TWI295636B - Pattern forming method, droplet discharge head, pattern forming device, method for manufacturing color filter substrate, color filter substrate, method for manufacturing electro-optical device, and electro-optical device - Google Patents

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I295636 九、發明說明·· 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種圖案形成方法、液滴也出帛、圖案形 成裝置、彩色濾光器基板之製造方法、彩色濾光器基板、 光電裝置之製造方法及光電裝置。 【先前技術】 先前，在裝附於液晶顯示裝置等之彩色濾光器之製造方 法中，使關液相製程，該液相製程係將各色之著色層形 成材料之溶液吐出到基板之像素形成區域，藉由乾燥該溶 液而形成著色層。以，又以該液相製程中之喷墨法因係 將前述溶液吐出為微小液滴，故能夠形成比其他液相製程 (例如旋塗法或液體分注法等）更微細之著色層（圖案卜 於該喷墨法所使用之液滴吐出裝置中，一般具備液滴吐 出頭，該液滴吐出頭具有以特定之間距寬排列成列狀之多 個喷嘴。而液滴吐出裝置係於該液滴吐出頭之吐出方向侧 配置具有像素形成區域之基板’於—方向掃描同基板，並 從位於各像素形成區域之正上方之倾吐出微小液滴。藉 此犯夠於基板上之整個像素形成區域形成含有微小液滴 之液滴，以形成微細之著色層。 然而，於各像素形成區域所形成之著色層之形狀，依存 於各像素形成區域巾形叙液滴m即依存於各像 素形成區域正上方之噴嘴之配置位置。因此，為形成形狀 均句(均句之膜厚)之著色層，必須均句配置位於各像素形 成區域之掃描路徑上之噴嘴。- 107088.doc 1295636 對此，就喷墨法方面，先前已有提出一種使噴嘴均勻配 置於各像素形成區域之掃描路徑上之方法（例如專利文獻 1)。在專利文獻1中，係使液滴吐出頭（喷嘴列）配置成能夠 相對於基板之掃描方向傾斜，使從同掃描方向觀察之喷嘴 之間距寬相對於像素形成區域之間距寬。藉此，即可使喷 嘴均勻配置於各像素形成區域之掃描路徑上，形成形狀均 勻之著色層。 [專利文獻1] 曰本專利特開2002-273868號公報 [發明所欲解決之問題】 但是，為使喷嘴正確對準針對像素形成區域之相對位 置’必須進行例如要求達到μιη程度之精度之高度位置調 整作業。而且，藉由多個液滴吐出頭形成液滴之情形時， 必須針對各液滴吐出頭實施該種高度之位置調整作業。其 結果，以專利文獻1而言，使液滴吐出頭(喷嘴列）傾斜之位 置調整作業會使液滴吐出裝置之作動時間大幅延緩，而導 致才貝及彩色濾、光器之生產性之問題。 本發明係為解決上述問題而成立者，其目的在於提供一 種提升圖案形狀之均勻性及生產性之圖案形成方法、液滴 吐出頭、圖案形成裝置、彩色濾光器基板之製造方法、彩 色渡光器基板、光電裝置之製造方法及光電裝置。 【發明内容】 本發明之圖案形成方法係於一方向掃描於一側面具有圖 案形成區域之基板，從具備液滴吐出噴嘴之液滴吐出頭將 107088.doc 1295636 3有圖案形成材料之液滴 前述H安π 1 出至别述圖案形成區域，而於

液滴吐出頭於盘一f *:對於則述一側面’使前述 碩於與别遠-方向相異之方向相對 述液滴吐出噴嘴對峙於 H 吐出喷嘴吐出前述液滴。域時，從前述液滴 液發明之圖案形成方法，只要對於基板之一側面使 成巴ur目對振動’即可擴大液滴吐出噴嘴對於圖案形 内對移動，而能夠在該擴大之相對移動範圍 '因此，只要擴大相對移動範圍，即可對圖牵 形成區域均勻地吐屮^ 丨j對圖案 开Q〜果’能夠提升形成於圖案 /品’之圖案形狀之均勻性，並提升圖案之生產性。 於該圖案形成方法中，係藉由使前述液滴吐出頭於盘前 迷-方向相異之方向振動’使前述液滴吐出頭對於前述一 側面相對振動。 根據該圖案形成方法，只要使液滴吐出頭振動，即可擴 大液滴吐出噴嘴對於圖案形成區，之相對移動範圍，而能 夠在該擴大之相對移動範圍之中;^出液滴。' 於該圖案形成方法中，係藉由使前述基板於與前述一方 向相異之方向振動，使前述液滴吐出頭對於前述一側 對振動。 相 根據該圖案形成方法，只要使基板振動，即可擴大液、、商 吐出喷嘴對於圖案形成區域相對移動範圍，而能夠在锆 之相對移動範圍之中吐出液滴。 於5亥圖案形成方法中，係使前述液滴吐出頭對於t

月 J 107088.doc ^ 备01727號專利申請案 r—一一 一<—.〜， 中文說明書替換頁(％年;月） | fUl上j 側面，於前述一伽而咖Li r 側面内命貧貧_妒命:直交之方向相對振 動。 、 根據該圖案形成方、、表 σ π & V*、* ,, _ 去，八要使液滴吐出碩於與掃描基板 之方向正交之方向相對振動，即可更加擴大液滴吐出噴嘴 圖案形成區域之相對孩仏々々闻 、 對移動軏圍。因此，能夠更加提升 於圖案形成區域之圖宏y >

圆案形狀之均勻性，並提升圖案之 性。 I 於該圖案形成方法中，係以控制使從前述液滴吐出喷嘴 對形，於前述-侧面之多個前述圖案形成區域吐出之液滴 的總里相等之方式，從前述液滴吐出噴嘴吐出液滴。 根據_案形成方法，能夠對於各圖案形成區域均句吐 _ =與：總里相等之液滴。因此，能夠進一步提升形成於圖 β 案形成區域之圖幸飛姑夕W. 口荼形狀之均勻性，並提升圖案之生產性。 於该圖案形成方法中，待葬 你糟甶凋整從前述液滴吐出喷嘴 吐出之液，滴之重量或數量之 十知, 乂任者，而控制使從前述 •液滴吐出噴嘴對多個前述圖荦 ®系φ成£域吐出之液滴之總量 相等。 根據：圖案形成方法’能夠針對各圖案形成區域，調整 ^重篁或數量之任一者而吐出液滴，以均勻吐出總量相 4之液滴。因此，能夠進一步 _ 進升形成於圖案形成區域之 圖案形狀之均勻性，並提升圖案之生產性。 於该圖案形成方法中，係當前 义 月】这液滴吐出噴嘴位在比從 >口者别述圖案形成區域之前述_ 縫“一 万向之中心線至較特定距 離為短之距離時，從前述液滴 出賃嘴吐出前述液滴。 107088-960731.doc 1295636 ,根據該圖案形成方法，能夠確實使液滴吐出到沿著圖案 形成區域之一方向之中心線附近，使吐出之液滴從同中心 線附近濃潤擴散，藉此即可確實避免圖案形成區域内發生 液滴偏倚之情形。 本發月之液滴吐出頭具有液滴吐出喷嘴，該液滴吐出喷 嘴係將含有圖案形成材料之液滴吐出至受一方向择描之基 板之圖案形成區域，·其具備振動機構，該振動機構係使前 述液滴吐出喷嘴於與前述一方向相異之方向振動。 、、根據本發明之液滴吐出頭，只要藉由振動機構，擴大液 嘴對於基板之相對移動範圍，即可對圖案形成區 二1 也吐出液滴。其結果，能夠提升形成於圖案形成區 -之圖案形狀之均勻性，並提升圖案之生產性。 /發明之圖案形成裝置具有掃描機構及液滴吐出頭，該 掃描機構係於一方向播粑 r 土描於一側面具備圖案形成區域之基 該液滴吐出頭具備液滴吐出喷嘴，該液滴吐出嗔嘴 =二有圖案形成材料之液滴吐出至前述圖案形成區域； 二振動機構’其係使前述液滴吐出頭於與前述-方 :二ί :向’對於前述-側面相對振動，·及控制機構，- 動吐㈣嘴料於前述圖案形錢域時，驅 動控制則述液滴吐㈣嘴使其吐㈣述液滴。 ，根據本發明之圖案形成裝[，只要藉由振動 液滴吐出喷嘴對於圖案形成區 ’田、 由控制機構均勻地吐出液滴對移動範圍，， 案形成區域之圖案形狀 J注並h升圖案之生產性。 107088.doc 1295636 於該圖案形成裝置中，前述振動機構係—振動部 接近於前述液滴吐出頭，賦予前述液滴吐出頭特定振動。 根據該圖案形成裝置，只要振動部使液滴吐出頭振動， 即可擴大液滴吐㈣嘴對於圖案形成區域之相對移動範 圍，而能夠在該擴大之相對移動範圍之中吐出液滴。 本發：之彩色遽光器之製造方法係於—方向掃描於一侧 面具有著色層形成區域之基板，從具備液滴吐出喷嘴之液 滴吐出頭將含有著色層形成材料之液滴吐出至前述著色層 形成區域内，而於前述著色層形成區域形成著色層者；前 述著色層係藉由上述之圖案形成方法所形成。 ’能夠提升著色層 之彩色濾光器基板 根據本發明之彩色濾光器之製造方法 形狀之均勻性及彩色濾光器之生產性。 本發明之彩色濾光器基板係藉由上述 之製造方法所製造者。 根據本發明之彩色濾光器，能夠提升著色層之形狀之均 勻性及彩色濾光器基板之生產性。 本發明之光電裝置係淤元件基板與對向基板之間具有光 電物質層者；前述對向基板係上述之彩色遽光器基板。 根據本發明之光電裝置，能夠提升著色層之均勻性及光 電裝置之生產性。 本發明之光電裝置之製造方法係於一方向掃描於一側面 具有發光元件形成區域之基板，從具備液滴吐出喷嘴之液 滴吐出頭將含有發光元件形成材料之液滴吐出至前述發光 兀件形成區域内，而於前述發光元件形成區域形成發光元 107088.doc • 11 · 1295636 件者；前述發光元件係藉由上述之圖案形成方法所形成。 根據本發明之光電裝置之製造方法，能夠提升發光元件 之形狀之均勻性及光電裝置之生產性。 本發明之光電裝置係藉由光電裝置之製造方法所製造 者。 根據本發明之光電裝置，能夠提升發光元件之形狀之均 勻性及光電裝置之生產性。 【實施方式】 (第1實施形態） 以下根據圖1〜圖11，說明本發明具體化之第i實施形 態。圖1表示作為圖案形成裝置之液滴吐出裝置之構成之 立體圖。 如圖1所示，液滴吐出裝置10具有形成為立方體形狀之 基台11。在本實施形態中，將該基台丨丨之長度方向設為γ 方向，將與同Y方向正交之方向設為X方向。 於基台11之上面11a，遍及於同γ方向整個寬度而形成有 延伸於Y方向之1對之導引凹槽12a、i2b。於該基台u之上 側裝附有構成掃描機構之載置台13，該掃描機構具有對應 於一對之導引凹槽12a、12b之未圖示之直動機構。該載置 台13之直動機構係鎖螺絲式直動機構，其具有例如沿著導 引凹槽12a、12b而延伸於γ方向之螺絲轴（驅動軸）、以及 與同螺絲轴螺合之滾珠螺帽，其驅動轴連結於γ軸馬達 Ml(參照圖8) ’该Υ軸馬達μ!係接收特定之脈衝信號依步 進單位進行正反轉。而當松對於特定步進數之驅動信號被 107088.doc -12- 1295636 輸入到Y轴馬達Ml時，Y轴馬達Ml會正轉或反轉，使截置 台13按照同步進數，沿著Y方向以特定之速度（掃描速度v) 往前或往後移動（於Y方向進行掃描）。又於本實施形態 中，係將載置台13之配置於導引凹槽12a、12b(基台11)之 最外側之位置（圖1中之實線位置）設為往前移動位置，將其 配置於同導引凹槽12a、12b(基台11)之最内侧之位置（圖i 中之雙點虛線位置）設為往後移動位置。 於該載置台13之上面形成載置面14，於該載置面上設 有未圖示之吸引式之基板吸盤機構。當於載置面14上載置 後述之作為基板之透明基板31(彩色濾光器基板3〇)時，會 藉由前述基板吸盤機構，使該彩色濾光器基板3〇定位固定 於載置面14之特定位置。 於基台11之X方向兩側立設有一對之支持台丨5a、15b， 於該一對之支持台15a、15b上架設延伸於χ方向之導引構 件16。導引構件16係形成為其長度方向之寬度比載置台i 3 之X方向之寬度為長，且配置成其一端伸出於支持台j 5 a 側。 於導引構件16之上側配设有收容槽16 a，該收容槽16 a係 收容且能夠供應後述之功能液L(參照圖4)。另一方面，於 該導引構件16之下側，遍及X方向整個寬度而凸設有延伸 於X方向之上下一對之導引執17a、17b。於該一對之導引 執17 a、17b上裝附有拖板18，該拖板18具有對應於同導引 執17a、」几之未圖示之直動機構。 拖板18形成為立方體形狀，其長度方向（χ方向）之寬度 107088.doc -13· 1295636 形成為比載置台13之X方向之寬度稍長。該拖板18之直動 機構係鎖螺絲式直動機構，其具有例如沿著導引軌17a、 17b而延伸於X方向之螺絲軸（驅動軸）、以及與同螺絲轴螺 合之滾珠螺帽，其驅動軸連結於X軸馬達M2(參照圖8)，該 X轴馬達M2係接收特定之脈衝信號而依步進單位進行正反 轉。而當相對於特定步進數之驅動信號被輸入到X軸馬達 M2時，X轴馬達M2會正轉或反轉，使拖板18按照同步進 數，沿著X方向往前或往後移動（於X方向進行掃描）。又於 本實施形態中，將拖板18之配置於導引軌17a、17b之最支 持台15a側之位置（圖1中之實線位置）設為往前移動位置， 將其配置於同導引執17 a、17b之最支持台15b側之位置（圖 1中之雙點虛線位置）設為往後移動。 如圖2所示，於拖板18之下面（載置台13侧之面：吐出頭 配設面18a)，沿著X方向配設有多個液滴吐出頭η。該液滴 吐出頭Η係從吐出頭配設面18a之X方向左侧（拖板18之往前 移動位置側），依序以第1液滴吐出頭第2液滴吐出頭 H2、…、第m液滴吐出頭Hm之順序排列。 如圖4所示，於各液滴吐出頭η之下侧，具有各個喷嘴板 21。於該噴嘴板21之下面（載置台13側之面：喷嘴形成面 21a)，形成有朝向上方開口之180個之連通孔（構成液滴吐 出喷嘴之紅色用喷嘴R)。該釭色用喷嘴r係從喷嘴形成面 21 a之X方向左側（拖板18之往前移動位置側），依序以第1 紅色用喷嘴R1、第2紅色用喷嘴R2、…、第18〇紅色用嘴 嘴R180之順序，按照特定之間距寬（喷嘴間距寬Wn)排列。 107088.doc -14- 1295636 又本實施形態中之前述喷嘴間距寬Wn係35.278 μπι。 接著，如圖3所示，將該等紅色用喷嘴R排列於X方向， 而於喷嘴形成面21a上形成沿著X方向之紅色用喷嘴列Rr。 此外，於喷嘴形成面21a之該紅色用喷嘴列Rr之Y方向内側 (載置台13之往後移動位置側），如同紅色用喷嘴R，形成 180個之構成液滴吐出喷嘴之綠色用喷嘴G(第1綠色用喷嘴 G1、第2綠色用喷嘴G2.....第180綠色用喷嘴G180)，藉 由同綠色用喷嘴G而形成綠色用喷嘴列Gr。再者，於喷嘴 1 形成面21a之該綠色用喷嘴列Gr之Y方向内侧（載置台13之 往後移動位置側），如同紅色用喷嘴R及綠色用喷嘴G，形 成180個之構成液滴吐出喷嘴之藍色用喷嘴B(第1藍色用喷 嘴B1、第2藍色用喷嘴B2、…、第180藍色用喷嘴B180), . 藉由同藍色用喷嘴B而形成藍色用喷嘴列Br。 亦即，於各液滴吐出頭Η之喷嘴形成面21a上，從Y方向 外側依序形成180個之含有紅色用喷嘴R之紅色用喷嘴列

Rr、180個之含有綠色用喷嘴G之綠色用喷嘴列Gr，及180 I i 個之含有藍色用喷嘴B之藍色用喷嘴列Br。 如圖4所示，於喷嘴板21之上側且與紅色用喷嘴R(綠色 用喷嘴G、藍色用喷嘴B)相對向之位置，形成有模穴23， 該模穴23係連通於前述收容槽16a，能夠將收容槽16a内之 功能液L供應到各個對應之各色用喷嘴R、G、B内。於模 穴23之上側配設有振動板24及壓電元件25，該振動板24係 於上下方向振動以擴大縮小模穴23内之容積；該壓電元件 25係於上下方向伸縮以使振動板24振動。 107088.doc -15- 1295636 而當液滴吐出頭Η接收到用以驅動控制壓電元件25之喷 =驅動控制信號時，壓電元件25會伸張而縮小模穴23内之 容積，使相當於縮小容積量之功能液L從對應之各色用喷 嘴R、G、Β吐出成為微小液滴ds。 此外針對各模穴23供應功能液l，該功能液l含有用以形 成各自對應之色彩之著色層（紅色著色層Lrl〜Lrn(參照圖 U)、綠色著色層Lgl〜Lgn(參照圖及藍色著色層 Lbl〜Lbn(參照圖丨1)}之作為圖案形成材料之著色層形成材 料。而從各喷嘴R、G、B吐出含有各自對應之色彩之著色 層材料之功能液L之微小液滴Ds。亦即，從紅色用喷嘴r 吐出含有紅色著色層形成材料之功能液L，從綠色用喷嘴 G吐出含有綠色著色層形成材料之功能液L，從藍色用喷 嘴B吐出含有藍色著色層形成材科之功能液乙。 如圖2所示，於各液滴吐出頭η之X方向右側（拖板18之 往後移動位置側），配設有作為振動機構之振動部26。振 動部26於其内部具有以特定之振幅（雙點虛頭振幅値Α)及 特定之頻率(雙點虛頭頻率fh)進行振動之振動子（例如磁致 伸縮振動子），使對應之液滴吐出頭Η依照該雙點虛頭振幅 値Α及雙點虛頭頻率fh，沿著X方向往復移動（振動）。 而當振動部26接收到用以使液滴吐出頭η振動之振動部 驅動控制信號時，振動部26將含有雙點虚頭振幅値Α及雙 點虛頭頻率fh之X方向之振動，賦予對應之液滴吐出頭Η。 於是，如圖5所示，從各色用喷嘴R、G、Β吐出之微小液 滴Ds，會4堇按照吐出時之液滴吐出頭Η(喷嘴R、G、Β)之 107088.doc •16- Ϊ295636 變位量，從X方向變位之位置吐出。亦即，微小液滴Ds之 彈落位置，係以各色用喷嘴R、G、B之未振動狀態（靜止 狀態：圖5中之實線位置）為基準，於雙點虛頭振幅値A之 範圍内於X方向變位。 如圖1所示，於載置台13之載置面14上，載置有作為對 向基板之彩色濾光器基板30。圖6表示彩色濾光器基板3〇 之立體圖，圖7係沿著圖6之B-B之剖面圖。 如圖6所示，於彩色濾光器基板30上，具有包含無鹼玻 ® 璃之四角形狀之透明基板31。如圖7所示，於該透明基板 31之一侧面之液滴吐出頭Η側之侧面（濾光器形成面31a) 上’層疊有遮光層32。遮光層32係以含有鉻或碳黑等之遮 光性材料之樹脂形成，且形成為在X方向與γ方向交叉之 ， 格子狀。於該遮光層32之上層形成撥液層33。撥液層33係 以撥離則述功能液L之微小液滴Ds之氟系之樹脂形成。 而藉由該等遮光層32及撥液層33，形成在χ方向與γ方 ^ 向交又之格子狀之隔牆層34。如圖6所示，藉由該格子狀 _ 之隔牆層=4，於濾光器形成面31a之大致全面，區劃形成 作為圖案形成區域之著色層形成區域8，該圖案形成區域 包含用以形成紅色著色層Lrl〜Lrn(參照圖11}之紅色著色層 形成區域Sri〜Srn、用以形成綠色著色層Lgl〜Lgn(參照圖 11)之綠色著色層形成區域Sgl〜sgn，及用以形成藍色著色 層Lbl〜Lbn(參照圖U)之藍色著色層形成區域SM〜sbn。 如圖6所示，著色層形成區域8其乂方向之間距寬係按照 著色層間距寬Wc形成。該著色層形成區域8係從遽光器形 107088.doc •17· 1295636 成面31a之X方向左側，依照：第1紅色著色層形成區域 Sri、第1綠色著色層形成區域Sgl、第1藍色著色層形成區 域Sbl、…、第η紅色著色層形成區域srn，第n綠色著色層 1成£域8§11、第η藍色者色層形成區域sbn之順序依序排 列。此外，本實施形態之著色層間距寬Wc係形成為大於 前述喷嘴間距寬Wn(35.278 μηι)之寬度，即42·〇〇〇 _。 其次針對上述之液滴吐出裝置10之電氣構成說明如下。 圖8表示液滴吐出裝置1〇之電氣構成之方塊圖。 如圖8所示，於液滴吐出裝置1〇中具有作為控制機構之 控制部41。控制部41具有包含CPU等之運算部41a、以及 包含ROM及RAM等之記憶部41b，執行用以從各色用喷嘴 R、G、B吐出微小液滴Ds之處理動作（液滴吐出動作）。 運算部41 a係參照用以吐出微小液滴Ds而預設之點陣圖 >料’針對各種驅動電路輸出對應之各種驅動控制信號 (例如前述喷嘴驅動控制信號及前述振動部驅動控制信號 等）。 ’ 記憶部41b係收納液滴吐出動作所需之各種程式及各種 貢料。例如，記憶部41b收納用以吐出微小液滴Ds之液滴 吐出程式。再者，記憶部4 lb收納前述點陣圖資料、吐出 頭振幅値A、雙點虛頭頻率fh及載置台13之掃描速度V。此 外’記憶部41b收納用以將微小液滴Ds之重量控制在所要 之重量之壓電元件25之驅動電壓。 又於本實施形態中，設該等雙點虛頭振幅値A為3〇 ’設雙點虛頭頻率fh為200 Hz，設載·置台13之掃描速度 107088.doc -18 - 1295636 V為200 mm/秒，將微小液滴Ds之重量設定為能夠在 1.9〜2·7 ng之範圍内每0.1 ng進行調整，但非限定於該等之 值。 該控制部41係與輸入部42電性連接，根據從同輸入部42 所輸入之各種操作信號，執行各種處理動作。 控制部41係與X軸馬達驅動電路43電性連接，對X軸馬 達驅動電路43輸出X軸馬達驅動控制信號。X轴馬達驅動 電路43回應從控制部41傳來之X轴馬達驅動控制信號，使 前述X轴馬達M2正轉或反轉，以控制拖板18之往復移動。 控制部41係與Y軸馬達驅動電路44電性連接，參照前述 掃描速度V(200 mm/秒），對同γ軸馬達驅動電路44輸出γ 軸馬達驅動控制信號。Y軸馬達驅動電路44回應從控制部 41傳來之Y轴馬達驅動控制信號，使前述γ軸馬達M丨正轉 或反轉，以按照掃描速度V控制載置台13之往復移動。 控制部41係與吐出頭驅動電路4 5電性連接，參照相對於 特疋重i之壓電元件25之驅動電壓，依據特定之頻率（吐 出頻率fn，在本實施形態中為丨〇 kHz)產生喷嘴驅動控制信 號，而對前述頭驅動電路45輸出同喷嘴驅動控制信號。頭 驅動電路45回應從控制部41傳來之喷嘴驅動控制信號，驅 動控制對應之各色用喷嘴r、G、B之壓電元件25，使對應 於同喷嘴驅動控制信號之重量之微小液滴Ds，依據吐出頻 率fn從對應之各色用噴嘴R、G、B向遽光器形成面3U吐 控制部41係與振動^释動電路46電性連接，參照前述吐 107088.doc -19- !295636 出頭振幅値Α(30 μπι)及吐出頭頻率仇(2〇〇 Hz)，產生振動 P驅動控们。號，而對前述振動部驅動電路輸出同振動 部驅動控制信號。振動部驅動電路46回應從控制部41傳來 之振動部驅動控制信號，使㈣之振動部％依據前述吐出 頭振幅値A及吐出頭頻率fh進行振動。 其-人針對藉由上述之液滴吐出裝置1〇對於各著色層形成 區域S吐出微小液滴仏之液滴吐出動作，說明如下。此 外’對於綠色著色層形成區域Sgl〜Sgn及藍色著色層形成 區域SM〜Sbn之液滴吐出動作，係藉由與對於紅色著色層 形成區域Sri〜Srn之液滴吐出動作大致相同之方法進行， 故基於#明之方便起見，以下主要說日月對於紅色著色層形 成區域Sr之液滴吐出動作。圖9及圖1()係說明液滴吐出裝 置10之液滴吐出動作之說明圖。 液滴吐出裝置10如圖1所示，處於載置著彩色濾 光器基板30之載置台13及拖板18各自配置於往前移動位置 之狀態。: 此時，當用以進行液滴吐出動作之操作信號輸入部“輸 入時，控制部41便從其記憶部41b讀出液滴吐出程式及點 陣圖資料，執行同液滴吐出程式。 亦即，控制部41首先輸出乂軸馬達驅動控制信號，介以 X軸馬達驅動電路43使拖板18從往前移動位置往前移動。 而控制部41則如圖9所示，將第【液滴吐出頭hi之第工紅色 用喷嘴R1之中心位置，配置於第1紅色著色層形成區域Srl 之Y方向延長路徑上（移動軌跡0bs :圖9中之雙點虛線）且 107088.doc 1295636 沿著同移動軌跡〇bs之Y方向之中心線（圖9所示雙點虛線） 上。 此時，由於著色層間距寬Wc(42.000 μιη)未按照喷嘴間 距寬Wn(35.275 μηι)之整數倍形成，故於第2〜第η紅色著色 層形成區域Sr2〜Srn之移動執跡Obs上，對應之紅色用噴嘴 R係從各移動執跡Obs之未圖示之中心線偏倚配置。例如， 如圖9所示，於第2紅色著色層形成區域Sr2之移動軌跡〇bs 上，對應之第5紅色用喷嘴R5係偏倚配置於同第2紅色著色 層形成區域Sr2之X方向右側。此外，於第3紅色著色層形 成區域Sr3之移動執跡Obs上，對應之第8紅色用噴嘴R8係 偏倚配置於同第3紅色著色層形成區域Sr3之X方向左側。 又於本實施形態中，將位於該等靜止狀態下之各紅色著 色層形成區域Sr 1〜Srn之移動軌跡Obs上之各紅色用喷嘴 R(例如圖9中之第1紅色用喷嘴R1、第5紅色用噴嘴R5、第 8紅色用喷嘴R8及第12紅色甩喷嘴R12)設為吐出對照喷嘴 Rj 〇 當第1紅色用喷嘴R1之中心位置配置於第i紅色著色層形 成區域Sr 1之移動執跡01)8之中心線-上時，控制部4 i便輸出 Y轴馬達驅動控制信號至於γ軸馬達驅動電路44，使載置 台13從往前移動位置以掃描速度v(200 mm/秒）往前移動。 換言之，控制部41係使靜止狀態之各吐出對照噴嘴Rj朝向 對應之紅色著色層形成區域Srl〜Srn以掃描速度V(2〇〇 mm/ 秒）相對移動0 而當袓對移動之吐出對照喷嘴Rj入侵到對應之紅色著色 107088.doc -21 - 1295636 層形成區域Sri〜Srn上時，控制部41便輸出振動部驅動控 制信號至振動部驅動電路46，使各振動部26振動。換言 之，控制部41係對於各液滴吐出頭H，賦予其於χ方向包 含振幅為吐出頭振幅値Α(3〇 μιη)且頻率為吐出頭頻率岱 (200 Hz)之振動。 於疋如圖9所示’原本為靜止狀態之各吐出對照喷嘴

Rj之中心位置，會藉由載置台13於Y方向之相對移動及振 動部26於X方向之振動，而於各紅色著色層形成區域

Sr 1〜Srn上沿著正弦波狀之路徑（喷嘴移動執跡相對移 動。 又各吐出對照喷嘴Rj之噴嘴移動執跡〇bn，係包含振幅 為土出頭振1»田値Α(30 μιη)、波長為掃描速度v/吐出頭頻率 化之正弦波狀之路徑。料，由於本實施形態之喷嘴移動 軌跡Obn是由各吐出對照喷嘴Rj以著色層間距寬〜42.刪 μιη)之一半以上之吐出頭振幅値A(3〇卞⑷進行振動，因此 疋以各吐出對照噴iRj之中心位置重複進出於對應之紅色 者色層形成區域Srl〜Srn上之方式描繪轨道。例如，如圖9 所示，第1紅色用噴嘴R1重複從紅色著色層形成區域 Sri上進出於相隣之第！綠色著色層形成區域以丨上。第5紅 色用噴嘴R5重複從第2紅色著色層形成區域Sj>2上進出於相 隣之第2綠色著色層形成區域Sg2上。第8紅色用噴嘴尺8重 複從第3紅色著色層形成區域Sr3上進出於相隣之第2藍色 者色層形成區域S b 2上。 .而當各吐出對照噴嘴Rj-沿著喷嘴移動軌跡心進行相對 107088.doc -22-

Ι295636ι〇ΐ727號專利申請案 中文說明書替換頁(96年7月） 移動過程中，控制部41介以頭驅動電路45，對於同吐出對 照噴嘴Rj之壓電元件25，按照以下之時序輪出喷嘴驅動控 制信號。 亦即，如圖1 〇所示，控制部41在當吐出對照喷嘴Rj之中 心位置位於比從對應之紅色著色層形成區域〜之中 心線至較特定之距離為短之距離時，輸出吐出頻率仏（1〇 kHz)之喷鳴驅動控制信號。詳細言之，控制部41係當吐出 對照噴嘴Rj與以紅色著色層形成區域Srl〜Srn之中心線為 中心之特定寬度（吐出許容寬度Ws)所形成之區域（吐出區 域sj)對峙期間，對同吐出對照喷嘴Rj之壓電元件25輸出噴 嘴驅動控制信號。又於本實施形態中，將前述吐出許容寬 度Ws设為2 〇 μιη。 例如，如圖10所示，如為第1紅色用喷嘴R1之情形，同 第1紅色用喷嘴R1之中心位置係於入侵到第i紅色著色層形 成區域Srl上之同時入侵到吐出區域以上。因此，控制部 41係在當第1紅色用喷嘴R1之中心位置入侵到第1紅色著色 層形成區域Srl上之時序下，使微小液滴Ds開始吐出。以 後之情形亦同，控制部41僅於第i紅色用喷嘴^與吐出區 域sj對峙期間，以吐出頻率fn(1〇 kHz)使微小液滴…吐 出0 另一方面，如為第5紅色用喷嘴R5之情形，當第5紅色用 喷嘴R5入侵到第2紅色著色層形成區域sr2上時，其中心位 置會位於同第2紅色著色層形成區域Sr2之χ方向右侧端部 之吐出區域sj外。因此，控制部41係在當第5紅色用喷嘴 107088-960731.doc -23- 1295636 R5之中心位置一度偏離第2紅色著色層形成區域Sr2上、而 再度入侵到第2紅色著色層形成區域Sr2(吐出區域Sj)上之 時序下，使微小液滴仏開始吐出。然後如同第1紅色用喷 嘴R1 ,控制部41僅於第5紅色用喷嘴R5與吐出區域Sj對峙 期間，以吐出頻率fn(10kHz)使微小液滴Ds吐出。 藉此，只要使吐出對照喷嘴Rj振動，即可於各紅色著色 層形成區域Sri〜Srn内均勻吐出微小液滴Ds。而被吐出到 吐出區域Sj内之微小液滴Ds，也不會溢漏到相隣之綠色著 色層形成區域Sgl〜Sgn或藍色著色層形成區域訃丨〜訃^，而 確實收容於對應之紅色著色層形成區域Sri〜Srn内。 而且，於該過程中，控制部41會介以頭驅動電路4 5，對 各吐出對照噴嘴Rj之壓電元件25，按照以下之重量設定， 輸出用以吐出微小液滴Ds之喷嘴驅動控制信號。亦即，控 制部41係按照使吐出至各紅色著色層形成區域Srl〜Srn之 微小液滴Ds之總量（總重量）相等之重量設定，輸出喷嘴驅 動控制信號。 詳細言之，如圖10所示，對於第1紅色著色層形成區域 Srl ’能夠吐出36滴之微小液滴Ds，且控制部41會對同第1 紅色著色層形成區域Sr 1，輸出用以吐出1滴為2· 1 ng之微 小液滴Ds之喷嘴驅動控制信號。藉此，對於第1紅色著色 層形成區域Srl，吐出其總重量設為75.6 ng之功能液L。 另一方面，如圖10所示，對於第2紅色著色層形成區域 Sr2，能夠吐出30滴之微小液滴，且控制部41會對同第2紅 色著色層形成區域Sr2，輪出用以吐出1滴為2.5 ng之微小 107088.doc -24- 1295636 液滴Ds之噴嘴驅動控制信號。因此，對於第2紅色著色層 形成區域Sr2内，會吐出其總重量設為與第丨紅色著色層形 成[域Srl大至相同之75.0 ng之功能液L。而控制部41對於 其他之紅色著色層形成區域Sr3〜Srn，亦同樣按照其總重 里大至相等之重量設定，輸出喷嘴驅動控制信號。 藉此，於各紅色著色層形成區域Srl〜Srn内，均勻收容 其總重量相等之功能液L。 以後之情形亦同，控制部41針對各吐出對照喷嘴Rj輸出 各自對應之喷嘴驅動控制信號，使其總重量相等之功能液 L均勻收容於紅色著色層形成區域Srl〜Srn内。此時，控制 部41如同上述之紅色著色層形成區域Srl〜Sm，使各自對 應之功能液L在其總重量相等之情況下，均勻收容於綠色 著色層形成區域Sgl〜Sgn及藍色著色層形成區域SM〜sbn 内。 然後將收容於各紅色著色層形成區域Srl〜Srn内之功能 液L加以乾燥，以固化同功能液L中所含之紅色著色層形成 材料’藉•此本圖11所示，於各紅色著色層形成區域 Srl〜Srn内形成各自對應之紅色著色層Lrl〜Lrn。 因此，只要於各紅色著色層形成區域Srl〜Srn内均勻收 容總重量相等之功能液，即可形成各自呈現均勻形狀之紅 色著色層Lrl〜Lrn。同樣的，於各綠色著色層形成區域 Sg 1〜及各藍色者色層形成區域Sbl〜Sbn内，亦可形成呈 現均勻形狀之綠色著色層Lgl〜Lgn及藍色著色層 Lbl〜Lbn(參照圖11) 〇 107088.doc -25- 1295636 於各色之著色層形成區域s内形成形狀均勻之著色層 LH〜Lrn、Lgl〜Lgn、Lbl〜Lbn後，於同著色層上層形成包 含ITO等之透明導電膜之對向電極層48，於同對向電極層 48上，依序層疊藉由摩擦處理等施以配向處理之配向膜 49。藉此，即可製造出具備具有均勻形狀之著色層之彩色 濾光器基板30 〇 其次，以上述方式構成之第丨實施形態之效果記述如 下： (1)根據上述第1實施形態，其係設置振動部26，以對各 液滴吐出頭Η賦予含有吐出頭振幅値八及吐出頭頻率fh之振 動，當各吐出對象喷嘴Rj入侵到對應之紅色著色層形成區 域Sri〜Srn上時，藉由同振動部％使液滴吐出頭H振動。而 當吐出對照喷嘴Rj之中心位置與對應之紅色著色層形成區 域Sri〜Srn之吐出區域Sj對峙期間，從同吐出對照喷嘴心·吐 出微小液滴Ds，以形成紅色著色層Lrl〜Lm。此外，對於 綠色著色層形成區域8§1〜8糾及藍色著色層形成區域 Sbl〜Sbn，亦藉由與紅色著色層Lrl〜Lm相同之構成，而形 成各個綠色著色層Lgl〜Lgn及藍色著色層^^以。 因此，只要使液滴吐出頭Η振動，即可擴大紅色用喷嘴 R、綠色用喷嘴G及藍色用喷嘴Β對於各著色層形成區域8 之相對務動範圍，而只要擴大其移動範圍，即可對各著色 層形成區域S均勻吐出微小液滴Ds。其結果，即可於各著 色層形成區域S内，均勻形成各著色層Lrl〜Lrn、 Lgl〜Lgn、Lbl〜Lbn之形狀。連帶提升彩色濾光器基板3〇 107088.doc -26 - 1295636 之生產性。 (2) 再者，由於是在吐出對照喷嘴Rj之中心位置與吐出區 域Sj對峙期間吐出微小液滴仏，故能夠使吐出之微小液滴 Dsk各著色層开> 成區域s之中心線附近均勻地濕潤擴散。 而且該吐出之微小液滴Ds不會溢漏到相隣之其他著色層 形成區域s，能夠確實收容於對應之著色層形成區域s内。 因此，能夠於各著色層形成區域s内均勻地收容功能液L， 而月b夠更加均勻地形成各著色層之形狀。連帶提升彩色濾 光器基板30之生產性。 (3) 根據上述第1實施形態，係以使吐出至各紅色著色層 形成區域Sri〜Sm之微小液滴Ds之總量（總重量）相等之方 式，調整從各吐出對照噴嘴Rj吐出之微小液滴仏之重量。 因此，能夠使總重量相等之功能液L收容於各紅色著色層 形成區域Sri〜Srn内’而更加均勻地形成各著色層 Lrl〜Lrn、Lgl〜Lgn、Lbl〜Lbn之形狀。 (第2實施形態） 其次根據圖12，說明作為具有上述之彩色濾光器基板3〇 之光電裝置之液晶顯示裝置50。圖12表示液晶顯示裝置5〇 之構成之立體圖。於圖12中，液晶顯示裝置50具有液晶面 板51，以及對同液晶面板51照射平面狀之光線L1之照明裝 置52 〇 照明裝置52具有LED等之光源52a及導光體52b，該導光 體52b係透過從同光源52a出射之光線成為平面狀之光線而 照射於液晶面板51。此外，液晶面板51於該照明裝置52側 107088.doc -27- 1295636 及同照明裝置52，各自具有四角形狀之元件基板53，以及 根據第1實施形態所製造之彩色濾光器基板3〇。 元件基板53係以比透明基板31稍大之尺寸形成之無鹼玻 璃基板，於該彩色濾光器基板30侧之面（元件形成面53勾 上，依特定之間隔形成延伸於X方向之多條掃描線54。各 掃描線54各自電性連接於配設於元件基板53之一側端之掃 描線驅動電路58。掃描線驅動電路58係根據從未圖示之控 制電路供應而來之掃描控制訊號，按照特定之時序從多條 掃描線54之中選擇驅動特定之掃描線54，並對該掃描線54 輸出掃描訊號。此外，於元件形成面53&上，依特定之間 隔形成延伸於與掃描線54正交之Y方向之多條資料線56。 各資料線56各自電性連接於配設在元件基板53之一側端之 資料線驅動電路55。資料線驅動電路55係根據從未圖示之 外部裝置供應而來之顯示資料產生資料信號，依特定時序 將該資料信號輸出至對應之資料線56。 於該等資料線56與掃描線54之交叉位置，藉由連接於對 〜應之資料線56及掃描線54而形成排列成矩陣狀之多個像素 區域57。於該像素區域57内，各自形成含有TFT等未圖示 之開關元件及含有ITO等透明導電膜之像素電極。亦即， 液晶顯示裝置50係具有作為開關元件之TFT之主動矩陣式 之液晶顯示裝置。 該等元件基板53及前述彩色濾光器基板30，係使同元件 基板53之各像素電極與彩色濾光器基板3〇之各著色層（紅 色著色層Lrl〜Lrn、綠色著色層Lgl〜Lgn及藍色著色層 107088.doc -28- 1295636 叫〜叫)相對向’以四角框狀之密封㈣予以貼合。缺後 於該等元件基板53與彩色遽光器基板3〇之間之間隙，封入 未圖不之作為光電物質層之液晶層。 而當掃描線驅動電路58根據線順序掃描逐條依序選擇掃 描線54時，像素區域57之開關元件會在選擇期間内依序成 為通路狀態。當控制元件成為通路狀態時，從資料線驅動 電路55輸出之資料信號會介卩資料線％及控制元件而被輸 出至像素電極。於是，因應元件基板53之像素電極與彩色 濾光器基板30之對向電極層48之電位差，維持使液晶分子 之配向狀態調變照明裝置52之照射光L1。而藉由調變後之 光線是否通過未圖示之偏光板，於液晶面板51上顯示介以 彩色濾光器基板3 0之所要之全彩圖像。 於該情況下亦同，只要於彩色濾光器基板3〇上形成均勻 之著色層，即可避免因各著色層Lrl〜Lrn、Lgl〜Lgn、 Lbl〜Lbn造成色彩模糊等，而能夠提升液晶顯示裝置5〇之 生產性。 此外，上述實施形態亦可做如下變更： •在上述第1實施形態中，係採用使液滴吐出頭Η僅於X 方向振動之構成，但不限於此，亦可改為例如對X方向傾 斜之方向。換言之，液滴吐出頭Η之振動方向除了 Υ方向 以外，只要是能夠擴大對於各喷嘴R、G、Β之著色層形成 區域S之相對移動範圍之方向皆可。 •在上述第1實施形態中，係採用設置振動部26以對液 滴吐出頭Η賦予振動之構成，但不限於此，亦可改為例如 107088.doc -29- 1295636 藉由X轴馬達M2之正反轉動而賦予液滴吐出頭只振動之構 成。藉此’無需設置振動部26及振動部驅動電路46，即可 製造出均勻形成著色層之形狀之彩色濾光器基板3〇。 •在上述第1實施形態中，係採用使液滴吐出頭H對透明 基板31振動之構成，但不限於此，亦可改為使載置台13對 液滴吐出頭Η於與Y方向相異之方向振動。 •在上述第1實施形態中，係採用藉由微小液滴Ds之重 虽5又又’而使各者色層形成區域§内之功能液l之總量（總 重量）均勻化之構成。但不限於此，亦可改為例如設定吐 出至各著色層形成區域S内之液滴之數量，以使各著色層 形成區域S内之功能液L之總量（總數量、總容量）均勻化之 構成。 •在上述第1實施形態中，係採用僅在吐出對照喷嘴Rj· 入侵到依照特定之寬度（吐出許容寬度Ws)所形成之區域 (吐出區域Sj)上之期間吐出微小液滴Ds之構成，但不限於 此，亦可改為例如僅於入侵到對應之著色層形成區域8上 之期間吐出微小液滴Ds之構成。 •在上述第1實施形態中，係採用將圖案、圖案形成面 及圖案形成區域分別具體化為著色層、滤光器形成面3 1 a 及著色層形成區域S而製造彩色遽光器基板3 0。但不限於 此，亦可改為將圖案、圖案形成面及圖案形成區域，分別 具體化為形成於透明基板上之作為發光元件之有機電激發 光元件（有機EL元件）、同透明基板之一側面（發光元件形 成面）及發光&件形成區域，將含有發光元件形成材料之 107088.doc -30 - 1295636 功旎液之液滴吐出至發光元件形成區域而形成發光元件之 構成。藉此，能夠製造出發光元件之形狀之均勻性提升之 作為光電裝置之有機電激發光顯示器（有機EL顯示器）。或 者，亦可改為將該等圖案及圖案形成面具體化為金屬配線 及電路形成面，以製造電路基板。 •在上述第1實施形恶中，係將著色層形成區域排列成 條狀，但不限於此，亦可改為例如馬赛克狀或三角形狀， 未對該形狀加以限制。 •在上述第1實施形態中，係採用液滴吐出頭]^具有紅色 用喷嘴列Rr、綠色用喷嘴列Gr及藍色用噴嘴列仏之構成， 但不限於此，亦可改為各液滴吐出頭H具有紅色用喷嘴列 、綠色用喷嘴列Gr及藍色用喷嘴列Br中任一者之構成。 •在上述第1實施形態中，係採用各喷嘴列，Gr，Br 沿著X方向形成之構成’但不限於此，亦可改為對X方向 傾斜排列之構成。藉此，只要使各喷嘴列Rr、Gr、Br傾 斜’即可縮小從Υ方向觀察之噴嘴間距寬Wn，而能夠使吐 出對照喷嘴Rj之靜止狀態之位置接近各著色層形成區域S 之中心線上。 •在上述第1實施形態中，係驅動壓電元件25以吐出微 小液滴Ds，但不限於此，亦可改為例如藉由電阻加熱之加 熱而於模穴23内形成氣泡，藉由同氣泡之破裂而使微小液 滴Ds吐出。 •在上述第2實施形態中，係採用將具有均勻形狀之著 色層（彩色濾光器基板30)裝附於液晶顯示裝置5〇之構成， 107088.doc -31 - 1295636 但不限於此，亦可改為例如裝附（層叠）於有機£匕顯示器之 構成。 •在上述第2實施形態中’係將光電裝置具體化為液晶 顯示裝置50’但非限定於此者，亦可改為例如有機肛顯示 器等，或是具有平面狀之電子發射元件’而利用從同元件 發射之電子所形成之螢光物質之發光進行顯示之場效型顯 示器（FED或SED等）。 【圖式簡單說明】 圖1表示本發明具體化之第丨實施形態之液滴吐出裝置之 立體圖。 圖2表示同液滴吐出頭之立體圖。 圖3表示同液滴吐出頭之立體圖。 圖4表示同液滴吐出頭之剖面圖。 圖5表示同液滴吐出頭之剖面圖。 圖6表示同彩色遽光器之立體圖。 圖7表示同彩色濾光器之剖面圖。 圖8表示同液滴吐出裝置之電氣構成之方塊圖。 圖9係說明同液滴吐油裝置之液滴吐出動作之說明圖。 圖10係說明同液谪吐出裝置之液滴吐出動作之說明圖。 圖11表示同彩色濾光器之剖面圖。 圖I 2表示本發明具體化之第1實施形態之液晶顯示裝置 之立體圖。 【主要元件符號說明】 Μ 作為圖案形成裝置之液滴吐出裝置 107088.doc -32· 1295636

13 構成掃描機構之載置台 26 作為振動機構之振動部 30 作為對向基板之彩色濾光器基板 31 作為基板之透明基板 31a 作為圖案形成面之濾光器形成面 32 ^ ώρ 遲无層 50 作為光電裝置之液晶顯示裝置 53 元件基板 B 構成液滴吐出喷嘴之藍色用喷嘴 Ds 微小液滴 G 構成液滴吐出喷嘴之綠色用噴嘴 H 液濟吐出頭 Lr 1 〜Lrn 作為著色層之紅色著色層 Lgl 〜Lgn 作為著色層之綠色著色層 Lbl 〜Lbn 作為著色層之藍色著色層 R 構成液滴吐出喷嘴之紅色用喷嘴 S 作為圖案形成區域之著色層形成區域 107088.doc -33-

Claims (1)

1. I295#3#1G1727號專利申請崇 中文申請專利範圍替換本(9、6年7月） 十、申請專利範圍·· 2案$成方法’其係於—方向掃描於—側面具有廣 二、區域之基板’從具備液滴吐出嘴之液滴吐出頭將 =圖案形成材料之液滴吐出至前述圖案形成區域，而 於-述圖案形成區域形成圖案者，其特徵在於： 對於前述-側面，使前述液滴吐出頭於與前述一方向 方向相對振動，而於前述液滴吐出嘴對峙於前述 成區域時，從前述液滴吐出嘴吐出前述液滴。 出=:二圖一案形成方法’其中係藉由使前述液滴吐 頭對二别一方向相異之方向振動，使前述液滴吐出 頊對於前述一侧面相對振動。 3.=们之圖案形成方法，其中係藉由使前述基板於 ^ 方向相異之方向振動’使前述液滴吐出頭對於 刖述一側面相對振動。 4·如請求項1〜3中任一頊之圖索形# 士、χ ㈣+ φ $之圖㈣成方法，其中係使前述 於：ΓΓ前述—侧面内與前述—方向正交之方向對 於則述一侧面相對振動。 項1〜3中任-項之圖案形成方法，其中係以控制 =則述液滴吐出嘴對形成於前述—侧面之多個前述圖 ==:之液滴的總量相等之方式，從前述液滴 土出嘴吐出液滴。 6· 項5之圖案形成方法，其中係藉由調整從前述液 ㈣2吐出线滴之44或數量之至少任-者，而控 制使㈣述液滴吐出嘴對多個前述圖案形成區域吐出之 107088-960731.doc ♦ 1295636 ..........---------義,,bi 液滴之總量相等。 7.如明求項1〜3中任一項之圖案形成方法，其中係當前述 γ商土出嘴位在比從沿著前述圖案形成區域之前述一方 向之中心線至較特定距離為短之距離時，從前述液滴吐 出嘴吐出前述液滴。 種液滴吐出頭’其具有液滴吐出冑，該液滴吐出嘴係 將含有圖案形成材料之液滴吐出至受—方向掃描之基板 φ 之圖案形成區域，其特徵在於具備： 機構其係使前述液滴°土出嘴於與前述-方向相 異之方向振動。 圖案形成裝置’其具有掃描機構及液滴吐出頭 =構係於一方向掃描於一側面具備圖案形成區域之 I脸-該液滴吐出頭具備液滴吐出嘴，該液滴吐出嘴 域·、:有圖案形成材料之液滴吐出至前述圖案形 域，其特徵在於包含： 籲 ^機構其係使前述液滴吐出頭於與前述—方 異之方向，對於前述_侧面相對振動；及 ::機構’其係當前述液滴吐出嘴於 成區域時，驅動柝制_系形 滴。 卫]則述液滴吐出嘴使其吐出前述液 10.如請求項9之圖案形成裝置，其巾 前:::機構係—振動部:、其係接近於前 頭賦予前述液滴吐出頭特定振動。土出 11· 一種衫色濾光器基板 心I拉方法，其係於一方向掃插 107088-960731.doc -2- 1295636 日修(更)正替換頁 一側面具有著色層形成區域之基板，從具備液滴吐出嘴 之液滴吐出頭將含有著色層形成材料之液滴吐出至前述 著色層形成區域内，而於前述著色層形成區域形成著色 層者，其特徵在於·· 觔述著色層係藉由如睛求項1〜7中任一項之圖案形成 方法所形成。

   種彩色遽光器基板’其係藉由如請求項i i之彩色濾光 器基板之製造方法製造而成。 一種光電裝置，其係於元件基板與對向基板之間具有光 電物質層者，其特徵在於： 14.

   前述對向基板係如請求項12之彩色濾光器基板。 -種光電裝置之製造方法’其係於一方向掃描於一侧面 具有發光元件形成區域之基板，從具備液滴吐出嘴之液 滴吐出頭將含有發光元件形成材料之液滴吐出至前述發 光元件形成區域内’而於前述發光元件形成 光元件者，其特徵在於： 前述發光元件係藉由如請求項1〜7中任—項之圖㈣ 成方法所形成。 15. 一種光電裝置，其係藉由如請求項14之光電裝置之製造 方法製造而成者。 107088-960731.doc 1295636 七、指定代表囷： (一) 本案指定代表圖為··第（1〇 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 31a 34 Ds HI Rl(Rj) R2 R4 R5(Rj) Sj Sbl Sgl Sri Sr2 Obn 作為圖案形成面之濾光器形成面 隔牆層 微小液滴 苐1液滴吐出頭 第1紅色用噴嘴（吐出對照喷嘴） 第2紅色用噴嘴 第4紅色用喷嘴 第5紅色用噴嘴（吐出對照喷嘴） 吐出區域 第1藍色著色層形成區域 第1綠色著色層形成區域 第1紅色著色層形成區域 第2紅色著色層形成區域 喷嘴移動軌1Γ、 A 吐出頭振幅値 Ws 吐出許容寬度 X X方向 Y Y方向 V/fh 掃描速度/吐出頭頻率 八、本案若有化學式時5 (無） _請揭示最能顯示發明特徵的化學式 107088.doc