TWI482668B - 液狀體之噴出方法、彩色濾光片之製造方法及有機ｅｌ裝置之製造方法 - Google Patents

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Description

液狀體之噴出方法、彩色濾光片之製造方法及有機EL裝置之製造方法
本發明係關於一種自噴嘴噴出液狀體之液狀體之噴出方法、彩色濾光片之製造方法及有機EL(Electroluminescence，電致發光)裝置之製造方法。
例如，於液晶顯示裝置等之彩色濾光片、有機EL裝置之成膜等之領域，一直是應用噴出含有功能性材料之液狀體之液狀體之噴出方法。在該液狀體之噴出方法中係使用液滴噴出裝置。液滴噴出裝置含有被稱作液滴噴出頭之液滴噴出機構。於該液滴噴出頭上規則地形成有複數個噴嘴。於彩色濾光片或有機EL裝置之製造中，係自該等噴嘴向基板等噴出含有功能性材料之液狀體作為液滴，從而形成含有功能性材料之薄膜。
近年來，顯示裝置之應用領域正在擴大，目前已提供有各種大小之面板。又，亦存在顯示裝置之高畫質化之要求，為了適應該要求，必需實現高精細、高密度之彩色濾光片或有機EL裝置之成膜。因此，高精細、高密度地對各種大小之基板噴出液狀體變得重要起來。又，顯示裝置之面板之需求增加，為了提高面板之生產率，亦存在希望自一塊大型基板製造出多塊面板之要求。於此情形時，為了追求獲取數之效率，或者為了自一塊基板生產出不同大小之面板，已研究出各種各樣的布局。根據布局，有時噴出液狀體之最小單位之區域即像素區域之配置會相差90度。
作為自液滴噴出頭向工件(基板)噴出液狀體作為液滴而進行圖案描繪之液滴噴出裝置及液滴噴出方法，已知有如下的液滴噴出裝置及液滴噴出方法：使工件於第1方向及與第1方向大致正交之第2方向上移動，自沿著第2方向預先定位之複數個托架上所配設之液滴噴出頭之噴嘴噴出液狀體而進行圖案之描繪(例如，參照專利文獻1)。
[專利文獻1]日本專利特開2006-187758號公報
上述液滴噴出裝置係自預先定位之噴嘴將液狀體噴出至基板之特定區域內。再者，噴嘴係以固定之間距構成為行狀，噴出液狀體之最小單位之區域即像素區域係形成為大致矩形形狀。因此，為了使噴嘴之噴出不均分散，較好的也是將用以使儘可能多的噴嘴與像素區域對向之像素區域之長邊與噴嘴行加以平行配置。然而，若基板中配置方向不同之像素區域混合存在而構成，則會存在短邊與噴嘴行平行而配置之像素區域。於此情形時，有可能使可向區域內噴出液狀體之噴嘴受到限制，將液狀體噴出至區域內之偏離位置，從而於區域內產生液狀體之噴出量之偏差。若產生液狀體之噴出量之偏差，則有可能產生區域內所形成之薄膜之厚度不均勻。於液晶顯示裝置等之彩色濾光片、有機EL裝置之功能膜等之薄膜中，存在若產生膜厚之不均勻，則所製造之顯示裝置之圖像品質將降低之問題。
本發明係為了解決上述問題之至少一部分研製而成者，其可作為以下之形態或者應用例而實現。
(應用例1)一種液狀體之噴出方法，其特徵在於：包含噴出步驟(process)，其係一面使複數個液滴噴出頭與包含複數個大致矩形形狀之被噴出區域之基板在與上述液滴噴出頭之配置方向為大致正交之主掃描方向上相對移動，一面自上述噴嘴向上述被噴出區域噴出上述液狀體，上述複數個液滴噴出頭包含噴嘴行，該噴嘴行係將噴出液狀體作為液滴之複數個噴嘴呈行狀配設而成者，上述被噴出區域包含第1被噴出區域及第2被噴出區域，上述第1被噴出區域係以長邊方向沿著固定方向之方式配設於上述基板上，上述第2被噴出區域較上述第1被噴出區域面積更小，且以上述第2被噴出區域之長邊方向與上述第1被噴出區域之長邊方向大致正交之方式配設，並且於上述噴出步驟中，以沿著上述主掃描方向之方式配置上述第1被噴出區域之長邊方向。
根據該方法，可使含有噴嘴行之液滴噴出頭之配置方向、與面積較大之第1被噴出區域之大致矩形形狀之短邊方向及面積較小之第2被噴出區域之大致矩形形狀之長邊方向為相同方向。即，面積較大之第1被噴出區域可於大致矩形形狀之短邊方向上配置噴嘴，面積較小之第2被噴出區域可於大致矩形形狀之長邊方向上配置噴嘴。因此，即便面積不同之第1被噴出區域及第2被噴出區域混合存在於同一基板內，亦可增多能夠將液狀體噴出至各被噴出區域內之噴嘴數量。因此，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其結果為，可降低各被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。因此，可製造品質穩定之至少兩種薄膜，從而可有助於提高生產率。
(應用例2)如上述之液狀體之噴出方法，其中於上述噴出步驟中，於上述第1被噴出區域之短邊方向之區域內，至少兩個以上之上述噴嘴係相對向。
根據該方法，可使複數個噴嘴與第1被噴出區域相對向而噴出液狀體。因此，即便存在噴嘴之噴出特性之不均，亦可藉由使用複數個噴嘴來使噴出特性之不均分散。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(應用例3)如上述之液狀體之噴出方法，其中自上述噴嘴噴出而配置於上述第1被噴出區域內之上述液滴之上述第1被噴出區域之短邊方向之配置間隔，可藉由以相對於上述短邊方向具有角度之方式配置上述噴嘴行來加以調整。
根據該方法，以相對於第1被噴出區域之短邊方向具有角度之方式配置液滴噴出頭之噴嘴行，藉此配置於第1被噴出區域之短邊方向上之液滴之配置間隔可實質性地變窄。即，可使更多的噴嘴與第1被噴出區域相對向而噴出液狀體。因此，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(應用例4)如上述之液狀體之噴出方法，其中上述噴出步驟係於上述液滴噴出頭與上述基板之上述主掃描方向之複數次相對移動期間，使上述液滴噴出頭與上述基板於與上述主掃描方向大致正交之副掃描方向上相對移動。
根據該方法，於噴出步驟中，可一面使液滴噴出頭與基板於與主掃描方向大致正交之副掃描方向上相對移動、即進行改行動作，一面自噴嘴將液狀體噴出至被噴出區域內。因此，可實質性地增多例如能夠配置於第1被噴出區域之短邊方向上之液滴。因此，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(應用例5)一種彩色濾光片之製造方法，其特徵在於：該彩色濾光片係於基板上之複數個被噴出區域內形成複數種顏色之著色層者，複數個上述被噴出區域包含配設方向彼此正交之第1被噴出區域及第2被噴出區域，上述彩色濾光片之製造方法包含：噴出步驟，其係使用上述液狀體之噴出方法，將含有著色層形成材料之複數種顏色之液狀體噴出至複數個上述被噴出區域內；以及成膜步驟，其係將所噴出之上述液狀體加以固化而形成上述複數種顏色之著色層。
根據該方法，可降低配設方向彼此正交之第1被噴出區域及第2被噴出區域內所形成之著色層之厚度不均勻，並且能夠以高生產率製造著色層之排列方向不同之至少兩種彩色濾光片。
(應用例6)一種有機EL裝置之製造方法，其特徵在於：該有機EL裝置係於基板上之複數個被噴出區域內含有包含發光層之功能層之有機EL元件者，複數個上述被噴出區域包含配設方向彼此正交之第1被噴出區域及第2被噴出區域，上述有機EL裝置之製造方法包含：噴出步驟，其係使用上述液狀體之噴出方法，將含有發光層形成材料之液狀體噴出至複數個上述被噴出區域內；以及成膜步驟，其係將所噴出之上述液狀體加以固化而形成上述發光
根據該方法，可降低配設方向彼此正交之第1被噴出區域及第2被噴出區域內所形成之發光層之厚度不均勻，並且能夠以高生產率製造有機EL元件之排列方向不同之至少兩種有機EL裝置。
以在基板上劃分出之複數個像素區域內含有複數種顏色之著色層之彩色濾光片之製造為例，對本發明進行說明。著色層係像素構成要素，其係自複數個噴嘴朝向像素區域噴出含有著色層形成材料之液狀體作為液滴而形成。為了噴出該液狀體作為液滴，使用以下說明之液狀體噴出裝置。
(關於液狀體噴出裝置之構成)
首先，參照圖1，對包含噴出液狀體之液滴噴出頭之液狀體噴出裝置進行說明。圖1係表示液狀體噴出裝置之構成之概略立體圖。
如圖1所示，液狀體噴出裝置10包含：基板移動機構20，其係使含有被噴出區域(膜形成區域)之基板B於主掃描方向上移動；以及頭移動機構30，其係使含有複數個液滴噴出頭之頭單元9於副掃描方向上移動。該液狀體噴出裝置10係一面使基板B與頭單元9之相對位置發生變化，一面自搭載於頭單元9上之複數個液滴噴出頭噴出液狀體作為液滴，從而利用液狀體於基板B上形成特定之功能膜者。再者，圖中之X方向表示基板B之移動方向即主掃描方向，Y方向表示頭單元9之移動方向即副掃描方向，Z方向表示與X方向及Y方向正交之方向。
於使用如此之液狀體噴出裝置10，製造例如含有紅、綠及藍三色之濾光元件之彩色濾光片之情形時，自液狀體噴出裝置10之各液滴噴出頭向基板B之膜形成區域噴出紅、綠及藍三色之液狀體中之任一者作為液滴，從而形成紅、綠及藍三色之濾光元件。
此處，對液狀體噴出裝置10之各構成進行說明。
基板移動機構20包含一對導軌21、沿著一對導軌21移動之移動平台22、以及於移動平台22上可吸附並固定地載置基板B之載台5。移動平台22係藉由設置於導軌21之內部之未圖示之氣體滑動器及線性馬達而於X方向(主掃描方向)上移動。
頭移動機構30包含一對導軌31、以及沿著一對導軌31移動之第1移動台32。於第1移動台32上設置有托架8，且於托架8上經由頭單元旋轉機構70而安裝有搭載複數個液滴噴出頭50(參照圖2)之頭單元9。頭單元9可藉由頭單元旋轉機構70而於XY平面上以圖1所示之旋轉軸L為中心旋轉。並且，第1移動台32可使托架8於Y方向(副掃描方向)上移動，而將頭單元9相對於基板B於Z方向上隔開特定間隔對向配置。
液狀體噴出裝置10除了上述構成以外，亦包含維護機構60，其係進行消除搭載於頭單元9上之複數個液滴噴出頭50之噴嘴堵塞等的維護。又，液狀體噴出裝置10設置有液狀體供給機構、噴出量測量機構，上述液狀體供給機構係用以向液滴噴出頭50供給液狀體，上述噴出量測量機構含有接收由每個液滴噴出頭50或噴嘴所噴出之液狀體並測量其噴出重量之電子天平等的測量器。該等各機構係由控制部4(參照圖4)來控制。在圖1中，省略圖示控制部4、液狀體供給機構及噴出量測量機構。
(關於液滴噴出頭)
此處參照圖2及圖3對含有複數個噴嘴之液滴噴出頭進行說明。圖2係表示液滴噴出頭之構造之概略圖。圖2(a)係概略分解立體圖，圖2(b)係表示噴嘴部之構造之剖面圖。圖3係表示頭單元中之液滴噴出頭之配置之概略俯視圖。詳細而言，圖3係自與基板B相對向之側進行觀察之圖。再者，圖3所示之X方向、Y方向表示與圖1所示之X方向、Y方向相同之方向。
如圖2(a)及(b)所示，液滴噴出頭50形成為依序積層並接合有如下構件之構造：噴嘴板51，其含有噴出液滴D之複數個噴嘴52；模穴板53，其含有劃分複數個噴嘴52分別連通之模穴55之隔離壁54；以及振動板58，其含有作為與各模穴55對應之驅動元件之振動元件59。
模穴板53含有劃分連通於噴嘴52之模穴55之隔離壁54、以及用以向模穴55中填充液狀體之流路56、57。流路57中被噴嘴板51及振動板58所夾持而形成之空間發揮存積液狀體之儲液槽之作用。液狀體係自液狀體供給機構通過配管而供給，並通過設置於振動板58上之供給孔58a而存積於儲液槽之後，通過流路56填充至各模穴55中。
如圖2(b)所示，振動元件59係包含壓電元件59c、以及夾持壓電元件59c之一對電極59a、59b之壓電元件。藉由自外部向一對電極59a、59b施加作為驅動信號之驅動波形，而使所接合之振動板58變形。藉此，由隔離壁54所隔開之模穴55之體積增加，液狀體自儲液槽被抽吸至模穴55中。繼而，當驅動波形之施加結束時，振動板58恢復至原狀，對所填充之液狀體加壓。藉此，形成為可自噴嘴52噴出液狀體作為液滴D之構造。藉由對施加至壓電元件59c之驅動波形進行控制，可對各噴嘴52進行液狀體之噴出控制。
如圖3所示，上述液滴噴出頭50係配置於頭單元9之頭板9a上。頭板9a上搭載有包含3個液滴噴出頭50之頭群50A、及同樣包含3個液滴噴出頭50之頭群50B共計6個液滴噴出頭50。於此情形時，頭群50A之液滴噴出頭50(頭R1)及頭群50B之液滴噴出頭50(頭R2)係噴出相同種類之液狀體。其他頭G1及頭G2、頭B1及頭B2亦相同。即，形成為可噴出3種不同之液狀體的構成。
各液滴噴出頭50含有噴嘴行52a，其包含以固定之噴嘴間距P而配設之複數個(180個)噴嘴52。因此，每個液滴噴出頭50具有長度L之噴出寬度。頭R1及頭R2係自主掃描方向(X方向)觀察以相鄰之噴嘴行52a於與主掃描方向正交之副掃描方向(Y方向)上隔開1個噴嘴間距P而連續之方式，於主掃描方向並列配設上。因此，頭R1及頭R2具有長度2L之噴出寬度。
又，如上所述，頭單元9可藉由頭單元旋轉機構70而於XY平面上以圖1所示之旋轉軸L為中心旋轉。即，如圖3所示，頭板9a可於XY平面上以旋轉軸L貫穿頭板9a之點1為中心而旋轉。再者，點1係位於頭板9a之大致中心。
於本實施例中，對噴嘴行52a為1行之情形進行了說明，但並不限定於此。液滴噴出頭50亦可將複數個噴嘴行52a於圖中X方向上隔開固定之間隔、於Y方向上偏移1/2間距(P/2)而排列。藉由如此，可使實質上的噴嘴間距P變窄，從而高精細地噴出液滴D。
(關於液狀體噴出裝置之控制系統)
其次，參照圖4，對液狀體噴出裝置10之控制系統進行說明。圖4係表示液狀體噴出裝置之控制系統之方塊圖。
如圖4所示，液狀體噴出裝置10之控制系統包含驅動部46以及控制部4，上述驅動部46含有驅動液滴噴出頭50、基板移動機構20、頭移動機構30等之各種驅動器，上述控制部4係包含驅動部46在內對液狀體噴出裝置10進行控制。驅動部46包含：移動用驅動器47，其係對基板移動機構20及頭移動機構30之各線性馬達分別進行驅動控制；頭驅動器48，其係對液滴噴出頭50進行噴出控制；頭旋轉用驅動器68，其係對使頭單元9旋轉之頭單元旋轉機構70進行控制；維護用驅動器49，其係對維護機構60之各維護用單元進行驅動控制；以及未圖示之噴出量測量用驅動器，其係對噴出量測量機構進行控制。
控制部4包含CPU(central processing unit，中央處理單元)41、ROM(read only memory，唯讀記憶體)42、RAM(random access memory，隨機存取記憶體)43、以及P-CON44，該等彼此經由匯流排45而連接。於P-CON44上連接有上位電腦11。ROM42含有記憶由CPU41處理之控制程式等之控制程式區域、以及記憶用以進行描繪動作或功能恢復處理等之控制資料等的控制資料區域。
RAM43含有記憶於基板B上繪製圖案之圖案資料之圖案資料記憶部等的各種記憶部，且作為用以進行控制處理之各種作業區域而使用。於P-CON44上連接有驅動部46之各種驅動器等，構成並編入有用以補充CPU41之功能並且處理與周邊電路之介面信號之邏輯電路。因此，P-CON44將來自上位電腦11之各種指令等直接或者加工之後輸入至匯流排45，並且與CPU41連動，將自CPU41等輸出至匯流排45之資料或控制信號直接或者加工之後輸出至驅動部46。
並且，CPU41按照ROM42內之控制程式，經由P-CON44而輸入各種檢測信號、各種指令、各種資料等，對RAM43內之各種資料等進行處理之後，經由P-CON44而將各種控制信號輸出至驅動部46等，藉此對液狀體噴出裝置10整體進行控制。例如，CPU41控制液滴噴出頭50、基板移動機構20及頭移動機構30，並使頭單元9與基板B對向配置。並且，與頭單元9及基板B之相對移動同步地，自搭載於頭單元9上之各液滴噴出頭50之特定數量之噴嘴52向基板B噴出液狀體作為液滴D而形成圖案。
於此情形時，將與基板B向X方向之移動同步地噴出液狀體之動作稱作主掃描，將使頭單元9於Y方向上移動之動作稱作副掃描。本實施例之液狀體噴出裝置10可藉由組合主掃描與副掃描並重複進行複數次，而噴出液狀體。主掃描並不限定於基板B相對於液滴噴出頭50向一方向移動，亦可使基板B作往返移動。
上位電腦11不僅將控制程式或控制資料等之控制資訊送出至液狀體噴出裝置10，亦可修正該等之控制資訊。又，具有作為配置資訊生成部之功能，即，根據噴嘴52之位置資訊等，生成在基板B上之每個噴出區域將必要量之液狀體作為液滴D加以配置之配置資訊。配置資訊係將噴出之噴嘴52與待機之噴嘴52之分類及噴出區域內之液滴D之噴出位置(換而言之，基板B與噴嘴52之相對位置)、液滴D之配置數(換而言之，每個噴嘴52之噴出數、噴出比例)、主掃描時之複數個噴嘴52之ON/OFF(打開/關閉)、噴出時序等之資訊作為例如位元映像而表現者。
(液狀體之噴出方法及彩色濾光片之製造方法)
其次，參照圖5至圖9，對應用本實施形態之液狀體之噴出方法的彩色濾光片之製造方法進行說明。圖5(a)係表示彩色濾光片之概略俯視圖，圖5(b)係圖5(a)之C-C'剖面圖。圖6係表示彩色濾光片之製造方法之流程圖，圖7(a)~(d)係表示彩色濾光片之製造方法之概略剖面圖。
如圖5(a)及圖5(b)所示，彩色濾光片100於透明玻璃等的基板101上含有紅(R)、綠(G)、藍(B)三色之濾光元件即著色層103。作為形成著色層103之矩形形狀之被噴出區域之膜形成區域103r、103g、103b，係藉由隔離壁部104而劃分為矩陣狀。本實施形態之彩色濾光片100係同色之著色層103呈直線排列之所謂條紋方式的彩色濾光片。
如圖5(b)所示，隔離壁部104形成為包含第1隔離壁部104a及第2隔離壁部104b之雙層構造。第1隔離壁部104a包含例如Cr或Al等之金屬薄膜而具有遮光性。第2隔離壁部104b包含例如樹脂材料。再者，並不限定於雙層構造，亦可為由含有具有遮光性之構件之樹脂材料來構成隔離壁部104的單層構造。
著色層103包含含有著色材料之透光性樹脂材料。於本實施形態中，係使用上述液狀體噴出裝置10來製造如此之彩色濾光片100。
如圖6所示，本實施形態之彩色濾光片100之製造方法基本上包含：隔離壁部形成步驟(步驟S1)，形成隔離壁部104；表面處理步驟(步驟S2)，對形成有隔離壁部104之基板101之表面進行表面處理；液狀體之噴出步驟(步驟S3)，噴出含有著色層形成材料之液狀體；以及乾燥步驟(步驟S4)，使所噴出之液狀體乾燥而形成著色層103。
於圖6之步驟S1中，首先，於基板101之表面上成膜Cr或Al等之金屬薄膜。作為成膜方法，可列舉真空蒸鍍法、濺鍍法等。膜厚例如設為0.1μm左右，以獲得遮光性。藉由光微影法來對其進行圖案化，從而形成已開口之圖7(a)所示之第1隔離壁部104a。繼而，覆蓋第1隔離壁部104a而塗佈厚度為2μm左右之感光性樹脂，同樣藉由光微影法來進行圖案化，從而於第1隔離壁部104a上形成第2隔離壁部104b。藉此，如圖7(a)所示，於基板101上形成已開口之矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b。繼而，進入至步驟S2。
於圖6之步驟S2中，對基板101之表面進行親液處理，以便於其後的液狀體之噴出步驟中，使所噴出之液狀體噴附至膜形成區域103r、103g、103b中並潤濕擴散。又，對第2隔離壁部104b之至少上面部進行斥液處理，以便即便所噴出之液狀體之一部分噴附至第2隔離壁部104b亦會被收容於膜形成區域103r、103g、103b內。
作為表面處理方法，係對形成有隔離壁部104之基板101，進行將O2 作為處理氣體之電漿處理及將氟系氣體作為處理氣體之電漿處理。即，對膜形成區域103r、103g、103b進行親液處理，其後對包含感光性樹脂之第2隔離壁部104b之上面進行斥液處理。再者，若形成第2隔離壁部104b之材料自身具有斥液性，則亦可省略後者之處理。繼而，進入至步驟S3。
於圖6之步驟S3中，於圖1所示之液狀體噴出裝置10之載台5上載置經表面處理之基板101。繼而，自圖3所示之頭單元9之液滴噴出頭50分別噴出含有不同著色層形成材料之三色之液狀體。詳細而言，如圖7(b)及圖7(c)所示，與基板101及液滴噴出頭50之朝向主掃描方向之相對移動同步地，自液滴噴出頭50之噴嘴52向所需之膜形成區域103r、103g、103b分別噴出三色之液狀體作為液滴D。噴出至膜形成區域103r、103g、103b之液狀體之噴出量係根據於每次主掃描預先設定好針對每個膜形成區域103r、103g、103b所選擇之噴嘴52之選擇圖案及液滴D之噴出數等的噴出資料，自控制部4之CPU41向頭驅動器48發送適當的控制信號來加以控制。藉此，對每個膜形成區域103r、103g、103b噴出特定量之液狀體。繼而，進入至步驟S4。
於圖6之步驟S4中，如圖7(d)所示，使溶劑成分自噴出至基板101上之液狀體中蒸發，從而形成含有著色層形成材料之著色層103。於本實施形態中，係將基板101設置於能夠將溶劑之蒸氣壓加以固定來進行乾燥之減壓乾燥裝置中進行減壓乾燥，從而形成R、G、B三色之著色層103。再者，亦可將噴出一色之液狀體而加以乾燥之步驟重複三次。於步驟S3之液狀體之噴出步驟中，著色層103之膜厚只要根據每種顏色來設定即可，三色未必需要為相同膜厚。只要根據必需之膜厚之設定，將必要量之液狀體噴出至所對應之膜形成區域103r、103g、103b即可。
形成有彩色濾光片100之基板101之大小，係根據使用其之顯示裝置之大小來確定。又，即便為同一大小之顯示裝置，當像素係高密度地配置時，所對應之彩色濾光片100之著色層103之配置亦要求高密度之配置。
作為更有效率地生產彩色濾光片100之方法，通常係採用於較基板101面積更大之母基板B上進行多倒角處理之方法。然而，面積上有效之彩色濾光片100之大小係根據母基板B之大小來決定。當對面積上無效之大小之彩色濾光片100進行多倒角處理時，會產生空閒空間。由此，可考慮於該空閒空間對不同大小之彩色濾光片100進行裝邊，從而不浪費地利用母基板B。
於母基板B上對不同大小之彩色濾光片100進行裝邊時，有時膜形成區域103r、103g、103b之排列方向即條紋方向會彼此正交。如上所述，膜形成區域103r、103g、103b內之液滴之配置係藉由根據主掃描時之噴出時序噴出液狀體而實現。如上所述，自主掃描方向觀察之複數個噴嘴52係以固定之噴嘴間距P而配設。因此，當在母基板B上矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b之排列方向不同時，有時根據排列方向，與膜形成區域103r、103g、103b相對向之噴嘴52之數量會受到限制。
使用本實施形態之液狀體之噴出方法之彩色濾光片100之製造方法，係根據母基板B上之膜形成區域103r、103g、103b之配置來提供較佳之液狀體之噴出方法者。詳細內容將參照實施例來進行說明。
(第1實施例)
此處，參照圖8及圖9來說明第1實施例之彩色濾光片之製造方法。圖8係表示液狀體之噴出步驟中之頭單元與母基板之相對配置之概略俯視圖，圖9(a)及圖9(b)係表示液狀體之噴出步驟中之液滴之配置之概略俯視圖。再者，圖8及圖9所示之X方向、Y方向表示與圖1所示之X方向、Y方向相同之方向。
如圖8所示，第1實施例之母基板B含有沿著母基板B之長邊而裝邊複數個(7個)之第2面板E2、以及沿著長邊與短邊呈矩陣狀裝邊複數個(4個)之第1面板E1。第2面板E2之面積小於第1面板E1之面積。
於第2面板E2上，呈矩陣狀排列有複數個作為第2被噴出區域之矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b。同樣地，於第1面板E1上，呈矩陣狀排列有複數個作為第1被噴出區域之矩形形狀之膜形成區域103r'、103g'、103b'。此處膜形成區域103r、103g、103b之面積小於膜形成區域103r'、103g'、103b'之面積。膜形成區域103r、103g、103b與膜形成區域103r'、103g'、103b'之噴出同種(同色)之液狀體之條紋方向正交。又，分別噴出特定量之所需之液狀體而形成著色層103。
於液狀體之噴出步驟中，使用圖1所示之液狀體噴出裝置10，以使母基板B之長邊與在副掃描方向(Y方向)上配置於頭移動機構30上之複數個頭單元9大致平行之方式，將母基板B定位於載台5上。繼而，在使載台5於主掃描方向(X方向)上移動期間，自搭載於頭單元9上之液滴噴出頭50朝向母基板B噴出液狀體。
於此情形時，膜形成區域103r、103g、103b之長邊方向與副掃描方向(Y方向)相一致。膜形成區域103r'、103g'、103b'之長邊方向與主掃描方向(X方向)相一致。又，液滴噴出頭50上所排列之噴嘴行52a係藉由頭單元旋轉機構70以與副掃描方向(Y方向)相一致之方式而配置。其結果為，如圖9(a)所示，包含複數個噴嘴52之噴嘴行52a係沿著矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b之長邊方向而配置。
例如，於主掃描(X方向)中，在噴出紅色液狀體之膜形成區域103r中，安裝有4個噴嘴，自各噴嘴52分別噴出液滴D1。藉此，於膜形成區域103r分別塗佈4滴液滴D1。所噴附之液滴D1於膜形成區域103r內潤濕擴散。又，於主掃描方向上，藉由控制噴出時序，可使液滴D1噴附於膜形成區域103r中任一個之任意位置。關於副掃描方向(Y方向)上之噴附位置，根據膜形成區域103r之副掃描方向上之配置間距與噴嘴間距P之關係，未必於每個膜形成區域103r均相同。再者，在第2面板E2中之其他膜形成區域103g、103b，亦同樣地噴出所需之液狀體作為液滴D1各4滴。
如圖9(b)所示，在上述主掃描中，例如在較膜形成區域103r面積更大且排列方向正交之膜形成區域103r'安裝兩個噴嘴52。並且，自各噴嘴52於主掃描方向上噴出複數個液滴D1。藉此，對每個膜形成區域103r'塗佈液滴D1。於主掃描方向上，藉由控制噴出時序，可使液滴D1噴附於膜形成區域103r'中任一個之任意位置。另一方面，關於副掃描方向(Y方向)上之噴附位置，根據膜形成區域103r'之副掃描方向上之配置間距與噴嘴間距P之關係，雖然於每個膜形成區域103r'上安裝有兩個噴嘴52，但未必於每個膜形成區域103r'均相同。再者，在第1面板E1中之其他膜形成區域103g'、103b'，亦同樣地噴出所需之液狀體作為液滴D1。
如上所述，於第1實施例之噴出步驟中，能夠以在較膜形成區域103r'、103g'、103b'面積更小之膜形成區域103r、103g、103b安裝更多的噴嘴52之方式，對頭單元9及母基板B進行定位，並於各膜形成區域103r、103g、103b及膜形成區域103r'、103g'、103b'噴出液滴D1。
以下，揭示第1實施例之效果。
(1)根據本實施例之液狀體之噴出方法，可使噴嘴行52a之配置方向，與作為面積較大之第1被噴出區域之膜形成區域103r'、103g'、103b'之短邊方向及作為面積較小之第2被噴出區域之膜形成區域103r、103g、103b之長邊方向為相同方向。即，面積較大之膜形成區域103r'、103g'、103b'可於短邊方向上配置噴嘴52，面積較小之膜形成區域103r、103g、103b可於長邊方向上配置噴嘴52。因此，即便面積不同之第1被噴出區域及第2被噴出區域混合存在於同一基板內，亦可增加配置能夠將液狀體噴出至各被噴出區域內之噴嘴之數量。因此，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(2)根據本實施例之液狀體之噴出方法，可降低排列方向彼此正交且面積不同之膜形成區域103r'、103g'、103b'及膜形成區域103r、103g、103b內所形成之著色層103之厚度的不均勻。即，能夠以高生產率製造著色層103之排列方向不同、大小不同之至少兩種彩色濾光片100。
(第2實施例)
此處，參照圖10及圖11，對第2實施例之彩色濾光片之製造方法進行說明。圖10係表示第2實施例之液狀體之噴出步驟中之頭單元與母基板之相對配置之概略俯視圖，圖11係表示第2實施例之液狀體之噴出步驟中之液滴之配置的概略俯視圖。再者，圖10及圖11所示之X方向、Y方向表示與圖1所示之X方向、Y方向相同之方向。又，關於與第1實施例相同之構成及內容，使用同等的符號並且省略說明。
第2實施例之母基板與第1實施例之母基板B同樣，含有7個第2面板E2以及4個第1面板E1。因此，於第2面板E2上呈矩陣狀排列有複數個作為第2被噴出區域之矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b，於第1面板E1上呈矩陣狀排列有複數個作為第1被噴出區域之矩形形狀之膜形成區域103r'、103g'、103b'。
於液狀體之噴出步驟中，使用圖1所示之液狀體噴出裝置10，以使母基板B之長邊與在副掃描方向(Y方向)上配置於頭移動機構30上之複數個頭單元9大致平行之方式，將母基板B定位於載台5上。然而，於第2實施例中，如圖10所示，使用頭單元旋轉機構70使頭單元9以點1為中心朝向Y方向旋轉α度。其結果為，排列於液滴噴出頭50上之噴嘴行52a亦僅旋轉α度而加以配置。
即，如圖11(a)所示，含有複數個噴嘴52之噴嘴行52a係自矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b之長邊方向具有α度之角度而配置。並且，在使載台5於主掃描方向(X方向)上移動期間，自搭載於頭單元9上之液滴噴出頭50朝向母基板B噴出液狀體。於此情形時，噴嘴行52a相對於Y方向具有α度之角度，因此對於膜形成區域103r之實質上之液滴之配置間隔P1(P×Cosα)會變得較噴嘴行52a之噴嘴間距P更窄。
因此，於主掃描(X方向)中，於噴出紅色液狀體之膜形成區域103r內，安裝有5個噴嘴52，自各噴嘴52分別噴出液滴D1。藉此，於膜形成區域103r內分別塗佈5滴液滴D1。於主掃描方向上，藉由控制噴出時序，可使液滴D1噴附於膜形成區域103r中任一個之任意位置。即，可於膜形成區域103r之X方向之任意位置上配置一行液滴。再者，於第2面板E2上之其他膜形成區域103g、103b，亦同樣地噴出所需之液狀體作為液滴D1各5滴。
如圖11(b)所示，同樣地，噴嘴行52a相對於Y方向具有α度之角度，因此對於較膜形成區域103r面積更大且排列方向正交之膜形成區域103r'之實質上之液滴之配置間隔P1(P×Cosα)會變得較噴嘴行52a之噴嘴間距P更窄。因此，於膜形成區域103r'內安裝3個噴嘴52。並且，自各噴嘴52噴出液滴D1。藉此，於各膜形成區域103r'之副掃描方向上塗佈3滴液滴D1。於主掃描方向上，藉由控制吐出時序，可使液滴D1噴附於膜形成區域103r'中任一個之任意位置。再者，於第1面板E1上之其他膜形成區域103g'、103b'，亦同樣地噴出所需之液狀體作為液滴D1。
以下，揭示第2實施例之效果。
(1)根據本實施例之液狀體之噴出方法，藉由以相對於作為第1被噴出區域之膜形成區域103r'、103g'、103b'之短邊方向具有角度α之方式配置噴嘴行52a，可使配置於膜形成區域103r'、103g'、103b'之短邊方向上之液滴之配置間隔P1實質上窄於噴嘴間距P。即，可自更多之噴嘴52對膜形成區域103r'、103g'、103b'噴出液狀體。因此，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(2)根據本實施例之液狀體之噴出方法，可使更多的噴嘴52與被噴出區域對向而噴出液狀體。因此，即便存在噴嘴52之噴出特性之不均，亦可藉由使用更多的噴嘴52來使噴出特性之不均分散。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(3)根據本實施例之液狀體之噴出方法，藉由調整頭單元9之旋轉角度α，可與噴嘴間距P無關而任意地設定噴附至被噴出區域之液滴之配置間隔P1。因此，可與被噴出區域之副掃描方向之大小無關而自較多的噴嘴52噴出液狀體作為液滴。故而，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。又，即便存在噴嘴52之噴出特性之不均，亦可藉由使用複數個噴嘴52來使噴出特性之不均分散。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(4)又，可任意地設定噴附至被噴出區域之液滴之配置間隔P1，故而可對被噴出區域高密度、高精細地噴出液狀體。因此，可形成高密度、高精細之薄膜，從而能夠有助於顯示裝置之高畫質化。
(5)根據本實施例之液狀體之噴出方法，可降低排列方向彼此正交且面積不同之膜形成區域103r'、103g'、103b'及膜形成區域103r、103g、103b內所形成之著色層103之厚度之不均勻。即，能夠以高生產率製造著色層103之排列方向不同、大小不同之至少兩種彩色濾光片100。
(第3實施例)
此處，參照圖12，對第3實施例之彩色濾光片之製造方法進行說明。圖12係表示第3實施例之液狀體之噴出步驟中之液滴之配置的概略俯視圖。再者，圖12所示之X方向、Y方向表示與圖1所示之X方向、Y方向相同之方向。又，關於與第1及第2實施例相同之構成及內容，使用同等的符號並且省略說明。
第3實施例之母基板與第1及第2實施例之母基板B同樣，含有7個第2面板E2及4個第1面板E1。因此，於第2面板E2上呈矩陣狀排列有複數個作為第2被噴出區域之矩形形狀之膜形成區域103r、103g、103b，於第1面板E1上呈矩陣狀排列有複數個作為第1被噴出區域之矩形形狀之膜形成區域103r'、103g'、103b'。
於液狀體之噴出步驟中，使用圖1所示之液狀體噴出裝置10，以使母基板B之長邊與於副掃描方向(Y方向)上配置於頭移動機構30上之複數個頭單元9大致平行之方式，將母基板B定位於載台5上。繼而，使載台5於主掃描方向(X方向)上移動，自搭載於頭單元9上之液滴噴出頭50朝向母基板B噴出液狀體。
此時，搭載於頭單元9上之液滴噴出頭50之噴嘴行52a既可相對於副掃描方向具有角度α，亦可配置於與副掃描方向相同之方向上。於本實施例中，以將噴嘴行52a配置於與副掃描方向相同之方向上之情形為例進行說明。又，於本實施例中，為了便於說明，以向作為第1被噴出區域之膜形成區域103r'、103g'、103b'噴出液狀體之情形為例進行說明。
於此情形時，如圖12(a)所示，包含複數個噴嘴52i (i為1至i之自然數)之噴嘴行52a，係沿著膜形成區域103r'、103g'、103b'之短邊方向而配置。於本實施例中，由於膜形成區域103r'、103g'、103b'之短邊方向之寬度形成得較小，因此若自例如兩個噴嘴521 、522 向膜形成區域103r'同時噴出紅色液狀體，則紅色液狀體有可能混入至相鄰之膜形成區域103g'。因此，於噴出紅色液狀體之膜形成區域103r'中，必需僅使用1個噴嘴521 。再者，同樣地，在呈鑲嵌狀配設之其他膜形成區域103r'內使用1個噴嘴526 。
若進行第一次噴出動作，即一面藉由圖1所示之載台5使母基板B於圖12中X(+)方向上移動，一面自噴嘴521 、526 噴出液滴D1，則如圖12(a)所示，液滴D1於膜形成區域103r'之圖中左側配置為行狀。再者，X方向之配置間隔可藉由控制噴出時序而調整為任意間隔。
繼而，藉由圖1所示之頭移動機構30，使頭單元9向圖12中Y(-)方向微量移動。藉由調整移動距離，而如圖12(b)所示，噴嘴522 及噴嘴527 與噴出紅色液狀體之膜形成區域103r'相對向。並且，若進行第二次噴出動作，即一面使母基板B向圖12中X(-)方向移動，一面自噴嘴522 、527 噴出液滴D2，則液滴D2於膜形成區域103r'之圖中右側配置為行狀。
如此，在母基板B於X方向(主掃描方向)上移動及自噴嘴52i 噴出液狀體期間，進行頭單元9之Y方向(副掃描方向)之微量移動，藉此可自不同噴嘴52i 將液狀體作為液滴D配置於膜形成區域103r'之Y方向之不同位置。
再者，於期望調整液狀體之噴出量或者配置更高密度之液滴之情形時，如圖12(c)所示，於第二次噴出動作之後，藉由圖1所示之頭移動機構30使頭單元9進而向圖12中Y(-)方向微量移動，使噴嘴522 及噴嘴527 與包含液滴D1及液滴D2之液滴行之間相對向，而進行一面使母基板B向圖12中X(+)方向移動一面自噴嘴522 、527 噴出液滴D3的第三次噴出動作。藉由如此方式，而於膜形成區域103r'中形成包含液滴D1~D3之三行液滴行。
以下，揭示第3實施例之效果。
(1)根據本實施例之液狀體之噴出方法，藉由在母基板B於X方向(主掃描方向)上移動及自噴嘴52i 噴出液狀體期間，進行頭單元9之Y方向(副掃描方向)之微量移動，可自不同噴嘴52i 將液狀體作為液滴D配置於膜形成區域103之Y方向之不同位置。因此，可實質上增多能夠配置於膜形成區域103內之液滴D。故而，可減少將液狀體噴出至膜形成區域103內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(2)根據本實施例之液狀體之噴出方法，可使更多的噴嘴52i 與膜形成區域103相對向而噴出液狀體。因此，即便存在噴嘴52之噴出特性之不均，亦可藉由使用更多的噴嘴52i 來使噴出特性之不均分散。其結果為，可降低膜形成區域103內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(3)根據本實施例之液狀體之噴出方法，藉由調整頭移動機構30對頭單元9之移動量，可與噴嘴間距P無關而任意地設定噴附於被噴出區域之液滴之配置間隔。因此，可與被噴出區域之副掃描方向之大小無關，而自較多的噴嘴52噴出液狀體作為液滴。故而，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。又，即便存在噴嘴52之噴出特性之不均，亦可藉由使用複數個噴嘴52來使噴出特性之不均分散。其結果為，可降低被噴出區域內所形成之薄膜厚度之不均勻。
(4)又，由於可任意地設定噴附於被噴出區域之液滴之配置間隔，因此可對被噴出區域高密度、高精細地噴出液狀體。因此，可形成高密度、高精細之薄膜，從而可有助於顯示裝置之高畫質化。
(5)根據本實施例之液狀體之噴出方法，可降低排列方向彼此正交且面積不同之膜形成區域103r'、103g'、103b'及膜形成區域103r、103g、103b內所形成之著色層103之厚度之不均勻。即，能夠以高生產率製造著色層103之排列方向不同、大小不同之至少兩種彩色濾光片100。
(第4實施例)
其次，對使用上述液狀體之配置方法之有機EL裝置之製造方法進行說明。
(有機EL裝置)
圖13係表示有機EL裝置之主要部分構造之概略剖面圖。如圖13所示，本實施形態之作為電光裝置之有機EL裝置600包含：元件基板601，其含有作為有機EL元件之發光元件部603；以及密封基板620，其將元件基板601與空間622加以隔開而密封。又，關於元件基板601，於元件基板601上包含電路元件部602，發光元件部603係於電路元件部602上重疊而形成，並藉由電路元件部602加以驅動。於發光元件部603上，三色之發光層617R、617G、617B形成於作為各顏色要素區域之被噴出區域Q，並形成為條紋狀。元件基板601將與三色之發光層617R、617G、617B對應之三個被噴出區域Q作為1組圖素，將該圖素呈矩陣狀配置於元件基板601之電路元件部602上。本實施形態之有機EL裝置600係使來自發光元件部603之發光向元件基板601側射出者。
密封基板620由於包含玻璃或者金屬，因此經由密封樹脂接合於元件基板601上，並於所密封之內側表面上黏貼集氣劑621。集氣劑621會吸收滲入至元件基板601與密封基板620之間之空間622的水或者氧氣，從而防止發光元件部603因所滲入之水或者氧氣而劣化。再者，該集氣劑621亦可省略。
本實施形態之元件基板601係於電路元件部602上含有複數個被噴出區域Q者，且包含：觸排618，其係作為劃分複數個被噴出區域Q之隔離壁部；電極613，其係形成於複數個被噴出區域Q中；以及電洞佈植/傳輸層617a，其係積層於電極613上。又，含有作為顏色要素之發光元件部603，其含有向複數個被噴出區域Q內賦予含有發光層形成材料之三種液狀體而形成之發光層617R、617G、617B。觸排618包含下層觸排618a、以及實質上劃分被噴出區域Q之上層觸排618b，下層觸排618a係以向被噴出區域Q之內側突出之方式而設置，且為了防止電極613與各發光層617R、617G、617B直接接觸而發生電性短路，其係由SiO2 等之無機絕緣材料而形成。
元件基板601係包含例如玻璃等之透明基板，於元件基板601上形成有包含氧化矽膜之基底保護膜606，且於該基底保護膜606上形成有含有多晶矽之島狀之半導體膜607。再者，於半導體膜607上，藉由打入高濃度P離子而形成有源極區域607a及汲極區域607b。再者，未導入P之部分成為通道區域607c。進而，形成覆蓋基底保護膜606及半導體膜607之透明的閘極絕緣膜608，於閘極絕緣膜608上形成有含有Al、Mo、Ta、Ti、W等之閘極電極609，且於閘極電極609及閘極絕緣膜608上形成有透明的第1層間絕緣膜611a以及第2層間絕緣膜611b。閘極電極609係設置於與半導體膜607之通道區域607c相對應之位置上。又，形成有接觸孔612a、612b，其等貫穿第1層間絕緣膜611a及第2層間絕緣膜611b，而分別連接於半導體膜607之源極區域607a、汲極區域607b。並且，於第2層間絕緣膜611b上，將含有ITO(Indium Tin Oxide，氧化銦錫)等之透明的電極613圖案化為特定形狀而配置(電極形成步驟)，且將一方之接觸孔612a連接於該電極613。又，將另一方之接觸孔612b連接於電源線614。如此，於電路元件部602上形成有連接於各電極613之驅動用之薄膜電晶體615。再者，於電路元件部602上亦形成有保持電容及開關用之薄膜電晶體，但圖13中省略了該等之圖示。
發光元件部603包含：作為陽極之電極613；依序積層於積層電極613上之電洞佈植/傳輸層617a、各發光層617R、617G、617B(統稱為發光層617b)；以及以覆蓋上層觸排618b及發光層617b之方式而積層之陰極604。再者，若利用透明材料來構成陰極604與密封基板620及集氣劑621，則可自密封基板620側射出所發出之光。
有機EL裝置600含有連接於閘極電極609之掃描線(省略圖示)以及連接於源極區域607a之信號線(省略圖示)，若藉由傳輸至掃描線之掃描信號而使開關用之薄膜電晶體(省略圖示)接通，則將此時之信號線之電位保持在保持電容，並根據該保持電容之狀態，來決定驅動用之薄膜電晶體615之接通與斷開狀態。並且，經由驅動用之薄膜電晶體615之通道區域607c，電流自電源線614向電極613流動，進而經由電洞佈植/傳輸層617a及發光層617b，電流向陰極604流動。發光層617b根據流經其之電流量而進行發光。有機EL裝置600根據如此之發光元件部603之發光機制，可顯示所需之文字及圖像等。
(有機EL裝置之製造方法)
其次，根據圖14及圖15，對本實施形態之有機EL裝置之製造方法進行說明。圖14係表示有機EL裝置之製造方法之流程圖，圖15係表示有機EL裝置之製造方法之概略剖面圖。再者，於圖15(a)~(f)中，形成於元件基板601上之電路元件部602省略了圖示。
如圖14所示，有機EL裝置之製造方法包含如下步驟：於元件基板601之對應於複數個被噴出區域Q之位置上形成電極613之步驟；以及觸排(隔離壁部)形成步驟，其係以一部分接觸電極613之方式形成下層觸排618a，進而於下層觸排618a上以實質上劃分被噴出區域Q之方式而形成上層觸排618b。又，包含如下步驟：對藉由上層觸排618b而劃分之被噴出區域Q進行表面處理之步驟；向經表面處理之被噴出區域Q賦予含有電洞佈植/傳輸層形成材料之液狀體並對電洞佈植/傳輸層617a進行噴出描繪之步驟；以及將所噴出之液狀體加以乾燥而成膜電洞佈植/傳輸層617a之步驟。又，包含如下步驟：對形成有電洞佈植/傳輸層617a之被噴出區域Q進行表面處理之步驟；作為顏色要素描繪步驟之發光層描繪步驟，其係向經表面處理之被噴出區域Q賦予含有作為顏色要素形成材料之發光層形成材料之三種液狀體，對發光層617b進行噴出描繪；以及將所噴出之三種液狀體加以乾燥而成膜發光層617b之步驟。進而，包含以覆蓋上層觸排618b及發光層617b之方式而形成陰極604之步驟。各液狀體之向被噴出區域Q之賦予係使用液狀體噴出裝置10來進行。
圖14之步驟S11係電極(陽極)形成步驟。於步驟S11中，如圖15(a)所示，於已形成有電路元件部602之元件基板601之對應於被噴出區域Q之位置上形成電極613。作為形成方法，可列舉如下方法：例如於真空中藉由濺鍍法或者蒸鍍法，使用ITO等之透明電極材料而於元件基板601之表面上形成透明電極膜，其後，藉由光微影法，保留必需部分而進行蝕刻，從而形成電極613。又，亦可為如下方法：先利用光阻劑覆蓋元件基板601，以使形成電極613之區域開口之方式進行曝光、顯影，繼而，於開口部形成ITO等之透明電極膜，並去除殘留的光阻劑。繼而，進入至步驟S12。
圖14之步驟S12係觸排(隔離壁部)形成步驟。於步驟S12中，如圖15(b)所示，以覆蓋元件基板601之複數個電極613之一部分之方式形成下層觸排618a。作為下層觸排618a之材料，使用作為無機材料之絕緣性之SiO2 (氧化矽)。作為下層觸排618a之形成方法，例如可列舉如下方法：對應於後來所形成之發光層617b，使用光阻劑等對各電極613之表面進行掩蔽，繼而，將掩蔽後之元件基板601投入至真空裝置中，將SiO2 作為靶材或者原料，藉由濺鍍或真空蒸鍍而形成下層觸排618a。光阻劑等之掩蔽係後來加以剝離。再者，下層觸排618a由於含有SiO2 ，因此若其膜厚為200nm以下則具有充分的透明性，即便後來積層電洞佈植/傳輸層617a及發光層617b亦不會阻礙發光。
繼而，以實質上劃分各被噴出區域Q之方式，於下層觸排618a之上形成上層觸排618b。作為上層觸排618b之材料，較理想的是對於下述含有發光層形成材料之三種液狀體84R、84G、84B之溶劑具有耐久性者，進而好的是能夠藉由將氟系氣體作為處理氣體之電漿處理而四氟乙烯化之、例如丙烯酸系樹脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等之有機材料。作為上層觸排618b之形成方法，例如可列舉如下方法：於形成有下層觸排618a之元件基板601之表面上藉由滾塗法或旋塗法而塗佈感光性之上述有機材料，使其乾燥後形成厚度約為2μm之感光性樹脂層，繼而，使以與被噴出區域Q相對應之大小設置有開口部之遮罩於特定之位置與元件基板601相對向而進行曝光、顯影，藉此形成上層觸排618b。藉此，形成作為含有下層觸排618a及上層觸排618b之隔離壁部之觸排618。繼而，進入至步驟S13。
圖14之步驟S13係對被噴出區域Q進行表面處理之步驟。於步驟S13中，首先將O2 氣體作為處理氣體，對形成有觸排618之元件基板601之表面進行電漿處理。藉此，使電極613之表面、下層觸排618a之突出部及上層觸排618b之表面(包含壁面)進行活化而進行親液處理。其次，將CF4 等之氟系氣體作為處理氣體進行電漿處理。藉此，氟系氣體僅與包含作為有機材料之感光性樹脂之上層觸排618b之表面發生反應而受到斥液處理。繼而，進入至步驟S14。
圖14之步驟S14係電洞佈植/傳輸層形成步驟。於步驟S14中，如圖15(c)所示，將含有電洞佈植/傳輸層形成材料之液狀體82賦予至被噴出區域Q。作為賦予液狀體82之方法，係使用上述液狀體噴出裝置10。自液滴噴出頭50噴出之液狀體82作為液滴而噴附至元件基板601之電極613並潤濕擴散。液狀體82根據被噴出區域Q之面積噴出必要量作為液滴，且以表面張力而形成為隆起之狀態。藉由液狀體噴出裝置10而噴出一種液狀體82並進行描繪，因此可藉由至少一次主掃描而進行噴出描繪。繼而，進入至步驟S15。
圖14之步驟S15係乾燥與成膜步驟。於步驟S15中，利用例如燈退火等之方法加熱元件基板601，藉此使液狀體82之溶劑成分乾燥並將其去除，從而於由電極613之下層觸排618a所劃分之區域內形成電洞佈植/傳輸層617a。於本實施形態中，係使用PEDOT(Polyethylene Dioxy Thiophene；聚乙烯二氧噻吩)作為電洞佈植/傳輸層形成材料。再者，於此情形時，雖於各被噴出區域Q形成有含有相同材料之電洞佈植/傳輸層617a，亦可對應於後來的發光層之形成材料，在每個被噴出區域Q來更改電洞佈植/傳輸層617a之材料。繼而，進入至步驟S16。
圖14之步驟S16係對形成有電洞佈植/傳輸層617a之元件基板601進行表面處理之步驟。於步驟S16中，於使用上述電洞佈植/傳輸層形成材料來形成電洞佈植/傳輸層617a之情形時，由於其表面對於下一步驟S17中所使用之三種液狀體84R、84G、84B具有斥液性，因此以使至少被噴出區域Q之區域內再次具有親液性之方式進行表面處理。作為表面處理之方法，係塗佈用於三種液狀體84R、84G、84B中之溶劑並使其乾燥。作為溶劑之塗佈方法，可列舉噴霧法、旋塗法等之方法。繼而，進入至步驟S17。
圖14之步驟S17係RGB發光層描繪步驟。於步驟S17中，如圖15(d)所示，應用上述液狀體之配置方法，自液狀體噴出裝置10之不同的液滴噴出頭50向複數個被噴出區域Q內賦予含有發光層形成材料之三種液狀體84R、84G、84B。液狀體84R含有形成發光層617R(紅色)之材料，液狀體84G含有形成發光層617G(綠色)之材料，液狀體84B含有形成發光層617B(藍色)之材料。所噴附之各液狀體84R、84G、84B於被噴出區域Q潤濕擴散，其剖面形狀呈圓弧狀隆起。繼而，進入至步驟S18。
圖14之步驟S18係乾燥與成膜步驟。於步驟S18中，如圖15(e)所示，使所噴出描繪之各液狀體84R、84G、84B之溶劑成分乾燥並加以去除，並以在各被噴出區域Q之電洞佈植/傳輸層617a上積層各發光層617R、617G、617B之方式進行成膜化。作為噴出描繪各液狀體84R、84G、84B之元件基板601之乾燥方法，較好的是能夠使溶劑之蒸發速度大致為固定之減壓乾燥。繼而，進入至步驟S19。
圖14之步驟S19係陰極形成步驟。於步驟S19中，如圖15(f)所示，以覆蓋元件基板601之各發光層617R、617G、617B及上層觸排618b之表面之方式形成陰極604。作為陰極604之材料，較好的是組合使用Ca、Ba、Al等之金屬或LiF等之氟化物。特別好的是於靠近發光層之側形成功函數較小之Ca、Ba、LiF之膜，於遠離發光層之側形成功函數較大之Al等之膜。又，亦可於陰極604上積層SiO2 、SiN等之保護層。如此一來，可防止陰極604之氧化。作為陰極604之形成方法，可列舉蒸鍍法、濺鍍法、CVD(Chemical Vapor Deposition，化學氣相沈積)法等。特別是就能夠防止因發光層之熱而產生之損傷之方面而言，較好的是蒸鍍法。使用以如此方式形成之元件基板601來製造有機EL裝置600。
以下，揭示第4實施形態之效果。
(1)根據該有機EL裝置600之製造方法，於發光層描繪步驟中，可使用上述液狀體之噴出方法，向面積不同並且排列方向彼此正交之元件基板601之兩種被噴出區域Q內噴出三種液狀體84R、84G、84B，從而形成作為三種顏色要素之發光層617R、617G、617B。並且，可降低形成於兩種被噴出區域Q內之發光層617R、617G、617B之厚度之不均勻，並且能夠以高生產率製造作為有機EL元件之發光元件部603之排列方向不同之至少兩種有機EL裝置600。
以上，對本發明之實施形態進行了說明，但對於上述實施形態，可於不脫離本發明之主旨之範圍內施加各種變形。例如上述實施形態以外之變形例如下所示。
(變形例1)上述實施形態中所說明之母基板B上之第1面板E1及第2面板E2之布局係一實施例，但並不限定於此。第1面板E1及第2面板E2只要於母基板B上具有某種規則性而配置即可。又，就本實施形態中所說明之第1被噴出區域及第2被噴出區域之布局係所謂條紋方式之情形進行了說明，但並不限定於此。亦可為所謂之鑲嵌方式或者三角形方式之布局。
(變形例2)於上述實施形態中，以第1被噴出區域及第2被噴出區域之面積不同之情形為例進行了說明，但並不限定於此。例如，即便於第1被噴出區域及第2被噴出區域之面積相同但排列方向不同之情形時，亦可對短邊方向沿著噴嘴行52a之被噴出區域應用上述所說明之液狀體之噴出方法，將被噴出區域之短邊方向上之噴嘴52之數量設定得較多。因此，可減少將液狀體噴出至被噴出區域內之偏離位置而產生液狀體之噴出量之偏差之情況。
4．．．控制部
9．．．頭單元
9a．．．頭板
10．．．液狀體噴出裝置
20．．．基板移動機構
30．．．頭移動機構
50．．．液滴噴出頭
52、52i ．．．噴嘴
52a．．．噴嘴行
70．．．頭單元旋轉機構
100．．．彩色濾光片
103．．．著色層
103r、103g、103b．．．作為第2被噴出區域之膜形成區域
103r'、103g'、103b'．．．作為第1被噴出區域之膜形成區域
600．．．有機EL裝置
603．．．作為有機EL元件之發光元件部
617R、617G、617B．．．發光層
617a．．．電洞佈植/傳輸層
B．．．母基板(基板)
D、D1、D2、D3．．．液滴
E1．．．第1面板
E2．．．第2面板
P．．．噴嘴間距
P1．．．液滴配置間隔
圖1係表示液狀體噴出裝置之構成之概略立體圖。
圖2(a)、圖2(b)係表示液滴噴出頭之構造之概略圖。
圖3係表示頭單元中之液滴噴出頭之配置之概略俯視圖。
圖4係表示液狀體噴出裝置之控制系統之方塊圖。
圖5(a)、圖5(b)係表示彩色濾光片之概略圖。
圖6係表示彩色濾光片之製造方法之流程圖。
圖7(a)-(d)係表示彩色濾光片之製造方法之概略剖面圖。
圖8係表示頭單元與母基板之相對配置之概略俯視圖。
圖9(a)、圖9(b)係表示液狀體之噴出步驟中之液滴之配置之概略俯視圖。
圖10係表示第2實施例之頭單元與母基板之相對配置之概略俯視圖。
圖11(a)、圖11(b)係表示第2實施例之液滴之配置之概略俯視圖。
圖12(a)-(c)係表示第3實施例之液滴之配置之概略俯視圖。
圖13係表示有機EL裝置之主要部分構造之概略剖面圖。
圖14係表示有機EL裝置之製造方法之流程圖。
圖15(a)-(f)係表示有機EL裝置之製造方法之概略剖面圖。
52．．．噴嘴
52a．．．噴嘴行
103．．．著色層
103r、103g、103b．．．作為第2被噴出區域之膜形成區域
103r'、103g'、103b'．．．作為第1被噴出區域之膜形成區域
D1．．．液滴
E1．．．第1面板
E2．．．第2面板
P．．．噴嘴間距
X、Y．．．方向

Claims (6)

  1. 一種液狀體之噴出方法，其特徵在於：其係對第1被噴出區域及第2被噴出區域噴出液狀體，上述第1被噴出區域係配設於第1面板上之大致矩形形狀者，上述第2被噴出區域係配設於第2面板上且面積較上述第1被噴出區域小之大致矩形形狀者，以上述第1被噴出區域之長邊方向與上述第2被噴出區域之長邊方向大致正交，且上述第1面板與上述第2面板於上述第1被噴出區域之長邊方向上排列之方式，配設上述第1面板與上述第2面板，包含噴出步驟，其係一面使噴出上述液狀體之複數個噴嘴於上述第2被噴出區域之長邊方向配設成行狀之噴嘴行、與上述第1面板及上述第2面板於上述第1被噴出區域之長邊方向上相對移動，一面自上述噴嘴噴出上述液狀體。
  2. 如請求項1之液狀體之噴出方法，其中在上述噴出步驟中，於上述第1被噴出區域之短邊方向之區域內至少兩個以上之上述噴嘴係相對向。
  3. 如請求項1之液狀體之噴出方法，其中上述噴出步驟係於上述第1被噴出區域之長邊方向上之複數次相對移動期間，使上述噴嘴行與上述第1面板及上述第2面板於與上述第1被噴出區域之長邊方向大致正交之方向上相對移動。
  4. 如請求項2之液狀體之噴出方法，其中上述噴出步驟係 於上述第1被噴出區域之長邊方向上之複數次相對移動期間，使上述噴嘴行與上述第1面板及上述第2面板在與上述第1被噴出區域之長邊方向大致正交之方向上相對移動。
  5. 一種彩色濾光片之製造方法，其特徵在於：該彩色濾光片係於基板上之複數個被噴出區域內形成複數種顏色之著色層者，複數個上述被噴出區域包含配設方向彼此正交之第1被噴出區域及第2被噴出區域，上述彩色濾光片之製造方法包含：噴出步驟，其係使用如請求項1至4中任一項之液狀體之噴出方法，將含有著色層形成材料之複數種顏色之液狀體噴出至複數個上述被噴出區域；以及成膜步驟，其係將所噴出之上述液狀體加以固化而形成上述複數種顏色之著色層。
  6. 一種有機EL裝置之製造方法，其特徵在於：該有機EL裝置係於基板上之複數個被噴出區域內包含複數個含有包含發光層之功能層的有機EL元件者，複數個上述被噴出區域包含配設方向彼此正交之第1被噴出區域及第2被噴出區域，上述有機EL裝置之製造方法包含：噴出步驟，其係使用如請求項1至4中任一項之液狀體之噴出方法，將含有發光層形成材料之液狀體噴出至複數個上述被噴出區域；以及 成膜步驟，其係將所噴出之上述液狀體加以固化而形成上述發光層。
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