CN100455439C - 图案形成方法、液滴喷头、滤色器基板、电光学装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供：提高图案形状的均匀性而提高了生产率的图案形成方法、液滴喷头、图案形成装置、滤色器基板的制造方法、滤色器基板、电光学装置的制造方法和电光学装置。设置了对每一个液滴喷头副与由头振幅值和头的频率fh构成的振动的振动部，各个喷出对象喷嘴(Rj)进入到对应红色着色层形成区域上时，用该振动部使液滴喷头振动。并且，喷出对象喷嘴(Rj)的中心位置对峙所对应的红色着色层形成区域的喷出区域(Sj)期间，从该喷出对象喷嘴(Rj)喷出微小液滴(Ds)，形成红色着色层。

Description

图案形成方法、液滴喷头、滤色器基板、电光学装置

技术领域

本发明涉及：图案形成方法、液滴喷头、图案形成装置、滤色器基板的制造方法、滤色器基板、电光学装置的制造方法和电光学装置。

背景技术

以往，安装在液晶显示装置的滤色器基板的制造方法，是利用：向基板的图案形成区域喷出各种颜色的着色层形成材料溶液，并通过使其溶液干燥而形成着色层的液相工艺。其中，其液相工艺中的喷墨法是作为微小液滴喷出所述溶液，所以和其他的液相工艺(例如，旋转涂布法或配合法)相比可以形成更微细的着色层(图案)。

利用于其喷墨法的液滴喷出装置一般具备：以所定节宽排列成列状的、具有多个喷嘴的液滴喷头。并且，液滴喷出装置，在该液滴喷头的喷出方向一侧，布置具备像素形成区域的基板，在一个方向上扫描该基板以从位于各个像素形成区域正上方的喷嘴喷出微小液滴。由此，在基板上的全像素形成区域可以形成由微小液滴所构成的液滴，从而可以形成微细的着色层。

但是，形成在每一个像素形成区域的着色层的形状，依存于形成在每一个像素形成区域的液滴的形状即每一个像素形成区域正上方的喷嘴的布置位置。因此，为了形成均匀形状(均匀的膜厚)的着色层，必须均匀布置位于每一个像素形成区域扫描路线上的喷嘴。

因此，在喷墨法中，从以往就有在每一个像素形成区域扫描路线上均匀布置喷嘴的提案(例如，专利文献1)。在专利文献1中，相对于基板的扫描方向倾斜可能地布置液滴喷头(喷嘴列)，使从该扫描方向看喷嘴的节宽相对应于像素形成区域的节宽。由此，在每一个像素形成区域的扫描路线上可以均匀布置喷嘴，可以形成均匀形状的着色层。

[专利文献1]特开2002-273868号公报

然而，为了正确对准喷嘴对像素形成区域的相对位置，需要进行例如，要求μm级精度的高精度的位置调整作业。并且，用多个液滴喷头形成液滴的情况下，对每一个液滴喷头必须实施这样的高精度的位置调整作业。其结果，在专利文献1中，通过使液滴喷头(喷嘴列)倾斜的位置调整作业，大大降低液滴喷出装置的动作时间，而成为降低滤色器的生产率的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，其目的在于，提供：提高图案形状的均匀性而提高生产率的图案形成方法、液滴喷头、图案形成装置、滤色器基板的制造方法、滤色器基板、电光学装置的制造方法和电光学装置。

本发明的图案形成方法，是在一个方向上扫描在一个侧面上具备图案形成区域的基板，从具备液滴喷嘴的液滴喷头向所述图案形成区域喷出包含图案形成材料的液滴，以在所述图案形成区域形成图案的图案形成方法，其中，使所述液滴喷头相对于所述一个侧面、沿不同于所述一个方向的方向作相对振动，使所述液滴喷嘴对峙所述图案形成区域时，从所述液滴喷嘴喷出所述液滴，通过使所述基板在不同于所述一个方向的方向作振动，对所述一个侧面使所述液滴喷头作相对振动。

根据本发明的图案形成方法，只是与液滴喷头相对于基板一个侧面的相对振动的量相应地，可以扩大液滴喷嘴相对于图案形成区域的相对移动范围，并在其已扩大的相对移动范围内可以喷出液滴。从而，只是与扩大相对移动范围的量相应地，对图案形成区域可以均匀喷出液滴。其结果，可以提高形成在图案形成区域的图案形状的均匀性，可以提高图案的生产率。

根据该图案形成方法，只是与液滴喷头振动的量相应地，可以扩大液滴喷嘴的相对于图案形成区域的相对移动范围，可以在其已扩大的相对移动范围中喷出液滴。

在该图案形成方法中，通过使所述基板、沿不同于所述一个方向的方向作相对振动，相对所述一个侧面、使所述液滴喷头作相对振动。

根据该图案形成方法，只是与基板振动的量相应地，可以扩大液滴喷嘴相对于图案形成区域的相对移动范围，可以在其已扩大的相对移动范围中喷出液滴。

在该图案形成方法中，通过使所述基板、沿不同于所述一个方向的方向作相对振动，相对所述一个侧面、使所述液滴喷头作相对振动。

根据该图案形成方法，只是与基板振动的量相应地，可以扩大液滴喷嘴相对于图案形成区域的相对移动范围，可以在其已扩大的相对移动范围中喷出液滴。

在该图案形成方法中，相对于所述一个侧面，使所述液滴喷头在所述一个侧面内正交于所述一个方向的方向作相对振动。

根据该图案形成方法，只是与液滴喷头向正交于扫描基板方向的方向作相对振动的量相应地，还可以扩大液滴喷嘴相对于图案形成区域的相对移动范围。从而，还能提高形成在图案形成区域的图案形状的均匀性，可以提高图案的生产率。

在该图案形成方法中，对形成在所述一个侧面的多个所述图案形成区域，以使从所述液滴喷嘴喷出的液滴的总量相等地、从所述液滴喷嘴喷出液滴。

根据该图案形成方法，对每一个图案形成区域可以均匀喷出其总量相等的液滴。从而，更能提高形成在图案形成区域的图案形状的均匀性，可以提高图案的生产率。

在该图案形成方法中，通过调整所述液滴喷嘴的喷出液滴的至少重量或数量的任意一方，以使从所述液滴喷嘴对多个所述图案形成区域喷出的液滴总量相等。

根据该图案形成方法，至少调整重量或数量的任意一方而对每一个图案形成区域喷出液滴，以均匀喷出相等总量的液滴。从而，更能提高形成在图案形成区域的图案形状的均匀性，可以提高图案的生产率。

在该图案形成方法中，当所述液滴喷嘴位于从所述图案形成区域的沿着所述一个方向的中心线距离比所定距离短的位置时，从所述液滴喷嘴喷出所述液滴。

根据该图案形成方法，可以可靠地把液滴喷在沿着图案形成区域的一个方向的中心线附近，并使已经喷出的液滴从该中心线附近湿润扩展的方式，可以确实避免图案形成区域内的液滴的偏倚。

本发明的液滴喷头，具备了在一个方向上扫描的基板的图案形成区域喷出包含图案形成材料的液滴的液滴喷嘴，其中还具备了使所述液滴喷嘴沿不同于所述一个方向作振动的振动机构。

根据本发明的液滴喷头，用振动机构、只是与扩大液滴喷嘴对基板的相对移动范围的量相应地，可以对图案形成区域均匀喷出液滴。其结果，能提高形成在图案形成区域的图案形状的均匀性，可以提高图案的生产率。

本发明的图案形成装置具备：扫描机构和液滴喷头，所述扫描机构在一个方向上扫描在一个侧面上具有图案形成区域的基板；所述液滴喷头具有将包含图案形成材料的液滴向所述图案形成区域喷出的液滴喷嘴；所述图案形成装置还具备：振动机构，其相对于所述一个侧面、使所述液滴喷头沿不同于所述一个方向的方向作相对振动，通过使所述基板在不同于所述一个方向的方向作振动，对所述一个侧面使所述液滴喷头作相对振动；和控制机构，其当所述液滴喷嘴对峙所述图案形成区域时，以喷出所述液滴的方式控制驱动所述液滴喷嘴。

根据本发明的图案形成装置，用振动机构、只是与扩大液滴喷嘴相对于图案形成区域的相对移动范围的量相应地，通过控制机构可以均匀喷出液滴。其结果，能提高形成在图案形成区域的图案形状的均匀性，可以提高图案的生产率。

在该图案形成装置中，所述振动机构是：接近所述液滴喷头，是对所述液滴喷头付与所定振动的振动部。

根据该图案形成装置，只是与振动部使液滴喷头振动的量相应地，可以扩大液滴喷嘴的相对于图案形成区域的相对移动范围，在其已扩大的相对移动范围中，可以喷出液滴。

本发明的滤色器的制造方法，是在一个方向上扫描在一个侧面上具备着色层形成区域的基板，从具有液滴喷嘴的液滴喷头向所述着色层形成区域喷出包含着色层形成材料的液滴，以形成着色层的滤色器基板制造方法，其中通过上述的图案形成方法来形成所述着色层。

根据本发明的滤色器的制造方法，提高着色层形状的均匀性而可以提高滤色器的生产率。

本发明的滤色器基板是通过上述的滤色器基板的制造方法来制造的。

根据本发明的滤色器，提高着色层形状的均匀性而可以提高滤色器基板的生产率。

本发明的电光学装置，是在元件基板与对向基板之间具有电光学物质的电光学装置，其中，所述对向基板是上述的滤色器基板。

根据本发明的电光学装置，提高了着色层的均匀性而可以提高电光学装置的生产率。

本发明的电光学装置的制造方法，是在一个方向上扫描在一个侧面上具备发光元件形成区域的基板，从具备液滴喷嘴的液滴喷头向所述发光元件形成区域喷出包含发光元件形成材料的液滴，在所述发光元件形成区域，以形成发光元件而制造电光学装置制造方法，其中通过上述的图案形成方法来形成所述发光元件。

根据本发明的电光学装置的制造方法，提高发光元件形状的均匀性而可以提高电光学装置的生产率。

本发明的电光学装置是通过电光学装置的制造方法来制造的。

根据本发明的电光学装置，提高发光元件形状的均匀性而可以提高电光学装置的生产率。

附图说明

图1是使本发明具体化的第一实施方式的液滴喷出装置的立体图。

图2是该第一实施方式的液滴喷头的立体图。

图3是该第一实施方式的液滴喷头的立体图。

图4是该第一实施方式的液滴喷头的截面图。

图5是该第一实施方式的液滴喷头的截面图。

图6是该第一实施方式的滤色器的立体图。

图7是该第一实施方式的滤色器的截面图。

图8是表示该第一实施方式的液滴喷出装置的电构成的框图。

图9是说明该第一实施方式的液滴喷出装置的液滴喷出动作的说明图。

图10是说明该第一实施方式的液滴喷出装置的液滴喷出动作的说明图。

图11是该第一实施方式的滤色器的截面图。

图12是使本发明具体化的第一实施方式的液晶显示装置的立体图。图中：10-作为图案形成装置的液滴喷出装置，13-构成扫描机构的台架，26-作为振动机构的振动部，30-作为对向基板的滤色器基板，31-作为基板的透明基板，31a-作为图案形成面的滤波器形成面，32-遮光层，50-作为电光学装置的液晶显示装置，53-元件基板，B-构成液滴喷嘴的蓝色用喷嘴，Ds-微小液滴，G-构成液滴喷嘴的绿色用喷嘴，H-液滴喷头，Lr1～Lrn-作为着色层的红色着色层，Lg1～Lgn-作为着色层的绿色着色层，Lb1～Lbn-作为着色层的蓝色着色层，R-构成液滴喷嘴的红色用喷嘴，S-作为图案形成区域的着色层形成区域。

具体实施方式

(第一实施方式)

下面，结合附图说明，使本发明具体化的第一实施方式。图1是作为图案形成装置的液滴喷出装置构成的立体图。

如图1所示，液滴喷出装置10备有以长方体形状形成的底座11。在本实施方式中，把该底座11的纵长方向作为Y方向，正交于该Y方向的方向作为X方向。

在底座11的上表面11a上，横跨Y方向全幅形成有沿Y方向延伸的一对的导向凹槽12a、12b。在其底座11的上侧，安装有构成扫描机构的台架13，该扫描机构具备了对应于导向凹槽12a、12b的省略图示的直接传动机构。其台架13的直接传动机构，是具备了沿着导向凹槽12a、12b沿Y方向延伸的螺杆轴(驱动轴)和螺纹配合在该螺杆轴的球螺母的直接传动机构；其驱动轴联接在接收所定的脉冲信号以级单位而正、反转的Y轴电动机M1(参照图8)上。并且，如果对应所定的级数的驱动信号输入在Y轴电动机M1，则Y轴电动机M1正转或反转，以与级数相应的量，使台架13沿着Y方向以所定速度(扫描速度V)前进运动或后退运动。另外，在本实施方式中，台架13布置在导向凹槽12a、12b(底座11)的最前面的位置(图11的实线位置)作为前进运动位置，布置在该导向凹槽12a、12b(底座11)的最里侧的位置(图11的虚线位置)作为后退运动位置。

在其台架13的上表面，形成载置面14，在其载置面14上设有省略图示的吸引式基板夹紧机构。并且，如果在载置面14上载置后面叙述的作为基板的透明基板31(滤色器基板30)，则用所述基板夹紧机构在载置面14的所定位置，以定位固定其滤色器基板30。

在底座11的X方向两侧，竖立设置一对的支持台15a、15b，在其一对的支持台15a、15b上，架设有沿X方向延伸的导向部件16。导向部件16形成为，其纵长方向的宽度长于台架13的X方向的宽度，并布置成其一端突出在支持台15a的一侧。

在导向部件16的上侧，布置了容纳箱16a，其供给可能地容纳后面叙述的功能液L(参照图4)。另一方面，在其导向部件16的下侧，横跨X方向全宽上突出设有：沿X方向延伸的上、下一对的导向轨道17a、17b。在该导向轨道17a、17b上，安装有载架18，该载架18具备：对应该导向轨道17a、17b的省略图示的直接传动机构。

载架18是形成为长方体形状，其纵长方向(X方向)的宽度稍微长于台架13的X方向宽度。其载架(carriage)18的直接传动机构是具备了沿着导向轨道17a、17b沿X方向延伸的螺杆轴(驱动轴)、和螺纹配合在该螺杆轴的球螺母的直接传动机构；其驱动轴联接在接收所定的脉冲信号以级单位正、反转的X轴电动机M2上(参照图8)。并且，如果将对应所定的级数的驱动信号输入在X轴电动机M2，则X轴电动机M2正转或反转，载架18，只是与级数相对的量相应地，沿X方向进行前进运动或后退运动(X方向扫描)。另外，在本实施方式中，载架18布置在导向轨道17a、17b的支持台15a一侧的位置(图1的实线位置)作为前进运动位置，布置在该导向轨道17a、17b的最支持台15b的位置(图1的双点划线的位置)作为后退运动位置。

如图2所示，在载架18下表面(台架13一侧的面：头布置面18a)，沿着X方向布置多个液滴喷头H。其液滴喷头H，从头布置面18a的X方向左侧(载架18的前进运动位置)按顺序排列了第一液滴喷头H1、第二液滴喷头H2、......、第m液滴喷头Hm。

如图4所示，在每一个液滴喷头H的下侧，分别备有喷嘴板21。在其喷嘴板21的下表面(台架13一侧的面：喷嘴形成面21a)，形成了向上方开口的180个的连通孔(构成液滴喷嘴的红色用喷嘴R)。其红色用喷嘴R是从喷嘴形成面21aX方向左侧(载架18的前进运动位置一侧)按顺序、以所定节宽(喷嘴节宽Wn)排列了第一红色用喷嘴R1、第二红色用喷嘴R2、......、第180红色用喷嘴R180。另外，在本实施方式的所述喷嘴节宽Wn是35.278μm。

并且，如图3所示，通过使这些红色用喷嘴R排列在X方向，在喷嘴形成面21a上形成了沿着X方向的红色用喷嘴列Rr。另外，在喷嘴形成面21a的、该红色用喷嘴列Rr的Y方向里侧(台架13的后退运动位置一侧)，和红色用喷嘴R同样，形成了构成180个液滴喷嘴的绿色用喷嘴G(第一绿色用喷嘴G1、第二绿色用喷嘴G2、......、第180绿色用喷嘴G180)，由该绿色用喷嘴G形成了绿色用喷嘴列Gr。并且，在喷嘴形成面21a的、该绿色用喷嘴列Gr的Y方向里侧(台架13的后退运动位置一侧)，和红色用喷嘴R和绿色用喷嘴G同样，形成了构成180个液滴喷嘴的蓝色用喷嘴B(第一蓝色用喷嘴B1、第二蓝色用喷嘴B2、......、第180蓝色用喷嘴B180)，由该蓝色用喷嘴B形成了蓝色用喷嘴列Br。

总之，在每一个液滴喷头H的喷嘴形成面21a上，从Y方向前面一侧，按顺序形成了由180个红色用喷嘴R所构成的红色用喷嘴列Rr、由180个绿色用喷嘴G所构成的绿色用喷嘴列Gr和由180个蓝色用喷嘴B所构成的蓝色用喷嘴列Br。

如图4所示，在喷嘴板21上侧的、与红色用喷嘴R(绿色用喷嘴G、蓝色用喷嘴B)相对的位置上，形成了与所述容纳箱16a连通并把容纳箱16a的功能液L分别向对应的各个颜色用喷嘴R、G、B内供给可能的空腔23。在空腔23的上侧，布置了上下方向振动而扩大、缩小空腔23内容积的振动板24和上下方向伸缩而使振动板24振动的压电元件25。

于是，如果液滴喷头H接收了用于驱动控制压电元件25的喷嘴驱动控制信号，则压电元件25伸张而使空腔23内的容积缩小，从对应的每一个颜色用喷嘴R、G、B喷出被缩小容积部分(份)的作为微小液滴Ds的功能液L。

另外，向每一个空腔23供给用于形成各自对应颜色的着色层(红色着色层Lr1～Lrn(参照图11)、绿色着色层Lg1～Lgn(参照图11)、蓝色着色层Lb1～Lbn(参照图11))的、包含着色层形成材料的作为图案形成材料的功能液L。并且，从每一个喷嘴R、G、B分别喷出；包含对应颜色着色层材料的功能液L的微小液滴Ds。即，从红色用喷嘴R喷出其包含红色着色层形成材料的功能液L，从绿色用喷嘴G喷出其包含绿色着色层形成材料的功能液L，从蓝色用喷嘴B喷出其包含蓝色着色层形成材料的功能液L。

如图2所示，在每一个液滴喷头H的X方向右侧(载架18的后退运动位置一侧)，布置了作为振动机构的振动部26。振动部26具备了在其内部以所定振幅(头振幅值A)和所定频率(头的频率fh)振动的振动器(例如，磁力歪斜振动器)，使对应的液滴喷头H沿着X方向以其头振幅值A和头的频率fh往复运动(振动)。

于是，如果振动部26接收用于使液滴喷头H振动的振动部驱动控制信号，则振动部26将由头振幅值A和头的频率fh所构成的X方向的振动付与液滴喷头H。如果这样，如图5所示，从每一个颜色用喷嘴R、G、B喷出的微小液滴Ds，从喷出时的液滴喷头H(喷嘴R、G、B)的变位量相应地，向X方向被变位的位置而喷出。即，微小液滴Ds的喷中位置是以每一个颜色用喷嘴R、G、B不振动的状态(静止状态：图5的实线位置)为基准，在头振幅值A范围内向X方向变位。

如图1所示，在台架13的载置面14上，载置了作为对向基板的滤色器基板30。图6是表示滤色器基板30的立体图，图7是图6的沿着B-B线的截面图。

如图6所示，载滤色器基板30上备有由无碱玻璃构成的四边形状的透明基板31。如图7所示，在其透明基板31的一个侧面的液滴喷头H一侧的侧面(滤波器形成面31a)上，层叠有遮光层32。遮光层32由包含铬或碳黑等的遮光性材料的树脂所形成，形成为X方向和Y方向交叉的格子状。在其遮光层32的上层形成了疏水层33。疏水层33是由对所述功能液L的微小液滴Ds疏液的氟素类树脂所形成。

并且，由这些遮光层32和疏水层33形成X方向和Y方向上交叉的格子状的隔壁层34。如图6所示，由该格子状的隔壁层34，在滤波器形成面31a的几乎全面上划区形成：用于形成红色着色层Lr1～Lrn(参照图11)的红色着色层形成区域Sr1～Srn、用于形成绿色着色层Lg1～Lgn(参照图11)的绿色着色层形成区域Sg1～Sgn、用于形成蓝色着色层Lb1～Lbn(参照图11)的蓝色着色层形成区域Sb1～Sbn所构成的作为图案形成区域的着色层形成区域S。

如图6所示，着色层形成区域S，其X方向的节宽是以着色层节宽Wc来形成。其着色层形成区域S，从滤波器形成面31a的X方向左侧按顺序排列着第一红色着色层形成区域Sr1、第一绿色着色层形成区域Sg1、第一蓝色着色层形成区域Sb1、......第n红色着色层形成区域Srn、第n绿色着色层形成区域Sgn、第n蓝色着色层形成区域Sbn。另外，本实施方式的着色层节宽Wc形成为42.000μm，即大于所述喷嘴节宽Wn(35.278μm)。

下面，说明上述的液滴喷出装置10的电构成。图8是表示液滴喷出装置10的电构成的框图。

如图8所示，液滴喷出装置10备有作为控制机构的控制部41。控制部41具备由CPU所构成的运算部41a、ROM或RAM等所构成的存储部41b，并执行：从每一个颜色用喷嘴R、G、B用于喷出微小液滴Ds的处理动作(液滴喷出动作)。

运算部41a，参照为了喷出微小液滴Ds而预先设定的位图数据，对各种驱动电路输出所对应的各种驱动控制信号(例如，所述喷嘴驱动控制信号或所述振动部驱动控制信号等)。

存储部41b存储液滴喷出动作所必要的各种程序和各种数据。例如，

存储部41b存储用于喷出微小液滴Ds的程序。并且，存储部41b还存储所述位图数据、头振幅值A、头的频率fh和台架13的扫描速度V。并且，存储部41b还存储，用于使微小液滴Ds的重量变为所要重量的压电元件25的驱动电压。

另外，在本实施方式中，虽然设这些头振幅值A为30μm、头的频率fh为200Hz、台架13的扫描速度V为200mm/秒、在微小液滴Ds的重量为1.9～2.7ng的范围内、按每0.1ng能够设定，但不限于这些值。

其控制部41电连接在输入部42上，并根据从该输入部42所输入的各种操作信号来执行各种处理动作。

控制部41电连接在X轴电动机驱动电路43上，以对X轴电动机驱动电路43输出X轴电动机驱动控制信号。X轴电动机驱动电路43应答其来自控制部41的X轴电动机驱动控制信号，使所述X轴电动机M2正转或反转，以控制载架18的往复运动。

控制部41电连接在Y轴电动机驱动电路44，参照所述扫描速度V(200mm/秒)，以对该Y轴电动机驱动电路44输出Y轴电动机驱动控制信号。Y轴电动机驱动电路44应答来自控制部41的Y轴电动机驱动控制信号，使Y轴电动机M1正转或反转，以使控制台架13的往复运动控制为扫描速度V。

控制部41电连接在头驱动电路45，参照所定的重量相对应的压电元件25的驱动电压，生成所定的频率(喷出频率fn、在本实施方式中为10kHz)的驱动控制信号，以对所述头驱动电路45输出该驱动控制信号。头驱动电路45应答来自控制部41的喷嘴驱动控制信号，驱动控制所对应的每一个颜色用喷嘴R、G、B的压电元件25，以喷出频率fn，从对应的每一个颜色用喷嘴R、G、B向滤波器形成面31a喷出对应于该喷嘴驱动控制信号的重量的微小液滴Ds。

控制部41电连接在振动部驱动电路46，参照所述头振幅值A(30μm)和头的频率fh(200Hz)，生成振动部驱动控制信号，以对所述振动部驱动电路46输出该振动部驱动控制信号。振动部驱动电路46应答来自控制部41的振动部驱动控制信号，以所述头振幅值A和头的频率fh，使对应的振动部26作振动。

接着，说明用上述的液滴喷出装置10对每一个着色层形成区域S喷出微小液滴Ds的液滴喷出动作。另外，对绿色着色层形成区域Sg1～Sgn和蓝色着色层形成区域Sb1～Sbn的液滴喷出动作是和对红色着色层形成区域Sr1～Srn液滴喷出动作近似同样方法来进行，所以为了说明的方便，在下面主要对红色着色层形成区域Sr的液滴喷出动作进行说明。图9和图10是说明液滴喷出装置10的液滴喷出动作的说明图。

如图1所示，现在液滴喷出装置10是载置滤色器基板30的台架13和载架18分别布置在位于前进运动位置的状态。

在此，如果从输入部42输入了为进行液滴喷出动作的操作信号，则控制部41从其存储部41b读出液滴喷出程序和位图数据，执行该液滴喷出程序。

即控制部41首先输出X轴电动机驱动控制信号，通过X轴电动机驱动电路43使载架18从前进运动位置作前进运动。于是，如图9所示，控制部41使第一液滴喷头H1的第一红色用喷嘴R1的中心位置布置在第一红色着色层形成区域Sr1的Y方向延长路线上(移动轨迹Obs：图9的双点划线)的、且该移动轨迹Obs的沿着Y方向的中心线(图9所示的双点划线)上。

此时，着色层节宽Wc(42.000μm)形成为不是喷嘴节宽Wn(35.275μm)的整数倍，所以在第二～第n红色着色层形成区域Sr2～Srn的移动轨迹Obs上，从各自移动轨迹Obs的省略图示的中心线偏倚而布置对应的红色用喷嘴R。例如，如图9所示，在第二红色着色层形成区域Sr2的移动轨迹Obs上，对应的第五红色用喷嘴R5偏倚而布置在该第二红色着色层形成区域Sr2的X方向的右侧。而且，在第三红色着色层形成区域Sr3的移动轨迹Obs上，对应的第八红色用喷嘴R8偏倚而布置在该第三红色着色层形成区域Sr3的X方向的左侧。

另外，在本实施方式中，处于这些静止状态下，位于各个红色着色层形成区域Sr1～Srn的移动轨迹Obs上的各个红色用喷嘴R(例如，图9的第一红色用喷嘴R1、第五红色用喷嘴R5、第八红色用喷嘴R8、第十二红色用喷嘴R12)作为喷出对象喷嘴Rj。

第一红色用喷嘴R1的中心位置如果布置在第一红色着色层形成区域Sr1的移动轨迹Obs的中心线上，则控制部41输出Y轴电动机驱动控制信号，Y轴电动机驱动电路44使台架13从前进运动位置以扫描速度V(200mm/秒)前进运动。即，控制部41使静止状态的各个喷出对象喷嘴Rj，向对应的红色着色层形成区域Sr1～Srn以扫描速度V(200mm/秒)相对移动。

并且，如果相对移动的喷出对象喷嘴Rj进入到对应的红色着色层形成区域Sr1～Srn，则控制部41输出振动部驱动控制信号，振动部驱动电路46使各个振动部26作振动。即，控制部41对各个液滴喷头H付与在X方向振幅为头振幅值A(30μm)、频率为头的频率fh(200Hz)的振动。

如果这样，如图9所示，通过台架13的Y方向的相对移动和由于振动部26的X方向的振动，原来静止状态的喷出对象喷嘴Rj的中心位置在各个红色着色层形成区域Sr1～Srn上，沿着正弦波状的路线(喷嘴移动轨迹Obs)相对移动。

另外，每一个喷出对象喷嘴Rj的喷嘴移动轨迹Obn是振幅为头振幅值A(30μm)、波长为扫描速度V/头的频率fh所构成的正弦波状的路径。并且，每一个喷出对象喷嘴Rj以着色层节宽Wc(42.000μm)的一半以上的头振幅值A(30μm)来振动，所以本实施方式的喷嘴移动轨迹Obn是绘出：每一个喷出对象喷嘴Rj的中心位置重复出入对应的红色着色层形成区域Sr1～Srn上的轨道。例如，如图9所示，第一红色用喷嘴R1重复：从第一红色着色层形成区域Sr1上向邻接的第一绿色着色层形成区域Sg1出入。第五红色用喷嘴R5重复：从第二红色着色层形成区域Sr2上向邻接的第二绿色着色层形成区域Sg2出入。第八红色用喷嘴R8重复：从第三红色着色层形成区域Sr3上向邻接的第二蓝色着色层形成区域Sb2出入。

并且，每一个喷出对象喷嘴Rj沿着喷嘴移动轨迹Obn相对移动期间，控制部41通过头驱动电路45对该喷出对象喷嘴Rj的压电元件25以如下的时间输出喷嘴驱动控制信号。

即，如图10所示，喷出对象喷嘴Rj的中心位置离开对应红色着色层形成区域Sr1～Srn的中心线距离短于所定距离位置时，控制部41输出喷出频率fn(10kHz)的喷嘴驱动控制信号。如果详细叙述的话，喷出对象喷嘴Rj对峙于以红色着色层形成区域Sr1～Srn的中心线为中心的所定宽度(喷出允许宽度Ws)所形成的区域(喷出区域Sj)期间，对该喷出对象喷嘴Rj的压电元件25输出喷嘴驱动控制信号。另外，在本实施方式中，所述喷出允许宽度Ws为20μm。

例如，如图10所示，第一红色用喷嘴R1的情况下，该第一红色用喷嘴R1的中心位置进入第一红色着色层形成区域Sr1的上的同时，也进入喷出区域Sj上。因此，控制部41以在第一红色用喷嘴R1的中心位置进入第一红色着色层形成区域Sr1上的定时，使微小液滴Ds开始喷出。以后，同样地，控制部41只是在第一红色用喷嘴R1对峙喷出区域Sj期间，以喷出频率fn(10kHz)使微小液滴Ds喷出。

另一方面，第五红色用喷嘴R5的情况下，第五红色用喷嘴R5进入第二红色着色层形成区域Sr2上时，其中心位置位于：该第二红色着色层形成区域Sr2的X方向右侧端部的喷出区域Sj之外。因此，控制部41，以在第五红色用喷嘴R5的中心位置一旦偏离第二红色着色层形成区域Sr2上、再度进入第二红色着色层形成区域Sr2(喷出区域Sj)上的定时，使微小液滴Ds开始喷出。然后，和第一红色用喷嘴R1同样，控制部41只是在第五红色用喷嘴R5对峙喷出区域Sj期间，以喷出频率fn(10kHz)使微小液滴Ds喷出。

由此，在每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn内，只是与对照喷嘴Rj振动的量相应地均匀喷出微小液滴Ds。并且，喷在喷出区域Sj内的微小液滴Ds不会湿润邻接的绿色着色层形成区域Sg1～Sgn或蓝色着色层形成区域Sb1～Sbn，而可靠地容纳在所对应的红色着色层形成区域Sr1～Srn内。

并且，在该期间，控制部41通过头驱动电路45，对每一个喷出对象喷嘴Rj的压电元件25，以如下的重量设定来输出用于喷出微小液滴Ds的喷嘴驱动控制信号。即，控制部41以每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn喷出的微小液滴Ds总量(总重量)相等的重量设定来输出喷嘴驱动控制信号。

如果详细叙述，则如图10所示，在第一红色着色层形成区域Sr1能够喷出36滴的微小液滴Ds，控制部41对该第一红色着色层形成区域Sr1输出：用于喷出1滴为2.1ng的微小液滴Ds的喷嘴驱动控制信号。由此，在第一红色着色层形成区域Sr1喷出其总重量为75.6ng的功能液L。

另一方面，如图10所示，在第二红色着色层形成区域Sr2能够喷出30滴的微小液滴Ds，控制部41对该第二红色着色层形成区域Sr2输出：用于喷出1滴为2.5ng的微小液滴Ds的喷嘴驱动控制信号。从而，在第二红色着色层形成区域Sr2喷出其总重量为近似相同于第一红色着色层形成区域Sr1的75.0ng的功能液L。然后，控制部41对其他的红色着色层形成区域Sr3～Srn也同样，以其总重量近似相等的重量设定来输出喷嘴驱动控制信号。

由此，在每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn内，均匀容纳其总重量相等的功能液L。

然后，同样地，控制部41对每一个喷出对象喷嘴Rj输出分别对应的喷嘴驱动控制信号，在红色着色层形成区域Sr1～Srn内均匀容纳其总重量相等的功能液L。此时，控制部41和上述的红色着色层形成区域Sr1～Srn同样，在绿色着色层形成区域Sg1～Sgn和蓝色着色层形成区域Sb1～Sbn均匀容纳其总重量相等的各自对应的功能液L。

然后，干燥每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn内容纳的功能液L，而固化该功能液L所包含的红色着色层形成材料的方法，如图11所示，在每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn内形成各自对应的红色着色层Lr1～Lrn。

从而，在每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn内，可以形成：均匀容纳总重量相等的功能液L相应的、各自呈现均匀形状的红色着色层Lr1～Lrn。同样，在每一个绿色着色层形成区域Sg1～Sgn和每一个蓝色着色层形成区域Sb1～Sbn内，也可以形成，呈现均匀形状的绿色着色层Lg1～Lgn和蓝色着色层Lb1～Lbn(参照图11)。

如果在各个颜色的着色层形成区域S内形成均匀形状的着色层Lr1～Lrn、Lg1～Lgn、Lb1～Lbn，则在该着色层上层，形成由ITO等透明导电膜构成的对向电极层48，在对向电极层48上，按顺序层叠由研磨处理等来实施取向处理的取向膜49。由此，可以制造出具备均匀形状着色层的滤色器基板30。

接着，在下面记载如上所述构成的第一实施方式的效果。

(1)根据上述的第一实施方式，在每一个液滴喷头H上设置付与头振幅值A和头的频率fh来振动的振动部26，当每一个喷出对象喷嘴Rj进入所对应的红色着色层形成区域Sr1～Srn上时，由于该振动部26的振动，使液滴喷头H作振动。并且，喷出对象喷嘴Rj的中心位置对峙对应的红色着色层形成区域Sr1～Srn的喷出区域Sj期间，以使从该喷出对象喷嘴Rj喷出微小液滴Ds，而形成红色着色层Lr1～Lrn。另外，对绿色着色层形成区域Sg1～Sgn和蓝色着色层形成区域Sb1～Sbn也和红色着色层Lr1～Lrn同样构成，以分别形成绿色着色层Lg1～Lgn和蓝色着色层Lb1～Lbn。

从而，液滴喷头H振动的量相应地，可以扩大对每一个着色层形成区域S的红色用喷嘴R、绿色用喷嘴G和蓝色用喷嘴B的相对移动范围，只是与扩大其移动范围量相应地，在每一个着色层形成区域S上可以均匀喷出微小液滴Ds。其结果，在每一个着色层形成区域S上可以均匀形成每一个着色层Lr1～Lrn、Lg1～Lgn、Lb1～Lbn。从而，可以提高滤色器基板30的生产率。

(2)另外，喷出对象喷嘴Rj的中心位置对峙喷出区域Sj期间，喷出微小液滴Ds，所以，可以使已经喷出的微小液滴Ds从每一个着色层形成区域S的中心线附近均匀湿润扩展。并且，使其已经喷出的微小液滴Ds不会泄漏在邻接的其他着色层形成区域S，而可以可靠地容纳在对应的着色层形成区域S内。从而，在每一个着色层形成区域S可以均匀容纳功能液L，更均匀形成每一个着色层形状。进而，可以提高滤色器基板30的生产率。

(3)根据上述的第一实施方式，调整每一个喷出对象喷嘴Rj喷出的微小液滴Ds的重量以便喷在每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn的微小液滴Ds的总量(总重量)相等。从而，在每一个红色着色层形成区域Sr1～Srn内，可以容纳总重量相等的功能液L，可以使每一个着色层Lr1～Lrn、Lg1～Lgn、Lb1～Lbn的形状更均匀。

(第二实施方式)

下面，结合图12说明，具备上述的滤色器基板30的作为电光学装置的液晶显示装置50。图12是液晶显示装置50的立体图。在图12中，液晶显示装置50备有液晶显示面板51和向该液晶显示面板51照明平面状光L1的照明装置52。

照明装置52备有：LED等的光源52a；使从该光源52a射出的光透过之后，作为平面状的光，向液晶显示面板51照射的导光体52b。另外，液晶显示面板51在其照明装置52一侧和该照明装置52上，分别具有四边形状的元件基板53、和用第一实施方式制造的滤色器基板30。

元件基板53是比透明基板31稍微大的尺寸形成的无碱玻璃基板，在其滤色器基板30一侧的面(元件形成面53a)上，在X方向隔所定间隔形成有多个扫描线54。每一个扫描线54电连接在各自元件基板53一侧端布置的扫描线驱动电路58上。扫描线驱动电路58根据省略图示的控制电路所供给的扫描控制信号，以所定定时，从多个扫描线54中选择驱动所定的扫描线54，向扫描线54输出扫描信号。另外，在元件形成面53a上，形成有隔所定间隔沿正交于Y方向延伸的多个数据线56。每一个数据线56电连接在各自元件基板53的一侧端布置的数据线驱动电路55。数据线驱动电路55根据省略图示的外部装置所供给的显示数据，生成数据信号，以所定的定时，向对应的数据线56输出其数据信号。

在这些数据线56与扫描线54交叉的位置，形成了连接在对应的数据线56和扫描线54而矩阵状排列的多个像素区域57。在其像素区域57内，形成了各自由TFT等所构成的省略图示的开关元件和ITO等的透明导电膜所构成的像素电极。即，液晶显示装置50是具备了作为开关元件的TFT的有源矩阵方式的液晶显示装置。

这些元件基板53和所述滤色器基板30，使该元件基板53的各个像素电极和滤色器基板30的每一个着色层(红色着色层Lr1～Lrn、绿色着色层Lg1～Lgn、蓝色着色层Lb1～Lbn)互相对向，用四边框状的密封材料59来粘合的。并且，在这些元件基板53与所述滤色器基板30之间的间隙里封入了省略图示的作为电光学物质的液晶层。

并且，如果扫描线驱动电路58根据线顺序扫描，按顺序选择一条一条扫描线54，则像素区域57的控制元件按顺序、只是在选择期间中才变为接通状态。如果控制元件变为接通状态，则从数据线驱动电路55输出的数据信号通过数据线56和控制元件，向像素电极输出。如果这样，与元件基板53的像素电极与滤色器基板30的对向电极层48的电位差相应地，液晶分子的取向状态维持为使照明装置52的照射光L1变频。并且，已经变频的光通过或不通过省略图示的偏光板而在液晶面板51上通过滤色器基板30而显示所要全色图像。

该情况下，也只是与在滤色器基板30上形成均匀的着色层的相应的量相应地，可以避免，由每一个着色层Lr1～Lrn、Lg1～Lgn、Lb1～Lbn的颜色不均匀，可以提高液晶显示装置50的生产率。

另外，上述的实施方式也可以进行如下的变更。

·在上述的第一实施方式中，采用了使液滴喷头H只向X方向振动的构成，但不限于这些，例如，也可以对X方向倾斜的方向振动。即，液滴喷头H的振动方向，除了Y方向以外、可以扩大每一个喷嘴R、G、B对着色层形成区域S的相对移动范围的方向就可以。

·在上述的第一实施方式中，采用了设置振动部26而对液滴喷头H付与振动的构成，但不限于这些，例如，也可以X轴电动机M2的反转来对液滴喷头H付与振动的构成。根据这样构成，不设振动部26和振动部驱动电路46，也可以制造出着色层形状均匀的滤色器基板30。

·在上述的第一实施方式中，采用了使液滴喷头H相对于透明基板31作振动的构成，但不限于这些，也可以使台架13相对于液滴喷头H在不同于Y方向的方向振动的构成。

·在上述的第一实施方式中，采用了通过微小液滴Ds的重量设定来使每一个着色层形成区域S内的功能液L的总量(总重量)均匀的构成。但不限于这些，例如，设定每一个着色层形成区域S内喷出的液滴的数量的方法，也可以使每一个着色层形成区域S内的功能液L的总量(总数量、总容量)均匀。

·在上述的第一实施方式中，采用了喷出对象喷嘴Rj只是进入所定的宽度(喷出允许宽度Ws)所形成的区域(喷出区域Sj)期间，才喷出微小液滴Ds的构成，但不限于这些，例如，也可以是只进入对应着色层形成区域S上的期间，喷出微小液滴Ds的构成。

·在上述的第一实施方式中，把图案、图案形成面和图案形成区域分别具体化为着色层、滤波器形成面31a和着色层形成区域S而制造滤色器基板30的构成。但不限于这些，其构成也可以是：把图案、图案形成面和图案形成区域分别具体化为形成在透明基板上的作为发光元件的有机电致发光元件(有机EL元件)、该透明基板的一个侧面(发光元件形成面)和发光元件形成区域，把包含发光元件形成材料的功能液喷在发光元件形成区域而形成发光元件。据此，可以制造提高发光元件形状的均匀性的、作为电光学装置的有机电致发光显示器(有机EL显示器)。或者也可以是：使这些图案和图案形成面具体化为金属配线和电路形成面而制造电路基板。

·在上述的第一实施方式中，着色层形成区域排列成带状，但不限于这些，例如，也可以是嵌镶状或三角形状，并不限定在其形状。

·在上述的第一实施方式中，采用了液滴喷头H是具备红色用喷嘴列Rr、绿色用喷嘴列Gr和蓝色用喷嘴列Br的构成，但不限于这些，也可以是具备红色用喷嘴列Rr、绿色用喷嘴列Gr和蓝色用喷嘴列Br中的任意一个的构成。

·在上述的第一实施方式中，采用了每一个喷嘴列Rr、Gr、Br是沿着X方向形成的构成，但不限于这些，也可以是相对于X方向倾斜排列的构成。据此，只是每一个喷嘴列Rr、Gr、Br倾斜量相应地，可以缩小从Y方向看的喷嘴节宽Wn，可以使喷出对象喷嘴Rj的静止状态的位置接近每一个着色层形成区域S。

·在上述的第一实施方式中，采用了驱动压电元件25来喷出微小液滴Ds，但不限于这些，例如，也可以是：电阻加热的加热方法，在空腔23内形成气泡之后，使该气泡破裂的方法来喷出微小液滴Ds。

·在上述的第二实施方式中，采用了把具有均匀形状的着色层(滤色器基板30)安装在液晶显示装置50的构成，但不限于这些，例如，也可以是装载(层叠)在有机EL显示器的构成。

·在上述的第二实施方式中，把电光学装置具体化为液晶显示装置50，但不限于这些，例如，也可以是：有机EL显示器等；或具备平面状电子发射元件，利用该元件所放出电子的荧光物质的发光的场致效果型显示器(FED或SED等)。

Claims (13)

1、一种图案形成方法，在一个方向上扫描一个侧面上具备图案形成区域的基板，从具备液滴喷嘴的液滴喷头、向所述图案形成区域喷出包含图案形成材料的液滴，以在所述图案形成区域形成图案，其特征在于：

使所述液滴喷头，相对于所述一个侧面、在不同于所述一个方向的方向作相对振动，使所述液滴喷嘴对峙所述图案形成区域时，从所述液滴喷嘴喷出所述液滴，

通过使所述基板在不同于所述一个方向的方向作振动，对所述一个侧面使所述液滴喷头作相对振动。

2、根据权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于：

通过使所述液滴喷头在不同于所述一个方向的方向作振动，对所述一个侧面使所述液滴喷头作相对振动。

3、根据权利要求1～2的任一项所述的图案形成方法，其特征在于：

对所述一个侧面，使所述液滴喷头在所述一个侧面内沿正交于所述一个方向的方向作相对振动。

4、根据权利要求3所述的图案形成方法，其特征在于：

对形成在所述一个侧面的多个所述图案形成区域，以使从所述液滴喷嘴喷出的液滴的总量相等地、从所述液滴喷嘴喷出液滴。

5、根据权利要求4所述的图案形成方法，其特征在于：

通过调整所述液滴喷嘴的喷出液滴的至少重量或数量的任意一方，以使从所述液滴喷嘴对多个所述图案形成区域喷出的液滴总量相等。

6、根据权利要求5所述的图案形成方法，其特征在于：

所述液滴喷嘴，在位于距所述图案形成区域的沿着所述一个方向的中心线的距离比规定的距离短的位置时，从所述液滴喷嘴喷出所述液滴。

7、一种图案形成装置，具备：扫描机构，其在一个方向上扫描一个侧面上具有图案形成区域的基板；和液滴喷头，其具有向所述图案形成区域喷出包含图案形成材料的液滴的液滴喷嘴，其特征在于，所述图案形成装置，还具备：

振动机构，其使所述液滴喷头相对于所述一个侧面、在不同于所述一个方向的方向作相对振动，通过使所述基板在不同于所述一个方向的方向作振动，对所述一个侧面使所述液滴喷头作相对振动；

控制机构，其当所述液滴喷嘴与所述图案形成区域对峙时，以喷出所述液滴的方式控制驱动所述液滴喷嘴。

8、根据权利要求7所述的图案形成装置，其特征在于：

所述振动机构是接近所述液滴喷头，并对所述液滴喷头付与所定振动的振动部。

9、一种滤色器基板的制造方法，在一个方向上扫描一个侧面上具有着色层形成区域的基板，从具备液滴喷嘴的液滴喷头、向所述着色层形成区域内喷出包含着色层形成材料的液滴，以在所述着色层形成区域形成着色层，其特征在于：

通过利用权利要求1～6的任一项所述的图案形成方法来制造所述着色层。

10、一种滤色器基板，其特征在于：其是通过权利要求9所述的滤色器基板的制造方法来制造的。

11、一种电光学装置，在元件基板与对向基板之间具有电光学物质层，其特征在于：

所述对向基板是在权利要求10中所述的滤色器基板。

12、一种电光学装置的制造方法，在一个方向上扫描在一个侧面上具备发光元件形成区域的基板，从具备液滴喷嘴的液滴喷头、向所述发光元件形成区域内喷出包含发光元件形成材料的液滴，以在所述发光元件形成区域形成发光元件，其特征在于：

通过所述权利要求1～6的任一项的图案形成方法来形成所述发光元件。

13一种电光学装置，其特征在于：其是通过所述权利要求12的电光学装置的制造方法来制造的。

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