KR20190115339A - 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치 - Google Patents

Abstract

예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 수용 어셈블리, 약액 공급부, 약액 배출부, 및 약액 토출부를 포함할 수 있다. 상기 약액 수용 어셈블리는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 몸체부와, 상기 몸체부의 바닥면에 상기 약액이 플로우되는 제1 방향을 따라 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비되는 경사부와, 상기 제1 방향과는 평행하지 않는 제2 방향으로 상기 몸체부의 공간이 적어도 두 군데 공간으로 구획되게 격벽 구조를 갖도록 구비되는 구획부와, 상기 구획부의 일측 아래쪽 단부에 상기 약액의 플로우가 이루어지게 개방 구조를 갖도록 구비되는 플로우부로 이루어질 수 있다. 상기 약액 공급부는 상기 몸체부로 상기 약액을 공급하도록 상기 몸체부의 일측에 연결될 수 있다. 상기 약액 배출부는 상기 몸체부로부터 상기 약액을 배출하도록 상기 몸체부의 타측에 가까운 바닥에 연결될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 몸체부에 수용되는 약액을 기판 상에 토출할 수 있게 상기 약액 배출부와 연결되도록 구비될 수 있다.

Description

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{Assembly for Storing Chemical and Apparatus for Dispensing Chemical having the same}

본 발명은 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리 및 잉크젯 방식으로 약액을 토출하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.

액정 표시 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에서는 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위하여 기판 상에 약액을 도포하는 공정을 수행한다. 약액 도포 공정에서는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 토출하는 약액 토출 장치를 사용한다.

그리고 약액 토출 장치를 사용하는 약액의 토출시 약액에 기포가 존재할 경우에는 불량 원인으로 작용하기 때문에 약액 토출 공정에서는 기포를 관리 대상으로 취급하고 있다.

본 발명의 일 과제는 약액을 충분하게 플로우시킴에 의해 약액에 기포가 존재하는 것을 최소화할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 약액을 충분하게 플로우시킴에 의해 약액에 기포가 존재하는 것을 최소화할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 포함하는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 몸체부, 경사부, 구획부, 및 플로우부를 포함할 수 있다. 상기 몸체부는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 경사부는 상기 몸체부의 바닥면에 상기 약액이 플로우되는 제1 방향을 따라 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 구획부는 상기 제1 방향과는 평행하지 않는 제2 방향으로 상기 몸체부의 공간이 적어도 두 군데 공간으로 구획되게 격벽 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 플로우부는 상기 구획부의 일측 아래쪽 단부에 상기 약액의 플로우가 이루어지게 개방 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 경사부의 제1 방향과 상기 구획부의 제2 방향은 서로 수직하게 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구획부는 두 개 이상이 구비될 수 있고, 상기 구획부가 두 개 이상 구비될 때 상기 플로우부는 서로 다른쪽 단부 각각에 배치될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 경사부는 상기 플로우부가 배치되는 선상에만 형성될 수 있다.

상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 수용 어셈블리, 약액 공급부, 약액 배출부, 및 약액 토출부를 포함할 수 있다. 상기 약액 수용 어셈블리는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 몸체부와, 상기 몸체부의 바닥면에 상기 약액이 플로우되는 제1 방향을 따라 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비되는 경사부와, 상기 제1 방향과는 평행하지 않는 제2 방향으로 상기 몸체부의 공간이 적어도 두 군데 공간으로 구획되게 격벽 구조를 갖도록 구비되는 구획부와, 상기 구획부의 일측 아래쪽 단부에 상기 약액의 플로우가 이루어지게 개방 구조를 갖도록 구비되는 플로우부로 이루어질 수 있다. 상기 약액 공급부는 상기 몸체부로 상기 약액을 공급하도록 상기 몸체부의 일측에 연결될 수 있다. 상기 약액 배출부는 상기 몸체부로부터 상기 약액을 배출하도록 상기 몸체부의 타측에 가까운 바닥에 연결될 수 있다. 상기 약액 토출부는 상기 몸체부에 수용되는 약액을 기판 상에 토출할 수 있게 상기 약액 배출부와 연결되도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 경사부의 제1 방향과 상기 구획부의 제2 방향은 서로 수직하게 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구획부는 두 개 이상이 구비될 수 있고, 상기 구획부가 두 개 이상 구비될 때 상기 플로우부는 서로 다른쪽 단부 각각에 배치될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 경사부는 상기 플로우부가 배치되는 선상에만 형성될 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 몸체부의 바닥면을 경사지는 구조로 구비함과 아울러 격벽 구조를 사용하여 몸체부를 적어도 두 군데 공간으로 구획함으로써 약액을 경사지는 구조 및 격벽 구조를 따라 플로우시킬 수 있기 때문에 몸체부에 수용되는 약액이 정체되는 상황을 사전에 차단할 수 있다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 몸체부 내에 수용되는 약액이 정체되지 않고 지속적으로 플로우됨으로써 약액 내에 기포가 존재하는 것을 최소화할 수 있다.

또한, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 펌프 등을 사용하지 않고 경사 구조 및 격벽 구조만으로 약액 내에 기포가 존재하는 것을 최소화할 수 있기 때문에 장치의 추가적 구성의 생략에 따른 비용 절감을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 유지 보수의 효율성 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제1 구획부 및 제1 플로우부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제2 구획부 및 제2 플로우부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 1의 약액 수용 어셈블리에 수용되는 약액이 플로우되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 기판 상에 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위한 약액을 수용하는 부재로써, 몸체부(11), 경사부(13), 구획부(15), 플로우부(24) 등을 포함할 수 있다.

몸체부(11)는 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 것으로써, 후술하는 도 5의 약액 토출 장치에서의 약액 공급부(21) 및 약액 배출부(23)와 연결되도록 구비될 수 있다.

특히, 도 1에서와 같이 약액 공급부(21)는 몸체부(11)의 일측에 연결되도록 구비될 수 있고, 약액 배출부(23)는 약액 공급부(21)가 구비되는 몸체부(11)의 일측과 반대쪽, 즉 몸체부(11)의 타측과 가까운 바닥에 연결되도록 구비될 수 있다. 이와 달리, 약액 공급부(21)는 몸체부(11)의 상부에 연결되도록 구비될 수도 있다.

경사부(13)는 몸체부(11)의 바닥면에 형성되는 것으로써, 몸체부(11)에 수용되는 약액이 플로우되는 방향을 따라 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 경사부(13)는 약액 공급부(21)가 연결되는 몸체부(11)의 일측으로부터 약액 배출부(23)가 근방에 연결되는 몸체부(11)의 타측으로 갈수록 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.

그리고 몸체부(11)에 수용되는 약액이 플로우되는 방향은 제1 방향으로 정의할 수 있다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 몸체부(11)의 바닥면에 약액이 플로우되는 제1 방향을 따라 아래쪽을 경사지는 구조를 갖도록 경사부(13)를 구비함으로써 약액 공급부(21)를 통하여 몸체부(11)에 수용되는 약액이 약액 배출부(23)로 보다 용이하게 플로우될 수 있다.

구획부(15)는 몸체부(11)의 공간을 구획하도록 구비되는 것으로써, 몸체부(11)의 공간이 적어도 두 군데 공간으로 구획되게 격벽 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 몸체부(11)의 공간을 두 군데로 구획할 경우에는 구획부(15)를 한 개 구비하면 될 것이고, 몸체부(11)의 공간을 세 군데로 구획할 경우에는 구획부(15)를 두 개 구비하면 될 것이고, 몸체부(11)의 공간을 네 군데로 구획할 경우에는 구획부(15)를 세 개 구비하면 될 것이다. 다시 말해, 구획부(15)의 개수는 몸체부(11)의 공간을 몇 군데로 구획하고자 하느냐에 달려 있는 것으로써, 구획하고자 하는 몸체부(11)의 공간 개수보다 하나 적게 구획부(15)를 구비하면 된다.

그리고 구획부(15)는 제1 방향과는 평행하지 않는 방향, 즉 제2 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다. 특히, 예시적인 실시예들에서의 구획부(15)는 제1 방향과 서로 수직하는 방향으로 배치되도록 구비될 수 있다. 또한, 예시적인 실시예들에서의 구획부(15)는 몸체부(11)의 공간을 세 군데로 구획하도록 제1 구획부(17) 및 제2 구획부(19)로 이루어지도록 구비될 수 있다.

플로우부(24)는 구획부(15)의 일측 아래쪽 단부에 약액의 플로우가 이루어지게 개방 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 플로우부(24)는 몸체부(11)에 구획부(15)를 배치할 경우 적어도 두 군대로 구획되는 몸체부(11)의 공간을 연결하는 통로 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다. 그리고 플로우부(24)는 약액의 플로우가 경사부(13)를 따라 이루어질 수 있도록 경사부(13)와 면접하는 구획부(15)의 일측 아래쪽 단부가 개방된 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

도 2는 도 1의 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제1 구획부 및 제1 플로우부를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 1의 약액 수용 어셈블리에 구비되는 제2 구획부 및 제2 플로우부를 설명하기 위한 도면이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에서와 같이 구획부(15)가 제1 구획부(17) 및 제2 구획부(19)로 이루어질 경우 제1 플로우부(25) 및 제2 플로우부(27)는 서로 다른쪽 단부 각각에 배치되도록 구비될 수 있다. 즉, 제1 플로우부(25)가 제1 구획부(17)를 기준으로 일측 아래쪽 단부에 구비될 경우 제2 플로우부(27)는 제1 구획부(17)와 반대쪽인 제2 구획부(19)의 타측 아래쪽 단부에 구비될 수 있는 것이다. 다시 말해, 구획부(15)가 두 개 이상 구비될 경우 플로우부(24)는 서로 다른쪽 단부 각각에 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 지그재그 형태의 배치 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 구획부(15)를 구비하여 몸체부(11)의 공간을 구획함과 아울러 플로우부(24)를 구비하여 몸체부(11)에 수용되는 약액을 지그재그 형태를 갖도록 플로우시킴으로써 약액 공급부(21)를 통하여 몸체부(11)에 수용되는 약액을 약액 배출부(23)로 보다 역동적으로 플로우시킬 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 경사부(13)는 바닥면 전체 영역에 구비될 수도 있고, 플로우부(24)가 배치되는 선상에만 형성될 수도 있다. 즉, 경사부(13)는 몸체부(11)에 수용되는 약액을 원활하게 플로우시킬 수 있는 구조일 경우에는 그 배치 영역을 한정하지 않는다.

또한, 제1 구획부(17)에 형성되는 제1 플로우부(25)가 액체 공급부와 동일 선상에서 서로 마주하게 배치될 경우 액체 공급부를 통하여 몸체부(11)로 공급되는 약액이 제1 구획부(17)를 순환하지 못하고 제1 플로우부(25)를 곧바로 통과함으로써 제1 구획부(17)의 설치 기능을 충분하게 달성하지 못할 수 있다. 따라서 몸체부(11)에 수용되는 약액의 플로우를 기준으로 첫 번째 배치되는 제1 구획부(17)에 형성되는 제1 플로우부(25)는 액체 공급부와 마주하지 않도록 배치되는 것이 바람직하다.

이에, 예시적인 실시예들에서는 후술하는 도 4에서와 같이 약액 공급부(21)와 제1 플로우부(25)를 몸체부(11)를 기준으로 서로 가장 멀리 배치하는 것이다.

이하, 도 1의 약액 수용 어셈블리에 수용되는 약액이 플로우되는 상황에 대하여 설명하기로 한다.

도 4는 도 1의 약액 수용 어셈블리에 수용되는 약액이 플로우되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.

도 4를 참조하면, 약액 공급부(21)를 통하여 몸체부(11)로 약액이 공급된다. 이에, 몸체부(11)로 공급되어 수용되는 약액은 제1 구획부(17)의 일측으로부터 제1 구획부(17)의 타측까지 플로우된다. 그리고 약액은 제1 구획부(17)의 타측 아래쪽 단부에 형성되는 제1 플로우부(25)를 통하여 플로우된다. 이때, 제1 플로우부(25)의 바닥면 또는 몸체부(11)의 전체 바닥면에 경사지는 구조, 즉 경사부(13)가 형성되어 있기 때문에 약액은 보다 원활하게 플로우될 수 있다.

그리고 제1 플로우부(25)를 통하여 플로우되는 약액은 제2 구획부(19)의 타측으로부터 제2 구획부(19)의 일측까지 플로우된다. 이어서, 약액은 제2 구획부(19)의 일측 아래쪽 단부에 형성되는 제2 플로우부(27)를 통하여 플로우된다. 마찬가지로, 제2 플로우부(27)의 바닥면 또는 몸체부(11)의 전체 바닥면에 경사지는 구조, 즉 경사부(13)가 형성되어 있기 때문에 약액은 보다 원활하게 플로우될 수 있다.

이와 같이, 제2 플로우부(27)를 통하여 플로우되는 약액은 약액 배출부(23)를 통하여 후술하는 액적 토출부로 배출되고, 그리고 액적 토출부에 의해 기판 상에 토출될 수 있다.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 경사부(13)를 구비함으로써 몸체부(11)에 수용되는 약액을 약액 배출부(23)로 보다 용이하게 플로우시킬 수 있고, 그리고 구획부(15) 및 플로우부(24)를 구비함으로써 몸체부(11)에 수용되는 약액을 약액 배출부(23)로 보다 역동적으로 플로우시킬 수 있다.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 몸체부(11)에 수용되는 약액이 정체되지 않고 용이하고 역동적으로 플로우될 수 있는 구조를 가짐으로써 약액에 기포가 존재하는 것을 방지할 수 있고, 나아가 기존에 몸체부(11)에 수용되는 약액과 약액 공급부(21)를 통하여 신규로 몸체부(11)에 공급되는 약액이 원활하게 혼합되는 것까지도 기대할 수 있다.

특히, 예시적인 실시예들에 다른 약액 수용 어셈블리(100)는 펌프 등을 사용하지 않고 경사 구조 및 격벽 구조만으로 약액 내에 기포가 존재하는 것을 최소화할 수 있고, 약액이 정체되는 것을 방지할 수 있기 때문에 장치의 추가적 구성의 생략에 따른 비용 절감과 함께 유지 보수의 효율성 향상까지도 기대할 수 있을 것이다.

이하, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 대하여 설명하기로 한다.

그리고 이하에서의 약액 토출 장치에 구비되는 약액 수용 어셈블리는 도 1에서의 약액 수용 어셈블리와 동일 구성을 갖기 때문에 동일 구성 요소에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 5는 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 5를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(500)는 기판 상에 약액을 토출, 즉 컬러 필터, 배향막 등을 형성하기 위하여 기판 상에 약액을 도포하는 공정을 수행하기 위한 것으로써, 약액 토출 장치(500)는 약액 수용 어셈블리(100), 약액 공급부(21), 약액 배출부(23), 약액 토출부(300) 등을 포함할 수 있다.

특히, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(500)는 잉크젯 방식으로 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 이에, 약액 수용 어셈블리(100)는 레저버(reservoir)로 명명할 수도 있을 것이고, 약액 토출부(300)는 잉크젯 헤드로 명명할 수도 있을 것이다.

약액 공급부(21)는 약액 수용 어셈블리(100)로 약액을 공급하기 위한 것으로써, 약액을 저장하는 약액 저장부(200)와 약액 수용 어셈블리(100) 사이에 연결되는 유로 구조를 갖는 연결 라인으로 구비될 수 있고, 약액의 공급시 약액의 플로우를 개폐할 수 있는 밸브 등이 추가적으로 구비될 수 있다.

약액 배출부(23)는 약액 수용 어셈블리(100)에 수용되는 약액을 약액 토출부(300)로 배출하기 위한 것으로써, 기판 상에 약액을 토출하는 약액 토출부(300)와 약액 수용 어셈블리(100) 사이에 연결되는 유로 구조를 갖는 연결 라인으로 구비될 수 있고, 약액의 배출시 약액의 플로우를 개폐할 수 있는 밸브 등이 추가적으로 구비될 수 있다.

약액 토출부(300)는 기판 상에 약액을 토출하기 위한 것으로써, 그 일면에 약액을 토출할 수 있는 노즐이 다수개 구비될 수 있는데, 예를 들면 128개 또는 256개의 노즐이 구비될 수 있다. 그리고 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, ㎍ 단위의 양으로 약액을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 그리고 약액 토출부(300)에서의 노즐에는 노즐에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 이에 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐을 통하여 액적을 토출시킬 수 있다. 또한, 노즐로부터 토출되는 약액량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(500)의 경우에도 도 1에서의 약액 수용 어셈블리(100)를 구비함으로써 몸체부(11)에 수용되는 약액을 정체되지 않고 용이하고 역동적으로 플로우시킬 수 있기 때문에 약액에 기포가 존재하는 것을 방지할 수 있고, 그 결과 기판 상에 약액의 토출시 기포로 인한 불량을 최소화할 수 있다.

예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 배향막, 컬러 필터 등이 형성을 요하는 액정 표시 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 몸체부 13 : 경사부
15 : 구획부 21 : 약액 공급부
23 : 약액 배출부 24 : 플로우부
100 : 약액 수용 어셈블리
200 : 약액 저장부 300 : 약액 토출부
500 : 약액 토출 장치

Claims (8)

1. 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 몸체부;
   상기 몸체부의 바닥면에 상기 약액이 플로우되는 제1 방향을 따라 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비되는 경사부;
   상기 제1 방향과는 평행하지 않는 제2 방향으로 상기 몸체부의 공간이 적어도 두 군데 공간으로 구획되게 격벽 구조를 갖도록 구비되는 구획부; 및
   상기 구획부의 일측 아래쪽 단부에 상기 약액의 플로우가 이루어지게 개방 구조를 갖도록 구비되는 플로우부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 경사부의 제1 방향과 상기 구획부의 제2 방향은 서로 수직하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
3. 제1 항에 있어서,
   상기 구획부는 두 개 이상이 구비되고, 상기 구획부가 두 개 이상 구비될 때 상기 플로우부는 서로 다른쪽 단부 각각에 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
4. 제1 항에 있어서,
   상기 경사부는 상기 플로우부가 배치되는 선상에만 형성되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
5. 기판으로 토출하기 위한 약액을 수용하는 공간을 제공하도록 구비되는 몸체부와, 상기 몸체부의 바닥면에 상기 약액이 플로우되는 제1 방향을 따라 아래쪽으로 경사지는 구조를 갖도록 구비되는 경사부와, 상기 제1 방향과는 평행하지 않는 제2 방향으로 상기 몸체부의 공간이 적어도 두 군데 공간으로 구획되게 격벽 구조를 갖도록 구비되는 구획부와, 상기 구획부의 일측 아래쪽 단부에 상기 약액의 플로우가 이루어지게 개방 구조를 갖도록 구비되는 플로우부로 이루어지는 약액 수용 어셈블리;
   상기 몸체부로 상기 약액을 공급하도록 상기 몸체부의 일측에 연결되는 약액 공급부;
   상기 몸체부로부터 상기 약액을 배출하도록 상기 몸체부의 타측에 가까운 바닥에 연결되는 약액 배출부; 및
   상기 몸체부에 수용되는 약액을 기판 상에 토출할 수 있게 상기 약액 배출부와 연결되도록 구비되는 약액 토출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
6. 제5 항에 있어서,
   상기 경사부의 제1 방향과 상기 구획부의 제2 방향은 서로 수직하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
7. 제5 항에 있어서,
   상기 구획부는 두 개 이상이 구비되고, 상기 구획부가 두 개 이상 구비될 때 상기 플로우부는 서로 다른쪽 단부 각각에 배치되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
8. 제5 항에 있어서,
   상기 경사부는 상기 플로우부가 배치되는 선상에만 형성되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.

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