JP6752938B2 - 処理液供給装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1を図1から図5によって説明する。液晶パネルの製造に用いられるスリットコーター装置(処理液塗布装置)20に備わるカラーレジスト供給装置(処理液供給装置)23について例示する。
本発明の実施形態2を図6から図8によって説明する。この実施形態2では、カラーレジスト供給源127を第2の洗浄液供給源40と入れ替えるようにしたものを示す。なお、上記した実施形態1と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
本発明の実施形態3を図9によって説明する。この実施形態3では、上記した実施形態1から窒素圧送路225を二系統としたものを示す。なお、上記した実施形態1と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記した各実施形態では、液輸送路における上流側に切り替え部を介して洗浄液供給路が、下流側に第2の切り替え部を介してカラーレジスト供給路が、それぞれ接続された場合を示したが、液輸送路における上流側に切り替え部を介してカラーレジスト供給路が、下流側に第2の切り替え部を介して洗浄液供給路が、それぞれ接続されていても構わない。
(2)上記した実施形態1,2では、主窒素圧送路における上流側に第3の切り替え部を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路が、下流側に第4の切り替え部を介して洗浄液供給源側窒素圧送路が、それぞれ接続された場合を示したが、主窒素圧送路における上流側に第3の切り替え部を介して洗浄液供給源側窒素圧送路が、下流側に第4の切り替え部を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路が、それぞれ接続されていても構わない。
(3)上記した各実施形態では、各切り替え部が3つの電磁弁からなる構成を例示したが、各切り替え部の具体的な構造は適宜に変更可能である。
(4)上記した各実施形態では、カラーレジスト供給源を交換する際に洗浄作業やフラッシング作業を行う場合を示したが、カラーレジスト供給源を交換する場合に限らず、カラーレジストの輸送経路を洗浄などする必要がある場合には、洗浄作業及びフラッシング作業を行うことも可能である。
(5)上記した実施形態2では、第2の洗浄液供給源とカラーレジスト供給源とを入れ替えるようにした場合を示したが、カラーレジスト供給源と洗浄液供給源と第2の洗浄液供給源とが並列してカラーレジスト供給装置に接続される構成を採ることも可能である。さらには、洗浄液供給源を3つ以上並列してカラーレジスト供給装置に接続することも可能である。
(6)上記した実施形態3では、第1窒素圧送路が第3の切り替え部を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路と洗浄液供給源側窒素圧送路とに接続される場合を示したが、第1窒素圧送路を二系統とし、一方をカラーレジスト供給源側窒素圧送路に、他方を洗浄液供給源側窒素圧送路に、それぞれ個別に接続することも可能である。この場合は、第3の切り替え部を除去することができる。
(7)上記した各実施形態では、カラーレジスト供給源と洗浄液供給源とが並列してカラーレジスト供給装置に接続される構成を示したが、カラーレジスト供給源と洗浄液供給源とが選択的にカラーレジスト供給装置に接続される構成であっても構わない。洗浄作業を行う際には、カラーレジスト供給装置と洗浄液供給源とを入れ替える作業を行えばよい。この場合は、第2の切り替え部を除去することができる。
(8)上記した各実施形態では、窒素を圧送する場合を示したが、窒素以外の気体を圧送するようにしても構わない。
(9)上記した各実施形態では、CF基板に赤色、緑色及び青色の3色を呈するカラーフィルタを形成するために同じ3色を呈するカラーレジストを用いる場合を例示したが、上記した3色以外の色を呈するカラーレジストを形成する場合には3色以外の色を呈するカラーレジストを用いることも勿論可能である。その場合、カラーレジストの色数は、4色以上になることもあれば2色以下となる場合もある。
(10)上記した各実施形態では、処理液としてカラーレジストを用いた場合を示したが、他の種類の処理液を用いることも勿論可能である。例えば、液晶パネルを構成するアレイ基板において導電膜間を絶縁したり表面を平坦化したりするための絶縁膜を形成するのに用いられる感光性樹脂溶液を処理液とすることができる。また、液晶パネルを構成するCF基板において表面を平坦化するための絶縁膜を形成するのに用いられる感光性樹脂溶液を処理液とすることができる。
(11)上記した各実施形態では、洗浄液がシンナなどの溶剤とされる場合を示したが、シンナ以外の溶剤を洗浄液として用いることも勿論可能である。
Claims (9)
- 処理液と洗浄液とが輸送される液輸送路と、
前記処理液と前記洗浄液との供給源に接続される液供給路と、
気体が圧送される気体圧送路と、
前記液輸送路と前記液供給路と前記気体圧送路とに接続されて少なくとも前記液輸送路に対する前記処理液または前記洗浄液の輸送と前記気体の圧送とを切り替える切り替え部と、を備え、
前記気体圧送路は、前記切り替え部に接続される主気体圧送路と、前記主気体圧送路と前記処理液または前記洗浄液の供給源とに接続される供給源側気体圧送路と、を含む処理液供給装置。 - 前記液供給路は、前記液輸送路と前記洗浄液の供給源とに接続される洗浄液供給路と、前記液輸送路と前記処理液の供給源とに接続される処理液供給路と、を含んでおり、
前記切り替え部は、前記洗浄液供給路と前記処理液供給路とのいずれかに接続される請求項1記載の処理液供給装置。 - 前記洗浄液供給路は、前記切り替え部に接続されるのに対し、前記処理液供給路は、前記液輸送路における前記切り替え部よりも下流側に接続される請求項2記載の処理液供給装置。
- 前記液輸送路は、前記処理液及び前記洗浄液が輸送される共通輸送路と、前記洗浄液が輸送される洗浄液輸送路と、を含んでおり、
前記処理液供給路と前記洗浄液輸送路と前記共通輸送路とに接続されて前記共通輸送路に対する前記処理液の輸送と前記洗浄液の輸送または前記気体の圧送とを切り替える第2の切り替え部を備える請求項3記載の処理液供給装置。 - 前記処理液の供給源が第2の洗浄液の供給源と入れ替え可能とされる構成において、前記液供給路は、前記洗浄液供給路の他、前記液輸送路と前記第2の洗浄液の供給源とに接続される第2の洗浄液供給路または前記処理液供給路を含む請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の処理液供給装置。
- 前記液供給路は、前記液輸送路と前記洗浄液の供給源とに接続される洗浄液供給路と、前記液輸送路と前記処理液の供給源とに接続される処理液供給路と、を含んでおり、
前記供給源側気体圧送路は、前記洗浄液の供給源と前記主気体圧送路とに接続される洗浄液供給源側気体圧送路と、前記処理液の供給源と前記主気体圧送路における前記洗浄液供給源側気体圧送路よりも上流側または下流側とに接続される処理液供給源側気体圧送路と、を含む請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の処理液供給装置。 - 前記主気体圧送路は、上流側から順に、前記洗浄液供給源側気体圧送路と前記処理液供給源側気体圧送路とのうちの一方に接続される第1主気体圧送路と、前記洗浄液供給源側気体圧送路と前記処理液供給源側気体圧送路とのうちの他方に接続される第2主気体圧送路と、前記切り替え部に接続される第3主気体圧送路と、を含んでおり、
前記一方と前記第1主気体圧送路と前記第2主気体圧送路とに接続されて前記一方に対する前記気体の圧送と前記第2主気体圧送路に対する前記気体の圧送とを切り替える第3の切り替え部と、前記他方と前記第2主気体圧送路と前記第3主気体圧送路とに接続されて前記他方に対する前記気体の圧送と前記第3主気体圧送路に対する前記気体の圧送とを切り替える第4の切り替え部と、を備える請求項6記載の処理液供給装置。 - 前記気体圧送路には、前記気体として窒素が圧送される請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の処理液供給装置。
- 前記液輸送路には、前記処理液としてカラーレジストが輸送される請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の処理液供給装置。
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