JP5041827B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
このように複数のポンプ、脱気モジュール、フィルター、エアベントタンク及び液供給タンクを具備することで、色替えが素早く行える。
次に、バルブ6a、9a、14aを開とし、残りのバルブを閉とし、この状態で、ポンプ19を駆動して循環液配管9から液の供給配管6に液を送り込む。この液は新液ではなくある程度使用して未だ洗浄力が残っている液でよい。
Claims (2)
- 下端部に形成したスリット状吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルを組み込み、前記スリットノズルの一端部には液の供給ポートが設けられ、他端部には液の供給兼排出ポートが設けられ、これらポートには液の供給配管が接続され、この液の供給配管にはバルブの切換えによって異なる系統からの塗布液および洗浄液が供給可能とされた塗布装置であって、
前記スリットノズルまたはスリットノズルを支持するフレームには、前記バルブが組み込まれたバルブユニットが配置され、このバルブユニットの左右に前記異なる系統ごとのポンプが配置され、これらポンプはエア抜きのために斜めに固定されていることを特徴とする塗布装置。
- 請求項1に記載の塗布装置において、前記液の供給兼排出ポートからの液を排出する排出配管は途中で分岐し、一方の分岐管は前記供給配管に繋がって循環路を形成することを特徴とする塗布装置。
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