JP2008176009A - パターン形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板にマトリクス状に凹部を区画形成し、液滴を適切に選択した凹部に配置して
広げることにより、基板に容易に正確なパターンを形成する、パターン形成方法を提供す
る。
【解決手段】各第２の凹部２６ｃが形成された対向基板の対向電極２６に、液滴吐出装置
から吐出されて着弾した各液滴Ｆｂ１は、相互に結合して液層Ｚ１を形成する。液層Ｚ１
の中央の付近は、略山型に盛り上がっているので、液層Ｚ１が跨っている各第２の凹部２
６ｃの内部全体に広がる。このとき吐出された液量が多いので、依然、液層Ｚ１の中央の
付近は盛り上がっている。この状態において、液層Ｚ１は、液層Ｚ１の中央に近い側面部
分から、隣接する第２の凹部２６ｃに濡れ広がる。以降、液層Ｚ１は、隣接する第２の凹
部２６ｃに濡れ広がることを繰り返す。そして、対向電極２６の全面に均一に濡れ広がっ
た液層Ｚ１を乾燥させて配向膜が形成される。
【選択図】図９

Description

本発明は、パターン形成方法に関する。

液晶表示装置は、素子基板と対向基板の間にシール材を介して液晶を封入している。そ
して、素子基板及び対向基板の液晶の接する面には、液晶を配向するための配向膜が形成
されている。配向膜は、素子基板及び対向基板の略全面に形成されていて、その形成方法
のひとつに、インクジェット法がある。インクジェット法は、基板上に吐出された液滴同
士を相互に結合させて、基板上に配向膜のパターンを形成させる。ところが、基板上に吐
出された液滴は、基板上で均一に広がらない場合があり、例えば、収縮してスジを生じた
り、他の液滴に引き寄せられてバルジを生じてしまうなど、均一な配向膜を成膜すること
が難しかった。

そこで、液滴吐出装置から吐出した液滴を、バンク（隔壁）で囲まれた範囲に、未充填
個所が生じないように、好適に配置する方法が提案されている（特許文献１）。特許文献
１は、ガラス基板上に形成された画素電極上の隔壁により区分された領域に、液滴として
の発光薄膜材料を、吐出間隔を２秒以下として続けて２滴、インクジェットノズルから吐
出、乾燥し、発光薄膜層を形成した。液滴の吐出間隔を２秒以下とすることにより、液滴
が先に吐出乾燥した液滴に引き寄せられて、結果として液滴がバンク内に広がらないこと
を防いだ。

しかしながら、特許文献１では、広範囲に液滴を均一に広げる場合にまでは適用できな
かった。
そこで、液滴吐出装置から複数の液滴を吐出して、液滴を、バンクで囲まれた範囲に未
充填個所を生じさせず配置する方法が提案されている（特許文献２）。特許文献２は、バ
ンクで囲まれた部分のバンクの隅部では、液滴を隅部の近くに吐出し、バンクで囲まれた
部分の中央に向かうにつれて、吐出する液滴間の間隔を狭くして、中央付近では、液滴を
中央の部分に吐出した。それにより、吐出した液滴がバンクに接触する時の液滴の高さを
、どこでも略均一になるようにして、バンクからの液が漏れないようにし、液滴をバンク
で囲まれた部分に均一に配置されるようにした。
特開２００４−３１０７７号公報 特開２００６−１７８２０８号公報

しかしながら、特許文献２では、液滴の吐出位置の正確な位置決めが必要であり、吐出
方法が複雑となった。また、吐出に時間のかかる広範囲に液滴を広げる場合に適用するの
は容易ではなかった。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板にマトリ
クス状に凹部を区画形成し、液滴を適切に選択した凹部に配置して広げることにより、基
板に容易に正確なパターンを形成する、パターン形成方法を提供することにある。

本発明のパターン形成方法は、基板に複数の凹部を隣接させて形成し、該凹部を形成し
た基板上に、液滴吐出手段にて、機能液状体を液滴にして吐出して、複数の前記凹部を跨
いで該基板上に前記機能液状体のパターンを形成した。

本発明のパターン形成方法によれば、基板に配置された液滴は、複数の凹部を跨いで配
置され、その液滴が形成するパターンの縁の部分の形状は凹部の形状に規制される。従っ
て、基板に吐出された液滴によって、凹部の形状に規制された正確な形状のパターンを形
成することができる。

また、パターンを形成する液滴は、基板への着弾精度が低くても、少なくとも目的の凹
部にその一部が跨れば、該凹部の形状に広がるとともに規制される。そのため、吐出した
液滴の基板への着弾精度が悪いことを要因とする不都合を減少させることができる。また
、液滴吐出手段に、高い液滴吐出精度が要求されないため、液滴吐出手段の構造やシステ
ムを簡易にすることができる。

このパターン形成方法は、前記複数の凹部は、マトリクス状に区画形成されると好適で
ある。
このパターン形成方法によれば、凹部はマトリクス状に区画形成されているので、液滴
吐出装置によって、液滴を吐出する凹部を選択することができる。従って、選択した凹部
に、液量の少ない液滴を吐出すれば、任意の形状にパターンを形成することができる。そ
の結果、基板に、事前に所定の形状のパターンを形成する必要がなくなり、基板へのパタ
ーン形成が容易になる。

また、選択した凹部に、液量の多い液滴を吐出すれば、吐出した液滴を基板上の凹部に
沿って好適に広げることができる。その結果、基板上に好適に機能液状体の液層を形成す
ることができる。

加えて、凹部をマトリクス状に区画形成したことから、凹部の形成も容易にできる。
このパターン形成方法は、前記液滴吐出手段は、先に基板に吐出された液滴と少なくと
も一部が重なるように液滴を吐出するとよい。

このパターン形成方法によれば、吐出された液滴と液滴は、少なくとも一部が重なる。
従って、液滴と液滴が接触結合して大きな液層を作ることができる。その結果、基板に、
機能液状体を広く濡れ広がらせることや、基板に機能液状体の厚い層を形成したりするこ
とができる。

このパターン形成方法は、前記液滴吐出手段は、基板に吐出された前記液滴が配置され
た前記凹部に、別に吐出した前記液滴の少なくとも一部が配置されるように前記液滴を吐
出してもよい。

このパターン形成方法によれば、別に吐出した液滴は、すでに吐出された液滴が広がっ
ている凹部に配置される。従って、先に吐出された液滴と、後から吐出した液滴を接触結
合させることができる。その結果、基板上に吐出された液滴によって、機能液状体による
パターンを形成することができる。

このパターン形成方法は、前記凹部は、前記機能液状体に対して親液性であってもよい
。
このパターン形成方法によれば、凹部は機能液状体に対して親液性であるので、液滴は
凹部において好適に濡れ広がることができる。

このパターン形成方法は、前記凹部は、隣接する前記凹部との間に凸部を備え、前記凸
部は、前記機能液状体に対して撥液性であってもよい。
このパターン形成方法によれば、凸部は機能液状体に対して撥液性であるので、液滴は
凹部が形成された範囲に保持されやすくなる。従って、機能液状体の層を、凹部に好適に
形成することができる。

このパターン形成方法は、前記機能液状体は、配向膜を形成する配向性高分子を含む液
状体であって、前記基板は、液晶表示装置の素子基板または対向基板であってもよい。
このパターン形成方法によれば、液滴吐出手段から吐出された配向性高分子を含む液滴
は、凹部の形成された、素子基板または対向基板に好適に濡れ広がることができる。従っ
て、素子基板又は対向基板に、液滴吐出手段によって好適な配向膜を形成することができ
る。

このパターン形成方法は、前記機能液状体は、カラーフィルタを形成する色材料を含む
液状体であって、前記基板は、液晶表示装置の対向基板であってもよい。
このパターン形成方法によれば、液滴吐出手段から吐出された色材料を含む液滴は、凹
部の形成された、対向基板に好適に濡れ広がることができる。従って、対向基板に、液滴
吐出手段によって好適なカラーフィルタを形成することができる。

このパターン形成方法は、前記機能液状体は、導電性配線を形成する金属粒子を含む液
状体であって、前記基板は、液晶表示装置の素子基板または対向基板であってもよい。
このパターン形成方法によれば、液滴吐出手段から吐出された金属粒子を含む液滴は、
凹部の形成された、素子基板または対向基板に正確な形状で濡れ広がる。従って、素子基
板又は対向基板に、液滴吐出手段によって正確なパターンに導電性配線を形成することが
できる。

（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図１０に従って説明する。まず、本発
明のパターン形成方法によって形成した配向膜を有する液晶表示装置１０について説明す
る。図１は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。

図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状
に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の
上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備
えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射さ
れるようになっている。

液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これ
ら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状の
シール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５
との間の間隙に、液晶１７が封入されている。

素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学
基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光
にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側
面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ矢印方向）略全幅にわたって延びる複数の走査
線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設され
る走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査信
号が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには、
Ｙ矢印方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各データ
線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に接
続されるとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所定
のタイミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘと
データ線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されてマ
トリックス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２２には、それぞれ
ＴＦＴなどの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３が
備えられている。

図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施され
た配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子か
らなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の
配向に設定するようになっている。この配向膜２４は、インクジェット法によって形成さ
れている。すなわち、配向膜２４は、配向性高分子を所定の溶媒に溶解した機能液状体と
しての配向膜形成材料Ｆ（図７参照）を液滴Ｆｂ（図７参照）として各画素２２の上側全
体に吐出し、着弾した液滴Ｆｂを乾燥させることによって形成されている。

前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（
図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。一方、対向基板１５の下面
（素子基板１４側の側面）には、図３に示すように、四角枠状の隔壁（以下、枠状隔壁）
２８ａと、該枠状隔壁２８ａに囲まれた部分に格子状の隔壁（以下、格子状隔壁）２８ｂ
が形成されている。

枠状隔壁２８ａ及び格子状隔壁２８ｂは、同じ材質であって、本実施形態では、ポリイ
ミド樹脂やアクリル樹脂などからなる光透過性の樹脂によって形成されているとともに、
配向膜形成材料Ｆに対しての親液性を有している。

また、格子状隔壁２８ｂの高さは、枠状隔壁２８ａよりも低い高さであって、略１００
ナノメートルである。また、格子状隔壁２８ｂの幅Ｄ１は、１〜２マイクロメートルであ
る。さらに、Ｘ矢印方向又はＹ矢印方向に平行に並んだ格子状隔壁２８ｂ同士の間隔Ｄ２
は、いずれも１０マイクロメートルに格子状隔壁２８ｂの幅Ｄ１を加えた距離になってい
る。

そして、格子状隔壁２８ｂで囲まれた各部分は、対向基板１５を底部とした四角形状の
第１の凹部２８ｃが形成される。各第１の凹部２８ｃは、素子基板１４と対向基板１５を
貼り合わせた際に、それぞれに対応する画素電極２３と相対向する位置に形成されている
。

第１の凹部２８ｃの４辺の長さは、いずれも略１０マイクロメートルであり、第１の凹
部２８ｃの深さは、格子状隔壁２８ｂの高さと略同じ、略１００ナノメートルである。つ
まり、各第１の凹部２８ｃの容積（容量Ｃ１）は、およそ１０×１０のマイナス１８乗立
方メートル、つまり、およそ０．０１ピコリットルである。

枠状隔壁２８ａ及び格子状隔壁２８ｂが形成された対向基板１５の下面であって、図４
に示すように、光透過性の導電膜からなる対向電極２６が各画素電極２３と相対向するよ
うに積層されている。

対向電極２６は、格子状隔壁２８ｂ及び第１の凹部２８ｃによる凸凹を備えている対向
基板１５の表面に、スパッタリング法などで形成されている。スパッタリング法で積層さ
れる対向電極２６の厚みは、全面にわたって略一定になる。そのため、対向電極２６の表
面には格子状隔壁２８ｂ及び第１の凹部２８ｃによって凸凹が形成される。つまり、対向
電極２６の表面には、格子状隔壁２８ｂに対応する部分には凸部２６ｂが、第１の凹部２
８ｃに対応する部分には第２の凹部２６ｃが形成される。このときの第２の凹部２６ｃの
容積（容量Ｃ２）は、略容量Ｃ１と同様におよそ０．０１ピコリットルである。

図２において、対向電極２６は、前記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとと
もに、そのデータ線駆動回路２１からの所定の共通電位が付与されるようになっている。
対向電極２６の下面全体（図４における上側）には、ラビング処理などによる配向処理の
施された配向膜２７が積層されている。この配向膜２７は、前記配向膜２４と同じく、イ
ンクジェット法によって形成されて、前記対向電極２６の近傍で、液晶１７の配向を所定
の配向に設定するようになっている。

そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電
極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち
、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光
が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の
上側に表示される。

次に、上記配向膜２７を形成するための液滴吐出手段としての液滴吐出装置３０を図５
〜７に従って説明する。
図５において、液滴吐出装置３０には、直方体形状に形成された基台３１が備えられる
とともに、その基台３１の上面には、その長手方向（Ｘ矢印方向）に沿って延びる一対の
案内溝３２が形成されている。その基台３１の上方には、基台３１に設けられたＸ軸モー
タＭＸ（図１０の左上参照）の出力軸に駆動連結される移動手段としての基板ステージ３
３が備えられるとともに、その基板ステージ３３が、前記案内溝３２に沿って、所定の速
度（搬送速度Ｖｘ）でＸ矢印方向及び反Ｘ矢印方向に往復動する（Ｘ矢印方向に沿って走
査される）ようになっている。

基板ステージ３３の上面には、前記対向電極２６を上側にした対向基板１５を載置可能
にする載置面３４が形成されて、載置された状態の対向基板１５を基板ステージ３３に対
して位置決め固定するようになっている。尚、本実施形態では、載置面３４に対向基板１
５を載置する構成にしているが、これに限らず、前記各画素電極２３を上側にした素子基
板１４を載置する構成にしてもよい。また、載置面３４には、種々のサイズの基板を位置
決め固定することができる。

基台３１のＹ矢印方向両側には、門型に形成されたガイド部材３５が配設されるととも
に、そのガイド部材３５には、Ｙ矢印方向に延びる上下一対のガイドレール３６が形成さ
れている。また、ガイド部材３５には、ガイド部材３５に設けられたＹ軸モータＭＹ（図
１０の左下参照）の出力軸に駆動連結されるキャリッジ３７が備えられるとともに、その
キャリッジ３７が、ガイドレール３６に沿ってＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に往復動する
（Ｙ矢印方向に沿って走査される）ようになっている。キャリッジ３７の内部には、前記
配向膜形成材料Ｆ（図７参照）を導出可能に収容するインクタンク３８が配設されるとと
もに、そのインクタンク３８の収容する配向膜形成材料Ｆが、キャリッジ３７の下方に搭
載される液滴吐出ヘッド４１まで導出されるようになっている。

図６は、キャリッジ３７（液滴吐出ヘッド４１）を下方（対向基板１５側）から見た概
略斜視図であって、図７は、液滴吐出ヘッド４１をＹ矢印方向側から見た概略側面図であ
る。

図６において、キャリッジ３７の下側（図６における上側）には、Ｙ矢印方向に延びる
直方体形状の筐体４０が配設され、その取着面４０ｂには、Ｙ矢印方向に沿って延びる直
方体形状に形成された液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）４１が備えられ
ている。吐出ヘッド４１の下側（図６において上側）には、ノズルプレート４２が備えら
れるとともに、そのノズルプレート４２の対向基板１５側（図６における上側）には、取
着面４０ｂと平行なノズル形成面４２ａが形成されている。そのノズル形成面４２ａには
、吐出口としての複数のノズルＮが、Ｙ矢印方向に沿って等ピッチに配列形成されている
。

図７において、各ノズルＮは、ノズル形成面４２ａ（取着面４０ｂ）の法線方向、すな
わち吐出方向Ａに沿ってノズルプレート４２に貫通形成されている。本実施形態では、各
ノズルＮの吐出方向Ａに対応する位置を、それぞれ着弾位置ＰＦという。

各ノズルＮの吐出方向Ａの反対側には、前記インクタンク３８に連通するキャビティ４
３が形成されて、インクタンク３８からの配向膜形成材料Ｆを、対応するノズルＮに供給
させるようになっている。各キャビティ４３の吐出方向Ａの反対側には、吐出方向Ａ及び
その反対方向に振動可能な振動板４４が貼り付けられていて、キャビティ４３内の容積を
拡大・縮小させるようになっている。振動板４４の上側には、各ノズルＮに対応する複数
の圧電素子ＰＺが配設されている。各圧電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動制御
するための信号（圧電素子駆動信号ＣＯＭ：図１０の左下参照）を受けて収縮・伸張し、
対応する振動板４４を吐出方向Ａ及びその反対方向に振動させるようになっている。

そして、対向電極２６（対向基板１５）上であって、前記配向膜２７を形成する領域（
枠状隔壁２８ａ内）に、液滴Ｆｂを着弾させるための格子点（以下、「目標位置Ｐ」とす
る。）を、Ｘ矢印方向に沿って等間隔（吐出間隔Ｗ）に規定するようになっている。基板
ステージ３３をＸ矢印方向へ搬送させ、吐出ヘッド４１のノズルＮの直下を各目標位置Ｐ
が、通過するタイミングで、各圧電素子ＰＺに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給する。

すると、各キャビティ４３の容積が拡大・縮小して、各ノズルＮ内のメニスカス（配向
膜形成材料Ｆの界面）が振動する。各ノズルＮ内のメニスカスが振動すると、圧電素子駆
動信号ＣＯＭに応じた所定重量の配向膜形成材料Ｆが、対応するノズルＮから、所定の外
径、つまり所定の液量からなる液滴Ｆｂとして吐出される。吐出された各液滴Ｆｂは、吐
出方向Ａに沿って、飛行距離Ｌだけ飛行して、やがて、対向電極２６上の目標位置Ｐ（着
弾位置ＰＦ）の領域に着弾する。本実施形態においては、液滴Ｆｂの所定の液量は、対向
電極２６に着弾した液滴Ｆｂが複数の第２の凹部２６ｃに広がる量であり、例えば第２の
凹部２６ｃの容量Ｃ２の１０００倍である１０ピコリットルに設定されている。

尚、本実施形態の圧電素子駆動信号ＣＯＭは、予め試験等に基づいて設定された波形デ
ータＷＤ（図１０参照）に基づいて生成されて、メニスカスを円滑に振動させて、液滴Ｆ
ｂの重量を、所定重量に安定させるように設定されている。すなわち、本実施形態の液滴
吐出装置３０は、共通する圧電素子駆動信号ＣＯＭ（波形データＷＤ）によって各液滴Ｆ
ｂを吐出させて、各液滴Ｆｂの外径を、つまり吐出する液量を安定させるようになってい
る。

次に、上記のように構成した液滴吐出装置３０の電気的構成を図１０に従って説明する
。
図１０において、制御装置５１には、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどが備えられている。
そして、制御装置５１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラ
ムに従って、基板ステージ３３及びキャリッジ３７を走査させるとともに、吐出ヘッド４
１の各圧電素子ＰＺを駆動制御させるようになっている。

制御装置５１には、入力装置５２、Ｘ軸モータ駆動回路５３、Ｙ軸モータ駆動回路５４
及び吐出ヘッド駆動回路５５が接続されている。
入力装置５２は、起動スイッチ、停止スイッチなどの操作スイッチを有して各種操作信
号を制御装置５１に入力するとともに、対向基板１５に形成する配向膜２７の目標膜厚に
関する情報を、既定形式の膜厚情報Ｉｔとして制御装置５１に入力するようになっている
。そして、膜厚情報Ｉｔを入力装置５２から制御装置５１に入力する。すると、制御装置
５１は、入力装置５２からの膜厚情報Ｉｔを受けて、対向電極２６上に吐出する配向膜形
成材料Ｆの総重量を演算するとともに、演算した総重量と、波形データＷＤに対応する液
滴Ｆｂの吐出重量に基づいて、液滴Ｆｂの吐出間隔Ｗ（各目標位置Ｐの位置座標）を演算
するようになっている。各目標位置Ｐの位置座標を演算すると、制御装置５１は、液滴Ｆ
ｂを吐出させるためのビットマップデータＢＭＤを生成して格納するようになっている。

ビットマップデータＢＭＤは、対向電極２６上の各目標位置Ｐに、それぞれ各ビットの
値（０あるいは１）を対応させたデータであって、各ビットの値に応じて、各圧電素子Ｐ
Ｚのオンあるいはオフを規定したデータである。そして、ビットマップデータＢＭＤは、
各着弾位置ＰＦが、対応する各目標位置Ｐに位置するたびに、液滴Ｆｂを吐出させるよう
に規定される。

Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御装置５１からのＸ軸モータ駆動回路５３に対応する駆
動制御信号に応答して、基板ステージ３３を往復移動させるＸ軸モータＭＸを正転又は逆
転させるようになっている。そのＸ軸モータ駆動回路５３には、Ｘ軸モータ回転検出器Ｍ
ＥＸが接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号が入力されるようになっ
ている。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、Ｘ軸モータ回転検出器ＭＥＸからの検出信号に基づ
いて、基板ステージ３３（対向基板１５）の移動方向及び移動量を演算するとともに、基
板ステージ３３の現在位置に関する情報をステージ位置情報ＳＰＩとして生成するように
なっている。そして、制御装置５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３からのステージ位置情報
ＳＰＩを受けて、各種信号を出力するようになっている。

Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御装置５１からのＹ軸モータ駆動回路５４に対応する駆
動制御信号に応答して、キャリッジ３７を往復移動させるＹ軸モータＭＹを正転又は逆転
させるようになっている。そのＹ軸モータ駆動回路５４には、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥ
Ｙが接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号が入力されるようになって
いる。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、Ｙ軸モータ回転検出器ＭＥＹからの検出信号に基づい
て、キャリッジ３７（ヘッドユニット３０）の移動方向及び移動量を演算するとともに、
キャリッジ３７の現在位置に関する情報をキャリッジ位置情報ＣＰＩとして生成するよう
になっている。そして、制御装置５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４からのキャリッジ位置
情報ＣＰＩを受けて、各種駆動信号を出力するようになっている。

詳述すると、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩ
に基づいて、対向基板１５がキャリッジ３７の直下に侵入する前に、対向基板１５の走査
分（往動もしくは復動）に対応するビットマップデータＢＭＤに基づいて所定のクロック
信号に同期させた、吐出制御信号ＳＩを生成するようになっている。そして、制御装置５
１は、キャリッジ３７を走査するたびに、生成した吐出制御信号ＳＩを、吐出ヘッド駆動
回路５５に順次シリアル転送するようになっている。

また、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩに基づいて、各着弾位置ＰＦが、それ
ぞれ対応する目標位置Ｐに位置するたびに、波形データＷＤに基づく圧電素子駆動信号Ｃ
ＯＭを、圧電素子ＰＺに出力させるための信号（吐出タイミング信号ＬＰ）を生成するよ
うになっている。そして、制御装置５１は、生成した吐出タイミング信号ＬＰを、吐出ヘ
ッド駆動回路５５に順次出力するようになっている。

吐出ヘッド駆動回路５５には、吐出ヘッド４１が接続されるとともに、制御装置５１か
らの波形データＷＤ、吐出制御信号ＳＩ及び吐出タイミング信号ＬＰが供給されるように
なっている。吐出ヘッド駆動回路５５は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを受けて
、その吐出制御信号ＳＩを、それぞれ各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレ
ル変換するようになっている。そして、吐出ヘッド駆動回路５５は、制御装置５１からの
吐出タイミング信号ＬＰを受けるたびに、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩ
に基づいて、波形データＷＤに基づく圧電素子駆動信号ＣＯＭを、各圧電素子ＰＺに供給
するようになっている。すなわち、吐出ヘッド駆動回路５５は、各着弾位置ＰＦが目標位
置Ｐに位置するたびに、対応する圧電素子ＰＺに圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給するよう
になっている。

次に、上記する液滴吐出装置３０を使用して配向膜２７を形成する方法について説明す
る。
まず、図５に示すように、基板ステージ３３上に、対向基板１５を載置する。このとき
、基板ステージ３３は、キャリッジ３７よりも反Ｘ矢印方向側に配置されて、キャリッジ
３７は、ガイド部材３５の最も反Ｙ矢印方向に配置されている。

この状態から、入力装置５２を操作して膜厚情報Ｉｔを制御装置５１に入力する。する
と、制御装置５１は、膜厚情報Ｉｔに基づくビットマップデータＢＭＤを生成して格納す
る。

ビットマップデータＢＭＤを生成すると、制御装置５１は、Ｙ軸モータＭＹを駆動制御
して、キャリッジ３７を配置移動する。そして、対向基板１５がＸ矢印方向に搬送される
ときに、各着弾位置ＰＦが、対応する目標位置Ｐの走査経路上（Ｘ矢印方向）に位置する
ように、キャリッジ３７（各ノズルＮ）をセットする。キャリッジ３７をセットすると、
制御装置５１は、Ｘ軸モータＭＸを駆動制御して、基板ステージ３３（対向基板１５）の
Ｘ矢印方向への搬送を開始する。

この際、制御装置５１は、波形データＷＤを所定のクロック信号に同期させて、吐出ヘ
ッド駆動回路５５に出力する。また、制御装置５１は、基板ステージ３３の１回の走査分
に対応するビットマップデータＢＭＤを所定のクロック信号に同期させた吐出制御信号Ｓ
Ｉを生成するとともに、生成した吐出制御信号ＳＩを、吐出ヘッド駆動回路５５に順次シ
リアル転送する。

やがて、制御装置５１は、ステージ位置情報ＳＰＩ及びキャリッジ位置情報ＣＰＩに基
づいて、各着弾位置ＰＦが対向電極２６上の各格子点（目標位置Ｐ）に位置するたびに、
吐出タイミング信号ＬＰを出力し、吐出制御信号ＳＩに基づく液滴吐出動作を実行する。

すなわち、制御装置５１は、各着弾位置ＰＦが目標位置Ｐに位置するタイミングで、各
圧電素子ＰＺに、波形データＷＤに対応する圧電素子駆動信号ＣＯＭを供給し、各着弾位
置ＰＦが目標位置Ｐに対応する各ノズルＮから、一斉に配向膜形成材料Ｆの液滴Ｆｂを吐
出させる。

この際、吐出される各液滴Ｆｂは、吐出方向Ａに沿って飛行して、Ｘ矢印方向に沿って
吐出間隔Ｗだけ離間する目標位置Ｐの領域に順次着弾する。
目標位置Ｐに着弾した液滴Ｆｂは、図７に示すように、対向電極２６の上面に、飛行中
の液滴Ｆｂの径よりも大きい径（着弾径Ｒ１）の液滴Ｆｂ１を形成する。また、着弾径Ｒ
１の長さは、少なくとも第２の凹部２６ｃの対角よりも長くなるようになっている。着弾
径Ｒ１は液滴Ｆｂの吐出重量で決まり、波形データＷＤで決まる。

着弾したひとつの液滴Ｆｂ１は、図８（ａ）に示すように、複数の第２の凹部２６ｃに
跨るとともに、中央は表面張力によって半円球状に盛り上がっている。この液滴Ｆｂ１の
形状は、表面張力によって維持できないので、液滴Ｆｂ１は、着弾したそれぞれの第２の
凹部２６ｃの内部に、各矢印の方向に向かって濡れ広がる。そして、液滴Ｆｂ１は、図８
（ｂ）に示すように、それぞれの第２の凹部２６ｃの内部に均一に広がって、それぞれの
凸部２６ｂによって一時的に保持された液層Ｚ０を形成する。

この液層Ｚ０の略中央も、表面張力によって盛り上がっている。液層Ｚ０の表面のうち
、Ｌ字状に窪んでいる中央部分Ｋ（図８（ｂ）参照）は、その他の表面に比べて表面の傾
斜が急になっている。従って、液層Ｚ０は、該中央部分Ｋから矢印で示す方向に、一時的
に保持している凸部２６ｂを越えて、矢印方向に、即ち、対角線方向に隣接する第２の凹
部２６ｃへ広がる。その結果、図８（ｃ）に示すように、矩形状の液層Ｚ０が一時的に形
成される。

矩形形状になった液層Ｚ０の表面は、全体的に略同様の傾斜を形成するので、安定しや
すい。このとき、液層Ｚ０の表面が表面張力によって保持できるのならば、液層Ｚ０の濡
れ広がりは止まる。一方、液層Ｚ０の表面が表面張力によって保持できないのならば、液
層Ｚ０は、いずれかの表面部分から隣接する第２の凹部２６ｃに濡れ広がり、液層Ｚ０の
表面が安定するまでこれを繰り返す。

ところで、順次着弾する各液滴Ｆｂは、対向電極２６の上面において着弾径Ｒ１の液滴
Ｆｂ１となるが、図９（ａ）に示すように、それぞれ先に着弾した各液滴Ｆｂ１と重なる
ようになっている。

従って、各液滴Ｆｂは、対向電極２６に着弾すると、相互に接触して結合し、ひとつの
液層Ｚ１を形成する。このときの液層Ｚ１の中央の付近は、図９（ｂ）に示すように、縁
の部分に比べて盛り上がっていて、つまり液層Ｚ１の断面は略山型の形状になっている。

液層Ｚ１は、中央が盛り上がっているために、図９（ｃ）に示すように、跨っている各
第２の凹部２６ｃの内部全体に広がる。各液滴Ｆｂの吐出量は多いので、液層Ｚ１が跨っ
ていた各第２の凹部２６ｃの内部全体に広がっても、図９（ｄ）に示すように、液層Ｚ１
の中央の付近は盛り上がっている。この状態において、液層Ｚ１は、その表面のうち、中
央に近い側面部分から、まだ濡れ広がっていない隣接する第２の凹部２６ｃに、それぞれ
濡れ広がる。以降、液層Ｚ１は、中央に近い表面の側面部分から、まだ濡れ広がっていな
い隣接する第２の凹部２６ｃに、それぞれ濡れ広がることを繰り返す。

そして、制御装置５１は、各着弾位置ＰＦが、対応する目標位置Ｐの走査経路上（Ｘ矢
印方向）を対向基板１５の端部分に位置したら、Ｘ軸モータＭＸを駆動制御して、基板ス
テージ３３（対向基板１５）のＸ矢印方向への搬送を終了する。

また、液層Ｚ１は、図９（ｅ）及び（ｆ）に示すように、対向電極２６の全面に均一に
濡れ広がる。そして、この液層Ｚ１を乾燥させると配向膜２７が形成される。
これによって、液滴Ｆｂを接合させて正確で均一な膜厚の配向膜２７を形成させること
ができる。

本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、対向電極２６に第２の凹部２６ｃを形成した。従って、対
向電極２６上に吐出される液滴Ｆｂは、着弾したそれぞれの第２の凹部２６ｃに好適に濡
れ広がることができる。

（２）本実施形態によれば、液滴吐出装置３０が吐出する液滴Ｆｂは、第２の凹部２６
ｃの容積（容量Ｃ２）よりも大きな液滴にした。従って、各液滴Ｆｂは、着弾したそれぞ
れの第２の凹部２６ｃに濡れ広がってから、次々に隣接する第２の凹部２６ｃに広がる。
そして、対向電極２６の全面に、配向膜２７を形成するための液層Ｚ１を均一に形成する
ことができる。その結果、対向電極２６の上面に、略均一な配向膜２７を好適に形成する
ことができる。

（３）本実施形態によれば、第２の凹部２６ｃ及び凸部２６ｂを親液性とした。従って
、液層Ｚ１は、対向電極２６の上面において、より均一に形成される。
（４）本実施形態によれば、対向電極２６に着弾する液滴Ｆｂは、第２の凹部２６ｃの
形状に規制される。従って、目標位置から少しずれて着弾した液滴Ｆｂでも、第２の凹部
２６ｃの形状に規制される。従って、液滴Ｆｂの濡れ広がりが、着弾精度によって影響さ
れることを低減することができる。その結果、液滴吐出装置３０の構造やシステムを簡易
にすることができる。

（５）本実施形態によれば、第２の凹部２６ｃは、マトリクス状に区画形成された。従
って、液滴Ｆｂを好適に広げるための第２の凹部２６ｃは、簡単な形状なので、比較的容
易に形成することができる。
（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図１１〜１４に従って説明する。尚、本実施
形態は液晶パネルの対向基板に、液滴吐出装置を使ってカラーフィルタを形成する方法で
ある。

本実施形態の液晶パネルは、第１実施形態と比べて液晶パネルのサイズが大きいが、素
子基板の構造は略同様である。また、製造に用いる液滴吐出装置の構造も、第１実施形態
の液滴吐出装置３０と略同様なので、その説明を省略する。説明の便宜上、第１実施形態
の液晶表示装置１０の番号を使って説明する。

まず、図１１及び図１２に基づいて、対向基板６０について説明する。
対向基板６０の表面（素子基板１４側の側面）全体には、素子基板１４の各画素２２と
相対向する位置に、カラーフィルタ６１が形成されている。カラーフィルタ６１には、格
子形状にブラックマトリクスＢＭが形成されている。

ブラックマトリクスＢＭは、クロム膜などの遮光性を有する膜の上に、遮光性を有する
樹脂などを積層して形成されている。本実施形態では、ブラックマトリクスＢＭの高さＨ
１は、１マイクロメートル以上に形成されており、ブラックマトリクスＢＭの幅Ｄ３は、
略１０マイクロメートルに形成されている。また、Ｘ矢印方向及びＹ矢印方向に平行に並
ぶブラックマトリクスＢＭの格子の間隔Ｄ４は略１００マイクロメートルに形成されてい
る。

ブラックマトリクスＢＭに囲まれた部分には、略四角枠状にフィルタ形成凹部６２が形
成されている。フィルタ形成凹部６２の４辺の長さは、それぞれブラックマトリクスＢＭ
の格子の間隔Ｄ４からブラックマトリクスＢＭの幅Ｄ３を減じた長さであり、その深さは
、ブラックマトリクスＢＭの高さＨ１と略同じ、１マイクロメートル以上に形成されてい
る。また、フィルタ形成凹部６２は、前記素子基板１４と貼り合わせたとき、各画素電極
２３と相対向する位置に形成されている。

図１３（ａ）は、１つのフィルタ形成凹部６２を示す。フィルタ形成凹部６２の底面（
対向基板６０の表面）には、図１３（ａ）に示すように、格子形状に凸部としての格子状
隔壁６３が形成されている。格子状隔壁６３は、透光性のある樹脂、例えば、ポリイミド
樹脂やアクリル樹脂などにて形成されている。本実施形態では、格子状隔壁６３の高さは
、略５０〜６０ナノメートルに形成されており、格子状隔壁６３の間隔は、略１０マイク
ロメートルに形成されている。

格子状隔壁６３に囲まれた部分には、それぞれ四角枠状の形成凹部６４が形成されてい
る。本実施形態では、形成凹部６４の上面の４辺の長さは、略１０マイクロメートルに形
成されており、形成凹部６４の深さは、格子状隔壁６３の高さと略同じ、５０〜６０ナノ
メートルに形成されている。

各フィルタ形成凹部６２には、底面に形成された格子状隔壁６３及び形成凹部６４を覆
って、それぞれ四角枠状の赤色フィルタ層Ｒ、緑色フィルタ層Ｇ及び青色フィルタ層Ｂが
形成されている。本実施形態では、各フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂの４辺の長さは、それぞれ、
略１０マイクロメートルに形成されており、その厚みは、略１マイクロメートルに形成さ
れている。また、各フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂは、素子基板１４の各画素電極２３に対応する
位置に形成される。各フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂは、対向基板６０上において、図１１に示す
ように、Ｘ矢印方向には、赤色フィルタ層Ｒ、緑色フィルタ層Ｇ及び青色フィルタ層Ｂの
順番に繰り返して形成され、Ｙ矢印方向には、フィルタ層Ｒ，フィルタ層Ｇ，フィルタ層
Ｂがそれぞれ一列になるように形成されている。

カラーフィルタ６１の上面は、透明性を有する保護膜６６が形成され、該保護膜６６の
上面には、対向電極２６が形成されている。対向電極２６の上面には、ラビング処理した
配向膜２７が積層されている。

次に、液滴吐出装置を使用して各フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂを形成する方法について説明す
る。この液滴吐出装置は図５に示す液滴吐出装置３０と略同様の構成であるので、その詳
細な説明を省略する。また、説明の便宜上、図５〜７及び図１０に示す、液滴吐出装置３
０の符号を使って説明する。

尚、各フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂを形成する液滴吐出装置３０は、ステージ３３には対向基
板６０を載置され、インクタンク３８には、各フィルタ層を形成する色材料を所定の分散
媒で分散した機能液状体としての液状体Ｃｒ，Ｃｇ，Ｃｂが収納されている。該液状体Ｃ
ｒ，Ｃｇ，Ｃｂは、格子状隔壁６３及び形成凹部６４に対しての親液性を有している。そ
して、液滴吐出装置３０は、該液状体Ｃｒ，Ｃｇ，Ｃｂを、液滴吐出ヘッド４１から対向
基板６０に、図７に示すような、液滴Ｆｂとして吐出可能となっている。本実施形態では
、液滴Ｆｂの吐出重量は、フィルタ形成凹部６２に着弾した液滴Ｆｂが複数の形成凹部６
４に広がる量であり、例えば１０ピコリットルに設定されている。

また、制御装置５１は、対向基板６０のブラックマトリクスＢＭで囲まれたフィルタ形
成凹部６２に、各フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂを形成するためのビットマップデータＢＭＤ２（
図１０にかっこで表示）に基づいて、液滴Ｆｂを配置するようになっている。

以下、フィルタ層Ｒを形成する方法についてのみ説明するが、フィルタ層Ｇ，Ｂの形成
についても同様である。
対向基板６０の目標位置に着弾する各液滴Ｆｂは、図１３（ａ）に示すように、着弾径
Ｒ２の液滴Ｆｂ２として、格子状隔壁６３及び各形成凹部６４に跨って配置される。また
、着弾した液滴Ｆｂ２は、先に着弾した液滴Ｆｂ２と重なるようになっている。従って、
各液滴Ｆｂ２は、フィルタ形成凹部６２に着弾すると、相互に接触して結合し、１つの液
層Ｚ２を形成する。このとき液層Ｚ２の中央の付近は、縁の部分に比べて盛り上がってい
る。

液層Ｚ２は、中央が盛り上がっているために、図１３（ｂ）に示すように、跨っている
形成凹部６４の内部全体に広がる。液層Ｚ２が跨っていた形成凹部６４の内部全体に広が
っても、液滴Ｆｂの吐出量が多いため、液層Ｚ２の中央の付近は盛り上がっている。この
状態において、液層Ｚ２は、その表面のうち中央に近い部分から、まだ濡れ広がっていな
い隣接する形成凹部６４に濡れ広がる。以降、液層Ｚ２は、中央に近い表面の部分から、
まだ濡れ広がっていない隣接する形成凹部６４に濡れ広がることを繰り返す。

そして、液滴吐出装置３０による、液滴Ｆｂの吐出が終了する。また、液層Ｚ２は、図
１３（ｃ）に示すように、フィルタ形成凹部６２、つまりブラックマトリクスＢＭで囲ま
れた部分の内側に均一に濡れ広がる。この液層Ｚ２を乾燥させると赤色フィルタ層Ｒが形
成される。

本実施形態によれば、前記第１実施形態の効果に加えて以下のような効果を得ることが
できる。
（１）本実施形態によれば、液滴Ｆｂは、形成凹部６４の容積よりも大きな液滴にした
。従って、液滴Ｆｂは、着弾したそれぞれの形成凹部６４に規制された凹部に広がってか
ら、格子状隔壁６３を跨いで、次々に隣接する形成凹部６４に広がる。そして、フィルタ
形成凹部６２に、フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂを形成するための液層Ｚ２を均一に形成すること
ができる。その結果、フィルタ形成凹部６２に、好適に略均一なフィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂを
形成することができる。
（第３実施形態）
以下、本発明を具体化した第３実施形態について説明する。

以下、本発明を具体化した第３実施形態を図１４及び図１５に従って説明する。尚、本
実施形態は、第２実施形態における素子基板の画素電極を液滴吐出装置を使用して形成す
る方法である。尚、説明の便宜上、第１実施形態の液晶表示装置１０の番号を使って説明
する。また、第１実施形態と同様の部材には同一の番号を付してその説明を省略する。

図１４は、素子基板７０における導電性配線としての画素電極２３の部分を拡大した断
面図である。
図１４に示すように、画素電極２３の下層であって、素子基板７０の上面には、シリコ
ン酸化膜等からなる凸部としての絶縁層７１が形成されている。絶縁層７１の上面には、
図１５に示すように、フォトリゾグラフィ法によるエッチングによって、マトリクス状に
区画形成された四角枠状の複数の凹み７２が形成されている。凹み７２の４辺の長さは、
いずれも略１０マイクロメートル、高さは、５０〜６０ナノメートルに形成されている。

つまり、画素電極２３は、絶縁層７１の上面に、その底面に形成されている各凹み７２
を覆うように、液滴吐出装置３０によって形成されている。
次に、液滴吐出装置を使用して画素電極２３を形成する方法について説明する。この液
滴吐出装置は図５に示す液滴吐出装置３０と略同様の構成であるので、その詳細な説明を
省略する。また、説明の便宜上、図５〜７及び図１０に示す、液滴吐出装置３０の符号を
使って説明する。

尚、画素電極２３を形成する液滴吐出装置３０は、ステージ３３には絶縁層７１を上面
にした素子基板７０を載置され、インクタンク３８には、画素電極２３を形成する金属粒
子としての金属微粒子、例えば銀粒子を含む機能液状体としてのインク７３が収納されて
いる。該インク７３は、絶縁層７１及び凹み７２に対して親液性を有している。そして、
液滴吐出装置３０は、該インク７３を、液滴吐出ヘッド４１から素子基板７０に、図７に
示すような、液滴Ｆｂとして吐出可能となっている。また、制御装置５１は、素子基板７
０の絶縁層７１の上面に、画素電極２３を形成するためのビットマップデータＢＭＤ３（
図１０にかっこで表示）に基づいて、液滴Ｆｂを配置するようになっている。本実施形態
では、液滴Ｆｂは、液滴Ｆｂが着弾した各凹み７２にのみ広がる液量、例えば１ピコリッ
トルに設定されている。

そして、素子基板７０の目標位置に着弾する各液滴Ｆｂは、図１５（ａ）に示すように
、着弾径Ｒ３の液滴Ｆｂ３として、複数の凹み７２に跨って配置される。また、着弾した
液滴Ｆｂ３は、先に着弾した液滴Ｆｂ３が広がった凹み７２が、その着弾した凹み７２の
一部に含まれるように着弾される。

液滴Ｆｂ３は、中央が盛り上がっているために、各液滴Ｆｂ３が着弾した各凹み７２の
内部全体に広がる。しかし、吐出された液滴Ｆｂは、少量であるため、最初に着弾した各
凹み７２以外の凹み７２には広がらない。つまり、隣接する液滴Ｆｂ３と共有した各凹み
７２において、図１５（ｂ）に示すように、各液滴Ｆｂ３は他の液滴Ｆｂ３と接触結合し
て液層Ｚ３を形成するが、この液層Ｚ３は、それ以外の凹み７２には濡れ広がらない。

そして、液滴吐出装置３０による液滴Ｆｂの吐出が終了すると、液層Ｚ３は、着弾した
液滴Ｆｂ３が配置された各凹み７２にだけ広がる。つまり、液層Ｚ３は、配線座標情報Ｉ
ｐ（図１０にかっこで表示）によって設定された配線や膜の形状に形成され、この液層Ｚ
３を乾燥させると所定の形状の画素電極２３が形成される。

本実施形態によれば、前記第１実施形態及び前記第２実施形態の効果に加えて以下のよ
うな効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、液滴Ｆｂは、凹み７２の容積よりも大きいが、と出された
凹み７２よりも広がらない液滴とした。従って、液滴Ｆｂは、着弾したそれぞれの凹み７
２に規制されて凹部に広がり、その形態で濡れ広がらない。その結果、液滴吐出装置３０
で吐出した液滴のパターン形状に画素電極２３を形成することができる。その結果、絶縁
層７１の上面に、所定の形状に正確にパターン形成された画素電極２３を形成することが
できる。

（２）本実施形態によれば、液滴Ｆｂは、絶縁層７１に凹み７２に対して親液性を有し
た。従って、凹み７２を跨いで形成された液層Ｚ３は、凹み７２と凹み７２の間で途切れ
ることがなく、好適に画素電極２３を形成することができる。

尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、液晶表示装置の対向基板１５には第２の凹部２６ｃを、対向基板
６０には形成凹部６４を、素子基板７０には凹み７２を、それぞれマトリクス状に区画形
成してから、液滴吐出装置３０が液滴Ｆｂを吐出させて機能液状体によるパターンを形成
した。しかし、これに限らず、基板は、パターンを形成するために凹部を備えることがで
きれば、どのような基板でもよい。例えば、液晶表示装置以外の電気光学装置として、有
機エレクトロルミネッセンス装置、電気泳動表示装置などの素子基板や対向基板でもよい
。

・上記実施形態では、液滴吐出装置３０によって、対向基板１５には、配向膜２７を、
対向基板６０には、フィルタ層Ｒ，Ｇ，Ｂを、素子基板７０には、画素電極２３を、それ
ぞれ形成した。しかし、これに限らず、対向基板１５，６０、素子基板７０の他の膜や層
、配線のパターンを形成してもよい。

・上記実施形態では、各凹部２８ｃ，６４及び凹み７２は、マトリクス状に区画して、
略四角枠状に形成された。しかし、これに限らず、各凹部２８ｃ，６４及び凹み７２は、
隣接して形成されていれば、多角形に形成されても、モザイク状に形成されていてもよい
。

・上記実施形態では、液滴Ｆｂの一滴は、ひとつの各凹部２８ｃ，６４又は凹み７２の
容積（容量）よりも多い液量であった。しかしこれに限らず、液滴Ｆｂは、ひとつの各凹
部２８ｃ，６４又は凹み７２の容積（容量）より少ない液量でもよい。その場合は、複数
の液滴Ｆｂを結合して大きな液層Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３を形成して、該液層Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３
が各凹部２８ｃ，６４又は凹み７２を跨ぐようにすればよい。そうすれば、大きな凹部２
８ｃ，６４又は凹み７２を備える基板にもパターンを形成することができる。

・第１実施形態では、格子状隔壁２８ｂの高さは枠状隔壁２８ａよりも低い高さに形成
したが、これに限らず、高さは外枠と同じかそれより高くてもよい。また、格子状隔壁２
８ｂの間隔は略１０マイクロメートルに形成したが、１０マイクロメートルに限られない
。さらにまた、格子状隔壁２８ｂの幅は１〜２マイクロメートルに形成したが、幅は１〜
２マイクロメートルには限られない。

・上記実施形態では、液滴Ｆｂの液量は、第１及び第２実施形態では１０ピコリットル
、第３実施形態では１ピコリットルとした。しかし、それぞれの液滴Ｆｂの液量は、それ
ぞれの実施形態における液量よりも多くても、少なくてもよい。

液滴Ｆｂの液量は、液滴Ｆｂの表面張力と、吐出される面における液滴Ｆｂの濡れ広が
りやすさと、吐出される面に形成されたバンクのサイズの関係から、液滴Ｆｂを吐出され
た面に好適に濡れ広げることができる量であればよい。

・上記実施形態では、液滴Ｆｂは、液滴吐出装置３０を使用して吐出された。しかしこ
れに限らず、基板の所定の個所に、所定の液量の液滴Ｆｂを吐出できる構成であれば、例
えば、ディスペンサーを用いてもよい。

・第１実施形態及び第２実施形態では、後から着弾した液滴Ｆｂは、先に着弾していた
液滴Ｆｂと一部が重なるようにした。しかし、これに限らず、後に着弾した液滴Ｆｂが、
先に着弾した液滴Ｆｂと重ならなくてもよい。その場合は、液滴Ｆｂは、その後に液滴Ｆ
ｂが濡れ広がる時に他の液滴Ｆｂと接触するようにされるとよい。

・第２実施形態では、ブラックマトリクスＢＭは、クロム膜などの膜の上に、樹脂など
を積層して形成された。しかしこれに限らず、ブラックマトリクスＢＭは、樹脂だけで形
成されても、クロム膜だけで形成されてもよい。

・第１実施形態及び第２実施形態では、枠状隔壁２８ａ、格子状隔壁２８ｂ、格子状隔
壁６３は、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂で形成した。しかし、これに限らず、機能液状
体に対して撥液性のあるフッ素系樹脂などからなる光透過性の樹脂によって形成してもよ
い。

又、第３実施形態では、シリコン酸化膜などによる絶縁層７１の上面に凹み７２を形成
した。しかし、これに限らず、絶縁層７１の上面は機能液状体に対して撥液性に加工され
てもよい。そうすれば、機能液状体を凹み７２の部分にだけ配置することができる。

液晶表示装置を示す斜視図。 図１のＡ−Ａ線から見た液晶表示装置を示す断面図。 第１実施形態の対向基板を示す平面図。 第１実施形態の対向基板を示す断面図。 滴吐出装置を示す斜視図。 液滴吐出ヘッドを示す斜視図。 液滴吐出ヘッドを示す側面図。 ひとつの液滴の広がりを説明する図であって、（ａ）は液滴が着弾した状態を示す平面図、（ｂ）は着弾した凹部に濡れ広がる状態を示す平面図、（ｃ）は液滴が安定するまで広がった状態を示す平面図。 第１実施形態の対向基板上に複数の重なった液滴の広がりを説明する図であって、（ａ）は液滴が着弾した状態を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線から見た断面図、（ｃ）は着弾した凹部に濡れ広がる状態を示す平面図、（ｄ）は（ｃ）のＥ−Ｅ線から見た断面図、（ｅ）は液滴が安定するまで広がった状態を示す平面図、（ｆ）は（ｅ）のＦ−Ｆ線から見た断面図。 液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック図。 第２実施形態の対向基板を示す平面図。 図１１のＣ−Ｃ線から見た対向基板を示す断面図。 第２実施形態の対向基板上に複数の重なった液滴の広がりを説明する図であって、（ａ）は液滴が着弾した状態を示す平面図、（ｂ）は着弾した凹部に濡れ広がる状態を示す平面図、（ｃ）は液滴が安定するまで広がった状態を示す平面図。 第３実施形態の素子基板を示す断面図。 素子基板に吐出した液滴の広がりを説明する図であって、（ａ）は液滴が着弾した状態を示す平面図、（ｂ）は液滴が安定するまで広がった状態を示す平面図。

符号の説明

Ｆｂ，Ｆｂ１，Ｆｂ２，Ｆｂ３…液滴、Ｚ０，Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３…液層、１０…液晶表示
装置、１３…液晶パネル、１４…素子基板、１５…対向基板、１６…シール材、１７…液
晶、２２…画素、２３…画素電極、２４…配向膜、２５…偏光板、２６…対向電極、２６
ｂ…凸部、２６ｃ…第２の凹部、２７…配向膜、２８ａ…枠状隔壁、２８ｂ…格子状隔壁
、２８ｃ…第１の凹部、３０…液滴吐出装置、４１…液滴吐出ヘッド、５１…制御装置、
６０…対向基板、６１…カラーフィルタ、６２…フィルタ形成凹部、６３…格子状隔壁、
６４…形成凹部、６６…保護膜、７０…素子基板、７１…絶縁層、７３…インク。

Claims (9)

1. 基板に複数の凹部を隣接させて形成し、該凹部を形成した基板上に、液滴吐出手段にて
   、機能液状体を液滴にして吐出して、複数の前記凹部を跨いで該基板上に前記機能液状体
   のパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
2. 請求項１に記載のパターン形成方法において、
   前記複数の凹部は、マトリクス状に区画形成されることを特徴とするパターン形成方法
   。
3. 請求項１又は２に記載のパターン形成方法において、
   前記液滴吐出手段は、先に基板に吐出された液滴と少なくとも一部が重なるように液滴
   を吐出することを特徴とするパターン形成方法。
4. 請求項１又は２に記載のパターン形成方法において、
   前記液滴吐出手段は、基板に吐出された前記液滴が配置された前記凹部に、別に吐出し
   た前記液滴の少なくとも一部が配置されるように前記液滴を吐出することを特徴とするパ
   ターン形成方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記凹部は、前記機能液状体に対して親液性であることを特徴とするパターン形成方法
   。
6. 請求項１〜５のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記凹部は、隣接する前記凹部との間に凸部を備え、
   前記凸部は、前記機能液状体に対して撥液性であることを特徴とするパターン形成方法
   。
7. 請求項１〜５のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記機能液状体は、配向膜を形成する配向性高分子を含む液状体であって、
   前記基板は、液晶表示装置の素子基板または対向基板であることを特徴とするパターン
   形成方法。
8. 請求項１〜５のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記機能液状体は、カラーフィルタを形成する色材料を含む液状体であって、
   前記基板は、液晶表示装置の対向基板であることを特徴とするパターン形成方法。
9. 請求項１〜５のいずれか１つに記載のパターン形成方法において、
   前記機能液状体は、導電性配線を形成する金属粒子を含む液状体であって、
   前記基板は、液晶表示装置の素子基板または対向基板であることを特徴とするパターン
   形成方法。

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