅不 不I即，更降低乾燥後之含功能性材料之成膜部之㈣ 【專利文獻1】日本特開2004_267927號公報 (發明所欲解決之問題） 然而，使用上述以往之描晝裝置，將例如具有3色之色要 111398.doc 1314101 素（晝素）之彩色渡光器進行成膜之情況，於基板上之特定描 晝區域噴出含色要素材料之液狀體㈣行财之描晝襄置 系色各1 0亦即需要3台。此外，除了將基板對各描晝裝 置，、δ料除料之時間或定位之時間，由於在1個描畫裝置進 行描晝後，於其次之描畫裝置進行描畫前，藉由乾燥裝置 進打乾燥’因此具有至描晝所有色要素為止需要時間之課 題。 為了解決上述課題，可考慮於同—描晝裝置内描畫所有 色要素。然❿，由於省略描晝步，驟中之㈣，因此在含不 同色要素材料之複數種液狀體落下於基板，並由於表面張 力而隆起之狀態下，異種液狀體彼此可能混合而引起混色。 本發明係考慮到上述課題而實現者，其目的在於提供可 大致同時噴出複數種液狀體而描晝，且難以引起混色之色 要素之形成方法，使用此形成方法之光電裝置之製造方 法、光電裝置及電子機器。 【發明内容】 本發明之色要素之形成方法之特徵在於：使用具備複數 液滴噴出頭、及使複數液滴噴出頭與基板在對向配置之狀 態相對地移動之移動機構之液滴喷出裝置，於包含藉由配 置於基板上之隔牆部所劃分之複數色要素區域之描晝區域 上’同步於藉由移動機構所進行之複數次主掃描，自複數 液滴喷出頭之喷嘴，噴出含色要素材料之複數種液狀體而 描晝形成複數種色要素；其具備：第一描晝步驟，其係將 描晝區域假想分割為複數之部分描晝區域，藉由至少1次主 111398.doc 1314101 掃描描晝至少1個部分描晝區域；及第二描晝步驟，其係將 間隔特定時間再描晝以第一描晝步驟所描晝之至少丨個部 分描晝㊣域之主掃#，至少重複描畫卜欠以上；^次主掃 ’描中’以將用以於i個色要素區域形成色要素所必需之液狀 ' 體之總量分割之喷出量，進行噴出描晝。 若根據此方法，由於在第—描畫步驟中，將含複數色要 素區域之描畫區域假想分割為複數之部分描晝區域，藉由 • 至少1次主掃描描畫至少1個部分描畫區域。接著於第二描 晝步驟中，將間隔特定時間再描畫以第—描畫步驟所描畫 之至少1個部分描畫區域之主掃描，至少重複描晝i次以 上。此外，於1次主掃描中，以將用以於】個色要素區域形 成色要素所必需之液狀體之總量分割之噴出量，進行噴出 - 描晝。因此，落下於第一描畫步驟中所描晝之至少丨個部分 • 描晝區域之複數種液狀體，會於各要素區域潤濕擴散，由 於表面張力而隆起，但由於相對於所需總量而分割喷出 _ 4 、因此可降低含不同色要素之液狀體越過劃分各色要素 區域之隔牆部而互相混合。此外，於第二描晝步驟中，由 於至再描晝為止有間隔特定時間，因此第一描晝步驟所喷 出之液狀體之乾燥進展而減膜，故即使重複進行主掃描， 仍可抑制液狀體之隆起’降低含不同色要素之液狀體混 二。亦即可提供-種色要素之形成方法，其係即使藉由同 -液滴噴出裝置噴出複數種液狀體而描晝，仍難以引起混 色。 此外’於上述第二描晝步驟中，宜藉由主掃描，描晝將 111398.doc 1314101 至少1個部分描晝區域進而假想分割之分割區域之一，並間 隔特定時間，至少重複進行1次以上描晝剩餘之分割區域之 主掃描。 $'很據此刀 • . — / ，τ. Ί--Ι yp <田直少哪厂" 描畫之至少1個部分描晝區域進而假想分割，並間隔特定時 間’藉由主掃描描畫分割區域之一，再度間隔特定時間， 描畫剩餘之分割區域。因此，於剩餘之分割區域，在第一 描晝步財落下之液狀體間隔更長時間而進行乾燥之狀態 下，於第二描晝步驟再度進行描畫。因此即使於液狀體之 乾燥已進屐之剩餘之分割區域，進而重複使液狀體落下， 仍可確實地降低在色要素區域内隆起之不同種類之液狀體 越過隔牆部而混合。故’即可提供-種色要素之形成方法， ΐ係即使藉由同一液滴噴出裝置噴出複數種液狀體而描 畫’仍難以引起混色。 ，卜此外，^於上述第-描晝步驟與第二描晝步驟之間，至 V以1次主掃描’描晝上述至少丨個部分 他部分描晝區域，Μ以$ = „ Γ <再 — s進而具備間隔特定時間之步驟。 右根據此方法’相較於 間而實施第二描晝步驟之二= 步驟後’幾乎未間隔時 畫其他部分描晝區域之特^時門1隔至少以1次主掃描描 畫步驟所喷出之液狀體之乾步驟間’可促進第一描 色之色要素之形成方法。 可提供更難以引起混 此外且於上帛-& 4纟 少以2次主掃描，描書 驟之間，至 一上迷至少1個部分描晝區域以外之其 H1398.doc 1314101 他部分描畫區域，U、# t s βΒ 錯以進而具備間隔特定時間之步驟。 右*根據此方法，於《楚 .. 、第一描畫步驟後，實施以至少2 描描晝其他部分描畫區域之間隔更長特定時間之步 進打第二描晝步驟。故，更進行第一描畫步驟所噴出 狀體之乾燥而減、 次 成方法。咸膜W供更難以引起混色之色要素之形 此外，亦可將上述描晝區域假想分割為3份以 晝區域，於上述第一浐I丰碰。 芡口Ρ刀描 乩第描畫步驟與上述第二描畫步驟之 將1個部分描晝區域以冰+ & 士# -卜之所有其他部分描晝區域均各沪 一 \次’藉以進而具備間隔前述特定時間之步驟。 田 右根據此方法，由於描晝區域被假想分割為分割3份以上 之部分描晝區域，因此筮告止首 弟一“丑步驟係於各描晝1次且 分描晝區域後進杆，亦PD „ 、 他4 P 4隔以2次以上之主掃描描畫之 定時間而進行。Ι9Π α ® 、 子’广因此，更進行第一描畫步驟所喷出之液狀 體之乾燥而減膜，可提供# 供更難以引起混色之色要素之形 方法。 此外’於上述第二描金半越；士 一描里步驟中，宜使1次主掃描噴出之液 狀體之噴出量逐漸比第—描晝步驟減少而描晝。 若根據此方法，相較於將用以於1個色要素區域形成色要 素所需之液狀體總量，單纯 早、，，屯也以主％描次數分割之喷出 量，將液取體噴出之情況，由 由於洛下而潤濕擴散之液狀體， 以隔牆部劃分之各色要素區域 ^ 各里會逐漸減少，但由於 重複於同一色要素區域内嗜屮夕、产 株円嚷出之液狀體之量降低，因此液 狀體之隆起方式係後面越受到抑制^ ?p制’可更降低不同種類之 111398.doc 1314101 液狀體越過隔牆部而互相混色。 、此外，於上述第-描晝步财，宜於至少工個部分描晝區 域所包含之複數色要素區域’互不鄰接之色要素區域，噴 出液狀體而描t ’於第二描晝步驟中，於第—描晝步驟中 未被喷有液狀體之色要素區域m狀體而描晝。 若根據此方法，於第—描晝步驟中，於互不鄰接之色要 素區域噴出液《，於第二描晝步驟+，以土真埋在第一描 晝步驟所未喷出之色要素區域之方式來喷出液狀體。故， 由於第一描畫步驟中，於相鄰之色要素區域未喷有液狀 體’因此可降低不同種類之液狀體在相鄰之色要素區域間 混合。此外，第二描畫步驟係間隔特定時間後進行，於第 一描晝步驟所噴出之液狀體之乾燥已進展之狀態下再度 噴出液狀體。故可更降低相鄰之色要素區域間發生混色。 此外，於上述第一描晝步驟中，於至少丨個部分描晝區域 所包含之複數色要素區域之各個，空出間隔而使液狀體落 下複數而描畫，於第二描晝步驟中，於第一描晝步驟中未 落有液狀體之複數色要素區域之各部位，使液狀體落下而 描晝亦可。 若根據此方法，於第二描晝步驟中，於第一描晝步驟中 未落有液狀體之複數色要素區域之各部位，使液狀體落下 而描晝。因此’第二描晝步驟所喷出之液狀體係重叠於第 一描晝步驟所喷出之液狀體而未落下，因此可降低落下之 液狀體之隆起。亦即，可降低隆起之液狀體越過隔牆部而 與不同種類之液狀體混色。 111398.doc -11 - 1314101 本發明之光電裝置之製造方法之特徵在於：該光電裝置 具備光電面板，而該光電面板具有：丨對基板；及複數色要 素區域，其係藉由配置於至少—基板上之隔牆部所劃分； 具備.色要素描畫步驟，其係使用如上述發明之色要素之 广成方》於基板上之複數色要素區域’喷出含色要素材 料之複數種液狀體而描畫複數種色要素；及成膜步驟，其 係將描晝之色要素乾燥而成膜化。 若根據此方法，於色素乾燥步驟中，使用難以引起混色 之色要素之形成方法，於基板上之複數色要素區域喷出複 數種液狀體’描畫複數種色要素。接著，於成膜步驟中， 將描畫之色要素乾燥而成膜化。因此，可降低發生混色所 造成之色不均或顯示不均，良率良好地製造光電裝置。 本發明之光電裴置之特徵在於具備光電面板，該光電面 板具有.1對基板；及色要素區域，其係藉由配置於至少— 基板上之隔牆部所劃分；使用如上述發明之光電裝置之製 ^方法，於基板上之複數色要素區域，形成有複數種色要 素。 若根據此構成，由於使用難以引起混色之光電裝置之製 =方法’製造光電面板之基板上之複數種色要素，因此可 提供降低發生混色所造成之色不均或顯示不均之具有高顯 示品質之光電裝置。 本發明之電子機器之特徵在於：具備如上述發明之光電 裳置。若根據此’由於具備降低發生混色所造成之色不均 或颂不不均之具有高顯示品質之光電裝置，因此可提供能 111398.doc 12 1314101 正確辨識顯示圖像等之資訊之電子機器。 嗜.本I月液滴噴出裝置之特徵在於具備：複數液滴 、=’及移動機構，其係使前述複數液滴喷出頭與基板 在對向配置之狀態相對地 移動’於包含藉由配置於前述基 板t之隔牆部戶悄分之複數色要素區域之描畫區域’同步 =由：述移動機構所進行之複數次主掃描，自前述複數 液滴赁出頭之噴嘴，喷出含声 ^ ^ ^ 色要素材料之複數種液狀體而 ::畫=複數種色要素，·其具傷:招畫控制機構，其控制： 係將前述指晝區域假想分割為複數之部分描 旦£域’错由至少1次主播 β.Μ 人主知描而描畫至少1個部分描畫區 域，及第一描晝，其係將間 ,^^ 于1再描晝前述第一描 晝步驟中所描晝之前述至少丨個 刀指旦&域之主掃描，至 少重铍描晝1次以上；於1次主掃 Λ 主 拎描中，以將用以於1個前述 色要素區域形成前述色要素所必 1 割之喷出量，進行喷出描晝。㈣液狀體之總量分 若= 康此構成’由於在第_描畫中，將含複數色要素區 域之描旦區域假想分割為複數之部分描晝區域，藉由至少i 次主掃描描畫至少丨個部分描書 —q 接者於第二描書中， 將間隔特定時間再描晝以第一描佥 — 彻旦步驟所描晝之至少 部分描畫區域之主掃描，至少重 7 L ^ 1 人以上。此外，於 1二人主掃描中，以將用以於丨個色要 、 _ 吗*形成色要素所必 品之液狀體之總量分割之噴出量，進 ’ 貝出描畫。因it卜， 洛下至第一描晝中所描晝之至少丨個部 旦區域之福叙 種液狀體，會於各要素區域潤濕擴散， 由於表面張力而隆 111398.doc 1314101 起，但由於相對於所需總量而分割噴出量，因此可降低含 不同色要素之液狀體越過劃分各色要素區域之隔牆部而互 相混合。此外，於第二描晝中，由於至再描畫為止有間隔 特定時間，因此第-描晝所嗔出之液狀體之乾操進展而減 膜，故即使重複進行主掃#，仍可抑制液狀體之隆起，降 低含不g色要素之液狀體混纟。亦即可提供一種液滴喷出 裝置，其係即使喷出複數種液狀體而描畫，仍難以引起混 色。 【實施方式】 本發明之實施型態係舉例說明一種色要素之形成方法， 其係使用可將含色要素材料之複數種液狀體作為液滴噴出 之液滴噴出裝置，於構成作為光電裝置之液晶顯示裝置之 =顯示面板，在基板上之色要素區域，描畫形成作為色 要素之彩色濾光器。 (液滴噴出裝置） 啥根據圖1〜圖3 ’說明有關液滴噴出裝置。圖1係表 不’之/ 、出裝置之構造之概略立體圖。 存= 所示，液滴喷出装置1係具備:工件移動機構2,其 動·及+件之基板以’使其往X轴方向（主掃描方向）移 動，及贺碩移動機構3,1俜 方向（副掃描方向_ )架單元如軸 數液滴嘴出;52(n複數托架單元5,分別具備以複 5U參考圖:考圖2)與基板謂向之方式搭载之托架 圖3)。此外，呈偌你氣 考圖4) 〃、備作為為晝控制機構之控制部4(參 考）其知同步於藉由工件移動機構2所進行之基板鄕 JI1398.doc -14- 1314101 x軸方向之移動（主掃描），選擇性地驅動複數液滴噴出頭， 以於基板W上噴出複數種液狀體。藉由此控制部4，控制以 - 下描晝：將描晝區域假想分割為複數部分描畫區域，藉由 -· 至少1次主掃描，進行描畫至少1個部分描畫區域之描晝； * 及將間隔特定時間再描晝至少已被描晝1次之至少丨個部分 描晝區域之主掃描，至少重複進行2次以上之描畫。 工件移動機構2係具有、安裝台24，其係載置有基板w; • 及1對X軸導軌23，其係具有經由空氣式滑塊（省略圖式）而 使安裝台24往X軸方向移動之線性馬達22。1對又軸導軌u 係載置於設在地板上之共同架台9上，並配設於延伸在乂轴 方向之定石盤21上。 於安裝台24具備：吸著台（省略圖示），其係真空吸附並固 定基板W;及0台（省略圖示），其係為了使基板㈣面愈複 數液滴喷出頭52設置特定間隔而精度良好地對向，而可實 現基板W之水平調整及角度調整。 喷頭移動機構3係具有，軸導軌32,其係具有經由空氣 式滑塊（省略圖式）而使複數托架單元5往¥軸 性馬達31叫對丫軸導軌32伟於私杪勒之踝 守平你於°又置間隔而站立於共同架么9 上之8根支持支架8上，以橫跨工件移動機構2之方式配、言:。 於1對Υ軸導軌32間，進行解除槔 喰屮^ 仃解除搭载於托架51之複數液滴 賀出碩52之噴嘴之堵塞、除去 之維修機構U，#㈣;^臨^纟”物或>了垢等維修 苒14係、配°又於臨向複數液滴噴出頭52之位置。 元1 架/元5係插通1對γ轴導軌32而配置。於插通之托架單 之板上載置有：液狀體供給單元6，其係將從儲存有各 111398.doc 1314101 :狀體之槽經由配管而送入之液狀體，儲存特定量，並對 仏液滴噴出頭52供給液狀體；及噴頭用電裝單元7,其係供 用以驅動各液滴噴出頭5 2之電性信號。 其-人’根據圖2說明有關液滴喷出頭。圖2係表示液滴喷 出頭之概略圖。同圖⑷為立體圖，同圖⑻係表示喷嘴之配 置狀態之平面圖。 如圖2(a)所不，本實施型態之液滴喷出頭52為所謂2連 者，其具備··具有2連之連接針54之液狀體之導入部53;疊 層，導入部53之喷頭基板55;及配置於噴頭基板”上，二 内部形成有液狀體之喷頭内流路之喷頭本體％。連接針Μ 係經由配管而連接於前述液狀體供給單元6，並將液狀體供 給至噴頭内流路。於喷頭基板55設有2連之連接器59，其係 ’’星由可撓性扁型纜線（未圖示）而連接於前述喷頭用電裝單 元7。 、 喷頭本體56係具有：加壓部57，其係具有以壓電元件等 構成之模穴；及喷嘴板58，其係於喷嘴面58a，2個噴嘴串 列62,62互相平行地形成。 如圖2(b)所示，2個噴嘴串列Μ，”係分別複數（18〇個）喷 嘴61以間距Pi來排列，於互相偏離間距？1之一半間距打之 狀態下，配設於喷嘴板58。於此情況，間距ρι大致為14〇 μηι。故，若從正交於噴嘴串列62之方向觀看，36〇個噴嘴 6 1係成為大致以70 μιη之喷嘴間距（Ρ2)排列之狀態。而且， 於實際喷出液狀體時，並未使用噴嘴串列62之兩端側之i 〇 個喷嘴6 1。此係考慮到來自位於兩端側之喷嘴6丨之噴出量 111398.doc 16 1314101 八他喷腎61不易安定。因此，具有2個喷嘴串列aw之 液滴噴出頭52之有效噴嘴全長為間距ρ2χ3ΐ9(約22叫。 液滴喷出頭52若從噴㈣電裝單元7對壓電元件等施加 有作為電性信號之驅動波形，則加壓部57之模穴體積引起 變動，以藉此之泵作用，加塵填充於模穴之液狀體，可自 喷嘴61將液狀體作為液滴喷出。此外，本實施型態之液滴 噴出頭52係具有2連之噴嘴串列62，但不限於此，}連者亦 可。此外’以下所述之喷嘴串列62係財效喷嘴之串列。 其次，根據圖3說明有關托架。圖3係表示搭載有液滴喷 出頭之托架之概略平面圖。詳細而言為臨向喷嘴面“a之平 面圖。 如圖3所示，托架51為平行四邊形之平面形狀，將3個液 滴噴出頭52作為1群，4群喷嘴群52八，526,52<：：, 52〇係於副 掃為方向（Y軸方向）及主掃描方向（X軸方向）分別配置有2 群而且，於配置於主掃描方向之2個噴嘴群52A, 52B與另 外2個喷嘴群52C，52D之間設有間隔。 喷嘴群52A係分別噴出不同種類之液狀體之噴頭Ri、噴 頭G1及喷頭B123個液滴噴出頭52，並列配置於γ軸方向 而且，各液滴噴出頭52之喷嘴串列62之端部位置係於γ軸方 向互相偏離而配置。此情況之偏離量為（間距ρ2χ32〇)/3，亦 即於有效喷嘴之全長加上1喷嘴間距者之1/3。其他噴嘴群 5 2Β，5 2C，5 2D之液滴喷出頭52之配置亦同。 並且，於喷嘴群52Α及喷嘴群52Β，噴出同一種類液狀體 之液滴噴出頭52(例如喷嘴R1及噴嘴R2)之喷嘴串列62係從 11 1398.doc -】7· 1314101 主掃描方向看來’配置為間隔】噴嘴間距而連續。 喷嘴群52B及喷嘴群5冗，從主掃描方 ； + , 孑向看來，位置最接近 之實出同-種類之液狀體之液滴噴出頭52之喷嘴串列以 間隔係設定為，於對喷嘴串列62之全長加上】喷嘴間距之長 度’乘以排列於主掃描方向（X軸方向）之嗔頭群之^目之^ 之自然數倍之值，加上i喷嘴間距之長度。亦即，例如喷頭 们及喷柳之各液㈣出頭52之喷嘴462之間隔，係於 對有效喷嘴之全長（P2x319)加上！喷嘴間距㈣者之2倍，再 加上1喷嘴間距（P2)，亦即（Ρ2χ32〇)χ2+ρ2。 。 此外，2個托架51，51之間隔L1設定為，配置於不同托架 5k複數㈣喷出頭52中，從主掃描方向看來位置最接近 之喷出同-種類液狀體之液滴噴出頭52之噴嘴串列Μ之間 隔’係於對噴嘴串列62之全長加上旧嘴間距之長度，乘以 排列於主掃描方向（X軸方向）之喷頭群之數目之值之自然 數倍之值，加上！噴嘴間距之長度。例如喷頭以及嗔頭R5 之各液滴噴出頭52之喷嘴串列62之間隔，係以成為 02\32〇)><2+?2之方式來設定間隔£1。 若使用托架51，重複進行往乂轴方向之主掃描、及往γ軸 方向以（P2x32G)x2+P2之間隔移動之副掃描，能以連續於 副掃描方向之描畫寬度，噴出3種不同液狀體。關於詳細之 噴出描晝方法會於後面敘述。 、/、人，說明有關液滴喷出裝置丨之控制系統。圖4係表示 1商噴出裝置之控制系統之區塊圖。如圖4所示，液滴喷出 哀置1之控制系統係具備：高位電腦1〇，其係鍵盤12及顯示 H1398.doc 18- 1314101 二13連接於本體11 ;驅動部46,其係具有驅動液滴喷出頭 、。工件移動機構2、噴頭移動機構3、、維修機構“等之各 、、°動β，及控制部4，其係統括控制包含驅動部46在内之 液滴噴出裝置1全體。 驅動部46係具備：移動用驅動器47，其係分別驅動控制 工件移動機構2及喷頭移動機構3之各線性馬達22 3ι •噴頭 驅動器48,其係將液滴喷出頭52進行喷出驅動控制；及維 修用艇動器49,其係將維修機構14之各維修用單元進行驅 動控制。 ★控制部4係具備 CPU41、R〇M42、RAM43 及 p_c〇N44，此 等係互相經由匯流排45而連接。⑽⑽具有：控制程式區 域，其係記憶以哪41所處理之控制程式等；及控制資料 區域’其係記憶用以進行描畫動作或功能回復處理等之控 制資料等。 工 RAM43係具有記憶用以於基板臀進行描畫之描晝資料之 描畫資料記憶部，及記憶基板w及液滴喷出頭52之位置資 料之位置資料錢部等各種記㈣，並作為用於控制處理 之各種作業區域。於P_c〇N44,除了驅動部46之各種驅動 器以外，還連接有工件辨識照相機15或喷頭辨識照相機16 等，其構成並裝有彌補CPUWU力能，並且用以處理與周 邊電路之介面信號之邏輯電路.因此，p_c〇N44係將來自 高位電腦1〇之各種指令等直接或進行加工而取入至匯流排 45,並且與CPU41連動，將從CPU41等輸出至匯流排“之資 料或控制信號，直接或進行加工而輸出至驅動部46。 H1398.doc -19· 1314101 接著，cPU4丨係按照ROM42内之控制程式，經由p_c〇N44 而輸入各種檢測信號、各種指令、各種資料等，將RAM43 内之各種資料等處理後’經由p_CON44而對驅動部46等輸 出各種號，藉以控制液滴噴出裝置丨全體。例如 CPU41控制液滴喷出頭52、工件移動機構2及喷頭移動機構 3’以特定描畫條件及特定移動條件，同步於基板w及液滴 喷出頭52之相對移動（複數次之主掃描），從對向配置於基板

w之複數液滴喷出頭52之喷嘴61喷出液狀體而進行描畫。 此外，可根據來自喷頭驅動器48之控制信號選擇驅動波 形’而可使藉由1次主掃描而自液滴喷出頭52之各喷嘴Η 噴出之液滴量變化。 ' (液晶顯示裝置） 其次，根據圖5說明有關作為本實施型態之光電裝置之液 晶顯示裝置。圖5係表示液晶顯示裝置之構造之概略立體 圖。如圖5所示，本實施型態之液晶顯示裝置1〇〇係具備： TFT (Thin Film Transistor :薄膜電晶體）透過型之液晶顯示 面板120、及照明液晶顯示面板12〇之照明裝置丨丨6。液晶顯 示面板120係具備：對向基板101，其係具有作為色要素之 彩色濾光器；元件基板108 ’其係具有3端子中之“固連接於 像素電極110之TFT元件111 ;及液晶（省略圖示），其係由工 對對向基板101、元件基板108所夾持。此外，於作為液晶 顯示面板120之外側面之1對對向基板1(H '元件基板1〇8之 表面，配設有使透過之光偏向之上偏光板U4及下偏光板 115。 1 II398,doc •20· 1314101

對向基板1(H係含透明玻璃等材料，於夾住液晶之表面 側，在由隔牆部104劃分為矩陣狀之複數色要素區域，作為 複數種色要素而形成有臟3色之彩色遽光器聰，105G • 刪°隔牆㈣4之構成係包含：稱為黑矩陣之下層岸堤 .1〇2，其係含Cr等具有遮光性之金屬或其氧化膜；及上層岸 堤103’其係形成於下層岸堤1()2上（於圖式中為朝下^含 有機化合物。此外，對向基板1G1係具備：作為平坦化層之 • 覆膜層(oc層)106’其係包覆隔牆部1〇4、及由隔牆部1〇4 所劃分之彩色濾光器105R，1〇5G，1〇5B;及對向電極1〇7, 其係以包覆〇(：層106之方式形成，含IT〇 (Indium Tin Oxide:氧化銦錫）等透明導電膜。彩色濾光器i〇5r, i〇5g， 10 5 B係使用後述之液晶顯示裝置之製造方法來製造。 - 凡件基板108係同樣含透明玻璃等材料，其具有：像素電 極110，其係於夾住液晶之表面側，經由絕緣膜1〇9而形成 矩陣狀；及複數TFT元件111，其係對應於像素電極u〇而形 春成。TFT元件1Ui3端子中未連接於像素電極11〇之其他2 端子，係連接於在互相絕緣之狀態下，以包圍像素電極11〇 之方式配設為格子狀之掃描線112及資料線1 1 3。 照明裝置11 6使用例如白色LED、EL、冷陰極管等，來作 為光源，只要具備可將來自此等光源之光，朝向液晶顯示 面板120出射之導光板或擴散板、反射板等構成者，任何裝 置均可。 此外’作為主動元件，液晶顯示面板12〇不限於TFT元件， 亦可具有TFD (Thin Film Diode :薄膜二極體），並且只要至 111398.doc 21 1314101 少於-基板具備彩色據光器，以構成像素之電極互相交又 之方式配置之被動型液晶顯示裝置亦可。此外，上偏光板 114、下偏光板115亦可與為了改善視角依存性之目的等而 使用之相位差膜等光學功能性膜組合。 (液晶顯示裝置之製造方法） 其次，根據圖6〜圖12，說明有關使用本發明之色要素之 形成方法之液晶顯示裝置之製造方法。圖6係表示液晶顯示 裝置之製造方法之流程圖。圖7⑷〜(g)係表示液晶顯示裝 置之製造方法之概略剖面圖。 如圖6所示本實施型態之液晶顯示裝置1〇〇之製造方法 係具備以下步驟：於對向基板1G1之表面形成隔牆部1〇4之 ㈣H “所劃分之色要素區域進行表面處理 之步驟。此外具備：作為色要素描畫步驟之第一描晝步驟 及第二描畫步驟’其係對使用液滴喷出裝置1已進行表面處 理之色要素區域，賦予包含作為色要素形成材料之彩色濟 光器形成材料之3種（3色）液狀體，以描畫彩色遽光器1〇5 ; 及成膜步驟，其儀將γ查+β, 、、把旦之彩色濾光|§ 1 05乾燥成膜。進而 、、下^驟以包覆隔牆部104及彩色濾光器ί 〇5之方式 形成OC層1〇6之步驟;及以包覆0C層1〇6之方式形成透明之 對向電極10 7之步驟。 使用液滴噴出裳置1描畫形成色要素之情況，於實際之液 晶顯示面板12G之對向基板1G1之製造步驟中，係使用設計 成對應於1片液晶顯示面板12〇之對向基板⑻配置成矩陣 土板見7，母基板係為了大晝面液晶顯示面板12 0 ni398.doc -22- 1314101 之製造、或有效率且低價地製造此而大型化 型母基板形成作為複數色要素之彩色遽光器之方法於此大 不浪費地使用彩色濾光器材料而有效率地奢：了 器，而使用液滴喷出法。 /色濾光 圖6之步驟S1為形成隔牆部1〇4之步驟

ΓΓ’首先於對一上，形二^ 層序請。下層岸堤102之材料可使用例如。、如、J =2屬二使用此等金屬之氧化物等化合物。作為下 曰疋 /成方法，係以瘵鍍法或濺鍍法，於對向其 1〇1上’將含上述材料之膜進行成膜。膜厚係因應於選^之 材科來設定確保遮光性之膜厚即可。例如^為〜， 〜200 nm。接著’藉由錢影法，以抗❹ 開口部咖之部分以外，使用對應於上述材料之酸等^ 刻液，將膜進行蝕刻。藉此形成 蝕 堤1〇2。 $開口。”〇2a之下層岸 其次，於下層岸堤1〇2上形成上層岸堤1〇3。作為 堤H)3之材料，可使用丙婦酸系感光^ 光性樹脂㈣宜具有遮綠。作為上層岸堤如之形成= 可舉例如於形成有下層岸堤1〇2之對向基板ι〇ι之表 面，以輥塗佈法或旋轉塗佈法塗佈感光性樹脂材料，使盆 ==厚度約2㈣感光性樹脂層，接著，以對應： 域A之大小，使設有開口部之光罩在特定位置愈對 1對向，並進行曝光、顯影，藉以形成上層岸堤103 之方法。精此，於對向基板HH上，形成將複數色要素區域 111398.doc -23- 1314101 A劃分為矩陣狀之隔牆部1〇4。接著，前進至步驟s2 ^ 圖6之步驟S2為表面處理步驟。於步驟82，進行以作為 處理氣體之電漿處理及以氟系氣體作為處理氣體之電聚處 理士亦即，將色要素區域A進行親液處理，其後，將含感光 〖生桔"曰之上層岸堤1〇3之表面(含壁面在⑴進行撥液處理。 接著，前進至步驟S3。

於此’根據圖8,說明有關對作為實際使用之母基板之基 板w之描畫區域之描晝方法。圖8係表示對基板之描晝區域 之為忠方法之模式圖。詳言之，其為根據搭載於托架Η之 液滴喷出頭52之噴嘴面58a對基板w對向配置之狀態之模 式圖此外’圖式上表示以喷出各不同種類液狀體之噴頭 R1、喷頭⑺、喷頭B1為首之液滴噴出頭52之四角形之丫軸 方向寬度係表7F對應於該液滴喷出頭52之有效喷嘴全長 之描畫寬度Iw。此外，為了祛却

為了使說明易於理解，色要素區域A 及噴頭群52A〜52H之士 __ 】、係放大或縮小為適當大小來表 示0 戈口圍8(a)及（b)所示，於作兔都盆 、作為母基板之基板W之描晝區 E’複數色要素區域八係以同一種類之色要素排列於γ轴 向之方式’而由隔牆部1G4所劃分。此外，料同種類之 要素以RGB之順序排列於又軸 Π之方式劃分。成為所謂 紋方式之色要素區域A之配置。 對此基板W，托架5丨係 饼列2個之方式而位於Y軸 向，同步於先前說明之藉由液 /IJ貝裝置1之工件移動機 2所進行之基板W往X軸方向 义移動，亦即同步於主掃描 111398.doc -24- 1314101 從液滴噴出頭52之各喷嘴61，於複數色要素區域A選擇性地 噴出複數種液狀體，藉以可描晝複數色之彩色濾光器。 如圖8(a)所示，基板w之描晝區域e係假想分割為7個部分 描旦區域E1〜E7。各部分描畫區域E1〜E7i寬度係從主掃 • 描方向看來，搭載於托架Μ之噴出同一種類液狀體之液滴 喷出頭52之喷嘴串列62之連續部分之長度（ρ2χ3ΐ9)χ2 + Ρ2，亦即於對應於該液滴噴出頭52之有效喷嘴全長之描晝 • 寬度1〜之2倍加上1噴嘴間距之長度。例如若以噴出含Β(藍 色）彩色濾光器材料之液狀體之噴頭Β4之有效喷嘴端與描 畫區域Ε之Υ軸方向端大致成為相同位置之方式，將托架^ 對基板w定位而進行主掃描的話，可對排列於4個部分描畫 區域£1,五3，丑5，£7之3之色要素區域八，未有遺漏地喷出含 - Β之彩色濾光器材料之液狀體。 • 於此情況，搭載於托架51之喷出不同種類液狀體之液滴 噴出-頁52之喷觜串列62之端部位置，係互相偏移而設置。 鲁因此，若大致同時喷出其他種類液狀體，於4個部分描晝區 域Ε1，Ε3, Ε5, Ε7，會產生對應於〇及尺之色要素區域a之液 狀體未於Y軸方向喷出之部分。故，若以相當於喷嘴串列6 2 之端部之偏差量之長度，往γ軸方向將托架51進行副掃描後 再進行主掃描，可對排列於4個部分描畫區域Ε丨，Ε 3，Ε 5，Ε 7 之3種（RGB)之色要素區域Α，無遺漏地噴出不同種類之液 ^體。此外，於此情況’以相當於喷嘴串列62之端部偏差 里之2么長度進行副掃描，亦可無遺漏地噴出，可減少副掃 描之次數。 I11398.doc -25- 1314101

如圖8(b)所示，於描晝其他部分描晝區域E2，E4，E 6之情 况，使托架移動5 1往Y軸方向，移動在對應於有效噴嘴全長 之描晝寬度Iw之2倍加上1喷嘴間距之長度，亦即使其以相 當於（P2X319)x2+P2之長度移動（換行）。接著，若往χ軸方 向進行主掃描，可遍及描畫區域Ε，於對應之色要素區域Α 噴出不同種類液狀體。於此情況，若重複進行對應於各喷 嘴串列62之偏差量之副掃描後再進行主掃描，可對排列於 其他部分描畫區域E2，E4，E6之3種（RGB)之色要素區域a無 遺漏地噴出。 此外，於本實施型態中，以將基板W之描晝區域E均等地 假想分割為7份之部分描畫區域E1〜E7為前提而說明，但不 限於此，對應於基板w之尺寸而假想分割，產生多餘區域 亦可。例如即使部分描畫區域E7之寬度比其他部分描晝區 域Ei〜E6窄，亦可對應。此外，基板w之大小比設置間隔 L1而配置2個托架51之情況大之情況，進而進行換行動作， 或增設托架5 1即可對應。 承如以上之基本描晝方法，說明有關圖6之步驟Μ。步 驟以係作為色要素之彩色滤光器之第—描晝步驟。於步驟 S3，如圖7(b)所示，於已表面處理之各色要素區域a之各 個’賦予對應之液狀體7GR，7GG，则而描晝彩色滤光器 :5。液狀體70R係含R(紅色）之彩色渡光器形成材料，液狀 m7〇G係含G(綠色）之彩色濾光器形成材料，液狀體川丑係含 B(藍色）之彩色渡光器形成材料。接著，使用液滴噴出裝置 1，於液滴噴出頭52填充各液狀體70R，7〇G，7〇B，作為液滴 111398.doc -26- 1314101 使其h於色要素區域A。於第—描畫步驟中，如圖8⑷所 不，藉由至少重複1次以噴頭B4之端部為基準之丨次主掃 描，及對應於喷嘴串列62之偏差量之副掃描及主掃描，藉 以噴出描晝4個部分描畫區細，既仍，£7。接著，如圖8^ 7不’使托架51換行’重複！次以喷頭B4之端部為基準之【 次主掃描’及對應於噴嘴串列62之偏差量之副掃描及主掃 描，藉以噴出描晝剩餘之部分描畫區域们，£4，£6。此情況 之噴出於1個色要素區域A之液狀體之喷出量，係將所需之 液狀體總量分割而使其減少。因&，^下之不同種類之各 液狀體7〇R，7GG，觸係料要素區域賴濕擴散，並由於 表面張力而隆起，&由於喷出量已相對於所需總量減少， 因此可抑制互相越過隔牆部104而混合。 此外，落下於先前喷出描畫之部分描晝區域Ει，E3, E5, E7之色要素區域A之各液狀體观，，，係藉由具備 間隔噴出描晝剩餘之部分描畫區域£2, E4, E6之特定時間 之步驟’溶媒成分蒸發，自㈣燥進展，如圖7⑷所示而成 為減膜之第-描晝層1()5a。此外，於剩餘之部分描晝區域 哎E4, E6 ’至以後說明之第二描晝步驟中進行再描畫為 止，亦先實施間隔再描畫4個部分描晝區域£1, E3, E5, E7 之特定時間之步驟，因此於第一描晝步驟中喷出之各液狀 體7〇R，70G，70B係如圖7(c)所示而成為減膜之第—描晝層 105a。接著，前進至步驟S4。 圖6之步驟S4為第二描晝步驟。於步驟以，首先將4個部 刀也晝區域El，E3, E5, E7進行再喷出描晝。接著，將剩餘 H1398.doc •27· 1314101 之部分描晝區域E2, E4, E6進行再噴出描晝。此情況之描畫 各部分描晝區域E1〜以之方法基本上係與步驟S3之第一描 晝步驟相同’但於再描畫時之1個色要素區域A，藉由1次主 掃描所嗔出之液狀體噴出量，係比先前之第一描畫步驟稍 從地減少。因此’如圖7(d)所示’即使於第一描晝層i〇5a 上喷出各液狀體70R，70G，70B，因表面張力而隆起之各液 片、體70R, 70G，70B之喷出量減少，因此可抑制互相越過隔

牆部1〇4而混合。接著，前進至步驟S5。此外，關於第一描 旦步驟及第二描晝步驟中進一步詳細之色要素之形成方 法’會於後面敘述。 圖6之步驟S5係將描晝之彩色濾光器1〇5乾燥而成膜化之 y驟於步驟S5中，如圖7(e)所示，將在第一描晝層1〇5a 上疊層第二描畫層105b之方式而喷出描晝之彩色濾光器 105’進行—次乾燥’從各液狀體观，觸，7崎去溶劑成 將彩色滤光器1〇5R，105G，105B成膜叫乍為乾燥方法， ^為可將溶劑成分均質地乾燥之減壓乾燥等方法。接著， 前進至步驟S6。 圖6之步驟S6為OC層形成步 一 a / π 八^哪Μ，如圖7(f)所 示，以包覆彩色濾、光器105及上層岸堤1〇3之方式形成沉層 料作：為0^ 106之材料’可使用透明之丙烯酸樹脂材 科。作為形成方法’可舉出旋轉塗佈法、偏移印刷等方法。 〇c層1〇6係緩和形成有彩色濾光器1〇5之對向基板⑻之 面凹凸，為了使後續附膜於此表面之對向電極iq7平' 設置。此外，為了確保與對向電極1〇7之密著 - JI1398.doc -28. I3141〇i 6上進而升> 成Si〇2等之薄膜。接著’前進至步驟S7。 圖6之乂驟87為形成對向電極1〇7之步驟。於步驟§7中， 圖（g)所示’使用濺鍍法或蒸鑛法，於真空中將ιτο等透 明電極材料進行成膜，以包覆OC層106之方式，於全面形 成對向電極107。 ;上述液bb破置之製造方法中，著眼於4個部分描晝區域 El，E3，E5，E7，但若著眼於剩餘之部分描畫區域E2，E4, • &，同樣地具備第一描晝步驟及第二描畫步驟，第一描畫 步驟後，間隔喷出描畫4個部分描畫區域£1, E3, E5, E7之特 定時間後’進行第二描晝步驟。 於本實施型態中，於第一描晝層1〇5&疊層第二描晝層 10 5 b而开> 成彩色遽光器1 〇 5，但不限於此，亦可作為層疊有 - 複數描晝層之構成。 ' 此外，雖表示藉由下層岸堤丨〇2及上層岸堤103來形成隔 牆部104之例，但不限於此，亦可使用具有遮光性材料而製 • 成1層岸堤之構成。 、 若使用上述液晶顯示裝置之製造方法，於對向基板ι〇ι 形成作為色要素之彩色濾光器105，可降低彩色濾光器1〇5 之混色不良，良率良好地製造對向基板1〇1。此外，若使用 接著劑’以特定位置將完成之對向基板1()1與具有像素電極 110及TFT元件m之it件基板1G8黏著，於丨對對向基板1〇1 及元件基板108間填充液晶，可完成彩色濾光器ι〇5之混色 降低’具有鮮盤度良好之顯示品質之液晶顯示農置。 其次，根據實施例卜4,進而詳細說明有關作為液晶顯 111398.doc -29· 1314101 不裝置100之製造方法之色要素之形成方法之第一描畫步 驟及第二描畫步驟之液狀體噴出描畫。 (實施例1) 圖9係表示實施例丨之液狀體之噴出描畫狀態之概略平面 圖。详言之，同圖（a)係表示第一描晝步驟之液狀體落下狀 I、，同圖（b)係表示第二描畫步驟之液狀體落下狀態。 如圖9(a)所示，於第一描晝步驟中，於先前圖8所示之4 • 個部分描晝區域E1，E3, E5, E7之複數色要素區域A，至少 藉由2次主掃描，將不同種類之液狀體7〇R，7〇G，7〇B作為液 滴喷出描晝。落下於各色要素區域A之液狀體71之喷出量， 係为割用以於1個色要素區域A形成色要素所需之總量之 量。接著，實施間隔同樣將圖8所示之剩餘之部分描畫區域 - E2, E4, E6進行喷出描畫之特定時間之步驟後，再度將4個 - 部分描畫區域E1，E3, E5, E7進行再噴出描晝。此時落下於 各色要素區域A之液狀體72之喷出量係考慮到有先前落下 # 之液狀體71之殘量，而比液狀體Ή之噴出量減少。因此， 相較於在第一描畫步驟，將所需總量全部喷出之情況，由 於間隔特定時間，於先前落下之液狀體71在色要素區域A 潤濕擴散並自然乾燥而減膜後，液狀體72才落下，因此降 低不同種類液狀體70R，70G，70B越過隔牆部1〇4，互相混合 而因此混色。 (實施例2) 圖10係表示實施例2之液狀體之喷出描晝狀態之概略平 面圖。詳言之，同圖⑷係表示第一描晝步驟之液狀體落下 111398.doc -30· 1314101 2瘧丧同圖（15)及（c)係表示第二描畫步驟之液狀體落下狀 心κ軛例2係相對於實施例1，於第二描晝步驟中，藉由 主知拾描晝將部分描畫區域進而假想分割之分割區域之 並間隔特定時間，至少重複丨次以上描晝剩餘之分割區 - 域之主掃描。 如圖10(a)所示，於第一描晝步驟中，與實施例丄相同，首 先將圖8所示之描晝區域分割為4個部分描晝區域Ε1，Ε3, • Ε7及剩餘之部分描晝區域Ε2, Ε4, Ε6，並重複主掃描， 藉以進仃噴出描晝。接著，間隔嗔出描晝剩餘之部分描晝 區域Ε2, Ε4, Ε6之特定時間後，再度進行將描畫區域£再喷 出&晝之第二描晝步驟。此時’如圖1〇(b)所示，例如部分 描晝區域E1進而假想分割為2個分割區域ει&及分割區域 - 訊’首先將分割區域Ela進行再噴出描晝。落下之液狀體 ，2之喷出里係與實施例丨相同而逐漸地減少。關於其他3 個刀描畫區域E3, E5, E7，亦同樣地將進而假想分割為2 • 個之一分割區域進行再描畫。接著，進行換行（副掃描），關 於剩餘之部分描畫區_，E4, E6，亦同樣地將進而値想分 割為2個之一分割區域進行再描晝。其次，如圖i〇(c)所示， 間隔再描畫剩餘之部分描晝區域E2, E4, E6之一分割區域 之特定時間，本次則將4個部分描晝區域以，Ε3, Ε5, Μ之剩 餘之分割區域Elb進行在喷出描畫。如此的話，由於至再喷 出描晝剩餘之分割區域為止，比實施例i需要更長時間，因 此於剩餘之分割區域落下之液狀體71之自然乾燥進展，於 更減膜之後，其次之液狀體72才落下，因此更降低混色。、 111398.doc * 31 - 1314101 (實施例3)

圖⑽表示實施例3之液狀體之噴出描晝狀態之概略平 面圖…之’同圖⑷、(b)係表示第—描畫步驟之噴出描 畫狀態’同圖⑷、⑷係表示第二描晝步驟之喷出描書狀 態。實施例3係於第一描畫步驟中，於描晝區域明含:複 數色要素區域A中互不鄰接之色要素區域A，喷出液狀體而 進订描晝’於第二描晝步驟中，於第一推晝步驟中未喷有 液狀體之色要素區域A，喷出液狀體而進行描晝。 ,如圖U⑷所示，於第—描晝步驟中，首先於描晝區域E 形成有RGB3種色要素之複數色要素區域入内之互不鄰接之 色要素區域A，使已分割噴出總量之液狀體71落下。接著， 如圖H(b)所示，進而使喷出量已減少之液狀體Μ落下。此 時’如圖8所示，將描晝區域E分割為4個部分描晝區⑽， E3, E5, E7及剩餘之部分描晝區域队£4, ，並重複主掃 描’藉以喷出液狀體71，72而進行描晝。其次，如圖"⑷ 所示’於第二描晝步驟中，於第—描晝步驟中未噴有液狀 體71，72之色要素區域Α，使液狀體71落下。接著，如圖 所示，進而使喷出量已減少之液狀體72落下。液狀體了丨，？】 之噴出描晝方法係與第一描晝步驟相同，將描畫區域砂割 為4個部分描畫區域£1, Ε3, Ε5, £7及剩餘之部分描晝區域 Ε2, Ε4, Ε6，並重複主掃描。如此的話，液狀體^，72落下 於鄰接之色要素區域Α之一。接著，液狀體72係間隔在剩餘 之部分描晝區域Ε2，Ε4, Ε6喷出液狀體71而描晝之特定時 間後，於4個部分描畫區域以，丑3，£5，：£7噴出。此外，於剩 111398.doc -32- 1314101 餘之部分描晝區域E2，E4，E6，間隔在4個部分描晝區域£1, E3，E5，E7喷出液狀體72之特定時間後，喷出液狀體72。 故，於1次主掃描中，液狀體71，72不會落下於鄰接之色要 素區域A，藉由間隔上述特定時間，先前喷出之液狀體71 之自然乾燥進展，成為減膜狀態之後，液狀體72才落下。 因此，更降低不同種類液狀體彼此越過隔牆部j 〇4而混合混 色。 (實施例4) 圖12係表示實施例4之液狀體之喷出描晝狀態之概略平 面圖。實施例4係於第一描晝步驟中，於描晝區域E所含之 複數色要素區域A之各個，設置間隔而使液狀體複數落下， 以進行描畫，於第二描晝步驟中，於第一描畫步驟中未落 有液狀體之複數色要素區域A之各部位，使液狀體落下而描 晝。 如圖12(a)所示，於第一描晝步驟中，於描晝區域£形成 有RGB3種色要素之複數色要素區域A之各個，至少藉由2 次主掃描，使液狀體71, 72設置間隔而落下，以進行描晝。 於此情況，亦如圖8所示，藉由將描畫區域E分割為4個部分 描畫區域El，E3, E5, E7及剩餘之部分描晝區域E2, E4, E6，並重複主掃描，以便喷出液狀體71，72而進行描晝。此 時，於形成有不同種類色要素之色要素區域入中，以液狀體 71，72互相於副掃描方向偏移而落下之方式，將液狀體71， 72喷出。其次如圖12(b)所示，於第二描晝步驟中，於第— 描晝步驟甲未落有液狀體7〗，72之複數色要素區域A之各個 ni398.doc -33- 主掃描，以便噴出液狀體71，72而進行描晝。如此的話，於 第描畫步驟，在形成有不同種類之色要素之色要素區域A 之各個互相偏離之狀態下，液狀體71，72設置間隔而落下， 因此降低在落下位置隆起之液狀體7丨，7 2越過隔牆部丨〇 4而

1314101 之部位73，使液狀體71，72落下，進行再喷出描晝。再噴出 七田晝亦藉由將圖8所示之描晝區域E分割為4個部分描晝區 域^，E3, E5, E7及剩餘之部分描晝區域μ，E4, E6，並重複 互相犯合，因而混色。此外，於第二描畫步驟中，進行分 』間1^進行主掃描之特定時間，由於液狀體7丨，72落下於 複數色要素區域A之各部位73 ’因此先落下之液狀體”，” 自二乾燥進展，於更減膜之狀態下，其次之液狀體η，72 落下於其間，因此更降低混色。 /於上述實施例卜4中，於各色要素區域A，液狀體Η，Μ 係在於副掃描方向排列為1排之狀態下S下Μ旦實際上，如 圖2所示，由於液滴噴出頭52具有2連之喷嘴串列62,因此 亦可使各液狀體71，72分別落下於2排。此外，落下於^個色 要素區域Α之液滴數(量)，亦可依色要素區域八之 液狀體之種類來改變。 (電子機器） :二根據圖13，說明有關具備使用上述液晶顯示裳置 之“纟所製造之作為光電裝置之液晶顯示 機器。圖13係表示作為電子機器之搞帶型 = 概略立體圖。 心王展置之 如圖13所示 作為本實施型態 之電子機器之攜帶型資 訊 111398.doc -34- 1314101 處理裝置20()係具備：具有輸入用鍵盤搬之資訊處理裝置 本體201;及顯示部203。顯示部2〇3係搭載有彩色濾光器Mg 之混色降低，具有鮮麩度良好之顯示品質之液晶顯 100。 ’ _ 本實施型態之效果如下。 (1)於本實施型態之液晶顯示裝置1〇〇之製造方法，於第一 描晝步驟中，將基板|之描晝區域E假想分割之7個部分描 • 畫區域E1〜E7中，首先藉由2次主掃描，將4個部分描畫: 域El，E3, E5, E7以各液狀體70R，70G，7〇B進行喷出描書。 接著移動牦架51，進行換行（副掃描），同樣地喷出描晝剩餘 之部分描晝區域E2，E4，E6。藉此，形成第一描晝層105a。、 間隔至少藉由2次主掃描而喷出描畫剩餘之部分描晝區域 • E2，E4，E6之特定時間之步驟後，於第二描晝步驟，再度藉 • 由2次主掃描，將4個部分描晝區域El，E3, E5, E?進行再描 畫。於第一描晝步驟之1次主掃描中，以分割用以在色要素 • 區域A形成作為色要素之彩色濾光器1 0 5所需總量之喷出 量，喷出各液狀體70R，70G，70B而描晝，於第二描晝步驟 中，相對於第一描晝步驟而逐漸減少噴出量，進行喷出描 畫。因此，於第一描畫步驟中，抑制各液狀體70R，70G，70B 越過隔牆部104而互相混合。此外，於第二描晝步驟中，間 隔上述特定時間後，再度進行喷出描晝，於第一描晝步驟 喷出之各液狀體70R，70G，70B係於上述特定時間中，由於 自然乾燥而減膜後，再度落下，因此抑制不同種類之液狀 體彼此越過隔牆部丨〇4而混合。亦即，可降低彩色濾光器^ Μ IU398.doc -35- 1314101 之混色。 (2) 於液晶顯示裝置1〇〇之製造方法之實施例2之色要素之 形成方法，於第一描畫步驟中’精由主掃描，描書將部分 描晝區域E1，E3，E5，E7進而假想分割為2個之分割區域之 一後，間隔藉由主掃描描晝，進而將其他部分描畫區域E2, E4，E6假想分割為2個之分割區域之一之特定時間，至少藉 由2次主掃描，描晝剩餘之分割區域。因此，剩餘之分割區 φ 域係間隔更長時間後，在第一描晝步驟落下之液狀體71之 自然乾燥更進展之狀態下，進行再描晝，因此抑制不同種 類之液狀體彼此越過隔牆部1〇4而混合，可更降低彩色濾光 器10 5之混色。 (3) 於液晶顯示裝置100之製造方法之實施例3之色要素之 - 形成方法，於第一描畫步驟中，於互不鄰接之色要素區域a ' 喷出液狀體71，72而描晝，於第二描晝步驟中，分割描畫區 域E，間隔進行主掃描之特定時間，液狀體”，^落下於第 • 一描晝步驟中未落有液狀體71，72之色要素區域A。因此， 由於液狀體71，72落下於鄰接之色要素區域A之一，因此更 降低不同種類之液狀體彼此越過隔牆部104而混合，因而混 色。 (4) 於液晶顯示裝置丨〇 〇之製造方法之實施例4之色要素之 形成方法，於第一描晝步驟中，液狀體71，72係設置間隔而 在形成有不同種類之色要素之色要素區域A之各個互相偏 離之狀態下落下。於第二描晝步驟中，分割描畫區域£，間 隔進行主掃描之特定時間，液狀體71，72以填埋該間隔之方 ϊ 11398.doc -36- 1314101 式再度落下。因此先前落下之液狀體71，72之自然乾燥進 展’於更減膜之狀態下，其次之液狀體71，72落下於I間之 部位73’因此更降低不同種類之液狀體彼此越過隔牆部刚 而混合，因而混色。 ⑺本實施型態之攜帶型資訊處理裝置係搭载液晶顯 示裝置1〇〇’因此可提供色不均等顯示故障少，能以高顯干 品質破認文字或圖像等之資訊之作為電子機器之攜帶型資 訊處理装置200。 上述實施型態以外之變形例係如下。 (變形例D於上述實施例1〜4之色要素之形成方法，藉由 先前之主掃描而落下之液狀體71(或液狀體71，7⑽ 燥，並不限於自’然乾燥。例如於液滴喷出裝置以備可加溫。 基板W之加熱器，以使其乾燥亦可。此外以流動於基板^ 表面之方式设定氣流’以促進溶媒從液狀體71蒸發而使 乾燥亦可。 、 • (變形例2)於液晶顯示裝置⑽之製造方法，以1次主掃描 在色要素區域Α喷出之各液狀體70R，70G，70Β之噴出量， 亦可使從噴嘴61喷出之1液滴之量相同，於第—描書步驟及 第二描畫步驟改變落下於色要素區域A之數目。如此的話， 即使不對液狀體71進行改變液狀體72之液滴大小之複雜之 喷出控制’仍可分割總量而於各色要素區域A噴出各液狀體 70R，70G, 70B。 U形例3)於液滴噴出t置1，搭載於托架51之液滴噴出頭 52之酉己置，並尤 ', 义於此。例如於X軸方向，使喷出不同種類 ni398.doc -37· 1314101 液狀體之各液滴嘴出頭52成為相同之描晝範圍，而使其並 \配置亦可。如此的話’可減少考慮到喷出不 1 3之液狀體之液滴噴出頭52之喷嘴串列Μ之偏離量而 ' 進行之副掃描及主掃描之次數。 ， （變形例4)於液滴喷出裝以中，托架51之數目不限於2 ^此外’搭載於托架51之液滴喷出頭52之配置不限於此。 例如把架5 1為1個，於喷頭群52A,52B與噴頭群52C，52D之不 •㈤喷頭群串列間’以噴出同一種類液狀體之液滴嘖出頭52 之喷嘴串列62之間隔成為（ρ2χ32〇)χ4+ρ2之方式，將各液 滴喷出頭52配置於托架51。亦即，若使用此托扣，會在 隔開有排列於主掃描方向之噴頭群(噴頭群串列)可描畫之 為旦寬度之2倍間隔之狀態下，進行噴出描畫。接著，亦能 'W將描晝區域砂割為部分描晝區域E1，E4、部分描晝區域 ' ’E5 #刀描晝區域E3，E6、部分描畫區域E7之4個（3個以 上），重複進行主掃描之方式，來進行噴出描畫。如此的話， # 可=第:描晝步驟中，將分割之描畫區域e之各區域每_ …亍換行而喷出描晝’於第二描晝步驟中’例如於間隔將 部分描晝區域E1，E4以外之其他部分描晝區域之所有各描 晝1次之特定時間後，將部分描畫區細，E4進行再描晝。 (變形例5)上述實施型態之基板评中之色要素區域A之配 置，並不限定於條紋方式。圖14係表示色要素區域之排列 之概略圖。上述實施型態之色要素區域八之排列係如圖 14⑷所示之條紋方式，但即使為圖14(b)所示之鑲银方式或 圖14⑷所示之三角狀方式，均可適用與上述實施型態相同 II1398.doc _38· 1314101 之色要素之形成方法，並發揮其效果。 。（變形例6)上述實施例卜4所示之作為色要素之彩色滤光 器之形成方法，亦可適用於在藉由隔牆部所劃分之色要 素區域，形成透明電極，於形成之透明電極上，疊層電洞 注入輸送層之後，喷出含發光層形成材料之複數種液狀體 而進仃描畫’作為色要素而形成有機扯等之發光層之情況。 (變形例7)搭載有液晶顯示裝置⑽之電子機器並不限於 攜帶型資訊處理裝置200。例如可適宜作為行動電話、稱為 心㈣s_! Digital Assist她：個人數位助理）之攜帶型 貝讯機器或攜帶終端機器、桌 示丄1個人電腦、文字處理機、 相機、車載用監視器、數位攝影機、液晶電視、觀景 自型、監視器直視型之錄影機、車用導航裝置、呼叫Γ 電子記事本、電子計算檣 ° f鼻機、文字處理機、工作站、電禎雷 話機、POS終端機等之 電視電 Μ 冢顯不機構來使用，於任一雷； 機器，均可進行鮮m度良好之_。 電子 【圖式簡單說明】 :1係表示液滴噴出裝置之構造之概略剖面圖。 圖2(a)、（b)係表示液滴喷出頭之概略圖。 圖3(a)、（b)係表示捉 圖。 。载有液滴噴出頭之托架之概略平面 圖4係表示液滴噴 ㈣…出裝置之控制系統之區塊圖。 圖5係表不液滴噴屮胜里 _ '裝置之構造之概略立體圖。 圖6係表讀晶㈣ ㈣ 叫)〜⑷係表示液” k方法之流程圖。 曰曰頒不裝置之製造方法之概略剖面 II1398.doc -39- Ϊ314101 圖。 圖8(a)、（b)係表示對基板之描晝區域之描晝方法之模式 圖0 圖9(a)、（b)係表示實施例1之液狀體之喷出描畫狀態之概 略平面圖。 圖10(a)〜（c)係表示實施例2之液狀體之喷出描晝狀態之 概略平面圖。

圖11(a)〜（d)係表示實施例3之液狀體之噴出描晝狀態之 概略平面圖。 圖12(a)、（b)係表示實施例4之液狀體之喷出描晝狀態之 概略平面圖。 圖13係表示作為電子機器之攜帶型資訊處理裴置之概略 立體圖。 圖4(a) (c)係表示色要素區域之排列之概略圖。 【主要元件符號說明】 1 2 3 52 液滴喷出裝置 61 作為移動機構之工件移動機構 作為移動機構之噴頭移動機構 液滴噴出頭 喷嘴 70R, 70G, 70B 含色要素材料之液狀體 71，72 落下之液狀體 73 未落有液狀體之複數色要素區域之各 部位 111398.doc -40· 1314101 100 作為光電裝置之液晶顯示裝置 101 作為基板之對向基板 104 隔牆部 105 作為色要素之彩色濾光器 120 作為光電面板之液晶顯示面板 200 作為電子機器之攜帶型資訊處理裝置 A 色要素區域 E 描晝區域 El 〜E7 部分描晝區域 Ela，Elb 分割區域 W 基板 111398.doc -41 -

Claims (1)

1. 0年&月$曰修(更)正替換頁 ΤΉ 43¾¾21922號專利申請案 '睛專利範圍替換本(97年6月） 十、申請專利範圍： 一種色要素之形成方法，其特徵在於：使用包括複數液 滴噴出頭、及使前述複數液滴噴出頭與基板在對向配置 之狀態相對地移動之移動機構之液滴噴出裝置，於包含 藉由配置於前述基板上之隔牆部所劃分之複數色要素區 域之描畫區域上，同步於藉由前述移動機構所進行之複 數次主掃描，自前述複數液滴嘴出頭之喷嘴，噴出含色 要素材料之複數種液狀體而描晝形成複數種色要素I其 包含： ^ 第一描晝步驟，其係將前述描晝區域假想分割為複數 之部分描晝區域，#由至少i次主掃描描晝至少i個部分 描晝區域；及 第二描晝步 具係將間隔特定時間再描晝以前述第 —描畫步驟所描晝之前述至少i個部分描晝區域之主掃 描’至少重複描晝1次以上； 此於1次主掃描中’以將用以於_前述色要素區域形成 月'J述色要素所必需之前述液狀體之總量分割之嘴， 進行噴出描晝。 s ’ 2. 3. 如請求項1之色要素之形成方法’其中於前述第 驟’藉由主掃描，描畫將前述至少1個部分描晝 假想分割之分割區域之—’並間隔特定時間， 進行1次以上描畫剩餘之分割區域之主掃描。 如請求項1或2之色要素之形成方法，其中於前 晝步驟與前述第二描晝步驟之間，至少以丨次主 二描晝步 區域進而 至少重複 述第一描 掃插，描 111398-970626.doc !3141〇i 辦1鞭)正替換頁 ~-------- 畫前述至少1個部分描書-- 域，Μ、％ 畫&域以外之其他部分描畫區 '9以而包含間隔前述特定時間之步驟。 4.如請求項1或2之色要幸之 查形成方法，其中於前述第-描 旦步驟與前述第二插書步 間至少以2次主掃描，描 量刖；4至少1個部公护查 „ ^ 丨刀描畫區域以外之其他部分描畫區 域’藉以進而包含間隔前述特定時間之步驟。 5·如請求項1或2之色要幸之报Λ古、土 ^ ^ 京之形成方去，其中將前述描畫區 :假想分割為3份以上之部分描晝區域’於前述第一描畫 步驟與前述第二描畫步驟之間’將1個部分描晝區域以外 之所有其他部分描晝區域均各描畫1次，藉以進而包含間 隔前述特定時間之步驟。 6·如请求項1或2之色要素之形成方法，其中於前述第二描 ^步称，使β主掃描噴出之前述液狀體之喷出量逐漸比 月’J述第一描畫步驟減少而描畫。 7.如請求項丨或2之色要素之形成方法，其中於前述第一描 晝步驟中，於前述至少丨個部分描晝區域所包含之前述複 數色要素區域中互不鄰接之前述色要素區域，噴出前述 液狀體而描晝，於前述第二描晝步驟中，於前述第一描 晝步驟中未被喷有前述液狀體之前述色要素區域，噴出 前述液狀體而描畫。 8-如請求項1或2之色要素之形成方法，其中於前述第一描 晝步驟，於前述至少1個部分描晝區域所包含之前述複數 色要素區域之各個’空出間隔而使前述液狀體落下複數 而描晝，於前述第二描晝步驟中，於前述第一描晝步驟 111398-970626.doc 1314101 紗ρ έ月，修(更)正替换頁 中未落有前述液狀體之前述複匕要素區域之各部i， 使前述液狀體落下而描晝。 9. -種光電裝置之製造方法，其特徵在於：該光電裝置包 含光電面板，而該光電面板包括：1對基板；及複數色要 素區域，其係藉由配置於至少—前述基板上之隔牆部所 劃分；包含： 色要素描畫步驟，其係使用如請求項1至8中任一項之 色要素之形成方法，於前述基板上之前述複數色要素區 域，喷出含色要素材料之複數種液狀體而描畫複數種色 要素；及 成膜步驟’其係將描畫之色要素乾燥而成膜化。 〇種光電裝置，其特徵在於包含光電面板，該光電面板 包括：1對基板；及色要素區域，其係藉由配置於至少— 前述基板上之隔牆部所劃分； 使用如請求項9之光電裝置之製造方法，於前述基板上 之前述複數色要素區域，形成有複數種色要素。 11. 一種電子機器，其特徵在於：包含如請求項1〇之光電裝 置。 ’ 12. —種液滴喷出裝置，其特徵在於包含：複數液滴噴出頭； 及移動機構，其係使前述複數液滴噴出頭與基板在對向 配置之狀態相對地移動；於包含藉由配置於前述基板上 之隔牆部所劃分之複數色要素區域之描畫區域，同步於 藉由前述移動機構所進行之複數次主掃描，自前述複數 液滴喷出頭之噴嘴，喷出含色要素材料之複數種液狀體 111398-970626.doc 1314101 而描畫形㈣…她替換頁 控制機構’其控制：第一描晝，其係將前述描晝 區域假想分割為複數之部分描畫區域，藉由至少1次主掃 也而描畫至少1個部分描畫區域；及第二描晝’其係將間 隔特疋柃間再描晝前述第一描晝步驟中所描晝之前述至 上1個部分描畫區域之主掃描，至少重複描晝1次以上；

   於1次主掃描中，以將用以於1個前述色要素區域形成 月’J述色要素所必需之前述液狀體之總量分割之噴出量， 進行喷出描晝。

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