JP2010063957A - 液状体の配置方法および電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な処理によって、被吐出領域に液状体を配置することができる配置パターンを生成する。
【解決手段】複数のノズル５２と基板Ｂとを相対移動させ、前記基板Ｂ上の被吐出領域Ｑに前記液状体を配置する液状体の配置方法であって、前記ノズル５２の吐出状態を検査するノズル検査工程と、前記被吐出領域Ｑ内にノズル列５２ａ方向のノズル間隔と前記相対移動方向の吐出間隔とにより前記液状体が着弾するドットｄからなる第１配置パターンを生成する第１配置パターン生成工程と、前記第１配置パターンから所定数の前記ドットｄを消去してなる第２配置パターンを生成する第２配置パターン生成工程と、第２配置パターンに基づいて液状体を配置する液状体配置工程とを有し、前記第１配置パターン生成工程では、前記ノズル検査工程の検査結果に基づき、前記液状体が前記被吐出領域Ｑ内に着弾可能な最大範囲に前記第１配置パターンを生成する。
【選択図】図９

Description

本発明は、液状体をノズルから吐出して基板上に配置する液状体の配置方法およびそれを適用した電気光学装置の製造方法に関する。

例えば、電気光学装置としての液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜の成膜等の分野に液状体を液滴として吐出する液状体の吐出方法が適用されている。液状体の吐出方法は、複数のノズルが規則的に形成されている液滴吐出ヘッドを有する液状体吐出装置を用いて、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板上の被吐出領域に液滴として吐出することにより、液状体からなる機能膜を形成する。

基板（ワーク）に液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して機能膜を形成する液状体吐出装置（液滴吐出装置）および液状体の吐出方法（液滴吐出方法）として、基板を第１方向および第１方向と略直交する第２方向に移動させて、第２方向に沿ってあらかじめ位置決めされた複数のキャリッジに配設された液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を吐出して機能膜を形成する液状体吐出装置および液状体の吐出方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００６−１８７７５８号公報

基板、特に被吐出領域に対する液滴の配置パターンは、いわゆるドットマトリクスパターンとして表すことができる。液状体の吐出方法では、このドットマトリクスパターンを被吐出領域に対する各ノズルの相対位置（以下、走査位置とする）に対応した吐出のＯＮ／ＯＦＦデータ（吐出データ）に変換して、吐出制御を行っている。このようなドットマトリクスパターンは、基板上に形成しようとする液状体のパターン（カラーフィルタ製造の場合は対応する画素構造による）や、ノズルの配列構成等のハードウェア条件に応じてあらかじめ生成される。

ところが、ノズルの吐出特性は、個体ごとにわずかなばらつきを有しており、後発的な要因等によって吐出特性が変化することもある。また、ハードウェア条件が必ずしも理想モデルに一致しない場合がある。高精度な液状体の配置を行うためには、ノズルの吐出特性や、様々なハードウェア条件に合わせて改めてドットマトリクスパターンを生成しなおすことが望まれる。例えば、あるノズルからの吐出量に著しい異常がある場合に当該ノズルを使用しないようなドットマトリクスパターンを生成したり、液滴の着弾アライメントに応じて着弾位置が補正されるようなドットマトリクスパターンを生成したりするケースが考えられる。

上述のような様々なケースに対応して、被吐出領域内に配置すべき液滴の数や各走査における各ノズルの走査位置、各ノズルの使用頻度などを考慮しつつ、それぞれの条件に応じて適切な液滴の配置パターン（ドットマトリクスパターン）を考えることは非常に手間のかかることである。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

（適用例１）液状体を吐出する複数のノズルが列状に配置されたノズル列と基板とを相対移動させながら、前記基板上の被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を配置する液状体の配置方法であって、複数の前記ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、前記被吐出領域内に、前記ノズル列方向のノズル間隔と前記相対移動方向の吐出間隔とにより前記液状体が着弾する複数の着弾候補位置に対応するドットからなる第１配置パターンを生成する第１配置パターン生成工程と、前記第１配置パターンから所定数の前記ドットを消去してなる第２配置パターンを生成する第２配置パターン生成工程と、前記第２配置パターンに基づいて前記ノズルから前記被吐出領域内に前記液状体を吐出して配置する液状体配置工程と、を有し、前記第１配置パターン生成工程では、前記ノズル検査工程で得られた検査結果に基づき、前記液状体が前記被吐出領域内に着弾可能な最大範囲に前記第１配置パターンを生成することを特徴とする液状体の配置方法。

この方法によれば、被吐出領域の最大範囲に対して着弾候補位置に対応するドットからなる第１配置パターンから、所定数のドットを消去して第２配置パターンを生成する。そしてこの第２配置パターンに基づいて液状体を配置する。なお、最大範囲は、ノズル検査工程の検査結果に基づいて設定される。そのため、被吐出領域に配置可能な最大範囲にドットを配置することができる。また、最大範囲に設定された第１配置パターンから、所定数のドットを消去することで第２配置パターンを生成しているため、様々な条件であっても簡単に処理することができる。

（適用例２）前記第２配置パターン生成工程では、前記第１配置パターンから所定数の前記ドットを消去することによって、前記被吐出領域内に供給される前記液状体の量を調整することを特徴とする上記の液状体の配置方法。

この方法によれば、第１配置パターンから消去されるドットの数を規定することによって、被吐出領域に配置される液状体の総量を容易に調整し管理することができる。

（適用例３）前記第２配置パターン生成工程では、前記ノズル検査工程で得られた検査結果によって、吐出不具合の虞のある前記ノズルに対応する前記ドットを優先的に消去することを特徴とする上記の液状体の配置方法。

この方法によれば、第１配置パターンから吐出抜け、吐出量異常等を発生する虞のあるノズルに対応するドットを消去して第２配置パターンを生成することができる。そのため、簡単な処理によって被吐出領域内に液状体を安定的に配置することができるとともに液状体の配置量を安定させることができる。

（適用例４）前記第２配置パターン生成工程では、前記被吐出領域の境界により近い前記着弾候補位置に対応する前記ドットを優先的に消去することを特徴とする上記の液状体の配置方法。

この方法によれば、液状体が被吐出領域に着弾したとき被吐出領域の外にはみ出すことをさらに防止することができる。

（適用例５）複数の前記ノズルから前記被吐出領域の前記ドットに配置される前記液状体の配置状態を検査する配置状態検査工程を有し、前記第２配置パターン生成工程では、前記配置状態検査工程で得られた検査結果により、配置された前記液状体のばらつきを補正するように前記ドットを消去することを特徴とする上記の液状体の配置方法。

この方法によれば、配置状態検査により配置された液状体の量もしくは厚さのばらつき等の不具合を検知し、量もしくは厚さの少ない着弾候補位置に対応するドットを優先的に使用した第２配置パターンを生成することによって、その不具合を補正することができる。従って、簡単な処理によって不具合を補正することができ、液状体の配置欠落を低減させることができる。

（適用例６）少なくとも一方の基板上に設けられる隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、上記の液状体の配置方法を適用して、前記基板上の前記複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を配置して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

この方法によれば、上記の液状体の配置方法を適用して色要素領域を形成しているため、高品質な電気光学装置を簡単な処理で製造することができる。

本発明の実施形態を、基板上の被吐出領域としての複数の画素領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法を例にとり説明する。着色層は、画素構成要素であり、複数のノズルから画素領域に向けて着色層形成材料を含む液状体が液滴として吐出されて形成される。上記液状体を液滴として吐出（配置）するには、以下に説明する液状体吐出装置を用いる。

（液状体吐出装置の構成について）
まず、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置について図１を参照して説明する。図１は、液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図１に示すように、液状体吐出装置１０は、基板Ｂを主走査方向に移動させる基板移動機構２０と、複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット９を副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０と、ノズルからの液状体の吐出状態を検査する吐出検査機構７０とを備えている。この液状体吐出装置１０は、基板Ｂとヘッドユニット９との相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、基板Ｂに液状体で所定の機能膜（パターン）を形成するものである。なお、図中のＸ方向は基板Ｂの移動方向すなわち主走査方向を示し、Ｙ方向はヘッドユニット９の移動方向すなわち副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。

このような液状体吐出装置１０を用いて、例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液状体吐出装置１０の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかを基板Ｂの画素領域に液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを形成する。

ここで、液状体吐出装置１０の各構成について説明する。
基板移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動テーブル２２と、移動テーブル２２上に基板Ｂを吸着固定可能に載置するステージ５とを備えている。移動テーブル２２は、ガイドレール２１の内部に設けられた図示しないエアスライダとリニアモータによりＸ方向（主走査方向）に移動する。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する第１の移動台３２とを備えている。第１の移動台３２にはキャリッジ８が設けられ、キャリッジ８には複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を搭載したヘッドユニット９が取り付けられている。そして、第１の移動台３２は、キャリッジ８をＹ方向（副走査方向）に移動させてヘッドユニット９を基板Ｂに対してＺ方向に所定の間隔をあけて対向配置する。

吐出検査機構７０は、第２の移動台３３と撮像装置１５とを備えている。第２の移動台３３は、上記第１の移動台３２と並列してヘッド移動機構３０の一対のガイドレール３１に沿ってＹ方向に移動可能に設けられている。撮像装置１５は、例えばカメラ等が用いられ、第２の移動台３３に撮像装置１５のレンズ１５ａがＺ方向下部に向かうように設置されている。撮像装置１５は、第２の移動台３３によりＹ方向に移動して、基板Ｂもしくは検査用の記録紙等の表面にノズルから吐出され着弾した液滴の着弾状態もしくは塗布状態を観察して撮像することができる。必要により検査面を照明する照明装置を第２の移動台３３に備えてもよい。

液状体吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消等のメンテナンスを行うメンテナンス機構６０を備えている。また、液状体吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構や、液滴吐出ヘッド５０もしくはノズルごとに吐出された液状体を受けて、その吐出重量を計測する電子天秤等の計測器を有する吐出量計測機構が設けられている。これらの各機構は、制御部４（図４参照）によって制御される。図１では、制御部４、液状体供給機構および吐出量計測機構は、図示省略した。

（液滴吐出ヘッドについて）
ここで複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドについて図２および図３を参照して説明する。図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｂに対向する側から見た図である。なお、図３に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。

図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。

キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。

図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに、駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。

図３に示すように、上述の液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドユニット９のヘッドプレート９ａに配置される。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０Ａの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ１）とヘッド群５０Ｂの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ２）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。

各液滴吐出ヘッド５０は、一定のピッチＰで配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。そのため、１つの各液滴吐出ヘッド５０は長さＬなる吐出幅を有している。ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、主走査方向（Ｘ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ方向）に１ノズルピッチＰを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。そのため、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２は、長さ２Ｌの吐出幅を有している。

本実施形態では、ノズル列５２ａが１列の場合について説明しているがこれに限定されない。液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル列５２ａが図中Ｘ方向に一定の間隔をおいて、Ｙ方向に１／２ピッチ（Ｐ／２）ずれて配列されていてもよい。このようにすることにより、実質的なピッチＰが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することができる。

（液状体吐出装置の制御系について）
次に液状体吐出装置１０の制御系について図４を参照して説明する。図４は、液状体吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液状体吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液状体吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。駆動部４６は、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２からの液滴の吐出状態として着弾状態もしくは塗布状態を検査する吐出検査機構７０を制御する吐出検査用ドライバ６８と、メンテナンス機構６０の各メンテナンス用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ４９と、吐出量計測機構を制御する図示しない吐出量計測用ドライバとを備えている。

制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、基板Ｂにパターンを描画するパターンデータを記憶するパターンデータ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液状体吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｂとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｂとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の所定数のノズル５２から基板Ｂに液状体を液滴Ｄとして吐出してパターンを形成する。

この場合、Ｘ方向への基板Ｂの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液状体吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向への基板Ｂの移動に限らず、基板Ｂを往復させて行うこともできる。

上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データ等の制御情報を液状体吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、ノズル５２の位置情報等に基づいて、基板Ｂ上の吐出領域ごとに必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出させるノズル５２と吐出させないノズル５２との分類および吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（言い換えれば、基板Ｂとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数、吐出割合）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミング等の情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。

（液滴吐出ヘッドの駆動制御について）
次に、液滴吐出ヘッドの駆動制御について図５を参照して説明する。（ａ）は、液滴吐出ヘッドの電気的な制御を示すブロック図であり、（ｂ）は、駆動信号および制御信号のタイミング図である。
図５（ａ）に示すように、ヘッドドライバ４８は、液滴吐出ヘッド５０を制御する駆動信号ＣＯＭを生成するＤ／Ａコンバータ（以降、ＤＡＣと称す）７１と、ＤＡＣ７１が生成する駆動信号ＣＯＭのスルーレートデータ（以下、波形データＷＤと称す）の格納メモリを内部に有する波形データ選択回路７２と、Ｐ−ＣＯＮ４４（図４参照）を介して上位コンピュータ１１から送信される吐出制御データを格納するためのデータメモリ７３と、を備えている。ＣＯＭラインに、ＤＡＣ７１で生成された駆動信号ＣＯＭがそれぞれ出力される。

各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル５２ごとに設けられた振動子５９（図２参照）への駆動信号ＣＯＭの印加をＯＮ／ＯＦＦするスイッチング回路７４を備えている。ノズル５２において、振動子５９の一方の電極５９ｂは、ＤＡＣ７１のグランドライン（ＧＮＤ）に接続されている。また、振動子５９の他方の電極５９ａ（以下、セグメント電極５９ａと称す）は、スイッチング回路７４を介して、ＣＯＭラインに電気的に接続されている。また、スイッチング回路７４、波形データ選択回路７２には、クロック信号（ＣＬＫ）や各吐出タイミングに対応したラッチ信号（ＬＡＴ）が入力されるようになっている。
データメモリ７３には、液滴吐出ヘッド５０の駆動タイミングごとに各振動子５９への駆動信号ＣＯＭの印加（ＯＮ／ＯＦＦ）を規定する吐出データＤＡと、ＤＡＣ７１に入力される波形データＷＤの種別を規定する波形番号データＷＮとが格納されている。

上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。図５（ｂ）に示すように、タイミングｔ１〜ｔ２の期間において、吐出データＤＡ、波形番号データＷＮが、それぞれシリアル信号化されて、スイッチング回路７４、波形データ選択回路７２に送信される。そして、タイミングｔ２において各データがラッチされることで、吐出（ＯＮ）に係る各振動子５９のセグメント電極５９ａが、ＣＯＭラインに接続された状態となる。ＤＡＣ７１の生成に係る駆動信号の波形データＷＤは設定される。

タイミングｔ３〜ｔ４の期間においては、タイミングｔ２で設定された波形データＷＤに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の一連のステップで駆動信号ＣＯＭが生成される。そして、ＣＯＭラインと接続された状態にある振動子５９に、生成された駆動信号ＣＯＭが供給され、ノズル５２に連通するキャビティ５５の容積（圧力）制御が行われる。
ここで、タイミングｔ３における電位上昇成分はキャビティ５５を膨張させ、液状体をキャビティ５５内に引き込む役割を果たしている。また、タイミングｔ４における電位降下成分は、キャビティ５５を収縮させ、液状体をノズル５２外に押し出して吐出させる役割を果たしている。

（第１実施形態）
（液状体の配置方法）
ここで、本実施形態の液状体の配置方法について図６〜図９に基づいて説明する。図６は、液状体の配置方法を示すフローチャートである。図７は、ノズル検査を説明する概略図である。図８は、配置パターンとノズルの関係を説明する図である。図９は、配置パターンを説明する図である。

図６に示すステップＳ１では、ノズル５２_i（ｉは、各ノズル５２に対応する１からｉまでの自然数）の吐出状態を検査するノズル検査工程としての着弾状態検査を行う。着弾状態検査では、液状体吐出装置１０のステージ５（図１参照）に着弾観察用被吐出物として記録紙１８を載置する。そして、図７に示すように、各液滴吐出ヘッド５０のノズル５２_iから液滴ＤがＹ方向において仮想の直線上に着弾するように吐出する。具体的には、制御部４がヘッドユニット９とステージ５とを相対移動させ、主走査方向（Ｘ方向）において、各ノズル列５２ａの吐出タイミングを変えることにより直線上に着弾させる。そして、撮像装置１５を用いて記録紙１８上に着弾した液滴Ｄの着弾状態を観察する。

図７（ａ）に示すように、例えば、ノズル列５２ａにおいて、主走査方向に飛行曲がりが発生するノズル５２_iがあれば、吐出された液滴Ｄが直線上からずれた位置に着弾する。このような着弾状態を撮像して画像処理することにより、図４に示すＣＰＵ４１がずれ量ΔＸ_i（ｉは、ノズル５２_iに対応する１からｉまでの自然数）を演算して基準着弾位置からのずれ量ΔＸ_iを求めることができる。図７（ａ）では、ノズル５２₃がＸ（−）方向に飛行曲がりが発生してずれ量ΔＸ₃だけずれて着弾し、ノズル５２₃₀がＸ（＋）方向に飛行曲がりが発生してずれ量ΔＸ₃₀だけずれて着弾する場合を示している。当然のことながら着弾位置がＸ方向（主走査方向）に限らず斜めにずれることがある。よって、ずれ量は、Ｘ方向のずれ量ΔＸ_iとＹ方向のずれ量ΔＹ_i（ｉは、ノズル５２_iに対応する１からｉまでの自然数）とに分けて算出される。

図６に示すステップＳ２では、第１配置パターンの生成を行う。上述したように、液状体の吐出制御は液滴の配置情報、すなわちドットマトリクスパターンに基づいて行われる。このドットマトリクスパターンは、図８に示すように、主走査方向、副走査方向の成分を有するマトリクスＭＴにおいて、液状体の配置位置となる着弾候補位置９０にドットｄを配したものとして表すことができる。ドットｄは、単に吐出の有無を示すだけでなく、階調性を有するものとすることも可能であり、例えば、階調性に応じて液状体の吐出量や吐出タイミングを変化させることもできる。

ここで、主走査方向の液状体の着弾候補位置、すなわちマトリクスＭＴのＸ方向のピッチｖは、液状体の吐出制御周期と走査速度によって決められるようになっている。また、副主走査方向の液状体の着弾候補位置、すなわちマトリクスＭＴのＹ方向のピッチｐは、ノズル間隔によって決められる。この場合、液滴吐出ヘッド５０に配置されたノズルピッチＰを用いてもよいし、また、複数回の走査を考慮してノズル５２_iのノズルピッチＰの自然数分の１倍に設定することが可能である。複数回の走査において、ノズル５２_iの副走査方向における位置を互いにずらすことにより、より細かいピッチにドットｄを配置することができる。また、複数回の走査を行うことによって、ノズル５２_i間における特性（例えば吐出量）のばらつきを空間的に分散させることができる。なお、本実施形態では、説明を簡便にするためにノズルピッチＰ（Ｐ＝ｐ）を採用している。

本実施形態では、図９（ａ）に示すように、被吐出領域Ｑに対して１つの仮想領域Ｒを設定している。仮想領域Ｒは、ステップＳ１のノズル検査工程で得られた被吐出領域Ｑの境界の近くに位置する着弾候補位置９０に対応するノズル５２_iのＸ方向のずれ量ΔＸ_iとおよびＹ方向のずれ量ΔＹ_iを考慮して設定される。すなわち、ノズル５２_iから着弾候補位置９０に液状体が吐出され着弾したときに、被吐出領域Ｑの領域外に液状体がはみ出さない最大範囲になるように仮想領域Ｒは設定される。仮想領域Ｒの内部には、上述のマトリクスＭＴが形成される。このとき、着弾候補位置９０のそれぞれにドットｄが配置され、第１配置パターンが形成される。本実施形態では、仮想領域Ｒの内部に６行×１２列の配列で７２個のドットｄが設定されている。

ここで、各ドットｄに対応して吐出される液状体は、実際には図中に示すドットｄよりも大きな径を有している。そのため、７２個のドットｄ全てに対応して液状体が吐出されるとなると、その総量は被吐出領域Ｑの容量を上回ることになり、オーバーフローが発生することになる。このように、第１配置パターンには現実に液状体を配置するには不適切なドットｄも含まれているため、これをそのまま吐出制御に用いることはできず、第２のドットパターンへの変換が必要となる。

図６に示すステップＳ３では、第２配置パターンの生成を行う。本実施形態では、被吐出領域Ｑ内に、例えばＷｇの液状体を供給する場合を例にとり説明する。前述のように、図１に示す液状体吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０もしくはノズル５２_iごとに吐出された液状体を受けて、その吐出重量を計測する電子天秤等の計測器を有する吐出量計測機構（図示せず）が設けられている。そのため、ノズル５２_i当りの液状体の吐出量ｗｇを知ることができ、適用すべきノズル数がわかる。

本実施形態では、Ｗｇの液状体を供給するのに３５個のノズル５２_iから液状体を吐出する必要があると仮定する。従って、図９（ｂ）に示すように、第１配置パターンの７２個のドットｄから３７個のドットｄを消去する。このとき、被吐出領域Ｑの境界に近いドットｄから消去するのが好ましい。このように消去することによって、被吐出領域Ｑ外に液状体がはみ出したり、液状体が着弾したときに飛散する微小液滴を低減させ、色ごとの混色の危険性を低減することができる。このようにして、第２配置パターンが生成される。

図６に示すステップＳ４では、生成された第２配置パターンに基づいて、各ドットｄに対応するノズル５２_iから液状体を吐出して被吐出領域Ｑ内に配置して本実施形態の液状体の配置を終了する。

なお、被吐出領域Ｑ内に、供給すべき液状体の総量は被吐出領域Ｑごとに違う値に設定してもよい。この場合は、適用すべきノズル数を被吐出領域Ｑごとに変更して、被吐出領域Ｑごとに第２配置パターンを生成する。このようにすることにより、各被吐出領域Ｑごとに成膜される膜厚を調整することができる。
また、本実施形態で説明した第２配置パターンは一実施例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば、被吐出領域Ｑの境界に近いドットｄから消去するとともに、全体のドットｄから均等に間引くように消去したりすることも可能である。

以下、第１実施形態の効果を記載する。
（１）上述の液状体の配置方法では、被吐出領域Ｑの最大範囲である仮想領域Ｒに対して着弾候補位置に対応するドットｄからなる第１配置パターンを生成することができる。この第１配置パターンをベースにして、所定数のドットｄを消去するという簡単な処理によって、実際に液状体を配置する第２配置パターンを生成することができる。そのため、様々な条件に応じて都度ビットマップデータを生成する必要がなく作業効率を向上させることができる。

（２）上述の液状体の配置方法では、ノズル５２の着弾状態検査の結果に基づいて、着弾した液状体が被吐出領域Ｑの外にはみ出さない範囲（仮想領域Ｒ）に第１配置パターンを生成することができる。また、第２配置パターンを生成する際に、被吐出領域Ｑの境界に近いドットｄから優先的に消去する。そのため、隣接する被吐出領域Ｑに液状体が混入したり、隣接する被吐出領域Ｑとの境界部分で液状体が混合することを防ぐことができる。

（３）上述の液状体の配置方法では、第１配置パターンから消去されるドットｄの数を規定することによって、被吐出領域Ｑに配置される液状体の総量を容易に調整し管理することができる。

（第２実施形態）
ここで、第２実施形態について、同じく図６、図７および図１０を参照して説明する。図１０は、第２実施形態における配置パターンを説明する図である。なお、第１実施形態と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。

図６に示すステップＳ１のノズル検査工程としての着弾状態検査において、図７（ｂ）に示すように、例えば、ヘッドＲ１のノズル列５２ａのあるノズル５２₅が目詰まりをおこしていれば、液滴Ｄが吐出されない。すなわち、着弾状態検査で使用される記録紙１８上において、ノズル５２₅に対応する位置に液滴Ｄが着弾しない。すなわち、隙間が発生するため吐出抜けのノズル５２₅を検出することができる。

また、図７（ｃ）に示すように、例えば、ノズル列５２ａにおいて吐出量が過多なノズル５２₅があれば、着弾径ｄ₅が過大となる。また、吐出量が過少なノズル５２₃₀があれば、着弾径ｄ₃₀が過小となる。このような着弾状態を撮像して画像処理することにより、液状体の吐出量異常を検出することができる。

次いで、第１実施形態と同様に、図６に示すステップＳ２の第１配置パターンの生成を行い、ステップＳ３の第２配置パターン生成に進む。本実施形態では、ステップＳ１のノズル検査工程で１つのノズル５２₅に吐出抜けが発生した場合を例にとり説明する。
本実施形態でも、被吐出領域Ｑ内にＷｇの液状体を供給しようとする。その場合は、第１実施形態で説明したように、図１０（ａ）に示す３５個のドットｄを有する第２配置パターンが生成されるはずである。ところが、ノズル５２₅に吐出抜けが発生しているため、被吐出領域Ｑ内にＷｇの液状体を供給することができない。

そのため、図１０（ｂ）に示すように、吐出不具合の発生しているノズル５２₅に対応する４個のドットｄからなるドット列ｄ₅を消去して、吐出状態の良好なノズル５２₁₂に対応する４個のドットｄからなるドット列ｄ₁₂を復活させる。このとき、被吐出領域Ｑの境界から遠いドットｄから復活させることが好ましい。このように第２配置パターンを生成することによって、被吐出領域Ｑ外に液状体がはみ出すことや、液状体が着弾したときに飛散する微小液滴を低減させ色ごとの混色の危険性を低減することができる。このようにして、第２配置パターンが生成される。

次いで、図６に示すステップＳ４では、生成された第２配置パターンに基づいて、各ドットｄに対応するノズル５２_iから液状体を吐出して被吐出領域Ｑ内に配置して本実施形態の液状体の配置を終了する。

なお、ノズル検査工程（ステップＳ１）とその結果に基づく第１もしくは第２配置パターンの生成（ステップＳ２もしくはステップＳ３）は、基板Ｂの個体を入れ替えるタイミングなどにおいて、定期的に行うようにすることが望ましい。ノズル５２の吐出特性は、後天的な事情、例えば流路内への気泡の混入やノズルメンテナンスの実行履歴等によっても変化する可能性がある。このようにすることによって、ノズル５２の吐出特性の変化に迅速に対応することができる。

以下、第２実施形態の効果を記載する。
（１）上述の液状体の配置方法では、被吐出領域Ｑの最大範囲である仮想領域Ｒに対して生成された第１配置パターンをベースにして、着弾状態検査の結果から得られた吐出抜けもしくは吐出量異常のノズル５２に対応するドットｄを消去するという簡単な処理によって、実際に液状体を配置する第２配置パターンを生成することができる。そのため、様々な条件に応じて都度ビットマップデータを生成する必要がなく作業効率を向上させることができる。

（２）上述の液状体の配置方法では、ノズル５２の着弾状態検査の結果に基づいて吐出抜けもしくは吐出量異常のノズル５２に対応するドットｄを消去する。また、消去されたドットｄの数に応じて復活させるドットｄは、被吐出領域Ｑの境界からより遠いドットｄから優先させる。そのため、配置される液状体の量を安定的に管理できるとともに、隣接する被吐出領域Ｑに液状体が混入したり、隣接する被吐出領域Ｑとの境界部分で液状体が混合することを防ぐことができる。

（第３実施形態）
ここで、第３実施形態について、同じく図１１および図１２を参照して説明する。図１１は、第３実施形態における液状体の配置方法を示すフローチャートである。図１２は、第３実施形態における配置パターンを説明する図である。なお、第１実施形態および第２実施形態と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。

まず、第１実施形態および第２実施形態と同様に、図１１に示すステップＳ１１からステップＳ１４までの液状体の配置作業を実施する。その後、ステップＳ１５に進む。

図１１に示すステップＳ１５では、被吐出領域Ｑのドットｄに対して液状体の配置状態を検査する配置状態検査工程を実施する。配置状態検査では、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５に載置された基板Ｂに対して、ヘッド移動機構３０により撮像装置１５を移動させ基板Ｂの被吐出領域Ｑにノズル５２_iから吐出され着弾した液滴の着弾状態もしくは配置状態を観察する。その後、ステップＳ１６に進む。

図１１に示すステップＳ１６では、被吐出領域Ｑに対する液状体の配置状態に不具合があるか否かを判断する。不具合がない場合（ＮＯ）は、液状体の配置作業を終了する。何らかの不具合がある場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１３の第２配置パターンの生成工程に進む。

ここで、被吐出領域Ｑに対する液状体の配置状態に不具合があった場合について説明する。
図１１に示すステップＳ１１からステップＳ１４までの液状体の配置作業を実施すると、本来であれば図１２（ａ）に示すように被吐出領域Ｑ内の全てのドットｄの位置に液状体が配置されるはずである。ところが、ステップＳ１５の配置状態検査で、本来液状体が配置されるべきドットｄに液状体が配置されていないことがわかった。

本実施形態では、ノズル５２₅，５２₆に吐出不具合が発生して、ドット列ｄａ５の３行目から５行目（ｃ３〜ｃ５）およびドット列ｄａ６の３行目および４行目（ｃ３，ｃ４）に吐出抜けが発生したとする。この場合、図１２（ｂ）のｇ−ｇ断面図である図１２（ｃ）に示すように、被吐出領域Ｑに形成される膜Ｔは、吐出抜けが発生した箇所の厚みｔｈが他の部分に比較して薄くなってしまう。すなわち膜厚不良が発生してしまう。なお、図１２（ｃ）は、液状体の配置後、液状体が被吐出領域Ｑに一部濡れ広がり膜が形成された状態を示している。

図１１に示すステップＳ１３では、上述の配置状態の不具合を補修するように第２配置パターンを再生成する。図１２（ｄ）に示すように、ステップＳ１５の配置状態検査で吐出抜けが発生した着弾候補位置９０に対応する位置にドットｄを配置する。具体的には、ドット列ｄａ５の３行目から５行目（ｃ３〜ｃ５）およびドット列ｄａ６の３行目および４行目（ｃ３，ｃ４）にドットｄを配置する。なお、この場合、前回の第２配置パターンから液状体が正常に配置された箇所のドットｄを消去して第２配置パターンを再生成してもよい。

図１１に示すステップＳ１４では、再生成された第２配置パターンに基づいて、各ドットｄに対応するノズル５２_iから液状体を吐出して被吐出領域Ｑ内に配置する。なお、このとき液状体の配置工程に移る前に、図１に示す液状体吐出装置１０のメンテナンス機構６０を用い、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２_iの目詰まりの解消等のメンテナンスを行い、ノズル５２_iの機能回復を行うことが望ましい。また、必要があれば、ステップＳ１１のノズル検査工程を実施して、ノズル５２_iの機能が回復していることを確認することが望ましい。その後、ステップＳ１５の配置状態検査を行い、不具合がなければ本液状体の配置作業は終了する。

本実施形態では配置状態の不具合としてノズル５２の吐出抜けの場合を例にとり説明したがこれに限定されない。吐出量異常に対しても、液状体の配置量の少ない箇所に対して、液状体の吐出量を調整しつつドットｄを配置することができる。また、液状体の配置により形成された面の凹凸もしくは不均一に対しても、液状体の配置量の少ない箇所に対して、液状体の吐出量を調整しつつドットｄを配置することができる。

本実施形態では配置状態検査において、撮像装置１５を用いて着弾状態もしくは配置状態を観察する場合を例にとり説明したがこれに限定されない。光学的な平面平滑試験機を用いて液状体の配置状態の不具合を検出してもよいし、三次元測定器を用いて液状体の配置状態の不具合を検出してもよい。

本実施形態では一連の液状体の配置作業において、配置状態の不具合を補正する場合について説明したがこれに限定されない。液状体の配置作業後、仮乾燥工程等を経て一部成膜された被吐出領域Ｑに対して、膜の不具合を補修する場合にも適用することができる。

以下、第３実施形態の効果を記載する。
（１）上述の液状体の配置方法では、配置状態検査において、実際に液状体が配置された被吐出領域Ｑを検査して配置された液状体の量もしくは厚さのばらつき等の不具合を検知する。そして、液状体の量が少ない箇所もしくは厚さの薄い箇所に対してドットを配置して第２配置パターンを作成する。または、液状体が正常に配置された箇所のドットｄを消去して第２配置パターンを作成する。その結果、簡単な処理によって不具合を補正することができ、液状体の配置欠落を低減させることができる。

（第４実施形態）
次に上述の液状体の配置方法を用いた電気光学装置としての液晶表示装置の製造方法およびこの製造方法を用いて製造された液晶表示装置について説明する。

（液晶表示装置）
図１３は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図１３に示すように、本実施形態の液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、色要素としてのカラーフィルタを有する対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、両基板５０１，５０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる両基板５０１，５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。

対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部５０４によってマトリクス状に区画された複数の被吐出領域としての色要素領域に複数種の色要素としてＲＧＢ３色のカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成されている。隔壁部５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、隔壁部５０４と隔壁部５０４によって区画されたカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂは後述する液晶表示装置の製造方法を用いて製造されている。

素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを有している。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。

照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。

なお、液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板５１４，５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。

（液晶表示装置の製造方法）
次に本実施形態の液晶表示装置の製造方法について図１４および図１５に基づいて説明する。図１４は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図１５は、液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図である。

図１４に示すように、本実施形態の液晶表示装置５００の製造方法は、対向基板５０１の表面に隔壁部５０４を形成する工程と、隔壁部５０４によって区画された色要素領域としての被吐出領域を表面処理する工程とを備えている。また、前述の液状体吐出装置１０を用いて表面処理された被吐出領域に色要素形成材料としてのカラーフィルタ形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与して、カラーフィルタ５０５を描画する色要素描画工程と、描画されたカラーフィルタ５０５を乾燥して成膜化する成膜工程とを備えている。さらに隔壁部５０４とカラーフィルタ５０５とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程とを備えている。

図１４のステップＳ２１は、隔壁部５０４を形成する工程である。ステップＳ２１では、図１５（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。

次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、被吐出領域Ｑに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の被吐出領域Ｑをマトリクス状に区画する隔壁部５０４が形成される。そしてステップＳ２２へ進む。

図１４のステップＳ２２は、表面処理工程である。ステップＳ２２では、Ｏ₂を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、被吐出領域Ｑが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ２３へ進む。

図１４のステップＳ２３は、色要素としてのカラーフィルタの描画工程である。ステップＳ２３では、図１５（ｂ）に示すように、表面処理された各被吐出領域Ｑのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与してカラーフィルタ５０５を描画する。液状体８０ＲはＲ（赤色）のカラーフィルタ形成材料を含むものであり、液状体８０ＧはＧ（緑色）のカラーフィルタ形成材料を含むものであり、液状体８０ＢはＢ（青色）のカラーフィルタ形成材料を含むものである。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを付与する方法は、前述の液状体の配置方法を用い、液滴吐出ヘッド５０に各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを充填し、液滴として被吐出領域Ｑに着弾させる。各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、被吐出領域Ｑの面積に応じて必要量が付与され、被吐出領域Ｑに濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。そしてステップＳ２４へ進む。

図１４のステップＳ２４は、描画されたカラーフィルタ５０５を乾燥して成膜化する工程である。ステップＳ２４では、図１５（ｃ）に示すように、吐出描画されたカラーフィルタ５０５を一括乾燥し、各液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂから溶剤成分を除去してカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そしてステップＳ２５へ進む。

図１４のステップＳ２５は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ２５では、図１５（ｄ）に示すように、カラーフィルタ５０５と上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、カラーフィルタ５０５が形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ₂などの薄膜を形成してもよい。そしてステップＳ２６へ進む。

図１４のステップＳ２６は、対向電極５０７を形成する工程である。ステップＳ２６では、図１５（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。

このようにして出来上がった対向基板５０１と画素電極５１０およびＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８とを接着剤を用いて所定の位置で接着し、両基板５０１，５０８との間に液晶を充填すれば、液晶表示装置５００ができ上がる。

以下、第４実施形態の効果を記載する。
（１）液晶表示装置５００の製造方法において、色要素描画工程では、液晶表示パネル５２０の対向基板５０１の被吐出領域Ｑに、前述の液状体の配置方法で３種の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出して、３種の色要素としてのカラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成されている。そのため、被吐出領域Ｑの最大範囲に着弾候補位置（ドットｄ）からなるからなる第１配置パターンを生成し、この第１配置パターンをベースにして、所定数のドットｄを消去して第２配置パターンを生成するという簡単な処理によって、カラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを形成することができる。そのため、生産効率を向上させることができる。

（２）この液晶表示装置５００の製造方法では、前述の液状体の配置方法を用いるため着弾した液状体が被吐出領域Ｑの外にはみ出さない範囲に第１配置パターンを生成することができる。そのため、隣接する被吐出領域Ｑに色の違う液状体が混入したり、隣接する被吐出領域Ｑとの境界部分で液状体が混合することを防ぐことができる。

（３）この液晶表示装置５００の製造方法では、前述の液状体の配置方法を用いるため、第１配置パターンから消去されるドットｄの数を規定することによって、被吐出領域Ｑに配置される液状体の総量を容易に調整し管理することができる。液状体の配置量は、カラーフィルタ５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂにおける色度を左右する重要な因子であるため、配置される液状体の総量を定量管理することによって求める色度を実現することができる。

（第５実施形態）
次に前述の液状体の配置方法を用いた電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置の製造方法およびこの製造方法を用いて製造された有機ＥＬ表示装置について説明する。

（有機ＥＬ表示装置）
図１６は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１６に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの色要素領域としての被吐出領域Ｑに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの被吐出領域Ｑを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。

封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。

本実施形態の素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の被吐出領域Ｑを有するものであって、複数の被吐出領域Ｑを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の被吐出領域Ｑに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の被吐出領域Ｑ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する色要素としての発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、下層バンク６１８ａと被吐出領域Ｑを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、被吐出領域Ｑの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ₂等の無機絶縁材料により形成されている。

素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１６ではこれらの図示を省略している。

発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層６１７ｂ）と、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。

有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層６１７ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。

（有機ＥＬ表示装置の製造方法）
次に本実施形態の有機ＥＬ表示装置の製造方法について図１７および図１８に基づいて説明する。図１７は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示すフローチャート、図１８は、有機ＥＬ表示装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１８（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。

図１７に示すように、有機ＥＬ表示装置の製造方法は、素子基板６０１の複数の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に被吐出領域Ｑを区画するように上層バンク６１８ｂを形成するバンク（隔壁部）形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに色要素形成材料としての発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して発光層６１７ｂを吐出描画する色要素描画工程としての発光層描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層６１７ｂを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の被吐出領域Ｑへの付与は、液状体吐出装置１０を用いて行う。

図１７のステップＳ３１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ３１では、図１８（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そしてステップＳ３２へ進む。

図１７のステップＳ３２は、バンク（隔壁部）形成工程である。ステップＳ３２では、図１８（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ₂（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層６１７ｂに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ₂をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ₂により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが積層されても発光を阻害することはない。

続いて、各被吐出領域Ｑを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の前記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、被吐出領域Ｑに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部としてのバンク６１８が形成される。そして、ステップＳ３３へ進む。

図１７のステップＳ３３は、被吐出領域Ｑを表面処理する工程である。ステップＳ３３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ₂ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次ぎにＣＦ₄等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ３４へ進む。

図１７のステップＳ３４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ３４では、図１８（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体８２を被吐出領域Ｑに付与する。液状体８２を付与する方法としては、前述の液状体吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体８２は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体８２は被吐出領域Ｑの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。液状体吐出装置１０により、１種の液状体８２を吐出して描画するので、少なくとも１回の主走査により吐出描画が可能である。そしてステップＳ３５へ進む。

図１７のステップＳ３５は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ３５では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体８２の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene Dioxy Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各被吐出領域Ｑに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後の発光層の形成材料に対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を被吐出領域Ｑごとに変えてもよい。そしてステップＳ３６へ進む。

図１７のステップＳ３６は、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１を表面処理する工程である。ステップＳ３６では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、次のステップＳ３７で用いられる３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも被吐出領域Ｑの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そしてステップＳ３７へ進む。

図１７のステップＳ３７は、ＲＧＢ発光層描画工程である。ステップＳ３７では、図１８（ｄ）に示すように、前述の液状体の配置方法を適用して液状体吐出装置１０の異なる液滴吐出ヘッド５０から複数の被吐出領域Ｑに発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを付与する。液状体８４Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂは、被吐出領域Ｑに濡れ広がって断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、ステップＳ３８へ進む。

図１７のステップＳ３８は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ３８では、図１８（ｅに示すように、吐出描画された各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各被吐出領域Ｑの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な減圧乾燥が好ましい。そしてステップＳ３９へ進む。

図１７のステップＳ３９は、陰極形成工程である。ステップＳ３９では、図１８（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層に近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。このようにして出来上がった素子基板６０１を用いて有機ＥＬ表示装置６００を製造する。

以下、第５実施形態の効果を記載する。
（１）この有機ＥＬ表示装置６００の製造方法において、発光層描画工程では、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１の被吐出領域Ｑに、前述の液状体の配置方法を用いて３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを吐出して、３種の色要素としての発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが形成されている。そのため、被吐出領域Ｑの最大範囲に着弾候補位置（ドットｄ）からなるからなる第１配置パターンを生成し、この第１配置パターンをベースにして、所定数のドットｄを消去して第２配置パターンを生成するという簡単な処理によって、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを形成することができる。そのため、生産効率を向上させることができる。

（２）この有機ＥＬ表示装置６００の製造方法では、前述の液状体の配置方法を用いるため着弾した液状体が被吐出領域Ｑの外にはみ出さない範囲に第１配置パターンを生成することができる。そのため、隣接する被吐出領域Ｑに色の違う液状体が混入したり、隣接する被吐出領域Ｑとの境界部分で液状体が混合することを防ぐことができる。

（３）この有機ＥＬ表示装置６００の製造方法では、前述の液状体の配置方法を用いるため、第１配置パターンから消去されるドットｄの数を規定することによって、被吐出領域Ｑに配置される液状体の総量を容易に調整し管理することができる。液状体の配置量は、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂにおける色度を左右する重要な因子であるため、配置される液状体の総量を定量管理することによって求める色度を実現することができる。

液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図。 液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。 ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。 液状体吐出装置の制御系を示すブロック図。 液滴吐出ヘッドの制御を説明する図。 第１実施形態の液状体の配置方法を示すフローチャート。 ノズル検査を説明する概略図。 配置パターンとノズルの関係を説明する図。 第１実施形態における配置パターンを説明する図。 第２実施形態における配置パターンを説明する図。 第３実施形態の液状体の配置方法を示すフローチャート。 第３実施形態における配置パターンを説明する図。 液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。 液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。 液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図。 有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。 有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。 有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。

符号の説明

４…制御部、８…キャリッジ、９…ヘッドユニット、９ａ…ヘッドプレート、１０…液状体吐出装置、１５…撮像装置、２０…基板移動機構、３０…ヘッド移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２，５２_i…ノズル、５２ａ…ノズル列、６０…メンテナンス機構、７０…吐出検査機構、９０…着弾候補位置、５００…液晶表示装置、５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂ…カラーフィルタ、６００…有機ＥＬ表示装置、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ｂ…基板、Ｄ…液滴、ｄ…ドット、Ｑ…被吐出領域、Ｒ…仮想領域。

Claims (6)

1. 液状体を吐出する複数のノズルが列状に配置されたノズル列と基板とを相対移動させながら、前記基板上の被吐出領域に前記ノズルから前記液状体を配置する液状体の配置方法であって、
   複数の前記ノズルの吐出状態を検査するノズル検査工程と、
   前記被吐出領域内に、前記ノズル列方向のノズル間隔と前記相対移動方向の吐出間隔とにより前記液状体が着弾する複数の着弾候補位置に対応するドットからなる第１配置パターンを生成する第１配置パターン生成工程と、
   前記第１配置パターンから所定数の前記ドットを消去してなる第２配置パターンを生成する第２配置パターン生成工程と、
   前記第２配置パターンに基づいて前記ノズルから前記被吐出領域内に前記液状体を吐出して配置する液状体配置工程と、を有し、
   前記第１配置パターン生成工程では、前記ノズル検査工程で得られた検査結果に基づき、前記液状体が前記被吐出領域内に着弾可能な最大範囲に前記第１配置パターンを生成することを特徴とする液状体の配置方法。
2. 前記第２配置パターン生成工程では、前記第１配置パターンから所定数の前記ドットを消去することによって、前記被吐出領域内に供給される前記液状体の量を調整することを特徴とする請求項１に記載の液状体の配置方法。
3. 前記第２配置パターン生成工程では、前記ノズル検査工程で得られた検査結果によって、吐出不具合の虞のある前記ノズルに対応する前記ドットを優先的に消去することを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の配置方法。
4. 前記第２配置パターン生成工程では、前記被吐出領域の境界により近い前記着弾候補位置に対応する前記ドットを優先的に消去することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の配置方法。
5. 複数の前記ノズルから前記被吐出領域の前記ドットに配置される前記液状体の配置状態を検査する配置状態検査工程を有し、
   前記第２配置パターン生成工程では、前記配置状態検査工程で得られた検査結果により、配置された液状体のばらつきを補正するように前記ドットを消去することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の配置方法。
6. 少なくとも一方の基板上に設けられる隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、
   請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体の配置方法を適用して、前記基板上の前記複数の色要素領域に、色要素形成材料を含む複数種の液状体を配置して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、
   描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。

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