JP2017087700A - 洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置100の配管系統を概略的に示す配管系統図である。図2は、本発明の実施の形態に係る洗浄装置100が実行するマスク版の洗浄を説明するための概略斜視図である。実施の形態に係る洗浄装置100は、スクリーン印刷に利用されるマスク版を洗浄するものであって、大型化したマスク版の洗浄に対応したものである。
第1配管10は、洗浄タンク5とヘッダー分岐管3とを接続するものである。第1配管10には、ポンプ6が設置されている。また、第1配管10は、ポンプ6の下流で2つに分岐されている。2つの第1配管10のそれぞれには、フィルター4が設置されている。
なお、「左」、「右」という方向を表す用語を使用しているが、これは説明を便宜的にするためのものであって、これらの用語により本発明が限定されるものではない。
開閉弁16は、手動により開閉する構造であり、第1配管10のポンプ6の上流側に設置されている。開閉弁16が開放されることで、洗浄液が洗浄タンク5から洗浄部15に送られることになる。なお、開閉弁16は、洗浄装置100に必須の構成ではない。また、開閉弁16として制御信号で開閉する構造を採用してもよい。
ノズル配管2は、第2配管11の先端に接続され、左洗浄エリア8及び右洗浄エリア9においてマスク版7の面と平行な方向に延びている。そして、複数のノズル2aがマスク版7の方を向くように所定の間隔をもって配置されている。つまり、図2に示すように、左洗浄エリア8に配置されているノズル2aと、右洗浄エリア9に配置されているノズル2aとは、向かい合うように配置されている。
まず、全部の自動弁1に電源が入っていないとき、つまり自動弁1の制御をしていないときは、全部の自動弁1が開になっている。洗浄装置100の電源を入れ洗浄スタートをすると、左洗浄エリア8及び右洗浄エリア9のそれぞれの(3)〜(6)番目の自動弁1を閉じ、ポンプ6を駆動させ、左洗浄エリア8及び右洗浄エリア9の上から(1)、(2)番目の自動弁1を開き、この部分のノズル配管2に洗浄液が供給される。
この自動弁1の動作を2回繰り返す。
Claims (3)
- 洗浄部内に配置されたマスク版に洗浄液を噴射して該マスク版を洗浄する洗浄装置であって、
前記洗浄液を前記マスク版に噴射する複数のノズルと、
前記複数のノズルが設置されている複数のノズル配管と、
前記複数のノズル配管のそれぞれに設置され、開閉を個別に制御可能な自動弁と、を備えた
洗浄装置。 - 前記洗浄部は前記マスク版を中心に左右の洗浄エリアに分けられ、
前記ノズルは前記左右の洗浄エリアのそれぞれに設置され、
前記マスク版は前記左右の洗浄エリアにおいて洗浄面がそれぞれの前記ノズルの方に向くように配置される
請求項1に記載の洗浄装置。 - 前記ノズル配管に洗浄液を分岐するヘッダー分岐管を前記自動弁の上流側に設けた
請求項1又は2に記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015225012A JP2017087700A (ja) | 2015-11-17 | 2015-11-17 | 洗浄装置 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP2017087700A (ja) |
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2015
- 2015-11-17 JP JP2015225012A patent/JP2017087700A/ja active Pending
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A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
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|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190730 |
|
A02 | Decision of refusal |
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