JP3124718B2 - カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法 - Google Patents

カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光透過性の基板上
に着色されたフイルタエレメントを多数個並べて形成す
ることにより製造されるカラーフイルタの製造方法及び
製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内
の着色ムラを低減する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。
【０００３】最も多く用いられている第１の方法が染色
法である。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料であ
る水溶性高分子材料を塗布し、これをフオトリソグラフ
ィー工程により所望の形状にパターニングした後、得ら
れたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを
得る。これを３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成する。
【０００４】第２の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って代わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。更にこの工程を
３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層
を形成する。
【０００５】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。
【０００６】第４の方法としては、印刷法がある。この
方法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回
繰り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を
熱硬化させることにより着色層を形成するものである。
また、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成
するのが一般的である。
【０００７】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用できな
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成できない。
【０００８】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が記載
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有する着色液をインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各着色液を乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各フィルタエレメント
（画素）の形成を一度に行うことが可能で大幅な製造工
程の簡略化と、大幅なコストダウン効果を得ることが出
来る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のインクジェット方式による製造方法においては、
１つのフィルタエレメント（一画素）において必要なイ
ンク量を一度に吐出し、且つ各フィルタエレメントを仕
切るためのブラックマトリックスの開口部全体に均一に
インクを広げることは困難である。また、吐出されるイ
ンクドット形は略円形であり、長方形状のブラックマト
リックスの開口部には複数個のインクドットを吐出する
必要がある。この際、単に画一的な吐出方法を採ると、
ブラックマトリックスの開口部全体に均一にインクジェ
ットを広げることは困難であり、開口部の周辺部におい
て、着色の抜けが生じたりすることがあった。カラーフ
ィルタにとってこうした着色抜けは大きな欠陥であり画
質を大きく損なう。これを防止するために、ブラックマ
トリックスの開口部に対して、かなり大きめのドットを
形成すると、隣の開口部の他の色のドットと混色する虞
がある。この解決策として、インク物性・受容層物性の
改良に関する提案が種々なされている。
【００１０】しかしながら本願出願人の実験において
は、赤(Ｒ)・緑(Ｇ)・青(Ｂ)等のインクの特性によって
も着弾後の挙動が大きく異なることが判明しており、単
にインク物性・受容層物性の改良だけでは、白抜け・混
色を防止し、かつ、色ムラのないカラーフィルターをイ
ンクジェット方式において製造することは困難であっ
た。このように、インクの吐出方法・吐出量はカラーフ
ィルターを製造する工程で非常に重要な要素となる。
【００１１】したがって、本発明は上述した課題に鑑み
てなされたものであり、その目的は、着色抜け・混色等
のない色ムラ特性の優れたカラーフィルタを製造するこ
とができるカラーフィルタの製造方法及び製造装置及び
カラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを
低減する方法を提供することである。
【００１２】
【００１３】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタの
製造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための
多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内
の異なる位置に所定色の複数のインクを付与することに
より各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを
製造するためのカラーフィルタの製造方法であって、イ
ンクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方にか
かるようにインクを付与し、前記フィルタエレメントと
前記枠の双方にかかるように付与されるインクは同じフ
ィルタエレメント内に付与される他のインクに比してイ
ンク量が大きいことを特徴としている。
【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクの吐出は、インクを吐出
して着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわ
れることを特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００１６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【００１８】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造方法であって、１個ずつの
フィルタエレメントを着色するにあたり、各フィルタエ
レメントを仕切る前記枠内に複数のインクをずらしなが
ら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出されるインクの
重なり間隔を吐出の後半部において狭めることを特徴と
している。
【００１９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクの吐出は、インクを吐出
して着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわ
れることを特徴としている。
【００２０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００２１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【００２２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【００２３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造方法であって、１個ずつの
フィルタエレメントを着色するにあたり、各フィルタエ
レメントを仕切る前記枠内に複数のインクをずらしなが
ら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出されるインクの
量を、複数の吐出インク間で異ならせることを特徴とし
ている。
【００２４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクの吐出は、インクを吐出
して着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわ
れることを特徴としている。
【００２５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００２６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【００２７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【００２８】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内の
異なる位置に所定色の複数のインクを付与することによ
り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
造するためのカラーフィルタの製造装置であって、前記
基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手段
と、前記吐出手段と前記基板との相対位置を移動させる
ための移動手段と、インクの着弾時にフィルタエレメン
トと前記枠の双方にかかるようにインクを付与し、前記
フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように付与
されるインクが同じフィルタエレメント内に付与される
他のインクに比してインク量が大きくなるように制御す
る吐出制御手段とを具備することを特徴としている。
【００２９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出手段は、インクを吐出して
着色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴と
している。
【００３０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００３１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドにより吐
出されるインクの体積は、前記熱エネルギー発生体に加
える駆動パルスを変化させることにより制御されること
を特徴としている。
【００３２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスの異なる複数
のヘッドを切り替えて使用することにより制御されるこ
とを特徴としている。
【００３３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造装置であって、前記基板上
に着色されたインクを吐出するための吐出手段と、前記
吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるための移
動手段と、１個ずつのフィルタエレメントを着色するに
あたり、各フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数
のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この重ね
て吐出されるインクの重なり間隔を吐出の後半部におい
て狭めるように制御する吐出制御手段とを具備すること
を特徴としている。
【００３４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出手段は、インクを吐出して
着色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴と
している。
【００３５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００３６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠内に
所定の色に着色されたインクを吐出することにより各フ
ィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造する
ためのカラーフィルタの製造装置であって、前記基板上
に着色されたインクを吐出するための吐出手段と、該吐
出手段と前記基板との相対位置を移動させるための移動
手段と、１個ずつのフィルタエレメントを着色するにあ
たり、各フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数の
インクをずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて
吐出されるインクの量を、複数の吐出インク間で異なら
せるように、前記移動手段と前記吐出手段とを制御する
制御手段とを具備することを特徴としている。
【００３７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出手段は、インクを吐出して
着色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴と
している。
【００３８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００３９】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数のインク
をずらしながら付与して、該インクジェットヘッドの走
査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に
着色してカラーフィルタを製造するためのカラーフィル
タの製造方法であって、インクの着弾時にフィルタエレ
メントと前記枠の双方にかかるようにインクを付与し
て、前記走査方向に並ぶフィルタエレメントを着色し、
前記フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように
付与されるインクは同じフィルタエレメント内に付与さ
れる他のインクに比してインク量が大きいことを特徴と
している。
【００４０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００４１】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【００４２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【００４３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数のインク
をずらしながら付与して、該インクジェットヘッドの走
査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に
着色してカラーフィルタを製造するためのカラーフィル
タの製造方法であって、重ねて吐出されるインクの重な
り間隔を走査の後半部において狭めることを特徴として
いる。
【００４４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００４５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【００４６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【００４７】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数のインク
をずらしながら付与して、該インクジェットヘッドの走
査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に
着色してカラーフィルタを製造するためのカラーフィル
タの製造方法であって、重ねて吐出される吐出インクの
量を、複数の吐出インク間で異ならせることを特徴とし
ている。
【００４８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００４９】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出されるインクの体積は、前
記熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させる
ことにより制御されることを特徴としている。
【００５０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記フイルタエレメントを複数種類
の色に着色することを特徴としている。
【００５１】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板上とインクジェット
ヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にインクを複
数のインクをずらしながら付与して、該インクジェット
ヘッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分
を連続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカ
ラーフィルタの製造装置であって、前記インクジェット
ヘッドと前記基板との相対位置を移動させるための移動
手段と、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠
の双方にかかるようにインクを付与し、前記フィルタエ
レメントと前記枠の双方にかかるように付与されるイン
クが同じフィルタエレメント内に付与される他のインク
に比してインク量が大きくなるように制御する吐出制御
手段とを具備することを特徴としている。
【００５２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００５３】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上にインクを複数
のインクをずらしながら付与して、該インクジェットヘ
ッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を
連続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラ
ーフィルタの製造装置であって、前記インクジェットヘ
ッドと前記基板との相対位置を移動させるための移動手
段と、重ねて吐出されるインクの重なり間隔を前記走査
の後半部において狭めるように制御する吐出制御手段と
を具備することを特徴としている。
【００５４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００５５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、多数のフィルタエレメントを仕切るための多
数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェットヘ
ッドを相対的に走査しながら前記基板上にインクを吐出
して、該インクジェットヘッドの走査方向に並ぶ複数の
前記枠内及び枠外の部分を連続的に着色してカラーフィ
ルタを製造するためのカラーフィルタの製造装置であっ
て、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置
を移動させるための移動手段と、重ねて吐出されるイン
クの量を、複数の吐出インク間で異ならせるように制御
する吐出制御手段とを具備することを特徴としている。
【００５６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００５７】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクジェットヘッドと基板とを相対的に走
査しながら、該基板上にインクを吐出して着色し、カラ
ーフィルタを製造する方法であって、前記基板上に位置
し、少なくとも１つのフィルタエレメントを備える走査
方向に延びるフィルタエレメント列内において、該フィ
ルタエレメント列内の着色ムラを低減させるために、該
フィルタエレメント列内の少なくとも走査の終端部分に
対する前記インクジェットヘッドからのインクドットの
吐出間隔を同じフィルタエレメント列内の他の部分に対
するインクドットの吐出間隔より密とすることを特徴と
している。
【００５８】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えていることを特徴としている。
【００５９】また、本発明に係わるカラーフィルタのフ
ィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法は、イ
ンクジェットヘッドと基板とを相対的に走査しながら、
該基板上にインクを吐出して着色し、カラーフィルタを
製造する場合に、前記基板上のフィルタエレメント列内
の着色ムラを低減する方法であって、前記基板上に位置
し、少なくとも１つのフィルタエレメントを備える走査
方向に延びるフィルタエレメント列内において、該フィ
ルタエレメント列内の少なくとも走査の終端部分に対す
る前記インクジェットヘッドからのインクドットの吐出
間隔を同じフィルタエレメント列内の他の部分に対する
インクドットの吐出間隔より密とすることを特徴として
いる。
【００６０】また、この発明に係わるカラーフィルタの
フィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法にお
いて、前記インクジェットヘッドは、熱エネルギーを利
用してインクを吐出するヘッドであって、インクに与え
る熱エネルギーを発生するための熱エネルギー発生体を
備えていることを特徴としている。
【００６１】
【００６２】
【００６３】
【００６４】
【００６５】
【００６６】
【００６７】
【００６８】
【００６９】
【００７０】
【００７１】
【００７２】
【００７３】
【００７４】
【００７５】
【００７６】
【００７７】
【００７８】
【００７９】
【００８０】
【００８１】
【００８２】
【００８３】
【００８４】
【００８５】
【００８６】
【００８７】
【００８８】
【００８９】
【００９０】
【００９１】
【００９２】
【００９３】
【００９４】
【００９５】
【００９６】
【００９７】
【００９８】
【００９９】
【０１００】
【０１０１】
【０１０２】
【０１０３】
【０１０４】
【０１０５】
【０１０６】
【０１０７】以上の様にこの発明は構成されているの
で、各フィルタエレメントを仕切る枠内へのインクの吐
出開始位置を変化させ、このインクが枠に重なる量を変
化させることにより、枠内のある決まった位置から着色
を開始する場合に比較して、インクや基板の材料のロッ
トばらつきにより生じていた枠の隅の白ぬけを防止する
ことができる。
【０１０８】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの重なり間隔を着色の後半部に
おいて狭めることにより、フィルタエレメントの片側に
発生していた白ぬけを防止することができる。
【０１０９】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの数を、このインクの吐出量に
応じて変化させることにより、吐出を行う吐出ノズルの
バラつきを補正することができ、フィルタエレメントの
着色の濃度ムラを防止することができる。
【０１１０】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、ムラ
の発生する部分にインクの量を部分的に多く吐出するこ
とによりフィルタエレメントの白ぬけ等を防止すること
ができる。
【０１１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【０１１２】まず、図１は本発明に係わる製造方法及び
製造装置により製造されるカラーフイルタの部分拡大図
である。
【０１１３】このカラーフイルタ１０は、携帯用パーソ
ナルコンピュータ等に使用されるカラーの液晶ディスプ
レイ等の前面に装着されているものであり、図１
（ａ），（ｂ） に示す様に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）に着色されたフイルタエレメント１０ａが、２次
元状に、例えば格子状に配列されて構成されている。図
１（ａ）に示したものは、各フイルタエレメント１０ａ
を単純な格子状に配置した例であり、図１（ｂ）に示し
たものはフイルタエレメント１０ａを千鳥格子状に配置
した例である。各フイルタエレメント１０ａの間には、
夫々のフイルタエレメント１０ａ間の区切りを明確にし
て、画面を鮮明にするために、遮光格子１０ｂが形成さ
れている。
【０１１４】図２は、図１に示したカラーフイルタ１０
の側断面図であり、カラーフイルタ１０の本体を構成す
るガラス基板１２上に、遮光格子１０ｂが形成され、そ
の上に各色のフイルタエレメント１０ａが形成されてい
る状態を示している。
【０１１５】カラーフイルタ１０を製造するにあたって
は、ガラス基板１２の上にクロムをスパッタリングによ
り付着させ、フオトリソグラフィーにより格子状のパタ
ーンを形成する。これが遮光格子１０ｂとなる。次に、
この遮光格子１０ｂの上にセルロース、アクリル系樹
脂、ゼラチン等から成る、液体を吸収する被染色層１４
を形成し、この被染色層１４のフイルタエレメント形成
領域にインクジェット方式の記録ヘッドにより着色剤
（染料）を混入したインク（以下インクと呼ぶ）を吹き
付ける。これにより、被染色層１４を着色してカラーの
フイルタエレメント１０ａを形成する。なお、染料以外
に顔料を使用することも可能であるし、紫外線硬化型イ
ンクを使用することも可能である。なお、顔料や紫外線
硬化型インクを使用する場合は、被染色層１４は必要な
い場合もある。
【０１１６】さらに、必要に応じて保護層を形成する。
保護層としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは
光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって
形成された無機膜等を用いることができ、カラーフィル
タとした場合の透明性を有し、その後のＩＴＯ（Indium
Tin Oxide)形成プロセス、配向膜形成プロセス等に耐
えうるものであれば使用可能である。
【０１１７】なお、カラー液晶パネルは、一般的にカラ
ーフィルタ基板１２と対向基板５４を合わせこみ、液晶
化合物５２を封入することにより形成される。液晶パネ
ルの一方の基板５４の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Trans
istor)（不図示）と透明な画素電極５３がマトリックス
状に形成される。また、もう一方の基板１２の内側に
は、画素電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列する
ようカラーフィルタ１０が設置され、その上に透明な対
向電極（共通電極）５０が一面に形成される。遮光格子
１０ｂは、通常カラーフィルター基板１２側に形成され
るが（図３参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンア
レイタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板
側に形成される（図４参照）。さらに、両基板の面内に
は配向膜５１が形成されており、これをラビング処理す
ることにより液晶分子を一定方向に配列させることがで
きる。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板５
５が接着されており、液晶化合物５２は、これらのガラ
ス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、
バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図
示）の組み合わせが一般的に用いられており、液晶化合
物をバックライト光の透過率を変化させる光シャッター
として機能させることにより表示を行う。
【０１１８】このような液晶パネルを情報処理装置に適
用した場合の例を図５乃至図７を参照して説明する。
【０１１９】図５は上記の液晶パネルをワードプロセッ
サ，パーソナルコンピュータ，ファクシミリ装置，複写
装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場合
の概略構成を示すブロック図である。
【０１２０】図中、１８０１は装置全体の制御を行なう
制御部で、マイクロプロセッサ等のＣＰＵや各種Ｉ／Ｏ
ポートを備え、各部に制御信号やデータ信号等を出力し
たり、各部よりの制御信号やデータ信号を入力して制御
を行なっている。１８０２はディスプレイ部で、この表
示画面には各種メニューや文書情報およびイメージリー
ダ１８０７で読み取ったイメージデータ等が表示され
る。１８０３はディスプレイ部１８０２上に設けられた
透明な感圧式のタッチパネルで、指等によりその表面を
押圧することにより、ディスプレイ部１８０２上での項
目入力や座標位置入力等を行なうことができる。
【０１２１】１８０４はＦＭ(Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｍ
ｏｄｕｌａｔｉｏｎ)音源部で、音楽エディタ等で作成
された音楽情報をメモリ部１８１０や外部記憶装置１８
１２にデジタルデータとして記憶しておき、それらメモ
リ等から読み出してＦＭ変調を行なうものである。ＦＭ
音源部１８０４からの電気信号はスピーカ部１８０５に
より可聴音に変換される。プリンタ部１８０６はワード
プロセッサ，パーソナルコンピュータ，ファクシミリ装
置，複写装置の出力端末として用いられる。
【０１２２】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行なう。
【０１２３】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインターフェース機
能を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機
能等の各種電話機能を有する電話部である。
【０１２４】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャプログラムおよびその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォントおよび辞書等を記憶するＲＯＭや、
外部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーショ
ンプログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含
むメモリ部である。
【０１２５】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。
【０１２６】１８１２はフロッピーディスクやハードデ
ィスク等を記憶媒体とする外部記憶装置で、この外部記
憶装置１８１２には文書情報や音楽或は音声情報、ユー
ザのアプリケーションプログラム等が格納される。
【０１２７】図６は図５に示す情報処理装置の模式的概
観図である。
【０１２８】図中、１９０１は上記の液晶パネルを利用
したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや図
形情報および文書情報等を表示する。このディスプレイ
１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行なうこと
ができる。１９０２は装置が電話器として機能するとき
に使用されているハンドセットである。キーボード１９
０３は本体と脱着可能にコードを介して接続されてお
り、各種文書機能や各種データ入力を行なうことができ
る。また、このキーボード１９０３には各種機能キー１
９０４等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１
８１２へのフロッピーディスクの挿入口である。
【０１２９】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。
【０１３０】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。
【０１３１】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。
【０１３２】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。
【０１３３】なお、上述した情報処理装置は図７に示す
ようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体型
としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高める
ことが可能となる。同図において、図６と同一機能を有
する部分には、対応する符号を付す。
【０１３４】次に、図８は、前述したカラーフイルタに
おいて被染色層１４にインクを吹き付けるためのインク
ジェットヘッドＩＪＨの構造を示す図である。
【０１３５】図８において、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形
成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータ
ボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略
構成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８
が形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出
口１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成され
ている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と
隔絶されている。各液路１１０は、その後方において１
つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク
液室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが
供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液
路１１０に供給される。
【０１３６】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図８の様な状態に組み立てられる。
図８においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。
【０１３７】図９は、このようにヒータに加える電力を
変化させてインクの吐出量を制御する方法を説明するた
めの図である。
【０１３８】この実施形態では、インクの吐出量を調整
するために、ヒータ１０２に２種類の定電圧パルスを印
加する様になされている。２つのパルスとは、図９に示
す様にプレヒートパルスとメインヒートパルス（以下、
単にヒートパルスという）である。プレヒートパルス
は、実際にインクを吐出するに先立ってインクを所定温
度に暖めるためのパルスであり、インクを吐出するため
に必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも短い値に設定されて
いる。従って、このプレヒートパルスによりインクが吐
出されることはない。プレヒートパルスをヒータ１０２
に加えるのは、インクの初期温度を、一定の温度にまで
上昇させておくことにより、後に一定のヒートパルスを
印加したときのインク吐出量を常に一定にするためであ
る。また、逆にプレヒートパルスの長さを調節すること
により、予めインクの温度を調節しておき、同じヒート
パルスが印加された場合でも、インクの吐出量を異なら
せることも可能である。また、ヒートパルスの印加に先
立ってインクを暖めておくことにより、ヒートパルスを
印加した時のインク吐出の時間的な立ち上がりを早めて
応答性を良くする働きも持っている。
【０１３９】一方、ヒートパルスは、実際にインクを吐
出させるためのパルスであり、上記のインクを吐出する
ために必要な最低のパルス幅ｔ5 よりも長く設定されて
いる。ヒータ１０２が発生するエネルギーは、ヒートパ
ルスの幅（印加時間）に比例するものであるため、この
ヒートパルスの幅を調節することにより、ヒータ１０２
の特性のばらつきを調整することが可能である。
【０１４０】なお、プレヒートパルスとヒートパルスと
の間隔を調整して、プレヒートパルスによる熱の拡散状
態を制御することによってもインクの吐出量を調整する
ことが可能となる。
【０１４１】上記の説明から分かる様に、インクの吐出
量は、プレヒートパルスの印加時間を調節することによ
って制御することも可能であるし、またプレヒートパル
スとヒートパルスの印加間隔を調節することによっても
可能である。従って、プレヒートパルスの印加時間やプ
レヒートパルスとヒートパルスの印加間隔を必要に応じ
て調整することにより、インクの吐出量やインクの吐出
の印加パルスに対する応答性を自在に調節することが可
能となる。
【０１４２】次に、このインクの吐出量の調整について
具体的に説明する。
【０１４３】例えば、図９に示す様に吐出口（ノズル）
１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃが、同じ電圧パルスを加
えた時のインクの吐出量が異なっている場合について説
明する。詳しくは、一定温度で、一定パルス幅の電圧を
印加したときに、ノズル１０８ａのインク吐出量が３６
ｐｌ（ピコリットル）、ノズル１０８ｂのインク吐出量
が４０ｐｌ、ノズル１０８ｃのインク吐出量が４０ｐｌ
であり、ノズル１０８ａに対応するヒータ１０２ａ及び
ノズル１０８ｂに対応するヒータ１０２ｂの抵抗値が２
００Ω、ノズル１０８ｃに対応するヒータ１０２ｃの抵
抗値が２１０Ωであるものとする。そして、それぞれの
ノズル１０８ａ，１０８ｂ，１０８ｃの吐出量を全て４
０ｐｌに合わせたいものとする。
【０１４４】それぞれのノズル１０８ａ，１０８ｂ，１
０８ｃの吐出量を同じ量に調整するためには、プレヒー
トパルスとヒートパルスの幅を調整すれば良いのである
が、このプレヒートパルスとヒートパルスの幅の組み合
わせには種々のものが考えられる。ここでは、ヒートパ
ルスにより発生するエネルギーの量を３つのノズルで同
じになる様に設定し、吐出量の調整は、プレヒートパル
スの幅を調整することにより行なうものとする。
【０１４５】まず、ノズル１０８ａのヒータ１０２ａと
ノズル１０８ｂのヒータ１０２ｂの抵抗値は同じ２００
Ωであるので、ヒートパルスにより発生するエネルギー
を同じにするには、ヒータ１０２ａ，１０２ｂに同じ幅
の電圧パルスを印加すればよい。ここでは、電圧パルス
の幅を前述したｔ5 よりも長いｔ3 に設定する。一方、
ノズル１０８ａと１０８ｂとは、同じヒートパルスを加
えた時の吐出量が、３６ｐｌと４０ｐｌと異なるため、
ノズル１０８ａの吐出量を多くするために、ヒータ１０
２ａには、ヒータ１０２ｂのプレヒートパルスの幅ｔ1
よりも長いｔ2のプレヒートパルスを加える。このよう
にすれば、ノズル１０８ａと１０８ｂの吐出量を同じ４
０ｐｌにそろえることができる。
【０１４６】一方、ノズル１０８ｃのヒータ１０２ｃの
抵抗値は、他の２つのヒータ１０２ａ，１０２ｂの抵抗
値よりも高い２１０Ωであるため、ヒータ１０２ｃか
ら、他の２つのヒータと同じエネルギーを発生させるた
めには、ヒートパルスの幅を長くする必要がある。その
ため、ここでは、ヒートパルスの幅を前述したｔ3 より
も長いｔ4 に設定している。また、プレヒートパルスの
幅に関しては、一定パルスを加えた時のノズル１０８ｂ
と１０８ｃの吐出量が同じであるため、ヒータ１０２ｂ
と同じにすればよく、ｔ1 の幅のプレヒートパルスを加
える。
【０１４７】以上の様にして、抵抗値と一定パルスを加
えた時のインク吐出量の異なる３つのノズル１０８ａ，
１０８ｂ，１０８ｃから同じ量のインクを吐出させるこ
とができる。また、同じ手法により、インクの吐出量を
意識的に異ならせることも可能である。なお、プレヒー
トパルスを利用するのは、ノズルごとの吐出のバラつき
を低減するためである。
【０１４８】次に、ノズルからのインクの吐出量を制御
する別の方法について説明する。
【０１４９】図２２は、１つのノズルに２つ以上のヒー
タを配置し、それぞれのヒータに印加する電圧パルスの
位相を連続的にずらすことによりインクの吐出量を連続
的に変化させる構造を示した図である。
【０１５０】図２２は、１ノズル当りのヒータと電極と
の構造配置を示しており、このパターンを図８に示すヒ
ータ１０２の代わりに配置することにより、インクジェ
ットヘッドを構成することができる。
【０１５１】１ノズル当り２つのヒータ２０１ａ,２０
１ｂ及びそれぞれに独立に電力を供給するための電極２
０２,２０３ａ,２０３ｂを備えている。図２３は、図２
２のヒータと電極のパターンを持つインクジェットヘッ
ドのヒータ２０１ａ,２０１ｂに位相をずらせて通電し
気泡を生じさせたときの状態の模式的断面図であり、ヒ
ータ２０１ａ,２０１ｂは時間的にずれてインクが蒸発
した気泡を生ずるため、図示のようにある時間で観察す
ると、異なった大きさの気泡が見られる。
【０１５２】なお、図２３では電極２０２,２０３は省
略されている。
【０１５３】図２３において、インクで満たされる流路
２０９は、ガラス等の基板２０４上に蓄熱層２０５が設
けられ、この蓄熱層２０５上に図２２に示したパターン
でヒータと電極が付設されたヒータボード２１２と、流
路２０９を構成するように所定幅の溝が設けられた天板
２１３とを、ヒータと電極とを溝が覆うように、接着剤
等を使用して接合することによって形成される。流路２
０９の終端にはノズル２０７が形成され、熱作用部Δｌ
は、ヒータ２０１の発熱部表面を含む流路部分とされ、
熱作用部Δｌにおいて、ヒータ２０１に入力される電圧
パルスに従って、ヒータ２０１が発熱することで、熱作
用部Δｌにあるインクが気化によって気泡を生ずる急峻
な状態変化を起こすことで、インク２０８がノズル２０
７より吐出される。ヒータ２０１ａ,２０１ｂに入力さ
れる電圧パルスのタイミングと気泡の体積、インクの吐
出量との関係を概略的に示したものが図２４である。
【０１５４】図２４において、実線は印加される電圧パ
ルスを示し、発熱にともなう気泡の体積の大きさは破線
で示した。
【０１５５】（ａ）は電圧パルスの印加のタイミングが
２つのヒータ２０１ａ,２０１ｂで一致した場合で、生
ずる気泡の体積は最大となり、吐出されるインクの量も
多い。（ｂ）はパルス幅τの分だけ入力タイミングをず
らせた場合で、合体する気泡の最大体積は減少し、イン
クの吐出量も小さくなる。
【０１５６】（ｃ）は２τ分入力タイミングをずらせた
ものであり、インクの吐出量は（ｄ）の場合のヒータを
１個だけ駆動した場合と変化はない。このタイミングず
れと吐出インクの体積との関係をグラフに示したものが
図２５である。
【０１５７】階調性が得られるタイミングずれの範囲
は、本例では−２τ〜＋２τであったが、これは印加パ
ルス幅τ、及び基板の構造、インクの種類、ヒータのパ
ターン、配置等によって異なるもので、通常±２０τの
範囲、好ましくは±５τの範囲で制御するのが良い。ま
た、ヒータの配置が図２２のように流路に沿って形成さ
れる必要は必ずしも無く、図２６のように矢印Ａで示す
吐出方向に対して直角方向に配することも可能である。
また２つのヒータのパターンが同じである必要も無く、
それぞれのヒータの面積が異なるものを組み合わせても
よい。さらに多階調を要するときには、必要に応じてヒ
ータ数を３つ以上にしてもよい。
【０１５８】次に、図１０は、図１及び図２に示したカ
ラーフイルタを製造するための製造装置の構成を示した
図である。
【０１５９】図１０において、製造装置２０は、不図示
の架台上に載置され、図中Ｘ方向及びＹ方向に移動可能
なＸＹテーブル２２と、このＸＹテーブル２２の上方に
不図示の支持部材を介して架台上に固定されたインクジ
ェットヘッドＩＪＨを備えている。ＸＹテーブル２２上
には、既に前述した方法により遮光格子１０ｂ及び被染
色層１４（図２参照）が形成されたガラス基板１２が載
置される。インクジェットヘッドＩＪＨには、赤色のイ
ンクを吐出する赤色ヘッド１２０ａと、緑色のインクを
吐出する緑色ヘッド１２０ｂと、青色のインクを吐出す
る青色ヘッド１２０ｃが備えられており、これらの各ヘ
ッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃは夫々独立にインク
を吐出することができる様に構成されている。
【０１６０】このように構成される製造装置２０におい
ては、インクジェットヘッドＩＪＨに対して、ＸＹテー
ブル２２がＸＹ方向に移動しながら、ガラス基板１２上
の所望の遮光格子１０ｂの枠内にＲ（赤）またはＧ
（緑）またはＢ（青）のインクを吐出していき、遮光格
子１０ｂの各枠内を着色してカラーフイルタを完成させ
る。
【０１６１】図１１は、製造装置２０の制御コントロー
ラの構成を示すブロック図である。
【０１６２】図１１において、３１は制御コントローラ
の入出力手段であるティーチングペンダント。３２は吐
出情報等の結果を表示する表示部。３３は吐出パターン
等の吐出条件を設定する設定部。
【０１６３】３４はカラーフィルタの製造装置２０を制
御するところのコントローラ。３５はティーチングペン
ダントとのデータの受け渡しを行うインターフェース。
３６は製造装置２０のステージ制御や軌道計画演算を行
なうＣＰＵ。３７はＣＰＵを動作させるための制御プロ
グラムを記憶しているＲＯＭ。３８は吐出条件などのデ
ータを記憶するＲＡＭ。４０は本実施形態の特に重要な
部分である着色剤の吐出パターンを制御する吐出制御
部。その構成は、フィルタエレメント内の吐出開始位置
・吐出間隔・吐出数の制御を行なう吐出タイミング制御
部４３、フィルタエレメント内におけるドットの大きさ
を制御する吐出量制御部４４からなる。４１は製造装置
２０のステージ２２の制御部。２０はコントローラ３４
に接続され、その指示に従って動作する製造装置を示し
ている。
【０１６４】本実施形態は、インクジェット方式により
インクをインクジェットヘッドＩＪＨのオリフィスから
吐出させて、カラーフィルタ１０のフィルタエレメント
１０ａにインクドットにより着色を行う。インクジェッ
ト方式としては、熱エネルギーによる方式あるいは機械
エネルギーによる方式が挙げられるが、いずれの方式も
好適に用いることができる。使用するインクとしては、
インクジェット用として用いることができるものであれ
ば特に限られるものではなく、インクの着色剤として
は、各種染料あるいは顔料のなかから、Ｒ，Ｇ，Ｂのフ
ィルタエレメントに要求される透過スペクトルにあった
ものが適宜選択される。
【０１６５】また、インクドットは、遮光格子１０ｂお
よび光透過部（遮光格子１０ｂに囲まれた中央部分、即
ちフィルタエレメント）を有するガラス基板１２に直接
形成してもよいが、既に述べたようにガラス基板１２上
に光透過性の被染色層１４を設けるのが好ましい。被染
色層１４を形成する材料としては、アクリル系樹脂、エ
ポキシ系樹脂、イミド系樹脂、ヒドロキシプロピルセル
ロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロー
ス、カルボキシメチルセルロース等のセルロース誘導体
が好ましい。その形成方法としては、スピンコート、ロ
ールコート、バーコート、スプレーコート、ディップコ
ート等の方法を用いることができる。
【０１６６】形成される被染色層１４の厚みは、パター
ン形成に用いるインクの種類、組成、あるいはその吐出
量、使用方法等によって異なるが、０.１〜５０μｍ程
度が適当である。
【０１６７】ここで問題になるのが、ＲＧＢ各インクの
着色剤の特性が上記被染色層１４の特性、遮光格子１０
ｂの形状（図２０参照）、製造工程によるプロセスの最
高温度により、各メーカー・基板種類によって千差万別
であるということである。インクジェット方式の場合、
その吐出の位置・量が白抜け・混色に大きな影響を与え
ることは以前に述べた。
【０１６８】ここで図１２乃至図１９により上記問題点
を解決するための本実施形態の動作を順を追って説明す
る。なお、図１２乃至図１９において、フィルタエレメ
ント１０ａ内の白丸は、着弾後数秒経過したときにおけ
るインクの状態を表わしている。
【０１６９】まず、図１２に示されるように複数のイン
クドットを等間隔で吐出した場合、図１３のように周辺
部に白抜けが大きく、かつ、先に吐出したインクドット
に引き込まれるように後から吐出したインクドット液が
吸い寄せられ、図１３のような形状になってしまう。そ
こで次に、図１２のＢ−Ｃ間、Ｃ−Ｄ間の幅を広くし、
Ｄ−Ｅ間、Ｅ−Ｆ間の幅を狭くし図１４のような形状に
吐出すると、図１５のような形状にインクが広がってし
まう。そこで、図１６のようにＣ点での吐出量を多くす
ると図１７のようにインクが広がる。図１７はかなりき
れいな形状をしているが、コーナー部で白抜けの現象が
発生してしまっている。そこで、図１８で示されるよう
に、Ａ点の吐出開始位置をややずらし、かつ、Ｂ点の後
にｂ点を加え、吐出を行うと、図１９で示されるよう、
かなりきれいにインクが広がり、白抜けのないきれいな
カラーフィルタが形成される。
【０１７０】もちろん、上記現象はほんの一例であり、
遮光格子１０ｂの形状、インクの物性、被染色層１４の
物性により種々の場合が考えられる。例えば、図２０に
示したような遮光格子の場合には、それぞれ図２１に示
したような吐出パターンにより良好なカラーフィルター
の着色が行われる。これらのインクの吐出パターンは、
図１１に示した吐出制御部４０により制御される。
【０１７１】なお、上記の実施形態では、各フィルタエ
レメントに対して別々に図１２乃至図２１に示すような
パターンでインクを吐出する場合について説明したが、
本発明は、図２７、図２８に示すように、インクジェッ
トヘッドの走査方向に並ぶ複数のフィルタエレメントを
連続的に着色する場合にも適用可能である。
【０１７２】図２７、図２８に示す例では、各フィルタ
エレメントのインクジェットヘッドの走査方向の仕切り
となる遮光格子の部分にもインクを連続的に吐出し、１
回の走査の初めから終わりまでを１ラインとして連続的
に着色するものである。このように走査方向に延びる１
列分を連続的に着色した場合でも、液晶表示装置などで
は、使用者は着色した面の裏側からカラーフィルタを見
ることとなるので、カラーフィルタの各フィルタエレメ
ントは遮光格子で確実に仕切られて見え、使用上は何ら
問題はない。
【０１７３】図２７のように、走査の１列分を連続して
着色する場合においても、この１列を１つのフィルタエ
レメントとみなし、図１８に示したのと同様に走査の初
めの部分でインクドットが遮光格子１０ｂに一部重なる
ようにし、走査の終端部分でインクを密に打ち込むこと
により、走査の初端部分及び終端部分における白抜けを
防止することができる。また、各フィルタエレメント
が、図２８に示すように、一部突出した部分１０ｆを有
する場合には、この部分に対応してインクの吐出量を多
くし、図２８にハッチングで示すような大きいインクド
ットを形成することにより、図２９のように１０ｆの部
分が白く抜けてしまわず、良質なカラーフィルタを製造
することができる。この場合でも、走査の終端部分にお
いてインクドットの間隔を密にすることにより、走査の
終端部分における白抜けを同時に防止することができ
る。
【０１７４】実際のカラーフィルターの製造ラインで
は、基板サイズ・種類によってかなり多くの種類に対応
しなくてはならない。その際、すべての種類毎に製造ラ
インを構成し、固定した吐出方法で製造工程を構成する
ことは不可能ではないが、非現実的である。
【０１７５】そのため、高性能な種々のカラーフィルタ
ーを製造する場合、その製造ラインにおいて数多くの段
取り替えが発生することは必然である。その際、本実施
形態のような吐出条件を設定する吐出制御部４０を持た
ない製造方法では良好なカラーフィルターを多品種製造
することは困難である。
【０１７６】以上説明したように、本実施形態のカラー
フィルタの製造方法もしくは製造装置を採用することに
より、種々の遮光格子の形状、インクの物性、被染色層
の物性に最適なインクドットの吐出方法を設定すること
が可能になり、安価で信頼性が高く、かつ色ムラのない
鮮明な画像を得ることができるカラーフィルタを製造す
ることができる。
【０１７７】また、複数種類のカラーフィルタを製造す
るフレキシブルな製造ラインを容易に構成することが可
能になる。
【０１７８】なお、本発明はその主旨を逸脱しない範囲
で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可能
である。
【０１７９】例えば、インクジェットヘッドとして圧電
素子等の機械エネルギー変換体を用いる所謂ピエゾタイ
プのものを用いても良い。この場合、吐出するインク体
積の調整は駆動パルスの印加電圧を調整することで容易
に行なうことができる。さらに、バイポーラ駆動を行な
う場合は、両極性の駆動パルスの夫々または一方を調整
することによってもインク体積を調整することができ
る。
【０１８０】また、本発明は単色のフィルターにも適用
できる。更に異なる色の単色フィルターを複数重ねるタ
イプのフイルタにも適用できる。
【０１８１】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
【０１８２】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【０１８３】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【０１８４】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。
【０１８５】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
【０１８６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【０１８７】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
【０１８８】以上説明した本発明実施形態においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化す
るものを用いても良く、あるいはインクジェット方式で
はインク自体を３０°Ｃ以上７０°Ｃ以下の範囲内で温
度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるよう
に温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号
付与時にインクが液状をなすものであればよい。
【０１８９】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
【０１９０】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、各
フィルタエレメントを仕切る枠内へのインクの吐出開始
位置を変化させ、このインクが枠に重なる量を変化させ
ることにより、枠内のある決まった位置から着色を開始
する場合に比較して、インクや基板の材料のロットばら
つきにより生じていた枠の隅の白ぬけを防止することが
できる。
【０１９１】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの重なり間隔を着色の後半部に
おいて狭めることにより、フィルタエレメントの片側に
発生していた白ぬけを防止することができる。
【０１９２】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、この
重ねて吐出されるインクの数を、このインクの吐出量に
応じて変化させることにより、吐出を行う吐出ノズルの
バラつきを補正することができ、フィルタエレメントの
着色の濃度ムラを防止することができる。
【０１９３】また、フィルタエレメントを仕切る枠内に
複数のインクをずらしながら重ねて吐出する場合、ムラ
の発生する部分にインクの量を部分的に多く吐出するこ
とによりフィルタエレメントの白ぬけ等を防止すること
ができる。
【０１９４】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる製造方法及び製造装置により製
造されるカラーフイルタの部分拡大図である。
【図２】図１に示したカラーフイルタの側断面図であ
る。
【図３】カラー液晶パネルの構造を示した側断面図であ
る。
【図４】カラー液晶パネルの構造を示した側断面図であ
る。
【図５】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図６】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図７】液晶パネルが使用される情報処理装置を示した
図である。
【図８】被染色層にインクを吹き付けるためのインクジ
ェットヘッドＩＪＨの構造を示す図である。
【図９】ヒータに加える電力を変化させてインクの吐出
量を制御する方法を説明するための図である。
【図１０】図１及び図２に示したカラーフイルタを製造
するための製造装置の構成を示した図である。
【図１１】カラーフィルタの製造装置の制御コントロー
ラ構成を示すブロック図である。
【図１２】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１３】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１４】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１５】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１６】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１７】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１８】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図１９】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図２０】遮光格子の形状の例を示した図である。
【図２１】インクドットの吐出位置及び吐出量と、フィ
ルタエレメントの着色のされ方の関係を示す図である。
【図２２】２つのヒータを有するノズルを示した図であ
る。
【図２３】２つのヒータを有するノズルを示した図であ
る。
【図２４】２つのヒータに加える電圧パルスのずれとイ
ンクの吐出量の関係を示した図である。
【図２５】２つのヒータに加える電圧パルスのずれとイ
ンクの吐出量の関係を示した図である。
【図２６】２つのヒータを有するノズルの別の例を示し
た図である。
【図２７】走査方向の一列分を連続的に着色する例を示
した図である。
【図２８】走査方向の一列分を連続的に着色する例を示
した図である。
【図２９】フィルタエレメントの突出部分が白抜けして
いる状態を示した図である。
【符号の説明】
１０ カラーフィルタ １０ａ フィルタエレメント １０ｂ 遮光格子 １２ ガラス基板 １４ 被染色層 ２０ 製造装置 ２２ ＸＹテーブル １０２ ヒータ １０４ ヒータボード １０６ 天板 １０８ 吐出口 １１０ 液路 １１２ 隔壁 １１４ インク液室 １１６ インク供給口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横井 英人 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 佐藤 博 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平１−217302（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−261503（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−235752（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−318723（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−253510（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−146406（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 5/20 - 5/28 G02F 1/1335 B41J 2/01 - 2/215

Claims (48)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 多数のフィルタエレメントを仕切るため
    の多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠
    内の異なる位置に所定色の複数のインクを付与すること
    により各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタ
    を製造するためのカラーフィルタの製造方法であって、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与し、 前記フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように
    付与されるインクは同じフィルタエレメント内に付与さ
    れる他のインクに比してインク量が大きい ことを特徴と
    するカラーフィルタの製造方法。
  2. 【請求項２】 前記インクの吐出は、インクを吐出して
    着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわれる
    ことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製
    造方法。
  3. 【請求項３】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
    ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
    クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
    発生体を備えていることを特徴とする請求項２に記載の
    カラーフィルタの製造方法。
  4. 【請求項４】 前記吐出されるインクの体積は、前記熱
    エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させること
    により制御されることを特徴とする請求項３に記載のカ
    ラーフィルタの製造方法。
  5. 【請求項５】 前記フイルタエレメントを複数種類の色
    に着色することを特徴とする請求項１に記載のカラーフ
    ィルタの製造方法。
  6. 【請求項６】 多数のフィルタエレメントを仕切るため
    の多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各枠
    内に所定の色に着色されたインクを吐出することにより
    各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製造
    するためのカラーフィルタの製造方法であって、 １個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの重なり間隔を吐出の後半部において狭めるこ
    とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  7. 【請求項７】 前記インクの吐出は、インクを吐出して
    着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわれる
    ことを特徴とする請求項６に記載のカラーフィルタの製
    造方法。
  8. 【請求項８】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
    ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
    クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
    発生体を備えていることを特徴とする請求項７に記載の
    カラーフィルタの製造方法。
  9. 【請求項９】 前記吐出されるインクの体積は、前記熱
    エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させること
    により制御されることを特徴とする請求項８に記載のカ
    ラーフィルタの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項６に記載のカラー
    フィルタの製造方法。
  11. 【請求項１１】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内に所定の色に着色されたインクを吐出することによ
    り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
    造するためのカラーフィルタの製造方法であって、 １個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの量を、複数の吐出インク間で異ならせること
    を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記インクの吐出は、インクを吐出し
    て着色を行なうインクジェットヘッドを用いて行なわれ
    ることを特徴とする請求項１１に記載のカラーフィルタ
    の製造方法。
  13. 【請求項１３】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項１２に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  14. 【請求項１４】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項１３に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  15. 【請求項１５】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項１１に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  16. 【請求項１６】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内の異なる位置に所定色の複数のインクを付与するこ
    とにより各フィルタエレメントを着色してカラーフィル
    タを製造するためのカラーフィルタの製造装置であっ
    て、 前記基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手
    段と、 前記吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるため
    の移動手段と、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与し、前記フィルタエレメント
    と前記枠の双方にかかるように付与されるインクが同じ
    フィルタエレメント内に付与される他のインクに比して
    インク量が大きくなるように 制御する吐出制御手段とを
    具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  17. 【請求項１７】 前記吐出手段は、インクを吐出して着
    色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴とす
    る請求項１６に記載のカラーフィルタの製造装置。
  18. 【請求項１８】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項１７に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  19. 【請求項１９】 前記インクジェットヘッドにより吐出
    されるインクの体積は、前記熱エネルギー発生体に加え
    る駆動パルスを変化させることにより制御されることを
    特徴とする請求項１８に記載のカラーフィルタの製造装
    置。
  20. 【請求項２０】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスの異なる複数の
    ヘッドを切り替えて使用することにより制御されること
    を特徴とする請求項１９に記載のカラーフィルタの製造
    装置。
  21. 【請求項２１】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内に所定の色に着色されたインクを吐出することによ
    り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
    造するためのカラーフィルタの製造装置であって、 前記基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手
    段と、 前記吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるため
    の移動手段と、 １個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの重なり間隔を吐出の後半部において狭めるよ
    うに制御する吐出制御手段とを具備することを特徴とす
    るカラーフィルタの製造装置。
  22. 【請求項２２】 前記吐出手段は、インクを吐出して着
    色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴とす
    る請求項２１に記載のカラーフィルタの製造装置。
  23. 【請求項２３】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項２２に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  24. 【請求項２４】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上の、前記各
    枠内に所定の色に着色されたインクを吐出することによ
    り各フィルタエレメントを着色してカラーフィルタを製
    造するためのカラーフィルタの製造装置であって、 前記基板上に着色されたインクを吐出するための吐出手
    段と、 該吐出手段と前記基板との相対位置を移動させるための
    移動手段と、 １個ずつのフィルタエレメントを着色するにあたり、各
    フィルタエレメントを仕切る前記枠内に複数のインクを
    ずらしながら重ねて吐出する場合、この重ねて吐出され
    るインクの量を、複数の吐出インク間で異ならせるよう
    に、前記移動手段と前記吐出手段とを制御する制御手段
    とを具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装
    置。
  25. 【請求項２５】 前記吐出手段は、インクを吐出して着
    色を行なうインクジェットヘッドであることを特徴とす
    る請求項２４に記載のカラーフィルタの製造装置。
  26. 【請求項２６】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項２５に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  27. 【請求項２７】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数の
    インクをずらしながら付与して、該インクジェットヘッ
    ドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連
    続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラー
    フィルタの製造方法であって、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与して、 前記走査方向に並ぶフ
    ィルタエレメントを着色し、 前記フィルタエレメントと前記枠の双方にかかるように
    付与されるインクは同じフィルタエレメント内に付与さ
    れる他のインクに比してインク量が大きい ことを特徴と
    するカラーフィルタの製造方法。
  28. 【請求項２８】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項２７に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  29. 【請求項２９】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項２８に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  30. 【請求項３０】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項２７に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  31. 【請求項３１】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数の
    インクをずらしながら付与して、該インクジェットヘッ
    ドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連
    続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラー
    フィルタの製造方法であって、 重ねて吐出されるインクの重なり間隔を走査の後半部に
    おいて狭めることを特徴とするカラーフィルタの製造方
    法。
  32. 【請求項３２】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項３１に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  33. 【請求項３３】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項３２に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  34. 【請求項３４】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項３１に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  35. 【請求項３５】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上に複数の
    インクをずらしながら付与して、該インクジェットヘッ
    ドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の部分を連
    続的に着色してカラーフィルタを製造するためのカラー
    フィルタの製造方法であって、 重ねて吐出される吐出インクの量を、複数の吐出インク
    間で異ならせることを特徴とするカラーフィルタの製造
    方法。
  36. 【請求項３６】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項３５に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  37. 【請求項３７】 前記吐出されるインクの体積は、前記
    熱エネルギー発生体に加える駆動パルスを変化させるこ
    とにより制御されることを特徴とする請求項３６に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  38. 【請求項３８】 前記フイルタエレメントを複数種類の
    色に着色することを特徴とする請求項３５に記載のカラ
    ーフィルタの製造方法。
  39. 【請求項３９】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板上とインクジ
    ェットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にイン
    クを複数のインクをずらしながら付与して、該インクジ
    ェットヘッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外
    の部分を連続的に着色してカラーフィルタを製造するた
    めのカラーフィルタの製造装置であって、 前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、インクの着弾時にフィルタエレメントと前記枠の双方に
    かかるようにインクを付与し、前記フィルタエレメント
    と前記枠の双方にかかるように付与されるインクが同じ
    フィルタエレメント内に付与される他のインクに比して
    インク量が大きくなるように 制御する吐出制御手段とを
    具備することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  40. 【請求項４０】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項３９に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  41. 【請求項４１】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にインク
    を複数のインクをずらしながら付与して、該インクジェ
    ットヘッドの走査方向に並ぶ複数の前記枠内及び枠外の
    部分を連続的に着色してカラーフィルタを製造するため
    のカラーフィルタの製造装置であって、 前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 重ねて吐出されるインクの重なり間隔を前記走査の後半
    部において狭めるように制御する吐出制御手段とを具備
    することを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  42. 【請求項４２】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項４１に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  43. 【請求項４３】 多数のフィルタエレメントを仕切るた
    めの多数の枠が形成された光透過性の基板とインクジェ
    ットヘッドを相対的に走査しながら前記基板上にインク
    を吐出して、該インクジェットヘッドの走査方向に並ぶ
    複数の前記枠内及び枠外の部分を連続的に着色してカラ
    ーフィルタを製造するためのカラーフィルタの製造装置
    であって、 前記インクジェットヘッドと前記基板との相対位置を移
    動させるための移動手段と、 重ねて吐出されるインクの量を、複数の吐出インク間で
    異ならせるように制御する吐出制御手段とを具備するこ
    とを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  44. 【請求項４４】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項４３に記
    載のカラーフィルタの製造装置。
  45. 【請求項４５】 インクジェットヘッドと基板とを相対
    的に走査しながら、該基板上にインクを吐出して着色
    し、カラーフィルタを製造する方法であって、 前記基板上に位置し、少なくとも１つのフィルタエレメ
    ントを備える走査方向に延びるフィルタエレメント列内
    において、該フィルタエレメント列内の着色ムラを低減
    させるために、該フィルタエレメント列内の少なくとも
    走査の終端部分に対する前記インクジェットヘッドから
    のインクドットの吐出間隔を同じフィルタエレメント列
    内の他の部分に対するインクドットの吐出間隔より密と
    することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
  46. 【請求項４６】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項４５に記
    載のカラーフィルタの製造方法。
  47. 【請求項４７】 インクジェットヘッドと基板とを相対
    的に走査しながら、該基板上にインクを吐出して着色
    し、カラーフィルタを製造する場合に、前記基板上のフ
    ィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法であっ
    て、 前記基板上に位置し、少なくとも１つのフィルタエレメ
    ントを備える走査方向に延びるフィルタエレメント列内
    において、該フィルタエレメント列内の少なく とも走査
    の終端部分に対する前記インクジェットヘッドからのイ
    ンクドットの吐出間隔を同じフィルタエレメント列内の
    他の部分に対するインクドットの吐出間隔より密とする
    ことを特徴とするカラーフィルタのフィルタエレメント
    列内の着色ムラを低減する方法。
  48. 【請求項４８】 前記インクジェットヘッドは、熱エネ
    ルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イ
    ンクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギ
    ー発生体を備えていることを特徴とする請求項４７に記
    載のカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ム
    ラを低減する方法。
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