JP4618256B2 - パターン形成方法、配向膜形成方法、液滴吐出装置及び配向膜形成装置 - Google Patents

Description

本発明は、パターン形成方法、配向膜形成方法、液滴吐出装置及び配向膜形成装置に関する。

表示装置や半導体装置の製造工程には、基板上に堆積した膜を所望の形状にパターニングして膜パターンを形成するパターン形成工程が数多く含まれる。
近年、この種のパターン形成工程では、生産性を向上させるために、基板上に吐出した液滴を固化させて自己整合的に膜パターンを形成させるインクジェット法が利用されている。インクジェット法は、液滴形状に対応した膜パターンを基板上に形成できるために、パターニングするためのマスク形成を不要にして、パターン形成工程の工程数を削減させることができる。

しかし、インクジェット法を利用して膜パターンを形成させる場合、着弾した液滴が基板表面で濡れ広がらないと、液滴の凹凸形状がパターン形状に反映されて、膜パターンの平坦性や膜厚均一性を損なう虞があった。

そこで、こうしたインクジェット法では、従来、着弾した液滴の濡れ広がりを拡大させる提案がなされている（例えば、特許文献１）。特許文献１では、液滴の吐出方向を基板の法線に対して傾斜させて、吐出する液滴に、基板の接線方向に沿う速度成分を付与している。これによれば、基板の法線方向と吐出方向とのなす角度（傾斜角）分だけ、着弾する液滴を、基板の接線方向に沿って濡れ広がらせることができる。
特開２００５−１３１４９８号公報

ところで、上記インクジェット法では、異なる膜厚の膜パターンを形成する場合、すなわち単位面積当たりの総吐出量を変更する場合、一般的に、１滴当りの液滴容量を一定に維持させて、液滴の吐出間隔を変更させている。例えば、薄膜の膜パターンを形成する場合には、１滴当りの液滴容量を一定に維持させるとともに、ノズルに対する基板の走査速度を増加させたり、吐出動作の動作周期を長くしたりして、液滴の吐出間隔を拡大させている。これによって、液滴吐出動作の安定化を図り、総吐出量の再現性、すなわち膜パターンの膜厚再現性を確保させている。

しかしながら、特許文献１では、吐出した液滴の飛行曲がりと着弾した液滴の飛散のみを考慮して、吐出方向の傾斜角を広範囲に規定している。そのため、図１０に示すように、液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗを拡大させて薄膜の膜パターンを形成する場合に、吐出方向Ａの傾斜角θが小さいと、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１が液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗよりも短くなる。そして、着弾した各液滴Ｆｂが、それぞれ基板Ｓｂ上で点在するようになる。

その結果、各液滴Ｆｂの凹凸形状が膜パターンの形状に反映されて、膜パターンの膜厚を著しく不均一にさせる問題があった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板の法線と液滴の吐出方向のなす角度を液滴の吐出間隔に対応させて、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させたパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供することである。

また、基板の法線と配向膜形成材料の液滴の吐出方向のなす角度を液滴の吐出間隔に対応させて、配向膜の膜厚均一性を向上させた配向膜形成方法及び配向膜形成装置を提供することである。

本発明のパターン形成方法は、基板の法線に対して傾斜する吐出方向に沿ってパターン形成材料の液滴を吐出し、前記基板にパターンを形成するようにしたパターン形成方法であって、前記基板の法線方向から見て、前記基板に着弾した液滴の吐出方向に沿う着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記液滴の吐出間隔に基づいて、着弾位置を回転中心として前記液滴を吐出する複数の吐出口の形成された吐出口形成面を前記基板の法線に対して傾動して、前記法線と前記吐出方向のなす角度を設定するようにし、前記基板の法線方向から見て、前記吐出方向の反対側に沿って、前記基板を前記吐出口形成面に対して相対移動するようにした。

本発明のパターン形成方法によれば、吐出方向と法線のなす角度を、吐出する液滴の外径と液滴の吐出間隔に基づいて設定させることができる。そして、吐出方向に沿う各液滴の着弾径を、それぞれ液滴の吐出間隔以上にさせることができる。従って、着弾した液滴の領域を、所望するパターンの領域で接合させることができる。その結果、液滴の吐出間隔、すなわちパターンの膜厚変更に関わらず、各パターン形成材料の領域を、液滴の吐出方向に沿って接合させることができる。そのため、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させることができる。
また、このパターン形成方法によれば、吐出口形成面の傾動によって、複数の吐出口から吐出された各液滴（パターン形成材料の領域）を、それぞれ対応するパターンの領域で接合させることができる。従って、膜厚均一性を向上させたパターンを、複数の吐出口からの液滴によって形成させることができ、その生産性を向上させることができる。
さらに、このパターン形成方法によれば、吐出口形成面に対する基板の相対移動速度の分だけ、吐出方向に沿う液滴の着弾径を拡大させることができる。従って、パターンの膜厚均一性を、より確実に、向上させることができる。

また、このパターン形成方法において、前記液滴の外径をＲとし、前記液滴の吐出間隔をＷとし、前記角度をθとするときに、ａｒｃｃｏｓ（Ｒ／Ｗ）≦θ＜９０を満たすように前記角度を設定するようにしてもよい。

このパターン形成方法によれば、吐出方向と法線のなす角度の範囲を、液滴の外径と液滴の吐出間隔のみに基づいて設定させることができる。従って、吐出方向に沿うパターン形成材料の領域を、より簡便に、所望するパターンの領域で接合させることができる。

本発明の配向膜形成方法は、基板の法線に対して傾斜する吐出方向に沿って配向膜形成材料の液滴を吐出し、前記基板に配向膜を形成するようにした配向膜形成方法であって、前記基板の法線方向から見て、前記基板に着弾した液滴の吐出方向に沿う着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記液滴の吐出間隔に基づいて、着弾位置を回転中心として前記液滴を吐出する複数の吐出口の形成された吐出口形成面を前記基板の法線に対して傾動して、前記法線と前記吐出方向のなす角度を設定するようにし、前記基板の法線方向から見て、前記吐出方向の反対側に沿って、前記基板を前記吐出口形成面に対して相対移動するようにした。

本発明の配向膜形成方法によれば、吐出方向と法線のなす角度を、吐出する配向膜形成材料の液滴の外径と該液滴の吐出間隔に基づいて設定させることができる。そして、吐出方向に沿う各液滴の着弾径を、それぞれ液滴の吐出間隔以上にさせることができる。従って、着弾した液滴同士を、所望する配向膜を形成する領域で接合させることができる。そ
の結果、液滴の吐出間隔、すなわち配向膜の膜厚変更に関わらず、配向膜形成材料の領域を、液滴の吐出方向に沿って接合させることができる。そのため、液滴からなる配向膜の膜厚均一性を向上させることができる。
また、この配向膜形成方法によれば、吐出口形成面の傾動によって、複数の吐出口から吐出された各液滴（配向膜形成材料の領域）を、それぞれ対応する配向膜を形成する領域で接合させることができる。従って、膜厚均一性を向上させた配向膜を、複数の吐出口からの液滴によって形成させることができ、その生産性を向上させることができる。
さらに、この配向膜形成方法によれば、吐出口形成面に対する基板の相対移動速度の分だけ、吐出方向に沿う液滴の着弾径を拡大させることができる。従って、配向膜の膜厚均一性を、より確実に、向上させることができる。

本発明の液滴吐出装置は、パターン形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成する液滴吐出装置であって、前記液滴を吐出する複数の吐出口を一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する吐出口形成面と、前記一方向に沿う傾動軸を中心にして前記吐出口形成面を傾動する傾動機構と、前記傾動機構を駆動制御して、前記基板の法線方向から見て、前記液滴の吐出方向に沿う前記液滴の着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて、前記基板の法線と前記液滴の吐出方向のなす角度を設定する角度設定手段と、を備え、前記角度設定手段は、前記着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて前記傾動機構を駆動制御するための傾動情報を生成する傾動情報生成手段と、前記傾動情報生成手段の生成した前記傾動情報に基づいて前記傾動機構を駆動制御する制御手段と、を備えた。

本発明の液滴吐出装置によれば、吐出方向と法線のなす角度を、液滴の外径と同液滴の吐出間隔に基づいて設定させることができる。そして、吐出方向に沿う各液滴の着弾径を、それぞれ液滴の吐出間隔以上にすることができる。従って、着弾した液滴の領域を、所望するパターンの領域で接合させることができる。その結果、液滴の吐出間隔、すなわちパターン膜厚の変更に関わらず、着弾した各パターン形成材料の領域を、液滴の吐出方向に沿って接合させることができ、液滴からなるパターンの膜厚均一性を向上させることができる。

また、この液滴吐出装置によれば、吐出方向と法線のなす角度を、傾動情報に基づいて制御させることができる。従って、各パターン形成材料の領域を、より確実に、吐出方向に沿う方向に接合させることができる。

この液滴吐出装置において、前記傾動情報生成手段は、前記液滴の外形をＲとし、前記液滴の吐出間隔をＷとし、前記角度をθとするときに、ａｒｃｃｏｓ（Ｒ／Ｗ）≦θ＜９０を満たす前記傾動情報を生成するようにしてもよい。

この液滴吐出装置によれば、吐出方向と法線のなす角度の範囲を、液滴の外径と液滴の吐出間隔のみに基づいて設定させることができる。従って、吐出方向に沿うパターン形成材料の領域を、より簡便に、所望するパターンの領域で接合させることができる。

また、この液滴吐出装置において、前記基板を前記吐出口形成面に対して相対移動する移動手段を備え、前記角度設定手段は、前記基板の法線方向から見て、前記吐出方向が、前記吐出口形成面に対する前記基板の相対移動方向の反対側になるように、前記角度を設定するようにしてもよい。

この液滴吐出装置によれば、吐出口形成面に対する基板の相対移動速度の分だけ、吐出方向に沿う液滴の着弾径（パターン形成材料の領域）を拡大させることができる。従って、パターンの膜厚均一性を、より確実に、向上させることができる。

また、この液滴吐出装置において、前記移動手段は、前記基板を載置して、載置した前記基板を前記相対移動方向に沿って移動するステージであってもよい。
この液滴吐出装置によれば、ステージを移動させる簡便な構成によって、パターンの膜厚均一性を、より確実に、向上させることができる。

本発明の配向膜形成装置は、配向膜形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板に配向膜を形成する配向膜形成装置であって、前記液滴を吐出する複数の吐出口を一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する吐出口形成面と、前記一方向に沿う傾動軸を中心にして前記吐出口形成面を傾動する傾動機構と、前記傾動機構を駆動制御して、前記基板の法線方向から見て、前記液滴の吐出方向に沿う前記液滴の着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて、前記基板の法線と前記吐出方向のなす角度を設定する角度設定手段とを備え、前記角度設定手段は、前記着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて前記傾動機構を駆動制御するための傾動情報を生成する傾動情報生成手段と、前記傾動情報生成手段の生成した前記傾動情報に基づいて前記傾動機構を駆動制御する制御手段と、を備えた。

本発明の配向膜形成装置によれば、吐出方向と法線のなす角度を、液滴の外径と同液滴の吐出間隔に基づいて設定させることができる。そして、吐出方向に沿う各液滴の着弾径を、それぞれ液滴の吐出間隔以上にすることができる。従って、着弾した液滴同士を、所望する配向膜を形成する領域で接合させることができる。その結果、液滴の吐出間隔、すなわち配向膜の膜厚の変更に関わらず、着弾した配向膜形成材料の領域を、液滴の吐出方向に沿って接合させることができ、液滴からなる配向膜の膜厚均一性を向上させることができる。
また、この配向膜形成装置によれば、吐出方向と法線のなす角度を、傾動情報に基づいて制御させることができる。従って、各配向膜形成材料の領域を、より確実に、吐出方向に沿う方向に接合させることができる。

以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図９に従って説明する。まず、本発明のパターン形成方法によって形成した配向膜を有する電気光学装置としての液晶表示装置１０について説明する。図１は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。

図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射されるようになっている。

液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状のシール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５との間の間隙に、液晶１７が封入されている。

素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光
にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ矢印方向）略全幅にわったって延びる複数の走査線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設される走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには、Ｙ矢印方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されてマトリックス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２２には、それぞれＴＦＴなどの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３が備えられている。

図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施された配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。この配向膜２４は、インクジェット法によって形成されている。すなわち、配向膜２４は、配向性高分子を所定の溶媒に溶解したパターン形成材料としての配向膜形成材料Ｆ（図６参照）を液滴Ｆｂ（図７参照）として各画素２２の上側全体に吐出し、着弾した液滴Ｆｂを乾燥させることによって形成されている。

前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。対向基板１５の下面（素子基板１４側の側面：電極形成面１５ａ）全体には、各画素電極２３と相対向するように形成された光透過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。対向電極２６は、前記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路２１からの所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２６の下面全体には、ラビング処理などによる配向処理の施された配向膜２７が積層されている。この配向膜２７は、前記配向膜２４と同じく、インクジェット法によって形成されて、前記対向電極２６の近傍で、液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。

そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の上側に表示される。

次に、上記配向膜２７（配向膜２４）を形成するための液滴吐出装置３０を図３〜９に従って説明する。
図３において、液滴吐出装置３０は本実施形態では配向膜形成装置であって、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられるとともに、その基台３１の上面には、その長手方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１に設けられたＸ軸モータＭＸ（図９の左上参照）の出力軸に駆動連結される移動手段としての基板ステージ３３が備えられるとともに、その基板ステージ３３が、前記案内溝３２に沿って、所定の速度（搬送速度Ｖｘ）でＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動する（Ｘ矢印方向に沿って走査される）ようになっている
。

基板ステージ３３の上面には、前記対向電極２６を上側にした対向基板１５を載置可能にする載置面３４が形成されて、載置された状態の対向基板１５を基板ステージ３３に対して位置決め固定するようになっている。尚、本実施形態では、載置面３４に対向基板１５を載置する構成にしているが、これに限らず、前記各画素電極２３を上側にした素子基板１４を載置する構成にしてもよい。

基台３１のＹ矢印方向両側には、門型に形成されたガイド部材３５が配設されるとともに、そのガイド部材３５には、Ｙ矢印方向に延びる上下一対のガイドレール３６が形成されている。また、ガイド部材３５には、ガイド部材３５に設けられたＹ軸モータＭＹ（図９の左下参照）の出力軸に駆動連結されるキャリッジ３７が備えられるとともに、そのキャリッジ３７が、ガイドレール３６に沿ってＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に往復動する（Ｙ矢印方向に沿って走査される）ようになっている。キャリッジ３７の内部には、前記配向膜形成材料Ｆ（図６参照）を導出可能に収容するインクタンク３８が配設されるとともに、そのインクタンク３８の収容する配向膜形成材料Ｆが、キャリッジ３７の下方に搭載される液滴吐出ヘッド４１まで導出されるようになっている。

図４は、キャリッジ３７（液滴吐出ヘッド４１）を下方（対向基板１５）から見た概略斜視図であって、図５及び図６は、キャリッジ３７及び液滴吐出ヘッド４１をＹ矢印方向側から見た概略側面図である。

図４において、キャリッジ３７の下側（図４における上側）には、Ｙ矢印方向に延びる直方体形状のガイドステージ３９が配設されている。ガイドステージ３９の下面（図４における上面）には、断面円弧状の凹曲面（ガイド面３９ａ）がガイドステージ３９のＹ矢印方向略全幅にわたって形成されている。ガイド面３９ａは、その曲率中心３９Ｃ（図５の下側中央参照）の位置が、ガイドステージ３９の直下であって、かつ、基板ステージ３３に載置された状態の対向電極２６の上面に沿うように形成されている。

図４において、ガイドステージ３９には、Ｙ矢印方向に延びる蒲鉾状に形成された傾動機構を構成する傾動ステージ４０が配設されている。傾動ステージ４０の一側面であって、そのガイドステージ３９側の側面（図４における下面）には、前記ガイド面３９ａに対応する凸曲面（摺動面４０ａ）が形成されている。また、傾動ステージ４０の他側面であって、その摺動面４０ａと相対向する側面（図４における上面）には、対向基板１５に沿う平面（取着面４０ｂ）が形成されている。

この傾動ステージ４０は、キャリッジ３７に内設される傾動モータＭＲ（図９の右上参照）の出力軸に駆動連結されるとともに、その傾動モータＭＲの駆動力を受けて、その摺動面４０ａを前記ガイド面３９ａに沿って摺動（回動）させるようになっている。つまり、この傾動ステージ４０は、その摺動面４０ａと前記ガイド面３９ａが面一になるように、対向電極２６上に位置する曲率中心３９Ｃを傾動軸にして、その取着面４０ｂを対向基板１５に対して傾動させるようになっている。

そして、取着面４０ｂを傾動させるための信号を傾動モータＭＲに供給する。すると、傾動モータＭＲが所定の回転数だけ正転駆動又は逆転駆動して、傾動ステージ４０の取着面４０ｂを、曲率中心３９Ｃを中心にして傾動させる。

尚、本実施形態では、図５の実線で示すように、傾動ステージ４０の配置位置であって、取着面４０ｂの法線方向（以下単に、吐出方向Ａという。）と対向基板１５の法線方向（Ｚ矢印方向）が平行になる配置位置を、「初期位置」という。また、図５の二点鎖線で
示すように、傾動ステージ４０の配置位置であって、吐出方向ＡがＺ矢印方向に対して右回りに所定の角度（傾斜角θ）だけ傾斜する状態の配置位置を、「傾斜位置」という。

図４において、取着面４０ｂには、Ｙ矢印方向に沿って延びる直方体形状に形成された液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）４１が備えられている。吐出ヘッド４１の下側（図４において上側）には、ノズルプレート４２が備えられるとともに、そのノズルプレート４２の対向基板１５側（図４における上側）には、取着面４０ｂと平行な吐出口形成面としてのノズル形成面４２ａが形成されている。そのノズル形成面４２ａには、吐出口としての複数のノズルＮが、Ｙ矢印方向に沿って等ピッチに配列形成されている。

図５において、各ノズルＮは、ノズル形成面４２ａ（取着面４０ｂ）の法線方向、すなわち前記吐出方向Ａに沿ってノズルプレート４２に貫通形成されるとともに、傾動ステージ４０が「初期位置」に位置するときに、前記曲率中心３９ＣのＺ矢印方向（吐出方向Ａの反対側）に位置するように配設されている。本実施形態では、前記曲率中心３９Ｃであって、かつ、各ノズルＮの吐出方向Ａに対応する位置を、それぞれ着弾位置ＰＦという。

そして、傾動モータＭＲを正転駆動して、傾動ステージ４０を「初期位置」から「傾斜位置」に配置移動する。すると、各ノズルＮは、図５に示すように、それぞれ曲率中心３９Ｃ（対応する着弾位置ＰＦ）を回動中心にして右回りに回動するとともに、その形成方向を、対向基板１５の法線（Ｚ矢印方向）に対して傾斜角θだけ傾斜させる。これによって、各ノズルＮは、その形成方向を傾斜させる際に、対応する着弾位置ＰＦの位置を維持させることができ、対応する着弾位置ＰＦとの間の距離を所定の距離（飛行距離Ｌ）に維持させることができる。すなわち、液滴吐出装置３０は、吐出方向Ａを変更する場合に、各ノズルＮから吐出する液滴Ｆｂの着弾精度を維持できるように構成されている。

図６において、各ノズルＮの吐出方向Ａの反対側には、前記インクタンク３８に連通するキャビティ４３が形成されて、インクタンク３８からの配向膜形成材料Ｆを、対応するノズルＮに供給させるようになっている。各キャビティ４３の吐出方向Ａの反対側には、吐出方向Ａ及びその反対方向に振動可能な振動板４４が貼り付けて、キャビティ４３内の容積を拡大・縮小させるようになっている。振動板４４の上側には、各ノズルＮに対応する複数の圧電素子ＰＺが配設されている。各圧電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動制御するための信号（圧電素子駆動信号ＣＯＭ：図９の左下参照）を受けて収縮・伸張し、対応する振動板４４を吐出方向Ａ及びその反対方向に振動させるようになっている。

ここで、図７に示すように、対向電極２６（対向基板１５）上であって、前記配向膜２７を形成する領域に、液滴Ｆｂを着弾させるための格子点（目標位置Ｐ）を、Ｘ矢印方向に沿って等間隔（吐出間隔Ｗ）に規定する。

続いて、傾動ステージ４０を「傾斜位置」に配置移動するとともに、基板ステージ３３のＸ矢印方向への搬送を開始する。そして、各着弾位置ＰＦが、それぞれ液滴Ｆｂを着弾させるための対向電極２６上の位置（目標位置Ｐ）に位置するタイミングで、各圧電素子ＰＺに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給する。

すると、各キャビティ４３の容積が拡大・縮小して、各ノズルＮ内のメニスカス（配向膜形成材料Ｆの界面）が振動する。各ノズルＮ内のメニスカスが振動すると、図７に示すように、圧電素子駆動信号ＣＯＭに応じた所定重量の配向膜形成材料Ｆが、対応するノズルＮから、所定の外径（液滴径Ｒ０：図８参照）からなる液滴Ｆｂとして吐出される。吐出された各液滴Ｆｂは、それぞれノズルＮの形成方向、すなわち傾斜角θだけ傾斜した吐出方向Ａに沿って、所定の速度（吐出速度Ｖｆ）で飛行距離Ｌだけ飛行して、やがて、対
向電極２６上の目標位置Ｐ（着弾位置ＰＦ）の領域に着弾する。

尚、本実施形態の圧電素子駆動信号ＣＯＭは、予め試験等に基づいて設定された波形データＷＤ（図９参照）に基づいて生成されて、メニスカスを円滑に振動させて、液滴Ｆｂの重量を、所定重量に安定させるように設定されている。すなわち、本実施形態の液滴吐出装置３０は、共通する圧電素子駆動信号ＣＯＭ（波形データＷＤ）によって各液滴Ｆｂを吐出させて、各液滴Ｆｂの外径を、それぞれ前記液滴径Ｒ０に安定させるようになっている。

そして、液滴Ｆｂが目標位置Ｐの領域に着弾すると、液滴Ｆｂは、その吐出方向Ａが傾斜する分だけ、着弾後の形状をＸ矢印方向に沿って拡張する。例えば、傾斜角θが小さい場合、液滴Ｆｂの着弾後の形状は、その傾斜角θが小さい分だけ、Ｚ矢印方向から見て、着弾位置ＰＦを中心にした円形状に近づく。反対に、傾斜角θが大きい場合、液滴Ｆｂの着弾後の形状は、その傾斜角θが大きい分だけ、Ｚ矢印方向から見て、Ｘ矢印方向に延びる楕円形状になる。

そこで、本発明者らは、着弾した液滴Ｆｂの形状を、吐出方向Ａを投影方向にした液滴Ｆｂの投影像に近似することによって、着弾した液滴ＦｂのＸ矢印方向に沿う液滴径（着弾径Ｒ１）の下限値が規定できることを見出した。

すなわち、着弾した液滴Ｆｂの形状を液滴Ｆｂの投影像で近似すると、図８に示すように、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１は、液滴径Ｒ０と傾斜角θによって以下の式で導出することができる。

Ｒ１＝Ｒ０／ｃｏｓθ
しかも、吐出した各液滴Ｆｂには、その吐出方向Ａの傾斜によって、傾斜角θに対応するＸ矢印方向の速度成分（接線方向速度Ｖｆｘ＝Ｖｆ×ｓｉｎθ：図７参照）が付与される。また、吐出した各液滴Ｆｂには、対向基板１５の搬送速度Ｖｘによって、反Ｘ矢印方向に、搬送速度Ｖｘに対応する相対速度が付与される。

そのため、着弾した液滴Ｆｂの形状は、接線方向速度Ｖｆｘと搬送速度Ｖｘの分だけ、その着弾径Ｒ１をＸ矢印方向に沿って拡張する。すなわち、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１は、液滴径Ｒ０と傾斜角θによって以下の式で導出することができる。

Ｒ１≧Ｒ０／ｃｏｓθ
そして、本実施形態では、液滴Ｆｂを吐出する工程において、上記着弾径Ｒ１が前記吐出間隔Ｗ以上になるように、傾斜角θを設定している。これによって、Ｘ矢印方向に広がる各液滴Ｆｂを、Ｘ矢印方向に沿って、確実に接合させることができる。

尚、本実施形態の液滴吐出装置３０では、液滴径Ｒ０と吐出間隔Ｗを利用して、θ＝ａｒｃｃｏｓ（Ｒ０／Ｗ）を満たす傾斜角θを設定しているが、これに限らず、ａｒｃｃｏｓ（Ｒ０／Ｗ）≦θ＜９０を満たす傾斜角θを設定してもよい。

次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図９に従って説明する。
図９において、角度設定手段を構成する制御装置５１には、傾動情報生成手段及び制御手段を構成するＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。そして、制御装置５１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラムに従って、基板ステージ３３及びキャリッジ３７を走査させるとともに、吐出ヘッド４１の各圧電素子ＰＺを駆動制御させるようになっている。

制御装置５１には、入力装置５２、Ｘ軸モータ駆動回路５３、Ｙ軸モータ駆動回路５４、吐出ヘッド駆動回路５５及び傾動機構駆動回路５６が接続されている。
入力装置５２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信号を制御装置５１に入力するとともに、対向基板１５に形成する配向膜２７の目標膜厚に関する情報を、既定形式の膜厚情報Ｉｔとして制御装置５１に入力するようになっている。そして、膜厚情報Ｉｔを入力装置５２から制御装置５１に入力する。すると、制御装置５１は、入力装置５２からの膜厚情報Ｉｔを受けて、対向電極２６上に吐出する配向膜形成材料Ｆの総重量を演算するとともに、演算した総重量と、波形データＷＤに対応する液滴Ｆｂの重量に基づいて、液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗ（各目標位置Ｐの位置座標）を演算するようになっている。各目標位置Ｐの位置座標を演算すると、制御装置５１は、液滴Ｆｂを吐出させるためのビットマップデータＢＭＤと、吐出間隔Ｗに対応する傾動データＲＤを生成して格納するようになっている。

ビットマップデータＢＭＤは、対向電極２６上の各目標位置Ｐに、それぞれ各ビットの値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビットの値に応じて、圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定したデータである。そして、ビットマップデータＢＭＤは、各着弾位置ＰＦが、対応する各目標位置Ｐに位置するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるように規定される。

傾動データＲＤは、傾斜角θを傾動モータＭＲの回転数に対応させたデータである。この傾斜角θは、吐出間隔Ｗと、波形データＷＤに対応する液滴径Ｒ０に基づいて、θ＝ａｒｃｃｏｓ（Ｒ０／Ｗ）を満たすように設定されている。

Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御装置５１からのＸ軸モータ駆動回路５３に対応する駆動制御信号に応答して、基板ステージ３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させるようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路５３には、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸが接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになっている。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づいて、基板ステージ３３（対向基板１５）の移動方向及び移動量を演算するとともに、基板ステージ３３の現在位置に関する情報をステージ位置情報ＳＰＩとして生成するようになっている。そして、制御装置５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３からのステージ位置情報ＳＰＩを受けて、各種信号を出力するようになっている。

Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御装置５１からのＹ軸モータ駆動回路５４に対応する駆動制御信号に応答して、キャリッジ３７を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路５４には、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹが接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになっている。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づいて、キャリッジ３７（ヘッドユニット３０）の移動方向及び移動量を演算するとともに、キャリッジ３７の現在位置に関する情報をキャリッジ位置情報ＣＰＩとして生成するようになっている。そして、制御装置５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４からのキャリッジ位置情報ＣＰＩを受けて、各種駆動信号を出力するようになっている。

詳述すると、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基づいて、対向基板１５がキャリッジ３７の直下に侵入する前に、対向基板１５の走査分（往動もしくは復動）に対応するビットマップデータＢＭＤに基づいて所定のクロック信号に同期させた、吐出制御信号ＳＩを生成するようになっている。そして、制御装置５１は、キャリッジ３７を走査するたびに、生成した吐出制御信号ＳＩを、吐出ヘッド駆動回路５５に順次シリアル転送するようになっている。

また、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩに基づいて、各着弾位置ＰＦが、それぞれ対応する目標位置Ｐに位置するたびに、波形データＷＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、圧電素子ＰＺに出力させるための信号（吐出タイミング信号ＬＰ）を生成するようになっている。そして、制御装置５１は、生成した吐出タイミング信号ＬＰを、吐出ヘッド駆動回路５５に順次出力するようになっている。

吐出ヘッド駆動回路５５には、吐出ヘッド４１が接続されるとともに、制御装置５１からの波形データＷＤ、吐出制御信号ＳＩ及び吐出タイミング信号ＬＰが供給されるようになっている。吐出ヘッド駆動回路５５は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを受けて、その吐出制御信号ＳＩを、それぞれ各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換するようになっている。そして、吐出ヘッド駆動回路５５は、制御装置５１からの吐出タイミング信号ＬＰを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩに基づいて、波形データＷＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、各圧電素子ＰＺに供給するようになっている。すなわち、吐出ヘッド駆動回路５５は、各着弾位置ＰＦが目標位置Ｐに位置するたびに、対応する圧電素子ＰＺに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給するようになっている。

傾動機構駆動回路５６は、制御装置５１からの傾動データＲＤに応答して、傾動ステージ４０を傾動させる傾動モータＭＲを正転又は逆転させるようになっている。その傾動機構駆動回路５６には、傾動モータ回転検出器ＭＥＲが接続されて、傾動モータ回転検出器ＭＥＲからの検出信号が入力されるようになっている。傾動機構駆動回路５６は、傾動モータ回転検出器ＭＥＲからの検出信号に基づいて、傾動ステージ４０の傾斜角θ（実傾斜角）を演算するようになっている。また、傾動機構駆動回路５６は、演算した実傾斜角に関する情報を傾動ステージ情報ＲＰＩとして生成して、制御装置５１に出力するようになっている。

次に、上記する液滴吐出装置３０を使用して対向基板１５に配向膜２７を形成する方法について説明する。
まず、図３に示すように、基板ステージ３３上に、対向基板１５を載置する。このとき、基板ステージ３３は、キャリッジ３７よりも反Ｘ矢印方向側に配置されて、キャリッジ３７は、ガイド部材３５の最も反Ｙ矢印方向に配置されている。また、傾動ステージ４０は、前記「初期位置」に配置されている。

この状態から、入力装置５２を操作して膜厚情報Ｉｔを制御装置５１に入力する。すると、制御装置５１は、膜厚情報Ｉｔに基づくビットマップデータＢＭＤ及び傾動データＲＤを生成して格納する。

ビットマップデータＢＭＤ及び傾動データＲＤを生成すると、制御装置５１は、傾動データＲＤを傾動機構駆動回路５６に出力して、傾動ステージ４０を「傾斜位置」に配置移動する。傾動ステージ４０を配置移動すると、制御装置５１は、傾動機構駆動回路５６からの傾動ステージ情報ＲＰＩを受けて、実傾斜角が、傾動データＲＤに対応する傾斜角θであるか否かを判断する。すなわち、制御装置５１は、実傾斜角が、θ＝ａｒｃｃｏｓ（Ｒ０／Ｗ）を満たす傾斜角θであるか否かを判断する。

そして、実傾斜角が傾動データＲＤに対応する傾斜角θであると判断する（傾動ステージ４０をセットする）と、制御装置５１は、Ｙ軸モータＭＹを駆動制御して、キャリッジ３７を配置移動する。そして、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送されるときに、各着弾位置ＰＦが、対応する目標位置Ｐの走査経路上（Ｘ矢印方向）に位置するように、キャリッジ３７（各ノズルＮ）をセットする。キャリッジ３７をセットすると、制御装置５１は、Ｘ軸モータＭＸを駆動制御して、基板ステージ３３（対向基板１５）のＸ矢印方向への搬
送を開始する。

この際、制御装置５１は、波形データＷＤを所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘッド駆動回路５５に出力する。また、制御装置５１は、基板ステージ３３の１回の走査分に対応するビットマップデータＢＭＤを所定のクロック信号に同期させた吐出制御信号ＳＩを生成するとともに、生成した吐出制御信号ＳＩを、吐出ヘッド駆動回路５５に順次シリアル転送する。

やがて、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基づいて、各着弾位置ＰＦが対向電極２６上の各格子点に位置するたびに、吐出タイミング信号ＬＰを出力し、吐出制御信号ＳＩに基づく液滴吐出動作を実行する。

すなわち、制御装置５１は、各着弾位置ＰＦが目標位置Ｐに位置するタイミングで、各圧電素子ＰＺに、波形データＷＤに対応する圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給し、各ノズルＮから、一斉に配向膜形成材料Ｆの液滴Ｆｂを吐出させる。

この際、吐出される各液滴Ｆｂは、それぞれ傾斜角θだけ傾斜した吐出方向Ａに沿って吐出速度Ｖｆで飛行して、Ｘ矢印方向に沿って吐出間隔Ｗだけ離間する目標位置Ｐの領域に順次着弾する。着弾する各液滴Ｆｂは、その吐出方向Ａが着弾形状の近似に基づく傾斜角θだけ傾斜されて、その着弾径Ｒ１を吐出間隔Ｗ以上にする。しかも、着弾する各液滴Ｆｂは、その接線方向速度Ｖｆｘと、搬送速度Ｖｘに対応する相対速度によって、その着弾径Ｒ１を、さらに拡張させる。そのため、対向電極２６上に吐出する各液滴Ｆｂは、それぞれＸ矢印方向に沿って、確実に接合される。

これによって、液滴Ｆｂの接合による均一な膜厚からなる液状の膜を形成することができ、該液状膜を乾燥させることによって均一な膜厚の配向膜２７を形成させることができる。対向基板１５に配向膜２７が形成されると、該配向膜２７に対して公知のラビング処理がなされる。

一方、同様な方法で、素子基板１４においても配向膜２４が、液滴吐出装置３０にて形成され、該配向膜２４に対して同様にラビング処理される。そして、素子基板１４にシール材１６が形成され、シール材１６に囲まれた領域内に液晶１７を配置して、素子基板１４と対向基板１５を貼り合わせることによって、液晶パネル１３が形成される。

次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１が液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗ以上になるように、対向基板１５の法線と吐出方向Ａのなす傾斜角θを、吐出する液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗに基づいて設定させるようにした。

従って、着弾した液滴Ｆｂを、吐出方向Ａに対応する方向に沿って、確実に接合させることができる。その結果、吐出間隔Ｗの変更、すなわち配向膜２７の目標膜厚の変更に関わらず、配向膜形成材料Ｆの領域を、吐出方向Ａに対応する方向に沿って接合させることができる。そのため、液滴Ｆｂからなる配向膜２７の膜厚均一性を向上させることができる。
（２）上記実施形態によれば、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１を、吐出方向Ａを投影方向にした液滴Ｆｂの投影像で近似するようにした。そして、吐出方向Ａと法線のなす傾斜角θを、液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗのみに基づいて設定するようにした。

従って、吐出方向Ａに沿う配向膜形成材料Ｆの領域を、より簡便に、吐出方向Ａに対応する方向に沿って接合させることができる。
（３）上記実施形態によれば、対向基板１５の法線方向から見て、吐出方向Ａが、対向基板１５の走査方向（Ｘ矢印方向）の反対側になるように、傾斜角θを設定するようにした。従って、対向基板１５の搬送速度Ｖｘの分だけ、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１を、さらに拡大させることができる。その結果、配向膜２７の膜厚均一性を、より確実に、向上させることができる。
（４）上記実施形態によれば、制御装置５１が、液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と吐出間隔Ｗに基づいて、傾斜角θに関する傾動データＲＤを生成するようにした。そして、傾動データＲＤに基づいて、傾動モータＭＲを駆動制御し、傾斜角θが、θ＝ａｒｃｃｏｓ（Ｒ０／Ｗ）を満たすようにした。従って、配向膜形成材料Ｆの領域を、さらに確実に、吐出方向Ａに沿う方向に接合させることができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と吐出間隔Ｗのみに基づいて傾斜角θを設定する構成にした。これに限らず、例えば、液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０や吐出間隔Ｗに加えて、液滴Ｆｂの表面張力や液滴Ｆｂの粘度、液滴Ｆｂの吐出速度Ｖｆ等に基づいて傾斜角θを設定する構成にしてもよい。すなわち、少なくとも液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗに基づいて傾斜角θを設定する構成であればよい。
・上記実施形態では、対向基板１５の法線方向から見て、吐出方向Ａの反対側に沿って、基板ステージ３３を走査するようにした。これに限らず、対向基板１５の法線から見て、吐出方向Ａに沿うように、基板ステージ３３を走査してもよい。尚、この際、液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０や吐出間隔Ｗに加えて、基板ステージ３３の搬送速度Ｖｘに基づいて傾斜角θを設定する構成にしてもよい。すなわち、液滴Ｆｂの着弾径Ｒ１が吐出間隔Ｗ以上になるように、少なくとも液滴Ｆｂの液滴径Ｒ０と液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗに基づいて傾斜角θを設定する構成であればよい。
・上記実施形態では、傾動機構を、傾動ステージ４０として具体化した。これに限らず、例えば、基板ステージ３３を傾動機構として具体化し、基板ステージ３３に載置された対向基板１５を、ノズル形成面４２ａに対して傾動させる構成であってもよい。
・上記実施形態では、ノズルＮを一列だけ備える構成にした。これに限らず、ノズルＮを複数列備える構成にしてもよい。
・上記実施形態では、パターンを、液晶表示装置１０の配向膜２７に具体化した。これに限らず、例えば、液晶表示装置１０や、電子放出素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤなど）に設けられる各種薄膜、金属配線、カラーフィルタなどに具体化してもよい。すなわち、着弾した液滴Ｆｂによって形成するパターンであればよい。
・上記実施形態では、基板を、液晶表示装置１０の対向基板１５に具体化した。これに限らず、基板を、シリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板などに具体化してもよい。
・上記実施形態では、電気光学装置を、液晶表示装置１０に具体化した。これに限らず、例えば、電気光学装置を、エレクトロルミネッセンス装置に具体化してもよい。

本実施形態における液晶表示装置を示す斜視図。 同じく、液晶表示装置を示す断面図。 同じく、液滴吐出装置を示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す斜視図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す側面図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す側面図。 同じく、液滴吐出ヘッドを示す側面図。 同じく、液滴吐出動作を説明する説明図。 同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。 従来例の液滴吐出装置を示す概略側面図。

符号の説明

Ａ…吐出方向、Ｗ…吐出間隔、Ｆｂ…液滴、Ｆ…パターン形成材料としての配向膜形成材料、Ｎ…吐出口としてのノズル、Ｒ０…外径、Ｒ１…着弾径、１０…電気光学装置としての液晶表示装置、１５…基板としての対向基板、２７…パターンとしての配向膜、３０…液滴吐出装置、４０…傾動機構を構成する傾動ステージ、４２ａ…吐出口形成面としてのノズル形成面、５１…角度設定手段を構成する制御装置。

Claims (8)

1. 基板の法線に対して傾斜する吐出方向に沿ってパターン形成材料の液滴を吐出し、前記基板にパターンを形成するようにしたパターン形成方法であって、
   前記基板の法線方向から見て、前記基板に着弾した液滴の吐出方向に沿う着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記液滴の吐出間隔に基づいて、着弾位置を回転中心として前記液滴を吐出する複数の吐出口の形成された吐出口形成面を前記基板の法線に対して傾動して、前記法線と前記吐出方向のなす角度を設定するようにし、
   前記基板の法線方向から見て、前記吐出方向の反対側に沿って、前記基板を前記吐出口形成面に対して相対移動するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
2. 請求項１に記載のパターン形成方法において、
   前記液滴の外径をＲとし、前記液滴の吐出間隔をＷとし、前記角度をθとするときに、ａｒｃｃｏｓ（Ｒ／Ｗ）≦θ＜９０を満たすように前記角度を設定するようにしたことを特徴とするパターン形成方法。
3. 基板の法線に対して傾斜する吐出方向に沿って配向膜形成材料の液滴を吐出し、前記基板に配向膜を形成するようにした配向膜形成方法であって、
   前記基板の法線方向から見て、前記基板に着弾した液滴の吐出方向に沿う着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記液滴の吐出間隔に基づいて、着弾位置を回転中心として前記液滴を吐出する複数の吐出口の形成された吐出口形成面を前記基板の法線に対して傾動して、前記法線と前記吐出方向のなす角度を設定するようにし、
   前記基板の法線方向から見て、前記吐出方向の反対側に沿って、前記基板を前記吐出口形成面に対して相対移動するようにしたことを特徴とする配向膜形成方法。
4. パターン形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板にパターンを形成する液滴吐出装置であって、
   前記液滴を吐出する複数の吐出口を一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する吐出口形成面と、
   前記一方向に沿う傾動軸を中心にして前記吐出口形成面を傾動する傾動機構と、
   前記傾動機構を駆動制御して、前記基板の法線方向から見て、前記液滴の吐出方向に沿う前記液滴の着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて、前記基板の法線と前記吐出方向のなす角度を設定する角度設定手段と、
   を備え、
   前記角度設定手段は、
   前記着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて前記傾動機構を駆動制御するための傾動情報を生成する傾動情報生成手段と、
   前記傾動情報生成手段の生成した前記傾動情報に基づいて前記傾動機構を駆動制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
5. 請求項４に記載の液滴吐出装置において、
   前記傾動情報生成手段は、前記液滴の外形をＲとし、前記液滴の吐出間隔をＷとし、前記角度をθとするときに、ａｒｃｃｏｓ（Ｒ／Ｗ）≦θ＜９０を満たす前記傾動情報を生成することを特徴とする液滴吐出装置。
6. 請求項４又は５に記載の液適吐出装置において、
   前記基板を前記吐出口形成面に対して相対移動する移動手段を備え、
   前記角度設定手段は、前記基板の法線方向から見て、前記吐出方向が、前記吐出口形成面に対する前記基板の相対移動方向の反対側になるように、前記角度を設定することを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項６に記載の液滴吐出装置において、
   前記移動手段は、前記基板を載置して、載置した前記基板を前記相対移動方向に沿って移動するステージであることを特徴とする液滴吐出装置。
8. 配向膜形成材料の液滴を基板に吐出して前記基板に配向膜を形成する配向膜形成装置であって、
   前記液滴を吐出する複数の吐出口を一方向に沿う列状に有して前記基板に相対向する吐出口形成面と、
   前記一方向に沿う傾動軸を中心にして前記吐出口形成面を傾動する傾動機構と、
   前記傾動機構を駆動制御して、前記基板の法線方向から見て、前記液滴の吐出方向に沿う前記液滴の着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて、前記基板の法線と前記吐出方向のなす角度を設定する角度設定手段と、
   を備え、
   前記角度設定手段は、
   前記着弾径が前記液滴の吐出間隔以上になるように、吐出する前記液滴の外径と前記吐出間隔に基づいて前記傾動機構を駆動制御するための傾動情報を生成する傾動情報生成手段と、
   前記傾動情報生成手段の生成した前記傾動情報に基づいて前記傾動機構を駆動制御する制御手段と、
   を備えたことを特徴とする配向膜形成装置。

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