JP2010036185A - 液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】膜形成領域ごとに必要量の液状体を安定して吐出することができる液状体の吐出方法、およびこの液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域２を有する被吐出物とを対向配置して相対移動させる走査に同期して、ノズルごとに設けられたエネルギー発生手段に、時分割で発生させた複数の駆動波形の一部を印加して、複数のノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として膜形成領域２に吐出する吐出工程を有する。吐出工程では、前記走査において、複数のノズルからなるノズル列のうち、膜形成領域２に掛かる隣り合うノズルのエネルギー発生手段に、複数の駆動波形のうち互いに異なる吐出タイミングの駆動波形を印加すると共に、印加されるエネルギー発生手段の数が、駆動波形ごとに同数となるように、駆動波形の組み合わせを設定した。
【選択図】図８

Description

本発明は、機能性材料を含む液状体の吐出方法、これを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。

機能性材料を含む液状体の吐出方法として、カラーフィルタ材料を含む液状体を基板上に吐出してカラーフィルタを製造する方法が知られている（特許文献１）。

上記カラーフィルタの製造方法では、液状体を液滴として吐出可能な複数のノズルを有する複数の液滴吐出ヘッドをノズル列が所定の方向に配列するように基板に対して対向させる。そして、ノズル列の両端部の所定領域に位置するノズル（未使用ノズル）からは液状体を吐出させない状態で、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させつつ、ノズル（使用ノズル）から液状体を基板上の所定の位置に適宜吐出してカラーフィルタを形成する方法を採用している。これにより、ノズル列の両端部の所定領域に位置する吐出量が比較的多いノズルを使用せずに液状体の吐出を行うので、より均一に液状体が吐出されるとしている。

ところが、上記液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出される液滴の吐出量は、実際にはノズル間でバラツキを有していた。このバラツキが大きいと、吐出後に形成された薄膜にムラが生じ、例えばカラーフィルタであれば色ムラとなるという課題があった。

このノズル間の吐出量のバラツキの原因として、ノズルから液状体を液滴として吐出させるためのエネルギー発生手段（例えば、圧電素子や加熱素子など）に駆動電圧を印加したときに、駆動電圧がばらつく所謂電気的クロストークが挙げられる。また、ノズルごとに液状体が供給される流路が異なることにより、液滴を吐出する圧力やスピードがノズル間で異なる所謂機械的クロストークが挙げられる。

このようなクロストーク現象の発生を防止する方法としては、隣接するノズル（エネルギー発生手段）ごとに異なる駆動波形を入力し、時期を違えて駆動するインクジェット式印刷方法が知られている（特許文献２）。

特開２００３−１５９７８７号公報 特開平１０−１９３５８７号公報

しかしながら、クロストーク現象を考慮して、隣接するノズル（エネルギー発生手段）ごとに異なる駆動波形を入力したとしても、駆動波形が印加されるエネルギー発生手段の数が駆動波形ごとに変動する場合があった。それゆえに、液滴の吐出に係る電気的な負荷が駆動波形ごとに変動し、駆動波形のなまり方が変化した。したがって、駆動波形ごとのなまり方に起因して、吐出される液滴の吐出量の偏りがノズル間で発生するという課題があった。ゆえに、所望の領域に必要量の液状体を安定的に吐出することが難しいという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと膜形成領域を有する被吐出物とを対向配置して相対移動させる走査に同期して、前記ノズルごとに設けられたエネルギー発生手段に、時分割で発生させた複数の駆動波形の一部を印加して、前記複数のノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として前記膜形成領域に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程では、前記走査において、前記複数のノズルからなるノズル列のうち、前記膜形成領域に掛かる隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に、前記複数の駆動波形のうち互いに異なる吐出タイミングの駆動波形を印加すると共に、印加される前記エネルギー発生手段の数が、前記駆動波形ごとに同数となるように、前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを設定することを特徴とする。

この方法によれば、液滴の吐出に際して、膜形成領域に掛かる隣り合うノズルのエネルギー発生手段における電気的なクロストークを回避し、且つ、駆動波形が印加されるエネルギー発生手段の数が駆動波形ごとに同数であるため、電気的な負荷による駆動波形ごとのなまりを均一化できる。すなわち、このような異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせによれば、ノズル間の吐出特性バラツキに起因する液滴の吐出量の偏りを低減して、膜形成領域に液状体を安定した吐出量で吐出することができる。

［適用例２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記走査において、前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを少なくとも１回は変えることが好ましい。
この方法によれば、膜形成領域に掛かるノズルのエネルギー発生手段に、同一の駆動波形の組み合わせを適用して、繰り返し液滴を吐出する場合に比べて、異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを少なくとも１回変えるので、ノズル間の吐出特性バラツキに起因する液滴の吐出量の偏りが走査の途中で変化することになる。したがって、吐出された液滴の吐出量の偏りに起因する走査方向のスジ状の吐出ムラを低減することができる。

［適用例３］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、複数回の前記走査を行って、前記複数のノズルから前記膜形成領域に前記液滴を吐出し、前記走査ごとに前記膜形成領域に掛かる隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを異ならせてもよい。
この方法によれば、複数回の走査ごとに、膜形成領域に掛かる隣り合うノズルのエネルギー発生手段に印加する異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせが異なるので、走査方向におけるスジ状の吐出ムラをより低減することができる。

［適用例４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記被吐出物は、少なくとも前記走査の方向に配列した複数の前記膜形成領域を有し、前記吐出工程では、前記隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを、吐出する異種の前記液状体ごとに異ならせるとしてもよい。
この方法によれば、異種の液状体を対応する膜形成領域に吐出する場合、液状体の種類ごとに膜形成領域に掛かる隣り合うノズルのエネルギー発生手段に印加する異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを異ならせるので、走査方向に吐出される液滴の吐出量の偏りを異種の液状体ごとに分散できる。すなわち、異種の液状体を複数のノズルから吐出しても、走査の方向におけるスジ状の吐出ムラが強調されない。

［適用例５］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記被吐出物は、少なくとも前記走査の方向に配列した複数の前記膜形成領域と、前記膜形成領域を区画する区画領域とを有し、前記吐出工程では、前記走査において、前記区画領域に掛かるノズルおよび／または液滴を吐出したときに前記区画領域に液滴の一部が着弾すると想定されるノズルを不使用として、使用するノズルのみを前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせの対象とすることが好ましい。
この方法によれば、液状体を液滴として膜形成領域に吐出する際に、使用するノズルに対して複数の駆動波形との関連づけを吐出データの一部として生成すればよいので、すべてのノズルに対して関連づける場合に比べて、吐出データを簡略化できる。

［適用例６］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記被吐出物は、少なくとも前記走査の方向に配列した複数の前記膜形成領域を有し、前記吐出工程では、前記隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを、前記膜形成領域ごとに異ならせるとしてもよい。
この方法によれば、異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせの選択に伴う、走査方向における液滴の吐出量の偏りを膜形成領域ごとに分散できる。すなわち、走査方向におけるスジ状の吐出ムラを膜形成領域ごとに抑制して、目立ち難くすることができる。

［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程では、前記膜形成領域ごとに、前記隣り合うノズルのそれぞれから前記走査の方向に複数の前記液滴を吐出し、前記隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを、前記液滴の吐出ごとに異ならせるとしてもよい。
この方法によれば、駆動波形の組み合わせの選択に伴う、走査方向における液滴の吐出量の偏りを液滴の吐出ごとに分散できる。すなわち、走査方向におけるスジ状の吐出ムラを液滴の吐出ごとに抑制して、より目立ち難くすることができる。

［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記エネルギー発生手段に、所定の周期で発生する前記複数の駆動波形のうちの一部を印加することを特徴とする。
この方法によれば、膜形成領域に掛かる隣り合うノズルに所定の周期で吐出タイミングが異なる駆動波形が印加される。したがって、電気的なクロストークを回避すると共に、吐出タイミング間における吐出条件が一様となり、走査方向において、液滴の吐出量を安定化させることができる。

［適用例９］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記エネルギー発生手段に、１周期内において発生する前記複数の駆動波形のうちの一部を印加するとしてもよい。
この方法によれば、電気的なクロストークを回避すると共に、１周期内において、隣り合うノズルから複数の液滴を膜形成領域に吐出することができる。すなわち、より短時間に膜形成領域に所定量の液状体を吐出することができる。

［適用例１０］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記エネルギー発生手段に、非周期的に発生する前記複数の駆動波形のうちの一部を印加するとしてもよい。
この方法によれば、吐出タイミングごとに吐出条件が異なることになるため、走査方向において、液滴の吐出量の変動が発生する。これにより、ノズル間の吐出特性のバラツキに起因する吐出量の変動に加えて、走査方向の吐出量の変動が付加され、２次元的に吐出量の変動を分散させることができる。このような２次元的に分散された吐出ムラは、スジ状の（１次元的な）吐出ムラに比べて視認性が低いため、結果的に吐出ムラを目立ち難くする効果を奏する。

［適用例１１］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を所望の膜形成領域に安定した吐出量で吐出して、吐出ムラに起因する色ムラなどの不良を低減し、カラーフィルタを歩留りよく製造することができる。

［適用例１２］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に安定した吐出量で吐出して、吐出ムラに起因する発光ムラ、輝度ムラなどの不良を低減し、有機ＥＬ素子を歩留りよく製造することができる。

液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 （ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、（ｂ）は液滴吐出ヘッドの複数のノズルの配置を示す概略平面図。 制御装置および制御装置に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。 カラーフィルタを示す平面図。 カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。 （ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。 駆動波形と制御信号との関係を示すタイミングチャート。 実施例１の液状体の吐出方法を示す概略図。 実施例２の液状体の吐出方法を示す概略図。 実施例３の液状体の吐出方法を示す概略図。 実施例４の液状体の吐出方法を示す概略図。 液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図。 有機ＥＬ表示装置を示す概略断面図。 （ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部を認識可能な大きさとするため、各部の縮尺を適宜変更している。

（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態に係る液滴吐出装置の構成について、図１〜図３を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１００は、被吐出物としてのワークＷ上に液状体を液滴として吐出して、液状体からなる膜を形成するものである。ワークＷが載置されるステージ１０４と、載置されたワークＷに液状体を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット１０１とを備えている。

そして、ヘッドユニット１０１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸１０２と、Ｘ方向ガイド軸１０２を回転させるＸ方向駆動モータ１０３とを備えている。また、ステージ１０４を副走査方向に対して直交する主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸１０５と、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転するＹ方向駆動モータ１０６とを備えている。これらＸ方向ガイド軸１０２とＹ方向ガイド軸１０５とが上部に配設された基台１０７を有し、その基台１０７の下部に、制御装置１０８を備えている。

さらに、ヘッドユニット１０１の複数の液滴吐出ヘッド２０をクリーニング（回復処理）するために、Ｙ方向ガイド軸１０５に沿って移動するクリーニング機構１０９と、吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１１１とを備えている。クリーニング機構１０９は、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転するＹ方向駆動モータ１１０を有している。

ヘッドユニット１０１には、液状体をワークＷに塗布する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド２０により、制御装置１０８から供給される吐出用の制御信号に応じて、個別に液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０については後述する。

Ｘ方向駆動モータ１０３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御装置１０８から駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸１０２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸１０２に係合したヘッドユニット１０１をＸ方向に移動させる。

同様にＹ方向駆動モータ１０６，１１０は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御装置１０８から駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸１０５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ１０６，１１０を備えたステージ１０４およびクリーニング機構１０９をＹ方向に移動させる。

クリーニング機構１０９は、液滴吐出ヘッド２０をクリーニングする際には、ヘッドユニット１０１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面に密着して不要な液状体を吸引するキャッピング、液状体等が付着したノズル面を拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液状体を受けて排出させる処理を行う。クリーニング機構１０９の詳細は省略する。

ヒータ１１１は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体を加熱して、溶媒を蒸発させ膜に変換するための熱処理を行う。このヒータ１１１の電源の投入及び遮断も制御装置１０８によって制御される。

液滴吐出装置１００の塗布動作は、制御装置１０８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ１０３およびＹ方向駆動モータ１０６に送り、ヘッドユニット１０１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ１０４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動の間に制御装置１０８から吐出用の制御信号を供給し、各液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。

図２は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す概略斜視図、同図（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルの配置を示す概略平面図である。なお、同図は、構成を明確にするため適宜拡大または縮小している。

図２（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２を有するノズルプレート２１と、各ノズル２２に対応してこれを区画する区画部２４を含む液状体の流路が形成されたリザーバプレート２３と、エネルギー発生手段としての圧電素子（ピエゾ）２９を有する振動板２８とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。ノズルプレート２１とリザーバプレート２３の区画部２４および振動板２８によって複数の圧力発生室２５が構成されている。各ノズル２２は、各圧力発生室２５にそれぞれ連通している。また、圧電素子２９は、各圧力発生室２５に対応するように振動板２８に複数配設されている。

リザーバプレート２３には、振動板２８に形成された供給孔２８ａを通じてタンク（図示省略）から供給される液状体が、一時的に貯留される共通流路２７が設けられている。また共通流路２７に充填された液状体は、供給口２６を通じて各圧力発生室２５に供給される。

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有しており、それぞれ複数（１８０個）の直径がおよそ２８μｍのノズル２２がピッチＰ₁で配列している。そして、２つのノズル列２２ａ，２２ｂは互いにピッチＰ₁に対して半分のノズルピッチＰ₂ずれた状態でノズルプレート２１に配設されている。この場合、ピッチＰ₁は、およそ１４０μｍである。よって、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見ると３６０個のノズル２２がおよそ７０μｍのノズルピッチＰ₂で配列した状態となっている。したがって、２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有する液滴吐出ヘッド２０の有効ノズルの全長は、ノズルピッチＰ₂×３５９（およそ２５ｍｍ）である。また、ノズル列２２ａ，２２ｂの間隔は、およそ２．５４ｍｍである。

液滴吐出ヘッド２０は、電気信号としての駆動波形が圧電素子２９に印加されると圧電素子２９自体が歪んで振動板２８を変形させる。これにより、圧力発生室２５の体積変動が起こり、これによるポンプ作用で圧力発生室２５に充填された液状体が加圧され、ノズル２２から液状体を液滴３０として吐出することができる。

なお、本実施形態の液滴吐出ヘッド２０は、所謂２連のノズル列２２ａ，２２ｂを有しているが、これに限定されず１連のものでもよい。さらには、ノズル２２から液状体を液滴３０として吐出させるエネルギー発生手段は、圧電素子２９に限定されず、電気熱変換素子としてのヒータや電気機械変換素子としての静電アクチュエータ等でもよい。

図３は、制御装置および制御装置に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図３に示すように、制御装置１０８は、液状体の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ１２０と、入力バッファメモリ１２０に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）１２１に展開して、関連する各部に制御信号を送る処理部１２２とを備えている。また処理部１２２からの制御信号を受けてＸ方向駆動モータ１０３とＹ方向駆動モータ１０６とに位置制御信号を送る走査駆動部１２３と、同じく処理部１２２からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧パルス（駆動波形）を送るヘッド駆動部１２４とを備えている。

入力バッファメモリ１２０に受け取られる吐出データは、ワークＷ上の膜形成領域の相対位置を表すデータと、膜形成領域に液状体の液滴をドットとしてどのように配置するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうち、どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。

処理部１２２は、記憶手段としてのＲＡＭ１２１に格納された吐出データの中から膜形成領域に関する位置の制御信号を走査駆動部１２３に送る。走査駆動部１２３は、この制御信号を受けてＸ方向駆動モータ１０３に位置制御信号を送って液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）に移動させる。またＹ方向駆動モータ１０６に位置制御信号を送ってワークＷが保持されたステージ１０４を主走査方向（Ｙ方向）に移動させる。これによってワークＷの所望の位置に液滴吐出ヘッド２０から液状体の液滴３０が吐出されるように液滴吐出ヘッド２０とワークＷとを相対移動させる。

また処理部１２２は、ＲＡＭ１２１に格納された吐出データの中から膜形成領域に液状体の液滴３０をドットとしてどのように配置するかを示すデータを、ノズル２２ごとの４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部１２４に送る。また、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうち、どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子２９に印加する駆動電圧パルス（駆動波形）をいつ発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ（ＬＡＴ）信号とチャンネル（ＣＨ）信号をヘッド駆動部１２４に送る。ヘッド駆動部１２４は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に適正な駆動電圧パルス（駆動波形）を送って、ノズル２２から液状体の液滴３０を吐出させる。

図２に示したように、各ノズル列２２ａ，２２ｂは、それぞれに独立した共通流路２７に連通している。したがって、各ノズル列２２ａ，２２ｂを構成するそれぞれ１８０個のノズル２２の圧電素子２９に同時に駆動波形を印加すると、隣り合うノズル２２間において、液滴の吐出量（体積または重量）や吐出スピードが変動する電気的、機械的なクロストークが生じ易い。

それゆえに、本実施形態では、処理部１２２は、膜形成領域に掛かる隣り合うノズル２２からは同時に液滴を吐出しないようにヘッド駆動部１２４にＬＡＴ信号とＣＨ信号を送る。具体的には、ヘッド駆動部１２４は、ＬＡＴ信号に対応して所定の周期で駆動電圧パルス（駆動波形）を発生する。そして、処理部１２２は、ワークＷと液滴吐出ヘッド２０の相対移動に同期して、時系列的に異なる駆動波形が上記隣り合うノズル２２に対応する圧電素子２９に印加されるように、ＣＨ信号をヘッド駆動部１２４に送る。また、主走査において、駆動波形が印加される圧電素子２９の数が駆動波形ごとに同数となるように、膜形成領域に掛かる隣り合うノズル２２に印加する異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを設定している。詳しくは、後述する液状体の吐出方法において述べる。これにより少なくとも電気的なクロストークを回避すると共に、電気的な負荷による駆動波形ごとのなまりを均一化して、安定した吐出量で液滴を吐出することを実現している。

＜カラーフィルタ＞
次に、本実施形態に係るカラーフィルタについて説明する。図４は、カラーフィルタを示す平面図である。

図４に示すように、カラーフィルタ１０は、透明な基板としてのガラス基板１の表面に複数の膜形成領域２を区画する隔壁部４を有している。言い換えれば、隔壁部４は、複数の膜形成領域２を区画する区画領域を構成している。各膜形成領域２には、３色（Ｒ；赤，Ｇ；緑，Ｂ；青）の着色層３が形成されている。各着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂは、同色の着色層３同士が直線的に配置されている。すなわち、カラーフィルタ１０は、ストライプ方式の着色層３を備えている。

＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本実施形態のカラーフィルタの製造方法について図５および図６を参照して説明する。図５はカラーフィルタの製造方法を示すフローチャート、図６（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。また、本実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法は、前述した液滴吐出装置１００と、後述する液状体の吐出方法とを用いたものである。

図５に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法は、ガラス基板１に隔壁部４を形成する工程（ステップＳ１）と、隔壁部４が形成されたガラス基板１の表面を処理する工程（ステップＳ２）とを備えている。そして、表面処理されたガラス基板１に機能性材料としての着色材料を含む３色の液状体を吐出する工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥して固化し着色層３を形成する工程（ステップＳ４）とを備えている。さらに、形成された隔壁部４と着色層３とを覆うように平坦化層を形成する工程（ステップＳ５）と、平坦化層上に透明電極を形成する工程（ステップＳ６）とを備えている。

図５のステップＳ１は、隔壁部形成工程である。ステップＳ１では、図６（ａ）に示すように、まず、ガラス基板１の表面に、膜形成領域２を区画するように第１隔壁部４ａを形成する。形成方法としては、真空蒸着法やスパッタ法により、ＣｒやＡｌなどの金属膜または金属化合物の膜をガラス基板１の表面に遮光性を有するように成膜する。そしてフォトリソグラフィ法により、感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布して膜形成領域２が開口するように露光・現像・エッチングする。続いてフォトリソグラフィ法により、感光性の隔壁部形成材料をおよそ２μｍの厚みで塗布して露光・現像し、第２隔壁部４ｂを第１隔壁部４ａ上に形成する。隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる所謂二層バンク構造となっている。なお、隔壁部４は、これに限らず、遮光性を有する感光性の隔壁部形成材料を用いて形成した第２隔壁部４ｂのみの一層構造としてもよい。そして、ステップＳ２へ進む。

図５のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域２に着弾して濡れ拡がるように、ガラス基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域２内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。

表面処理方法としては、隔壁部４が形成されたガラス基板１に対して、Ｏ₂を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域２が親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。

図５のステップＳ３は、液状体の吐出工程である。ステップＳ３では、図６（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１００のステージ１０４に表面処理されたガラス基板１を載置する。そして、ガラス基板１が載置されたステージ１０４と液滴吐出ヘッド２０との主走査方向への相対移動に同期して、着色材料を含む液状体が充填された液滴吐出ヘッド２０の複数のノズル２２から液滴３０を膜形成領域２に吐出する。膜形成領域２に吐出される液状体の総吐出量は、後の乾燥工程（ステップＳ４）で所定の膜厚が得られるように、あらかじめ吐出回数などが設定された吐出データに基づいて、制御装置１０８の処理部１２２から適正な制御信号がヘッド駆動部１２４に送られて制御される。詳しい液状体の吐出方法は後述する。そして、ステップＳ４へ進む。

図５のステップＳ４は、乾燥工程である。ステップＳ４では、図６（ｃ）に示すように、液滴吐出装置１００に備えられたヒータ１１１によってガラス基板１が加熱され、吐出された液状体から溶媒成分が蒸発して固化し、着色材料からなる着色層３が形成される。そして、ステップＳ５へ進む。

図５のステップＳ５は、平坦化層形成工程である。ステップＳ５では、図６（ｅ）に示すように、着色層３と第２隔壁部４ｂとを覆うように平坦化層６を形成する。形成方法としては、スピンコート法、ロールコート法などによりアクリル系樹脂をコーティングして乾燥させる方法が挙げられる。また、感光性アクリル樹脂をコーティングしてから紫外光を照射して硬化させる方法も採用することができる。膜厚は、およそ１００ｎｍである。なお、着色層３が形成されたガラス基板１の表面が比較的に平坦ならば、平坦化層形成工程を省いてもよい。そして、ステップＳ６へ進む。

図５のステップＳ６は、透明電極形成工程である。ステップＳ６では、図６（ｆ）に示すように、平坦化層６の上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明電極７を成膜する。成膜方法としては、ＩＴＯなどの導電材料をターゲットとして真空中で蒸着あるいはスパッタする方法が挙げられる。膜厚は、およそ１０ｎｍである。形成された透明電極７は、カラーフィルタ１０が用いられる電気光学装置によって適宜必要な形状（パターン）に加工される。

本実施形態では、まずＲ（赤）の着色材料を含む液状体を膜形成領域２に吐出して乾燥させることにより着色層３Ｒを形成し、続いてＧ（緑）、Ｂ（青）の順に異なる着色材料を含む液状体を順次吐出して乾燥することにより、図６（ｄ）に示すように３色の着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂを形成した。なお、これに限定されず、例えば、ステップＳ３の液状体の吐出工程で異なる着色材料を含む３色の液状体をそれぞれ異なる液滴吐出ヘッド２０に充填し、各液滴吐出ヘッド２０をヘッドユニット１０１に装備して、各液滴吐出ヘッド２０から所望の膜形成領域２に液状体を吐出する。そして、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置にガラス基板１をセットして減圧乾燥する方法を用いてもよい。

＜液状体の吐出方法＞
本実施形態の液状体の吐出方法について実施例に基づいて、さらに詳しく説明する。

まず、本実施形態に係る駆動波形について図７を参照して説明する。図７は、駆動波形と制御信号との関係を示すタイミングチャートである。

図７に示すように、各ノズル２２に対応して配設された圧電素子２９（図２参照）には、制御信号ＬＡＴのタイミングでラッチされたノズル２２ごとのＯＮ／ＯＦＦデータ（吐出データ）に従い、駆動波形Ａ１，Ｂ１，Ｃ１，Ａ２，Ｂ２，Ｃ２，…の一部が選択されて供給される。そして、駆動波形が供給されるタイミングで、ノズル２２から液滴３０が吐出される。なお、各駆動波形は、圧電素子２９に供給されることで規定量の液滴３０が吐出されるように設計された、同一の形状、大きさのものである。

駆動波形の選択は、駆動波形の供給タイミングを規定する制御信号ＣＨ１〜ＣＨ３により行われる。すなわち、制御信号ＣＨ１によって第１系統のタイミングの駆動波形Ａ１，Ａ２，…が、制御信号ＣＨ２によって第２系統のタイミングの駆動波形Ｂ１，Ｂ２，…が、制御信号ＣＨ３によって第３系統のタイミングの駆動波形Ｃ１，Ｃ２，…がそれぞれ選択される。

本実施形態では、膜形成領域２に掛かる隣り合うノズル２２に対応する圧電素子２９に、駆動波形の供給タイミングの系統（制御信号ＬＡＴを基準とした相対的な序列）を個々に対応づけることにより、吐出タイミングの重複が起こりえないようにされている。これにより、少なくとも電気的なクロストークが好適に低減され、クロストークに起因するノズル間の吐出特性（吐出量や吐出速度など）のバラツキが相対的に緩和されている。また、各系統のタイミングは周期的となっているため、吐出条件が各吐出タイミング間で一様となり、液滴３０の吐出量を主走査方向に対して安定化させることができる。また、制御信号ＬＡＴの１周期内（１ラッチ内）において、３つの駆動波形が発生するので、同一の圧電素子２９に１ラッチ内で３つの駆動波形を印加すれば、同一ノズル２２から吐出タイミングを変えて３滴の液滴３０を吐出することができる。さらに、１ラッチ内の３つの駆動波形をそれぞれ別の圧電素子２９に印加すれば、３つのノズル２２から液滴３０を異なる吐出タイミングで吐出することができる。以降、ノズル２２の圧電素子２９に駆動波形を印加することを、ノズル２２に駆動波形を印加すると表現する。

液滴吐出装置１００において、例えば、液滴吐出ヘッド２０（複数のノズル２２）とガラス基板１との主走査における相対移動速度を２００ｍｍ／秒とする。また、制御信号ＬＡＴの周期、すなわち駆動周波数を２０ｋＨｚとする。この吐出条件では、主走査において１回の吐出に係る吐出分解能は、１ラッチを基準として３つの駆動波形のうちの１つを使用するノズル２２に印加すると、およそ１０μｍとなる。言い換えれば、３つの駆動波形を連続的に使用するノズル２２に印加したときには、吐出タイミングを変えて主走査方向におよそ３．３μｍの最小ピッチで液滴を吐出することが可能である。

（実施例１）
図８は、実施例１の液状体の吐出方法を示す概略図である。詳しくは、ノズル列における駆動波形の選択と、膜形成領域における液滴の配置を示す概略図である。

図８に示すように、ノズル列２２ａの１８０個のノズル２２にノズル番号が与えられている。また、各ノズル２２に印加する駆動波形の波形選択の方法が例示されている。波形選択における番号１は、図７の第１系統のタイミングで発生する駆動波形Ａ１，Ａ２，…を指す。同様に、番号２は第２系統のタイミングで発生する駆動波形Ｂ１，Ｂ２，…を指し、番号３は第３系統のタイミングで発生する駆動波形Ｃ１，Ｃ２，…を指す。以下、図において○付きの番号１〜３を波形選択の系統番号１〜３と呼ぶ。

膜形成領域２の大きさやＸ方向およびＹ方向における配置ピッチは、設計事項であるが、実施例１では、ノズル２２の配置ピッチ（およそ１４０μｍ）に対して１回の主走査で３つのノズル２２がそれぞれの膜形成領域２に掛かる状態となっている。言い換えれば、図４に示したカラーフィルタ１０のストライプ方向とノズル列方向とが一致するように、液滴吐出ヘッド２０とガラス基板１とが相対配置されている。

主走査において、膜形成領域２を区画する隔壁部４を通過するノズル２２および吐出された液滴の少なくとも一部が隔壁部４に着弾すると想定されるノズル２２は、使用しない。すなわち不吐出としている。そして、各膜形成領域２において隣り合うノズル２２（使用するノズル）から主走査方向にそれぞれ２滴の液滴を吐出する。膜形成領域２においてＸ方向に引かれた鎖線は、第１〜第３系統の駆動波形を印加したときの液滴の主走査方向（Ｙ方向）の位置を示すものである。なお、図８は、同種の液状体が吐出される膜形成領域２について、選択波形の組み合わせと、これに対する液滴の配置パターンを示したものである。

実施例１の液状体の吐出方法は、図８に示したノズル列２２ａにおける波形選択を前提とする。すなわち、膜形成領域２に掛かる隣り合うノズル２２に、同じタイミングで駆動波形が印加されないように、第１〜第３系統の駆動波形を逐次選択して印加する。

波形選択１は、１８０個のノズル２２に対して、ノズル番号１〜１８０の順に、系統番号１〜３を繰り返して割り付けている。ただし、不吐出としたノズル２２には、駆動波形の系統を割り付けしない。例えば、同図では、ノズル番号４，８，１２，１６を不吐出とし、系統番号を割り付けていない。すなわち、使用するノズル２２（以下、使用ノズルとする）のみに系統番号を割り付けている。このように割り付けすることにより、吐出データ生成時の負荷を軽減している。

波形選択１を適用すると、例えば、ノズル番号１のノズル２２には、第１系統の駆動波形Ａ１，Ａ２が印加される。ノズル番号２のノズル２２には、第２系統の駆動波形Ｂ１，Ｂ２が印加される。ノズル番号３のノズル２２には、第３系統の駆動波形Ｃ１，Ｃ２が印加される。これにより、ノズル番号１，２，３の各ノズル２２から膜形成領域２に吐出された液滴の配置は、Ａパターンのように６つの液滴が互いに主走査方向においてずれる。主走査方向（Ｙ方向）に配列した膜形成領域２には、同様にして波形選択１が適用され、繰り返しＡパターンのように液滴が配置される。したがって、同種の液状体が吐出される膜形成領域２に掛かる隣り合う３つのノズル２２には、それぞれ吐出タイミングが異なる駆動波形が印加され、ノズル間の電気的なクロストークが回避される。さらに、制御信号ＬＡＴの１ラッチにおいて、使用ノズルの数が駆動波形ごとに同数となるので、駆動波形ごとの電気的な負荷が平準化され、駆動波形ごとのなまりが均一化される。よって、所望の膜形成領域２に安定した吐出量で液状体が吐出される。また、膜形成領域２ごとに液滴の配置が同一となる。言い換えれば、各膜形成領域２における液滴の配置が均質化される。

（実施例２）
次に、実施例２の液状体の吐出方法について、実施例１との相違点を中心に説明する。図９は、実施例２の液状体の吐出方法を示す概略図である。

図９に示すように、実施例２の液状体の吐出方法は、同種の液状体が吐出される膜形成領域２ごとに、使用ノズルに印加する駆動波形の系統を異ならせている。波形選択２，３は、波形選択１に対して、系統番号１〜系統番号３の選択の順序を１つずつずらしたものである。

波形選択１を適用して、主走査方向に配列する各膜形成領域２に繰り返し液滴を吐出する実施例１では、使用ノズルには常に同一系統の駆動波形が印加されることになる（図８参照）。そうすると、使用ノズル間において、少なくとも電気的なクロストークを回避することができるものの、使用ノズル間の吐出特性バラツキ（例えば、電気的クロストーク以外の機械的クロストーク）によって、吐出された液滴の吐出量に偏りが発生するおそれがある。使用ノズルから吐出量に偏りを有した液滴が、主走査方向に連続して吐出されると、スジ状の吐出ムラとなって現れる。

実施例２の液状体の吐出方法では、このような吐出ムラを抑制するために、主走査において、膜形成領域２ごとに使用ノズルに印加される駆動波形の系統を変えている。具体的には、膜形成領域２ごとに波形選択１，２，３のうちいずれかを適用するので、液滴の配置は、Ａパターン、Ｂパターン、Ｃパターンのいずれかになる。ＡパターンからＣパターンを順次繰り返してもよいし、ランダムでもよい。同じ液滴の配置パターンが連続しないように適用することが好ましい。すなわち、使用ノズル間の吐出特性バラツキに起因する液滴の吐出量の偏りを、主走査方向において分散させている。

（実施例３）
次に、実施例３の液状体の吐出方法について、実施例２との相違点を中心に説明する。図１０は、実施例３の液状体の吐出方法を示す概略図である。

図１０に示すように、実施例３の液状体の吐出方法は、実施例２に対して波形選択１，２，３におけるノズル番号への第１〜第３系統の駆動波形の割り付け方は同一だが、使用ノズルからの液滴の吐出ごとに、波形選択１〜３を順次切り替えている。よって、液滴の配置は、Ｄパターン、Ｅパターン、Ｆパターンのいずれかになる。これによれば、膜形成領域２に掛かる使用ノズルにおいて、液滴の吐出ごとに駆動波形の系統が変わる。言い換えれば、使用ノズルにおいて液滴の吐出ごとに異なる駆動波形が印加される。したがって、各膜形成領域２において、主走査方向に配置される液滴の吐出量の偏りを、より分散させている。

（実施例４）
次に、実施例４の液状体の吐出方法について、実施例１との相違点を中心に説明する。図１１は、実施例４の液状体の吐出方法を示す概略図である。

図１１に示すように、実施例４の液状体の吐出方法は、実施例１に対してノズル列２２ａと膜形成領域２との相対的な配置が異なる。実施例４では、同種の液状体が吐出される膜形成領域２が、主走査方向（Ｙ方向）に連続して配列している。副走査方向（Ｘ方向）には、異種の液状体が吐出される膜形成領域２が所定の間隔を置いて配列している。したがって、１回の吐出に係る使用ノズルの数は、実施例１に比べて少なくなる。また、実施例１と同様に使用ノズルの数が駆動波形ごとに同等となるように設定している。よって、駆動波形ごとの吐出による電気的な負荷がさらに小さくなる。同種の液状体が吐出される膜形成領域２ごとに、使用ノズルに印加される異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせ（波形選択）を異ならせる点は、実施例２と同じである。ゆえに、液滴の配置は、Ｇパターン、Ｈパターン、Ｊパターンのいずれかとなり、駆動波形のなまりによる液滴の吐出量の偏りがさらに抑制されている。なお、実施例４の場合、主走査において矩形状の膜形成領域２の長手方向に液滴を配置してゆくので、膜形成領域２ごとに使用ノズルから吐出する液滴の数（吐出数）は、２滴だけでなく、さらに増やしてもよい。

上記実施例１〜実施例４において、上述の説明は便宜上ノズル列２２ａにのみ着目したものであったが、実際にはノズル列２２ａのピッチを補完するような位置において、ノズル列２２ｂ（図２参照）からも同様の吐出が行われるようになっている。

また、膜形成領域２に付与される液状体の総吐出量（必要量）は、要求される膜の特性（カラーフィルタであれば透過率、色度、彩度などの光学特性）に応じて、膜形成領域２の大きさ（面積）や、液状体の溶質濃度を考慮して決定される。したがって、上記総吐出量を複数回の主走査によって膜形成領域２に付与する場合には、主走査ごとに上記液滴の配置パターンを異ならせることが好ましい。すなわち、主走査ごとに波形選択の組み合わせを異ならせることが好ましい。これによれば、液滴の吐出量の偏りをより分散させることができる。
さらには、複数のノズル２２（液滴吐出ヘッド２０）を副走査して、膜形成領域２に掛かるノズル２２を変えて主走査すれば、ノズル間の吐出特性バラツキによる液滴の吐出量の偏りをさらに分散させることが可能である。
このように膜形成領域２に掛かる隣り合うノズル２２に印加する異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを変えることは、主走査ごとに少なくとも１回行うことにより相応の作用と効果を奏する。

また、上記実施例２〜実施例４において、波形選択１に対して第１〜第３系統の駆動波形の選択をノズル列方向に１ノズルずつ順次ずらして他の波形選択を設定することは、液滴の配置パターンを吐出データ化する際に、波形選択１を適用した液滴の配置パターンを踏襲すればよいので、比較的容易に行える。

＜液晶表示装置＞
次に、カラーフィルタを備えた液晶表示装置について、簡単に説明する。図１２は、液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図である。

図１２に示すように、液晶表示装置２００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル２２０と、液晶表示パネル２２０を照明する照明装置２１６とを備えている。液晶表示パネル２２０は、カラーフィルタを有する対向基板２０１と、画素電極２１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子２１１を有する素子基板２０８と、一対の基板２０１，２０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル２２０の外面側となる一対の基板２０１，２０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板２１４と下偏光板２１５とが配設される。

対向基板２０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部２０４によってマトリクス状に区画された複数の膜形成領域に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、３色のカラーフィルタ２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂが形成されている。隔壁部２０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク２０２と、下層バンク２０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク２０３とにより構成されている。また、隔壁部２０４とカラーフィルタ２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）２０６と、ＯＣ層２０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極２０７とを備えている。対向基板２０１は上記実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法を用いて製造されている（実施例１乃至４のいずれか１つの実施例を適用）。

素子基板２０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜２０９を介してマトリクス状に形成された画素電極２１０と、画素電極２１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子２１１とを有している。ＴＦＴ素子２１１の３端子のうち、画素電極２１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極２１０を囲むように格子状に配設された走査線２１２とデータ線２１３とに接続されている。

照明装置２１６は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル２２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。

本実施形態の液晶表示装置２００は、上記実施形態のカラーフィルタ１０の製造方法を用いて製造されたカラーフィルタ２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを有する対向基板２０１を備えているので、色ムラ等の表示不具合の少ない高い表示品質を有する。

なお、液晶表示パネル２２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子２１１に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板２１４，２１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。

上記実施形態１によれば、以下の効果が得られる。
（１）上記実施例１の液状体の吐出方法は、膜形成領域２に掛かる使用ノズルに異なる吐出タイミングの駆動波形が印加され、少なくとも電気的なクロストークが低減される。また、各系統の駆動波形において、使用ノズルの数が同等となるように設定されている。したがって、駆動波形ごとのなまりを均一化して、液滴の吐出量の偏りを抑制することができる。よって、膜形成領域に安定した吐出量で液滴を吐出することができる。すなわち、膜形成領域ごとに必要量（総吐出量）の液状体を安定して付与することができる。

（２）上記実施例２の液状体の吐出方法は、主走査方向に配列する膜形成領域２ごとに適用する波形選択を切り替えるので、実施例１の効果に加え、複数のノズル２２の吐出特性バラツキに起因する液滴の吐出量の偏りが抑制され、主走査方向のスジ状の吐出ムラを低減することができる。

（３）上記実施例３の液状体の吐出方法は、主走査方向に配列する各膜形成領域２において、液滴の吐出ごとに適用する波形選択を変えるので、上記実施例２の効果に加え、液滴の吐出量の偏りを膜形成領域２ごとに抑制して、主走査方向のスジ状の吐出ムラをより低減することができる。

（４）上記実施例４の液状体の吐出方法は、主走査方向に連続的に配列した同種の液状体が吐出される膜形成領域２ごとに、異なる波形選択を適用して当該膜形成領域２に掛かる使用ノズルから液滴を吐出する。駆動波形ごとに使用ノズルの数が同等となるように設定され、且つ実施例１に比べて同時に駆動波形が印加される使用ノズルの数が少なくなっている。よって、実施例１の効果に加えて、液滴の吐出に係る電気的な負荷がさらに小さくなり、駆動波形のなまりによる使用ノズル間の液滴の吐出量の偏りをさらに抑制することができる。

（５）上記実施形態１のカラーフィルタ１０の製造方法は、上記液状体の吐出方法を用いて、３色の液状体をそれぞれ所望の膜形成領域２に吐出して、乾燥することにより着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂを形成する。したがって、各膜形成領域ごとに必要量（総吐出量）の液状体が安定して付与されるので、吐出ムラによる色ムラなどの不良が低減され、カラーフィルタ１０を歩留りよく製造することができる。

（実施形態２）
次に、本実施形態に係る有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を備えた有機ＥＬ表示装置と、有機ＥＬ素子の製造方法について説明する。

＜有機ＥＬ表示装置＞
図１３は有機ＥＬ表示装置を示す概略断面図である。図１３に示すように、有機ＥＬ表示装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。素子基板６０１は、基板上に回路素子部６０２を備えている。発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれ膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。

封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。

素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、各発光層形成領域Ａを区画する隔壁部６１８と、各発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。隔壁部６１８は、下層バンク６１８ａと発光層形成領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、発光層形成領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ₂等の無機絶縁材料により形成されている。

素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１３ではこれらの図示を省略している。

発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。

有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ表示装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、液状体の吐出ムラに起因する発光ムラ、輝度ムラ等の表示不具合が低減され、高い表示品質を有している。

＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１４を参照して説明する。図１４（ａ）〜（ｆ）は、有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１４（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。

本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に発光層形成領域Ａを区画するように上層バンク６１８ｂを形成する隔壁部形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。

電極（陽極）形成工程では、図１４（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そして隔壁部形成工程へ進む。

隔壁部形成工程では、図１４（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ₂（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層Ｌｕに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ₂をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ₂により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有していおり、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層Ｌｕが積層されても発光を阻害することはない。

続いて、各発光層形成領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部６１８が形成される。そして、表面処理工程へ進む。

発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、隔壁部６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ₂ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ₄等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。

正孔注入／輸送層形成工程では、図１４（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図１の液滴吐出装置１００を用いる。液滴吐出ヘッド２０から吐出された液状体９０は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量が液滴として吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えば液滴吐出装置１００に備えられたヒータ１１１（ランプアニール等）で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａ（同図（ｄ）参照）が形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene Dioxy Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の表面処理工程へ進む。

次の表面処理工程では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも発光層形成領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そして液状体の吐出工程へ進む。

液状体の吐出工程では、図１４（ｄ）に示すように、複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは赤色発光する発光層形成材料を含み、液状体１００Ｇは緑色発光する発光層形成材料を含み、液状体１００Ｂは青色発光する発光層形成材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。なお、各発光層形成材料は、湿式の塗布方法に適した公知の材料を用いればよい。そして、乾燥・成膜工程へ進む。

乾燥・成膜工程では、図１４（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。

陰極形成工程では、図１４（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。

このようにして出来上がった素子基板６０１は、必要量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが対応する発光層形成領域Ａに吐出ムラなく付与され、乾燥・成膜化後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。

上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いているので、所望の発光層形成領域Ａに、必要量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴として安定した吐出量で吐出されている。ゆえに、乾燥・成膜後の膜厚がほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。

（２）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ表示装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラ等が少なく、見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ表示装置６００を製造することができる。

上記実施形態の他にも、様々な変形を加えることができる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法の実施例１〜４において、膜形成領域２に掛かる使用ノズルに適用する波形選択は、吐出される異種の液状体ごとに異ならせてもよい。これによれば、ノズル列の吐出特性バラツキに起因する主走査方向へのスジ状の吐出ムラが、異種の液状体の吐出によって強調されることを抑制することができる。

（変形例２）上記実施形態１の実施例４の液状体の吐出方法に、さらに実施例３の液状体の吐出方法を導入してもよい。すなわち、液滴の吐出ごとに駆動波形の組み合わせ（波形選択）を異ならせてもよい。

（変形例３）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、被吐出物としてのガラス基板１上における膜形成領域２の配置に応じて、実施例１〜４の液状体の吐出方法を組み合わせてもよい。例えば、１つのガラス基板１上において、異なる大きさの膜形成領域２が大きさによって分けられて配置されている場合、また、膜形成領域２のストライプ方向がＸ方向とＹ方向とに分けて配置されている場合などが適用例として挙げられる。すなわち、膜形成領域２に掛かるノズル２２の数によって、最適な液状体の吐出方法を採用し、各膜形成領域２に安定した吐出量で必要量の液状体を付与することが可能である。

（変形例４）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、１ラッチあたりに発生する駆動波形の数は、これに限定されない。制御信号ＬＡＴおよびチャンネル信号ＣＨを発生させるヘッド駆動部１２４の回路構成を鑑みて、１ラッチあたりにタイミングが異なる２つの駆動波形を発生させてもよい。あるいは、高周波駆動が可能な液滴吐出ヘッド２０の構成ならば、さらに１ラッチあたりに発生する駆動波形を４つ以上に増やすことも可能である。これによれば、単位時間あたりの液滴吐出数を増やして、膜形成領域に必要量の液状体を効率よく付与することができる。

（変形例５）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、駆動波形の発生は、周期的であることに限定されない。例えば、駆動波形を非周期的に発生させてもよい。これによれば、吐出タイミングごとに吐出条件が異なることになるため、主走査の方向において、液滴の吐出量の変動状態が変わる。これにより、ノズル間の吐出特性バラツキに起因する吐出量の変動に、主走査の方向の吐出量の変動が付加され、２次元的に吐出量のムラを分散させることができる。すなわち、主走査方向への１次元的なスジ状の吐出ムラが目立ち難くなる。

（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、複数の駆動波形は、同一の形状、大きさであることに限定されない。例えば、系統番号１〜３の駆動波形において、駆動電圧を異ならせてもよい。これによれば、波形選択により、液滴の吐出量を変動させることができる。すなわち、液滴の吐出ごとに吐出量を分散させることができる。

（変形例７）上記実施形態１のカラーフィルタ１０の製造方法において、３色の着色層３Ｒ，３Ｇ，３Ｂの配置は、ストライプ方式に限定されない。斜め方向に同色の着色層３が配列するモザイク方式、三角形の頂点にあたる位置に各色の着色層３が配置されるデルタ方式であっても、上記液状体の吐出方法を適用することができる。また、着色層３は３色に限定されず、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色を加えた多色でもよい。

（変形例８）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法は、３色の発光層Ｌｕを形成することに限定されない。例えば、白色や赤色など単色の構成としてもよい。これによれば、単色の有機ＥＬ素子を備えた照明装置や感光装置を提供することができる。

（変形例９）上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタの製造方法や有機ＥＬ素子の製造方法に限定されない。例えば、基板上の膜形成領域に導電材料を含む液状体を吐出して、所定のパターンを有する配線を形成する金属配線の製造方法、基板上の膜形成領域に配向膜形成材料を含む液状体を吐出して、所定のパターンを有する配向膜を形成する配向膜の製造方法などにも適用することができる。

２…膜形成領域、３，３Ｒ，３Ｇ，３Ｂ…着色層、１０…カラーフィルタ、２２…ノズル、２９…エネルギー発生手段としての圧電素子、３０…液滴、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ，Ｌｕ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ｗ…被吐出物としてのワーク。

Claims (12)

1. 複数のノズルと膜形成領域を有する被吐出物とを対向配置して相対移動させる走査に同期して、前記ノズルごとに設けられたエネルギー発生手段に、時分割で発生させた複数の駆動波形の一部を印加して、前記複数のノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として前記膜形成領域に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
   前記吐出工程では、前記走査において、前記複数のノズルからなるノズル列のうち、前記膜形成領域に掛かる隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に、前記複数の駆動波形のうち互いに異なる吐出タイミングの駆動波形を印加すると共に、印加される前記エネルギー発生手段の数が、前記駆動波形ごとに同数となるように、前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを設定することを特徴とする液状体の吐出方法。
2. 前記吐出工程では、前記走査において、前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを少なくとも１回は変えることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
3. 前記吐出工程では、複数回の前記走査を行って、前記複数のノズルから前記膜形成領域に前記液滴を吐出し、前記走査ごとに前記膜形成領域に掛かる隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを異ならせることを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
4. 前記被吐出物は、少なくとも前記走査の方向に配列した複数の前記膜形成領域を有し、
   前記吐出工程では、前記隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを、吐出する異種の前記液状体ごとに異ならせることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
5. 前記被吐出物は、少なくとも前記走査の方向に配列した複数の前記膜形成領域と、前記膜形成領域を区画する区画領域とを有し、
   前記吐出工程では、前記走査において、前記区画領域に掛かるノズルおよび／または液滴を吐出したときに前記区画領域に前記液滴の一部が着弾すると想定されるノズルを不使用として、使用するノズルのみを前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせの対象とすることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
6. 前記被吐出物は、少なくとも前記走査の方向に配列した複数の前記膜形成領域を有し、
   前記吐出工程では、前記隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを、前記膜形成領域ごとに異ならせることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
7. 前記吐出工程では、前記膜形成領域ごとに、前記隣り合うノズルのそれぞれから前記走査の方向に複数の前記液滴を吐出し、前記隣り合うノズルの前記エネルギー発生手段に印加する前記異なる吐出タイミングの駆動波形の組み合わせを、前記液滴の吐出ごとに異ならせることを特徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
8. 前記エネルギー発生手段に、所定の周期で発生する前記複数の駆動波形のうちの一部を印加することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
9. 前記エネルギー発生手段に、１周期内において発生する前記複数の駆動波形のうちの一部を印加することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
10. 前記エネルギー発生手段に、非周期的に発生する前記複数の駆動波形のうちの一部を印加することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
11. 基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
    請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
    吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
12. 基板上に区画形成された複数の膜形成領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
    請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
    吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。

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