TW201718099A - 利用雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置 - Google Patents

Abstract

化學品塗佈裝置包括：清洗液傳遞部件，位於底板上，能夠傳遞清洗液；清洗液噴頭，設置於清洗液傳遞部件的下部；蓋部件，設置於底板的下部及兩側部，用於覆蓋清洗液噴頭；以及雙重狹縫噴嘴，在清洗液傳遞部件的前端部借助連接部件與底板相連接，能夠排出清洗液及化學品。雙重狹縫噴嘴包括：化學品狹縫噴嘴部，具有向狹縫排出口引導化學品的化學品排出流路，用於向外部排出化學品；清洗液狹縫噴嘴部，位於化學品狹縫噴嘴部的一側，並具有用於向狹縫排出口的內部引導清洗液的清洗液排出流路，且清洗液狹縫噴嘴部用於清洗狹縫排出口的內部；以及狹縫噴嘴結合部，用於結合化學品狹縫噴嘴部及清洗液狹縫噴嘴部。

Description

利用雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置

本發明涉及化學品塗佈裝置，更詳細地涉及利用用於化學品塗佈的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置。

在電子元件的製造中，需要在液晶用玻璃基板、半導體基板、膜液晶用柔性基板、光罩（photomask）用基板、彩色濾光器（Color Filter）用基板、太陽能電池用基板、有機電激發光顯示器（Organic Electro Luminescence Display）用基板等（以下稱為被處理基板）塗佈如塗佈光阻劑或黏結劑等化學品（或漿料）的步驟。

用於塗佈化學品的化學品塗佈裝置包括用於塗佈化學品的狹縫噴嘴。狹縫噴嘴向狹縫形狀的狹縫排出口排出化學品。但是，隨著進行塗佈製程，位於狹縫噴嘴的下部的狹縫排出口由因化學品的黏度而導致化學品層疊及附著於狹縫排出口，有可能口徑變小或甚至堵塞狹縫排出口。

本發明要解決的問題在於，提供可防止狹縫排出口的口徑變小或堵塞的現象的利用雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置。

為了解決上述問題，基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置包括：清洗液傳遞部件，位於底板上，能夠傳遞清洗液；清洗液噴頭，設置於清洗液傳遞部件的下部；蓋部件，設置於底板的下部及兩側部，用於覆蓋清洗液噴頭；以及雙重狹縫噴嘴，在清洗液傳遞部件的前端部借助連接部件與底板相連接，能夠排出清洗液及化學品。

雙重狹縫噴嘴包括：化學品狹縫噴嘴部，具有向狹縫排出口引導化學品的化學品排出流路，用於向外部排出化學品；清洗液狹縫噴嘴部，位於化學品狹縫噴嘴部的一側，並具有用於向狹縫排出口的內部引導清洗液的清洗液排出流路，清洗液狹縫噴嘴部用於清洗狹縫排出口的內部；以及狹縫噴嘴結合部，用於結合化學品狹縫噴嘴部及清洗液狹縫噴嘴部。

在本發明一實施例中，化學品排出流路與化學品流入口相連接，化學品排出流路可包括設置於化學品狹縫噴嘴部的內部的第一空間區域。構成化學品排出流路的第一空間區域可從化學品流入口向狹縫排出口方向以多級的階梯形態傾斜而成。

在本發明一實施例中，清洗液狹縫噴嘴部可包括：清洗液狹縫噴嘴本體部，結合於化學品狹縫噴嘴部的內側，清洗液狹縫噴嘴本體部具有用於向狹縫排出口的內部引導清洗液的第一清洗液排出流路；以及狹縫噴嘴蓋部，結合於清洗液狹縫噴嘴本體部的內側，狹縫噴嘴蓋部可限定與第一清洗液排出流路相連接，來向狹縫排出口的內部引導清洗液的第二清洗液排出流路。第一清洗液排出流路與清洗液流入口相連接，第一清洗液排出流路可包括設置於清洗液狹縫噴嘴本體部的內部的第二空間區域。

在本發明一實施例中，清洗液狹縫噴嘴本體部的內側下部可包括向狹縫排出口方向傾斜而成的本體傾斜部，狹縫噴嘴蓋部的內側下部與本體傾斜部相對應來可包括蓋傾斜部，第二清洗液排出流路可以為本體傾斜部和蓋傾斜部的邊界面。

基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置包括：清洗液傳遞部件，位於底板上，能夠傳遞清洗液；清洗液噴頭，設置於清洗液傳遞部件的下部；蓋部件，設置於底板的下部及兩側部，用於覆蓋清洗液噴頭；以及雙重狹縫噴嘴，可在清洗液傳遞部件的前端部借助連接部件與底板相連接，能夠排出清洗液及化學品。

雙重狹縫噴嘴包括：化學品狹縫噴嘴部，沿著排出化學品的排出長度方向具有化學品排出流路，用於向外部排出化學品，化學品排出流路從上部的化學品流入口向狹縫排出口引導化學品，狹縫排出口在狹縫排出口的下部向長度方向具有排出長度，向寬度方向具有排出寬度；清洗液狹縫噴嘴部，結合於化學品狹縫噴嘴部，並具有向狹縫排出口的內部引導清洗液的清洗液排出流路，清洗液狹縫噴嘴部用於清洗狹縫排出口的內部；以及狹縫噴嘴結合部，用於結合化學品狹縫噴嘴部及清洗液狹縫噴嘴部。

清洗液狹縫噴嘴部包括：清洗液狹縫噴嘴本體部，結合於化學品狹縫噴嘴部的內側，沿著排出長度方向具有第一清洗液排出流路，第一清洗液排出流路從上部的清洗液流入口向下部的狹縫排出口的內部引導清洗液；以及狹縫噴嘴蓋部，用於與第一清洗液排出流路的下端部相連接，來向狹縫排出口的內部引導清洗液，沿著排出長度方向限定第二清洗液排出流路。

在本發明一實施例中，在化學品狹縫噴嘴部的內側形成有化學品排出流路，化學品排出流路在化學品狹縫噴嘴部的內部包括第一空間區域，第一空間區域述第一空間區域從化學品流入口向狹縫排出口方向以多級的階梯形態傾斜而成。

在本發明一實施例中，清洗液狹縫噴嘴本體部的外側可與化學品狹縫噴嘴部的化學品排出流路相接觸，清洗液藉由的第二空間區域可設置於清洗液狹縫噴嘴本體部的內側。

在本發明一實施例中，狹縫噴嘴蓋部的內側可與清洗液狹縫噴嘴本體部的第二空間區域相接觸，狹縫噴嘴蓋部的內側可限定第二清洗液排出流路。

基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置包括：清洗液傳遞部件，位於底板上，能夠傳遞清洗液；清洗液噴頭，設置於清洗液傳遞部件的下部；蓋部件，設置於底板的下部及兩側部，用於覆蓋清洗液噴頭；以及雙重狹縫噴嘴，在清洗液傳遞部件的前端部借助連接部件與底板相連接，能夠排出清洗液及化學品。

雙重狹縫噴嘴包括：化學品狹縫噴嘴部，具有向狹縫排出口引導化學品的化學品排出流路，用於向外部排出化學品；清洗液狹縫噴嘴部，位於化學品狹縫噴嘴部的一側，並具有用於向狹縫排出口的內部引導清洗液的清洗液排出流路，用於清洗狹縫排出口的內部；以及狹縫噴嘴結合部，用於結合化學品狹縫噴嘴部及清洗液狹縫噴嘴部。噴嘴清洗液供給管線與清洗液傳遞部件相連接，噴嘴清洗液供給管線與雙重狹縫噴嘴的清洗液流入口相連接，在清洗液流入口設置有用於防止化學品的逆流的止回閥。

在本發明一實施例中，在雙重狹縫噴嘴可設置有化學品流入口，用於供給化學品的化學品供給管線可與化學品流入口相連接。

在本發明一實施例中，雙重狹縫噴嘴可藉由設置於連接部件的引導槽向水準方向及旋轉方向移動。

雙重狹縫噴嘴可藉由設置於連接部件的引導槽向水準方向及旋轉方向移動。

利用於基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴包括：化學品狹縫噴嘴部，用於向狹縫排出口引導化學品；以及清洗液狹縫噴嘴部，具有向狹縫排出口引導清洗液的清洗液排出流路。

利用於基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴包括清洗液狹縫噴嘴部，從而即使因化學品層疊於狹縫排出口而導致狹縫排出口的直徑減少或狹縫排出口堵塞，也可藉由清洗液狹縫噴嘴部來流入清洗液而進行清洗。

基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置在清洗液傳遞部件的前端部中連接雙重狹縫噴嘴，在噴嘴清洗液供給管線626設置止回閥C/V，由此可防止向噴嘴清洗液供給管線逆流的化學品。

以下參照圖式，對本發明的優選實施例進行詳細說明。

本發明的實施例用於使本發明所屬技術領域的普通技術人員更加完整地理解本發明，以下實施例能夠以多種不同的形態變形，本發明的範圍並不局限於以下實施例。反而，這些實施例使本發明的公開內容更加完整，使本發明所屬技術領域的普通技術人員完整地理解本發明的思想。並且，在圖式中，為了說明的便利及明確性，各層的厚度或大小有所誇張。

在說明書全文中，當涉及如膜、區域或基板等一個結構要素位於其他結構要素“上”、“相連接”或“相偶聯”時，可解釋為上述一個結構要素直接與其他結構要素“上”、“相連接”或“相偶聯”來相接觸或存在介入其之間的另一結構要素。相反，當涉及到一個結構要素位於“直接地上”、“直接相連接”或“直接相偶聯”時，解釋為不存在介入其之間的其他結構要素。相同的圖式標記表示相同的要素。

在本說明書中，“第一”、“第二”等術語用於說明多種部件、配件、區域、多個層和/或多個部分，但這種部件、配件、區域、多個層和/或多個部分不應局限於這些術語，這是顯而易見的。這些術語僅用於區別一個部件、配件、區域、層或部分和另一區域、層或部分。因此，以下詳細說明的第一部件、配件、區域、層或部分在不脫離本發明的教導的情況下，也可表示第二部件、配件、區域、層或部分。

並且，如“上的”或“上側”及“下的”或“下側”等相對術語在圖式中進行圖解可用於說明對其他要素的任何要素的關係。相對術語可理解為意圖追加於在圖式中進行描寫的方向來包括元件的其他方向。例如，在圖式中若元件翻過來（turned over），則描寫成位於其他結構要素的上部的面上的要素具有在上述其他結構要素的下部的面上具有方向。因而，作為例，“上的”術語依賴於圖式的特定方向，可包括“下的”及“上的”方向。若元件朝向其他方向（相對於其他方向旋轉90度），則在本說明書中所使用的說明可根據上述進行解釋。

在本說明書中所使用的術語用於說明特定的實施例，而並不用於限制本發明。如在本說明書中所使用的，除非在文脈上明確指出其他情況，那麼單數形態就可以包括複數形態。並且，在本說明書中使用的情況下，“包括（comprise）”和/或“包括的（comprising）”特定所提及的多個形狀、數字、步驟、動作、部件、要素和/或它們的組的存在，並不排除一個以上的其他形狀、數字、動作、部件、要素和/或多個組的存在或添加。

參照簡要示出本發明的理想的實施例的圖式來對以下的本發明的實施例進行說明。在圖式中，例如，可預計根據製造技術和/或公差（tolerance）示出的形狀的多個變形。因此，本發明思想的實施例不能解釋為限制於在本說明書中示出的區域的特定形狀，例如，需要包括在製造過程中導致的形狀的變化。以下的本發明的實施例可實現為任一個，並且，可藉由組合一個以上來實現以下多個實施例。

第1圖為用於說明基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴的局部剖視圖，第2圖為第1圖的雙重狹縫噴嘴的分解立體圖，第3a至3c圖為示出構成第2圖的雙重狹縫噴嘴的化學品狹縫噴嘴部及清洗液狹縫噴嘴部的多個立體圖。

具體地，雙重狹縫噴嘴100可包括：化學品狹縫噴嘴部110，用於排除化學品，例如排出光刻膠或黏結劑；清洗液狹縫噴嘴部150，可排出清洗液，例如可排出有機溶劑，以便清洗黏結或層疊於狹縫排出口106的化學品；以及狹縫噴嘴結合部160，用於結合化學品狹縫噴嘴部110及清洗液狹縫噴嘴部150。

在本實施例中，雙重狹縫噴嘴100可意味著單獨地構成兩個狹縫噴嘴部，即，用於排出化學品的化學品狹縫噴嘴部110和可用於排出清洗液的清洗液狹縫噴嘴部150。

在第1圖中，X軸方向可以為用於排出化學品或清洗液的排出長度方向，Y軸方向可以為用於排出化學品或清洗液的排出寬度方向，Z軸方向可以為化學品或清洗液從上部向下部流動的方向。狹縫排出口106在狹縫排出口106的下部可具有排出長度，向寬度方向可具有排出寬度。

化學品狹縫噴嘴部110可具有化學品排出流路104，化學品排出流路104用於從化學品供給部接收化學品來向狹縫排出口106引導化學品。可沿著排出化學品的排出長度方向（X軸方向）設置化學品排出流路104。第3a圖為示出化學品狹縫噴嘴部110。化學品排出流路104可與化學品流入口102相連接。化學品流入口102可以為接收化學品的部分。

化學品排出流路104可設置於化學品狹縫噴嘴部110的內側107（第2及3a圖）。化學品排出流路104可包括設置於化學品狹縫噴嘴部110的內部的第一空間區域1S。構成化學品排出流路104的第一空間區域1S可大於化學品流入口102的截面積。可藉由以第一空間區域1S的截面積大於化學品流入口102的截面積的方式構成，來向狹縫排出口106順暢地移送化學品來排出。

構成化學品排出流路104的第一空間區域1S可從化學品流入口102向狹縫排出口方向106以多級的階梯形態傾斜而成。在以多級的階梯形態構成化學品排出流路104的第一空間區域1S的情況下，可向狹縫排出口106順暢地移送化學品來排出。

清洗液狹縫噴嘴部150可具有清洗液排出流路124、126，清洗液排出流路124、126位於化學品狹縫噴嘴部110的一側，用於向狹縫排出口106引導清洗液。清洗液排出流路124、126可沿著排出長度方向（X軸方向）設置。清洗液狹縫噴嘴部150可包括清洗液狹縫噴嘴本體部130和狹縫噴嘴蓋部140。第3b圖示出構成清洗液狹縫噴嘴部150的清洗液狹縫噴嘴本體部130，第3c圖示出構成清洗液狹縫噴嘴部150的狹縫噴嘴蓋部140。

清洗液狹縫噴嘴本體部130可結合於化學品狹縫噴嘴部110的內側107（第2及3a圖），清洗液狹縫噴嘴本體部130可包括用於向狹縫排出口106引導清洗液的第一清洗液排出流路124。如上所述，第一清洗液排出流路124可沿著排出長度方向（X軸方向）設置。清洗液狹縫噴嘴本體部130的外側125（第2及3b圖）能夠以化學品狹縫噴嘴部110的內側107（第2及3a圖）相接觸的方式結合。清洗液狹縫噴嘴本體部的內側127（第2及3b圖）下部可包括向狹縫排出口106方向傾斜而成的本體傾斜部129（第2及3b圖）。在本實施例中，化學品狹縫噴嘴部110的內側107（第2及3a圖）是與化學品藉由的部分相對應的。清洗液狹縫噴嘴本體部130的內側是與清洗液藉由的部分相對應的。

第一清洗液排出流路124可與清洗液流入口122相連接。清洗液流入口122可以為接收清洗液的部分。第一清洗液排出流路124可包括設置於清洗液狹縫噴嘴本體部130的內部的第二空間區域2S。清洗液藉由的第二空間區域2S可設置於清洗液狹縫噴嘴本體部130的內側127（第2及3b圖）。

構成第一清洗液排出流路124的第二空間區域2S可大於清洗液流入口122的截面積。可藉由第二空間區域2S的截面積大於清洗液流入口122的截面積，來向狹縫排出口106順暢地移送化學品來排出。

狹縫噴嘴蓋部140結合於清洗液狹縫噴嘴本體部的內側，狹縫噴嘴蓋部140限定與第一清洗液排出流路124相連接來向狹縫排出口106引導清洗液的第二清洗液排出流路126。如上所述，第二清洗液排出流路126可沿著排出長度方向（X軸方向）設置。

狹縫噴嘴蓋部140的內側144（第2及3c圖）能夠以與清洗液狹縫噴嘴本體部130的內側127（第2及3b圖）相接觸的方式進行結合。狹縫噴嘴蓋部140的內側144（第2及3c圖）與清洗液狹縫噴嘴本體部130的第二空間區域2S相接觸，狹縫噴嘴蓋部140的內側144（第2及3c圖）可限定第二清洗液排出流路126。狹縫噴嘴蓋部140下端部可藉由與化學品狹縫噴嘴部110相接觸來限定狹縫排出口106。

狹縫噴嘴蓋部140的內側144（第2及3c圖）的下部可與清洗液狹縫噴嘴本體部的本體傾斜部129（第2及3b圖）相對應來包括蓋傾斜部142（第2及3c圖）。第二清洗液排出流126可以為清洗液狹縫噴嘴本體部的本體傾斜部129（第2及3b圖）和蓋傾斜部142（第2及3c圖）邊界面。在本實施例中，狹縫噴嘴蓋部140的內側144（第2及3c圖）是與清洗液藉由的部分相對應的。

狹縫噴嘴結合部160可以為用於結合化學品狹縫噴嘴部110及清洗液狹縫噴嘴部150的部件。狹縫噴嘴結合部160可以為形成於結合口162的結合單元，結合口162形成於化學品狹縫噴嘴部110及清洗液狹縫噴嘴部150。

第4圖是為了說明基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴的化學品及清洗液的流動而示出的剖視圖。

具體地，在基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴100中，化學品506可從化學品供給部170向化學品狹縫噴嘴部110的化學品流入口102流入。流入的化學品506可經由化學品排出流路104並藉由狹縫排出口106來向外部排出。如上所述，化學品排出流路104可以為設置於化學品狹縫噴嘴部110的內部的第一空間區域1S。

並且，在基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴100中，清洗液507可從清洗液供給部180向清洗液狹縫噴嘴部150的清洗液流入口122流入。如上所述，清洗液狹縫噴嘴部150可包括清洗液狹縫噴嘴本體部130和狹縫噴嘴蓋部140。

流入的清洗液507可經由借助清洗液狹縫噴嘴本體部130和狹縫噴嘴蓋部140限定的第一清洗液排出流路124及第二清洗液排出流路126，並藉由狹縫排出口106向外部排出。如上所述，第一清洗液排出流路124可以為設置於清洗液狹縫噴嘴本體部130的內部的第二空間區域2S。

如上所述，基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴100不僅可包括具有化學品排出流路104的化學品狹縫噴嘴部110，化學品排出流路104用於向狹縫排出口106引導化學品506，而且可包括具有清洗液排出流路124、126的清洗液狹縫噴嘴部150，清洗液排出流路124、126用於向狹縫排出口106引導清洗液507。

由此，基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴即使由化學品506的黏度導致化學品506層疊及附著於狹縫排出口106來狹縫排出口106的直徑減少或狹縫排出口106堵塞，也可藉由清洗液狹縫噴嘴部150流入清洗液507來清洗。最終，基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴100可解決狹縫排出口106的直徑減少或狹縫排出口106堵塞的問題。

第5圖為示出包括基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置的簡圖，第6a及6b圖為用於說明包括第5圖的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置的化學品塗佈製程及清洗液清洗製程的圖。

具體地，對包括基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴100的化學品塗佈裝置500進行說明。在第5圖中，X軸方向可以為排出化學品或清洗液的排出長度方向，Y軸方向可以為用於排出化學品或清洗液的排出寬度方向，Z軸方向可以為化學品或清洗液從上部向下部流動的方向。在狹縫排出口106的下部可向長度方向具有排出長度，可向寬度方向具有排出寬度。

化學品塗佈裝置500可具有多種結構。如第5圖所示，化學品塗佈裝置500利用移動單元518來一邊使雙重狹縫噴嘴100在被處理基板504上移動，一邊在被處理基板504上可進行化學品506的塗佈及清洗液507的清洗製程。在固定雙重狹縫噴嘴100的狀態下，可以一邊使搭載有被處理基板504的工作臺502移動，一邊向被處理基板504上進行化學品506的塗佈及清洗液507的清洗製程。

化學品塗佈裝置500可包括用於支撐被處理基板504的工作臺502。被處理基板504可包括：狹縫噴嘴100，以被處理基板504的長度（或寬度）長長地形成，以規定的厚度向被處理基板504的表面塗佈化學品506；以及化學品供給部170，向狹縫噴嘴100供給化學品506。

由化學品供給部170供給的化學品506可經由化學品供給管線508、512、516來向狹縫噴嘴100的化學品流入口102流入。從化學品供給部170流入的化學品506可藉由緩衝罐510及泵514，來向狹縫噴嘴100的化學品流入口102流入。

如第6a圖所示，在化學品供給管線508、512、516可設置有化學品開閉閥526，為了便於說明，在第6a圖中，僅示出化學品供給管線508、512、516中的最終化學品供給管線516。向化學品流入口102流入的化學品506藉由化學品排出流路104、1S，來經由狹縫排出口106塗佈於被處理基板504上。

化學品塗佈裝置500可包括用於向狹縫噴嘴100供給清洗液507的清洗液供給部180。由清洗液供給部180供給的清洗液507可藉由清洗液供給管線520、522、524，來向狹縫噴嘴100的清洗液流入口122流入。從清洗液供給部180流入的清洗液507可藉由緩衝罐510及泵514，來向狹縫噴嘴100的清洗液流入口122流入。

如第6b圖所示，在清洗液供給管線520、522、524可設置有清洗液開閉閥528，為了便於說明，在第6b圖中，僅示出清洗液供給管線520、522、524中的最終清洗液供給管線524。向清洗液流入口122流入的清洗液507可藉由清洗液排出流路204、2S，來經由狹縫排出口106向外部排出。

如上所述，基於本發明一實施例的具有雙重狹縫噴嘴100的化學品塗佈裝置500，即使化學品506層疊及附著於狹縫排出口106，來狹縫排出口的直徑減少或狹縫排出口堵塞，也可藉由流入清洗液507來清洗。最終，基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴100可解決狹縫排出口106的直徑減少或狹縫排出口106堵塞的問題。

第7a至7d圖為示出包括基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置的圖，第8a至8e圖為個別地示出圖7a至圖7d的結構部件的圖。

具體地，第7a圖為化學品塗佈裝置600的立體圖，第7b圖為仰視化學品塗佈裝置600的後視圖，第7c圖為俯視化學品塗佈裝置600的俯視圖，第7d圖為示出去除蓋部件的狀態的化學品塗佈裝置600的立體圖。

化學品塗佈裝置600可包括底板602、清洗液傳遞部件606、清洗液噴頭608、蓋部件610及雙重狹縫噴嘴100。如第8a圖所示，底板602呈板形，在底板602的內部可設置有多個貫通孔604。

在底板602上可設置有可藉由介入水準調節部件603來傳遞清洗液的清洗液傳遞部件606。如第7a、7d及8b圖所示，清洗液傳遞部件606可呈管狀。藉由清洗液供給管線644來供給清洗液的清洗液供給部180可與清洗液傳遞部件606相連接。即，清洗液供給部180可向清洗液傳遞部件606供給清洗液。在清洗液供給管線644可設置有用於開閉清洗液的供給的閥601。

如第7d及8b圖所示，在清洗液傳遞部件606的下部可設置有可向外部噴射清洗液的清洗液噴頭608。能夠以相互與清洗液噴頭608隔開的方式設置多個清洗液噴頭608。清洗液噴頭608還可設置於清洗液傳遞部件606的最前部。清洗液噴頭608可插入於底板602的貫通孔604。在第7d及8b圖中，圖式標記612表示將清洗液噴頭可結合於底板602的結合部件。

在底板602的下部及兩側部可設置有用於覆蓋清洗液噴頭608的蓋部件610。如第8d及8e圖所示，蓋部件610可包括兩側壁614a、614b及位於兩側壁614a、614b上的上部壁614c。在上部壁614c可形成有貫通孔616。貫通孔616可以為設置清洗液噴頭608的部分。

在清洗液傳遞部件606的前端部可設置有雙重狹縫噴嘴100，雙重狹縫噴嘴100借助連接部件618、620與底板602相連接，並可排出清洗液及化學品。連接部件618、620可包括在第8c圖中示出的連接板618和連接銷620。

如第8c圖所示，在連接板618可設置有第一引導槽622及第二引導槽624。可設置有多個第一引導槽622，隨著結合於底板602，使雙重狹縫噴嘴100可向水準方向移動。在第二引導槽624中，連接銷620以滑動的方式進行移動，從而可使雙重狹縫噴嘴100向旋轉方向移動。

噴嘴清洗液供給管線626可與清洗液傳遞部件606相連接。噴嘴清洗液供給管線626與雙重狹縫噴嘴100的清洗液流入口630相連接，在清洗液流入口630設置有用於防止化學品的逆流的止回閥C/V。在清洗液傳遞部件606無清洗液的情況下，可設置止回閥C/V，從而防止向噴嘴清洗液供給管線626逆流的化學品。

在雙重狹縫噴嘴100設置有化學品流入口632，化學品供給管線640與化學品流入口632相連接，化學品供給部170可與化學品供給管線640相連接。化學品供給部170可藉由化學品供給管線640來向化學品供給部170供給化學品。

第9a及9b圖是為了說明基於在第7a至7d圖中示出的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴的化學品及清洗液的流動而示出的剖視圖，第10圖為示出第9a及9b圖的化學品塗佈裝置的化學品及清洗液的流動的配管圖。

具體地，在第9a及9b圖中與第4圖相同的圖式標記表示相同的部件。在第9a及9b圖中簡要說明或省略在第4圖中說明的內容。在雙重狹縫噴嘴100中，化學品506從化學品供給部170可藉由化學品供給管線640，來向狹縫噴嘴部110的化學品流入口632流入。根據需要從化學品供給部170流入的化學品中的一部分可藉由化學品排出管線642，來向化學品排出部175排出。在第10圖中，A/V可以為用於開閉化學品的流動的空氣閥。

流入的化學品506可經由化學品排出流路104並藉由狹縫排出口106來向外部排出。化學品排出流路104可以為設置於化學品狹縫噴嘴部110的內部的第一空間區域1S。

在雙重狹縫噴嘴100中，清洗液507可從清洗液供給部180藉由噴嘴清洗液供給管線626，來向清洗液狹縫噴嘴部150的清洗液流入口630流入。清洗液狹縫噴嘴部150可包括清洗液狹縫噴嘴本體部130和狹縫噴嘴蓋部140。

流入的清洗液507可經由被清洗液狹縫噴嘴本體部130和狹縫噴嘴蓋部140限定的第一清洗液排出流路124及第二清洗液排出流路126，並藉由狹縫排出口106向外部排出。第一清洗液排出流路124可以為設置於清洗液狹縫噴嘴本體部130的內部的第二空間區域2S。

在噴嘴清洗液供給管線626設置有用於防止化學品的逆流的止回閥C/V。止回閥C/V可設置於噴嘴清洗液供給管線626或根據需要可直接設置於雙重狹縫噴嘴100。在清洗液傳遞部件606無清洗液的情況下，可設置止回閥C/V，從而防止向噴嘴清洗液供給管線626逆流的化學品。

如上所述，基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置600包括雙重狹縫噴嘴100，從而即使因化學品506層疊及附著於狹縫排出口106而導致狹縫排出口106的直徑減少或狹縫排出口106堵塞，也可藉由清洗液狹縫噴嘴部150流入清洗液507來清洗。並且，基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置600可藉由在噴嘴清洗液供給管線626設置止回閥C/V，來防止向噴嘴清洗液供給管線626逆流的化學品。

以上，參照圖式對本發明的實施例進行了簡要說明，但本發明所屬技術領域的普通技術人員能夠理解可以在不變更本發明的技術思想或必要特徵的情況下，以其他不同的具體形態來實施。

參照在圖式中示出的實施例對本發明進行說明，但是這是作為例示而提出，只要是本發明所屬技術領域的普通技術人員，就可以從這種記載進行多種變形、置換及等同的其他實施例。要理解的是，以上所述的實施例在所有方面均為例示，並非用於限定本發明。本發明的真正的技術保護範圍需要根據附加的發明要求保護範圍的技術思想來確定。

100‧‧‧雙重狹縫噴嘴
102‧‧‧化學品流入口
104‧‧‧化學品排出流路
106‧‧‧狹縫排出口
107‧‧‧化學品狹縫噴嘴部內側
110‧‧‧化學品狹縫噴嘴部
122‧‧‧清洗液流入口
124‧‧‧第一清洗液排出流路
126‧‧‧第二清洗液排出流路
125‧‧‧清洗液狹縫噴嘴本體部外側
127‧‧‧清洗液狹縫噴嘴本體部內側
129‧‧‧本體傾斜部
130‧‧‧清洗液狹縫噴嘴本體部
140‧‧‧狹縫噴嘴蓋部
142‧‧‧蓋傾斜部
144‧‧‧狹縫噴嘴蓋部內側
150‧‧‧清洗液狹縫噴嘴部
160‧‧‧狹縫噴嘴結合部
162‧‧‧結合口
170‧‧‧化學品供給部
175‧‧‧化學品排出部
180‧‧‧清洗液供給部
204‧‧‧清洗液排出流路
500‧‧‧化學品塗佈裝置
502‧‧‧工作臺
504‧‧‧被處理基板
506‧‧‧化學品
507‧‧‧清洗液
508、512、516、518‧‧‧化學品供給管線
510‧‧‧緩衝罐
514‧‧‧泵
520、522、524‧‧‧清洗液供給管線
526‧‧‧化學品開閉閥
528‧‧‧清洗液開閉閥
600‧‧‧化學品塗佈裝置
601‧‧‧閥
602‧‧‧底板
603‧‧‧水準調節部件
606‧‧‧清洗液傳遞部件
608‧‧‧清洗液噴頭
610‧‧‧蓋部件
612‧‧‧圖式標記
614a、614b‧‧‧蓋部件側壁
641c‧‧‧蓋部件上部壁
616‧‧‧貫通孔
618、620‧‧‧連接板
622‧‧‧第一引導槽
624‧‧‧第二引導槽
626‧‧‧噴嘴清洗液供給管線
630‧‧‧清洗液流入口
632‧‧‧化學品流入口
640‧‧‧化學品供給管線
642‧‧‧化學品排出管線
644‧‧‧清洗液供給管線
1S‧‧‧第一空間區域
2S‧‧‧第二空間區域

第1圖為用於說明基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴的局部剖視圖。

第2圖為第1圖的雙重狹縫噴嘴的分解立體圖。

第3a至3c圖為示出構成第2圖的雙重狹縫噴嘴的化學品狹縫噴嘴部及清洗液狹縫噴嘴部的多個立體圖。

第4a圖是為了說明基於本發明一實施例的化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴的化學品及清洗液的流動而示出的剖視圖。

第4b圖為用於與第4a圖進行比較的比較例的剖視圖。

第5圖為示出包括基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置的簡圖。

第6a及6b圖為用於說明包括第5圖的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置的化學品塗佈製程及清洗液清洗製程的圖。

第7a至7d圖為示出包括基於本發明一實施例的雙重狹縫噴嘴的化學品塗佈裝置的圖。

第8a至8e圖為個別地示出第7a至7d圖的結構部件的圖。

第9a至9b圖是為了說明示出於第7a至7d圖的基於化學品塗佈裝置的雙重狹縫噴嘴的化學品及清洗液的流動而示出的剖視圖。

第10圖為示出第9a及9b圖的化學品塗佈裝置的化學品及清洗液的流動的配管圖

100‧‧‧雙重狹縫噴嘴

102‧‧‧化學品流入口

104‧‧‧化學品排出流路

106‧‧‧狹縫排出口

110‧‧‧化學品狹縫噴嘴部

122‧‧‧清洗液流入口

124‧‧‧第一清洗液排出流路

126‧‧‧第二清洗液排出流路

130‧‧‧清洗液狹縫噴嘴本體部

140‧‧‧狹縫噴嘴蓋部

150‧‧‧清洗液狹縫噴嘴部

160‧‧‧狹縫噴嘴結合部

162‧‧‧結合口

Claims (13)

1. 一種化學品塗佈裝置，其包括： 一清洗液傳遞部件，位於一底板上，能夠傳遞一清洗液； 一清洗液噴頭，設置於該清洗液傳遞部件的下部； 一蓋部件，設置於該底板的下部及兩側部，用於覆蓋該清洗液噴頭；以及 一雙重狹縫噴嘴，在該清洗液傳遞部件的前端部借助連接部件與該底板相連接，能夠排出一清洗液及一化學品， 該雙重狹縫噴嘴包括： 一化學品狹縫噴嘴部，具有向一狹縫排出口引導該化學品的一化學品排出流路，用於向外部排出該化學品； 一清洗液狹縫噴嘴部，位於該化學品狹縫噴嘴部的一側，並具有用於向該狹縫排出口的內部引導清洗液的一清洗液排出流路，該清洗液狹縫噴嘴部用於清洗該狹縫排出口的內部；以及 一狹縫噴嘴結合部，用於結合該化學品狹縫噴嘴部及該清洗液狹縫噴嘴部。
2. 如申請專利範圍第1項所述之化學品塗佈裝置，其中該化學品排出流路與一化學品流入口相連接，該化學品排出流路包括設置於該化學品狹縫噴嘴部的內部的一第一空間區域。
3. 如申請專利範圍第2項所述之化學品塗佈裝置，其中構成該化學品排出流路的第一空間區域從該化學品流入口向該狹縫排出口方向以多級的階梯形態傾斜而成。
4. 如申請專利範圍第1項所述之化學品塗佈裝置，其中該清洗液狹縫噴嘴部包括： 一清洗液狹縫噴嘴本體部，結合於該化學品狹縫噴嘴部的內側，該清洗液狹縫噴嘴本體部具有用於向該狹縫排出口的內部引導一清洗液的一第一清洗液排出流路；以及 一狹縫噴嘴蓋部，結合於該清洗液狹縫噴嘴本體部的內側，該狹縫噴嘴蓋部能夠限定一第二清洗液排出流路，該第二清洗液排出流路與該第一清洗液排出流路相連接，來向該狹縫排出口的內部引導該清洗液。
5. 如申請專利範圍第4項所述之化學品塗佈裝置，其中該第一清洗液排出流路與一清洗液流入口相連接，該第一清洗液排出流路包括設置於該清洗液狹縫噴嘴本體部的內部的第二空間區域。
6. 如申請專利範圍第4項所述之化學品塗佈裝置，其中該清洗液狹縫噴嘴本體部的內側下部包括向該狹縫排出口方向傾斜而成的一本體傾斜部，該狹縫噴嘴蓋部的內側下部與該本體傾斜部相對應地包括蓋傾斜部，該第二清洗液排出流路為該本體傾斜部和該蓋傾斜部的邊界面。
7. 一種化學品塗佈裝置，其 包括： 一清洗液傳遞部件，位於一底板上，能夠傳遞一清洗液； 一清洗液噴頭，設置於該清洗液傳遞部件的下部； 一蓋部件，設置於該底板的下部及兩側部，用於覆蓋該清洗液噴頭；以及 一雙重狹縫噴嘴，在該清洗液傳遞部件的前端部借助一連接部件與該底板相連接，能夠排出該清洗液及一化學品， 該雙重狹縫噴嘴包括： 一化學品狹縫噴嘴部，沿著排出該化學品的排出長度方向具有一化學品排出流路，用於向外部排出該化學品，該化學品排出流路從上部的一化學品流入口向一狹縫排出口引導該化學品，該狹縫排出口在下部向長度方向具有排出長度，向寬度方向具有排出寬度； 一清洗液狹縫噴嘴部，結合於該化學品狹縫噴嘴部，並具有向該狹縫排出口的內部引導該清洗液的一清洗液排出流路，該清洗液狹縫噴嘴部用於清洗該狹縫排出口的內部；以及 一狹縫噴嘴結合部，用於結合該化學品狹縫噴嘴部及該清洗液狹縫噴嘴部， 一清洗液狹縫噴嘴部包括： 一清洗液狹縫噴嘴本體部，結合於該化學品狹縫噴嘴部的內側，沿著該排出長度方向具有一第一清洗液流路，該第一清洗液流路從上部的一清洗液流入口向下部的該狹縫排出口的內部引導該清洗液；以及 一狹縫噴嘴蓋部，結合於該清洗液狹縫噴嘴本體部的內側，用於沿著該排出長度方向限定一第二清洗液排出流路，該第二清洗液排出流路與一第一清洗液排出流路的下端部相連接，來向該狹縫排出口的內部引導該清洗液。
8. 如申請專利範圍第7項所述之化學品塗佈裝置，其中在該化學品狹縫噴嘴部的內側形成有該化學品排出流路，該化學品排出流路在該化學品狹縫噴嘴部的內部包括一第一空間區域，該第一空間區域從該化學品流入口向該狹縫排出口方向以多級的階梯形態傾斜而成。
9. 如申請專利範圍第7項所述之化學品塗佈裝置，其中該清洗液狹縫噴嘴本體部的外側與該化學品狹縫噴嘴部的該化學品排出流路相接觸，該清洗液藉由的第二空間區域設置於該清洗液狹縫噴嘴本體部的內側。
10. 如申請專利範圍第9項所述之化學品塗佈裝置，其中該狹縫噴嘴蓋部的內側與該清洗液狹縫噴嘴本體部的第二空間區域相接觸，該狹縫噴嘴蓋部的內側限定該第二清洗液排出流路。
11. 一種化學品塗佈裝置， 包括： 一清洗液傳遞部件，位於一底板上，能夠傳遞一清洗液； 一清洗液噴頭，設置於該清洗液傳遞部件的下部； 一蓋部件，設置於該底板的下部及兩側部，用於覆蓋該清洗液噴頭；以及 一雙重狹縫噴嘴，在該清洗液傳遞部件的前端部借助一連接部件與該底板相連接，能夠排出該清洗液及一化學品， 該雙重狹縫噴嘴包括： 一化學品狹縫噴嘴部，具有向一狹縫排出口引導該化學品的一化學品排出流路，用於向外部排出該化學品； 一清洗液狹縫噴嘴部，位於該化學品狹縫噴嘴部的一側，並具有用於向該狹縫排出口的內部引導清洗液的一清洗液排出流路，該清洗液狹縫噴嘴部用於清洗該狹縫排出口的內部；以及 一狹縫噴嘴結合部，用於結合該化學品狹縫噴嘴部及該清洗液狹縫噴嘴部， 一噴嘴清洗液供給管線與該清洗液傳遞部件相連接， 該噴嘴清洗液供給管線與該雙重狹縫噴嘴的清洗液流入口相連接，在該清洗液流入口設置有用於防止該化學品的逆流的止回閥。
12. 如申請專利範圍第11項所述之化學品塗佈裝置，其中在該雙重狹縫噴嘴設置有一化學品流入口，用於供給化學品的化學品供給管線與該化學品流入口相連接。
13. 如申請專利範圍第11項所述之化學品塗佈裝置，其中該雙重狹縫噴嘴能夠藉由設置於該連接部件的引導槽向水準方向及旋轉方向移動。