JP2020004961A

JP2020004961A - 処理液供給装置

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Publication number: JP2020004961A
Application number: JP2019110835A
Authority: JP
Inventors: 俊介岡留; Shunsuke Okadome; 宝歓大倉; Hokan Okura
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2018-06-29
Filing date: 2019-06-14
Publication date: 2020-01-09
Anticipated expiration: 2039-06-14
Also published as: JP6752938B2; CN110653131A

Abstract

【課題】処理液を変更などするのに要する時間の短縮化を図る。【解決手段】カラーレジスト供給装置（処理液供給装置）２３は、カラーレジスト（処理液）１０と洗浄液１１とが輸送される液輸送路２４と、カラーレジスト１０と洗浄液１１との供給源２７，２８に接続される液供給路２９と、窒素（気体）が圧送される窒素圧送路（気体圧送路）２５と、液輸送路２４と液供給路２９と窒素圧送路２５とに接続されて少なくとも液輸送路２４に対するカラーレジスト１０または洗浄液１１の輸送と窒素の圧送とを切り替える切り替え部３５と、を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、処理液供給装置に関する。

従来、処理液供給装置の一例として下記特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載された処理液供給装置の一つであるレジスト塗布装置は、異なる種類のフォトレジストを供給する３個のレジスト供給系である、第１、第２、第３のレジスト供給系の各々のレジスト供給ユニット近傍の配管に３個の三方弁を設け、この各三方弁にシンナ供給系の配管を接続する。

特開平１１−１６９７７５号公報

上記した特許文献１に記載されたレジスト塗布装置によれば、複数のレジスト供給系を有するにも拘わらず稼働率の向上が図られている。ここで、レジスト供給系の配管を洗浄する際には、シンナ供給系の配管が接続された三方弁によりシンナをレジスト供給系の配管に送るようにしている。しかしながら、単にシンナをレジスト供給系の配管に送ることで洗浄したのでは、フォトレジストとシンナとの混合液が配管内に残留することがないようにするために洗浄に多くの時間を要する、という問題があった。

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、処理液を変更などするのに要する時間の短縮化を図ることを目的とする。

（１）本発明の一実施形態は、処理液と洗浄液とが輸送される液輸送路と、前記処理液と前記洗浄液との供給源に接続される液供給路と、気体が圧送される気体圧送路と、前記液輸送路と前記液供給路と前記気体圧送路とに接続されて少なくとも前記液輸送路に対する前記処理液または前記洗浄液の輸送と前記気体の圧送とを切り替える切り替え部と、を備える処理液供給装置である。

処理液は、その供給源から液供給路及び切り替え部を経て液輸送路により輸送される。一方、例えば処理液を変更などする場合には、洗浄液がその供給源から液供給路及び切り替え部を経て液輸送路に輸送されることで、液輸送路などの洗浄を行うことができる。この洗浄液による洗浄に際しては、液輸送路内に洗浄液及び処理液の混合液などが残留することがないようにするため、多くの時間を要する傾向にある。その点、切り替え部は、液輸送路と液供給路と気体圧送路とに接続されて少なくとも液輸送路に対する処理液または洗浄液の輸送と気体の圧送とを切り替えることができるから、洗浄液による液輸送路の洗浄を終えたら、気体圧送路から液輸送路に気体を圧送するよう切り替え部による切り替えを行えばよい。液輸送路内を気体が圧送されることで液輸送路内に残存していた処理液及び洗浄液の混合液などが効率的に除去される。これにより、洗浄液による洗浄時間や洗浄後に行われる処理液による洗浄液の押し出し時間を短くすることができる。以上により、処理液を変更などするのに要する時間が短縮化される。

（２）また、本発明のある実施形態は、上記（１）の構成に加え、前記液供給路は、前記液輸送路と前記洗浄液の供給源とに接続される洗浄液供給路と、前記液輸送路と前記処理液の供給源とに接続される処理液供給路と、を含んでおり、前記切り替え部は、前記洗浄液供給路と前記処理液供給路とのいずれかに接続される請求項１記載の処理液供給装置である。

（３）また、本発明のある実施形態は、上記（２）の構成に加え、前記洗浄液供給路は、前記切り替え部に接続されるのに対し、前記処理液供給路は、前記液輸送路における前記切り替え部よりも下流側に接続される処理液供給装置である。

（４）また、本発明のある実施形態は、上記（３）の構成に加え、前記液輸送路は、前記処理液及び前記洗浄液が輸送される共通輸送路と、前記洗浄液が輸送される洗浄液輸送路と、を含んでおり、前記処理液供給路と前記洗浄液輸送路と前記共通輸送路とに接続されて前記共通輸送路に対する前記処理液の輸送と前記洗浄液の輸送または前記気体の圧送とを切り替える第２の切り替え部を備える処理液供給装置である。

（５）また、本発明のある実施形態は、上記（２）から（４）のいずれか１つの構成に加え、前記処理液の供給源が第２の洗浄液の供給源と入れ替え可能とされる構成において、前記液供給路は、前記洗浄液供給路の他、前記液輸送路と前記第２の洗浄液の供給源とに接続される第２の洗浄液供給路または前記処理液供給路を含む処理液供給装置である。

（６）また、本発明のある実施形態は、上記（１）から（５）のいずれか１つの構成に加え、前記気体圧送路は、前記切り替え部に接続される主気体圧送路と、前記主気体圧送路と前記処理液または前記洗浄液の供給源とに接続される供給源側気体圧送路と、を含む処理液供給装置である。

（７）また、本発明のある実施形態は、上記（６）の構成に加え、前記液供給路は、前記液輸送路と前記洗浄液の供給源とに接続される洗浄液供給路と、前記液輸送路と前記処理液の供給源とに接続される処理液供給路と、を含んでおり、前記供給源側気体圧送路は、前記洗浄液の供給源と前記主気体圧送路とに接続される洗浄液供給源側気体圧送路と、前記処理液の供給源と前記主気体圧送路における前記洗浄液供給源側気体圧送路よりも上流側または下流側とに接続される処理液供給源側気体圧送路と、を含む処理液供給装置である。

（８）また、本発明のある実施形態は、上記（７）の構成に加え、前記主気体圧送路は、上流側から順に、前記洗浄液供給源側気体圧送路と前記処理液供給源側気体圧送路とのうちの一方に接続される第１主気体圧送路と、前記洗浄液供給源側気体圧送路と前記処理液供給源側気体圧送路とのうちの他方に接続される第２主気体圧送路と、前記切り替え部に接続される第３主気体圧送路と、を含んでおり、前記一方と前記第１主気体圧送路と前記第２主気体圧送路とに接続されて前記一方に対する前記気体の圧送と前記第２主気体圧送路に対する前記気体の圧送とを切り替える第３の切り替え部と、前記他方と前記第２主気体圧送路と前記第３主気体圧送路とに接続されて前記他方に対する前記気体の圧送と前記第３主気体圧送路に対する前記気体の圧送とを切り替える第４の切り替え部と、を備える処理液供給装置である。

（９）また、本発明のある実施形態は、上記（１）から（８）のいずれか１つの構成に加え、前記気体圧送路には、前記気体として窒素が圧送される処理液供給装置である。

（１０）また、本発明のある実施形態は、上記（１）から（９）のいずれか１つの構成に加え、前記液輸送路には、前記処理液としてカラーレジストが輸送される処理液供給装置である。

本発明によれば、処理液を変更などするのに要する時間の短縮化を図ることができる。

本発明の実施形態１に係るスリットコーター装置の装置構成を示す図カラーレジスト供給装置に備わる切り替え部及び第４の切り替え部の構成を示す図塗布作業に伴うカラーレジスト及び窒素の流れを示す図洗浄作業に伴う洗浄液及び窒素の流れを示す図フラッシング作業に伴う窒素の流れを示す図本発明の実施形態２に係る洗浄作業に伴う洗浄液及び窒素の流れを示す図第２の洗浄作業に伴う第２の洗浄液及び窒素の流れを示す図フラッシング作業に伴う窒素の流れを示す図本発明の実施形態３に係るスリットコーター装置の装置構成を示す図

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１から図５によって説明する。液晶パネルの製造に用いられるスリットコーター装置（処理液塗布装置）２０に備わるカラーレジスト供給装置（処理液供給装置）２３について例示する。

本実施形態に係るスリットコーター装置２０は、液晶パネルに備わるＣＦ基板上にカラーフィルタを形成するためのものである。スリットコーター装置２０は、図１に示すように、カラーフィルタの材料であるカラーレジスト（処理液）１０をＣＦ基板上に塗布する塗布部２１と、塗布部２１に供給されるカラーレジスト１０を一次的に貯留する貯留部２２と、貯留部２２にカラーレジスト１０を供給するカラーレジスト供給装置２３と、を少なくとも備える。塗布部２１は、カラーレジスト１０をＣＦ基板上に塗布するスリットノズルを複数備えるレジスト塗布ヘッドとされる。貯留部２２は、カラーレジスト供給装置２３から供給されるカラーレジスト１０を貯留するタンクやカラーレジスト１０を適宜に塗布部２１へ供給するためのポンプなどを備える。塗布部２１、貯留部２２及びカラーレジスト供給装置２３は、配管によって接続されている。

カラーレジスト供給装置２３は、図１に示すように、カラーレジスト１０などが輸送される液輸送路２４と、窒素（気体）が圧送される窒素圧送路（気体圧送路）２５と、液輸送路２４を貯留部２２側の配管に接続するとともに窒素圧送路２５を窒素の供給源に接続する接続部２６と、カラーレジスト１０の供給源であるカラーレジスト供給源（処理液供給源）２７や洗浄液１１の供給源である洗浄液供給源２８と液輸送路２４とに接続されてカラーレジスト１０や洗浄液１１を液輸送路２４に供給する液供給路２９と、を少なくとも備える。ＣＦ基板上にカラーフィルタを形成する際には、液輸送路２４により輸送されるカラーレジスト１０が接続部２６を介して貯留部２２に供給されるようになっている。液輸送路２４は、カラーレジスト１０の変更などに伴って内部を洗浄するための洗浄液１１を輸送することが可能とされる。液供給路２９は、液輸送路２４とカラーレジスト供給源２７とに接続されてカラーレジスト１０の供給を担うカラーレジスト供給路（処理液供給路）３１と、液輸送路２４と洗浄液供給源２８とに接続されて洗浄液１１の供給を担う洗浄液供給路３２と、を含む。なお、液輸送路２４、窒素圧送路２５及び液供給路２９は、いずれも配管からなる。また、カラーレジスト供給源２７及び洗浄液供給源２８は、いずれもペール缶などの蓋付きの容器からなる。

窒素圧送路２５は、図１に示すように、上流端側が接続部２６を介して窒素の供給源に、下流端側が液輸送路２４に、それぞれ接続される主窒素圧送路（主気体圧送路）２５Ａと、カラーレジスト供給源２７や洗浄液供給源２８と主窒素圧送路２５Ａとに接続されて窒素を各供給源２７，２８に供給する供給源側窒素圧送路（供給源側気体圧送路）３０と、を含む。なお、窒素の供給源は、窒素を所定の圧力でもって窒素圧送路２５に圧送するものである。供給源側窒素圧送路３０は、主窒素圧送路２５Ａとカラーレジスト供給源２７とに接続されて窒素をカラーレジスト供給源２７に圧送するカラーレジスト供給源側窒素圧送路（処理液供給源側気体圧送路）３３と、窒素圧送路２５と洗浄液供給源２８とに接続されて窒素を洗浄液供給源２８に圧送する洗浄液供給源側窒素圧送路（洗浄液供給源側気体圧送路）３４と、を含む。

ところで、カラーレジスト１０は、感光性着色材料からなる。液晶パネルのＣＦ基板は、例えば赤色、緑色及び青色を呈する３色のカラーフィルタを備えていることから、各カラーフィルタの形成に際しては、赤色、緑色及び青色を呈する３色のカラーレジスト１０が用いられる。本実施形態に係るスリットコーター装置２０は、カラーレジスト供給源２７から塗布部２１に至るまでのカラーレジスト１０の輸送経路（液輸送路２４を含む）が単一となっていることから、使用するカラーレジスト１０の色を変更する際には、カラーレジスト供給源２７の入れ替えと、カラーレジスト１０の輸送経路の洗浄と、が必要となっている。このうちのカラーレジスト１０の輸送経路の洗浄を適切に行うことで、カラーレジスト１０の混色を防止することができる。洗浄液１１は、例えばシンナなどの溶剤からなり、カラーレジスト１０の輸送経路を洗浄するために用いられるものである。

そして、本実施形態に係るカラーレジスト供給装置２３は、図１に示すように、液輸送路２４と液供給路２９との接続箇所と、主窒素圧送路２５Ａと供給源側窒素圧送路３０との接続箇所と、に２つずつの切り替え部３５〜３８が設けられてなる。各切り替え部３５〜３８は、図２に示すように、いずれも接続対象となる各配管に設置された３つの電磁弁３９を有していて、いわゆる三方弁となっている。なお、図２では、切り替え部３５及び第４の切り替え部３８を代表して図示しているが、第２の切り替え部３６及び第３の切り替え部３７も同様の構成である。以下、各切り替え部３５〜３８について詳しく説明する。

切り替え部３５は、図１に示すように、液輸送路２４と、液供給路２９を構成する洗浄液供給路３２と、窒素圧送路２５を構成する主窒素圧送路２５Ａと、に接続されて少なくとも液輸送路２４に対するカラーレジスト１０または洗浄液１１の輸送と窒素の圧送とを切り替えるものである。詳しくは、切り替え部３５は、液輸送路２４における上流側の端部（洗浄液輸送路２４Ｂ）に設置された電磁弁３９と、洗浄液供給路３２における下流側（洗浄液供給源２８側とは反対側）の端部に設置された電磁弁３９と、主窒素圧送路２５Ａにおける下流側の端部（第３主窒素圧送路２５Ａ３）に設置された電磁弁３９と、を有する。カラーレジスト供給装置２３から塗布部２１及び貯留部２２側にカラーレジスト１０を供給する際やカラーレジスト１０の輸送経路を洗浄する際には、切り替え部３５を構成する電磁弁３９（図２を参照）のうち、液輸送路２４に設置された電磁弁３９と洗浄液供給路３２に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、主窒素圧送路２５Ａに設置された電磁弁３９が閉じられる。このようにすれば、主窒素圧送路２５Ａ内の窒素が液輸送路２４に圧送されることが避けられるのに対し、カラーレジスト１０や洗浄液１１は、カラーレジスト供給源２７や洗浄液供給源２８からカラーレジスト供給路３１や洗浄液供給路３２を通ってから切り替え部３５を通って液輸送路２４に輸送される。一方、切り替え部３５を構成する電磁弁３９のうち、液輸送路２４に設置された電磁弁３９と主窒素圧送路２５Ａに設置された電磁弁３９とを開くのに対し、洗浄液供給路３２に設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、主窒素圧送路２５Ａ内の窒素を液輸送路２４内に圧送することができる。このような切り替え部３５の設定は、洗浄液１１による液輸送路２４の洗浄を終えてから行われるのが好ましく、そうすることで液輸送路２４内に圧送される窒素によって液輸送路２４内に残存していたカラーレジスト１０及び洗浄液１１の混合液などを効率的に除去することができる。これにより、洗浄液１１による洗浄時間や洗浄後に行われるカラーレジスト１０による洗浄液１１の押し出し時間を短くすることができる。以上により、カラーレジスト１０を変更するのに要する時間が短縮化される。また、切り替え部３５は、洗浄液供給路３２と液輸送路２４における上流側の端部とに接続されているので、洗浄液供給路３２から切り替え部３５を介して液輸送路２４に輸送される洗浄液１１によって液輸送路２４をほぼ全域にわたって洗浄することができる。これにより、液輸送路２４の洗浄が高効率化される。

第２の切り替え部３６は、図１に示すように、液輸送路２４における中間部分と、液供給路２９を構成するカラーレジスト供給路３１と、に接続されている。液輸送路２４は、第２の切り替え部３６よりも下流側部分が、カラーレジスト１０及び洗浄液１１が輸送される共通輸送路２４Ａとされるのに対し、第２の切り替え部３６よりも上流側部分が、洗浄液１１が輸送される洗浄液輸送路２４Ｂとされる。第２の切り替え部３６は、共通輸送路２４Ａにおける上流側の端部に設置された電磁弁３９と、洗浄液輸送路２４Ｂにおける下流側（切り替え部３５側とは反対側）の端部に設置された電磁弁３９と、カラーレジスト供給路３１における下流側（カラーレジスト供給源２７側とは反対側）の端部に設置された電磁弁３９と、を有する。第２の切り替え部３６は、共通輸送路２４Ａに対するカラーレジスト１０の輸送と、洗浄液１１の輸送または窒素の圧送と、を切り替えるものである。具体的には、第２の切り替え部３６を構成する電磁弁３９のうち、共通輸送路２４Ａに設置された電磁弁３９とカラーレジスト供給路３１に設置された電磁弁３９とを開くのに対し、洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、カラーレジスト供給路３１から共通輸送路２４Ａへカラーレジスト１０を輸送することができる。一方、第２の切り替え部３６を構成する電磁弁３９のうち、共通輸送路２４Ａに設置された電磁弁３９と洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９とを開くのに対し、カラーレジスト供給路３１に設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、洗浄液輸送路２４Ｂにより輸送される洗浄液１１を共通輸送路２４Ａに輸送して共通輸送路２４Ａの洗浄を図ったり、洗浄液輸送路２４Ｂ内を圧送される窒素を共通輸送路２４Ａ内に圧送して共通輸送路２４Ａのフラッシングを図ったりすることができる。

第３の切り替え部３７は、図１に示すように、主窒素圧送路２５Ａにおける中間部分と、供給源側窒素圧送路３０を構成するカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３と、に接続されている。これに対し、第４の切り替え部３８は、主窒素圧送路２５Ａにおける第３の切り替え部３７よりも下流側部分と、供給源側窒素圧送路３０を構成する洗浄液供給源側窒素圧送路３４と、に接続されている。主窒素圧送路２５Ａは、第３の切り替え部３７よりも上流側部分が第１主窒素圧送路（第１主気体圧送路）２５Ａ１とされ、第３の切り替え部３７と第４の切り替え部３８との間に挟まれた部分が第２主窒素圧送路（第２主気体圧送路）２５Ａ２とされ、第４の切り替え部３８よりも下流側部分が第３主窒素圧送路（第３主気体圧送路）２５Ａ３とされる。

第３の切り替え部３７は、図１に示すように、第１主窒素圧送路２５Ａ１における下流側の端部に設置された電磁弁３９と、第２主窒素圧送路２５Ａ２における上流側の端部に設置された電磁弁３９と、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３における上流側（カラーレジスト供給源２７側とは反対側）の端部に設置された電磁弁３９と、を有する。第３の切り替え部３７は、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に対する窒素の圧送と第２主窒素圧送路２５Ａ２に対する窒素の圧送とを切り替えるものである。具体的には、第３の切り替え部３７を構成する電磁弁３９のうち、第１主窒素圧送路２５Ａ１に設置された電磁弁３９とカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に設置された電磁弁３９とを開くのに対し、第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、第１主窒素圧送路２５Ａ１からカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３へ窒素を圧送することができる。カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に圧送された窒素は、カラーレジスト供給源２７内に圧送されることで、カラーレジスト１０をカラーレジスト供給路３１内に送り出すことができる。一方、第３の切り替え部３７を構成する電磁弁３９のうち、第１主窒素圧送路２５Ａ１に設置された電磁弁３９と第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９とを開くのに対し、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、第１主窒素圧送路２５Ａ１内を圧送される窒素を第２主窒素圧送路２５Ａ２内に圧送することができる。

第４の切り替え部３８は、図１に示すように、第２主窒素圧送路２５Ａ２における下流側の端部に設置された電磁弁３９と、第３主窒素圧送路２５Ａ３における上流側の端部に設置された電磁弁３９と、洗浄液供給源側窒素圧送路３４における上流側（洗浄液供給源２８側とは反対側）の端部に設置された電磁弁３９と、を有する。第４の切り替え部３８は、洗浄液供給源側窒素圧送路３４に対する窒素の圧送と第３主窒素圧送路２５Ａ３に対する窒素の圧送とを切り替えるものである。具体的には、第４の切り替え部３８を構成する電磁弁３９のうち、第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９と洗浄液供給源側窒素圧送路３４に設置された電磁弁３９とを開くのに対し、第３主窒素圧送路２５Ａ３に設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、第２主窒素圧送路２５Ａ２から洗浄液供給源側窒素圧送路３４へ窒素を圧送することができる。洗浄液供給源側窒素圧送路３４内に圧送された窒素は、洗浄液供給源２８内に圧送されることで、洗浄液１１を洗浄液供給路３２内に送り出すことができる。一方、第４の切り替え部３８を構成する電磁弁３９のうち、第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９と第３主窒素圧送路２５Ａ３に設置された電磁弁３９とを開くのに対し、洗浄液供給源側窒素圧送路３４に設置された電磁弁３９を閉じるようにすれば、第２主窒素圧送路２５Ａ２内を圧送される窒素を第３主窒素圧送路２５Ａ３内に圧送することができる。

本実施形態に係るスリットコーター装置２０は以上のような構造であり、続いてその作用を説明する。まず、ＣＦ基板上にカラーフィルタの材料であるカラーレジスト１０を塗布する際には、図３に示すように、カラーレジスト供給装置２３からカラーレジスト１０を貯留部２２に供給する。このとき、第２の切り替え部３６は、共通輸送路２４Ａに設置された電磁弁３９とカラーレジスト供給路３１に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９が閉じられる。一方、第３の切り替え部３７は、第１主窒素圧送路２５Ａ１に設置された電磁弁３９とカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９が閉じられる。このようにすれば、第１主窒素圧送路２５Ａ１から第３の切り替え部３７を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３へ窒素が圧送されるので、圧送される窒素によりカラーレジスト供給源２７内のカラーレジスト１０がカラーレジスト供給路３１内に送り出される。カラーレジスト供給路３１内に送り出されたカラーレジスト１０は、第２の切り替え部３６を介して共通輸送路２４Ａ内に輸送される。これにより、カラーレジスト供給源２７から共通輸送路２４Ａへとカラーレジスト１０を輸送することができるので、カラーレジスト供給装置２３から貯留部２２へとカラーレジスト１０を供給することができる。なお、切り替え部３５及び第４の切り替え部３８を構成する各電磁弁３９の開閉状態を適宜に設定することができるが、例えば全て閉じることもできる。

ＣＦ基板上に塗布するカラーフィルタの色を変更する場合には、カラーレジスト供給装置２３から貯留部２２に供給するカラーレジスト１０の色を変更することになる。カラーレジスト１０の色を変更するのに先立って、混色を防ぐため、カラーレジスト１０の輸送経路を洗浄する作業が行われる。洗浄作業を行うに際しては、切り替え部３５は、図４に示すように、洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９と洗浄液供給路３２に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、第３主窒素圧送路２５Ａ３に設置された電磁弁３９が閉じられる。第２の切り替え部３６は、共通輸送路２４Ａに設置された電磁弁３９と洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、カラーレジスト供給路３１に設置された電磁弁３９が閉じられる。第３の切り替え部３７は、第１主窒素圧送路２５Ａ１に設置された電磁弁３９と第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に設置された電磁弁３９が閉じられる。第４の切り替え部３８は、第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９と洗浄液供給源側窒素圧送路３４に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、第３主窒素圧送路２５Ａ３に設置された電磁弁３９を閉じられる。このようにすれば、第１主窒素圧送路２５Ａ１から第３の切り替え部３７、第２主窒素圧送路２５Ａ２及び第４の切り替え部３８を介して洗浄液供給源側窒素圧送路３４へ窒素が圧送されるので、圧送される窒素により洗浄液供給源２８内の洗浄液１１が洗浄液供給路３２内に送り出される。洗浄液供給路３２内に送り出された洗浄液１１は、切り替え部３５を介して洗浄液輸送路２４Ｂ内に輸送されてから第２の切り替え部３６を介して共通輸送路２４Ａ内に輸送される。これにより、液輸送路２４は、上流側の端部から下流側の端部に至るまでほぼ全長にわたって洗浄液１１により洗浄される。この洗浄に伴って変更前のカラーレジスト１０などの除去が進行する。液輸送路２４の下流側の端部に達した洗浄液１１は、接続部２６を介して貯留部２２及び塗布部２１にまで達し、これらも洗浄する。上記のようにして洗浄作業を行っている間に、変更前のカラーレジスト１０が入ったカラーレジスト供給源２７を、変更後のカラーレジスト１０が入ったカラーレジスト供給源２７に交換する作業を行う。

洗浄作業が所定時間にわたって行われた後、窒素の圧送によるフラッシング作業が行われる。フラッシング作業を行うに際しては、切り替え部３５は、図５に示すように、洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９と第３主窒素圧送路２５Ａ３に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、洗浄液供給路３２に設置された電磁弁３９が閉じられる。第２の切り替え部３６は、共通輸送路２４Ａに設置された電磁弁３９と洗浄液輸送路２４Ｂに設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、カラーレジスト供給路３１に設置された電磁弁３９が閉じられる。第３の切り替え部３７は、第１主窒素圧送路２５Ａ１に設置された電磁弁３９と第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に設置された電磁弁３９が閉じられる。第４の切り替え部３８は、第２主窒素圧送路２５Ａ２に設置された電磁弁３９と第３主窒素圧送路２５Ａ３に設置された電磁弁３９とが開かれるのに対し、洗浄液供給源側窒素圧送路３４に設置された電磁弁３９が閉じられる。このようにすれば、第１主窒素圧送路２５Ａ１から第３の切り替え部３７、第２主窒素圧送路２５Ａ２、第４の切り替え部３８、第３主窒素圧送路２５Ａ３及び切り替え部３５を介して洗浄液輸送路２４Ｂへ窒素が圧送される。窒素は、洗浄液輸送路２４Ｂから第２の切り替え部３６を介して共通輸送路２４Ａへ圧送される。これにより、液輸送路２４は、上流側の端部から下流側の端部に至るまでほぼ全長にわたって圧送される窒素によりフラッシングされる。このフラッシングに伴って変更前のカラーレジスト１０、洗浄液１１及びこれらの混合液が効率的に除去されるので、先に行われる洗浄作業における洗浄時間を短くすることができる。液輸送路２４の下流側の端部に達した窒素は、接続部２６を介して貯留部２２及び塗布部２１にまで達し、これらもフラッシングする。

窒素の圧送によるフラッシング作業が所定時間にわたって行われた後、変更後のカラーレジスト１０を共通輸送路２４Ａに輸送し、共通輸送路２４Ａ内の残留物を押し出す作業が行われる。この押し出し作業を行うに際しては、各切り替え部３５〜３８は、図３に示すように、既述したカラーレジスト１０の塗布作業の時と同じ状態とされる。変更後のカラーレジスト１０が変更後のカラーレジスト供給源２７から共通輸送路２４Ａへと輸送されることで、共通輸送路２４Ａ内の残留物が接続部２６側に押し出される。このとき、共通輸送路２４Ａ内に残留していた残留物の量は、先に行われたフラッシング作業に伴って大幅に減少しているので、押し出し作業に掛かる作業時間についても短縮化が図られている。押し出し作業が所定時間にわたって行われた後、変更後のカラーレジスト１０を用いた塗布作業が行われる。

以上説明したように本実施形態のカラーレジスト供給装置（処理液供給装置）２３は、カラーレジスト（処理液）１０と洗浄液１１とが輸送される液輸送路２４と、カラーレジスト１０と洗浄液１１との供給源２７，２８に接続される液供給路２９と、窒素（気体）が圧送される窒素圧送路（気体圧送路）２５と、液輸送路２４と液供給路２９と窒素圧送路２５とに接続されて少なくとも液輸送路２４に対するカラーレジスト１０または洗浄液１１の輸送と窒素の圧送とを切り替える切り替え部３５と、を備える。

カラーレジスト１０は、そのカラーレジスト供給源２７から液供給路２９及び切り替え部３５を経て液輸送路２４により輸送される。一方、例えばカラーレジスト１０を変更などする場合には、洗浄液１１がそのカラーレジスト供給源２７から液供給路２９及び切り替え部３５を経て液輸送路２４に輸送されることで、液輸送路２４などの洗浄を行うことができる。この洗浄液１１による洗浄に際しては、液輸送路２４内に洗浄液１１及びカラーレジスト１０の混合液などが残留することがないようにするため、多くの時間を要する傾向にある。その点、切り替え部３５は、液輸送路２４と液供給路２９と窒素圧送路２５とに接続されて少なくとも液輸送路２４に対するカラーレジスト１０または洗浄液１１の輸送と窒素の圧送とを切り替えることができるから、洗浄液１１による液輸送路２４の洗浄を終えたら、窒素圧送路２５から液輸送路２４に窒素を圧送するよう切り替え部３５による切り替えを行えばよい。液輸送路２４内を窒素が圧送されることで液輸送路２４内に残存していたカラーレジスト１０及び洗浄液１１の混合液などが効率的に除去される。これにより、洗浄液１１による洗浄時間や洗浄後に行われるカラーレジスト１０による洗浄液１１の押し出し時間を短くすることができる。以上により、カラーレジスト１０を変更などするのに要する時間が短縮化される。

また、液供給路２９は、液輸送路２４と洗浄液供給源（洗浄液１１の供給源）２８とに接続される洗浄液供給路３２と、液輸送路２４とカラーレジスト供給源（カラーレジスト１０の供給源）２７とに接続されるカラーレジスト供給路３１と、を含んでおり、切り替え部３５は、洗浄液供給路３２とカラーレジスト供給路３１とのいずれかに接続される。このようにすれば、洗浄液１１は、洗浄液供給源２８から洗浄液供給路３２を介して液輸送路２４に、カラーレジスト１０は、カラーレジスト供給源２７からカラーレジスト供給路３１を介して液輸送路２４に、それぞれ輸送される。洗浄液供給路３２とカラーレジスト供給路３１とのいずれかに接続される切り替え部３５により、液輸送路２４に対する洗浄液１１またはカラーレジスト１０の輸送と窒素の圧送とが切り替えられる。仮に、カラーレジスト１０の変更などに伴って１つの液供給路２９に対して洗浄液供給源２８とカラーレジスト供給源２７とを都度接続し直すようにした場合に比べると、カラーレジスト１０を変更などするのに要する時間がより短縮化される。

また、洗浄液供給路３２は、切り替え部３５に接続されるのに対し、カラーレジスト供給路３１は、液輸送路２４における切り替え部３５よりも下流側に接続される。このようにすれば、洗浄液１１は、洗浄液供給源２８から洗浄液供給路３２及び切り替え部３５を介して液輸送路２４のうちカラーレジスト１０輸送路よりも上流側に輸送される。従って、仮に洗浄液供給路３２とカラーレジスト供給路３１の位置関係を逆にした場合に比べると、液輸送路２４を広範囲にわたって洗浄液１１により洗浄することができ、液輸送路２４の洗浄が高効率化される。

また、液輸送路２４は、カラーレジスト１０及び洗浄液１１が輸送される共通輸送路２４Ａと、洗浄液１１が輸送される洗浄液輸送路２４Ｂと、を含んでおり、カラーレジスト供給路３１と洗浄液輸送路２４Ｂと共通輸送路２４Ａとに接続されて共通輸送路２４Ａに対するカラーレジスト１０の輸送と洗浄液１１の輸送または窒素の圧送とを切り替える第２の切り替え部３６を備える。このようにすれば、カラーレジスト１０は、カラーレジスト供給源２７からカラーレジスト供給路３１及び第２の切り替え部３６を介して共通輸送路２４Ａに輸送される。一方、液輸送路２４の洗浄に際しては、第２の切り替え部３６による切り替えを実行した上で、洗浄液供給源２８から洗浄液供給路３２及び切り替え部３５を介して洗浄液輸送路２４Ｂに洗浄液１１を輸送させる。洗浄液輸送路２４Ｂに輸送された洗浄液１１は、第２の切り替え部３６を介して共通輸送路２４Ａに輸送される。これにより、液輸送路２４に含まれる共通輸送路２４Ａ及び洗浄液輸送路２４Ｂが洗浄液１１により洗浄される。液輸送路２４の洗浄後には、切り替え部３５による切り替えを実行することで、窒素圧送路２５から洗浄液輸送路２４Ｂに窒素が圧送される。洗浄液輸送路２４Ｂに圧送された窒素は、第２の切り替え部３６を介して共通輸送路２４Ａに圧送される。これにより、液輸送路２４に含まれる共通輸送路２４Ａ及び洗浄液輸送路２４Ｂの内部に残留していたカラーレジスト１０及び洗浄液１１の混合液などが圧送される窒素により効率的に除去される。

また、窒素圧送路２５は、切り替え部３５に接続される主窒素圧送路（主気体圧送路）２５Ａと、主窒素圧送路２５Ａとカラーレジスト１０または洗浄液供給源２８とに接続される供給源側窒素圧送路（供給源側気体圧送路）３０と、を含む。このようにすれば、主窒素圧送路２５Ａに圧送される窒素は、切り替え部３５を介して液輸送路２４に圧送されたり、供給源側窒素圧送路３０を介してカラーレジスト１０または洗浄液供給源２８に圧送されたりする。供給源側窒素圧送路３０に窒素が圧送されることで、カラーレジスト１０または洗浄液１１が供給源から液供給路２９に供給されるようになっている。仮に、主窒素圧送路２５Ａと供給源側窒素圧送路３０とを非接続とした場合に比べると、窒素の圧送に係る構成が単純化されるので、低コスト化を図る上で好適となる。

また、液供給路２９は、液輸送路２４と洗浄液供給源２８とに接続される洗浄液供給路３２と、液輸送路２４とカラーレジスト供給源２７とに接続されるカラーレジスト供給路３１と、を含んでおり、供給源側窒素圧送路３０は、洗浄液供給源２８と主窒素圧送路２５Ａとに接続される洗浄液供給源側窒素圧送路（洗浄液供給源側気体圧送路）３４と、カラーレジスト供給源２７と主窒素圧送路２５Ａにおける洗浄液供給源側窒素圧送路３４よりも上流側または下流側とに接続されるカラーレジスト供給源側窒素圧送路（処理液供給源側気体圧送路）３３と、を含む。このようにすれば、主窒素圧送路２５Ａに圧送される窒素は、洗浄液供給源側窒素圧送路３４を介して洗浄液供給源２８に圧送されたり、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３を介してカラーレジスト供給源２７に圧送されたりする。洗浄液供給源側窒素圧送路３４に窒素が圧送されることで、洗浄液１１が供給源から洗浄液供給路３２に供給され、カラーレジスト供給源側窒素圧送路３３に窒素が圧送されることで、カラーレジスト１０が供給源からカラーレジスト供給路３１に供給されるようになっている。

また、主窒素圧送路２５Ａは、上流側から順に、洗浄液供給源側窒素圧送路３４とカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３とのうちの一方に接続される第１主窒素圧送路（第１主気体圧送路）２５Ａ１と、洗浄液供給源側窒素圧送路３４とカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３とのうちの他方に接続される第２主窒素圧送路（第２主気体圧送路）２５Ａ２と、切り替え部３５に接続される第３主窒素圧送路（第３主気体圧送路）２５Ａ３と、を含んでおり、一方と第１主窒素圧送路２５Ａ１と第２主窒素圧送路２５Ａ２とに接続されて一方に対する窒素の圧送と第２主窒素圧送路２５Ａ２に対する窒素の圧送とを切り替える第３の切り替え部３７と、他方と第２主窒素圧送路２５Ａ２と第３主窒素圧送路２５Ａ３とに接続されて他方に対する窒素の圧送と第３主窒素圧送路２５Ａ３に対する窒素の圧送とを切り替える第４の切り替え部３８と、を備える。このようにすれば、窒素は、主窒素圧送路２５Ａを構成する第１主窒素圧送路２５Ａ１、第２主窒素圧送路２５Ａ２及び第３主窒素圧送路２５Ａ３を圧送されてから切り替え部３５を介して液輸送路２４に圧送される。これに対し、第３の切り替え部３７により窒素の圧送が切り替えられると、第１主窒素圧送路２５Ａ１から洗浄液供給源側窒素圧送路３４とカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３とのうちの一方へ窒素が圧送され、洗浄液１１とカラーレジスト１０とのうちの一方の供給源に達する。さらには、第４の切り替え部３８により窒素の圧送が切り替えられると、第２主窒素圧送路２５Ａ２から洗浄液供給源側窒素圧送路３４とカラーレジスト供給源側窒素圧送路３３とのうちの他方へと窒素が圧送され、洗浄液１１とカラーレジスト１０とのうちの他方の供給源に達する。このように、第３の切り替え部３７及び第４の切り替え部３８によって液輸送路２４への窒素の圧送と、洗浄液供給源２８への窒素の圧送と、カラーレジスト供給源２７への窒素の圧送と、を適宜に切り替えることができる。

また、窒素圧送路２５には、気体として窒素が圧送される。化学的に安定していて且つ安価な窒素を気体として用いることで、液輸送路２４内を適切にフラッシングすることができるとともに低コスト化を図る上で好適となる。

また、液輸送路２４には、処理液としてカラーレジスト１０が輸送される。処理液であるカラーレジスト１０を異なる色のものに変更する場合には、液輸送路２４を洗浄液１１により洗浄した後に、窒素の圧送によりフラッシングすることで、短時間でもってカラーレジスト１０の混色を防ぐことができる。

＜実施形態２＞
本発明の実施形態２を図６から図８によって説明する。この実施形態２では、カラーレジスト供給源１２７を第２の洗浄液供給源４０と入れ替えるようにしたものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係るカラーレジスト供給装置１２３は、図６に示すように、カラーレジスト供給源１２７が第２の洗浄液供給源４０と入れ替え可能とされる。第２の洗浄液供給源４０には、洗浄液供給源１２８内の洗浄液１１１とは異なる第２の洗浄液１２が入れられている。本実施形態では、変更後のカラーレジスト１１０が変更前のカラーレジスト１１０とは組成などが異なる場合、１種類の洗浄液１１１のみでは変更後のカラーレジスト１１０の洗浄を高効率で行うのが難しいことがあり、そのような場合に洗浄液１１１とは組成など異なる第２の洗浄液１２を併用している。カラーレジスト供給源１２７を第２の洗浄液供給源４０に入れ替えた場合、カラーレジスト供給路１３１が第２の洗浄液１２を供給するための第２の洗浄液供給路４１となり、カラーレジスト供給源側窒素圧送路１３３が第２の洗浄液供給源４０に窒素を圧送するための第２の洗浄液供給源側窒素圧送路４２となる（図７を参照）。

具体的な作業手順について説明する。カラーレジスト１１０の色を変更する場合には、図６に示すように、洗浄作業が行われる。洗浄作業は、上記した実施形態１に記載した通りである。この洗浄作業を行っている間に、変更前のカラーレジスト１１０のカラーレジスト供給源１２７を、第２の洗浄液供給源４０に入れ替える作業を行う。従って、カラーレジスト供給源１２７と第２の洗浄液供給源４０とを入れ替える作業に掛かる作業時間は、洗浄作業に掛かる作業時間に含まれることになり、全体の作業時間を増加させることが避けられている。洗浄作業を終えたら、続いて第２の洗浄液１２による第２の洗浄作業が行われる。第２の洗浄作業を行うに際しては、第２の切り替え部１３６は、図７に示すように、共通輸送路１２４Ａに設置された電磁弁と第２の洗浄液供給路４１に設置された電磁弁とが開かれるのに対し、洗浄液輸送路１２４Ｂに設置された電磁弁が閉じられる。一方、第３の切り替え部１３７は、第１主窒素圧送路１２５Ａ１に設置された電磁弁と第２の洗浄液供給源側窒素圧送路４２に設置された電磁弁とが開かれるのに対し、第２主窒素圧送路１２５Ａ２に設置された電磁弁が閉じられる。このようにすれば、第１主窒素圧送路１２５Ａ１から第３の切り替え部１３７を介して第２の洗浄液供給源側窒素圧送路４２へ窒素が圧送されるので、圧送される窒素により第２の洗浄液供給源４０内の第２の洗浄液１２が第２の洗浄液供給路４１内に送り出される。第２の洗浄液供給路４１内に送り出された第２の洗浄液１２は、第２の切り替え部１３６を介して共通輸送路１２４Ａ内に輸送される。これにより、共通輸送路１２４Ａ内が第２の洗浄液１２により洗浄されるので、先に行われた洗浄液１１１による洗浄作業と相まってカラーレジスト１１０がより高い効率でもって洗浄・除去される。なお、切り替え部１３５及び第４の切り替え部１３８を構成する各電磁弁の開閉状態を適宜に設定することができるが、例えば全て閉じることもできる。その後、図８に示すように、窒素の圧送によるフラッシング作業を行っている間に、第２の洗浄液供給源４０を、変更後のカラーレジスト１１０が入ったカラーレジスト供給源１２７に入れ替える作業を行う。従って、第２の洗浄液供給源４０とカラーレジスト供給源１２７とを入れ替える作業に掛かる作業時間は、フラッシング作業に掛かる作業時間に含まれることになり、全体の作業時間を増加させることが避けられている。なお、フラッシング作業は、上記した実施形態１に記載した通りである。

以上説明したように本実施形態によれば、カラーレジスト供給源１２７が第２の洗浄液供給源４０と入れ替え可能とされる構成において、液供給路１２９は、洗浄液供給路１３２の他、液輸送路１２４と第２の洗浄液供給源４０とに接続される第２の洗浄液供給路４１またはカラーレジスト供給路１３１を含む。このようにすれば、例えばカラーレジスト１１０を変更などする場合は、カラーレジスト供給源１２７を第２の洗浄液供給源４０に入れ替えることができる。第２の洗浄液１２は、第２の洗浄液供給源４０から第２の洗浄液供給路４１を介して液輸送路１２４に輸送されるようになっており、これにより液輸送路１２４が洗浄される。このように、洗浄液１１１と第２の洗浄液１２とを用いて液輸送路１２４の洗浄を行うことができるから、カラーレジスト１１０の種類に応じて第２の洗浄液１２を選択することで、液輸送路１２４の洗浄をより高効率化することができる。

＜実施形態３＞
本発明の実施形態３を図９によって説明する。この実施形態３では、上記した実施形態１から窒素圧送路２２５を二系統としたものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係る窒素圧送路２２５は、図９に示すように、上流端側が接続部２２６に、下流端側が第３の切り替え部２３７にそれぞれ接続される第１窒素圧送路４３と、上流端側が接続部２２６に、下流端側が切り替え部２３５にそれぞれ接続される第２窒素圧送路４４と、の二系統からなる。第１窒素圧送路４３は、第３の切り替え部２３７を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路２３３と洗浄液供給源側窒素圧送路２３４とに接続されており、第３の切り替え部２３７の切り替え状態に応じてカラーレジスト供給源側窒素圧送路２３３と洗浄液供給源側窒素圧送路２３４とに選択的に窒素を圧送することができる。このような構成に伴い、本実施形態では上記した実施形態１に記載された第４の切り替え部が省略されている。これに対し、第２窒素圧送路４４は、切り替え部２３５を介して液輸送路２２４を構成する洗浄液輸送路２２４Ｂに接続されており、切り替え部２３５の切り替え状態に応じて洗浄液輸送路２２４Ｂに窒素を圧送することができる。このような構成であっても、上記した実施形態１と同様の作用及び効果を得ることができる。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記した各実施形態では、液輸送路における上流側に切り替え部を介して洗浄液供給路が、下流側に第２の切り替え部を介してカラーレジスト供給路が、それぞれ接続された場合を示したが、液輸送路における上流側に切り替え部を介してカラーレジスト供給路が、下流側に第２の切り替え部を介して洗浄液供給路が、それぞれ接続されていても構わない。
（２）上記した実施形態１，２では、主窒素圧送路における上流側に第３の切り替え部を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路が、下流側に第４の切り替え部を介して洗浄液供給源側窒素圧送路が、それぞれ接続された場合を示したが、主窒素圧送路における上流側に第３の切り替え部を介して洗浄液供給源側窒素圧送路が、下流側に第４の切り替え部を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路が、それぞれ接続されていても構わない。
（３）上記した各実施形態では、各切り替え部が３つの電磁弁からなる構成を例示したが、各切り替え部の具体的な構造は適宜に変更可能である。
（４）上記した各実施形態では、カラーレジスト供給源を交換する際に洗浄作業やフラッシング作業を行う場合を示したが、カラーレジスト供給源を交換する場合に限らず、カラーレジストの輸送経路を洗浄などする必要がある場合には、洗浄作業及びフラッシング作業を行うことも可能である。
（５）上記した実施形態２では、第２の洗浄液供給源とカラーレジスト供給源とを入れ替えるようにした場合を示したが、カラーレジスト供給源と洗浄液供給源と第２の洗浄液供給源とが並列してカラーレジスト供給装置に接続される構成を採ることも可能である。さらには、洗浄液供給源を３つ以上並列してカラーレジスト供給装置に接続することも可能である。
（６）上記した実施形態３では、第１窒素圧送路が第３の切り替え部を介してカラーレジスト供給源側窒素圧送路と洗浄液供給源側窒素圧送路とに接続される場合を示したが、第１窒素圧送路を二系統とし、一方をカラーレジスト供給源側窒素圧送路に、他方を洗浄液供給源側窒素圧送路に、それぞれ個別に接続することも可能である。この場合は、第３の切り替え部を除去することができる。
（７）上記した各実施形態では、カラーレジスト供給源と洗浄液供給源とが並列してカラーレジスト供給装置に接続される構成を示したが、カラーレジスト供給源と洗浄液供給源とが選択的にカラーレジスト供給装置に接続される構成であっても構わない。洗浄作業を行う際には、カラーレジスト供給装置と洗浄液供給源とを入れ替える作業を行えばよい。この場合は、第２の切り替え部を除去することができる。
（８）上記した各実施形態では、窒素を圧送する場合を示したが、窒素以外の気体を圧送するようにしても構わない。
（９）上記した各実施形態では、ＣＦ基板に赤色、緑色及び青色の３色を呈するカラーフィルタを形成するために同じ３色を呈するカラーレジストを用いる場合を例示したが、上記した３色以外の色を呈するカラーレジストを形成する場合には３色以外の色を呈するカラーレジストを用いることも勿論可能である。その場合、カラーレジストの色数は、４色以上になることもあれば２色以下となる場合もある。
（１０）上記した各実施形態では、処理液としてカラーレジストを用いた場合を示したが、他の種類の処理液を用いることも勿論可能である。例えば、液晶パネルを構成するアレイ基板において導電膜間を絶縁したり表面を平坦化したりするための絶縁膜を形成するのに用いられる感光性樹脂溶液を処理液とすることができる。また、液晶パネルを構成するＣＦ基板において表面を平坦化するための絶縁膜を形成するのに用いられる感光性樹脂溶液を処理液とすることができる。
（１１）上記した各実施形態では、洗浄液がシンナなどの溶剤とされる場合を示したが、シンナ以外の溶剤を洗浄液として用いることも勿論可能である。

１０，１１０…カラーレジスト（処理液）、１１，１１１…洗浄液、１２…第２の洗浄液、２３，１２３…カラーレジスト供給装置（処理液供給装置）、２４，１２４，２２４…液輸送路、２４Ａ，１２４Ａ…共通輸送路、２４Ｂ，１２４Ｂ，２２４Ｂ…洗浄液輸送路、２５，２２５…窒素圧送路（気体圧送路）、２５Ａ…主窒素圧送路（主気体圧送路）、２５Ａ１，１２５Ａ１…第１主窒素圧送路（第１主気体圧送路）、２５Ａ２，１２５Ａ２…第２主窒素圧送路（第２主気体圧送路）、２５Ａ３…第３主窒素圧送路（第３主気体圧送路）、２７，１２７…カラーレジスト供給源（カラーレジスト１０の供給源）、２８，１２８…洗浄液供給源（洗浄液１１の供給源）、２９，１２９…液供給路、３０…供給源側窒素圧送路（供給源側気体圧送路）、３１，１３１…カラーレジスト供給路、３２，１３２…洗浄液供給路、３３，１３３，２３３…カラーレジスト供給源側窒素圧送路（処理液供給源側気体圧送路）、３４，２３４…洗浄液供給源側窒素圧送路（洗浄液供給源側気体圧送路）、３５，１３５，２３５…切り替え部、３６，１３６…第２の切り替え部、３７，１３７，２３７…第３の切り替え部、３８，１３８…第４の切り替え部、４０…第２の洗浄液供給源、４１…第２の洗浄液供給路

Claims

処理液と洗浄液とが輸送される液輸送路と、
前記処理液と前記洗浄液との供給源に接続される液供給路と、
気体が圧送される気体圧送路と、
前記液輸送路と前記液供給路と前記気体圧送路とに接続されて少なくとも前記液輸送路に対する前記処理液または前記洗浄液の輸送と前記気体の圧送とを切り替える切り替え部と、を備える処理液供給装置。
前記液供給路は、前記液輸送路と前記洗浄液の供給源とに接続される洗浄液供給路と、前記液輸送路と前記処理液の供給源とに接続される処理液供給路と、を含んでおり、
前記切り替え部は、前記洗浄液供給路と前記処理液供給路とのいずれかに接続される請求項１記載の処理液供給装置。
前記洗浄液供給路は、前記切り替え部に接続されるのに対し、前記処理液供給路は、前記液輸送路における前記切り替え部よりも下流側に接続される請求項２記載の処理液供給装置。
前記液輸送路は、前記処理液及び前記洗浄液が輸送される共通輸送路と、前記洗浄液が輸送される洗浄液輸送路と、を含んでおり、
前記処理液供給路と前記洗浄液輸送路と前記共通輸送路とに接続されて前記共通輸送路に対する前記処理液の輸送と前記洗浄液の輸送または前記気体の圧送とを切り替える第２の切り替え部を備える請求項３記載の処理液供給装置。
前記処理液の供給源が第２の洗浄液の供給源と入れ替え可能とされる構成において、前記液供給路は、前記洗浄液供給路の他、前記液輸送路と前記第２の洗浄液の供給源とに接続される第２の洗浄液供給路または前記処理液供給路を含む請求項２から請求項４のいずれか１項に記載の処理液供給装置。
前記気体圧送路は、前記切り替え部に接続される主気体圧送路と、前記主気体圧送路と前記処理液または前記洗浄液の供給源とに接続される供給源側気体圧送路と、を含む請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の処理液供給装置。
前記液供給路は、前記液輸送路と前記洗浄液の供給源とに接続される洗浄液供給路と、前記液輸送路と前記処理液の供給源とに接続される処理液供給路と、を含んでおり、
前記供給源側気体圧送路は、前記洗浄液の供給源と前記主気体圧送路とに接続される洗浄液供給源側気体圧送路と、前記処理液の供給源と前記主気体圧送路における前記洗浄液供給源側気体圧送路よりも上流側または下流側とに接続される処理液供給源側気体圧送路と、を含む請求項６記載の処理液供給装置。
前記主気体圧送路は、上流側から順に、前記洗浄液供給源側気体圧送路と前記処理液供給源側気体圧送路とのうちの一方に接続される第１主気体圧送路と、前記洗浄液供給源側気体圧送路と前記処理液供給源側気体圧送路とのうちの他方に接続される第２主気体圧送路と、前記切り替え部に接続される第３主気体圧送路と、を含んでおり、
前記一方と前記第１主気体圧送路と前記第２主気体圧送路とに接続されて前記一方に対する前記気体の圧送と前記第２主気体圧送路に対する前記気体の圧送とを切り替える第３の切り替え部と、前記他方と前記第２主気体圧送路と前記第３主気体圧送路とに接続されて前記他方に対する前記気体の圧送と前記第３主気体圧送路に対する前記気体の圧送とを切り替える第４の切り替え部と、を備える請求項７記載の処理液供給装置。
前記気体圧送路には、前記気体として窒素が圧送される請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の処理液供給装置。
前記液輸送路には、前記処理液としてカラーレジストが輸送される請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の処理液供給装置。