JP2006198536A - パターン形成方法、液滴吐出ヘッド、パターン形成装置、カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 パターン形状の均一性を向上して生産性を向上したパターン形成方法、液滴吐出ヘッド、パターン形成装置、カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供することである。
【解決手段】 各液滴吐出ヘッドにヘッド振幅値とヘッド周波数ｆｈからなる振動を付与する振動部を設け、各吐出対象ノズルＲｊが、対応する赤色着色層形成領域上に侵入するときに、同振動部によって、液滴吐出ヘッドを振動させるようにした。そして、吐出対照ノズルＲｊの中心位置が、対応する赤色着色層形成領域の吐出領域Ｓｊと対峙する間、同吐出対照ノズルＲｊから微小液滴Ｄｓを吐出して、赤色着色層を形成するようにした。
【選択図】 図１０

Description

本発明は、パターン形成方法、液滴吐出ヘッド、パターン形成装置、カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置に関する。

従来、液晶表示装置等に装着されるカラーフィルタの製造方法には、各色の着色層形成材料の溶液を基板の画素形成領域に吐出し、その溶液を乾燥することによって着色層を形成する液相プロセスが利用されている。なかでも、その液相プロセスにおけるインクジェット法は、前記溶液を微小液滴として吐出するため、他の液相プロセス（例えば、スピンコート法やディスペンサ法）に比べ、より微細な着色層（パターン）を形成することができる。

そのインクジェット法に利用される液滴吐出装置には、一般的に、所定のピッチ幅で列状に配列された多数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが備えられている。そして、液滴吐出装置は、この液滴吐出ヘッドの吐出方向側に画素形成領域を備える基板を配置し、同基板を一方向に走査して、各画素形成領域の直上に位置するノズルから微小液滴を吐出するようにしている。これによって、基板上の全画素形成領域に微小液滴からなる液滴を形成することができ、微細な着色層を形成できる。

ところで、各画素形成領域に形成される着色層の形状は、各画素形成領域に形成する液滴の形状、すなわち各画素形成領域直上のノズルの配置位置に依存する。そのため、均一な形状（均一な膜厚）の着色層を形成するためには、各画素形成領域の走査経路上に位置するノズルを、均一に配置しなければならない。

そこで、インクジェット法では、従来より、各画素形成領域の走査経路上にノズルを均一に配置させる提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１では、基板の走査方向に対して液滴吐出ヘッド（ノズル列）を傾斜可能に配置させ、同走査方向から見たノズルのピッチ幅を画素形成領域のピッチ幅に相対させるようにしている。これによって、各画素形成領域の走査経路上に、ノズルを均一に配置させることができ、均一な形状の着色層を形成できる。
特開２００２−２７３８６８ 号公報

しかしながら、画素形成領域に対するノズルの相対位置を正確に合わせ込むためには、例えば、μｍオーダの精度が要求される高度な位置調整作業が必要となる。しかも、複数の液滴吐出ヘッドによって液滴を形成する場合には、各液滴吐出ヘッドに対して、こうした高度な位置調性作業を実施しなければならない。その結果、特許文献１では、液滴吐出ヘッド（ノズル列）を傾斜させる位置調整作業によって液滴吐出装置の稼動時間を多大に低下させ、カラーフィルタの生産性を損なう問題となる。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、パターン形状の均一性を向上して生産性を向上したパターン形成方法、液滴吐出ヘッド、パターン形成装置、カラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板、電気光学装置の製造方法及び電気光学装置を提供することである。

本発明のパターン形成方法は、一側面にパターン形成領域を備える基板を一方向に走査し、液滴吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドからパターン形成材料を含む液滴を前記パターン形成領域に吐出して、前記パターン形成領域にパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを、前記一方向と異なる方向に相対的に振動させて、前記液滴吐出ノズルが前記パターン形成領域と対峙するときに、前記液滴吐出ノズルから前記液滴を吐出するようにした。

本発明のパターン形成方法によれば、基板の一側面に対する液滴吐出ヘッドの相対的な振動分だけ、パターン形成領域に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を拡大することができ、その拡大した相対移動範囲内で液滴を吐出することができる。従って、相対移動範囲を拡大する分だけ、パターン形成領域に対して、液滴を均一に吐出することができる。その結果、パターン形成領域に形成するパターン形状の均一性を向上することができ、パターンの生産性を向上することができる。

このパターン形成方法において、前記液滴吐出ヘッドを前記一方向と異なる方向に振動させることによって、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを相対的に振動させるようにした。

このパターン形成方法によれば、液滴吐出ヘッドを振動させる分だけ、パターン形成領域に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を拡大することができ、その拡大した相対移動範囲の中で液滴を吐出することができる。

このパターン形成方法において、前記基板を前記一方向と異なる方向に振動させることによって、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを相対的に振動させるようにした。
このパターン形成方法によれば、基板を振動させる分だけ、パターン形成領域に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を拡大することができ、その拡大した相対移動範囲の中で液滴を吐出することができる。

このパターン形成方法において、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを、前記一側面内で前記一方向と直交する方向に相対的に振動させるようにした。
このパターン形成方法によれば、基板を走査する方向と直交する方向に液滴吐出ヘッドを相対的に振動する分だけ、パターン形成領域に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を、より拡大することができる。従って、パターン形成領域に形成するパターン形状の均一性を、より向上することができ、パターンの生産性を向上することができる。

このパターン形成方法において、前記一側面に形成した複数の前記パターン形成領域に対して、前記液滴吐出ノズルから吐出する液滴の総量を等しくするように、前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出するようにした。

このパターン形成方法によれば、各パターン形成領域に対して、その総量が等しくなる液滴を、均一に吐出することができる。従って、パターン形成領域に形成するパターン形状の均一性を、さらに向上することができ、パターンの生産性を向上することができる。

このパターン形成方法において、前記液滴吐出ノズルから吐出する液滴の少なくとも重量又は数量のいずれか一方を調整することによって、複数の前記パターン形成領域に対して、前記液滴吐出ノズルから吐出する液滴の総量を等しくするようにした。

このパターン形成方法によれば、各パターン形成領域に対して、少なくとも重量又は数
量のいずれか一方を調整して液滴を吐出し、等しい総量の液滴を均一に吐出するようになる。従って、パターン形成領域に形成するパターン形状の均一性を、さらに向上することができ、パターンの生産性を向上することができる。

このパターン形成方法において、前記液滴吐出ノズルが、前記パターン形成領域の前記一方向に沿う中心線から、所定の距離よりも短い距離に位置するときに、前記液滴吐出ノズルから前記液滴を吐出するようにした。

このパターン形成方法によれば、パターン形成領域の一方向に沿う中心線近傍に、確実に液滴を吐出させることができ、吐出した液滴を、同中心線近傍から濡れ広がらせることによって、パターン形成領域内における液滴の偏倚を確実に回避することができる。

本発明の液滴吐出ヘッドは、一方向に走査される基板のパターン形成領域にパターン形成材料を含む液滴を吐出する液滴吐出ノズルを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記一方向と異なる方向に、前記液滴吐出ノズルを振動させる振動手段を備えた。

本発明の液滴吐出ヘッドによれば、振動手段によって、基板に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を拡大する分だけ、パターン形成領域に対して液滴を均一に吐出することができる。その結果、パターン形成領域に形成するパターン形状の均一性を向上することができ、パターンの生産性を向上することができる。

本発明のパターン形成装置は、一側面にパターン形成領域を有する基板を一方向に走査する走査手段と、パターン形成材料を含む液滴を前記パターン形成領域に吐出する液滴吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドとを備えたパターン形成装置において、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを、前記一方向と異なる方向に相対的に振動させる振動手段と、前記液滴吐出ノズルが前記パターン形成領域と対峙するときに、前記液滴を吐出するように前記液滴吐出ノズルを駆動制御する制御手段と、を備えた。

本発明のパターン形成装置によれば、振動手段によって、パターン形成領域に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を拡大する分だけ、制御手段によって、液滴を均一に吐出することができる。その結果、パターン形成領域に形成するパターン形状の均一性を向上することができ、パターンの生産性を向上することができる。

このパターン形成装置において、前記振動手段は、前記液滴吐出ヘッドに近接され、前記液滴吐出ヘッドに所定の振動を付与する振動部である。
このパターン形成装置によれば、振動部が液滴吐出ヘッドを振動させる分だけ、パターン形成領域に対する液滴吐出ノズルの相対移動範囲を拡大することができ、その拡大した相対移動範囲の中で液滴を吐出することができる。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、一側面に着色層形成領域を備える基板を一方向に走査し、液滴吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドから着色層形成材料を含む液滴を前記着色層形成領域内に吐出して、前記着色層形成領域に着色層を形成するようにしたカラーフィルタ基板の製造方法において、前記着色層を、上記するパターン形成方法によって形成するようにした。

本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、着色層の形状の均一性を向上してカラーフィルタの生産性を向上することができる。
本発明のカラーフィルタ基板は、上記するカラーフィルタ基板の製造方法によって製造した。

本発明のカラーフィルタによれば、着色層の形状の均一性を向上してカラーフィルタ基板の生産性を向上することができる。
本発明の電気光学装置は、素子基板と対向基板との間に電気光学物質層を有する電気光学装置において、前記対向基板が、上記するカラーフィルタ基板である。

本発明の電気光学装置によれば、着色層の均一性を向上して電気光学装置の生産性を向上することができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、一側面に発光素子形成領域を備える基板を一方向に走査し、液滴吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドから発光素子形成材料を含む液滴を前記発光素子形成領域内に吐出して、前記発光素子形成領域に発光素子を形成するようにした電気光学装置の製造方法において、前記発光素子を、上記するパターン形成方法によって形成するようにした。

本発明の電気光学装置の製造方法によれば、発光素子の形状の均一性を向上して電気光学装置の生産性を向上することができる。
本発明の電気光学装置は、電気光学装置の製造方法によって製造した。

本発明の電気光学装置によれば、発光素子の形状の均一性を向上して電気光学装置の生産性を向上することができる。

（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図１１に従って説明する。図１は、パターン形成装置としての液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。

図１に示すように、液滴吐出装置１０には、直方体形状に形成される基台１１が備えられている。本実施形態では、この基台１１の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台１１の上面１１ａには、Ｙ方向に延びる１対の案内凹溝１２ａ，１２ｂが同Ｙ方向全幅にわたり形成されている。その基台１１の上側には、一対の案内凹溝１２ａ，１２ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ１３が取付けられている。そのステージ１３の直動機構は、例えば案内凹溝１２ａ，１２ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータＭ１（図８参照）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータＭ１に入力されると、Ｙ軸モータＭ１が正転又は逆転して、ステージ１３が同ステップ数に相対する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度（走査速度Ｖ）で往動又は復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ１３が案内凹溝１２ａ，１２ｂ（基台１１）の最も手前側に配置する位置（図１における実線位置）を往動位置とし、同案内凹溝１２ａ，１２ｂ（基台１１）の最も奥側に配置する位置（図１における２点鎖線位置）を復動位置とする。

そのステージ１３の上面には、載置面１４が形成され、その載置面１４には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１４に後述する基板としての透明基板３１（カラーフィルタ基板３０）を載置すると、前記基板チャック機構によって、そのカラーフィルタ基板３０が、載置面１４の所定位置に位置決め固定されるようになっている。

基台１１のＸ方向両側には、一対の支持台１５ａ，１５ｂが立設され、その一対の支持
台１５ａ，１５ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１６が架設されている。案内部材１６は、その長手方向の幅がステージ１３のＸ方向の幅よりも長く形成され、その一端が支持台１５ａ側に張り出すように配設されている。

案内部材１６の上側には、後述する機能液Ｌ（図４参照）を供給可能に収容する収容タンク１６ａが配設されている。一方、その案内部材１６の下側には、Ｘ方向に延びる上下１対の案内レール１７ａ，１７ｂがＸ方向全幅にわたり凸設されている。この一対の案内レール１７ａ，１７ｂには、同案内レール１７ａ，１７ｂに対応する図示しない直動機構を備えたキャリッジ１８が取付けられている。

キャリッジ１８は、直方体形状に形成され、その長手方向（Ｘ方向）の幅がステージ１３のＸ方向の幅よりも若干長く形成されている。そのキャリッジ１８の直動機構は、例えば案内レール１７ａ，１７ｂに沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータＭ２（図８参照）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号をＸ軸モータＭ２に入力すると、Ｘ軸モータＭ２が正転又は逆転して、キャリッジ１８が同ステップ数に相対する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。尚、本実施形態では、キャリッジ１８が案内レール１７ａ，１７ｂの最も支持台１５ａ側に配置する位置（図１における実線位置）を往動位置とし、同案内レール１７ａ，１７ｂの最も支持台１５ｂ側に配置する位置（図１における２点鎖線位置）を復動位置とする。

図２に示すように、キャリッジ１８の下面（ステージ１３側の面：ヘッド配設面１８ａ）には、複数の液滴吐出ヘッドＨがＸ方向に沿って配設されている。その液滴吐出ヘッドＨは、ヘッド配設面１８ａのＸ方向左側（キャリッジ１８の往動位置側）から順に、第１液滴吐出ヘッドＨ１、第２液滴吐出ヘッドＨ２、・・・、第ｍ液滴吐出ヘッドＨｍの順序で配列されている。

図４に示すように、各液滴吐出ヘッドＨの下側には、それぞれノズルプレート２１が備えられている。そのノズルプレート２１の下面（ステージ１３側の面：ノズル形成面２１ａ）には、上方に向かって開口する１８０個の連通孔（液滴吐出ノズルを構成する赤色用ノズルＲ）が形成されている。その赤色用ノズルＲは、ノズル形成面２１ａのＸ方向左側（キャリッジ１８の往動位置側）から順に、第１赤色用ノズルＲ１、第２赤色用ノズルＲ２、・・・、第１８０赤色用ノズルＲ１８０の順序で、所定のピッチ幅（ノズルピッチ幅Ｗｎ）によって配列されている。尚、本実施形態における前記ノズルピッチ幅Ｗｎは、３５．２７８μｍである。

そして、図３に示すように、これら赤色用ノズルＲがＸ方向に配列されることによって、ノズル形成面２１ａには、Ｘ方向に沿う赤色用ノズル列Ｒｒが形成される。また、ノズル形成面２１ａであって、この赤色用ノズル列ＲｒのＹ方向奥側（ステージ１３の復動位置側）には、赤色用ノズルＲと同じく、１８０個の液滴吐出ノズルを構成する緑色用ノズルＧ（第１緑色用ノズルＧ１、第２緑色用ノズルＧ２、・・・、第１８０緑色用ノズルＧ１８０）が形成され、同緑色用ノズルＧによって緑色用ノズル列Ｇｒが形成されている。さらに、ノズル形成面２１ａであって、その緑色用ノズル列ＧｒのＹ方向奥側（ステージ１３の復動位置側）には、赤色用ノズルＲ及び緑色用ノズルＧと同じく、１８０個の液滴吐出ノズルを構成する青色用ノズルＢ（第１青色用ノズルＢ１、第２青色用ノズルＢ２、・・・、第１８０青色用ノズルＢ１８０）が形成され、同青色用ノズルＢによって青色用ノズル列Ｂｒが形成されている。

つまり、各液滴吐出ヘッドＨのノズル形成面２１ａには、Ｙ方向手前側から順に、１８
０個の赤色用ノズルＲからなる赤色用ノズル列Ｒｒ、１８０個の緑色用ノズルＧからなる緑色用ノズル列Ｇｒ及び１８０個の青色用ノズルＢからなる青色用ノズル列Ｂｒが形成されている。

図４に示すように、ノズルプレート２１の上側であって赤色用ノズルＲ（緑色用ノズルＧ，青色用ノズルＢ）と相対する位置には、前記収容タンク１６ａに連通して、収容タンク１６ａ内の機能液Ｌを、それぞれ対応する各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂ内に供給可能にするキャビティ２３が形成されている。キャビティ２３の上側には、上下方向に振動してキャビティ２３内の容積を拡大縮小する振動板２４と、上下方向に伸縮して振動板２４を振動させる圧電素子２５が配設されている。

そして、液滴吐出ヘッドＨが圧電素子２５を駆動制御するためのノズル駆動制御信号を受けると、圧電素子２５が伸張してキャビティ２３内の容積を縮小し、対応する各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂから、縮小した容積分の機能液Ｌが微小液滴Ｄｓとして吐出される。

尚、各キャビティ２３には、それぞれ対応する色の着色層（赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ（図１１参照）、緑色着色層Ｌｇ１〜Ｌｇｎ（図１１参照）及び青色着色層Ｌｂ１〜Ｌｂｎ（図１１参照））を形成するためのパターン形成材料としての着色層形成材料を含む機能液Ｌが供給されるようになっている。そして、各ノズルＲ，Ｇ，Ｂからは、それぞれ対応する色の着色層材料を含む機能液Ｌの微小液滴Ｄｓが吐出されるようになっている。すなわち、赤色用ノズルＲからは、赤色着色層形成材料を含む機能液Ｌが吐出され、緑色用ノズルＧからは、緑色着色層形成材料を含む機能液Ｌが吐出され、青色用ノズルＢからは、青色着色層形成材料を含む機能液Ｌが吐出されるようになっている。

図２に示すように、各液滴吐出ヘッドＨのＸ方向右側（キャリッジ１８の復動位置側）には、振動手段としての振動部２６が配設されている。振動部２６は、その内部に所定の振幅（ヘッド振幅値Ａ）と所定の周波数（ヘッド周波数ｆｈ）で振動する振動子（例えば、磁歪振動子）を備え、対応する液滴吐出ヘッドＨを、そのヘッド振幅値Ａ及びヘッド周波数ｆｈでＸ方向に沿って往復動（振動）させるようになっている。

そして、振動部２６が液滴吐出ヘッドＨを振動させるための振動部駆動制御信号を受けると、振動部２６は、ヘッド振幅値Ａとヘッド周波数ｆｈからなるＸ方向の振動を、対応する液滴吐出ヘッドＨに付与する。すると、図５に示すように、各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂから吐出する微小液滴Ｄｓは、吐出する時の液滴吐出ヘッドＨ（ノズルＲ，Ｇ，Ｂ）の変位分だけ、Ｘ方向に変位した位置から吐出される。つまり、微小液滴Ｄｓの着弾する位置は、各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂの振動していない状態（静止状態：図５における実線位置）を基準にして、ヘッド振幅値Ａの範囲内で、Ｘ方向に変位する。

図１に示すように、ステージ１３の載置面１４上には、対向基板としてのカラーフィルタ基板３０が載置されている。図６は、カラーフィルタ基板３０を示す斜視図であって、図７は、図６のＢ−Ｂに沿う断面図である。

図６に示すように、カラーフィルタ基板３０には、無アルカリガラスからなる四角形状の透明基板３１が備えられている。図７に示すように、その透明基板３１の一側面であって液滴吐出ヘッドＨ側の側面（フィルタ形成面３１ａ）には、遮光層３２が積層されている。遮光層３２は、クロムやカーボンブラック等の遮光性材料を含有する樹脂によって形成され、Ｘ方向とＹ方向で交差する格子状に形成されている。その遮光層３２の上層には、撥液層３３が形成されている。撥液層３３は、前記機能液Ｌの微小液滴Ｄｓを撥液するフッ素系の樹脂によって形成されている。

そして、これら遮光層３２と撥液層３３によって、Ｘ方向とＹ方向で交差する格子状の隔壁層３４が形成される。図６に示すように、この格子状の隔壁層３４によって、フィルタ形成面３１ａ略全面に、赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ（図１１参照）を形成するための赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ、緑色着色層Ｌｇ１〜Ｌｇｎ（図１１参照）を形成するための緑色着色層形成領域Ｓｇ１〜Ｓｇｎ及び青色着色層Ｌｂ１〜Ｌｂｎ（図１１参照）を形成するための青色着色層形成領域Ｓｂ１〜Ｓｂｎからなるパターン形成領域としての着色層形成領域Ｓが区画形成される。

図６に示すように、着色層形成領域Ｓは、そのＸ方向のピッチ幅が着色層ピッチ幅Ｗｃで形成されている。その着色層形成領域Ｓは、フィルタ形成面３１ａのＸ方向左側から順に、第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１、第１緑色着色層形成領域Ｓｇ１、第１青色着色層形成領域Ｓｂ１、・・・、第ｎ赤色着色層形成領域Ｓｒｎ，第ｎ緑色着色層形成領域Ｓｇｎ、第ｎ青色着色層形成領域Ｓｂｎの順序で配列されている。尚、本実施形態の着色層ピッチ幅Ｗｃは、前記ノズルピッチ幅Ｗｎ（３５．２７８μｍ）よりも大きい幅、すなわち４２．０００μｍで形成されている。

次に、上記する液滴吐出装置１０の電気的構成について以下に説明する。図８は、液滴吐出装置１０の電気的構成を示すブロック図である。
図８に示すように、液滴吐出装置１０には制御手段としての制御部４１が備えられている。制御部４１は、ＣＰＵ等からなる演算部４１ａと、ＲＯＭやＲＡＭ等からなる記憶部４１ｂを備え、各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂから微小液滴Ｄｓを吐出するための処理動作（液滴吐出動作）を実行する。

演算部４１ａは、微小液滴Ｄｓを吐出するために予め設定されるビットマップデータを参照し、各種駆動回路に対して、対応する各種駆動制御信号（例えば、前記ノズル駆動制御信号や前記振動部駆動制御信号等）を出力する。

記憶部４１ｂは、液滴吐出動作に必要な各種プログラムと各種データを格納する。例えば、記憶部４１ｂは、微小液滴Ｄｓを吐出するための液滴吐出プログラムを格納する。また、記憶部４１ｂは、前記ビットマップデータ、ヘッド振幅値Ａ、ヘッド周波数ｆｈ及びステージ１３の走査速度Ｖを格納する。さらに、記憶部４１ｂは、微小液滴Ｄｓの重量を所望の重量にするための圧電素子２５の駆動電圧を格納する。

尚、本実施形態では、これらヘッド振幅値Ａを３０μｍ、ヘッド周波数ｆｈを２００Ｈｚ、ステージ１３の走査速度Ｖを２００ｍｍ／秒とし、微小液滴Ｄｓの重量を１．９〜２．７ｎｇの範囲で０．１ｎｇ毎に設定可能にするものとするが、これらの値に限られるものではない。

その制御部４１は、入力部４２と電気的に接続されて、同入力部４２から入力される各種操作信号に基づいて各種処理動作を実行する。
制御部４１は、Ｘ軸モータ駆動回路４３と電気的に接続し、Ｘ軸モータ駆動回路４３に対してＸ軸モータ駆動制御信号を出力するようになっている。Ｘ軸モータ駆動回路４３は、制御部４１からのＸ軸モータ駆動制御信号に応答して、前記Ｘ軸モータＭ２を正転又は逆転させ、キャリッジ１８の往復動を制御するようになっている。

制御部４１は、Ｙ軸モータ駆動回路４４と電気的に接続し、前記走査速度Ｖ（２００ｍｍ／秒）を参照して、同Ｙ軸モータ駆動回路４４に対してＹ軸モータ駆動制御信号を出力するようになっている。Ｙ軸モータ駆動回路４４は、制御部４１からのＹ軸モータ駆動制御信号に応答して、前記Ｙ軸モータＭ１を正転又は逆転させ、ステージ１３の往復動を走査速度Ｖに制御するようになっている。

制御部４１は、ヘッド駆動回路４５と電気的に接続し、所定の重量に相対する圧電素子２５の駆動電圧を参照して、所定の周波数（吐出周波数ｆｎ、本実施形態では１０ｋＨｚ）でノズル駆動制御信号を生成し、前記ヘッド駆動回路４５に対して、同ノズル駆動制御信号を出力するようになっている。ヘッド駆動回路４５は、制御部４１からのノズル駆動制御信号に応答して、対応する各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂの圧電素子２５を駆動制御し、同ノズル駆動制御信号に対応する重量の微小液滴Ｄｓを、吐出周波数ｆｎで、対応する各色用ノズルＲ，Ｇ，Ｂからフィルタ形成面３１ａに向けて吐出させる。

制御部４１は、振動部駆動回路４６と電気的に接続し、前記ヘッド振幅値Ａ（３０μｍ）及びヘッド周波数ｆｈ（２００Ｈｚ）を参照して、振動部駆動制御信号を生成し、前記振動部駆動回路４６に対して、同振動部駆動制御信号を出力するようになっている。振動部駆動回路４６は、制御部４１からの振動部駆動制御信号に応答して、対応する振動部２６を、前記ヘッド振幅値Ａとヘッド周波数ｆｈによって振動させるようになっている。

次に、上記する液滴吐出装置１０によって各着色層形成領域Ｓに微小液滴Ｄｓを吐出する液滴吐出動作について以下に説明する。尚、緑色着色層形成領域Ｓｇ１〜Ｓｇｎ及び青色着色層形成領域Ｓｂ１〜Ｓｂｎに対する液滴吐出動作は、赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎに対する液滴吐出動作と略同様の方法によって行うため、説明の便宜上、以下では、赤色着色層形成領域Ｓｒに対する液滴吐出動作について主に説明する。図９及び図１０は、液滴吐出装置１０の液滴吐出動作を説明する説明図である。

今、液滴吐出装置１０は、図１に示すように、カラーフィルタ基板３０を載置したステージ１３及びキャリッジ１８が、それぞれ往動位置に配置された状態である。
ここで、入力部４２から、液滴吐出動作を行うための操作信号が入力されると、制御部４１は、その記憶部４１ｂから液滴吐出プログラムとビットマップデータを読み出し、同液滴吐出プログラムを実行する。

すなわち、制御部４１は、まずＸ軸モータ駆動制御信号を出力し、Ｘ軸モータ駆動回路４３を介して、キャリッジ１８を往動位置から往動させる。そして、制御部４１は、図９に示すように、第１液滴吐出ヘッドＨ１の第１赤色用ノズルＲ１の中心位置を、第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１のＹ方向延長経路上（移動軌跡Ｏｂｓ：図９における２点鎖線）であって、かつ同移動軌跡ＯｂｓのＹ方向に沿う中心線（図９に示す２点鎖線）上に配置させる。

この際、着色層ピッチ幅Ｗｃ（４２．０００μｍ）がノズルピッチ幅Ｗｎ（３５．２７５μｍ）の整数倍で形成されていないため、第２〜第ｎ赤色着色層形成領域Ｓｒ２〜Ｓｒｎの移動軌跡Ｏｂｓ上には、対応する赤色用ノズルＲが、各移動軌跡Ｏｂｓの図示しない中心線から偏倚して配置される。例えば、図９に示すように、第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２の移動軌跡Ｏｂｓ上には、対応する第５赤色用ノズルＲ５が、同第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２のＸ方向右側に偏倚して配置される。また、第３赤色着色層形成領域Ｓｒ３の移動軌跡Ｏｂｓ上には、対応する第８赤色用ノズルＲ８が、同第３赤色着色層形成領域Ｓｒ３のＸ方向左側に偏倚して配置される。

尚、本実施形態では、これら静止状態で各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎの移動軌跡Ｏｂｓ上に位置する各赤色用ノズルＲ（例えば、図９における第１赤色用ノズルＲ１、第５赤色用ノズルＲ５、第８赤色用ノズルＲ８及び第１２赤色用ノズルＲ１２）を吐出対照ノズルＲｊとする。

第１赤色用ノズルＲ１の中心位置が第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１の移動軌跡Ｏｂｓの
中心線上に配置すると、制御部４１は、Ｙ軸モータ駆動制御信号を出力し、Ｙ軸モータ駆動回路４４に、ステージ１３を往動位置から走査速度Ｖ（２００ｍｍ／秒）で往動させる。つまり、制御部４１は、静止状態の各吐出対照ノズルＲｊを、対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎに向かって走査速度Ｖ（２００ｍｍ／秒）で相対移動させる。

そして、相対移動する吐出対照ノズルＲｊが対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ上に侵入すると、制御部４１は、振動部駆動制御信号を出力し、振動部駆動回路４６に各振動部２６を振動させる。つまり、制御部４１は、各液滴吐出ヘッドＨに対して、Ｘ方向に、振幅がヘッド振幅値Ａ（３０μｍ）であって周波数がヘッド周波数ｆｈ（２００Ｈｚ）からなる振動を付与する。

すると、図９に示すように、静止状態にあった各吐出対照ノズルＲｊの中心位置は、ステージ１３によるＹ方向の相対移動と振動部２６によるＸ方向の振動によって、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ上を、正弦波状の経路（ノズル移動軌跡Ｏｂｎ）に沿って相対的に移動する。

尚、各吐出対照ノズルＲｊのノズル移動軌跡Ｏｂｎは、振幅がヘッド振幅値Ａ（３０μｍ）で、波長が走査速度Ｖ／ヘッド周波数ｆｈからなる正弦波状の経路である。また、本実施形態のノズル移動軌跡Ｏｂｎは、各吐出対照ノズルＲｊが着色層ピッチ幅Ｗｃ（４２．０００μｍ）の半分以上のヘッド振幅値Ａ（３０μｍ）で振動するため、各吐出対照ノズルＲｊの中心位置が、対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ上への出入りを繰り返すような軌道を描く。例えば、図９に示すように、第１赤色用ノズルＲ１は、第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１上から、隣接する第１緑色着色層形成領域Ｓｇ１上への出入りを繰り返す。第５赤色用ノズルＲ５は、第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２上から、隣接する第２緑色着色層形成領域Ｓｇ２上への出入りを繰り返す。第８赤色用ノズルＲ８は、第３赤色着色層形成領域Ｓｒ３上から、隣接する第２青色着色層形成領域Ｓｂ２上への出入りを繰り返す。

そして、各吐出対照ノズルＲｊがノズル移動軌跡Ｏｂｎに沿って相対移動する間、制御部４１は、ヘッド駆動回路４５を介して、同吐出対照ノズルＲｊの圧電素子２５に対し、以下のタイミングでノズル駆動制御信号を出力する。

すなわち、制御部４１は、図１０に示すように、吐出対照ノズルＲｊの中心位置が、対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎの中心線から所定の距離よりも短い距離に位置するときに吐出周波数ｆｎ（１０ｋＨｚ）のノズル駆動制御信号を出力する。詳述すると、制御部４１は、吐出対照ノズルＲｊが、赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎの中心線を中心にした所定の幅（吐出許容幅Ｗｓ）で形成される領域（吐出領域Ｓｊ）と対峙する間、同吐出対照ノズルＲｊの圧電素子２５に対してノズル駆動制御信号を出力する。尚、本実施形態では、前記吐出許容幅Ｗｓを２０μｍとする。

例えば、図１０に示すように、第１赤色用ノズルＲ１の場合、同第１赤色用ノズルＲ１の中心位置は、第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１上に侵入すると同時に吐出領域Ｓｊ上に侵入する。そのため、制御部４１は、第１赤色用ノズルＲ１の中心位置が第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１上に侵入するタイミングで微小液滴Ｄｓの吐出を開始させる。以後、同様に、制御部４１は、第１赤色用ノズルＲ１が吐出領域Ｓｊと対峙する間だけ、吐出周波数ｆｎ（１０ｋＨｚ）で微小液滴Ｄｓを吐出させる。

一方、第５赤色用ノズルＲ５の場合、第５赤色用ノズルＲ５が第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２上に侵入するとき、その中心位置が同第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２のＸ方向右側端部であって吐出領域Ｓｊ外に位置する。そのため、制御部４１は、第５赤色用ノズルＲ
５の中心位置が、一旦、第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２上を外れ、再び第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２（吐出領域Ｓｊ）上に侵入するタイミングで微小液滴Ｄｓの吐出を開始させる。そして、第１赤色用ノズルＲ１と同様に、制御部４１は、第５赤色用ノズルＲ５が吐出領域Ｓｊと対峙する間だけ、吐出周波数ｆｎ（１０ｋＨｚ）で微小液滴Ｄｓを吐出させる。

これによって、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内には、吐出対照ノズルＲｊを振動させる分だけ、均一に微小液滴Ｄｓが吐出される。そして、吐出領域Ｓｊ内に吐出された微小液滴Ｄｓは、隣接する緑色着色層形成領域Ｓｇ１〜Ｓｇｎあるいは青色着色層形成領域Ｓｂ１〜Ｓｂｎに漏れることなく、対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内に確実に収容される。

しかも、この間、制御部４１は、ヘッド駆動回路４５を介して、各吐出対照ノズルＲｊの圧電素子２５に対し、以下の重量設定で、微小液滴Ｄｓを吐出するためのノズル駆動制御信号を出力する。すなわち、制御部４１は、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎに吐出する微小液滴Ｄｓの総量（総重量）を等しくする重量設定でノズル駆動制御信号を出力する。

詳述すると、図１０に示すように、第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１には３６滴の微小液滴Ｄｓが吐出可能であって、制御部４１は、同第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１に対して、一滴が２．１ｎｇの微小液滴Ｄｓを吐出するためのノズル駆動制御信号を出力する。これによって、第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１には、その総重量を７５．６ｎｇにする機能液Ｌが吐出される。

一方、図１０に示すように、第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２には、３０滴の微小液滴が吐出可能であって、制御部４１は、同第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２に対して、１滴が２．５ｎｇの微小液滴Ｄｓを吐出するためのノズル駆動制御信号を出力する。従って、第２赤色着色層形成領域Ｓｒ２内には、その総重量が第１赤色着色層形成領域Ｓｒ１と略同じ７５．０ｎｇとなる機能液Ｌが吐出される。そして、制御部４１は、他の赤色着色層形成領域Ｓｒ３〜Ｓｒｎに対しても同様に、その総重量が略等しくなる重量設定でノズル駆動制御信号を出力する。

これによって、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内には、その総重量を等しくした機能液Ｌが均一に収容される。
以後、同様に、制御部４１は、各吐出対照ノズルＲｊに対して、それぞれ対応するノズル駆動制御信号を出力し、赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内に、その総重量を等しくした機能液Ｌを均一に収容させる。この際、制御部４１は、上記する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎと同様に、緑色着色層形成領域Ｓｇ１〜Ｓｇｎ及び青色着色層形成領域Ｓｂ１〜Ｓｂｎに、それぞれ対応する機能液Ｌを、その総重量を等しくして均一に収容させる。

そして、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内に収容した機能液Ｌを乾燥し、同機能液Ｌに含まれた赤色着色層形成材料を固化することによって、図１１に示すように、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内に、それぞれ対応する赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎを形成する。

従って、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内には、総重量の等しい機能液Ｌを均一に収容させる分だけ、それぞれ均一な形状を呈する赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎを形成することができる。同様に、各緑色着色層形成領域Ｓｇ１〜Ｓｇｎ及び各青色着色層形成領域Ｓｂ１〜Ｓｂｎ内にも、均一な形状を呈する緑色着色層Ｌｇ１〜Ｌｇｎ及び青色着色層Ｌ
ｂ１〜Ｌｂｎ（図１１参照）を形成することができる。

各色の着色層形成領域Ｓ内に均一な形状の着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ，Ｌｇ１〜Ｌｇｎ，Ｌｂ１〜Ｌｂｎを形成すると、同着色層上層に、ＩＴＯ等の透明導電膜からなる対向電極層４８を形成し、同対向電極層４８上に、ラビング処理等による配向処理を施した配向膜４９を順次積層する。これによって、均一な形状を有する着色層を備えたカラーフィルタ基板３０を製造することができる。

次に、上記のように構成した第１実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記第１実施形態によれば、各液滴吐出ヘッドＨにヘッド振幅値Ａとヘッド周波数ｆｈからなる振動を付与する振動部２６を設け、各吐出対象ノズルＲｊが、対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ上に侵入するときに、同振動部２６によって、液滴吐出ヘッドＨを振動させるようにした。そして、吐出対照ノズルＲｊの中心位置が、対応する赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎの吐出領域Ｓｊと対峙する間、同吐出対照ノズルＲｊから微小液滴Ｄｓを吐出して、赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎを形成するようにした。また、緑色着色層形成領域Ｓｇ１〜Ｓｇｎ及び青色着色層形成領域Ｓｂ１〜Ｓｂｎに対しても、赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎと同様の構成によって、それぞれ緑色着色層Ｌｇ１〜Ｌｇｎ及び青色着色層Ｌｂ１〜Ｌｂｎを形成するようにした。

従って、液滴吐出ヘッドＨを振動させる分だけ、各着色層形成領域Ｓに対する赤色用ノズルＲ、緑色用ノズルＧ及び青色用ノズルＢの相対的な移動範囲を拡大することができ、その移動範囲を拡大する分だけ、各着色層形成領域Ｓに、均一に微小液滴Ｄｓを吐出することができる。その結果、各着色層形成領域Ｓ内に、各着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ，Ｌｇ１〜Ｌｇｎ，Ｌｂ１〜Ｌｂｎの形状を均一に形成することができる。ひいては、カラーフィルタ基板３０の生産性を向上することができる。

（２）また、吐出対照ノズルＲｊの中心位置が吐出領域Ｓｊと対峙する間に微小液滴Ｄｓを吐出するため、吐出した微小液滴Ｄｓを、各着色層形成領域Ｓの中心線近傍から均一に濡れ広げることができる。しかも、その吐出した微小液滴Ｄｓを、隣接する他の着色層形成領域Ｓに漏らすことなく、対応する着色層形成領域Ｓ内に確実に収容することができる。従って、各着色層形成領域Ｓ内に、均一に機能液Ｌを収容することができ、各着色層の形状を、より均一に形成することができる。ひいては、カラーフィルタ基板３０の生産性を向上することができる。

（３）上記第１実施形態によれば、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎに吐出する微小液滴Ｄｓの総量（総重量）を等しくするように、各吐出対照ノズルＲｊから吐出する微小液滴Ｄｓの重量を調整するようにした。従って、各赤色着色層形成領域Ｓｒ１〜Ｓｒｎ内に、総重量を等しくする機能液Ｌを収容させることができ、各着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ，Ｌｇ１〜Ｌｇｎ，Ｌｂ１〜Ｌｂｎの形状を、さらに均一にすることができる。
（第２実施形態）
次に、上記するカラーフィルタ基板３０を備えた電気光学装置としての液晶表示装置５０について図１２に従って説明する。図１２は、液晶表示装置５０の構成を示す斜視図である。図１２において、液晶表示装置５０は、液晶パネル５１と、同液晶パネル５１に平面状の光Ｌ１を照明する照明装置５２を備えている。

照明装置５２は、ＬＥＤ等の光源５２ａと、同光源５２ａから出射される光を透過して平面状の光として液晶パネル５１に照射する導光体５２ｂを備えている。また、液晶パネル５１は、その照明装置５２側と同照明装置５２に、それぞれ四角形状の素子基板５３と、第１実施形態にて製造したカラーフィルタ基板３０を有している。

素子基板５３は、透明基板３１よりも若干大きいサイズで形成される無アルカリガラス基板であって、そのカラーフィルタ基板３０側の面（素子形成面５３ａ）には、Ｘ方向に延びる複数の走査線５４が所定の間隔をおいて形成されている。各走査線５４は、それぞれ素子基板５３の一側端に配設される走査線駆動回路５８に電気的に接続されている。走査線駆動回路５８は、図示しない制御回路から供給される走査制御信号に基づいて、複数の走査線５４の中から所定の走査線５４を所定のタイミングで選択駆動し、その走査線５４に走査信号を出力するようになっている。また、素子形成面５３ａには、走査線５４と直交するＹ方向に延びる複数のデータ線５６が所定の間隔をおいて形成されている。各データ線５６は、それぞれ素子基板５３の一側端に配設されるデータ線駆動回路５５に電気的に接続されている。データ線駆動回路５５は、図示しない外部装置から供給される表示データに基づいてデータ信号を生成し、そのデータ信号を対応するデータ線５６に所定のタイミングで出力するようになっている。

これらデータ線５６と走査線５４の交差する位置には、対応するデータ線５６及び走査線５４に接続されることによってマトリックス状に配列される複数の画素領域５７が形成されている。その画素領域５７内には、それぞれＴＦＴ等からなる図示しないスイッチング素子とＩＴＯ等の透明導電膜からなる画素電極が形成されている。すなわち、液晶表示装置５０は、スイッチング素子であるＴＦＴを備えたアクティブマトリックス方式の液晶表示装置である。

これら素子基板５３と前記カラーフィルタ基板３０は、同素子基板５３の各画素電極とカラーフィルタ基板３０の各着色層（赤色着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ、緑色着色層Ｌｇ１〜Ｌｇｎ及び青色着色層Ｌｂ１〜Ｌｂｎ）とを相対向させ、四角枠状のシール材５９によって貼り合わされている。そして、これら素子基板５３とカラーフィルタ基板３０との間の間隙に、図示しない電気光学物質層としての液晶層が封入されている。

そして、走査線駆動回路５８が、走査線５４を線順次走査に基づき１本ずつ順次選択すると、画素領域５７の制御素子が順次、選択期間中だけオン状態になる。制御素子がオン状態となると、データ線駆動回路５５から出力されるデータ信号が、データ線５６及び制御素子を介して画素電極に出力される。すると、素子基板５３の画素電極とカラーフィルタ基板３０の対向電極層４８の電位差に応じて、液晶分子の配向状態が照明装置５２の照射する光Ｌ１を変調するように維持される。そして、変調された光が図示しない偏光板を通過するか否かによって、液晶パネル５１に、カラーフィルタ基板３０を介した所望するフルカラーの画像が表示される。

この場合でも、カラーフィルタ基板３０に均一な着色層を形成する分だけ、各着色層Ｌｒ１〜Ｌｒｎ，Ｌｇ１〜Ｌｇｎ，Ｌｂ１〜Ｌｂｎによる色むら等を回避することができ、液晶表示装置５０の生産性を向上することができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第１実施形態では、液滴吐出ヘッドＨをＸ方向にのみ振動させる構成にしたが、これに限らず、例えばＸ方向に対して傾斜した方向であってもよい。つまり、液滴吐出ヘッドＨの振動方向は、Ｙ方向以外で、各ノズルＲ，Ｇ，Ｂの着色層形成領域Ｓに対する相対移動範囲を拡大できる方向であればよい。
・上記第１実施形態では、振動部２６を設けて液滴吐出ヘッドＨに振動を付与する構成にしたが、これに限らず、例えばＸ軸モータＭ２の正逆転動によって液滴吐出ヘッドＨに振動を付与する構成にしてもよい。これによれば、振動部２６及び振動部駆動回路４６を設けることなく、着色層の形状を均一にしたカラーフィルタ基板３０を製造することができる。
・上記第１実施形態では、液滴吐出ヘッドＨを透明基板３１に対して振動させる構成にし
たが、これに限らず、ステージ１３を液滴吐出ヘッドＨに対して、Ｙ方向と異なる方向に振動させる構成であってもよい。
・上記第１実施形態では、微小液滴Ｄｓの重量設定によって、各着色層形成領域Ｓ内の機能液Ｌの総量（総重量）を均一にする構成にした。これに限らず、例えば各着色層形成領域Ｓ内に吐出する液滴の数量を設定することによって、各着色層形成領域Ｓ内の機能液Ｌの総量（総数量、総容量）を均一にする構成にしてもよい。
・上記第１実施形態では、吐出対照ノズルＲｊが所定の幅（吐出許容幅Ｗｓ）で形成される領域（吐出領域Ｓｊ）上に侵入する間だけ微小液滴Ｄｓを吐出する構成にしたが、これに限らず、例えば対応する着色層形成領域Ｓ上に侵入する間だけ微小液滴Ｄｓを吐出する構成にしてもよい。
・上記第１実施形態では、パターン、パターン形成面及びパターン形成領域を、それぞれ着色層、フィルタ形成面３１ａ及び着色層形成領域Ｓに具体化してカラーフィルタ基板３０を製造する構成にした。これに限らず、パターン、パターン形成面及びパターン形成領域を、それぞれ透明基板上に形成する発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（有機ＥＬ素子）、同透明基板の一側面（発光素子形成面）及び発光素子形成領域に具体化し、発光素子形成材料を含む機能液の液滴を発光素子形成領域に吐出して発光素子を形成する構成にしてもよい。これによれば、発光素子の形状の均一性を向上した電気光学装置としての有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（有機ＥＬディスプレイ）を製造することができる。あるいは、これらパターン及びパターン形成面を、金属配線と回路形成面に具体化して回路基板を製造するようにしてもよい。
・上記第１実施形態では、着色層形成領域をストライプ状に配列したが、これに限らず、例えばモザイク状やデルタ状であってもよく、その形状に限定されるものではない。
・上記第１実施形態では、液滴吐出ヘッドＨが赤色用ノズル列Ｒｒ、緑色用ノズル列Ｇｒ及び青色用ノズル列Ｂｒを備える構成にしたが、これに限らず、各液滴吐出ヘッドＨが、赤色用ノズル列Ｒｒ、緑色用ノズル列Ｇｒ及び青色用ノズル列Ｂｒのいずれか１つを備える構成にしてもよい。
・上記第１実施形態では、各ノズル列Ｒｒ，Ｇｒ，ＢｒがＸ方向に沿って形成される構成にしたが、これに限らず、Ｘ方向に対し、傾斜して配列される構成であってもよい。これによれば、各ノズル列Ｒｒ，Ｇｒ，Ｂｒを傾斜させる分だけ、Ｙ方向から見たノズルピッチ幅Ｗｎを小さくすることができ、吐出対照ノズルＲｊの静止状態の位置を、各着色層形成領域Ｓの中心線上に近接させることができる。
・上記第１実施形態では、圧電素子２５を駆動して微小液滴Ｄｓを吐出するようにしたが、これに限らず、例えば抵抗加熱の加熱によってキャビティ２３内に気泡を形成し、同気泡の破裂によって微小液滴Ｄｓを吐出させるようにしてもよい。
・上記第２実施形態では、均一な形状を有する着色層（カラーフィルタ基板３０）を液晶表示装置５０に装着する構成にしたが、これに限らず、例えば有機ＥＬディスプレイに装着（積層）する構成にしてもよい。
・上記第２実施形態では、電気光学装置を液晶表示装置５０として具体化したが、これに限定されるものでなく、例えば有機ＥＬディスプレイ等であってもよく、あるいは平面状の電子放出素子を備え、同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型ディスプレイ（ＦＥＤやＳＥＤ等）であってもよい。

本発明を具体化した第１実施形態の液滴吐出装置を示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す断面図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す断面図。 同じく、カラーフィルタを示す斜視図。 同じく、カラーフィルタを示す断面図。 同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図。 同じく、液滴吐出装置の液滴吐出動作を説明する説明図。 同じく、液滴吐出装置の液滴吐出動作を説明する説明図。 同じく、カラーフィルタを示す断面図。 本発明を具体化した第１実施形態の液晶表示装置を示す斜視図。

符号の説明

１０…パターン形成装置としての液滴吐出装置、１３…走査手段を構成するステージ、２６…振動手段としての振動部、３０…対向基板としてのカラーフィルタ基板、３１…基板としての透明基板、３１ａ…パターン形成面としてのフィルタ形成面、３２…遮光層、５０…電気光学装置としての液晶表示装置、５３…素子基板、Ｂ…液滴吐出ノズルを構成する青色用ノズル、Ｄｓ…微小液滴、Ｇ…液滴吐出ノズルを構成する緑色用ノズル、Ｈ…液滴吐出ヘッド、Ｌｒ１〜Ｌｒｎ…着色層としての赤色着色層、Ｌｇ１〜Ｌｇｎ…着色層としての緑色着色層、Ｌｂ１〜Ｌｂｎ…着色層としての青色着色層、Ｒ…液滴吐出ノズルを構成する赤色用ノズル、Ｓ…パターン形成領域としての着色層形成領域。

Claims (15)

1. 一側面にパターン形成領域を備える基板を一方向に走査し、液滴吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドからパターン形成材料を含む液滴を前記パターン形成領域に吐出して、前記パターン形成領域にパターンを形成するようにしたパターン形成方法において、
   前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを、前記一方向と異なる方向に相対的に振動させて、前記液滴吐出ノズルが前記パターン形成領域と対峙するときに、前記液滴吐出ノズルから前記液滴を吐出するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
2. 請求項１に記載のパターン形成方法において、
   前記液滴吐出ヘッドを前記一方向と異なる方向に振動させることによって、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを相対的に振動させるようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
3. 請求項１に記載のパターン形成方法において、
   前記基板を前記一方向と異なる方向に振動させることによって、前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを相対的に振動させるようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを、前記一側面内で前記一方向と直交する方向に相対的に振動させるようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記一側面に形成した複数の前記パターン形成領域に対して、前記液滴吐出ノズルから吐出する液滴の総量を等しくするように、前記液滴吐出ノズルから液滴を吐出するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
6. 請求項５に記載のパターン形成方法において、
   前記液滴吐出ノズルから吐出する液滴の少なくとも重量又は数量のいずれか一方を調整することによって、複数の前記パターン形成領域に対して、前記液滴吐出ノズルから吐出する液滴の総量を等しくするようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
7. 請求項１〜６のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記液滴吐出ノズルが、前記パターン形成領域の前記一方向に沿う中心線から、所定の距離よりも短い距離に位置するときに、前記液滴吐出ノズルから前記液滴を吐出するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
8. 一方向に走査される基板のパターン形成領域にパターン形成材料を含む液滴を吐出する液滴吐出ノズルを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記一方向と異なる方向に、前記液滴吐出ノズルを振動させる振動手段を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
9. 一側面にパターン形成領域を有する基板を一方向に走査する走査手段と、パターン形成材料を含む液滴を前記パターン形成領域に吐出する液滴吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドとを備えたパターン形成装置において、
   前記一側面に対して、前記液滴吐出ヘッドを、前記一方向と異なる方向に相対的に振動させる振動手段と、
   前記液滴吐出ノズルが前記パターン形成領域と対峙するときに、前記液滴を吐出するように前記液滴吐出ノズルを駆動制御する制御手段と、
   を備えたこと特徴とするパターン形成装置。
10. 請求項９に記載のパターン形成装置において、
    前記振動手段は、前記液滴吐出ヘッドに近接され、前記液滴吐出ヘッドに所定の振動を付与する振動部であることを特徴とするパターン形成装置。
11. 一側面に着色層形成領域を備える基板を一方向に走査し、液滴吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドから着色層形成材料を含む液滴を前記着色層形成領域内に吐出して、前記着色層形成領域に着色層を形成するようにしたカラーフィルタ基板の製造方法において、
    前記着色層を、請求項１〜７のいずれか１つに記載のパターン形成方法によって形成するようにしたこと特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
12. 請求項１１に記載するカラーフィルタ基板の製造方法によって製造したカラーフィルタ基板。
13. 素子基板と対向基板との間に電気光学物質層を有する電気光学装置において、
    前記対向基板は、請求項１２に記載のカラーフィルタ基板であることを特徴とする電気光学装置。
14. 一側面に発光素子形成領域を備える基板を一方向に走査し、液滴吐出ノズルを備える液滴吐出ヘッドから発光素子形成材料を含む液滴を前記発光素子形成領域内に吐出して、前記発光素子形成領域に発光素子を形成するようにした電気光学装置の製造方法において、
    前記発光素子を、請求項１〜７のいずれか１つに記載するパターン形成方法によって形成するようにしたこと特徴とする電気光学装置の製造方法。
15. 請求項１４に記載する電気光学装置の製造方法によって製造した電気光学装置。

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